FR2600416A1 - Detecteur d'ions a galette de microcanaux - Google Patents
Detecteur d'ions a galette de microcanaux Download PDFInfo
- Publication number
- FR2600416A1 FR2600416A1 FR8708616A FR8708616A FR2600416A1 FR 2600416 A1 FR2600416 A1 FR 2600416A1 FR 8708616 A FR8708616 A FR 8708616A FR 8708616 A FR8708616 A FR 8708616A FR 2600416 A1 FR2600416 A1 FR 2600416A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- detector according
- faraday
- microchannel plate
- anode
- microchannel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/244—Detectors; Associated components or circuits therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/04—Electron multipliers
- H01J43/06—Electrode arrangements
- H01J43/18—Electrode arrangements using essentially more than one dynode
- H01J43/24—Dynodes having potential gradient along their surfaces
- H01J43/246—Microchannel plates [MCP]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/025—Detectors specially adapted to particle spectrometers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/24405—Faraday cages
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/24435—Microchannel plates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/244—Detection characterized by the detecting means
- H01J2237/2449—Detector devices with moving charges in electric or magnetic fields
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/245—Detection characterised by the variable being measured
- H01J2237/24507—Intensity, dose or other characteristics of particle beams or electromagnetic radiation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
Abstract
UN DETECTEUR D'IONS COMPREND UNE GALETTE DE MICROCANAUX 12 TRAVERSEE PAR UN TROU QUI EST ALIGNE AVEC UNE TRAJECTOIRE NON DEVIEE D'UN FAISCEAU D'IONS 36, UNE CUVETTE DE FARADAY 34 PLACEE DE FACON A RECEVOIR LES IONS QUI TRAVERSENT LE TROU, ET UN DEFLECTEUR 44, 46 DESTINE A DEVIER SELECTIVEMENT LES IONS VERS LES CANAUX MULTIPLICATEURS DE LA GALETTE DE MICROCANAUX. LE DETECTEUR PEUT AINSI FONCTIONNER DANS UN MODE SANS AMPLIFICATION, FAISANT INTERVENIR UNIQUEMENT LA CUVETTE DE FARADAY, LORSQUE LE FAISCEAU D'IONS N'EST PAS DEVIE, ET DANS UN MODE AVEC AMPLIFICATION LORSQUE LES IONS SONT DIRIGES VERS LA GALETTE DE MICROCANAUX.
Description
DETECTEUR D'IONS A GALETTE DE MICROCANAUX
La présente invention concerne les détecteurs d'ions.
On a souvent utilisé des multiplicateurs d'électrons de type monocanal pour détecter des ions. A titre d'exemple, le brevet US 4 227 087 décrit un multiplicateur monocanal auquel est associée une cuvette de Faraday adjacente placée de façon à recevoir un faisceau d'ions ayant une trajectoire non déviée (pour détecter un faisceau non amplifié), le faisceau étant dévié vers le multiplicateur lorsqu'on désire une ampli10 fication. Les sorties du multiplicateur et de la cuvette de Faraday sont électriquement communes, et on commute simplement le dispositif entre le mode d'amplification et le mode de cuvette de Faraday en appliquant ou en supprimant à l'entrée du
multiplicateur une tension négative élevée de valeur suffisante 15 pour dévier le faisceau.
On a également utilisé des galettes de microcanaux avec des cuvettes de Faraday adjacentes pour détecter des ions, en employant des tensions négatives élevées pour dévier le
faisceau d'ions de la cuvette de Faraday vers la galette de 20 microcanaux.
On a découvert qu'il était possible de détecter avantageusement des ions au moyen d'un dispositif de construction simple, en employant une galette de microcanaux traversée par un trou aligné avec la trajectoire non déviée d'un faisceau d'ions, une cuvette de Faraday dans le trou, pour recevoir des ions non déviés, et un déflecteur pour dévier des ions vers la
galette de microcanaux.
Dans des modes de réalisation préférés, une anode recevant des électrons multipliés qui proviennent de la galette de microcanaux est formée en une seule pièce avec la cuvette de Faraday; la galette de microcanaux comporte une région annulaire non conductrice entourant le trou; et une résistance en verre-à l'oxyde de plomb réduit est connectée entre la sortie de la galette de microcanaux et l'anode. L'invention sera mieux comprise à la lecture de la
description détaillée qui va suivre d'un mode de réalisation, 10 donné à titre d'exemple non limitatif. La suite de la description se réfère aux dessins annexes sur lesquels:
La figure 1 est une coupe schématique d'un détecteur
d'ions conforme à l'invention.
La figure 2 est un schéma montrant les connexions 15 électriques externes du détecteur de la figure 1.
La figure 3 est une représentation en perspective
éclatée du détecteur de la figure 1.
En considérant la figure 1, on voit un détecteur 10 comprenant une galette de microcanaux 12, une cuvette de Faraday/anode 14 et un boîtier en céramique 16. La galette de microcanaux 12 et la cuvette de Faraday/anode 14 sont séparées par une rondelle ondulée à ressort 18, et ces trois éléments sont maintenus en place entre une bague de retenue en métal 20 et l'avant du boîtier 16, comportant des surfaces annulaires 25 formant des gradins. La bague 20 est maintenue contre le boitier 16 par des doigts à ressort 22 dont l'un est connecté à un conducteur 24 pour établir une connexion électrique avec l'entrée de la galette de microcanaux 12. La rondelle ondulée à ressort 18 est connectée de façon similaire à un conducteur 30 26 pour établir une connexion électrique avec la sortie de la galette de microcanaux, et un conducteur 28 est connecté à la tige 30 de la cuvette de Faraday/anode 14, en étant maintenu contre l'arrière du boîtier 16 par une pièce de blocage 32. La
cuvette de Faraday/anode 14 comporte une partie en saillie 34 35 formant une cuvette de Faraday en coïncidence avec la trajec-
toire 36 du faisceau d'ions non dévié, et une partie d'anode 38 qui est placée de façon à recevoir des électrons multipliés provenant des canaux multiplicateurs de la galette de microcanaux 12. La partie en saillie 34 traverse un trou 40 de la ga5 lette de microcanaux 12, en étant entourée par une région annulaire non conductrice 42, ce qui permet un très faible écartement entre la galette de microcanaux 12 et la partie en
saillie 34.
En considérant la figure 2, on voit que le conduc10 teur 24 peut être connecté sélectivement par un commutateur 44 à une source de haute tension négative (-1000 V) 46 ou à la masse. Une résistance 48, qui - consiste en un tube de verre à l'oxyde de plomb réduit, mesurant 3,2 mm de longueur et 3,2 mm de diamètre, est connectée entre l'entrée et la sortie de la 15 galette de microcanaux 12, pour établir une polarisation de
-200 V, et cette résistance a des caractéristiques de vieillissement et de réponse en température similaires à celles de la galette de microcanaux 12. Le conducteur de sortie 28 est connecté à un circuit de mesure de courant 50, capable de me20 surer de très faibles courants (par exemple 10- 12_10-5 ampère).
En considérant la figure 3, on voit que la bague 20 comporte trois encoches 54 et que la partie d'anode 38 comporte trois parties de grand rayon, alignées avec les encoches, 25 pour augmenter l'aire effective-de la galettre de microcanaux 12, tout en lui permettant d'être retenue par la bague 20. Une seule alimentation est nécessaire, et le détecteur complet est logé dans un boîtier de faibles dimensions, ne nécessitant ni
vis ni écrous.
Au cours du fonctionnement, des ions se déplacent selon la trajectoire non déviée 36 lorsque le commutateur 44 est dans la position correspondant à la cuvette de Faraday, qui est représentée sur la figure 2, et en suivant la trajectoire 52 lorsque le commutateur 44 est dans l'autre position 35 (la position d'amplification), ce qui connecte la source de
haute tension négative 46 à l'entrée de la galette de microcanaux 12. On utilise-le mode de cuvette de Faraday pour détecter l'intensité d'un faisceau d'ions d'une valeur suffisamment élevée pour saturer la galette de microcanaux 12, ou pour corn5 parer le courant de faisceau non amplifié avec le courant de faisceau amplifié afin de déterminer le gain de l'amplificateur.
D'autres modes de réalisation entrent dans le cadre
des revendications annexées. On pourrait par exemple utiliser 10 plus d'une galette de microcanaux dans une configuration en
cascade pour obtenir une amplification suffisante pour compter
des ions uniques.
Il va de soi que de nombreuses autres modifications
peuvent être apportées au dispositif décrit et représenté, 15 sans sortir du cadre de l'invention.
Claims (11)
1. Détecteur d'ions, caractérisé en ce qu'il comprend: une galette de microcanaux (12) traversée par un trou qui est aligné avec une trajectoire non déviée d'un faisceau d'ions (36), une cuvette de Faraday (34) placée de façon à recevoir des ions qui traversent le trou précité, et un déflecteur (44, 46) prévu de façon à dévier sélectivement des
ions vers des canaux multiplicateurs de la galette de microcanaux (12).
2. Détecteur d'ions selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une anode (38) pour la galette de microcanaux (12), qui est connectée électriquement à la cuvette de Faraday (34).
3. Détecteur selon la revendication 2, caractérisé 15 en ce que l'anode (38) est formée en une seule pièce avec la
cuvette de Faraday (34).
4. Détecteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que la galette de microcanaux (12) comporte une région annulaire non conductrice entourant 20 le trou.
5. Détecteur selon l'une quelconque des revendications 1 à 4, caractérisé en ce que le déflecteur est une
source de tension (46) qui applique sélectivement une tension
élevée à l'entrée de la galette de microcanaux (12).
6. Détecteur selon l'une quelconque des revendications 2 à 5, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une
résistance en verre à l'oxyde de plomb réduit (48) connectée entre la sortie de la galette de-microcanaux (12) et l'anode (38).
7. Détecteur selon la revendication 3, caractérisé en ce qu'il comprend en outre un bottier isolant (16) dans
lequel sont montés la galette de microcanaux (12) et un ensemble cuvette de Faraday/anode (14).
8. Détecteur selon la revendication 7, caractérisé 35 en ce qu'il comprend en outre une bague (20) située devant
la galette de microcanaux (12), fixée au boîtier (16) et maintenant en place l'ensemble cuvette de Faraday/anode (14).
9. Détecteur selon la revendication 8, caractérisé en ce qu'il comprend en outre des doigts à ressort (22) fixés à la bague (20) et maintenant celle-ci en place.
10. Détecteur selon l'une quelconque des revendications 8 ou 9, caractérisé en ce qu'il comprend en outre une
rondelle ondulée à ressort (18) entre la galette de microcanaux (12) et l'anode (38).
11. Détecteur selon l'une quelconque des revendications 8 à 10, caractérisé en ce que la bague (20) comporte
plusieurs encoches dans le but d'augmenter l'exposition des
canaux de la galette de microcanaux (12).
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/876,696 US4731538A (en) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | Microchannel plate ion detector |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FR2600416A1 true FR2600416A1 (fr) | 1987-12-24 |
FR2600416B1 FR2600416B1 (fr) | 1989-12-01 |
Family
ID=25368383
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FR878708616A Expired FR2600416B1 (fr) | 1986-06-20 | 1987-06-19 | Detecteur d'ions a galette de microcanaux |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4731538A (fr) |
JP (1) | JPS6340893A (fr) |
BE (1) | BE1000686A4 (fr) |
DE (1) | DE3720161A1 (fr) |
FR (1) | FR2600416B1 (fr) |
GB (1) | GB2193374B (fr) |
IT (1) | IT1210821B (fr) |
NL (1) | NL8701387A (fr) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0709874A1 (fr) * | 1994-10-31 | 1996-05-01 | Applied Materials, Inc. | Plaquette diagnostique |
DE19502439B4 (de) * | 1994-02-11 | 2007-08-16 | Oc Oerlikon Balzers Ag | Verfahren und Messanordnung zum Messen der pro Zeiteinheit einen Vakuumvolumenbereich in gegebener Richtung durchströmenden elektrischen Ladungsmenge und deren Verwendung für Massenspektrometer |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4850371A (en) * | 1988-06-13 | 1989-07-25 | Broadhurst John H | Novel endotracheal tube and mass spectrometer |
US4988868A (en) * | 1989-05-15 | 1991-01-29 | Galileo Electro-Optics Corp. | Ion detector |
US5120968A (en) * | 1990-07-05 | 1992-06-09 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Emittance measuring device for charged particle beams |
AU4884897A (en) | 1996-11-06 | 1998-05-29 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron multiplier |
US5770858A (en) * | 1997-02-28 | 1998-06-23 | Galileo Corporation | Microchannel plate-based detector for time-of-flight mass spectrometer |
US6091068A (en) * | 1998-05-04 | 2000-07-18 | Leybold Inficon, Inc. | Ion collector assembly |
EP0932184B1 (fr) * | 1998-01-22 | 2011-05-25 | Leybold Inficon, Inc. | Dispositif de détection d' ions |
AU6137201A (en) * | 2000-05-12 | 2001-11-26 | Univ Johns Hopkins | Gridless, focusing ion extraction device for a time-of-flight mass spectrometer |
EP1284009A2 (fr) * | 2000-05-26 | 2003-02-19 | The Johns Hopkins University | Ensemble detecteur de galette de microcanaux destine a un spectrometre de masse a duree de trajet |
GB0327241D0 (en) * | 2003-11-21 | 2003-12-24 | Gv Instr | Ion detector |
DE102008011972B4 (de) * | 2008-02-29 | 2010-05-12 | Bayer Technology Services Gmbh | Vorrichtung zur selbstjustierenden Montage und Halterung von Mikrokanalplatten in Mikrosystemen |
JP5350679B2 (ja) * | 2008-05-29 | 2013-11-27 | 浜松ホトニクス株式会社 | イオン検出器 |
CN104701130B (zh) * | 2015-01-26 | 2017-01-11 | 中国地质科学院地质研究所 | 应用于tof质谱仪的离子检测器、质量分析器及离子检测的控制方法 |
CN107450094B (zh) * | 2017-06-22 | 2019-08-20 | 山东航天电子技术研究所 | 一种带电粒子束诊断装置及诊断测量方法 |
WO2020121167A1 (fr) * | 2018-12-13 | 2020-06-18 | Dh Technologies Development Pte. Ltd. | Piège à ions linéaire électrostatique à transformée de fourier et spectromètre de masse à temps de vol à réflectron |
CN111487483B (zh) * | 2020-05-22 | 2022-05-24 | 北京卫星环境工程研究所 | 基于微通道板的紧凑型空间带电粒子探测器结构 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3896308A (en) * | 1973-01-10 | 1975-07-22 | Nat Res Dev | Detector for electron microscopes |
US4227087A (en) * | 1979-05-18 | 1980-10-07 | Galileo Electro-Optics Corp. | Beam detector |
EP0154590A2 (fr) * | 1984-02-29 | 1985-09-11 | Centre National De La Recherche Scientifique (Cnrs) | Spectromètre de masse à temps de vol |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3477023A (en) * | 1968-01-16 | 1969-11-04 | Commerce Usa | Apparatus for measuring the energy and current of an accelerator electron beam including apertured incident and exit electrodes |
US4357536A (en) * | 1981-01-16 | 1982-11-02 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Apparatus and method for monitoring the intensities of charged particle beams |
US4455532A (en) * | 1982-01-26 | 1984-06-19 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Apparatus for measuring charged particle beam |
-
1986
- 1986-06-20 US US06/876,696 patent/US4731538A/en not_active Expired - Fee Related
-
1987
- 1987-06-15 NL NL8701387A patent/NL8701387A/nl not_active Application Discontinuation
- 1987-06-16 DE DE19873720161 patent/DE3720161A1/de not_active Ceased
- 1987-06-18 BE BE8700676A patent/BE1000686A4/fr not_active IP Right Cessation
- 1987-06-19 JP JP62153205A patent/JPS6340893A/ja active Granted
- 1987-06-19 GB GB8714424A patent/GB2193374B/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-06-19 IT IT8767532A patent/IT1210821B/it active
- 1987-06-19 FR FR878708616A patent/FR2600416B1/fr not_active Expired
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3896308A (en) * | 1973-01-10 | 1975-07-22 | Nat Res Dev | Detector for electron microscopes |
US4227087A (en) * | 1979-05-18 | 1980-10-07 | Galileo Electro-Optics Corp. | Beam detector |
EP0154590A2 (fr) * | 1984-02-29 | 1985-09-11 | Centre National De La Recherche Scientifique (Cnrs) | Spectromètre de masse à temps de vol |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, vol. 45, no. 1, janvier 1974, pages 128-129, The American Institute of Physics, New York, US; W.H. ABERTH et al.: "Use of a microchannel plate for ion beam tuning of analytical mass spectrometers" * |
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, vol. 57, no. 3, mars 1986, pages 349-353, American Institute of Physics, New York, US; A. M]LLER et al.: "Absolute detection efficiencies of microchannel plates for 0.1-2.3 keV electrons and 2.1-4.4 keV Mg+ions" * |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19502439B4 (de) * | 1994-02-11 | 2007-08-16 | Oc Oerlikon Balzers Ag | Verfahren und Messanordnung zum Messen der pro Zeiteinheit einen Vakuumvolumenbereich in gegebener Richtung durchströmenden elektrischen Ladungsmenge und deren Verwendung für Massenspektrometer |
EP0709874A1 (fr) * | 1994-10-31 | 1996-05-01 | Applied Materials, Inc. | Plaquette diagnostique |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB8714424D0 (en) | 1987-07-22 |
NL8701387A (nl) | 1988-01-18 |
BE1000686A4 (fr) | 1989-03-14 |
US4731538A (en) | 1988-03-15 |
GB2193374A (en) | 1988-02-03 |
IT8767532A0 (it) | 1987-06-19 |
GB2193374B (en) | 1990-05-30 |
JPH0535998B2 (fr) | 1993-05-27 |
JPS6340893A (ja) | 1988-02-22 |
IT1210821B (it) | 1989-09-29 |
DE3720161A1 (de) | 1988-01-21 |
FR2600416B1 (fr) | 1989-12-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FR2600416A1 (fr) | Detecteur d'ions a galette de microcanaux | |
US7498585B2 (en) | Method and apparatus for simultaneous detection and measurement of charged particles at one or more levels of particle flux for analysis of same | |
US11637007B2 (en) | Integrated low cost curtain plate, orifice PCB and ion lens assembly | |
EP2195643B1 (fr) | Systeme d'analyse de gaz a basse pression par spectroscopie d'emission optique | |
FR2801680A1 (fr) | Methode de test electrique de la conformite de l'interconnexion de conducteurs electriques disposes sur un substrat, sans contact et sans outillage | |
CA2576774A1 (fr) | Piege a ions a aimant permanent longitudinal et spectrometre de masse utilisant un tel aimant | |
JPH1140099A (ja) | 全圧コレクタのためのイオン捕集電極 | |
EP1052672B1 (fr) | Source ionique pour spectromètre de masse à temps de vol analysant des echantillons gazeux | |
US6031379A (en) | Plasma ion mass analyzing apparatus | |
EP0402827B1 (fr) | Dispositif de traitement du signal reçu par un multiplicateur d'électrons | |
EP2224252B1 (fr) | Dispositif capacitif de mesure de la tension d'un élément haute tension | |
CA2192719A1 (fr) | Procede et dispositif pour la detection de vapeurs et d'aerosols organiques | |
FR2603103A3 (fr) | Manometre a ionisation a cathode chaude | |
EP1186058A1 (fr) | Dispositif de detection de rayonnement a forte dynamique | |
FR2514557A1 (fr) | Spectrometre magnetique miniature a structure coaxiale | |
EP2406811B1 (fr) | Cellule d'ionisation pour spectrometre de masse et detecteur de fuites correspondant | |
EP4179340A1 (fr) | Dispositif de determination de la resistance electrique d'un systeme et procede associe | |
Djulgerova et al. | Laser-assisted photoelectric optogalvanic analysis of thin films and surfaces using a hollow-cathode glow discharge | |
FR2629290A1 (fr) | Commutateur selecteur de gammes pour instrument a chambre d'ionisation | |
FR2618605A1 (fr) | Dispositif de detection et d'amplification de faibles courants ioniques positifs ou negatifs | |
EP1052668A1 (fr) | Fonctionnement à haute pression d'une cathode froide à émission de champ | |
FR2522198A1 (fr) | Analyseur de masse pour spectrometre de masse du type piege tridimensionnel | |
FR3038126A1 (fr) | Dispositif de detection de particules de type resistif et procede de detection de particules | |
EP1030184B1 (fr) | Analyseur d'impulsion de rayonnement unique et brève | |
Junquera et al. | Field emission in RF cavities: observation of light spots at high electric fields |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
ST | Notification of lapse |