FR2472446A1 - Appareil pour le transfert de plaquettes minces disposees verticalement dans un panier rainure de rangement - Google Patents

Abstract

A.APPAREIL POUR LE TRANSFERT DE PLAQUETTES MINCES DISPOSEES VERTICALEMENT DANS UN PANIER RAINURE DE RANGEMENT. B.CET APPAREIL COMPORTE UN CHARIOT DE TRANSFERT 1 SUSCEPTIBLE DE SE DEPLACER PARALLELEMENT A L'AXE DU PANIER DE RANGEMENT 5 CONTENANT LES PLAQUETTES A PRELEVER. CE CHARIOT PORTE D'UNE PART UN BRAS DE MANOEUVRE 16 POURVU D'UNE VENTOUSE DE PREHENSION 17 ET D'AUTRE PART, UN DOIGT ESCAMOTABLE 21 APTE A ASSURER LE REDRESSEMENT EVENTUEL DE CHAQUE PLAQUETTE 6 AU MOMENT DE SA PREHENSION, LA ZONE D'APPUI DE CE DOIGT ETANT TANGENTE AU PLAN PASSANT PAR LA FACE DE CONTACT DE LA VENTOUSE D'ASPIRATION. PAR AILLEURS, LA POSITION DE CETTE DERNIERE EST DECALEE PAR RAPPORT AU CENTRE DE LA PLAQUETTE 6 A PRELEVER, CEPENDANT QUE LE DOIGT DE REDRESSEMENT EST DANS UNE POSITION DIAMETRALEMENT OPPOSEE. C.CET APPAREIL EST SUSCEPTIBLE D'ETRE UTILISE POUR LE TRANSFERT DE PLAQUETTES MINCES DE SILICIUM, SERVANT A LA FABRICATION DE CERTAINS COMPOSANTS ELECTRONIQUES ET CE, JUSQU'A UN DISPOSITIF DE TRAITEMENT OU CES PLAQUETTES DOIVENT SUBIR UN TRAITEMENT DETERMINE.

Description

La présente invention concerne les appareils et dispositifs utilisés pour la préhension et le transfert de plaquettes minces, telles que les plaquettes de silicium servant de substrats pour la fabrication de certains oamposants électroniques.

Pour leur stockage et leur transport, les plaquettes de ce genre sont rangées,généralement par groupe de vingt-cinq, dans des paniers rainurés à l'intérieur desquels elles se trouvent disposées verticalement lorsque ces paniers sont dans leur position normale. Cependant, ces plaquettes doivent être retirées une à une de chaque panier afin de subir les différentes opérations de traitement nécessaires pour la fabrication de composants électroniques, par exemple pour la réalisation de circuits intégrés ; après quoi, ces plaquettes doivent être à nouveau mises en place dans un autre panier similaire.

Mais -, ces opérations de préhension et de transfert soulèvent actuellement des difficultés sérieuses. Celles-ci proviennent d'un certain nombre de contraintes résultant de la nature même des plaquettes à transférer et de la conception de leurs paniers de rangement qui sont standardisés Or, ces paniers présentent à l'ur.ede leurs ex trémités, une barre médiane de raidissement qui ne permet pas de faire passer à cet endroit un organe de préhension des plaquettes.

Actuellement, la méthode la plus couramment employée consiste à effectuer le transfert des plaquettes d'un panier de rangement à un autre au moyen d ' "ascenceurs" de -manutention.

Mais ce procédé impose de placer les paniers de rangement dans une position verticale sur un tel ascenceur. Or, ceci ne correspond pas à leur position naturelle. En effet, dans cette position verticale, les rainures des paniers se trouvent disposées horizontalement, de sorte que les plaquettes peuvent s'échapper par glissement. Du fait de leur fragilité, les plaquettes de silicium risquent alors de se briser en cas de choc ventre le sol ou un obstacle queloenque. Ceci est du reste un incident fréquent au moment de la mise en place de tels paniers sur un ascenceur de ina#utention.

C est pourquoi la présente invention a pour but de réa liser un appareil de manutention permettant de prélever les plaquettes d'un panier de rangement en laissant celui-ci dans sa position nonnale, c' est-à-dii# avec son icnd disposé horizontalement. A cet effets cet appareil est ounçu de manière que la préhension des plaquettes soit effectuée au moyen d'une ventouse dlaspiration permettant de les préle- ver et de les manipuler une à une dans des conditions optimum.

A ce sujet, il n'est pas sans intérêt de rappeler que l'on a déjà procédé à la préhension de telles plaquettes au moyen d'une ventouse d'aspiration tenue à la main. Toutefois, il s'agissait là d'une simple opération de préhension pour le retrait des plaquettes en dehors d'un panier de rangement et non pas d'une opération de transfert permettant de les amener dans une position précise en un point déterminé pour subir une opération particulière ou pour être reprises par d'autres moyens de transfert ou de déplacement. Or, l'appareil selon l'invention est pour sa part conçu pour réaliser une telle opération de transfert avec le maximum de précision et dans les meilleures conditions possibles de manipulation des plaquettes, sans risque de détérioration de celles-ci.

Cet appareil est essentiellement caractérisé en ce qu'il comporte un chariot de transfert, subdivisé en deux parties, à savoir une partie inférieure susceptible de se déplacer dans le sens horizontal, et une partie supérieure montée mobile sur celle-ci dans le sens vertical et sur laquelle est prévu un bras de manoeuvre pourou d'une ventouse d'aspiration apte à assurer la préhension de chaque plaquette dans le panier de rangement, l'agencement étant tel que dans la position de préhension d'une plaquette, cette ventouse se trouve décalée par rapport au centre de ceRe-ci.

Selon une autre caractéristique, il est prévu des moyens aptes à agir sur les plaquettes disposées dans leur panier de rangement afin qu'elles se trouvent redressées dans une position convenable au itan"nt de leur préhension, ces moyens de redressement des plaquettes étant aptes à agir sur chacune de celles-ci en un point dianétralement opposé à la position de la ventouse de préhension lors du prélèvement d'une plaquette.

Grâce à cet agencement, le présent appareil est en mesure de "saisir" fermement chaque plaquette pour la sortir du panier de rangement correspondant et la transférer ensuite dans une position précise ou elle peut être déposée sur un support déterminé ou reprise par un autre moyen de transfert ou de déplacement. L'action conjointe de la ventouse d'aspiration et des moyens de redressement permet que la préhension de chaque plaquette soit réalisée dans les meilleurs con diiions au moment de son prélèvement, après quoi le bras de manoeuvre assure seul le transfert de chaque plaquette jusqu'à la nouvelle position prévue pour oelle-ci.

Il faut également observer que la position excentrée de la ventouse de préhension permet de "saisir" facilement chaque plaquette malgré la présence de la barre transversale de raidissement qui est prévue à l'une des extrémités des paniers de rangement. Par ailleurs, ceei a également pour avantage de laisser libre le centre de chaque plaquette, en vue d'une opération ultérieure de reprise au centre par un autre organe de préhension.

Selon une autre caractéristique du présent appareil, le bras de manoeuvre du chariot de transfert est coudé à angle droit et monté pivotant, de faucon qu'il puisse -amener, dans une position horizontale, chaque plaquette prélevée dans le panier de rangement.

Ceci permet donc de transférer une à une chaque plaquette sur un support horizontal destiné à la ~ voir pour lui faire subir un ou plusieurs traitements déterminés.

Dans une forme particulière de réalisation, le présent appareil est également conçu pour être en mesure d'effectuer une opération préalable de centrage des plaquettes ayant un contour circulaire et ce, avant que celles-ci soient transférées vers un ou plusieurs appareils de traitement. A cet -effet, il est alors prévu un panier fixe de centrage disposé dans l'alignement du panier de rangement, et dont le fond incurvé présente la forme d'une portion de cylindre de même diametre que les plaquettes.

Les mouvements des divers organes mobiles du présent appareil ainsi que la mise en action de la ventouse de préhension et sa neutralisation, sont synchronisés. Du reste, l'ensemble de ces mouvements et opérations sont commandés par un microprocasseur permettant d'obtenir la synchronisation voulue.

Cependant, d'autres particularités et avantages de l'appareil selon l'invention apparaîtront au cours de la description suivante. Cette description est donnée en référence au dessin annexé à simple titre indicatif, et sur lequel
La figure 1 est une vue en plan de dessus d'un appareil de transfert
selon l'invention
La figure 2 est une vue en coupe selon la ligne Il-Il de la figure 1,
mais à échelle différente
La figure 3 est une vue partielle en élévation de cotés à la même
échelle que la figure 2
La figure 4 est une vue partielle en coupe selon la ligne IV-IV de la
figure 3
La figure 5 est une vue schématique en élévation de l'une des pla
quettes au moment de sa préhension par le bras de manoeuvre
La figure 6 est une vue schématique illustrant les mauvaises conditions
dans lesquelles s'effectuerait la préhension d'une telle
plaquette en l'absence du doigt de redressement prévu dans
le présent appareil.

Dans l'exemple représenté, l'appareil selon l'invention est conçu pour assurer le transfert de plaquettes minces de contour circulaire, en l'occurrence des plaquettes de silicium utilisées pour la fabrication de certains composants électroniques. Or, cet appareil est agencé pour faire subir à celles-ci une opération de centrage avant leur transfert proprement dit.

Le présent appareil comporte un chariot de transfert, désigné par la référence générale 1, et monté coulissant sur deux tiges horizontales de guidage 2. Celles-ci sont solidaires d'un châssis comportant un socle inférieur 3.

Celui-ci porte un support 4, apte à recevoir un panier de rangement 5 contenant une série de plaquettes minces 6 devant subir une opération de transfert, par exemple pour leur transfert dans un appareil de traitement déterminé. il s'agit d'un panier de type standard dont les parois intérieures sont rainurées pour constituer les logements des plaquettes correspondantes. Celles-ci sont disposées verticalement à 1' intérieur de ce panier et prennent appui sur le fond de ce dernier, ces plaquettes pouvant être extraites par coulissement vers le haut.

La forme du support 4 est telle que ce panier puisse être fixé en place, par simple emboîtement sur le dessus de ce support, l'axe XY de ce panier étant alors parallèle aux tiges 2 de guidage du chariot de transfert. Des moyens de repérage permettent un positionnement très précis du panier 5, ce qui est indispensable pour la bonne exécution des opérations ultérieures de transfert. De plus, il convient que ce panier soit placé dans une position telle que la face non traitée des plaquettes 6 soit orientée vers la gauche pour pouvoir être "saisie" par la ventouse d'aspiration du présent appareil, ainsi qu'il sera décrit par la suite.

Dans 1 alignement du support 4, donc dans le même axe y que celui-ci, il est prévu un panier fixe 7 de même structure générale que le panier de rangement 5. Toutefois, ce panier est destiné à assurer un centrage des plaquettes 6 avant l'opération proprement dite de transfert de celles-ci. A cet effet, ce panier est fixé sur un support 8 dont la faoe supérieure incurvée 9 forme en quelque sorte, le fond du panier 7. Or, ce fond correspond à une portion de cylindre de même diamètre que les plaquettes 6.

Le chariot de transfert 1 comprend deux parties distinctes, à savoir une partie inférieure 10 montée coulissante sur les deux tiges de guidage 2 et une partie supérieure 11 susceptible d'être soulevée par rapport à celle -ci. A cet effet, la partie supérieure mobile est portée par deux tiges 12 montées coulissantes dans des bagues de guidage 13 prévues dans la partie inférieure 10. Les mouvements ascendant et descendant de la partie supérieure 11 sont commandés par un vérin pneumatique 14 alimenté par une canalisation 15.

La partie supérieure 11 du chariot de transfert porte un bras de manoeuvre 16 pourvu d'une ventouse d'aspiration 17 destinée à assurer la préhension de chacune des plaquettes 6. A ce sujet, il convient de noter que ce bras est coudé à angle droit et que son extré- mité opposée à la ventouse 17 est montée rotative sur elle-même à l'intérieur d'un palier 18.Les mouvements de rotation de ce bras dans un sens et dans l'autre sont commandés par un vérin pneumatique 19 qui agit par l'intermédiaire d'une bielle sur un maneton 20, solidaire de i 'extrémité correspondante de ce bras. L' agencement est tel que ce dernier puisse être placé dans deux positions entrer'es différentes, représentées aux figures 2 et 3 et pour lesquelles la ventouse de préhension 17 est respectivement disposée à l'horizontale et à la verticale.

La surface de travail de cette ventouse est plate et présente des rainures partant d'un trou central commaniquant avec un alésage prévu à llintérieur du bras de manoeuvre 16 et qui est raccorde à une pompe d'aspiration à vides
L'agencement est tel que lorsque cette ventouse se trouve dans sa position verticale, son centre est décalé par rapport au centre des plaquettes 6 disposées à lu intérieur du panier de rangement 5. Or, dans une position diametralement opposée par rapport au centre de ces plaquettes, il est prévu un doigt rétractable 21 actionné par un vérin 22, porte par une patte 23 solidaire de la partie inférieure 10 du chariot de transfert.A ce sujet, il faut observer que la zone d'appui de ce doigt 25 contre la face correspondante d'une plaquette 6, est tangente au plan passant par la face de travail de la ventouse d'aspiration 17.

Les déplacements du chariot de transfert sont assurés par une courroie crantée 24, attachée en un point intermédiaire de sa longueur sur la partie inférieure 10 de ce chariot. Cette courroie passe sur des poulies de renvoi dont l'une 25 est accouplée, par l'intermédiaire d'une autre courroie 26,avec l'arbre de sortie d'un moteur d'entralnement 27.

Ceci permet de oeoonder des déplacements très précis du chariot de transfert. Ces déplacements, de même que les mouvements des autres organes mobiles de l'appareil, sont commandés par un microprocesseur qui assure la synchronisation de ces différents mouvements ainsi que la mise en service et la neutralisation de la ventouse d'aspiration 17.

La préhension de chaque plaquette 16 en vue de son retrait en dehors de son panier de rangement 5 est réalisée au moyen de la ventouse d'aspiration 17. La partie supérieure 11 du chariot de transfert se trouve alors dans sa position basse et la ventouse 17 est maintenue à la verticale.Par déplacement longitudinal, le chariot 1 est alors amené dans une position pour laquelle la face de travail de cette ventouse est disposée à proximité immédiate de la face gauche de la plaquette à saisir (voir figures 3 et 5).

Mais, en même temps, le doigt rétractable 21 est luimême amené contre la face correspondante de la plaquette 16. Dans ces conditions, il assure éventuellement le redressement de celle-ci si cette plaquette se trouvait jusqu'ici dans une position légèrement inclinée.

En effet, du fait même du jeu qui existe à l'interieur des logements formés par les rainures 28 du panier 5, les plaquettes 6 peuvent prendre une position légèrement inclinée, romnut représenté sur la figure 6. Or, si un redressement de la plaquette à saisir n'était pas réalisé à ce moment, sa préhension s'effectuerait dans de mauvaises conditions ou ne pourrait pas être réalisée. En effet, comme représenté à la figure 6, il n'y aurait pas parallélisme entre la face de travail de la ventouse d'aspiration 17 et la partie correspondante de du la plaquette 6. Dans ces conditions, l'effet d 'aspiratibn/ a la ven- touse 17 ne pourrait pas s'effectuer.Par ailleurs, il pourrait se produire un bris de la plaquette 6 au moment de L'entrée en contact de la ventouse d'aspiration 17, car celle-ci viendrait alors/#urter par l'un de ses bords.

Or, justement, la présence du doigt rétractable 21 permet d'éviter ces inconvénient. En effet, ce doigt qui se trouve en position saillante de travail au moment de l'opération de préhension d'une plaquette 6 assure de ce fait, un redressement préalable de cette dernière.

Dans ces conditions, la plaquette 6 se trouve dans une position parallele à la face d'aspiration de la ventouse 17. Ainsi, la préhension de la plaquette 6 s'effectue dans des conditions optimum, sans risque de bris de celle-ci.

lorsque cette opération de préhension est achevée, le doigt de redressement 21 est rétracté à l'intérieur du vérin 22. Par ailleurs, la partie supérieure 11 du chariot de transfert 1 est soulevée depuis sa position basse A jusqu'à une position haute B pour laquelle la plaquette prélevée 6 est elle#me suffisamment soulevée pour pouvoir passer dessus du panier de rangement 5.

Le chariot de transfert 1 est alors déplacé vers la droite, dans le sens de la flèche F, jusque dans la position C. Puis, la partie supérieure 11 de ce chariot est descendue dans la position D représentée à la figure 3. Au cours de cette descente, la plaquette 6, précédemment prélevée, est amenée en 6a à l'intérieur de l'un des logements du panier fixe de centrage 7. La ventouse d'aspiration est alors neutralisée par arrêt du pompage à l'intérieur de celle-ci de fanon à abandonner la plaquette correspondante #ù 1 'intérieur du panier 7.

A ce sujet, il convient de noter que le microprocasseur de commande comporte un programme tel que les plaquettes 6 prélevées dans le panier de rangement 5 se trouvent disposées dans un ordre inverse à l'intérieur du panier de centrage 7, lorsque le transfert dUnpanier à autre est complètement terminé. En lXoccur- rence, la plaquette 6 qui était en première position à partir de la gauche dans le panier de rangement 5, se trouve ensuite en première position à partir de la droite dans le panier de centrage 7, et ainsi de suite.

Du fait de leur mise en place à l'intérieur du panier 7, les plaquettes 6 subissent automatiquement une opération de centrage.

A ce sujet, il faut observer que la périphérie des plaquettes de ce genre présente très frequemment une ou plusieurs encoches, ou bien un ou plusieurs meplats, prévus dans un but ultérieur de repérage ou de positionnement. Bien que ces encoches ou méplats n'intéressent qu'une fraction très limitée de la périphérie de chaque plaquette, leur présence peut néanmoins avoir pour effet que ces plaquettes ne sont pas toutes parfaitement centrées à l'intérieur don panier de rangement 5 de type standard. En effet, lorsque de telles encoches ou méplats coincident avec l'un des bords inférieurs de soutien de ce panier, la plaquette correspondante n'est pas convenablement centrée.

Or, un tel inconvénient se trouve évité dans le cas
du panier fixe de centrage 7. En effet, la présence du fond incurvé 9 permet d'obtenir un centrage précis de toutes les plaquettes 6 déposées dans le panier 7, car l'arc de cercle auquel correspond la section de ce fond incurvé est en tout état de cause, plus long que la partie de circonférence sur laquelle peuvent être prévus une ou plusieurs encoches ou méplats. Dans ces conditions, après mise en plaoe des plaquettes 6 à l'intérieur du panier de centrage 7, les centres de toutes ces plaquettes sont alignés sur un même axe horizontal 0. Or, ceci est une condition indispensable pour que oes plaquettes puissent ensuite être placées dans une position précise lors de leur transfert ultérieur.

Ce transfert est à nouveau réalisé au moyen du chariot 1, toujours commandé par le micro processeur de l'appareil, lequel comporte un second programme prévu à cet effet. Au cours de ce pro gramme, chaque plaquette 6 est prélevée hors du chariot de centrage 7 en commençant par l'extremite gauche de ce panier.

La préhension de chaque plaquette s'effectue exactement de la même façon que précédemment. Cependant, après soulèvement de la partie supérieure 11 du chariot de transfert et déplacement de celui-ci vers la gauche, le bras de manoeuvre 16 tourne/lu de façon à amener la plaquette correspondante 6 dans une position horizontale. Enfin, la partie supérieure 1 1 du chariot descend jusque dans sa position initiale A, de sorte que le bras de manoeuvre 16 peut 6b déposer la plaquette / sur un support horizontal 29, destiné à servir de support individuel à cette plaquette pendant une opération de traitement déterminé, par exemple pendant une opération de metallisation sous vide.

Lorsqu'après achèvement de ce traitement, cette plaquette est ramenée dans sa position 6b par le support 29, elle peut être reprise par la ventouse 17 du bras de manoeuvre 16 pour être ensuite transférue à L'intérieur du panier de rangement 5. il faut noter qu'après leur traitement, les différentes plaquettes se trouvent à nouveau rangées à l'intérieur de ce panier, exactement dans leur ordre initial, ce qui est extrêmement important. En effet, ceci évite d'avoir à effectuer un repérage des plaquettes, comte cela doit être le cas avec les dispositifs de transfert par "asoenoeurs" puisque dans ces dispositifs, il y a inversion de l'ordre des plaquettes après que celles-ci aient été coit#lètement transférées d'un panier de rangement à un autre.

Du reste, il faut également noter qu'avec l'appareil selon l'invention, les plaquettes se trouvent ramenées dans leur panier d'origine. Dans ces conditions, il est possible de prévoir un appareil de transfert selon l'invention à 1 endroit de chacun des postes successifs de traitement des plaquettes du type en cause, ces plaquettesétant amenées à chaque appareil par un convoyeur susceptible de transporter les uns à la suite des autres les paniers portant les plaquettes à traiter, un arrêt étant prévu à l'endroit de chaque appareil de transfert.

Ainsi qu'il a déjà été indiqué, une particularité importante de 1 'appareil selon l'invention réside dans le fait que la ventouse de préhension du bras de manoeuvre se trouve dans une position décalée par rapport au centre des plaquettes à prélever. Du reste, c'est cetre particularité qui permet justement de pouvoir assurer le prelèvement des plaquettes en laissant leur panier de rangement dans sa position normale, c#est-à#ire dans une position horizontale.En effet, compte tenu de la présence de la barre médiane de raidissement 30 existant à l'une des extremites des paniers de rangement, il ne serait pas possible de réaliser la préhension des plaquettes en leur centre, car on ne pourrait pas faire acculer , à cet endroit, une ventouse de préhension.

Cependant, la préhension des plaquettes en un point excentré a également un autre avantage dans le cas où celles-ci doivent ensuite être reprises par un organe central de préhension en vue d'un traitement déterminé, par exemple un traitement impliquant une rotation des plaquettes sur ellesrnêmes. En effet, cet organe de reprise peut alors accéder au centre de chaque plaquette puisque celui-ci est resté libre, la ventouse 17 se trouvant disposée en un point excentré.

Un avantage important du présent appareil réside dans le fait que les plaquettes sont prélevées dans des conditons optimum du fait de l'action conjointe de la ventouse de préhension 17 et du doigt de redressement 21. tki autre avantage important consiste en ce que le transfert des plaquettes est ensuite réalisé dans des conditions ettremenent précises. Cette précision résulte notamment du fait que la ventouse de préhension est fixée rigidement sur le bras de manoeuvre 16, luiroerne rigide et que les différents mouvements du chariot de transfert sont assurés par les différents mécanismes de l'appareil, euxmêmes commandés par le microprocesseur prévu à cet-effet.

Cependant, il est bien évident que l'appareil de transfert selon l'invention n'est pas limité à l'exemple de réalisation décrit ci-dessus.

Ainsi, le doigt de redressement prévu dans cet exemple peut être remplacé par d'autres moyens appropriés susceptibles d'assurer le redressement éventuel des plaquettes dans une position convenable avant leur préhension, ou au moment de celle-ci. Ces moyens peuvent consister en une sorte de peigne rétractable, disposé au-dessous de l'emplacement du panier de centrage 5 et comportant une série de doigts aptes à pénétrer à 1' intérieur de la partie inférieure des logements des diverses plaquettes .Le redressement de la totalité des plaquettes est alors obtenu par un mouvement de soulèvement de ce peigne, suivi d'un léger mouvement de translation horizontale permettant que chaque doigt vienne agir sur la plaquette correspondante en un point diametralement opposé à la position occupée par la ventouse de préhension lors du prélèvement de cette plaquette.

Un tel dispositif se différencie de celui précédameent décrit par le fait que le peigne de redressement est totalement indépendant du chariot de transfert. Il s'en différencie également en ce qu'il assu re simultanement le redressement de la totalité des plaquettes et non pas seulement celui de la plaquette en cours de prélèvement.

Cependant, les mouvements de ce peigne doivent être synchronisés avec ceux des autres organes mobiles, car ce peigne doit se trouver en position retractée d'escamotage lorsque les plaquettes sont ultérieurement remises en place dans leur panier de rangement.

Par ailleurs, le mouvement de transfert des plaquetttes peut être très différent suivant les cas et applications , et notamment suivant la nature des traitements que ces plaquettes doivent subir.

En effet, l'appareil selon l'invention n'est en aucune façon limité au cas oii celles-ci doivent être transférées sur un support horizontal, comme cela est prévu sur le dessin annexé. Du reste, ces plaquettes peuvent fort bien ne pas être transférées sur un support individuel, mais amenées dans une postion déterminée pour y être reprises par d'autres moyens de transfert ou de déplacement.

D'autre part, le panier de centrage peut fort bien être suppriné, notameent dans le cas de plaquettes non circulaires.

Cependant, dans un tel cas, ce panier peut éventuellement être conservé dans le simple but de servir d'élement intermédiaire de rangement permettant de récupérer ensuite les plaquettes exactement dans le même ordre, à l'intérieur de leur panier d'origine.

Claims (7)

REVENDICATIONS

1. Appareil pour le transfert de plaquettes minces disposées verticalement dans un panier rainuré de rangement et ce, par préhension au moyen d'une ventouse d'aspiration, caractérisé en ce qu'il comporte un chariot de transfert, subdivisé en deux parties, à savoir une partie inférieure susceptible de se deplacer dans le sens horizontal, et une partie supérieure montée mobile sur celle-ci dans le sens vertical et sur laquelle est prévu un bras de manoeuvre pourvu d'une ventouse d'aspiration apte à assurer la préhension de chaque plaquette dans le panier de rangement, l'agencement étant tel que dans la position de préhension d'une plaquette, cette ventouse se trouve décalée par rapport au centre de celle-ci.

2. Appareil selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comporte des moyens aptes à agir sur les plaquettes disposées dans leur panier de rangement afin qu'elles se trouvent redressées dans une position convenable au moment de leur préhension.

3. Appareil selon la revendication 2, caractérisé en ce que les moyens de redressement des plaquettes sont aptes à agir sur chacune de celles-ci en un point diamétralement opposé à la position de la ventouse de préhension lors du prélèvement d'une plaquette.

4. Appareil selon l'une des revendications 2 et 3, caractérisé en ce que les moyens de redressement des plaquettes consistent en un doigt rétractable porté par un support solidaire du chariot de transfert, la zone d'appui de ce doigt étant tangente au plan passant par la face de contact de la ventouse d'aspiration.

5. Appareil selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que la partie supérieure du chariot sur laquelle est monté le bras de préhension, est montée sur la partie inférieure de celui-ci par l'intermédiaire de moyens de guidage dans le sens vertical et un organe de commande, par exemple un vérin, assure les mouvemonts de soulèvement et de descente de la partie supérieure de ce chariot.

6. Appareil selon l'une des revendications précédentes, caractérisé en ce que le bras de préhension est coudé à angle droit et monté pivotant, de façon qu'il puisse amener, dans une position horizontale, chacune des plaquettes à transférer.

7. Appareil selon l'une des revendications précédentes, destiné au transfert de plaquettes minces de contour circulaires, caracterisé en ce qu'il comporte un panier fixe de centrage disposé dans l'alignement du panier de rangement, et dont le fond incurvé présente la forme d'une portion de cylindre de même diamètre que les plaquettes, 1' agencement étant tel que toutes les plaquettes extraites du panier de rangement puissent être transférées une à une dans le panier de centrage avant d'être reprises par le chariot de transfert pour être transférées jusqu'à un point déterminé, par exemple jusqu'à un appareil ou dispositif de traitement.