FR2757942A1 - Ensemble capteur et procede de polarisation d'un capteur travaillant en presence d'humidite - Google Patents
Ensemble capteur et procede de polarisation d'un capteur travaillant en presence d'humidite Download PDFInfo
- Publication number
- FR2757942A1 FR2757942A1 FR9616280A FR9616280A FR2757942A1 FR 2757942 A1 FR2757942 A1 FR 2757942A1 FR 9616280 A FR9616280 A FR 9616280A FR 9616280 A FR9616280 A FR 9616280A FR 2757942 A1 FR2757942 A1 FR 2757942A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- sensor
- signal
- supply
- positive
- pulses
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/08—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups with provision for safeguarding the apparatus, e.g. against abnormal operation, against breakdown
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D3/00—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups
- G01D3/028—Indicating or recording apparatus with provision for the special purposes referred to in the subgroups mitigating undesired influences, e.g. temperature, pressure
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/06—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices
Abstract
L'invention concerne un capteur de pression et autres. Elle se rapporte à un ensemble capteur qui comprend un capteur (47) ayant des contacts (54, 56) d'alimentation, et un générateur (34) destiné à appliquer un signal pulsé d'alimentation aux contacts (54, 56) afin que, pendant l'utilisation, le capteur (47) soit polarisé périodiquement pendant une période prédéterminée, et un signal du capteur (47) est mesuré pendant certaines au moins de ces périodes. Il comprend un circuit échantillonneur-bloqueur (36) couplé à une sortie du capteur (47) et ayant une entrée d'un signal d'horloge synchronisé sur le signal pulsé d'alimentation, et assurant l'échantillonnage du signal de sortie du capteur (47) pendant certaines au moins des périodes prédéterminées. Application aux capteurs travaillant en présence d'humidité.
Description
La présente invention concerne un ensemble capteur et un procédé de polarisation d'un capteur.
On utilise parfois des capteurs, tels que des "capteurs de pression", dans des environnements humides. On utilise par exemple des capteurs de pression dans des applications qui nécessitent la détection de la pression d'un fluide ou de vapeur, par exemple dans les cuiseurs sous pression, les pompes à eau et les systèmes de chauffage central.
On ne peut pas utiliser de façon générale des capteurs de pression à semi-conducteur de faible coût dans ces environnements humides, car les contacts d'alimentation et de la pastille du capteur peuvent être au contact du fluide ou de la vapeur. Dans ce cas, lorsqu'une tension d'alimentation est appliquée aux contacts d'alimentation du capteur, à cause du milieu humide, une corrosion électrolytique se produit au niveau des plages de contact si bien que le dispositif présente une panne après quelques heures de travail.
On a déjà proposé plusieurs solutions destinées à empêcher le contact de l'eau avec les contacts d'alimentation et de la pastille de capteur à semiconducteur.
Le capteur de pression MPX906 fourni par
Motorola Inc. est réalisé de manière qu'une pression puisse être appliquée à la face arrière du capteur.
Motorola Inc. est réalisé de manière qu'une pression puisse être appliquée à la face arrière du capteur.
Cela signifie que les plages de connexion formant les contacts d'alimentation et de la pastille ne sont pas exposées au fluide ou à la vapeur entourant le capteur et permettent d'éviter la corrosion.
Cependant, cette solution présente quelques inconvénients importants : elle ne convient qu'aux plages de basses pressions (inférieures à 100 kPa) car, dans le cas contraire, la pastille peut se séparer du boîtier, elle ne convient pas dans les solutions alcalines (pH > 9) parce que l'attaque chimique de la tranche doit être évitée, et les performances électriques ne sont pas aussi bonnes que celles des ensembles dans lesquels la pression est appliquée à la face supérieure du capteur. Comme une partie considérable du marché des capteurs de pression compatibles avec l'eau se trouve dans le domaine industriel qui nécessite des plages de pressions moyennes ou élevées (200 à 1 000 kPa) et compte tenu de ces inconvénients, le capteur de pression par la face "arrière" ne constitue pas une solution aux problèmes de corrosion dans les applications à ces "hautes" pressions.
Une autre solution connue comprend le montage de la pastille du capteur sur un diaphragme intermédiaire qui est étanche à l'eau, et le remplissage de l'espace compris entre le diaphragme et la pastille par une huile ou un gel qui n'est pas compressible, par exemple une huile de silicone. Le document
GB-A-2 266 152 décrit une telle disposition.
GB-A-2 266 152 décrit une telle disposition.
Bien que cette solution réduise les problèmes posés par la corrosion, elle nécessite un boîtier spécial ayant plusieurs joints d'étanchéité, si bien que le produit capteur final est coûteux. En outre, les opérations de fabrication et de montage sont complexes et ne sont pas facilement réalisées en grande série puisqu'il faut de nombreuses opérations, par exemple le remplissage par un gel.
Un ensemble capteur perfectionné qui est fiable dans les milieux humides, même à des pressions élevées, et dont la fabrication est peu coûteuse, est donc nécessaire.
La présente invention concerne un ensemble capteur qui comprend un capteur ayant des contacts d'alimentation, et un générateur destiné à créer un signal d'alimentation qui comporte des impulsions et à appliquer le signal pulsé d'alimentation aux contacts d'alimentation de manière que, pendant l'utilisation, le capteur soit polarisé périodiquement pendant une période prédéterminée, et qu'un signal de sortie du capteur soit mesuré pendant certaines au moins des périodes prédéterminées.
L'invention concerne aussi un procédé de polarisation d'un capteur ayant des contacts d'alimentation qui comprend des étapes de création d'un signal d'alimentation comprenant des impulsions, d'application du signal pulsé d'alimentation aux contacts d'alimentation afin que le capteur soit polarisé périodiquement pendant une période prédéterminée, et de mesure d'un signal de sortie du capteur pendant certaines au moins des périodes prédéterminées.
D'autres caractéristiques et avantages de l'invention seront mieux compris à la lecture de la description qui va suivre d'exemples de réalisation d'ensembles capteurs et d'un procédé de polarisation d'un capteur ayant des contacts d'alimentation, faite en référence aux dessins annexés sur lesquels
la figure l est un schéma en coupe d'un capteur de pression
la figure 2 est une coupe schématique agrandie d'une pastille de capteur et d'un cadre à fils de connexion de la figure 1
la figure 3 est un diagramme synoptique d'un ensemble capteur selon l'invention ;
la figure 4 est un graphique représentant un signal d'alimentation destiné à polariser un capteur, dans un premier mode de réalisation de l'invention ;
la figure 5 est un graphique représentant la variation de la durée de vie du capteur en fonction du temps de polarisation
la figure 6 est un diagramme synoptique d'un premier ensemble capteur selon le premier mode de réalisation de l'invention ;
la figure 7 est un graphique représentant un signal de commande de l'interrupteur d'alimentation du premier ensemble capteur de la figure 6
la figure 8 est un graphique représentant un signal de commande d'horloge d'une partie du premier ensemble capteur de la figure 6
la figure 9 est un graphique représentant un signal d'alimentation destiné à la polarisation d'un capteur dans un second mode de réalisation de l'invention ;
la figure 10 est un diagramme synoptique d'un second ensemble capteur dans le second mode de réalisation de la présente invention
la figure 11 est un graphique représentant un signal de commande d'interrupteur d'alimentation du second ensemble capteur de la figure 10
la figure 12 est un graphique représentant un signal utilisé comme horloge pour une partie du second ensemble capteur de la figure 10
la figure 13 est un diagramme synoptique d'un autre ensemble capteur dans le second mode de réalisation de l'invention
la figure 14 est un diagramme synoptique d'un troisième ensemble capteur dans un troisième mode de réalisation de l'invention ;
la figure 15 est un graphique représentant le signal d'alimentation utilisé pour la polarisation d'un capteur dans un troisième mode de réalisation de l'invention ;
la figure 16 est une représentation graphique d'un signal de commande d'interrupteur d'alimentation du troisième ensemble capteur de la figure 14 ; et
la figure 17 est un graphique représentant un signal de commande d'horloge d'une partie du troisième ensemble capteur de la figure 14.
la figure l est un schéma en coupe d'un capteur de pression
la figure 2 est une coupe schématique agrandie d'une pastille de capteur et d'un cadre à fils de connexion de la figure 1
la figure 3 est un diagramme synoptique d'un ensemble capteur selon l'invention ;
la figure 4 est un graphique représentant un signal d'alimentation destiné à polariser un capteur, dans un premier mode de réalisation de l'invention ;
la figure 5 est un graphique représentant la variation de la durée de vie du capteur en fonction du temps de polarisation
la figure 6 est un diagramme synoptique d'un premier ensemble capteur selon le premier mode de réalisation de l'invention ;
la figure 7 est un graphique représentant un signal de commande de l'interrupteur d'alimentation du premier ensemble capteur de la figure 6
la figure 8 est un graphique représentant un signal de commande d'horloge d'une partie du premier ensemble capteur de la figure 6
la figure 9 est un graphique représentant un signal d'alimentation destiné à la polarisation d'un capteur dans un second mode de réalisation de l'invention ;
la figure 10 est un diagramme synoptique d'un second ensemble capteur dans le second mode de réalisation de la présente invention
la figure 11 est un graphique représentant un signal de commande d'interrupteur d'alimentation du second ensemble capteur de la figure 10
la figure 12 est un graphique représentant un signal utilisé comme horloge pour une partie du second ensemble capteur de la figure 10
la figure 13 est un diagramme synoptique d'un autre ensemble capteur dans le second mode de réalisation de l'invention
la figure 14 est un diagramme synoptique d'un troisième ensemble capteur dans un troisième mode de réalisation de l'invention ;
la figure 15 est un graphique représentant le signal d'alimentation utilisé pour la polarisation d'un capteur dans un troisième mode de réalisation de l'invention ;
la figure 16 est une représentation graphique d'un signal de commande d'interrupteur d'alimentation du troisième ensemble capteur de la figure 14 ; et
la figure 17 est un graphique représentant un signal de commande d'horloge d'une partie du troisième ensemble capteur de la figure 14.
La figure 1 est une coupe schématique d'un capteur de pression 2, par exemple un capteur de la série MPX2000 de Motorola Inc., comprenant une pastille 4 (micro-circuit ou puce électronique) montée sur un boîtier 6 d'un polymère époxyde. Un gel 12, par exemple un polymère de silicone, entoure la pastille 4 et la protège, et un cadre 8 à fils de connexion et des fils métalliques 10 de liaison assurent la connexion du capteur 2 de pression pour la transmission d'une tension d'alimentation Vcc. Le capteur 2 transforme une différence de pressions entre P1 et P2 en un signal de tension par déformation du diaphragme 5 à l'aide d'un transducteur 14 à jauge dynamométrique (figure 2).
La figure 2 représente le cadre 8 à fils de connexion et la pastille 4 plus en détail.
La pastille 4 possède le transducteur 14 et un circuit électronique (non représenté) d'étalonnage et de compensation qui sont protégés par une couche 16 de passivation de nitrure de silicium. De façon typique, la couche 16 de passivation a une épaisseur 20 de 0,4 um. Un fil 10 de liaison est fixé à une première extrémité au cadre 8, par exemple par soudage par ultrasons, et, à l'autre extrémité, à des contacts 18 d'alimentation du capteur 2, par exemple par liaison par des microbilles. Les contacts d'alimentation forment des connexions électriques entre le cadre 8 et la pastille 4 et sont par exemple formés d'aluminium.
Pour que la liaison soit possible, les contacts d'alimentation ne sont pas protégés par la couche 16 de passivation, et ils ont par exemple une épaisseur 22 de 1,1 um. Le gel 12 entoure l'ensemble qu'on vient de décrire.
Toutes les matières sont perméables en général aux solutions aqueuses et à la vapeur d'eau après un temps déterminé. Ce temps est de l'ordre de quelques minutes à quelques heures dans le cas des polymères, et se compte en années dans le cas de l'acier et du verre.
Les gels sont particulièrement perméables étant donné leur très faible niveau de réticulation et la structure de réseau "large" du matériau qui permet aux molécules d'eau de traverser très facilement le revêtement de gel. Cela signifie que l'eau et d'autres fluides et notamment la vapeur d'eau peuvent traverser le gel 12 et atteindre la pastille 4.
Lorsque la pastille 4 du capteur est au contact d'une solution aqueuse, des réactions d'oxydoréduction apparaissent entre l'aluminium et l'ion aluminium Al3+ au niveau des contacts 18 d'alimentation, et certains couples d'oxydoréduction de l'eau commencent à agir dès que le capteur est polarisé par la tension d'alimentation Vcc. Après quelques heures de travail, le contact d'aluminium de la pastille 4 est finalement détruit et forme un circuit ouvert dans le fil 10 de liaison. Il s'agit du phénomène de défaillance par corrosion électrolytique d'aluminium, cité dans l'introduction.
Lorsque l'eau a pénétré dans le gel 12 et a atteint la pastille 4, les défaillances peuvent être très rapides parce que la tension d'alimentation est habituellement très grande, par exemple une tension continue de 5 V, par rapport aux potentiels d'oxydoréduction de l'aluminium (-1,66 V pour Al/Al3+).
Il existe aussi d'autres causes de panne, telles que la corrosion galvanique, se produisant entre les différents types de métaux. Cependant, le temps moyen avant panne (MTTF) dû à ces autres causes est bien supérieur au temps moyen MTTF dû à la corrosion électrolytique des contacts 18 d'alimentation du capteur.
Bien que les solutions indiquées dans l'introduction concernent le problème de la panne par corrosion électrolytique, elles posent elles-mêmes des problèmes importants. La présente invention a pour objet l'augmentation de la durée de vie du capteur dans des milieux aqueux, même à des pressions supérieures à 200 kPa, sans qu'il soit nécessaire d'utiliser un conditionnement coûteux, des gels complexes ou des étapes élaborées de traitement.
On se réfère maintenant à la figure 3 ; un ensemble capteur 30, dans un mode de réalisation préféré de la présente invention, comporte un capteur 32 ayant des contacts d'alimentation 38 qui sont couplés à un générateur 34 de signaux d'alimentation, faisant partie par exemple d'une unité centrale à microprocesseur. Ce générateur 34 crée un signal d'alimentation qui comporte des impulsions telles que le capteur 32 est périodiquement polarisé pendant des périodes prédéterminées. De préférence, un signal de sortie du capteur 32 est couplé à un circuit échantillonneur-bloqueur 36 qui est commandé par un signal d'horloge CLK synchronisé sur les impulsions du signal d'alimentation, si bien que le circuit 36 échantillonne le signal de sortie du capteur à une sortie 40 du capteur 32 uniquement lorsque celui-ci est polarisé. Le circuit échantillonneur-bloqueur 36 transmet un signal de sortie Sout qui est représentatif d'un paramètre détecté par le capteur 32. Du fait que le circuit 36 est commandé par le signal d'horloge CLK synchronisé sur les impulsions du signal d'alimentation, le signal de sortie Sout est un signal analogique si bien que la polarisation pulsée du capteur paraît transparente pour l'utilisateur de l'ensemble capteur 30. Le circuit échantillonneurbloqueur 36 peut être omis mais, dans ce cas, le signal de sortie du capteur, à la sortie 40, est un signal pulsé, l'amplitude des impulsions représentant la valeur de la pression.
La figure 4 représente un exemple de signal pulsé 42 d'alimentation qui peut être utilisé pour la polarisation du capteur 32 dans un premier mode de réalisation de la présente invention.
La période prédéterminée pendant laquelle le capteur 32 est polarisé est le temps de fermeture Ton.
La période pendant laquelle le capteur n' est pas polarisé est le temps d'arrêt de polarisation Tof f. La période T du signal pulsé 42 d'alimentation est
T = Ton + Tof f. Le signal 42 d'alimentation est destiné à avoir un faible rapport cyclique (ou coefficient d'utilisation), ce qui fait que le temps Ton est petit.
T = Ton + Tof f. Le signal 42 d'alimentation est destiné à avoir un faible rapport cyclique (ou coefficient d'utilisation), ce qui fait que le temps Ton est petit.
Comme la corrosion électrolytique est interrompue lorsqu'un capteur n'est pas polarisé, grâce à l'utilisation d'un signal pulsé d'alimentation pour la polarisation du capteur pendant de courtes périodes au cours desquelles des mesures peuvent être prises, l'invention permet la réduction de la corrosion électrolytique des contacts d'alimentation 38. La valeur de la période T dépend de l'application et du temps de réponse que demande l'utilisateur au capteur.
Si le paramètre à détecter par le capteur change lentement, il n'est pas nécessaire que le temps de réponse soit court, si bien que la période T peut être importante. Si le paramètre à détecter par le capteur change rapidement, la période T doit être petite. La période Ton doit être suffisamment longue pour que le signal de sortie du capteur puisse être mesuré, mais elle ne doit pas être longue au point de provoquer une corrosion significative au niveau des contacts d'alimentation 38.
Les inventeurs ont déterminé, au cours d'essais expérimentaux avec différents capteurs et différents temps de fonctionnement (temps de fermeture), que la variation de la durée de vie du capteur en fonction du temps de fermeture Ton paraissait être un phénomène à avalanche tel qu'indiqué sur la figure 5, et n'était pas déterminé par le temps cumulé de polarisation du capteur ou par le rapport Ton/T. Comme les essais étaient des essais destructifs, la courbe 44 de la figure 5 a été obtenue avec différents capteurs, si bien qu'il est difficile d'extrapoler une loi générale donnant la variation de la durée de vie des capteurs en fonction du temps de polarisation. Cependant, on a obtenu la même tendance avec un autre ensemble de capteurs. Il existe manifestement un temps de polarisation de capteur Ton (20 à 40 ms) tel que la durée de vie des capteurs augmente beaucoup. Une explication peut être le fait que, lorsqu'une impulsion de polarisation est courte, très peu d'électrons peuvent pénétrer par les contacts d'alimentation et les oxyder. En outre, une mince couche d'oxyde d'aluminium formée sur les contacts d'aluminium peut ralentir la corrosion dans le cas de l'utilisation de contacts d'aluminium, mais dès que cette couche est détruite et que les contacts d'aluminium sont directement exposés à la corrosion électrolytique, la vitesse de réaction s'élève très rapidement. Ainsi, pourvu que la période
Ton soit faible, de l'ordre de 10 ms, on peut obtenir une augmentation significative de la durée de vie d'un capteur.
Ton soit faible, de l'ordre de 10 ms, on peut obtenir une augmentation significative de la durée de vie d'un capteur.
La figure 6 représente un premier ensemble capteur 46 dans un premier mode de réalisation de l'invention, suivant une réalisation de l'ensemble capteur 30 de la figure 3 dans laquelle le capteur 32 est un capteur 47 de pression à jauge dynamométrique, tel que le capteur de pression MPX2300D fourni par
Motorola Inc., et le signal d'alimentation comprend plusieurs impulsions positives comme indiqué sur la figure 4. Le générateur 34 du signal d'alimentation comprend un circuit d'horloge 48 qui crée un signal d'horloge CLK destiné à commander l'entrée d'horloge du circuit échantillonneur-bloqueur 36 comme indiqué sur la figure 7, et un signal de commande Control (indiqué sur la figure 8) qui permet le réglage du signal de tension d'alimentation donné par une alimentation de tension de référence Vcc par l'intermédiaire d'un interrupteur 50. L'interrupteur 50 est couplé entre un premier contact 54 d'alimentation et une première borne de tension de référence (de préférence la masse) de l'alimentation de tension de référence. Une seconde borne de tension de référence (Vcc) de l'alimentation de tension de référence est couplée à un second contact 56 d'alimentation. Lorsque le signal de commande
Control a un niveau élevé, l'interrupteur 50 est fermé et le capteur 47 de pression est polarisé par le signal d'alimentation de tension Vcc couplé au second contact 56 d'alimentation. Le signal de commande Control assure donc l'application d'un signal pulsé d'alimentation au capteur 47 de pression.
Motorola Inc., et le signal d'alimentation comprend plusieurs impulsions positives comme indiqué sur la figure 4. Le générateur 34 du signal d'alimentation comprend un circuit d'horloge 48 qui crée un signal d'horloge CLK destiné à commander l'entrée d'horloge du circuit échantillonneur-bloqueur 36 comme indiqué sur la figure 7, et un signal de commande Control (indiqué sur la figure 8) qui permet le réglage du signal de tension d'alimentation donné par une alimentation de tension de référence Vcc par l'intermédiaire d'un interrupteur 50. L'interrupteur 50 est couplé entre un premier contact 54 d'alimentation et une première borne de tension de référence (de préférence la masse) de l'alimentation de tension de référence. Une seconde borne de tension de référence (Vcc) de l'alimentation de tension de référence est couplée à un second contact 56 d'alimentation. Lorsque le signal de commande
Control a un niveau élevé, l'interrupteur 50 est fermé et le capteur 47 de pression est polarisé par le signal d'alimentation de tension Vcc couplé au second contact 56 d'alimentation. Le signal de commande Control assure donc l'application d'un signal pulsé d'alimentation au capteur 47 de pression.
Un amplificateur 52 est couplé aux sorties Vs+ et Vs- du capteur 47 de pression. Un signal de sortie de l'amplificateur 52 est échantillonné par le circuit échantillonneur-bloqueur 36 afin qu'il donne un signal analogique de sortie Sout. De préférence, les signaux sont tels qu'il existe un retard entre le flanc ascendant du signal de commande Control et le flanc ascendant du signal d'horloge CLK afin que le capteur se soit stabilisé avant l'échantillonnage du signal de sortie de l'amplificateur 52 (c'est-à-dire avant qu'une mesure soit effectuée).
La période T du signal de commande (qui correspond à la période du signal d'alimentation) détermine le temps de réponse du capteur 47. Le rapport
Ton/T détermine la valeur et donc la dimension du condensateur (non représenté) du circuit échantillonneur-bloqueur 36. Comme la pression est un paramètre qui varie lentement par rapport à la vitesse des opérations électroniques, telles que l'échantillonnage, une période T du signal de commande de 100 ms et une période de conduction Ton de 10 ms forment un bon compromis entre la durée de vie du capteur, le temps de réponse du capteur (100 ms) et la dimension de l'ensemble capteur 46. Pour une période T de 100 ms, il faut un condensateur de quelques nanofarads pour le circuit 36. Cela signifie que le circuit 36 peut être monté dans un boîtier pour technologie de montage en surface, et peut donc avoir un ensemble intégré très petit.
Ton/T détermine la valeur et donc la dimension du condensateur (non représenté) du circuit échantillonneur-bloqueur 36. Comme la pression est un paramètre qui varie lentement par rapport à la vitesse des opérations électroniques, telles que l'échantillonnage, une période T du signal de commande de 100 ms et une période de conduction Ton de 10 ms forment un bon compromis entre la durée de vie du capteur, le temps de réponse du capteur (100 ms) et la dimension de l'ensemble capteur 46. Pour une période T de 100 ms, il faut un condensateur de quelques nanofarads pour le circuit 36. Cela signifie que le circuit 36 peut être monté dans un boîtier pour technologie de montage en surface, et peut donc avoir un ensemble intégré très petit.
Dans le premier ensemble capteur 46, la corrosion électrolytique se produit uniquement au contact d'alimentation couplé à l'électrode positive (Vcc) du générateur 34 de signaux d'alimentation, si bien que ce contact se corrode plus vite qu'un autre contact d'alimentation.
Un second mode de réalisation de l'invention résout ce problème par création d'un signal d'alimentation qui comporte des impulsions positives 58 et négatives 60 qui alternent comme indiqué sur la figure 9. Le changement en alternance de la polarité du signal d'alimentation assure une corrosion de l'un des contacts d'alimentation uniquement lorsque le capteur est polarisé positivement et de l'autre contact d'alimentation uniquement lorsque le capteur est polarisé négativement.
On se réfère aussi maintenant à la figure 10 un second ensemble capteur 62, dans un second mode de réalisation de l'invention, est analogue au premier ensemble capteur 46 du premier mode de réalisation, et les composants analogues portent les mêmes références numériques.
La structure à jauge dynamométrique du capteur 47 de pression est symétrique si bien que le signal de sortie du capteur est le même, que le premier contact 54 d'alimentation soit couplé à la masse ou à la tension Vcc et le second contact 56 d'alimentation soit couplé à la tension Vcc ou à la masse respectivement, pourvu que le signal de sortie soit détecté entre les broches Vs+ et Vs- et les broches Vs- et Vs+ respectivement.
Ainsi, le second ensemble capteur 62 comporte un premier interrupteur 64 destiné à commuter le premier contact 54 entre la masse et la tension Vcc de l'alimentation de tension de référence en fonction d'un signal de commande Scont (signal 61 de la figure 11) créé par le circuit d'horloge 48 et un second interrupteur 66 destiné à commuter le second contact 56 d'alimentation entre la tension Vcc et la masse de l'alimentation de tension de référence à la suite du signal de commande Scont (signal 63 de la figure 11) créé par le circuit d'horloge 48.
Les signaux de sortie Vs+ et Vs- du capteur 47 de pression sont couplés à un multiplexeur 68 qui est commandé par le même signal d'horloge CLK déjà utilisé pour le circuit échantillonneur-bloqueur 36. Les signaux de sortie du multiplexeur 68 sont couplés au circuit 36 par l'amplificateur 52. Le multiplexeur 68 assure le maintien à une tension analogique positive en permanence du signal d'entrée du circuit 36.
Lorsqu'il est polarisé positivement (lorsque le premier contact 54 est couplé à la masse et le second contact 56 à la tension Vcc), le multiplexeur couple le signal de sortie du capteur entre les sorties Vs+ et
Vs- au circuit 36 par l'intermédiaire de l'amplificateur 52. Lorsqu'il est polarisé négativement (lorsque le premier contact 54 est couplé à la tension
Vcc et le second contact 56 à la masse), le multiplexeur couple le signal de sortie du capteur entre les sorties Vs- et Vs+ du circuit 36 par l'intermédiaire de l'amplificateur 52.
Vs- au circuit 36 par l'intermédiaire de l'amplificateur 52. Lorsqu'il est polarisé négativement (lorsque le premier contact 54 est couplé à la tension
Vcc et le second contact 56 à la masse), le multiplexeur couple le signal de sortie du capteur entre les sorties Vs- et Vs+ du circuit 36 par l'intermédiaire de l'amplificateur 52.
Le second ensemble capteur 62 du second mode de réalisation de l'invention assure donc une corrosion du second contact 56 uniquement lorsque le capteur 47 est polarisé positivement et celle du premier contact 54 uniquement lorsque le capteur 47 est polarisé négativement. La durée de vie du capteur 47 du second ensemble capteur 62 (figure 10) est donc doublée par rapport à celle du capteur 47 du premier ensemble capteur 46 (figure 6).
Cependant, l'architecture du second ensemble capteur 62 du second mode de réalisation est plus complexe que celle du premier ensemble capteur 46 du premier mode de réalisation. Le multiplexeur analogique 68 doit avoir une très faible chute de tension différentielle et sa réalisation est coûteuse. Un autre ensemble capteur 72, selon le second mode de réalisation, et évitant l'utilisation d'un multiplexeur coûteux 68, est représenté sur la figure 13.
L'ensemble capteur 72 est analogue à l'ensemble 62, mais le multiplexeur 68 et l'amplificateur 52 sont remplacés par un premier et un second amplificateur 74 et 76. Les éléments analogues sont désignés par des références numériques identiques.
L'entrée de non-inversion du premier amplificateur 74 est couplée à la sortie Vs+ du capteur 47 et l'entrée d'inversion du premier amplificateur 74 est couplée à la sortie Vs- du capteur 47. L'entrée de non-inversion du second amplificateur 76 est couplée à la sortie Vs- du capteur 47 et l'entrée d'inversion du second amplificateur 76 est couplée à la sortie Vs+ du capteur 47. Les signaux de sortie du premier et du second amplificateur 74, 76 sont couplés au circuit échantillonneur-bloqueur 36. Le premier et le second amplificateur 74 et 76 sont commandés par le signal d'horloge CLK créé par le circuit d'horloge 48 si bien que, comme dans le cas du multiplexeur 68, le signal d'entrée du circuit 36 a toujours une tension analogique positive.
L'ensemble capteur 72 travaille de la même manière que le second ensemble capteur 62. Lorsqu'il est polarisé positivement (lorsque le premier contact 54 est couplé à la masse et le second contact 56 à la tension Vcc), le premier amplificateur 74 est polarisé et il couple le signal de sortie du capteur entre les bornes Vs+ et Vs- au circuit 36, et le second amplificateur 76 ne fonctionne pas. Lorsqu'il est polarisé négativement (lorsque le premier contact 54 est couplé à la tension Vcc et le second contact 56 à la masse), le second amplificateur 76 est polarisé et couple le signal de sortie du capteur entre les sorties
Vs- et Vs+ au circuit 36, et le premier amplificateur 74 ne fonctionne pas. L'ensemble capteur 72 du second mode de réalisation de l'invention assure donc une corrosion du second contact 56 uniquement lorsque le capteur 47 est polarisé positivement et celle du premier contact 54 uniquement lorsque le capteur 47 est polarisé négativement.
Vs- et Vs+ au circuit 36, et le premier amplificateur 74 ne fonctionne pas. L'ensemble capteur 72 du second mode de réalisation de l'invention assure donc une corrosion du second contact 56 uniquement lorsque le capteur 47 est polarisé positivement et celle du premier contact 54 uniquement lorsque le capteur 47 est polarisé négativement.
On se réfère maintenant à la figure 14 ; un troisième ensemble capteur, dans un troisième mode de réalisation de l'invention, évite l'utilisation d'un multiplexeur 68 et des premier et second amplificateurs 74, 76 par création d'un signal 78 d'alimentation, tel que représenté sur la figure 15, qui comprend une impulsion négative après une impulsion positive, avec mesure du signal de sortie du capteur uniquement pendant une impulsion positive. Les composants analogues à ceux des ensembles capteurs 46, 62, 72 portent les mêmes références numériques.
Le signal 78 d'alimentation est créé à l'aide du premier et du second interrupteur 64, 66 et en fonction du signal de commande Scont (signaux 80 et 82 respectivement de la figure 16) créé par le circuit d'horloge 48. Le signal d'horloge CLK (voir figure 17) créé par le circuit d'horloge 48 assure l'échantillonnage du signal de sortie du capteur par le circuit 36 uniquement au cours d'une impulsion positive.
La figure 15 représente une impulsion négative juste après une impulsion positive. Le principe du troisième mode de réalisation peut s'appliquer également à un signal d'alimentation tel qu'indiqué sur la figure 9, mais dans lequel le signal de sortie du capteur est mesuré uniquement au cours des impulsions positives du signal d'alimentation. En outre, l'ensemble capteur selon la présente invention peut être tel qu'une impulsion négative se produit à un moment quelconque entre deux impulsions positives.
Le procédé de polarisation du capteur selon le troisième mode de réalisation (figure 14) est déterminé expérimentalement afin qu'il accroisse la durée de vie du capteur 47 par rapport au procédé du premier mode de réalisation (figure 3). Une explication de comportement peut être le fait que les agents chimiques provenant de la solution aqueuse et provoquant une corrosion électrolytique ne pénètrent pas dans la plage de connexion d'aluminium, mais sont très proches de la surface car l'impulsion positive est très courte, et ces agents sont alors retirés de la plage de connexion d'aluminium lors de l'impulsion négative, si bien que toute corrosion électrolytique est interrompue radicalement.
En résumé, la présente invention provoque la création et l'application d'un signal d'alimentation comprenant des impulsions afin que le capteur ne soit polarisé que pendant une période prédéterminée au cours de laquelle le signal de sortie du capteur peut être mesuré. Comme le capteur n'est pas polarisé en permanence, la corrosion électrolytique des contacts d'alimentation est considérablement réduite, si bien que la durée de vie du capteur est accrue.
La présente invention utilise un circuit simple pour la création du signal d'alimentation, et elle peut donc être mise en oeuvre de manière beaucoup plus simple et moins coûteuse que les solutions des ensembles connus décrits précédemment.
On peut utiliser l'ensemble capteur selon la présente invention comme capteur de pression à n'importe quelle pression.
Le capteur et le circuit supplémentaire peuvent être réalisés sur une seule pastille ou sous forme d'un module.
Grâce à l'utilisation d'un circuit échantillonneur-bloqueur commandé par des impulsions d'horloge, le procédé de polarisation par impulsions de la présente invention peut être transparent pour l'utilisateur de l'ensemble capteur.
Le principe de la présente invention s'applique à tout capteur ayant des contacts d'alimentation exposés à des fluides aqueux, par exemple aux capteurs de pression utilisés dans les cuiseurs, aux capteurs chimiques qui sont utilisés pour la détection de certains produits chimiques en solution, aux capteurs de température et aux capteurs d'humidité.
Dans le domaine des capteurs de produits chimiques qui comportent une couche sensible et un organe de chauffage de la couche sensible, le principe de l'application d'un signal pulsé d'alimentation à la couche sensible selon l'invention peut aussi être mis en oeuvre, mais dans un autre but, c'est-à-dire pour limiter la dérive de la couche sensible qui peut se produire lorsque la couche sensible est sous tension.
Grâce à la polarisation de la couche sensible uniquement lorsque des mesures sont exécutées ou par la polarisation de la couche sensible avec des impulsions positives et négatives qui alternent, on peut obtenir une réduction de la dérive de la résistance de la couche sensible.
Bien entendu, diverses modifications peuvent être apportées par l'homme de l'art aux ensembles et procédés qui viennent d'être décrits uniquement à titre d'exemple non limitatif sans sortir du cadre de l'invention.
Claims (26)
1. Ensemble capteur, caractérisé en ce qu'il comprend un capteur (47) ayant des contacts (54, 56) d'alimentation, et un générateur (34) destiné à créer un signal d'alimentation qui comporte des impulsions et à appliquer ce signal pulsé d'alimentation aux contacts (54, 56) d'alimentation de manière que, pendant l'utilisation, le capteur (47) soit polarisé périodiquement pendant une période prédéterminée, et qu'un signal de sortie du capteur (47) soit mesuré pendant certaines au moins des périodes prédéterminées.
2. Ensemble capteur selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend un circuit échantillonneur-bloqueur (36) couplé à une sortie du capteur (47), destiné à recevoir le signal de sortie du capteur (47) et ayant une entrée d'horloge destinée à recevoir un signal d'horloge créé par le générateur (34) du signal d'alimentation, le signal étant synchronisé sur le signal pulsé d'alimentation, le circuit échantillonneur-bloqueur (36), sous la commande du signal d'horloge, assurant l'échantillonnage du signal de sortie du capteur (47) pendant certaines au moins des périodes prédéterminées et transmettant un signal échantillonné de sortie qui est représentatif d'un paramètre détecté par le capteur (47).
3. Ensemble capteur selon la revendication 2, caractérisé en ce que le générateur (34) du signal d'alimentation comporte un circuit d'horloge (48) destiné à créer le signal d'horloge et un signal de commande synchronisé sur le signal d'horloge, et une alimentation de tension de référence couplée aux contacts (54, 56) d'alimentation du capteur (47) et destinée à transmettre périodiquement le signal d'alimentation aux contacts (54, 56) d'alimentation en fonction du signal de commande.
4. Ensemble capteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que le générateur (34) du signal d'alimentation comporte en outre un interrupteur (64, 66) couplé entre l'un des contacts (54, 56) d'alimentation et une première borne de tension de référence de l'alimentation de tension de référence, l'état de l'interrupteur (64, 66) étant commandé par le signal de commande de façon que le signal d'alimentation comprenne plusieurs impulsions, chacune des impulsions ayant la même amplitude et la même polarité et durant pendant la même période prédéterminée.
5. Ensemble capteur selon la revendication 3, caractérisé en ce que le générateur (34) du signal d'alimentation comporte en outre un premier interrupteur (64) couplé à un premier contact (54) d'alimentation, afin qu'il couple le premier contact (54) d'alimentation à une première ou une seconde borne de tension de référence de l'alimentation de tension de référence sous la commande du signal de commande, et un second interrupteur (66) couplé à un second contact (56) d'alimentation et destiné à coupler le second contact (56) d'alimentation à la seconde ou à la première borne de tension de référence, respectivement, de l'alimentation de tension de référence en fonction du signal de commande, de façon que le signal d'alimentation comprenne plusieurs impulsions positives et négatives, chacune des impulsions positives et négatives ayant une durée égale à la période prédéterminée et ayant une même amplitude.
6. Ensemble capteur selon la revendication 5, caractérisé en ce que le signal d'horloge est synchronisé sur les impulsions positives uniquement de façon que le signal de sortie du capteur (47) soit mesuré pendant les impulsions positives uniquement.
7. Ensemble capteur selon la revendication 5, caractérisé en ce que le signal d'horloge est synchronisé sur les impulsions positives et négatives de manière que le signal de sortie du capteur (47) soit mesuré pendant les impulsions positives et négatives, et l'ensemble capteur (46, 62, 72) comporte en outre un multiplexeur couplé entre le capteur (47) et le circuit échantillonneur-bloqueur (36), le multiplexeur étant commandé par le signal d'horloge.
8. Ensemble capteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le générateur (34) d'un signal d'alimentation fait partie d'une unité centrale à microprocesseur.
9. Ensemble capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le signal d'alimentation a un rapport cyclique faible et comprend plusieurs impulsions, chaque impulsion ayant une même polarité et une même amplitude et durant pendant la même période prédéterminée.
10. Ensemble capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que le signal d'alimentation a un rapport cyclique faible et comprend plusieurs impulsions positives et négatives, chacune des impulsions positives et négatives ayant une durée égale à la période prédéterminée et ayant une même amplitude.
11. Ensemble capteur selon l'une des revendications 1 et 2, caractérisé en ce que le signal d'alimentation a un rapport cyclique faible et comprend plusieurs impulsions positives et négatives qui alternent, chacune des impulsions positives et négatives ayant la durée prédéterminée et une même amplitude.
12. Ensemble capteur selon la revendication 10, caractérisé en ce qu'une impulsion négative suit directement une impulsion positive.
13. Ensemble capteur selon la revendication 11 ou 12, caractérisé en ce que le signal d'horloge est synchronisé uniquement sur les impulsions positives, si bien que le signal de sortie du capteur (47) est mesuré pendant les impulsions positives uniquement.
14. Ensemble capteur, selon la revendication 11 ou 12, caractérisé en ce que le signal d'horloge est synchronisé sur les impulsions positives et négatives afin que le signal de sortie du capteur (47) soit mesuré pendant les impulsions positives et négatives.
15. Ensemble capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que la période prédéterminée est inférieure à une période après laquelle une corrosion notable des contacts (54, 56) d'alimentation commence.
16. Ensemble capteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 15, caractérisé en ce que le capteur comprend un capteur chimique ayant une couche sensible destinée à la détection de produits chimiques prédéterminés, les contacts (54, 56) d'alimentation étant couplés à la couche sensible pour la fourniture du signal d'alimentation à celle-ci, et, pendant l'utilisation, un signal appliqué à la couche sensible forme le signal de sortie du capteur.
17. Procédé de polarisation d'un capteur ayant des contacts (54, 56) d'alimentation, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes
la création d'un signal d'alimentation comprenant des impulsions,
l'application du signal pulsé d'alimentation aux contacts (54, 56) d'alimentation afin que le capteur (47) soit polarisé périodiquement pendant une période prédéterminée, et
la mesure d'un signal de sortie du capteur (47) pendant certaines au moins des périodes prédéterminées.
18. Procédé selon la revendication 17, caractérisé en ce que l'étape de mesure comprend les étapes suivantes
la création d'un signal d'horloge synchronisé sur le signal pulsé d'alimentation,
l'échantillonnage du signal de sortie du capteur (47) en réponse au signal d'horloge pendant certaines au moins des périodes prédéterminées, et
la fourniture d'un signal échantillonné de sortie représentatif d'un paramètre détecté par le capteur (47).
19. Procédé de polarisation d'un capteur selon l'une des revendications 17 et 18, caractérisé en ce que le signal d'alimentation a un rapport cyclique faible et comprend plusieurs impulsions, chaque impulsion ayant une même polarité et une même amplitude et durant pendant la même période prédéterminée.
20. Procédé de polarisation d'un capteur selon l'une des revendications 17 et 18, caractérisé en ce que le signal d'alimentation a un rapport cyclique faible et comprend plusieurs impulsions positives et négatives, chacune des impulsions positives et négatives ayant une durée égale à la période prédéterminée et ayant une même amplitude.
21. Procédé de polarisation de capteur selon la revendication 18, caractérisé en ce que le signal d'alimentation a un rapport cyclique faible et comprend plusieurs impulsions positives et négatives qui alternent, chacune des impulsions positives et négatives ayant la durée prédéterminée et une même amplitude.
22. Procédé de polarisation de capteur selon la revendication 20, caractérisé en ce qu'une impulsion négative suit directement une impulsion positive.
23. Procédé de polarisation de capteur selon l'une des revendications 21 et 22, caractérisé en ce que le signal d'horloge est synchronisé uniquement sur les impulsions positives, si bien que le signal de sortie du capteur (47) est mesuré pendant les impulsions positives uniquement.
24. Procédé de polarisation de capteur selon l'une des revendications 21 et 22, caractérisé en ce que le signal d'horloge est synchronisé sur les impulsions positives et négatives afin que le signal de sortie du capteur (47) soit mesuré pendant les impulsions positives et négatives.
25. Procédé de polarisation de capteur selon l'une quelconque des revendications 17 à 24, caractérisé en ce que la période prédéterminée est inférieure à une période après laquelle une corrosion notable des contacts (54, 56) d'alimentation commence.
26 Procédé de polarisation de capteur selon l'une quelconque des revendications précédentes, caractérisé en ce que le capteur comprend un capteur chimique ayant une couche sensible destinée à la détection de produits chimiques prédéterminés, les contacts (54, 56) d'alimentation étant couplés à la couche sensible pour la fourniture du signal d'alimentation à celle-ci, et, pendant l'utilisation, un signal appliqué à la couche sensible forme le signal de sortie du capteur.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9616280A FR2757942A1 (fr) | 1996-12-31 | 1996-12-31 | Ensemble capteur et procede de polarisation d'un capteur travaillant en presence d'humidite |
| PCT/EP1997/007291 WO1998029711A1 (fr) | 1996-12-31 | 1997-12-22 | Systeme de capteur et procede de polarisation d'un capteur |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR9616280A FR2757942A1 (fr) | 1996-12-31 | 1996-12-31 | Ensemble capteur et procede de polarisation d'un capteur travaillant en presence d'humidite |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2757942A1 true FR2757942A1 (fr) | 1998-07-03 |
Family
ID=9499356
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR9616280A Pending FR2757942A1 (fr) | 1996-12-31 | 1996-12-31 | Ensemble capteur et procede de polarisation d'un capteur travaillant en presence d'humidite |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| FR (1) | FR2757942A1 (fr) |
| WO (1) | WO1998029711A1 (fr) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000058692A1 (fr) * | 1999-03-29 | 2000-10-05 | Honeywell Inc. | Systeme de mesure utilisant un capteur forme sur une structure silicium sur isolant |
| EP1128164A1 (fr) * | 2000-02-24 | 2001-08-29 | Endevco Corporation | Appareil et méthode pour détecter la présence d'un capteur |
| EP1785709A2 (fr) | 2005-11-10 | 2007-05-16 | Honeywell International Inc. | Methode et système d'alimentation d'un capteur de température et de pression |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10122912A1 (de) * | 2001-05-11 | 2002-11-21 | Infineon Technologies Ag | Vorrichtung und Verfahren zum Erzeugen einer vorbestimmten Positionsbeziehung zweier zueinander beweglicher Elektroden |
| US7900521B2 (en) | 2009-02-10 | 2011-03-08 | Freescale Semiconductor, Inc. | Exposed pad backside pressure sensor package |
| US11051554B2 (en) | 2014-11-12 | 2021-07-06 | Rai Strategic Holdings, Inc. | MEMS-based sensor for an aerosol delivery device |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4782699A (en) * | 1986-11-17 | 1988-11-08 | General Motors Corporation | Pulsed fuel level indicating system |
| US4872349A (en) * | 1986-10-31 | 1989-10-10 | General Electric Company | Microcomputerized force transducer |
| EP0590292A2 (fr) * | 1992-10-01 | 1994-04-06 | Motorola, Inc. | Circuit à interrogation par impulsions pour un capteur de pression et sa méthode d'utilisation |
| DE4417228A1 (de) * | 1994-05-17 | 1995-11-23 | Michael Dr Altwein | Dehnungsmeßstreifen-Meßanordnung, Verwendung derselben und Modulationsverstärker für derartige Meßanordnungen |
-
1996
- 1996-12-31 FR FR9616280A patent/FR2757942A1/fr active Pending
-
1997
- 1997-12-22 WO PCT/EP1997/007291 patent/WO1998029711A1/fr active Application Filing
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4872349A (en) * | 1986-10-31 | 1989-10-10 | General Electric Company | Microcomputerized force transducer |
| US4782699A (en) * | 1986-11-17 | 1988-11-08 | General Motors Corporation | Pulsed fuel level indicating system |
| EP0590292A2 (fr) * | 1992-10-01 | 1994-04-06 | Motorola, Inc. | Circuit à interrogation par impulsions pour un capteur de pression et sa méthode d'utilisation |
| DE4417228A1 (de) * | 1994-05-17 | 1995-11-23 | Michael Dr Altwein | Dehnungsmeßstreifen-Meßanordnung, Verwendung derselben und Modulationsverstärker für derartige Meßanordnungen |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000058692A1 (fr) * | 1999-03-29 | 2000-10-05 | Honeywell Inc. | Systeme de mesure utilisant un capteur forme sur une structure silicium sur isolant |
| EP1128164A1 (fr) * | 2000-02-24 | 2001-08-29 | Endevco Corporation | Appareil et méthode pour détecter la présence d'un capteur |
| EP1785709A2 (fr) | 2005-11-10 | 2007-05-16 | Honeywell International Inc. | Methode et système d'alimentation d'un capteur de température et de pression |
| EP1785709A3 (fr) * | 2005-11-10 | 2008-07-02 | Honeywell International Inc. | Methode et système d'alimentation d'un capteur de température et de pression |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1998029711A1 (fr) | 1998-07-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1779087B1 (fr) | Cellule de mesure de piezorheometre et piezorheometre correspondant | |
| EP2756278B1 (fr) | Capteur de pression piezoelectrique | |
| CH649173A5 (fr) | Dispositif semi-conducteur sensible aux ions. | |
| FR2690527A1 (fr) | Capteur destiné à détecter l'humidité du sol. | |
| EP2419721A1 (fr) | Capteur electrochimique amperometrique et son procede de fabrication | |
| FR2764113A1 (fr) | Dispositif capteur et son procede de fabrication | |
| FR2817341A1 (fr) | Capteur de pression comportant une plaquette a semiconducteurs | |
| FR2731274A1 (fr) | Detecteur destine a detecter une pression a semi-conducteur | |
| EP2856135B1 (fr) | Capteur isfet avec dispositif de controle integre | |
| FR2964193A1 (fr) | Procede de mesure d'une energie d'adhesion, et substrats associes | |
| FR2757942A1 (fr) | Ensemble capteur et procede de polarisation d'un capteur travaillant en presence d'humidite | |
| FR3072773A1 (fr) | Capteur de couple pour element en rotation utilisant un couplage mecanique a friction | |
| FR2894336A1 (fr) | Element de detection d'etat de liquide et capteur de detection d'etat de liquide | |
| EP2343543A1 (fr) | Capteur biologique à mesure électrochimique et/ou électrique et à électrode de diamant et circuit électronique intégrés | |
| EP2923385B1 (fr) | Méthode et installation de contrôle de la pression interne d'un module photovoltaïque | |
| FR2969750A1 (fr) | Gyroscope vibrant et procede de fabrication | |
| FR2646525A1 (fr) | Appareil de commutation a commande photonique | |
| CH697478B1 (fr) | Système d'électrodes pour capteur électrochimique et procédé de détermination du PH d'une eau chlorée. | |
| FR2950692A1 (fr) | Dispositif de capteur et procede de fabrication d'un tel dispositif de capteur | |
| EP3234535A1 (fr) | Capteur de pression adapte aux mesures de pression en milieu agressif | |
| FR2902575A1 (fr) | Appareil de caracterisation optique du dopage d'un substrat | |
| WO2009133301A2 (fr) | Dispositif et procede de detection d'elements en milieu fluidique | |
| FR3111236A1 (fr) | Dispositif électronique pour capture ou émission d’une grandeur physique et procédé de fabrication | |
| WO1994029711A1 (fr) | Capteur de type isfet dont le substrat est isole electriquement | |
| WO2020234404A1 (fr) | Dispositif d'emission et de controle d'une lumiere infra-rouge et capteur de gaz utilisant un tel dispositif |