FR1449124A - Procédé et appareil pour le dépôt de pellicules minces - Google Patents

Procédé et appareil pour le dépôt de pellicules minces

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FR1449124A
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FR
France
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deposition
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films
thin
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Expired
Application number
FR31175A
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English (en)
Inventor
Donald Moss Mattox
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US Atomic Energy Commission (AEC)
Original Assignee
US Atomic Energy Commission (AEC)
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Publication date
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/36—Gas-filled discharge tubes for cleaning surfaces while plating with ions of materials introduced into the discharge, e.g. introduced by evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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GB2138027B (en) * 1983-04-12 1986-09-10 Citizen Watch Co Ltd A process for plating an article with a gold-based alloy and an alloy therefor
CH664163A5 (de) * 1985-03-01 1988-02-15 Balzers Hochvakuum Verfahren zum reaktiven aufdampfen von schichten aus oxiden, nitriden, oxynitriden und karbiden.
DE3518197A1 (de) * 1985-05-21 1986-11-27 Heinrich 7413 Gomaringen Grünwald Verfahren zur entfernung von metallionen aus koerpern aus glas, keramischen werkstoffen und sonstigen amorphen werkstoffen sowie kristallinen werkstoffen
US4888202A (en) * 1986-07-31 1989-12-19 Nippon Telegraph And Telephone Corporation Method of manufacturing thin compound oxide film and apparatus for manufacturing thin oxide film
DE19503718A1 (de) * 1995-02-04 1996-08-08 Leybold Ag UV-Strahler
US6291345B1 (en) 1998-07-27 2001-09-18 Honeywell International Inc. Controlled-stress stable metallization for electronic and electromechanical devices

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