FR2593424A1 - Pipette a vide notamment pour le transfert de plaquettes de silicium - Google Patents
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Abstract
L'objet de l'invention se rattache au secteur technique de la micro-électronique. La pipette selon l'invention comprend un corps creux 1 dont l'extrémité reçoit l'embout de préhension formant une chambre interne 1b avec au moins deux gorges annulaires 1b1 et 1b2 pour le positionnement de deux tores 7 en matière souple déformable pour assurer d'une part l'assemblage démontable de la partie correspondante de l'embout et, d'autre part, l'étanchéité au vide. (CF DESSIN DANS BOPI)
Description
L'invention concerne une pipette à vide notamment pour le transfert de plaquettes de silicium.
L'objet de l'invention se rattache au secteur technique de la micro-électronique.
Il est connu d'employer des pipettes à vide pour le transfert de plaquettes de silicium. Généralement, ces pipettes sont reliées à une pompe aspirante et sont agencées à leur extrémité opposée pour recevoir un embout de préhension conformé pour saisir la plaquette par succion. Le corps de ces pipettes présente en outre un organe de commande pour asservir ou non l'embout à l'action du vide. De part leur conception, ces pipettes présentent certains inconvénients.
Un inconvénient important apparaît au niveau de la fixation des embouts de préhension qui doivent être souvent démontés pour leur nettoyage. Le plus souvent ces embouts sont emmanchés à force pour éviter, dans la mesure du possible, tout problème de fuite. Il en résulte un démontage très difficile et delicat. D'autres systèmes utilisent des pièces rapportées et vissées qui assurent le serrage de l'embout. Cette solution technique est relativement compliquée et difficile à mettre en oeuvre et susceptible d'engendrer des particules génératrices de problèmes en micro-électronique.
Un autre inconvénient apparaît au niveau de la capacité du corps des pipettes, réduisant ainsi la réserve de vide et par conséquent, l'intensité de la force d'aspiration.
De même, l'organe de commande pour la mise en action du vide n'est pas toujours très rationnel et facilement actionnable.
L'invention s'est fixée pour but de remédier à ces inconvénients, d'une manière simple et efficace en réalisant une pipette conformée pour faciliter le changement rapide des embouts tout en assurant leur maintien et l'étanchéité, l'ergonomie de cette pipette étant en outre déterminée pour assurer une bonne prise en main tandis que l'organe de commande permet une mise en action rapide du vide.
Notamment, selon une caractéristique de l'invention, l'extrémité du corps recevant l'embout de préhension forme une chambre interne avec au moins deux gorges annulaires pour le positionnement de deux tores en matière souple déformable pour assurer d'une part, l'assemblage démontable de la partie correspondante de l'embout et, d'autre part, l'étanchéité au vide.
D'autres caractéristiques ressortiront de la suite de la description.
Pour fixer l'objet de l'invention, sans toutefois le limiter dans les dessins annexés
la figure 1 est une vue en perpective de la pipette,
la figure 2 est une vue en coupe longitudinale de la pipette en position de repos, l'embout n'étant pas représenté,
la figure 3 est une vue en coupe transversale considérée selon la ligne 3.3 de la figure 2,
la figure 4 est une vue correspondant à la figure 2 en position de travail, l'embout étant monté,
la figure 5 est une vue en coupe transversale considérée selon la ligne 5.5 de la figure 4,
la figure 6 est une vue en coupe transversale considérée selon la ligne 6.6 de la figure 4.
la figure 1 est une vue en perpective de la pipette,
la figure 2 est une vue en coupe longitudinale de la pipette en position de repos, l'embout n'étant pas représenté,
la figure 3 est une vue en coupe transversale considérée selon la ligne 3.3 de la figure 2,
la figure 4 est une vue correspondant à la figure 2 en position de travail, l'embout étant monté,
la figure 5 est une vue en coupe transversale considérée selon la ligne 5.5 de la figure 4,
la figure 6 est une vue en coupe transversale considérée selon la ligne 6.6 de la figure 4.
La pipette comprend un corps creux (1) avec : une partie arrière (la) qui fait office de réservoir de vide et une partie avant (lb) de dimension réduite agencée pour recevoir un embout de préhension (2) en constituant une chambre interne étanche. Les deux parties (la) et (lb) sont séparées par une partie pleine (lc) et mises en communication par un orifice axial (loI) obturable à volonté par un organe de commande (3) pour tirer ou non au vide. D'une manière connue, la partie arrière (la) est agencée pour être accouplée à une pompe à vide.
L'alésage de la partie avant (lb) présente deux gorges annulaires (lbl) et (lb2) pour le positionnement de deux joints toriques (7)-------. Les deux joints sont convenablement espacés pour assurer en combinaison, d'une part l'assemblage démontable d'une portée correspondante (2a) de l'embout (2) et, d'autre part, l'étanchéité au vide (figure 4).
Les embouts (2) peuvent ainsi facilement être changés et tournés dans un plan horizontal sur 360 degrés à la conve nance de l'opérateur sans pour cela altérer les caractéristiques d'assemblage et d'étanchéité. On souligne que ce mode d'assemblage étanche est compatible pour tout type d'embout, aussi bien métallique qu'en quartz, dont les extrémités sont déterminées.
Comme indiqué, cette chambre avant étanche (lb) est mise en communication avec le réservoir arrière (la) par l'orifice axial (lcl) obturable ou non par l'organe (3).
Dans ce but, l'organe (3) se présente sous la forme d'un poussoir (3a) articulé sur un axe (4) monté avec capacité de déplacement limité en translation dans un alésage (lc2) formé transversalement dans l'épaisseur de la partie pleine (lc) du corps et en communication avec l'orifice (loi). Cet axe (4) présente une gorge centrale (4a) susceptible d'être positionnée ou non en regard de L'orifice (loi) sous l'effet de déplacement dudit axe ce qui correspond, selon le cas, à l'obturation ou non dudit orifice et par conséquent à la mise en communication ou non des deux chambres (la) et (lb).
Le poussoir (3a) est d'autre part susceptible de commander,lors de son pivotement autour de son axe (4), un piston vertical (5) asservi à un organe élastique (6). Ce piston est monté à libre coulissement dans un trou borgne (lc3) formé perpendiculairement à l'orifice (loi) de sorte que ledit piston est positionné en regard ou non dudit orifice (Ici) selon qu'il y a ou non une action exercée sur le poussoir. En position de repos, de non actionnement du poussoir (3a), le piston est situé au dessus de l'orifice de communication (ici).
Le fonctionnement de la pipette est le suivant
Après avoir emmanché l'embout (2) dans la chambre étanche (lb) en combinaison avec les joints toriques (7), on déplace transversalement l'axe (4) pour mettre en communication la gorge (4a) avec l'orifice (ici), de sorte que l'embout (2) est soumis à l'action du vide, ce qui correspond à la position de travail pour, par exemple, saisir une plaquette.
Après avoir emmanché l'embout (2) dans la chambre étanche (lb) en combinaison avec les joints toriques (7), on déplace transversalement l'axe (4) pour mettre en communication la gorge (4a) avec l'orifice (ici), de sorte que l'embout (2) est soumis à l'action du vide, ce qui correspond à la position de travail pour, par exemple, saisir une plaquette.
Dans cette position, le poussoir (3a) n'est pas sollicité en pression, de sorte que le piston (5) n'obture pas l'orifice (ici).
Si on exerce un appui digital sur le poussoir (3a), le piston (5) est enfoncé pour obturer l'orifice (lcl) et couper ainsi- l'action du vide en égard de l'embout (2). On a donc une mise en action rapide du vide, la pipette pouvant être saisie d'une seule main pendant l'opération.
D'une manière intéressante, comme le montre la figure 6, la section interne de la partie arrière (la) qui fait office de réservoir de vide, est entièrement circulaire augmentant ainsi sa capacité. Des zones méplates parallèles (lai) sont régulièrement réparties sur le pourtour externe de la circonférence et selon ses génératrices, pour assurer une bonne préhension manuelle de la pipette. Par exemple, la section externe du corps de la pipette, au niveau de sa partie de préhension, a une section octogonale.
Les avantages ressortent bien de la description.
L'invention ne se limite aucunement à celui de ses modes d'application non plus qu'à ceux des modes de réalisation de ses diverses parties ayant plus spécialement été indiquées elle en embrasse au contraire toutes les variantes.
Claims (1)
- REVENDICATIONS- l - Pipette à vide, notamment pour le transfert de plaquettes de silicium, ladite pipette comprenant un corps creux-agencé à l'une de ses extrémités pour être relié à une pompe et à son autre extrémité à un embout de préhension, ledit corps étant en outre équipé d'un organe de commande (3) pour assurer à volonté la mise en action du vide, caractérisée en ce que l'extrémité du corps (l) recevant l'embout de préhension forme une chambre interne (lb) avec au moins deux gorges annulaires (lbl) et (lb2) pour le positionnement de deux tores (7)-------- en matière souple déformable pour assurer d'une part l'assemblage démontable de la partie correspondante de l'embout et, d'autre part, l'étanchéité au vide.- 2 - Pipette selon la revendication 1, caractérisée en ce que la partie (lb) du corps qui reçoit l'embout est séparée d'une partie arrière creuse (la) qui fait office de réservoir de vide, par une partie pleine (lc) percée axialement d'un orifice de communication (ici), ladite partie pleine recevant l'organe de commande (3).- 3 - Pipette selon la revendication 2, caractérisée en ce que l'organe de commande (3) pour la mise en action du vide comprend un poussoir (3a) actionnable digitalement et articulé sur un axe (4) monté transversalement dans l'épaisseur de la partie pleine (lc) du corps (1) avec capacité de déplacement limité en translation pour obturer ou non, au moyen d'un agencement particulier, l'orifice d'alimentation (ici), ledit orifice pouvant être obturé à volonté par un piston (5) assujetti à un organe élastique (6) et actionnable sous 1' effet de pivotement du poussoir (3a) autour de son axe (4).- 4 - Pipette selon la revendication 3, caractérisée en ce que l'axe (4) présente une gorge centrale (4a) susceptible d'être positionnée ou non en regard de l'orifice de communication (ici), le piston (5) étant monté à libre coulissement dans un trou borgne (lc3) formé perpendiculairement à l'orifice (ici) pour être en regard ou non dudit orifice selon qu'il y a ou non une action exercée sur le poussoir, ledit piston étant situé au dessus de l'orifice (ici) en position de non actionnement du ressort.- 5 - Pipette selon la revendication l, caractérisée en ce que la section interne de la partie arrière (la) qui fait office de réserve de vide est entièrement circulaire, la périphérie externe de ladite partie présentant sur la totalité ou une partie de sa longueur, des zones méplates (lal) régulièrement réparties sur la circonférence, pour assurer une bonne préhension.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8518635A FR2593424B1 (fr) | 1985-12-10 | 1985-12-10 | Pipette a vide notamment pour le transfert de plaquettes de silicium |
| FR868616186A FR2606311B2 (fr) | 1985-12-10 | 1986-11-12 | Dispositif de fermeture automatique pour une pipette de prehension a vide |
| DE3641727A DE3641727C2 (de) | 1985-12-10 | 1986-12-06 | Vakuumvorrichtung, insbesondere für die Handhabung von Siliziumplättchen |
| US06/940,535 US4744594A (en) | 1985-12-10 | 1986-12-10 | Vacuum handling especially for the use in handling silicon wafers |
| JP61294607A JP2551418B2 (ja) | 1985-12-10 | 1986-12-10 | 真空ハンドリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8518635A FR2593424B1 (fr) | 1985-12-10 | 1985-12-10 | Pipette a vide notamment pour le transfert de plaquettes de silicium |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2593424A1 true FR2593424A1 (fr) | 1987-07-31 |
| FR2593424B1 FR2593424B1 (fr) | 1989-07-21 |
Family
ID=9325842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR8518635A Expired FR2593424B1 (fr) | 1985-12-10 | 1985-12-10 | Pipette a vide notamment pour le transfert de plaquettes de silicium |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| FR (1) | FR2593424B1 (fr) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1990012977A1 (fr) * | 1989-04-26 | 1990-11-01 | Recif S.A. | Dispositif de liaison entre le corps et l'embout d'une pipette a vide |
Citations (6)
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| WO1981001666A1 (fr) * | 1979-12-10 | 1981-06-25 | Indicon Inc | Embout remplacable pour pipette |
-
1985
- 1985-12-10 FR FR8518635A patent/FR2593424B1/fr not_active Expired
Patent Citations (6)
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Non-Patent Citations (2)
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| PATENTS ABSTRACTS OF JAPAN, page 5413 E 77, & JP - A - 52 58589 (HITACHI SEISAKUSHO K.K.) 14-05-1977 * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO1990012977A1 (fr) * | 1989-04-26 | 1990-11-01 | Recif S.A. | Dispositif de liaison entre le corps et l'embout d'une pipette a vide |
| FR2646491A1 (fr) * | 1989-04-26 | 1990-11-02 | Recif Sa | Dispositif de liaison entre le corps et l'embout d'une pipette a vide |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2593424B1 (fr) | 1989-07-21 |
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