FR2611304B1 - Dispositif pour l'implantation de particules, dependant de la profondeur, dans une cible - Google Patents

Dispositif pour l'implantation de particules, dependant de la profondeur, dans une cible

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dependent particle
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Dietmar Dr Kaletta
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    • G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
    • G21K1/10—Scattering devices; Absorbing devices; Ionising radiation filters

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