DE2420430A1 - Apparat zum aufdampfen duenner schichten - Google Patents

Description

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha, No. 3 0-2, 3-chome, Shimomaruko, Ohta-ku, Tokyo, Japan

Apparat zum Aufdampfen dünner Schichten

Die Erfindung betrifft einen Apparat zum Aufdampfen dünner Schichten auf Gegenstände in einer Vakuumkammer entsprechend dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1, der insbesondere zur Herstellung optischer Elemente wie Linsen und Spiegeln verwendbar ist.

Für übliche Vakuum-Aufdampfverfahren finden Vakuumglocken Verwendung, in denen mit einer Schicht zu überziehende Gegenstände bedampft werden. Da jedoch die Vakuumglocke nach jedem Aufdampfvorgang geöffnet werden muß, um die bedampften Gegenstände durch zu bedampfende Gegenstände zu ersetzen, benötigt dieses Verfahren einen großen Zeitaufwand.

Es sind ferner auch kontinuierliche Aufdampfverfahren bekannt, bei denen eine Eintrittskammer, eine Vorheizkammer, eine Aufdampfkammer, eine Kühlkammer und eine Austrittskammer Verwendung finden, die über AbdichiaLnrichtungen hintereinander geschaltet sind, durch welche die Gegenstände gefördert werden. Jeder Ge-

409846/1003

genstand befindet sich auf einem Träger der in Fig. 1 dargestellten Art. Nach dem Transport des Trägers in die Eintrittskammer wird diese evakuiert. Wenn der Druck in der Eintrittskammer 3 χ 10 Torr beträgt, welches Vakuum auch in den anderen Kammern aufrechterhalten wird, wird der Träger von der Eintrittskammer indie Vorheizkammer transportiert, in der die Gegenstände durch Wärmestrahlung auf 2OO-3OO°C während 20-40 Minuten erhitzt werden. Diese Bedingungen hängen von den Eigenschaften der zu bedampfenden optischen Elemente ab. Durch die Vorerhitzung der Gegenstände werden adsorbierte Gase und flüchtige Oberflächenverunreinigungen ausgetrieben, um die Oberflächen der Gegenstände zu reinigen und sie so vorzubereiten, daß die aufzudampfende Schicht gut anhaftet. Von der Vorheizkammer wird der Träger in die Aufdampfkammer transportiert, um eine dünne Schicht vorherbestimmter Dicke auf einer der Oberflächen jedes Gegenstands aufzudampfen, wobei der Träger normalerweise in einer horizontalen Riehtung rotiert, damit eine gleichmäßig dünne Schicht hergestellt werden kann. Nach Beendigung der Aufdampfung wird der Träger durch die Kühlkammer in die Austrittskammer transportiert.

Beidiesem Verfahren werden zum Aufdampfen etwa 1-2 Minuten benötigt, um eine Schicht auszubilden, während etwa 4-5 Minuten benötigt werden, um weitere darüberliegende Schichten auszubilden. Für die Vorbeheizung sind jedoch 20-40 Minuten erforderlich, so daß dieser Verfahrensschritt die verhältnismäßig große Zeitdauer des Arbeitszyklus bestimmt. Um den Wirkungsgrad zu erhöhen, können für die Aufdampfkammer zusätzliche Vorheizkammern und Kühlkammern in Parallelschaltung vorgesehen werden. Dadurch wird jedoch der Apparat verhältnismäßig groß und kompliziert.

Um die andere Seite der Gegenstände zu bedampfen, werden die auf einer Seite bedampften Gegenstände aus der Aufdampfkammer entfernt und außerhalb des Apparats umgedreht, um dann in einem erneuten Arbeitsvorgang die zweite Seite zu bedampfen. Dafür ist deshalb ein verhältnismäßig großer Zeitaufwand erforderlich. Ein weiterer Nachteil, daß die Gegenstände außerhalb des Apparats bei

40 9846/1003

Atmosphärendruck umgedreht werden müssen, ist darin zu sehen, daß eine Verseuchung der Gegenstände und der Kammern erfolgen kann, und daß an dem Träger anhaftendes Aufdampfmaterial auf eine noch zu bedampfende Oberfläche gelangen kann. Deshalb ist bei einer zweiseitigen Bedampfung vor der Bedampfung der zweiten Seite eine zusätzliche Vorreinigung erforderlich, welche zufriedenstellende Qualitätsanforderungen erfüllen soll.

Bei einem bekannten doppelten Aufdampfverfahren findet eine Vakuumglocke Verwendung, in welcher der Träger in einer vertikalen Lage zwischen zwei Tafeln angeordnet wird, die das zu verdampfende Material enthalten, so daß gleichzeitig eine Bedampfung der gegenüberliegenden Seiten der Gegenstände erfolgen kann. Da die Auftragung gleichzeitig auf den gegenüberliegenden Oberflächen erfolgt, ist die erforderliche Arbeitszeit verhältnismäßig kurz. Andererseits besteht jedoch die Schwierigkeit, daß nicht so gleichmäßige Schichtdicken wie bei einer horizontalen Anordnung der Gegenstände auf dem Träger erfolgen können.

Es ist deshalb Aufgabe der Erfindung, einen Apparat der eingangs genannten Art unter Vermeidung der genannten Nachteile und Schwierigkeiten derart auszubilden, daß bei kontinuierlicher Arbeitsweise die Vorheizzeit verringert werden kann, und daß eine aufeinanderfolgende Bedampfung gegenüberliegender Seiten der Gegenstände mit einem möglichst einfachen und kompakten Apparat durchführbar ist.

Diese Aufgabe wird bei einem Apparat der eingangs genannten Art erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.

Bei einem derartigen Apparat ist deshalb vorzugsweise eine Fördereinrichtung mit Schienenpaaren mit Führungsnuten vorgesehen, die parallel zu der Drehachse angeordnet sind und als Halter für die Träger in der Vorheizkammer dienen.Heizstrahler wie Chrom-

409846/1003

nickeldrähte oder ein Infrarotstrahler können auf jeder Seite der Träger angeordnet sein. Sämtliche Halter können mit einem Träger beschickt werden. Wegen der radialen Anordnung der Trägerhalter kann eine große Anzahl von Trägern gleichzeitig in einem verhältnismäßig kleinen Gehäuse behandelt werden. Die Transporteinrichtung für die Träger kann aus zwei endlosen Ketten bestehen, die über Zahnräder angetrieben werden, wobei eine Einrichtung zur Halterung der Träger in Lagen senkrecht zu denKetten vorgesehen ist.

Ein weiterer Vorteil einer derartigen Fördereinrichtung ist darin zu sehen, daß bei einer horizontalen Anordnung der Welle jeder Träger radial in der Fördereinrichtung angeordnet ist und automatisch bei einer halben Umdrehung umgewendet wird. Deshalb werden vorzugsweise zwei Aufdampfkammern in symmetrischen Lagen relativ zu der Drehwelle angeordnet, so daß die Beschichtung der anderen Seite der Gegenstände durchgeführt werden kann, ohne daß eine manuelle Arbeitsweise oder ein besonderer Mechanismus erforderlich ist. Wenn dagegen die Welle der Fördereinrichtung vertikal angeordnet wird, ist ein Mechanismus zum Transport der Träger aus den Haltern in die Aufdampfkammer erforderlich, mit dem die Träger in eine horizontale Lage bewegt werden können. Selbst in einem derartigen Fall ergeben sich Vereinfachungen gegenüber bekannten Arbeitsverfahren.

Es ist ferner möglich, lediglich eine Aufdampfkatnmer für ein kontinuierliches Aufdampfverfahren zu verwenden, wobei ein Gegenstand nur mit einer einzigen Schicht versehen wird. Mit Hilfe dieser Fördereinrichtung ist es außerdem möglich, die Vorheizzeit für einen Träger entsprechend der Aufdampfzeit etc. zur Erzielung eines optimalen Durchsatzes zu steuern. Nachdem ein Träger in die Vorheizkammer eingesetzt ist, gelangt er nicht mehr mit der Atmosphäre in Beiührung, bevor die beidseitige Beschichtung fertiggestellt ist, so daß Verunreinigungen der Oberflächen der Gegenstände in der Atmosphäre nicht auftreten und eine gleichmäßige Schicht_wausbildung gewährleistet ist. Da eine zweite Vorrei-

409846/1003

24204

nigung vor der zweiten Beschichtung erforderlich ist, können beträchtliche Vereinfachungen und Verbesserungen im Vergleich zu bekannten Apparaten dieser Art erzielt werden.

Anhand der Zeichnung soll die Erfindung beispielsweise näher erläutert werden. Es zeigen?

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines bekannten Trägers, an dem zu beschichtende Linsen befestigt sind?

Fig. 2 eine Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel eines Apparats gemäß der Erfindung, x^obei Teile des Gehäuses weggebrochen sind;

Fig. 3 eine Schnittansicht entlang der Linie IH-IH in Fig. 27

Fig. 4 eine Schnittansicht entlang der Linie IV-IV in Fig. 2; und

Fig. 5 eine Fig. 4 entsprechende Schnittansicht eines anderen Ausführungsbeispiels der Fördereinrichtung.

Bei dem in den Fig. 2, 3 und 4 dargestellten bevorzugten Ausführungsbeispiel sind eine Eintrittskammer 115, zwei Aufdampfkammern 131 und 142 sowie eine Austrittskammer 127 vorgesehen, welche Kammern mit einer Vorheizkammer 102 verbunden sind. Die VorheizTcammer 102 besteht aus einem zylindrischen Gehäuse 103, in dem eine rotierende Fördereinrichtung vorgesehen ist, die aus einer Antriebswelle 106 mit zwei an ihrem Zentrum daran befestigten Scheiben 104 und 104* besteht. An dem Umfang dieser Scheiben ist eine ungerade Anzahl von Haltern für Träger vorgesehen. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind einundzwanzig Halter vorgesehen, von denen jeder aus zwei gegenüberliegenden Schienen 105, 105* mit jeweils einer Führungsnut besteht, deren Abstand der Breite eines Trägers 100 für Linsen 101 oder dergleichen Gegenstände entspricht. Die Linsen sind in an sich bekannter Weise starr an dem Träger befestigt. Die Antriebswelle 106 ist in Lagern 107, 107', die beispielsweise Antifriktionslager sein können, in

409846/1003

Lagergehäusen 108, 108° gelagert, die an der vorderen und hinteren Wand der Vorheizkammer bei Betrachtung von der Eintrittsseite her angeordnet sind. Die Träger sind von Chromnickeldrähten 110 zum Aufheizen der Gegenstände umgeben, welche parallel oder in Reihe zu zwei Zuleitungen 111 und 111⁸ angeschlossen sind, die an Schleifringen 112 und 112* enden, die mitGLeitstücken 113, 113" in Berührung stehen. Die Fördereinrichtung wird durch ein Zahnrad 114 angetrieben, das auf der Antriebswelle 106 angeordnet ist. Die Drehzahl der Antriebswelle 106 wird durch den Eingriff mit einem Zahnrad einer nicht dargestellten Regeleinrichtung gesteuert, so daß das Zahnrad 114 die Fördereinrichtung intermittierend antreibt, daß sie in vorherbestimmten Lagen angehalten wird, um einen Weitertransport der Träger zu ermöglichen.

Die Eintrittskammer 115 besteht aus einem Gehäuse 116 mit einem Deckel 117 und ist mit einem unteren Bereich der Vorheizkammer 103 über eine Abdichteinrichtung 123a verbunden, die bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ein Absperrventil mit einem Schieber 124a (Fig. 3) ist. Ein an der Vorderseite der Eintrittskammer 115 angeordneter Verschiebeme chanismus besteht aus einem Druckluftzylinder 118a mit einer Kolbenstange 120a und einem Kolben 119a. Dem Zylinder 118a wird Druckluft über eine Leitung 121a zugeführt. In dem Gehäuse 116 sind zwei Schienen 122, 122* mit einer Führungsnut vorgesehen, zwischen denen ein Träger angeordnet und entlang denen der Träger von der Eintrittskammer 115 in die Vorheizkammer durch Betätigung der Kolbenstange 120a verschoben werden kann. Der Innenraum der Eintrittskammer wird über eine Leitung 126a evakuiert.

Die Austrittskammer 127 besteht aus einem Gehäuse mit einem Deckel 128 und ist mit einem Absperrventil 120b mit der Rückwand der Vorheizkammer 103 in einem unteren Bereich davon verbunden, wie aus Fig. 2 ersichtlich ist. Auf der Vorderseite der Vorheizkammer 103 ist ein Verschiebemechanismus gegenüber der Austrittskammer 127 angeordnet, der einen Luftdruckzylinder 118b und eine

4098A6/1003

Zuleitung 121b für Druckluft aufweist, damit die Träger aus der Vorheizkammer in die Austrittskammer verschoben werden können. Der Innenraum der Austrittskammer 127 wird über eine Leitung 126b evakuiert.

Die erste Aufdampfkammer 131 ist an der Rückseite der Vorheizkammer angeordnet und damit über ein Absperrventil 129a in einer mittleren Lage verbunden. Wie aus Fig. 3 ersichtlich ist, besteht die Aufdampfkammer 131 aus einer Glocke 132 mit einem Deckel 133 und ist mit einem Halter 134 für Träger 100 versehen, der an einem drehbaren Ring 135 angeordnet ist. Der Ring 135 ist auf einer Anzahl Antifriktionswalzen 136 gelagert, die drehbar an einem Plansch 137 angeordnet sind, der von der Innenwand der Glocke 132 vorragt. Der Antrieb erfolgt über einen nicht dargestellten Motor. Auf dem Boden der Glocke 132 ist ein Tiegel angeordnet, der das zu verdampfende Material enthält und durch Heizdrähte geheizt wird. Über dem Halter für die Träger ist eine Heizeinrichtung 140 zur Steuerung der Temperatur in der Glocke angeordnet. Die Glocke wird über eine Leitung 141 evakuiert, die mit einer nicht dargestellten Vakuumpumpe verbunden ist. Auf dem Deckel 133 ist eine Meßeinrichtung für die Dicke der aufgedampften Schicht vorgesehen. Der Verschiebemechanismus, der auf der Vorderseite der Vorheizkammer gegenüber der Aufdampfkammer 131 vorgesehen ist, ist wie der Verschiebemechanismus für die Eintrittskammer und die Austrittskammer ausgebildet, arbeitet aber in unterschiedlicher Weise. Der Verschxebemechanismus für die Eintrittskammer und die Austrittskammer erfordert eine Verschiebung der Träger in nur einer Richtung, während der Verschiebemechanismus für die Aufdampfkammer in zwei Richtungen arbeitet, weshalb eine Greifeinrichtung wie ein Haken an der Kolbenstange vorgesehen ist. Die zweite Aufdampfkammer 142 liegt auf der Rückseite der Vorheizkammer und ist wie die erste Aufdampfkammer ausgebildet. In entsprechender Weise ist auch der Verschxebemechanismus ausgebildet.

409846/1003

Mit einem derartigen Apparat ist es möglich, die Vorheizzeit entsprechend der zeit zu steuern, die für die Durchführung einer Aufdampfung erforderlich ist, indem eine geeignete Anzahl von Haltern für Träger in der rotierenden Fördereinrichtung bei einer entsprechenden intermittierenden Steuerung Verwendung findet. Es ist ferner möglich, die Vorheizzeit pro Träger im Vergleich zu der Aufheizzeit auf einen vernachlässigbaren Betrag zu verringern, wenn die Zahl der Trägerhalter in der Fördereinrichtung entsprechend hoch gewählt wird. Beispielsweise kann die rotierende Fördereinrichtung in Fig. 4 einundzwanzig Trägerhalter aufweisen und wird für einen zweistufigen Vorschub der Trägerhalter in der Vorheizkammer gedreht, mit der die Eintrittskammer 115 mit einer Öffnung A in Verbindung steht, während die erste Aufdampfkammer 131 über eine öffnung B, die zweite Aufdampfkammer 142 über eine Öffnung C und die Austrittskammer 127 über eine Öffnung D in Verbindung steht. Wenn die Fördereinrichtung in Richtung des ffeiis für einen zweistufigen Vorschub der Trägerhalter gedreht wird, gelangt ein Trägerhalter aus der Lage A in die lagen B, G und D bei der ersten Umdrehung der Fördereinrichtung, hält aber in den Lagen B, C und D an, während der Trägerhalter an der Lage A vorbeibewegt wird. Wenn der Trägerhalter sieh in der Lage B befindet, wird der erste innere Verschiebemechanißmus betätigt, um den Träger aus der Vorheizkammer in die erste Aufdampfkammer 131 zu verschieben, in der die eine Seite der Gegenstände auf dem Träger bedampft wird» Während der Aufdampfung dreht sich die Fördereinrichtung nicht, so daß bei Beendigung der Aufdampfung dieser Träger in denselben Trägerhalter zurückgeschoben wird. Der Trägerhalter mit diesem Träger wird in der Lage C angehalten und in die zweite Aufdampfkammer 142 verschoben, in der die Schicht auf der anderen Seite der Gegenstände aufgedampft wird. Nach Beendigung dieser Aufdampfung wird der Träger mit den beiderseitig bedampften Gegenständen wieder in denselben Trägerhalter verschoben. Danach wird der Trägerhalter mit diesem Träger in der Lage D angehalten und der Träger in die Austrittskammer 127 verschoben, so

46/1003

daß danach dieser Trägerhalter in der Lage A wieder einen neuen Träger aufnehmen kann.

Fig. 5 zeigt ein abgewandeltes Ausführungsbeispiel einer Fördereinrichtung mit einer geraden Anzahl von Trägerhaltern, wobei zwölf Trägerhalter vorgesehen sind. In diesem Fall wird die Fördereinrichtung für einen einstufigen Vorschub der Trägerhalter rotiert, so daß ein Träger in einem Trägerhalter in der Lage A in die Lage B bei einer Umdrehung der Fördereinrichtung in einem Zeitintervall gelangt, das für die Vorerhitzung zu kurz ist. Deshalb ist die anfängliche eine Umdrehung der Fördereinrichtung nur zum Zwecke der Vorheizung der aufgenommenen Träger geeignet. Bei der nächsten Umdrehung der Fördereinrichtung werden aufeinanderfolgende Aufdampfungen in der beschriebenen Weise durchgeführt, so daß der Träger mit den beidseitig bedampften Gegenständen in der Lage D in die Austrittskammer verschoben wird, wonach in diesem Trägerhalter ein neuer Träger bei der dritten Umdrehung der Fördereinrichtung eingeschoben werden kann.

Im folgenden soll die Arbeitsweise des Apparats noch näher erläutert werden. Die abgedichtete Vorheizkammer wird auf das gewünschte Vakuum ausgepumpt. Dann wird der Deckel 117 geöffnet und ein Träger eingesetzt, an .. dem die Linsen befestigt sind. Nach dem Schließen des Deckels wird die Eintrittskammer 115 evakuiert, entsprechend dem Vakuum in der Vorheizkammer. Dann wird das Absperrventil 123a geöffnet und der Verschiebemechanismus wird betätigt, um den Träger entlang den Führungsnuten in den Schienen in einen Trägerhalter mit Schienen 105·' und 105¹¹¹ in der Vorheizkammer zu verschieben. Nach dem Rückhub der Kolbenstange 12Oa wird das Sperrventil 123a geschlossen und die Fördereinrichtung gedreht, um einen Vorschub des Trägers um zwei Stufen zu bewirken. In entsprechender Weise werden die Träger aufeinanderfolgend in die Vorheizkammer eingeschoben. Bei der Drehung der Fördereinrichtung werden die Träger in den Trägerhaltern durch die Vorheizkammer gefördert, wobei die Linsen während etwa 1 1/4 Umdrehung der Fördereinrichtung erhitzt werden. Wenn der erste Träger die Lage

409846/1003

A erreicht, wird das Absperrventil 129a in der Öffntang A gegenüber der ersten Aufdampfkammer 131 geöffnet, die über die Leitung 141a evakuiert wurde. Dann wird der innere Verschiebemechanismus betätigt, um den Träger in den Halter 134 zu verschieben. Nach dem Rückhub der Kolbenstange wird das Absperrventil 129a wieder geschlossen.

Die Temperatur und der Druck in der ersten Aufdampfkammer wird durch die Heizeinrichtung 140 und durch die Vakuumpumpe derart gesteuert, daß zum Aufdampfen geeignete Bedingungen vorhanden sind. Beim Aufdampfen wird der Ring 136 mit dem Halter 134 gedreht. Wenn die aufgedampfte Schicht eine vorherbestimmte Dicke hat, wird der Dampf aus der Kammer entfernt, um die Aufdampfung zu beenden. Das Sperrventil 129a wird wieder geöffnet und dem Zylinder 118d wird durch die Leitung 12Id Druckluft zugeführt, um die Kolbenstange zu dem Träger vorzuschieben, wonach Druckluft durch die Leitung 121d' zugeführt wird, um den Träger in denselben Trägerhalter in der Fördereinrichtung zurückzuziehen. Danach wird das Sperrventil 129a wieder geschlossen.

In entsprechender Weise werden die gegenüberliegenden Oberflächen der auf einer Seite beschichteten Linsen in der zweiten Aufdampfkammer 142 beschichtet. Wenn der Träger mit den auf beiden Seiten beschichteten Linsen die Lage D erreicht, wird das Absperrventil 129b in der Öffnung D geöffnet und der Verschiebemechanismus betätigt, um den Träger entlang den Führungsschienen in die Austrittskammer zu verschieben, in der etwa dasselbe Vakuum wie in der Vorheizkammer vorhanden ist. Nach dem Schließen des Sperrventils 129b wird die Austrittsschleuse geöffnet, um diesen Träger aus der Austrittskammer zu entfernen. Damit ist der Arbeitszyklus für den ersten Träger beendet. Vorzugsweise findet eine Steuerschaltung für einen derartigen Apparat Verwendung. Es ist jedoch auch möglich, den intermittierenden Vorschub der Trägerhalter manuell zu steuern, ebenso die Vorschubmechanismen, indem eine Beobachtung durch ein Fenster in der Vorheizkammer erfolgt.

409846/1003

—xx·—

Aus den obigen Ausführungen geht hervor, daß eine größere Anzahl von Gegenständen gleichzeitig behandelt werden kann, wenn eine derartige rotierende Fördereinrichtung in der Vorheizkattimer Verwendung findet. Durch die Drehung der Fördereinrichtung wird jeder Träger durch die Vorheizkammer automatisch nach einer halben Drehung umgedreht, so daß die Aufdampfung auf die gegenüberliegende Seite der Gegenstände durchgeführt werden kann, ohne daß die Gegenstände der Atmosphäre ausgesetzt werden, indem zwei gleiche Aufdampfkammern symmetrisch zueinander und relativ zu der Welle der Fördereinrichtung angeordnet werden. Da die Vorheizkammer vollständig gegen die umgebende Atmosphäre abgedichtet ist, müssen keine zusätzlichen Einrichtungen für eine Vorreinigung der auf der einen Seite beschichteten Gegenstände vorgesehen werden, bevor die andere Seite beschichtet wird. Mit einem derartigen Apparat kann ein kontinuierlicher Betrieb mit einer Fördereinrichtung mit einer ungeradzahligen Anzahl von Trägerhaltern Verwendung finden, wobei ein zweistufiger Vorschub erfolgt.

4098 4 6/1003

Claims (9)

1. _₁₂- 2420A30

   Patentansprüche

   Apparat zum Aufdampfen dünner Schichten auf Gegenstände in einer Aufdampfkammer, mit einer Eintrittskammer vor einer Vorheizkammer und einer Austrittskammer hinter der Aufdampfkammer, sowie mit einer Fördereinrichtung zum Transport der auf einem Träger angeordneten Gegenstände durch die Kammern, die miteinander durch abdichtende Sperreinrichtungen verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, daß in der Vorheizkammer (102) eine rotierende Fördereinrichtung (104, 106) für die Träger (100) vorgesehen ist, und daß die Vorheizkammer über jeweils eine Abdichteinrichtung mit zwei Aufdampfkammern (131, 142) in Verbindung steht, in denen die Gegenstände auf der einen bzw. auf der anderen Seite bedampft werden.
2. 2. Apparat nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Fördereinrichtung eine Anzahl von Haltern für die Träger (100) aufweist.
3. 3. Apparat nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Fördereinrichtung aus einer Antriebswelle (106) und zwei gegenüberliegend daran angeordneten Scheiben (104) besteht, und daß die Halter (105) derart daran angeordnet sind, daß die in den Trägern (100) befestigten Gegenstände (101) in einer durch die Antriebsachse verlaufenden Ebene liegen.
4. 4. Apparat nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Achse der Antriebswelle (106) horizontal angeordnet ist.
5. 5. Apparat nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß an der Fördereinrichtung eine ungerade Anzahl von Haltern für Träger vorgesehen ist.

   409846/1003
6. 6. Apparat nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine oder mehr als zwei Aufdampfkammern vorgesehen sind.
7. ο Apparat nach Anspruch l_e dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnungen zwischen der Vorheizkammer und den Aufdam pfkammern rotationssymmetrisch zu der Antriebswelle (106) angeordnet sind.
8. 8» Apparat nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die vakuumdichte Kammer mit mindestens einer verhältnismäßig kleinen Kammer versehen ist, die darauf mit einer inneren Abdichteinrichtung angeordnet ist.
9. 9. Apparat nach einem der vorhergehenden Ansprüche, mit einer Einrichtung zum Transport von Gegenständen in eine Vorheizkammer, deren Innenraum evakuiert ist, mit einer Einrichtung zum Transport der Gegenstände durch die Vorheizkammer in eine Eintrittslage vor einer Aufdampfkammer entsprechend einem Zyklus, bei dem diese Lage nach Beendigung der Vorbeheizung eingenommen wird, mit einer Einrichtung zum Transport der Gegenstände in und aus der Aufldampfkammer, mit einer Einrichtung zum Transport der beschichteten Gegenstände aus der Vorheizkammer ohne Beeinträchtigung des Vakuums darin, wobei die Vorheizkammer und die Aufdampfkammer miteinander in Verbindung stehen, ind das darin vorhandene Vakuum aufrechterhalten wird, und wobei die Gegenstände zyklisch durch die Vorheizkammer transportiert werden.

   409846/1 003

   e e r s e ι \ e