FR2620239A1 - OPTICAL SYSTEM FOR RADIATION SENSOR - Google Patents
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Abstract
Un système optique 18 pour capteur de rayonnement infrarouge est réalisé à partir de matière semi-conductrice cristalline avec une section en forme de calotte ou d'arc et il est inséré dans un anneau de monture 46 du boîtier en laissant un intervalle annulaire périphérique 47 qui reçoit un anneau 48 en poudre frittée pour la soudure du verre. La fusion de cet anneau fritté pour la soudure du verre 48 entraîne, après le refroidissement, une jonction hermétique entre la périphérie 45 du système optique et l'anneau de monture 46 du boîtier, pour lequel on choisit, de préférence, un alliage fer-nickel, pour des raisons de commodité d'usinage.An optical system 18 for infrared radiation sensor is made from crystalline semiconductor material with a cap or arc-shaped section and is inserted into a mounting ring 46 of the housing leaving a peripheral annular gap 47 which receives a ring 48 in sintered powder for soldering the glass. The melting of this sintered ring for soldering the glass 48 causes, after cooling, a hermetic junction between the periphery 45 of the optical system and the mounting ring 46 of the housing, for which an iron alloy is preferably chosen. nickel, for the convenience of machining.
Description
SYSTEME OPTIQUE POUR CAPTEUR DE RAYONNEMENTOPTICAL SYSTEM FOR RADIATION SENSOR
La présente invention concerne un système optique pour un capteur de rayonnement, en particulier pour un capteur de rayonnement infrarouge, avec fixation d'au moins un corps de lentille au boîtier du capteur. Un tel système optique pour capteurs destiné à la détection de cibles sur la base du rayonnement The present invention relates to an optical system for a radiation sensor, in particular for an infrared radiation sensor, with attachment of at least one lens body to the sensor housing. Such an optical system for sensors intended for the detection of targets on the basis of radiation
infrarouge, est connu par le brevet allemand 33 26 876. infrared, is known from German patent 33 26 876.
A la. différence de l'exemple de réalisation qui y est représenté sur le dessin, le capteur peut aussi comporter un boîtier en forme de cylindre creux qui peut être rabattu autour d'un axe de pivotement parallèle à l'axe de la munition de l'intérieure de To the. Unlike the embodiment shown there in the drawing, the sensor can also include a hollow cylinder-shaped housing which can be folded down around a pivot axis parallel to the axis of the munition from the inside. of
celle-ci dans une position active, vers l'extérieur. this in an active position, outwards.
Selon les conditions de place existantes, on peut aussi prévoir, en outre, de monter le capteur coaxialement, donc de monter l'élément détecteur sans déviation du faisceau dans le boîtier cylindrique creux du capteur axialement après le système optique à lentilles inséré dans l'ouverture. Cela donne, avec une structure plus compacte, des possibilités d'ajustement plus simples en ce qui concerne la géométrie optique souhaitée et permet globalement de réaliser le capteur de façon qu'il puisse subir des contraintes plus fortes, donc qu'il soit plus résistant au tir. Cependant, la fermeture hermétique de l'intérieur du boîtier du capteur du côté de l'ouverture pourvue du système optique à lentilles peut poser des problèmes. En effet, l'assemblage en un capteur complet de modules séparés, fabriqués en étant encapsulés hermétiquement, est très complexe. Après le montage du détecteur et du circuit hybride, ainsi qu'après le contrôle de leur fonctionnement, on peut certes effectuer une fermeture sûre du boîtier cylindrique creux du capteur vers l'arrière en soudant hermétiquement un couvercle, mais il reste la fermeture fonctionnellement critique du boîtier du capteur au raccordement entre le corps de la Depending on the existing space conditions, provision may also be made, in addition, to mount the sensor coaxially, therefore to mount the detector element without deflecting the beam in the hollow cylindrical housing of the sensor axially after the optical system with lenses inserted in the opening. This gives, with a more compact structure, simpler adjustment possibilities with regard to the desired optical geometry and generally makes it possible to produce the sensor so that it can be subjected to greater stresses, therefore that it is more resistant. shooting. However, sealing the interior of the sensor housing on the side of the aperture with the optical lens system can cause problems. Indeed, the assembly into a complete sensor of separate modules, manufactured by being hermetically encapsulated, is very complex. After mounting the detector and the hybrid circuit, as well as after checking their operation, it is certainly possible to securely close the hollow cylindrical housing of the sensor towards the rear by hermetically sealing a cover, but the functionally critical closure remains from the sensor housing to the connection between the body of the
lentille et la paroi du boîtier.lens and housing wall.
Des tentatives de collage radial du corps de lentille avec la paroi du boîtier au moyen de résine epoxy, comme c'est connu en soi en optique industrielle pour coller un composant optique à une monture, ont échoué, du fait que de telles Jonctions ne se sont pas avérées étanches au vide; elles dégagent du gaz, ce qui est préjudiciable au fonctionnement des composants à semi-conducteurs contenus dans le capteur, et elles sont hygroscopiques, ce qui peut entraîner des perturbations de fonctionnement électriques en raison de la corrosion des pistes conductrices. L'encastrement radial avec des Joints toriques ne s'est pas avéré, non plus, hermétique, du fait qu'en cas de fortes accélérations axiales, il se produit de fortes déformations de ces Joints annulaires, ce qui peut Attempts to radially bond the lens body with the housing wall using epoxy resin, as is known per se in industrial optics for bonding an optical component to a frame, have failed, since such junctions do not have not been found to be vacuum-tight; they give off gas, which is detrimental to the operation of the semiconductor components contained in the sensor, and they are hygroscopic, which can cause disturbances in electrical operation due to corrosion of the conductive tracks. Radial embedding with O-rings has not been shown to be airtight either, since in the event of strong axial accelerations, large deformations of these annular seals occur, which can
entraîner une destruction du système optique. destroy the optical system.
Compte tenu de ces faits, l'invention a pour objet de concevoir un système optique du type indiqué de façon qu'ils satisfasse à des exigences mécaniques supérieures du point de vue de l'herméticité et de la In view of these facts, the object of the invention is to design an optical system of the type indicated so that they satisfy higher mechanical requirements from the point of view of airtightness and
qualité optique.optical quality.
Pour atteindre cet objectif, selon l'invention, un système optique à lentilles de section en arc en matière semi-conductrice cristalline est encastré dans un anneau de monture en métal du boîtier avec interposition d'un anneau en poudre fritté pour la To achieve this objective, according to the invention, an optical system with arc section lenses made of crystalline semiconductor material is embedded in a metal mounting ring of the housing with the interposition of a sintered powder ring for the
soudure du verre.glass welding.
Selon cette solution, on peut admettre un intervalle annulaire relativement grand entre la périphérie de la lentille et l'anneau de monture, intervalle qui loge un anneau fritté, facile à manipuler, constitué par la matière de soudure du verre pulvérulente en soi, que l'on fond alors, après positionnement du système optique à lentilles à l'intérieur du boîtier du capteur. On obtient par le refroidissement une Jonction hermétique entre le corps de lentille et l'anneau de monture étanche aux gaz, dépourvue de molécules d'eau et pouvant subir des According to this solution, it is possible to admit a relatively large annular interval between the periphery of the lens and the frame ring, an interval which houses a sintered ring, easy to handle, constituted by the solder material of the pulverulent glass per se, that the '' then melts, after positioning the optical lens system inside the sensor housing. By cooling, a hermetic junction is obtained between the lens body and the gas-tight frame ring, devoid of water molecules and capable of undergoing
contraintes mécaniques élevées.high mechanical stresses.
Comme choix de matière pour l'anneau de monture (ou pour le boîtier du capteur dans son ensemble, lorsque celui-ci est réalisé en une seule pièce>, un alliage fer-nickel satisfait aux exigences de concordance du gradient de température entre le corps de lentille cristallin et la monture métallique, bien que la courbe de température sur l'intervalle étendu entre la température de fusion de l'anneau fritté de matière de soudure du verre et la température de stockage environnante présente cependant des écarts considérables entre les deux. Il s'est cependant avéré de façon surprenante que, dans le cas d'une géométrie de section convexe, en forme de calotte, du corps du système optique à lentilles appuyé le long de sa périphérie, celui-ci accepte sans destruction les tensions résiduelles encore présentes après un traitement de refroidissement, qui doivent être attribuées en particulier à des différences des courbes de température; de plus malgré les deux surfaces de corps de lentille bombées différemment nécessaires en raison de l'optique géométrique des lentilles convergentes, il n'y a pratiquement plus non plus après le refroidissement de l'anneau de matière de soudure fondu, de défauts optiques, ce qui peut être dû au fait que les déformations d'un côté de la lentille sont très largement compensées, du point de vue de l'optique géométrique, par des déformations à la surface de As a choice of material for the mounting ring (or for the sensor housing as a whole, when the latter is made in one piece>, an iron-nickel alloy meets the requirements for agreement of the temperature gradient between the body lens crystal and the metal frame, although the temperature curve over the extended interval between the melting temperature of the sintered ring of glass solder material and the surrounding storage temperature, however, exhibits considerable differences between the two. However, it has surprisingly turned out that, in the case of a convex cross-sectional geometry, in the shape of a cap, of the body of the optical system with lenses pressed along its periphery, it accepts the residual tensions without destruction. still present after a cooling treatment, which must be attributed in particular to differences in temperature curves; further despite the two domed lens body surfaces s differently necessary due to the geometrical optics of the converging lenses, there are practically no more after cooling of the ring of molten solder material, optical defects, which may be due to the fact that the deformations on one side of the lens are very largely compensated, from the point of view of geometric optics, by deformations on the surface of
lentille opposée.opposite lens.
D'autres variantes, développements, caractéristiques et avantages de l'invention Other variants, developments, characteristics and advantages of the invention
ressortiront de la description détaillée qui va suivre, will emerge from the detailed description which follows,
d'un exemple de réalisation représenté sur le dessin annexé, se limitant à l'essentiel, et non & l'échelle, dont la figure unique représente en coupe axiale longitudinale le' montage d'une lentille convergente dans l'ouverture du boîtier d'un capteur de rayonnement. Le capteur de rayonnement 11 représenté comporte un détecteur 12 pour capter de l'énergie rayonnée 10 dans le domaine infrarouge du spectre des ondes électromagnétiques. Le détecteur 12 comporte au moins un élément détecteur 13 <réalisé sous la forme d'un détecteur à semi-conducteurs ou d'un détecteur pyrométrique) qui of an exemplary embodiment shown in the accompanying drawing, limited to the essentials, and not to the scale, the single figure of which represents in longitudinal axial section the mounting of a converging lens in the opening of the housing 'a radiation sensor. The radiation sensor 11 represented comprises a detector 12 for capturing radiated energy 10 in the infrared range of the spectrum of electromagnetic waves. The detector 12 comprises at least one detector element 13 <produced in the form of a semiconductor detector or a pyrometric detector) which
est enfermé hermétiquement dans un boîtier 15. is sealed in a housing 15.
L'élément détecteur 13 reçoit l'énergie rayonnée 10 à travers une fenêtre de détection 16 par l'intermédiaire d'une ouverture de capteur 17 qui comporte un système optique & lentilles 18 monté dans le boitier 19 du capteur, pour transformer l'énergie rayonnée 10 en signaux électriques. Pour cela, on prévoit dans un boîtier 21 qui est relié hermétiquement au boîtier 15 du détecteur, un montage hybride raccordé électriquement à l'élément détecteur 13, comme on l'a décrit en détail dans la demande allemande 36 36 422 The detector element 13 receives the radiated energy 10 through a detection window 16 via a sensor opening 17 which includes an optical system & lenses 18 mounted in the housing 19 of the sensor, to transform the energy radiated 10 into electrical signals. For this, there is provided in a housing 21 which is hermetically connected to the housing 15 of the detector, a hybrid assembly electrically connected to the detector element 13, as described in detail in German application 36 36 422
du 25/10/1986.dated 25/10/1986.
La cavité intérieure 41 du boîtier 19 du capteur est remplie d'un gaz de protection enfermé hermétiquement. L'inclusion a lieu d'une part par l'insertion du boîtier 21 du circuit hybride sous un couvercle de boîtier 42 et, d'autre part, par l'encastrement du système optique à lentilles 18 dans l'ouverture 17. Lorsqu'en particulier le capteur 11 The interior cavity 41 of the housing 19 of the sensor is filled with a hermetically sealed protective gas. The inclusion takes place on the one hand by the insertion of the housing 21 of the hybrid circuit under a housing cover 42 and, on the other hand, by the embedding of the optical lens system 18 in the opening 17. When in particular the sensor 11
fait partie d'une fusée chercheuse pour une (sous)- is part of a research rocket for a (under) -
munition pouvant être tirée à partir d'armes à tube, la monture du système optique doit pouvoir accepter les forces d'accélération élevées se présentant lors du tir et garantir encore, même après, le positionnement géométrique exact du système optique à lentilles 18 et ammunition which can be fired from tube weapons, the mount of the optical system must be able to accept the high acceleration forces occurring during firing and still guarantee, even afterwards, the exact geometric positioning of the optical system with lenses 18 and
la fermeture hermétique de la cavité intérieure 41. hermetically closing the interior cavity 41.
Pour cela, le système optique à lentilles 18, comprenant au moins une lentille convergente, a une section globalement bombée (donc présente une surface For this, the optical lens system 18, comprising at least one converging lens, has a generally curved section (therefore has a surface
extérieure convexe et une surface extérieure concave). convex outer surface and a concave outer surface).
Une zone marginale 43 du système optique à lentilles 18 est disposée coaxialement A l'intérieur du boîtier cylindrique creux 19 du capteur, c'est-à-dire appuyée axialement contre un épaulement d'appui 44. Il reste ainsi entre la périphérie 45 du corps du système optique à lentilles et la surface latérale intérieure de la partie du boîtier 19 du capteur constituant un anneau de monture 46, une fente annulaire périphérique 47 dans laquelle est inséré un anneau de matière frittée 48 constitué par de la poudre de soudure pour verre telle qu'on en trouve couramment dans le commerce, par exemple sous la forme de borosilicate A marginal zone 43 of the optical lens system 18 is arranged coaxially inside the hollow cylindrical housing 19 of the sensor, that is to say pressed axially against a support shoulder 44. It thus remains between the periphery 45 of the body of the optical lens system and the inner lateral surface of the part of the housing 19 of the sensor constituting a mounting ring 46, a peripheral annular slot 47 into which is inserted a ring of sintered material 48 consisting of glass welding powder as commonly found in commerce, for example in the form of borosilicate
chez la société Firma Schott Glaswerke). at Firma Schott Glaswerke).
De préférence, le centrage du système optique à lentilles 18 n'est pas effectué au moyen de cet anneau de matière frittée 48, mais sur des surfaces inclinées tronconiquement des épaulements d'appui 44 de la monture et de la zone marginale 43 de la lentille, de sorte que l'anneau de matière de soudure de verre 48 peut être inséré avec un ajustement à léger jeu. On peut fritter l'anneau de matière de soudure 48 sans problèmes à une épaisseur de paroi constante, ce qui garantit une épaisseur de couche de soudure uniforme pour la Jonction de la périphérie 25 de la lentille avec l'anneau de monture 46 par l'intermédiaire de la fente annulaire 48, lorsque l'on fait fondre l'anneau Preferably, the centering of the lens optical system 18 is not carried out by means of this ring of sintered material 48, but on frustoconically inclined surfaces of the support shoulders 44 of the frame and of the marginal zone 43 of the lens , so that the glass solder ring 48 can be inserted with a slight play fit. The solder ring 48 can be sintered without problems at a constant wall thickness, which guarantees a thickness of uniform solder layer for the junction of the periphery 25 of the lens with the mounting ring 46 via the annular slot 48, when the ring is melted
de matière frittée 48 après l'insertion. of sintered material 48 after insertion.
Le corps du système optique à lentilles 18 est constitué par une matière transparente pour le domaine spectral intéressant, dans le cas d'énergie rayonnée infrarouge 10, une matière semiconductrice monocristalline ou polycristalline telle que du silicium ou du germanium. Le boîtier 19 du capteur ou, dans le cas d'un boîtier 19 divisé, au moins sa partie servant d'anneau de monture 46, doit présenter sur l'intervalle de température étendu entre la température de fusion de l'anneau de matière frittée de soudure de verre 48 (de l'ordre de +700'C) et la température environnante la plus basse admissible du capteur [11 (de l'ordre de -40'C) ], une concordance'du coefficient de dilatation thermique avec la matière du système, optique à lentilles 18, donc en particulier avec le silicium. Des métaux comme le tungstène ou le molybdène constituent donc une matière particulièrement appropriée pour l'anneau de monture 46. En fait, elles ne conviennent pas particulièrement pour la fabrication en série, du fait qu'elles sont d'une manipulation difficile, par exemple elles se soudent mal avec d'autres composants ou éléments du boîtier 19 du capteur (comme par exemple un socle de détecteur 49 produit séparément). Un alliage fer-nickel, tel que par exemple celui qui est commercialisé sous la dénomination de "Vacon 10" par la société Vakuumschemelze, représente un compromis particulièrement bon entre les conditions imposées aux courbes de température et les conditions imposées à la fabrication. On peut souder sans problèmes cette matière avec de l'acier machine courant à partir duquel on peut fabriquer au tour le socle de détecteur 49, comme on l'a représenté schématiquement dans le schéma de principe du dessin par le cordon de soudure The body of the lens optical system 18 consists of a material transparent for the spectral range of interest, in the case of infrared radiated energy 10, a monocrystalline or polycrystalline semiconductor material such as silicon or germanium. The housing 19 of the sensor or, in the case of a divided housing 19, at least its part serving as a mounting ring 46, must have over the extended temperature range between the melting temperature of the ring of sintered material of glass welding 48 (of the order of + 700 ° C.) and the lowest permissible surrounding temperature of the sensor [11 (of the order of -40 ° C.)], a concordance of the coefficient of thermal expansion with the material of the system, lens optics 18, therefore in particular with silicon. Metals such as tungsten or molybdenum are therefore a particularly suitable material for the mounting ring 46. In fact, they are not particularly suitable for mass production, because they are difficult to handle, for example they are poorly welded with other components or elements of the sensor housing 19 (such as for example a detector base 49 produced separately). An iron-nickel alloy, such as for example that which is marketed under the name of "Vacon 10" by the company Vakuumschemelze, represents a particularly good compromise between the conditions imposed on the temperature curves and the conditions imposed on manufacturing. This material can be welded without problems with common machine steel from which the detector base 49 can be manufactured in turn, as shown schematically in the schematic diagram of the drawing by the weld bead
périphérique 50 d'un boitier de capteur 19 divisé. peripheral 50 of a divided sensor unit 19.
Cette matière fer-nickel ne présente certes pas forcément sur un domaine étendu une bonne concordance de coefficient de dilatation thermique avec la matière cristalline du système 18; c'est pourquoi il ne s'avère pas possible de Joindre, avec insertion de l'anneau de matière de soudure 48, une plaque plane à l'anneau de monture 46, du fait que cette Jonction perd son étanchéité lors du refroidissement de la température de soudure à la température environnante et peut même rompre la plaque cristalline. Cependant, les tensions apparaissant encore méme une fois le refroidissement effectué, en raison de la concordance encore insuffisante des coefficients de dilatation thermique, sont supportées sans problèmes lorsque le système 18 présente, comme on l'a représenté schématiquement sur le dessin, des surfaces supérieure et inférieure courbes dans le mêmes sens, en section, entre les points d'encastrement radiaux. La fusion de l'anneau de matière frittée pour soudure du verre 48 entraîne alors directement, sans écoulement de la matière de soudure de verre, une soudure hermétiquement étanche du système 18 avec l'anneau métallique 46, en conservant la qualité optique du système 18 utilisé, tant pendant le refroidissement que pendant et après des accélérations axiales importantes. La Jonction est étanche aux gaz et à l'humidité et convient bien pour la fabrication en série tant en ce qui concerne la soudure du verre dans l'anneau 46 qu'en ce qui concerne la Jonction de cet anneau 46 pour obtenir le boîtier de capteur 19 complet; même le long de la périphérie 45 de la lentille, donc sur la fente annulaire 47, on peut admettre de plus fortes tolérances que dans le cas d'une Jonction par collage courante, qui sont aplanies en assurant l'étanchéité et la résistance mécanique par This iron-nickel material certainly does not necessarily have over a wide range a good agreement of coefficient of thermal expansion with the crystalline material of system 18; this is why it is not possible to join, with insertion of the ring of solder material 48, a flat plate to the ring of mount 46, because this junction loses its tightness during cooling of the solder temperature to the surrounding temperature and can even break the crystal plate. However, the tensions still appearing even after cooling, due to the still insufficient agreement of the coefficients of thermal expansion, are supported without problems when the system 18 has, as shown schematically in the drawing, upper surfaces and lower curves in the same direction, in section, between the radial embedding points. The fusion of the ring of sintered material for welding glass 48 then directly leads, without flow of the glass welding material, to a hermetically sealed weld of the system 18 with the metal ring 46, while retaining the optical quality of the system 18. used, both during cooling and during and after significant axial accelerations. The Junction is gas and moisture tight and is well suited for mass production both with regard to the welding of the glass in the ring 46 and with regard to the Junction of this ring 46 to obtain the housing sensor 19 complete; even along the periphery 45 of the lens, therefore on the annular slot 47, it is possible to admit greater tolerances than in the case of a common bonding joint, which are flattened while ensuring sealing and mechanical resistance by
l'anneau de matière fritté pour soudure du verre 48. the ring of sintered material for welding glass 48.
La fermeture hermétique postérieure de la cavité intérieure 41 du capteur peut être effectuée directement par insertion ajustée du boîtier 21 du circuit hybride qui y est fixé, ou encore, plus simplement, par un couvercle postérieur 51. Comme on l'a représenté symboliquement sur le dessin, celui-ci est d'abord, de façon appropriée, vissé pour vérifier le fonctionnement du capteur 11 achevé, pour compenser des tolérances axiales des composants insérés; éventuellement, après l'achèvement des opérations de montage et d'ajustement, on le relie hermétiquement au reste du boitier cylindrique creux 19 du capteur par un The posterior hermetic closure of the internal cavity 41 of the sensor can be carried out directly by adjusted insertion of the housing 21 of the hybrid circuit which is fixed to it, or even, more simply, by a rear cover 51. As symbolically shown on the drawing, this is first, suitably, screwed to check the operation of the completed sensor 11, to compensate for axial tolerances of the inserted components; optionally, after the completion of the assembly and adjustment operations, it is hermetically connected to the rest of the hollow cylindrical casing 19 of the sensor by a
cordon de soudure périphérique.peripheral weld bead.
Pour maintenir protégé contre les chocs le corps du système optique 18 à l'opposé de son assise périphérique sur l'épaulement d'appui 44, on peut, comme on l'a également représenté sur le dessin, introduire dans le dégagement de l'ouverture 17, un anneau d'appui 52, par exemple le visser Jusqu'au To keep the body of the optical system 18 opposite to its peripheral seat on the support shoulder 44 protected against impact, it is possible, as has also been shown in the drawing, to introduce into the clearance of the opening 17, a support ring 52, for example screwing it until
contact avec le système optique 18. contact with the optical system 18.
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