DE69911804T2 - Vorrichtung zum beschichten von gegenständen mittels pvd - Google Patents

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Jacobus Antonius SCHUURMANS
Cornelis Gilbert SCHUURMANS
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Description

  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Überziehen von Gegenständen mittels eines PVD-Verfahrens (physikalische Dampfablagerung), aufweisend:
    • – eine Vorverarbeitungsvorrichtung zur Durchführung einer Vorverarbeitung an dem Gegenstand;
    • – eine PVD-Vorrichtung zum Überziehen des Gegenstandes unter einer Atmosphäre, die sich von der Umgebungsluft unterscheidet; und
    • – eine Nachverarbeitungsvorrichtung zum Nachverarbeiters der Gegenstände.
  • Solche Geräte sind allgemein bekannt. Sie werden beispielsweise dazu verwendet, eine dünne Schicht aus Metall auf Plastik aufzubringen, um dem Gegenstand ein metallisches Erscheinungsbild zu geben. Beispiele hierfür sind beispielsweise Kappen für Kosmetikflaschen, Preise wie sie bei Sportveranstaltungen präsentiert werden, Fahrzeugkomponenten und dergleichen.
  • Herkömmlicherweise werden die Gegenstände zur Verarbeitung auf Gestellen platziert und mit einem Lacküberzug versehen. Dieser Lacküberzug erhöht die Klebekraft zwischen dem Plastik, aus dem der Gegenstand hergestellt wurde, und dem Metallüberzug, der darauf aufgebracht werden soll. Der Lacküberzug sorgt darüber hinaus für eine gleichmäßige Oberfläche, so dass die Reflexion des zu überziehenden Metalls darauf verbessert ist.
  • Es wird des Weiteren ausgeführt, dass die Vorbehandlung auch eine Behandlung vor dem Lackieren aufweisen kann, wie beispielsweise eine Flammbehandlung. Die Oberflächeneigenschaften des Plastikgegenstandes werden hierdurch verändert, so dass der Lack besser auf dem Plastik haftet.
  • Die zu verarbeitenden Gegenstände werden nachfolgend in einem Unterdruckbehälter platziert.
  • Ein Unterdruck wird anschließend in dem Unterdruckbehälter erzeugt und mittels einer Verdampfung von metallischen Gegenständen wird ein Metalldampf in den Unterdruckbehälter eingeführt, der sich auf den lackierten Komponenten ablagert. Dieser Prozess ist als "physikalische Dampfablagerung" (PVD) bekannt.
  • Nach der vollständigen Verdampfung des relevanten Elementes wird wieder Luft in den Behälter gelassen, wonach die somit metallisierten Gegenstände auf den Gestellen entfernt werden können.
  • Die Gegenstände werden danach einer Nachbehandlung unterzogen, die im Allgemeinen durch eine Lackierbehandlung realisiert wird. Es wird hier ausgeführt, dass die aufgebrachte Metallschicht extrem dünn ist und leicht beschädigt wird. Um diese Schicht zu schützen, wird deshalb ein Schutzlacküberzug aufgebracht. Dieser Lacküberzug gewährt des Weiteren die Möglichkeit, die Farbe zu ändern. Im Allgemeinen wird von Aluminium als PVD-Material Gebrauch gemacht, wobei es durch Färben des Lacks möglich ist, die Farbe beispielsweise in eine Gold- oder Kupferfarbe zu. ändern.
  • Ein Problem mit diesem Verfahren, das bislang im Allgemeinen verwendet wurde, liegt darin, dass viele Vorgänge unvermeidlich manuell durchgeführt werden müssen, was große menschliche Mühe erforderte. Dies wird durch den diskontinuierlichen Charakter des PVD-Prozesses und durch die relativ lange Trocknungszeit der Lacke, sobald diese auf die Plastikgegenstände aufgebracht wurden, hervorgerufen. Die Arbeit wird darüber hinaus üblicherweise schwierig.
  • Die WO-A-97/28290 offenbart ein Gerät zur Aufbringung von wenigstens einem Überzug auf Gegenstände mittels einer Dampfablagerung (PVD) unter Vakuum, aufweisend:
    eine PVD-Vorrichtung zum Überziehen des Gegenstandes unter einem Vakuum;
    wenigstens eine Schleuse, die die PVD-Vorrichtung von der Umgebung trennt;
    eine Transportvorrichtung, die sich durch die PVD-Vorrichtung und in die Schleuse erstreckt;
    wobei die Transportvorrichtung dazu angepasst ist, die Gegenstände, die auf Trägern angeordnet sind, zu transportieren, und
    die PVD-Richtung für eine halbkontinuierliche Behandlung von Gegenständen, die auf den Trägern angeordnet sind, angepasst ist.
  • Dieses herkömmliche Gerät ist dazu angepasst, Kathodenstrahlröhren zu benutzen, die das Sputtern von Metallüberzügen auf Glas mit sich bringen.
  • Das Ziel der Erfindung ist es, ein Gerät zu schaffen, das dazu angepasst ist, einen Metallüberzug auf Materialien aufzubringen, die nur überzogen werden können, wenn sie durch einen Lacküberzug bedeckt wurden.
  • Dieses Ziel wird dadurch erreicht, dass das Gerät folgendes aufweist:
    eine Vorverarbeitungsvorrichtung zur Durchführung einer Vorverarbeitung des Gegenstandes;
    eine Nachverarbeitungsvorrichtung zum Nachverarbeiten der Gegenstände;
    und dass sich die Transportvorrichtung durch die wenigstens eine Schleuse, die vorverarbeitete Vorrichtung und die nachverarbeitete Vorrichtung erstreckt.
  • Die halbkontinuierliche Eigenschaft der PVD-Vorrichtung ermöglicht eine nachfolgende Behandlung der Träger mit einer Serie von Gegenständen. Da die Transportvorrichtung zu diesem Zweck angepaßt ist und sich darüber hinaus durch die Vorverarbeitungsvorrichtung und die Nachverarbeitungsvorrichtung erstreckt, wird es möglich, die Gegenstände für die Dampfbeschichtung ohne Belade- und Entladevorgänge zu behandeln. Diese Kombination von Maßnahmen ermöglicht somit die Nutzung eines gewissen Automatisierungsgrades; nur am Start müssen die Gegenstände auf den Trägern platziert werden und nach der Beendigung der Nachverarbeitung können sie davon entfernt werden. Das Handhaben der Gegenstände zwischen den Behandlungen, wenn sie ohnehin auf den Gestellen platziert sind, wird eingespart.
  • Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform sind die Träger langgestreckt und die Transportvorrichtung ist dazu angepasst, die Träger im Wesentlichen in der Längsrichtung zu bewegen.
  • Diese Konfiguration hat den Vorteil, dass die Gegenstände, die auf den Trägern angeordnet sind, für die Vorrichtungen zum Aufbringen von Lack und dergleichen immer leicht zugänglich sind. Gemäß einer anderen bevorzugten Ausführungsform besitzt die Transportvorrichtung eine geschlossene Konfiguration und erstreckt sich in zwei Richtungen durch die DVD-Vorrichtung.
  • Dies führt ferner zu einer attraktiven Konstruktion; wenn beispielsweise weitere Schleusenkonstruktionen verwendet werden, können diese in ähnlicher Weise in beiden Richtungen verwendet werden, während die Konstruktionslänge des Gerätes darüber hinaus unter Verwendung dieser auf zwei Seiten verkürzt werden kann.
  • Zusätzlich ist es attraktiv, Puffer zwischen der vorverarbeitenden Vorrichtung und der PVD-Vorrichtung und der nachverarbeitenden Vorrichtung zu verwenden. Diese Puffer besitzen die Funktion der Kompensierung der Halbkontinuität des Prozesse, der in den PVD-Vorrichtungen ausgeführt wird.
  • Wenn die Puffer dazu angepasst sind, die Träger in einer transversalen Richtung zu bewegen, benötigen die Puffer weniger Raum.
  • Gemäß einem besonders bevorzugten Ausführungsbeispiel weist die vorverarbeitete Vorrichtung eine Gebläsevorrichtung zum Ausblasen von Staub von den zu behandelnden Gegenständen auf.
  • Diese Gebläsevorrichtung ist vorzugsweise dazu angepasst, ionisierte Luft zu blasen.
  • Gemäß einem weiteren anderen bevorzugten Ausführungsbeispiel sind die Träger mit austauschbaren Gegenstandshaltern versehen.
  • Diese Maßnahme sorgt für den Vorteil, dass die Träger für verschiedene Arten von Gegenständen verwendet werden können; nur die Gegenstandshalter müssen ausgetauscht werden. Dies ist insbesondere in Bezug auf die Kosten der Träger wichtig; vor allem diese Träger weisen teure Komponenten auf, die mit großer Präzision hergestellt werden.
  • Um die Gegenstände in geeigneter Weise an allen Seiten für die anzuwendenden Prozesse freizulegen, ist es vorteilhaft, wenn die Gegenstandshalter auf sich vertikal erstreckenden Wellen, die drehbar in den Trägern befestigt sind, platziert werden.
  • Dieser Vorteil wird des Weiteren verbessert, wenn gezahnte Räder auf den Wellen angeordnet sind, um die Wellen drehend anzutreiben.
  • Da insbesondere das Aufbringen des Lacks üblicherweise eine Verschwendung mit sich bringt, ist es für die gezahnten Räder wichtig, dagegen geschützt zu werden. Zu diesem Zweck sind sie vorzugsweise unter der Oberseite des Trägers angeordnet. Dies sorgt für die Möglichkeit der Anordnung von einer Schutzvorrichtung, so dass Lack, der von den Gegenständen tropft, die gezahnten Räder nicht erreichen kann.
  • Gemäß einem anderen bevorzugten Ausführungsbeispiel werden die gezahnten Räder in Öffnungen eingelassen, die in dem Träger angeordnet sind, und die gezahnten Räder stehen außerhalb der Seitenwände des Trägers vor. Dies sorgt für die Möglichkeit des Bereitstellens der Transportvorrichtung mit Zahnstangen oder Ketten zum In-Eingriff- und Außer-Eingriff-Bringen der gezahnten Räder während des Durchgangs der Träger, so dass die wellen und die darauf platzierten Gegenstände mittels der Gegenstandshalter gedreht werden können.
  • Die vorliegende Erfindung wird im Nachfolgenden unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen erläutert, in denen:
  • 1 eine perspektivische schematische Ansicht eines kompletten Gerätes gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;
  • 2 eine perspektivische schematische Ansicht der Belade- und Entladestation des Gerätes, das in 1 gezeigt ist, gemäß einem Pfeil II in 1 zeigt;
  • 3 eine Detailansicht hinsichtlich des Pfeils III in den 1 und 2 ist;
  • 4 eine perspektivische Ansicht der Puffervorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung gemäß dem Pfeil in 1 zeigt;
  • 5 eine perspektivische Detailansicht gemäß einem Pfeil V in 4 ist;
  • 6 eine perspektivische Detailansicht aus 5 ist;
  • 7 eine perspektivische Detailansicht gemäß einem Pfeil VII in 4 ist;
  • 8 eine perspektivische Detailansicht gemäß einem Pfeil VIII in 4 zeigt;
  • 9 eine teilweise ausgebrochene perspektivische Ansicht einer Unterdruckverdampfungskammer zeigt; und
  • 10 eine perspektivische Ansicht eines Trägers zeigt, der mit diversen Einsatzelementen zum Tragen diverser Gegenstände für die Verarbeitung ausgestattet ist.
  • 1 zeigt eine Metallisierungsanlage, die in ihrer Gesamtheit mit 1 bezeichnet ist. Allgemein gesagt ist diese Metallisierungsanlage aus einer Magnetron-Sputter-Vorrichtung 2, einer Vorverarbeitungsvorrichtung 3 und einer Nachverarbeitungsvor richtung 4 aufgebaut. Durch jede dieser Vorrichtungen erstreckt sich eine Transportvorrichtung 5. Eine Ausweichfläche 6 ist zwischen der Vorverarbeitungsvorrichtung 3 und der PVD-Vorrichtung 2, sowie zwischen der PVD-Vorrichtung 2 und der Nachverarbeitungsvorrichtung 4 angeordnet.
  • Diese Ausweichfläche dient dazu, zeitliche Unterschiede zwischen dem kontinuierlichen Betreiben der Vorverarbeitungsvorrichtung 3 und der Nachverarbeitungsvorrichtung 4 und dem halbkontinuierlichen Betreiben der PVD-Vorrichtung 2 zu kompensieren. Die Transportvorrichtung 5 ist geschlossen und erstreckt sich in beide Richtungen durch die PVD-Vorrichtung 2. Zwischen der Nachverarbeitungsvorrichtung 4 und der Vorverarbeitungsvorrichtung 3 erstreckt sich die Transportvorrichtung 5 durch eine Beladungs- und Entladungszone 7.
  • Diese Beladungs- und Entladungszone ist des Weiteren in 2 gezeigt. Diese zeigt, dass die Transportvorrichtung 5 eine U-Form an dieser Stelle hat. An den Positionen, an denen die Transportvorrichtung 5 einen Winkel bildet, sind Rotationsvorrichtungen 20 angeordnet, von denen jede eine Rotationsscheibe 21 aufweist. Mittels der Rotationsscheiben 21 ist es möglich, den Träger 15 um einen Winkel von 90°C zu drehen. Um die Träger 15 auf die Rotationsscheiben 21 zu bringen, wird von einer Antriebsvorrichtung Gebrauch gemacht, die in die Transportvorrichtung 5 integriert ist. Um die Träger von der gedrehten Rotationsscheibe 21 weg zu bringen auf den nachfolgenden Teil der Transportvorrichtung 5, wird von einem Schiebeelemente 22 Gebraucht gemacht, das durch ein Linearantriebselement 23 antreibbar ist, das oberhalb der Rotationsscheibe angeordnet ist.
  • Die Gegenstände 24 zum Verarbeiten sind auf den Trägern 15 auf dem Teil der Transportvorrichtung 5 angeordnet, die sich zwi schen den zwei Rotationsvorrichtungen 20 befindet. Dieser Teil bildet die Beladungszone 7A.
  • Die fertigen Produkte 24 können von dem Teil der Transportvorrichtung 5 weggenommen werden, der der Rotationsvorrichtung 20 vorhergeht. Dies ist die Entladungszone 7B.
  • 2 zeigt des Weiteren, wie ein Prüftor 25 nach der zweiten Rotationsvorrichtung 20 angeordnet ist, um die Anwesenheit und die Position in einer Ebene senkrecht zur Bewegungsrichtung der Gegenstände für die Behandlung zu überprüfen. Die Anwesenheitserfassung ist für die Steuerung beispielsweise der Lackvorrichtung wichtig, um verhindern, dass eine übermäßige Menge an Lack durch Sprühen verschwendet wird, wenn kein Gegenstand vorbeikommt.
  • Die Positionserfassung dient dazu, zu verhindern, dass Gegenstände, die schief auf den Haltern platziert sind, die Bewegung der Träger unterbrechen, wodurch Gegenstände eingeklemmt werden könnten oder herabfallen könnten. Dies würde zu einem Stoppen des Prozesses, zu einer Beseitigung der fraglichen Gegenstände und zum erneuten Starten des Prozesses führen.
  • Das erste Tor 25, das nach der Beladestation angeordnet ist, dient deshalb hauptsächlich dazu, festzustellen, ob die Gegenstände korrekt platziert sind. Solch ein Tor wird ferner vor der Unterdruckvorrichtung platziert. In der Unterdruckvorrichtung ist die Position der Gegenstände hauptsächlich kritisch und der Raum ist begrenz, wobei dies insbesondere im Falle von großen Gegenständen besonders wichtig ist. Des Weiteren kann die Position der Gegenstände auf dem Träger aufgrund der Tätigkeit der Sprühvorrichtung verändert worden sein.
  • 3 zeigt des Weiteren die Konstruktion der Transportvorrichtung 5 an der Stelle der Entladungszone 7B.
  • Es ist in 3 gezeigt, dass ein Teil der Transportvorrichtung als Entladestation dient.
  • Die Transportvorrichtung weist zwei schlauchförmige Profile 26 auf, die in regelmäßigen Abständen auf ihrer Unterseite mit Lagereinheiten 27 versehen sind, in die Wellen 28 montiert sind. Ein Lagerrad 29 ist auf jeder der Wellen 28 angeordnet. Des Weiteren sind zwei U-förmige Profile 30 angeordnet, von denen jedes gegen die schlauchförmige Profile 27 befestigt ist. In einem der zwei U-förmigen Profile 30 ist eine Antriebskette 31 angeordnet, die mit Greifelementen 32 zum Bewegen der Träger 15 versehen ist. Die Kette wird über die Unterseite der Transportvorrichtung wieder zurückgeführt. Diese Transportvorrichtung erstreckt sich durch die gesamte Anlage gemäß der Erfindung.
  • Jeder der Träger 15 ist durch einen Trägerkörper 36 ausgebildet, in den sich vertikal erstreckende Wellen 16 montiert sind. Der Trägerkörper 36 ist mit Ausnehmungen 18 versehen, durch die sich die Wellen 16 erstrecken und wobei auf den Wellen die gezahnten Räder 17 an Stelle der Ausnehmungen 18 angeordnet sind. Diese gezahnten Räder 17 dienen dazu, die Wellen drehend anzutreiben, wenn beispielsweise eine Zahnstange oder eine bewegliche Kette entlang der Seiten des Profils 26 angeordnet ist.
  • Jede der Wellen ist auf ihrer Oberseite mit einer Ausnehmung 33 versehen, auf der Verlängerungswellen 34 angeordnet sein können. Produkthalter, die für das zu verarbeitende Produkt angepasst sind, die unter Bezugnahme auf 10 beschrieben wird, können auf der Oberseite der Verlängerungswellen 34 angeordnet sein. Es wird hier darauf hingewiesen, dass es möglich ist, Verlängerungswellen 34 mit unterschiedlichen Höhen zu verwenden, so dass es möglich ist, die Höhe der zu verarbeitenden Gegenstände auf den Trägern einzustellen.
  • Ein Teil des Profils 30 kann im Übrigen an der Stelle der Entladungsstation 7B nach unten gefaltet werden, so dass die Träger 15 weggenommen werden können.
  • Des Weiteren ist in 4 eine Puffervorrichtung 6 vorgesehen, die die Synchronisierung der im Wesentlichen kontinuierlich arbeitenden Vorverarbeitungs- und Nachverarbeitungsvorrichtung und den halbkontinuierlichen Betrieb der Vakuummetallisierungsvorrichtung sorgt.
  • Die Puffervorrichtung 6 wird im Wesentlichen durch einen Rahmen 35 gebildet, auf dem zwei Wellen 37 angeordnet sind, von denen eine mittels eines Motors 38 antreibbar ist. Ein Kettenrad 39 ist auf jeder der Wellen 37 angeordnet, wobei eine Kette 40 um ein Paar Kettenräder 39 herum gezogen ist. Lager 41 sind zwischen den zwei Ketten 40 zum Transportieren der Träger 15 angeordnet.
  • Die Welle 36 ist hier für eine intermittierende Drehung eingestellt, so dass sich die Lager 41 intermittierend bewegen. Während der Stillstandperioden dieser Träger werden die Träger von der UV-Strahlungsvorrichtung 10 auf das Lager 41, das auf der Linie mit der Transportvorrichtung 5 angeordnet ist, geladen, während der Träger, der anschließend vor der Transportvorrichtung der Vakuummetallisierungsvorrichtung platziert wird, gleichzeitig mittels einer Schiebevorrichtung 42 auf die Transportvorrichtung der Metallisierungsvorrichtung geschoben wird. Ein Träger, der von der Metallisierungsvorrichtung kommt, wird gleichzeitig auf das relevante Lager 41 geschoben, und ein Trä ger, der vor der Transportvorrichtung der UV-Lack-Sprayvorrichtung 12 angeordnet ist, wird auf die relevante Transportvorrichtung geschoben. Die fragliche Vorrichtung bewegt sich anschließend um einen vollen Arbeitstakt, wonach dieser Vorgang wiederholt wird.
  • 5 zeigt, wie eine Schubvorrichtung 42 angeordnet ist, um einen Träger 15 auf das relevante Lager 41 zu schieben. Diese Schubvorrichtung 42 wird hier durch ein Linearantriebsbauteil 43 angetrieben.
  • Diese Vorrichtung zeigt des Weiteren wie die Wellen 16 des Trägers 15 mittels der gezahnten Räder 17 drehend angetrieben werden können, weil dies unabhängig von der Linearbewegung des Trägers 15 ist. Zu diesem Zweck wird eine Kette 46 verwandt, von der ein Teil parallel zu der Bewegungsrichtung des Trägers 15 angeordnet ist und unabhängig von der Transportbewegung angetrieben werden kann. Es ist offensichtlich, dass es möglich ist, davon Gebrauch zu machen, anstatt beispielsweise von Zahnstangen. Diese werden anschließend fest angeordnet, so dass die Rotationsbewegung tatsächlich mit der Transportbewegung gekoppelt ist.
  • In 6 sind verschiedene Aspekte detaillierter gezeigt.
  • 7 zeigt detaillierter den Mechanismus, mit dem die Bewegungen der Lager 41 zu der Transportvorrichtung 5 in der Unterdruckmetallisierungsvorrichtung ausgeführt werden, und umgekehrt.
  • Dies zeigt die Konstruktion der linearen Antriebsvorrichtung 43, die mittels eines Rahmens 47 mit einer Schubvorrichtung 44 verbunden ist.
  • 8 zeigt detaillierter einen Teil der Antriebsvorrichtung für den Transport der Träger 15 im Inneren der Vakuummetallisierungsvorrichtung. Die relevanten Elemente sind hier auf einer Platte 50 befestigt, auf der zwei Balken 51 angeordnet sind, auf denen Führungsräder mit Führungswellen 52 montiert sind. In der Mitte eines jeden dieser Balken 51 ist des Weiteren auf der anderen Seite des Pfads des Trägers ein Führungsrad 52 angeordnet. Schließlich sind Lagerräder 53 angeordnet.
  • Antriebsräder 55 sind auch zum Antreiben des Trägers 15 angeordnet. Antriebsräder 54 werden hier durch Riemen 55 angetrieben. Beide Riemen 55 werden um ein Rad 56 gezogen, dass von einem Motor angetrieben wird, der unterhalb der Platte montiert ist. Diese Zeichnung zeigt auch, dass wieder eine Prüftorvorrichtung angeordnet ist, um festzustellen, ob alle Gegenstände auf dem Träger anwesend sind.
  • 9 zeigt den Aufbau der Vakuummetallisierungskammer 4, die im Übrigen den Gegenstand der europäischen Patentanmeldung Nr. 98.203444.9 bildet. Hier wird ferner dieselbe Antriebsvorrichtung verwendet. Dies ist des Weiteren von Bedeutung, dadurch, dass Platten 57 angeordnet sind, um die Transportvorrichtung gegen eine Ablagerung von Metall zu schützen. Solche Platten sind im Übrigen auch in den Farbsprühvorrichtungen angeordnet.
  • Diese Figur zeigt des Weiteren, wie die tatsächlichen Ziele 58 der Magnetron-Sputter-Vorrichtung auf zwei unterschiedlichen Niveaus angeordnet sind. In Kombination mit den unterschiedlichen Höhen der Verlängerungswellen ist es somit möglich, die Höhe und die Richtung des Metallisierungsprozesses zu bestimmen.
  • In der vorliegenden Konstruktion passieren die zu verarbeitenden Gegenstände zweimal die Magnetron-Sputter-Vorrichtung, wobei nur einer der zwei Durchläufe effektiv ist. Die aktive Hälfte der Vorrichtung wird von der nichtaktiven Hälfte der Vorrichtung durch eine Trennwand 59 aus einem Material, auf dem der gesputterte Dampf abgelagert wird, der jedoch leicht entfernt werden kann, getrennt.
  • Schließlich zeigt 10 die Konstruktion der Produktträger 15. Die Produktträger sind auf der Oberseite der Verlängerungswellen angeordnet, um die Produkte zur Verarbeitung zu tragen. Im vorliegenden Fall werden die Produktträger durch ein Stück eines mit einem Gewinde versehenen Endes ausgebildet, das auf der Verlängerungswelle platziert werden kann, wobei Scheiben, die mit einem Innengewinde versehen sind, auf den mit einem Gewinde versehenen Ende platziert werden können, wobei die Form und die Position von solchen Scheiben kann an die relevanten Produkte angepasst sein.

Claims (18)

  1. Vorrichtung zur Aufbringung wenigstens eines Überzuges auf Gegenstände mittels einer Dampfablagerung (PVD) unter Unterdruck, aufweisend: – eine PVD-Vorrichtung zum Überziehen des Gegenstandes unter Unterdruck; – wenigstens eine Schleuse, die die PVD-Vorrichtung von der Umgebung trennt; – eine Transportvorrichtung, die sich durch die PVD-Vorrichtung und in die Schleuse hinein erstreckt; – wobei die Transportvorrichtung dazu angepasst ist, Gegenstände, die auf Trägern angeordnet sind, zu transportieren, – die PVD-Richtung für eine halbkontinuierliche Behandlung der Gegenstände, die auf den Trägern angeordnet sind, angepasst ist, – eine Vorverarbeitungsvorrichtung zur Durchführung einer Vorverarbeitung an dem Gegenstand; – eine Nachverarbeitungsvorrichtung zum Nachverarbeiten der Gegenstände, und – wobei sich die Transportvorrichtung durch die wenigstens eine Schleuse, die Vorverarbeitungsvorrichtung und die Nachverarbeitungsvorrichtung erstreckt, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorverarbeitungsvorrichtung eine Anwendungsvorrichtung zum Aufbringen eines Lackes auf die zu behandelnden Gegenstände aufweist, der mittels Strahlung, beispielsweise UV- oder IR-Strahlung, aushärtet, und eine Vorrichtung zum Bestrahlen der lackierten Gegenstände mit der relevanten Strahlung.
  2. Vorrichtung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Nachverarbeitungsvorrichtung eine Gebläsevorrichtung zum Ausblasen von Staub von den zu behandelnden Gegenständen aufweist.
  3. Vorrichtung gemäß Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorverarbeitungsvorrichtung eine Oberflächenverarbeitungsvorrichtung aufweist, die vor der Anwendungsvorrichtung zur Bearbeitung der Oberfläche der zu behandelnden Gegenstände verbunden ist.
  4. Vorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Nachverarbeitungsvorrichtung eine Anwendungsvorrichtung zum Aufbringen eines Lackes auf die zu behandelnden Gegenstände aufweist, der mit Strahlung, beispielsweise UV-Strahlung aushärtet, und eine Vorrichtung zur Bestrahlung der lackierten Gegenstände mit der relevanten Bestrahlung.
  5. Vorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Beladungs-/Entladungs-Station zwischen der Nachverarbeitungsvorrichtung und der vorverarbeitungsvorrichtung zum Entladen der bearbeiteten Gegenstände und zum Beladen von zu bearbeitenden Gegenständen angeordnet ist.
  6. Vorrichtung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Träger länglich sind, dass sich Gegenstandshalter auf den Trägern befinden, dass die Gegenstandshalter drehbar sind und die Transportvorrichtung dazu angepasst ist, die Träger im wesentlichen in der Längsrichtung zu bewegen und die Gegenstandshalter in der PVD-Vorrichtung zu drehen.
  7. Vorrichtung gemäß Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die PVD-Vorrichtung mittels einer einzigen Schleuse mit der Umgebung verbunden ist, sich die Transportvorrichtung durch die Schleuse erstreckt und die Schleuse dazu angepasst ist, einen Träger gleichzeitig in und aus der PVD-Vorrichtung zu transportieren.
  8. Vorrichtung gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Transportvorrichtung eine geschlossene Konfiguration besitzt und sich in zwei Richtungen durch die PVD-Vorrichtung erstreckt.
  9. Vorrichtung gemäß Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass ein Puffer für die Träger zwischen der Vorverarbeitungsvorrichtung und der PVD-Vorrichtung angeordnet ist.
  10. Vorrichtung gemäß Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass ein Puffer für die Träger zwischen der PVD-Vorrichtung und der Nachverarbeitungsvorrichtung angeordnet ist.
  11. Vorrichtung gemäß Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Puffer dazu angepasst sind, die Träger in einer transversalen Richtung zu bewegen.
  12. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 6 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Gegenstandshalter austauschbare Gegenstandshalter sind.
  13. Vorrichtung gemäß Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Gegenstandshalter auf sich vertikal erstreckenden Wellen angeordnet sind, die drehbar in den Trägern montiert sind.
  14. Vorrichtung gemäß Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass gezahnte Räder auf den Wellen zum drehenden Antreiben der Wellen angeordnet sind.
  15. Vorrichtung gemäß Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass gezahnte Räder unter der Oberseite des Trägers angeordnet sind.
  16. Vorrichtung gemäß Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die gezahnten Räder in Öffnungen eingelassen werden, die in dem Träger angeordnet sind, und dass die gezahnten Räder aus den Seitenwänden des Trägers hervorstehen.
  17. Vorrichtung gemäß einem der Ansprüche 6 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung mit Nocken versehen ist, um mit den gezahnten Rädern während des Durchlaufs der Träger in Eingriff zu gelangen und die gezahnten Räder zu drehen.
  18. Vorrichtung gemäß Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, dass die Nocken einen Teil einer antreibbaren Kette bilden, um die Wellen dazu zu bringen, unabhängig von der linearen Bewegung des Trägers zu rotieren.
DE69911804T 1998-11-11 1999-11-11 Vorrichtung zum beschichten von gegenständen mittels pvd Expired - Lifetime DE69911804T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
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NL1010531 1998-11-11
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