FR2555747A1 - Detecteur interferometrique de gaz - Google Patents
Detecteur interferometrique de gaz Download PDFInfo
- Publication number
- FR2555747A1 FR2555747A1 FR8319010A FR8319010A FR2555747A1 FR 2555747 A1 FR2555747 A1 FR 2555747A1 FR 8319010 A FR8319010 A FR 8319010A FR 8319010 A FR8319010 A FR 8319010A FR 2555747 A1 FR2555747 A1 FR 2555747A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- gas
- blade
- infrared
- modulation
- ceramics
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 14
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000011895 specific detection Methods 0.000 claims abstract description 4
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 claims abstract description 3
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 4
- 239000010436 fluorite Substances 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 4
- YBNMDCCMCLUHBL-UHFFFAOYSA-N (2,5-dioxopyrrolidin-1-yl) 4-pyren-1-ylbutanoate Chemical compound C=1C=C(C2=C34)C=CC3=CC=CC4=CC=C2C=1CCCC(=O)ON1C(=O)CCC1=O YBNMDCCMCLUHBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000005679 Peltier effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 3
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 3
- 238000003556 assay Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims 1
- 239000008246 gaseous mixture Substances 0.000 abstract description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 12
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 3
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011630 iodine Substances 0.000 description 2
- YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N Deuterium Chemical compound [2H] YZCKVEUIGOORGS-OUBTZVSYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000661 Mercury cadmium telluride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052805 deuterium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N titanium dioxide Inorganic materials O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J3/26—Generating the spectrum; Monochromators using multiple reflection, e.g. Fabry-Perot interferometer, variable interference filters
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/33—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using ultraviolet light
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
LA PRESENTE INVENTION A POUR OBJET UN DETECTEUR INTERFEROMETRIQUE A MODULATION SELECTIVE, DESTINE A LA DETECTION ETOU L'IDENTIFICATION SPECIFIQUES D'AU MOINS UN GAZ DANS UN MELANGE GAZEUX, NOTAMMENT EN VUE D'OPERATIONS D'ANALYSE ETOU DE DOSAGE, COMPRENANT UNE SOURCE LUMINEUSE S DONT LE FAISCEAU TRAVERSE SUCCESSIVEMENT UN OBJECTIF DE CONCENTRATION 0, UNE CUVE A GAZ G, UN FILTRE INTERFERENTIEL F PROPRE A ISOLER LA TOTALITE DE LA BANDE SPECIFIQUE D'ABSORPTION DU GAZ A IDENTIFIER, UN ENSEMBLE D'INTERFEROMETRIE ET DE MODULATION I, AVANT D'ATTEINDRE UNE CELLULE DE DETECTION. IL EST CARACTERISE EN CE QUE LEDIT ENSEMBLE I CONSISTE EN UN INTERFEROMETRE DE FABRY-PEROT DONT AU MOINS UNE DES LAMES 10, 11 EST MONTEE SUR DES CERAMIQUES PIEZOELECTRIQUES 15 SOUMISES A UNE TENSION ELECTRIQUE DE MODULATION.
Description
DETECTEUR INTERFEROMETRIQUE DE GAZ
La présente invention se rapporte à un détecteur interférométrique destiné à la détection et l'identification spécifique d'au moins un gaz dans un mélange gazeux, notamment en vue d'opérations d'analyse etZou de dosage.
La présente invention se rapporte à un détecteur interférométrique destiné à la détection et l'identification spécifique d'au moins un gaz dans un mélange gazeux, notamment en vue d'opérations d'analyse etZou de dosage.
On connaît deja un dispositif de ce genre, pour la spectrométrie interférentielle à modulation selective dans lequel un faisceau lumineux issu d'une source appropriée, traverse successivement une cuve qui contient le mélange à analyser, un filtre interfêrentiel et, disposée entre un polariseur et un analyseur, une lame biréfringente, avant d'être focalisé sur un détecteur. Des moyens de modulation sont associés au polariseur et/ou à l'analyseur.
La lame biréfringente est choisie pour qu'un signal maximum soit recueilli sur le détecteur, pour le spectre correspondant au gaz à identifier.
Dans le dispositif connu, on rencontre des limitations d'emploi, dues essentiellement à la transparence des matériaux utilisés.
Ainsi, dans l'ultraviolet, grâce au fait que les structures fines d'adsorption des gaz sont le plus souvent assez larges dans ce domaine, si on peut utiliser le quartz malgre sa faible biréfringence (,an = 10-2), les limitations sont essentiellement dues aux polaroldes: on peut cependant atteindre 250 nm en collant le film "polarisant" ("POLAROID", marque déposee) sur une lame de silice.
Pour atteindre 200 nm, il est nécessaire d'utiliser des nicols à lame d'air qui sont transparents jusqu'à cette dernière longueur d'onde mais qui ont l'inconvénient de présenter un champ de polarisation plus faible et sont aussi 3 à 4 fois plus coûteux. Quant à la source lumineuse, ce peut être une simple lampe quartz-iode de 100 watts pour les longueurs d'onde supérieures à 270 nm. Pour les longueurs d'onde inférieures, on peut utiliser une lampe au deutérium, ou au xénon, ou encore à hydrogène.
Dans le domaine de l'infrarouge, les structures fines sont plus resserrées et conduisent à utiliser le spath de biréfringence An = 0,2 afin de réaliser des lames dont les épaisseurs ne soient pas trop grandes.
L'absorption du spath et celle des films polarisant infrarouge ne permettent pas d'aller au delà de 2,5 vm. Entre 2,5 vm et 5 gram, on peut utiliser le rutile par exemple qui présente une biréfringence de 0,3. t
Comme polariseurs, on peut utiliser dans ce domaine spectral des lames de spath de faible épaisseur, de l'ordre du vm;; en effet, au delà de 2,5 vm le spath devient dichrolque, l'absorption étant beaucoup plus forte pour les vibrations ordinaires que pour les vibrations extraordinaires,
La source lumineuse, dans ce domaine infrarouge, peut, jusqu'à 2,5 ijm, être une lampe quartz-iode, mais entre 2,5 et 5 vm, on peut utiliser avantageusement un Globar, c'est-à-dire un barreau de carbure de silicium chauffé par effet Joule à température voisine de 1.000"C et émettant un rayonnement avec un maximum vers 2 iim.
Comme polariseurs, on peut utiliser dans ce domaine spectral des lames de spath de faible épaisseur, de l'ordre du vm;; en effet, au delà de 2,5 vm le spath devient dichrolque, l'absorption étant beaucoup plus forte pour les vibrations ordinaires que pour les vibrations extraordinaires,
La source lumineuse, dans ce domaine infrarouge, peut, jusqu'à 2,5 ijm, être une lampe quartz-iode, mais entre 2,5 et 5 vm, on peut utiliser avantageusement un Globar, c'est-à-dire un barreau de carbure de silicium chauffé par effet Joule à température voisine de 1.000"C et émettant un rayonnement avec un maximum vers 2 iim.
Jusqu'à 2,5 vm, le détecteur utilisé peut être une cellule PbS à la température ordinaire, mais au delà, il faut utiliser une cellule PbS ou PbSe, ou HgCdTe refroidies par effet Peltier.
Ainsi, en utilisant un interferomêtre birêfringent, on peut traiter de nombreux gaz qui présentent une structure fine d'absorption dans le domaine spectral 0,2 um - 5 um. Cependant, prenant en compte le coût éleve des composants dans les domaines 0,2 - 0,25 ym et 2,5 - 5 vm, la présente invention a pour objet la réalisation d'un dispositif plus economique, approprié notamment à fonctionner dans ces domaines.
Un detecteur interferométrique à modulation sélective selon l'invention destiné à la détection et/ou l'identification spécifiques d'au moins un gaz dans un mélange gazeux, notamment en vue d'opérations d'analyse et/ou de dosage, comprenant une source lumineuse dont le faisceau traverse successivement un objectif de concentration, une cuve à gaz, un filtre interférentiel propre à isoler la totalité de la bande specifique, un ensemble d'interférométrie et de modulation, avant d'atteindre une cellule de détection est caractérisé en ce que ledit ensemble consiste en un interféromètre de Fabry-Pérot dont au moins une des lames est montée sur des céramiques piézoelectriques soumises à une tension électrique de modulation.
Selon une autre caractéristique de l'invention, l'autre lame de l'interféromètre de Fabry-Pérot est également montée sur des céramiques piézoélectriques soumises à une tension électrique continue réglable.
Les caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront mieux de la description suivante donnée uniquement à titre d'exemple, en référence aux dessins annexes dans lesquels:
- la figure 1 illustre schématiquement un dispositif de détection de
l'art anterieur;
- la figure 2 est une vue schématique d'une forme de réalisation du
dispositif selon l'invention.
- la figure 1 illustre schématiquement un dispositif de détection de
l'art anterieur;
- la figure 2 est une vue schématique d'une forme de réalisation du
dispositif selon l'invention.
Le dispositif de la figure 1, qui appartient à l'état de la technique antérieur comprend une source lumineuse S, une cuve à gaz C, un filtre interférentiel F qui isole la totalité de la bande spécifique d'absorp- tion du gaz recherché, en P et A des films polarisants, respectivement un polariseur et un analyseur, et en L une lame biréfringente.
Le faisceau lumineux issu de S est focalisé par une lentille 0, traverse les éléments précédents, et atteint un détecteur D, qui dans le visible et l'U.V. peut être un photomultiplicateur, et dans l'IR une cellule photoresistante. Le gaz G à analyser traverse la cuve D et l'épais- seur et la température de la lame L sont calculees de façon à obtenir un signal maximum Asur le détecteur D.
Comme on l'a déjà indiqué, ce dispositif présente des limitations d'emploi et des inconvenients.
Le dispositif schématisé à la figure 2 d'une forme de réalisation de l'invention, permet de remédier à ces inconvénients.
On retrouve dans ce dispositif des éléments homologues de ceux du dispositif de la figure 1, affectes des mêmes références avec l'indice 1, à savoir une source S1 dont le faisceau focalisé par un objectif 1 traverse la cuve à gaz C1 que suit un filtre interférentiel F1 et atteint finalement un detecteur D1. Mais ici l'ensemble constitué par la lame birefringente L entre polariseur P et analyseur A est remplacé par un interferomètre I de Fabry-Pérot.
Cet interféromètre I est constitué par deux lames 10 et 11 dont les faces en regard sont planes et parallèles et recoùvertes chacune d'une couche mince, 12 et 13 respectivement, dont le pouvoir réflecteur est voisin de 0,5 sur un large domaine spectral.
Pour permettre la modulation, au moins une des lames, 11 par exemple, est collee sur des ceramiques piézoélectriques 15, de manière à faire vibrer longitudinalement ladite lame 11, par application d'une tension alternative sur les céramiques 15.
De maniere avantageuse, la seconde lame, 10 ici, est également collee sur des céramiques piezoélectriques, 14, qui sont alimentées en tension continue reglable: il est ainsi possible de donner à l'epaisseur e de la lame d'air entre couches minces 12 et 13, la valeur correspondant à la différence de marche souhaitée et conduisant à un signal maximum, ce dernier réglage correspond à celui de la température de la lame biréfringente dans le dispositif de l'art antérieur.
Avec ce type d'interféromètre, on peut couvrir un domaine de lon- gueur d'onde très large, compte tenu des materiaux existants.
- Ainsi, avec le dispositif décrit ci-après, on peut facilement couvrir le domaine 1 um - 2,5 pm.
La source S1 est un Globar de 70 W.
L'objectif 01 est en fluorine ou tout autre matériau transparent dans l'IR par exemple la SZn et a une distance focale de 100 nm et un diamètre de 25 mm.
La cuve C1, d'une longueur de 300 mm comporte des fenêtres en fluorine, ou aussi ZnS.
Les lames 10 et 11 de l'interféromètre sont en ZnS et leurs faces en regard sont revêtues d'une couche mince de Si (pour assurer un pouvoir réflecteur de l'ordre de 0,5).
L'une des lames 10 est collée sur une ceramique piézoélectrique tubulaire cylindrique de 40 mm de diamètre, 2 mm épaisseur et 27 mn de haut. L'autre lame est collée sur 3 céramiques cylindriques de diamètre 10 mm et 10 mm de haut, disposees à 1200 les unes des autres.
A titre d'exemple, la distance entre lames est réglee à 1,5 nin pour l'analyse du CO et à 4 mm pour l'analyse du CO2, des moyens non représentés permettant un calage initial des lames approximativement à ces valeurs.
Quant au détecteur D1, il s'agit d'une cellule photorésistante au
PbSe, refroidie par effet Peltier.
PbSe, refroidie par effet Peltier.
Bien entendu, l'invention n'est pas limitée aux modes de realisa- tion decrits et représentés et elle est susceptible de nombreuses variantes accessibles à l'thonine de l'art, sans que I'on ne s' écarte de l'esprit de l'invention.
Claims (5)
1.- Detecteur interférométrique à modulation selective, destiné à la détection et/ou l'identification specifiques d'au moins un gaz dans un mélange gazeux, notamment en vue d'opérations d'analyse et/ou de dosage, comprenant une source lumineuse (S1) dont le faisceau traverse successivement un objectif de concentration lu1), une cuve à gaz (G1), un filtre interférentiel (F1) propre à isoler la totalité de la bande spécifique d'absorption du gaz à identifier, un ensemble d'interférométrie et de modulation (I), avant d'atteindre une cellule de détection, caractérise en ce que ledit ensemble (I) consiste en un interféromètre de Fabry-Pérot dont au moins une des lames (10, 11) est montee sur des ceramiques piezoelectriques (15) soumises à une tension électrique de modulation.
2.- Détecteur selon la revendication 1, caractérise en ce que l'autre lame de l'interféromètre de Fabry-Pérot est également montée sur des céramiques piézoélectriques soumises à une tension électrique continue réglable.
3.- Détecteur selon l'une des revendications 1 et 2, caracterise en ce que, pour une mesure dans l'infrarouge, les lames sont réalisées en materiau transparent à l'infrarouge tel que ZnS, fluorine et présentent sur leurs faces en regard un revêtement de Si de pouvoir réflecteur voisin de 0,5.
4.- Forme de réalisation du détecteur selon les revendications 1 à-4, destinée à une mesure dans l'infrarouge, caractérisée en ce que la source lumineuse (S1) est une source émettrice d'infrarouge, telle qu'un
Globar, l'objectif (oui) est en un materiau transparent à l'infrarouge, tel que fluorine ou SZn, les lames (10 et 11) de l'interféromètre etant collées, la lame 10 sur une ceramique piézoéîectrique tubulaire cylindrique et la lame 11 sur trois ceramiques cylindriques disposees à 1200 les unes des autres.
5.- Forme de realisation selon la revendication 4, caractérisée en ce que:
- la lentille (oui) a une distance focale de 100 m et un diamètre de
25 mm,
- la cuve (C1) a une longueur de 300 mm,
- la ceramique tubulaire portant la lame (10) a un diametre de 40 mm,
une épaisseur de 2 mm et une hauteur de 27 mm,
- tandis que les céramiques portant la lame (11) ont un diametre et
une hauteur de 10 mm, - et la cellule de détection (D1) est une cellule photorésistante au
PbSe, refroidie par effet Peltier.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8319010A FR2555747B1 (fr) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | Detecteur interferometrique de gaz |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR8319010A FR2555747B1 (fr) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | Detecteur interferometrique de gaz |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2555747A1 true FR2555747A1 (fr) | 1985-05-31 |
| FR2555747B1 FR2555747B1 (fr) | 1986-08-14 |
Family
ID=9294635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR8319010A Expired FR2555747B1 (fr) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | Detecteur interferometrique de gaz |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| FR (1) | FR2555747B1 (fr) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989001621A1 (fr) * | 1987-08-18 | 1989-02-23 | Societe Nationale Elf Aquitaine | Procede de mesure de la concentration d'un gaz dans un melange gazeux et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede |
| FR2628528A1 (fr) * | 1988-03-08 | 1989-09-15 | Elf France | Interferometre et procede d'analyse gazeuse |
| FR2639711A1 (fr) * | 1988-11-25 | 1990-06-01 | Elf Aquitaine | Procede pour la detection simultanee de plusieurs gaz dans un melange gazeux, et appareillage pour la mise en oeuvre de ce procede |
| EP0396319A1 (fr) * | 1989-05-01 | 1990-11-07 | Rosemount Analytical Inc. | Procédé et dispositif pour le mesurage des absorptions optiques de mélanges gazeux |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2274914A1 (fr) * | 1974-06-11 | 1976-01-09 | Allied Chem | Procede et appareil de detection d'une espece moleculaire dans un echantillon gazeux |
-
1983
- 1983-11-29 FR FR8319010A patent/FR2555747B1/fr not_active Expired
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2274914A1 (fr) * | 1974-06-11 | 1976-01-09 | Allied Chem | Procede et appareil de detection d'une espece moleculaire dans un echantillon gazeux |
Non-Patent Citations (4)
| Title |
|---|
| JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS, vol. 10, no. 2, février 1971, N. INOUE et al.: "A differential scanning fabry-perot interferometer", pages 228-233. * |
| JOURNAL OF PHYSICS E: SCIENTIFIC INSTRUMENTS, vol. 14, no. 11, novembre 1981, DORKING (GB), D. REES et al.: "A stable, rugged, capacitance-stabilised piezoelectric scanned fabry-perot etalon", pages 1279-1284. * |
| OPTICAL ENGINEERING, vol. 15, no. 1, janvier-février 1976, E.G. LIERKE: "Infrared modulator for optical sensors based on a vibrating fabry-perot interferometer", pages 35-38. * |
| THE REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS, vol. 44, no. 4, avril 1973, D. DRUMMOND et al.: "A low resolution scanning multiple fabry-perot spectrometer", pages 396-399. * |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1989001621A1 (fr) * | 1987-08-18 | 1989-02-23 | Societe Nationale Elf Aquitaine | Procede de mesure de la concentration d'un gaz dans un melange gazeux et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede |
| FR2619621A1 (fr) * | 1987-08-18 | 1989-02-24 | Centre Nat Rech Scient | Procede de mesure de la concentration d'un gaz dans un melange gazeux et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede |
| FR2628528A1 (fr) * | 1988-03-08 | 1989-09-15 | Elf France | Interferometre et procede d'analyse gazeuse |
| FR2639711A1 (fr) * | 1988-11-25 | 1990-06-01 | Elf Aquitaine | Procede pour la detection simultanee de plusieurs gaz dans un melange gazeux, et appareillage pour la mise en oeuvre de ce procede |
| EP0396319A1 (fr) * | 1989-05-01 | 1990-11-07 | Rosemount Analytical Inc. | Procédé et dispositif pour le mesurage des absorptions optiques de mélanges gazeux |
| US4998017A (en) * | 1989-05-01 | 1991-03-05 | Ryan Fredrick M | Method and arrangement for measuring the optical absorptions of gaseous mixtures |
| USRE35355E (en) * | 1989-05-01 | 1996-10-22 | Rosemount Analytical Inc. | Method and arrangement for measuring the optical absorptions of gaseous mixtures |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2555747B1 (fr) | 1986-08-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5357340A (en) | Method for spectroscopy using two Fabry-Perot interference filters | |
| FR2761779A1 (fr) | Dispositif de mesure d'absorption d'infrarouge | |
| FR2581190A1 (fr) | Detecteur interferometrique de gaz | |
| US20080186566A1 (en) | Adjustable Interference Filter | |
| EP1160565A1 (fr) | Procédé et dispositif de détection de fuites de gaz | |
| FR2530039A1 (fr) | Lunettes de protection a transmission reglable automatiquement utilisant des cristaux liquides | |
| FR2782164A1 (fr) | Detecteur de gaz optique a infrarouge | |
| JP2001526385A (ja) | 多種ガスセンサと、ガス濃度検出方法。 | |
| EP0020238A1 (fr) | Procédé et dispositif de mesure des transferts thermiques d'un échantillon et application à la mesure du coefficient d'absorption | |
| Grilli et al. | Trace measurement of BrO at the ppt level by a transportable mode-locked frequency-doubled cavity-enhanced spectrometer | |
| FR2555747A1 (fr) | Detecteur interferometrique de gaz | |
| FR2906368A1 (fr) | Dispositif de mesure de la concentration en gaz | |
| FR2497951A1 (fr) | Appareil optique pour instrument de polarisation en fluorescence | |
| WO2004042385A1 (fr) | Procede de determination du point de disparition des cristaux de produits petroliers ainsi que dispositif permettant la mise en oeuvre de ce procede | |
| EP0021967A1 (fr) | Dispositif électrooptique à biréfringence électrique comportant un polymère polarisé | |
| WO2020104689A1 (fr) | Détecteur à cellules modulaires de mesure opto-acoustique exaltée par résonateur à quartz | |
| EP3973259A1 (fr) | Dispositif d'emission et de controle d'une lumiere infra-rouge et capteur de gaz utilisant un tel dispositif | |
| FR2555748A1 (fr) | Dispositif interferometrique pour la detection de gaz dans un melange gazeux | |
| FR2628528A1 (fr) | Interferometre et procede d'analyse gazeuse | |
| FR2641074A1 (fr) | ||
| FR2951823A1 (fr) | Procede et dispositif de mesure spectrometrique d'un flux de matiere se deplacant en direction longitudinale | |
| WO1989001621A1 (fr) | Procede de mesure de la concentration d'un gaz dans un melange gazeux et dispositif pour la mise en oeuvre de ce procede | |
| EP1290417A1 (fr) | Ellipsometre spectroscopique a faible bruit | |
| CH487397A (fr) | Spectrophotomètre | |
| FR2602338A1 (fr) | Ellipsometre a modulation de phase fonctionnant dans l'infrarouge |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| TP | Transmission of property | ||
| ST | Notification of lapse |