FR2465007A1 - Dispositif a plusieurs sas pour revetir sous vide des charges successives de substrats - Google Patents
Dispositif a plusieurs sas pour revetir sous vide des charges successives de substrats Download PDFInfo
- Publication number
- FR2465007A1 FR2465007A1 FR7923148A FR7923148A FR2465007A1 FR 2465007 A1 FR2465007 A1 FR 2465007A1 FR 7923148 A FR7923148 A FR 7923148A FR 7923148 A FR7923148 A FR 7923148A FR 2465007 A1 FR2465007 A1 FR 2465007A1
- Authority
- FR
- France
- Prior art keywords
- vacuum chamber
- airlocks
- airlock
- substrates
- chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 29
- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 24
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 title description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 title description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 title 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 claims description 4
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims description 2
- 230000000712 assembly Effects 0.000 abstract 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 abstract 1
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 208000028659 discharge Diseases 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000012768 molten material Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229910000601 superalloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR7923148A FR2465007A1 (fr) | 1979-09-17 | 1979-09-17 | Dispositif a plusieurs sas pour revetir sous vide des charges successives de substrats |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| FR7923148A FR2465007A1 (fr) | 1979-09-17 | 1979-09-17 | Dispositif a plusieurs sas pour revetir sous vide des charges successives de substrats |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| FR2465007A1 true FR2465007A1 (fr) | 1981-03-20 |
| FR2465007B1 FR2465007B1 (OSRAM) | 1984-04-27 |
Family
ID=9229713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| FR7923148A Granted FR2465007A1 (fr) | 1979-09-17 | 1979-09-17 | Dispositif a plusieurs sas pour revetir sous vide des charges successives de substrats |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| FR (1) | FR2465007A1 (OSRAM) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1229225A (fr) * | 1958-07-02 | 1960-09-05 | Libbey Owens Ford Glass Co | Procédé et appareil pour déposer sous vide une pellicule sur des objets ou articles divers |
| US3656454A (en) * | 1970-11-23 | 1972-04-18 | Air Reduction | Vacuum coating apparatus |
| DE2420430A1 (de) * | 1973-04-28 | 1974-11-14 | Canon Kk | Apparat zum aufdampfen duenner schichten |
| FR2260632A1 (en) * | 1974-02-11 | 1975-09-05 | Uk I Sp | Vapour deposition of coatings on metal strip - two loading chambers with separate vacuum seals permit continuous operation |
-
1979
- 1979-09-17 FR FR7923148A patent/FR2465007A1/fr active Granted
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1229225A (fr) * | 1958-07-02 | 1960-09-05 | Libbey Owens Ford Glass Co | Procédé et appareil pour déposer sous vide une pellicule sur des objets ou articles divers |
| US3656454A (en) * | 1970-11-23 | 1972-04-18 | Air Reduction | Vacuum coating apparatus |
| DE2420430A1 (de) * | 1973-04-28 | 1974-11-14 | Canon Kk | Apparat zum aufdampfen duenner schichten |
| FR2260632A1 (en) * | 1974-02-11 | 1975-09-05 | Uk I Sp | Vapour deposition of coatings on metal strip - two loading chambers with separate vacuum seals permit continuous operation |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2465007B1 (OSRAM) | 1984-04-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0038294B1 (fr) | Procédé de dépôt d'un revêtement dur métallique, cible de dépôt pour un tel procédé et pièce de joaillerie comportant un tel revêtement | |
| BE1008560A3 (fr) | Dispositif et procede pour former un revetement par pyrolyse. | |
| EP0818557B1 (fr) | Procédé et installation pour la formation d'un revêtement sur un substrat | |
| FR2535109A1 (fr) | Appareil de pulverisation, utilisable notamment pour la fabrication des dispositifs a semi-conducteurs | |
| FR2705165A1 (fr) | Installation de traitement par plasma et procédé pour son exploitation. | |
| EP1182272A1 (fr) | Procédé et dispositif permettant le dépôt de couches métalliques en continu par plasma froid | |
| FR2549454A1 (fr) | Installation pour la manutention et le revetement de substrats mines | |
| FR2705104A1 (fr) | Procédé pour augmenter la vitesse de revêtement, procédé pour réduire la densité de poussière dans un espace de décharge de plasma, et chambre à plasma. | |
| FR2475579A1 (fr) | Machine de traintement de substrats minces et ses dispositifs de transport et de transmission de chaleur | |
| EP0312447A1 (fr) | Procédé et appareil pour la production par plasma de couches minces à usage électronique et/ou optoélectronique | |
| FR2500852A1 (OSRAM) | ||
| CH626191A5 (OSRAM) | ||
| EP2231895B1 (fr) | Procede et dispositifs de controle d'un flux de vapeur en evaporation sous vide | |
| FR2662448A1 (fr) | Installation de recouvrement sous vide pour substrats optiques. | |
| EP0434487A1 (fr) | Dispositif de stockage de produits métallurgiques, tels que brames minces | |
| FR2465007A1 (fr) | Dispositif a plusieurs sas pour revetir sous vide des charges successives de substrats | |
| FR2549452A1 (fr) | Sas a vide avec des porte-objets pour introduire des objets dans des enceintes a vide et les faire sortir de celles-ci | |
| EP0674804B1 (fr) | Installation de depot d'un materiau metallique sur une plaque par evaporation | |
| FR2559507A1 (fr) | Procede de fabrication de materiau stratifie ou de pieces stratifiees | |
| BE1010720A3 (fr) | Procede et dispositif pour revetir en continu un substrat en mouvement au moyen d'un alliage metallique en phase vapeur. | |
| WO2016156728A1 (fr) | Installation pour le traitement d'objets par plasma, utilisation de cette installation et procédé de mise en oeuvre de cette installation | |
| EP2516690B1 (fr) | DEPOT D'UNE COUCHE MINCE DE Cu(In,Ga)X2 PAR PULVERISATION CATHODIQUE | |
| EP0792382B1 (fr) | Appareil de depot sous vide relatif d'un materiau sur des pieces en vrac | |
| EP0785402A1 (fr) | Installation pour le traitement thermique d'une charge de pièces métalliques | |
| FR2539553A1 (fr) | Procede de fabrication d'un tube a rayons cathodiques, notamment d'un tube-image couleur |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| ST | Notification of lapse |