FI96239B - Menetelmä ja laitteisto kiertoilmavirtauksen aikaansaamiseksi käsittelytilaan - Google Patents

Menetelmä ja laitteisto kiertoilmavirtauksen aikaansaamiseksi käsittelytilaan Download PDF

Info

Publication number
FI96239B
FI96239B FI920697A FI920697A FI96239B FI 96239 B FI96239 B FI 96239B FI 920697 A FI920697 A FI 920697A FI 920697 A FI920697 A FI 920697A FI 96239 B FI96239 B FI 96239B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
treatment room
air flow
circulating air
passage
treatment
Prior art date
Application number
FI920697A
Other languages
English (en)
Swedish (sv)
Other versions
FI920697A (fi
FI920697A0 (fi
FI96239C (fi
Inventor
Seppo Juhani Leskinen
Tytti Katariina Ranki
Original Assignee
Suomen Puhallintehdas Oy
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suomen Puhallintehdas Oy filed Critical Suomen Puhallintehdas Oy
Publication of FI920697A0 publication Critical patent/FI920697A0/fi
Priority to FI920697A priority Critical patent/FI96239C/fi
Priority to AU34544/93A priority patent/AU3454493A/en
Priority to ES93917403T priority patent/ES2107677T3/es
Priority to DE69314472T priority patent/DE69314472T2/de
Priority to PCT/FI1993/000026 priority patent/WO1993016334A1/en
Priority to AT93917403T priority patent/ATE159093T1/de
Priority to EP93917403A priority patent/EP0626056B1/en
Publication of FI920697A publication Critical patent/FI920697A/fi
Application granted granted Critical
Publication of FI96239B publication Critical patent/FI96239B/fi
Publication of FI96239C publication Critical patent/FI96239C/fi
Priority to GR970403324T priority patent/GR3025675T3/el

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24FAIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F3/00Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
    • F24F3/12Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
    • F24F3/16Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
    • F24F3/163Clean air work stations, i.e. selected areas within a space which filtered air is passed

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ventilation (AREA)
  • Devices And Processes Conducted In The Presence Of Fluids And Solid Particles (AREA)
  • Threshing Machine Elements (AREA)
  • Prevention Of Fouling (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Description

96239
Menetelmä ja laitteisto kiertoilmavirtauksen aikaansaamiseksi käsittelytilaan Tämän keksinnön kohteena on menetelmä kiertoilma-5 virtauksen aikaansaamiseksi ympäristöstä eristettyyn käsittelytilaan tuotantolinjaa, työaluetta tai sentapaista varten, jolloin käsittelytilaan puhalletaan tuloilmaa muodostamaan käsittelytilassa kiertävän ilmavirtauksen, joka aikaansaa ympäristöilman sisäänpääsyn estävän ilma-10 verhon käsittelytilan avoimen kulkuaukon kohdalle.
FI-patenttihakemuksesta 911968 on aikaisemmin tunnettu menetelmä ilmanvaihdon aikaansaamiseksi käsittelytilaan, jonka ilman olotila pidetään ympäristöstä poikkeavana käsittelytilassa kiertävän ilmavirtauksen 15 avulla, joka muodostaa ympäristöilman sisäänpääsyn estävän ilmaverhon käsittelytilan kulkuaukon kohdalle. Kier-toilmavirtaus synnytetään tällöin käsittelytilaan puhallettavalla ilmasuihkulla. Menetelmällä säästetään mm. huomattavasti energiaa ja parannetaan työolosuhteita.
20 Järjestelmällä on kuitenkin eräitä heikkouksia.
Työalueella olevat kappaleet aiheuttavat helposti häiriöitä kiertovirtaukseen, jolloin tapahtuu sekoittumista ympäristöilmaan ja olosuhteet jäävät käsittelytilassa huonommiksi kuin häiriöttömässä virtauksessa. Voimakas 25 puhallus työalueen ulkoreunalta estää tehokkaasti ilmaa karkaamasta käsittelytilasta sen alaosasta, mutta on työntekijän kannalta epämiellyttävää, joten työolosuhteiden parannus jää pienemmäksi kuin pelkän lämpötilan perusteella voisi päätellä.
30 Tämän keksinnön tarkoituksena on aikaansaada me- netelmä, jolla poistetaan käsittelytilassa olevan työ-kappaleen aiheuttamat virtaushäviöt lähes kokonaan ja parannetaan siten työskentelyolosuhteita merkittävästi.
Tämä tarkoitus saavutetaan keksinnön mukaisella menetel-35 mällä, jolle on tunnusomaista se, että ainakin osa kiertävästä ilmavirtauksesta poikkeutetaan pois työalueelta käsittelytilan aukon puolelta ja palautetaan vastakkai- 2 96239 sella puolella käsittelytilan kulkuaukkoon nähden siten, että työalue jää olennaisesti kiertävän ilmavirtauksen sisäpuolelle.
Keksinnön perusajatuksena on se, että käsittely-5 tilassa olevaa työkappaletta päin suuntautuvan kierto-virtauksen osa saatetaan virtaamaan sen ohi varsinaisen työalueen ulkopuolelle siten, että työkappale jää kier-tovirtauksen keskelle tai ainakin pienen virtausnopeuden alueelle. Näin saadaan työkappaleen häiritsevä vaikutus 10 kiertovirtaukseen olennaisesti poistetuksi, mikä paran taa työskentelyolosuhteita. Samalla pienennetään ilman nopeutta työskentelyalueella murto-osaan tunnettuihin järjestelmiin verrattuna.
Keksinnön kohteena on myös sovitelma edellä seli-15 tetyn menetelmän toteuttamiseksi, jolloin käsittelyti-lassa on välineet tilan ulkopuolelta tai itse tilasta otettavan tuloilman puhaltamiseksi käsittelytilaan siten, että tuloilma muodostaa käsittelytilassa kiertävän ilmavirtauksen, joka aikaansaa ympäristöilman sisäänpää-20 syn estävän ilmaverhon kulkuaukon kohdalle. Sovitelmalle on tunnusomaista se, että käsittelytilaan on muodostettu työalueen ohittava ohitustie ainakin kiertävän ilmavirtauksen osaa varten, jolloin ohitustiehen kuuluu tulo-aukko, joka sijaitsee käsittelytilan kulkuaukon vieres-*. 25 sä, ja poistoaukko, joka sijaitsee käsittelytilan vas takkaisella puolella kulkuaukkoon nähden.
Tällaisella sovitelmalla saavutetaan kaikki menetelmän yhteydessä mainitut edut.
Keksintöä selitetään lähemmin seuraavassa viita-30 ten oheiseen piirustukseen, jossa : kuvio 1 esittää kaavamaisesti pystyleikkauksena käsittelytilaa, jossa on keksinnön mukaisen menetelmän erään toteutusmuodon mukainen kiertoilmavirtaus, ja kuvio 2 esittää samalla tavalla käsittelytilaa, 35 jossa kiertovirtaus on järjestetty keksinnön vaihtoehtoisen toteutusmuodon mukaisesti.
Kuvio 1 esittää käsittelytilaa 1, joka on kaapin
II
3 96239 2 ympäröimä, jossa on katto, seinät ja pohja 2a, jonka yläpuolella on työtaso 3 käsiteltävää työkappaletta 4 varten. Kaapin etuseinässä on työskentely- tai kulkuaukko 5. Kaapin seinät on muotoiltu konvektiovirtaukselle 5 sopiviksi.
Kaapin aukon alareunan kohdalla on suuttimet 6, joiden kautta tuloilmaa A puhalletaan työskentelytilaan vaakasuuntaisesti kaapin takaseinää kohti. Tuloilma virtaa kaapin takaseinää myöten käsittelytilan yläosaan ja 10 etuseinää kohti ja edelleen alaspäin kaapin etusivulla, niin että kulkuaukon kohdalle muodostuu pystysuuntainen ilmaverho A77. Tuloilman alkunopeus on niin suuri, että kiertovirtaus A7 säilyy käsittelytilassa, eikä lämpimäm-pää ympäristöilmaa pääse konvektioilmavirtauksena kaapin 15 sisään kulkuaukon yläreunan kautta.
Suuttimet on keksinnön mukaisesti sijoitettu työtason 3 alapuolelle puhaltamaan tuloilmaa työtason ja pohjan 2a väliseen ohitussolaan 7, niin että ilma virtaa vaakasuunnassa työtason ja sen kannattaman työkappaleen 20 alapuolitse. Suuttimien ilmasuihku imee osan B käsittelytilassa kiertävästä ilmavirtauksesta A77 ja induktio-ilmaa kaapin ympäristöstä kulkuaukon 5 alareunan kohdalla olevan tuloaukon 8 kautta ohitussolaan. Tämä estää ilmaa karkaamasta kulkuaukon alareunan kautta ympäris-25 töön ja vetää pääosan kiertovirtauksen siitä osasta, joka muuten virtaisi vaakasuunnassa työtasoa pitkin työ-kappaletta kohti, alas ohitussolaan. Ohitussolan taka-päässä on kaapin takaseinän kohdalla työtason korkeudella poistoaukko 9, jonka kautta kiertovirtaus suuntautuu 30 jälleen ylöspäin.
Mikäli työtason ja käsittelykaapin pohjan välinen etäisyys on riittävä, ei ohitussolassa tapahtuvan virtauksen nopeus ole niin suuri, että se haittaisi kierto-virtausta. Huomataan, että kiertovirtauksen kehäosa saa-35 daan keksinnön mukaisella järjestelyllä ohjatuksi pois 96239 4 työkappaleen kohdalta ja ohittamaan työkappaleen sen alitse, ilman että tämä häiritsee käsittelytilan kierto-virtausta. Tämä pienentää työkappaleen häiritsevää vaikutusta kiertovirtaukseen ja alentaa jäljelle jäävän 5 kiertovirtauksen nopeutta työkappaletta kohti työtason yläpuolella. Tämä vuorostaan parantaa työskentelyolosuhteita työtasolla.
Häiriöitä voidaan edelleen pienentää ulottamalla ohitussola 7 ja sen ylöspäin suuntautuva purkausaukko 9 10 työtason 3 yläpuolelle, kuten katkoviivoilla on esitetty kuviossa 1. Tämä on erityisen hyödyllistä silloin, kun yhdistetään kaksi vierekkäistä tuotantolinjaa yhteiseen kaappiin, jossa on aukot 5 ja suuttimet 6 kaapin vastakkaisilla sivuilla. Ohitussolan 7 ylöspäin suuntautuva, 15 kaapin keskellä sijaitseva osa muodostaa tällöin yhteisen ohitussolan, jolla ilma saadaan suunnattua ylös yhteisestä purkausaukosta 9.
Kuvio 1 esittää käsittelytilaa, jossa kiertovirtauksen ohitustie on muodostettu käsittelytilan pohjan 20 ja siitä kohotetun työtason väliin. Kuvio 2 esittää tapausta, jossa ohitustie on muodostettu käsittelytilan ulkopuolelle sen pohjan alle.
Kuviossa 2 on välimatkan päähän käsittelytilan pohjan 2a alapuolelle asennettu ilmatiivis välilevy 10, 25 joka estää kiertovirtausta muodostamasta pohjaa 2a koko alapuoliseen tilaan 11. Pohjan etuosassa on tuloaukko 8 ja takaosassa poistoaukko 9 pohjan ja välilevyn väliseen ohituskanavaan 12 ja vastaavasti pois kanavasta. Tämä sovitelma toimii kiertovirtauksen suhteen samalla taval-30 la kuin kuvion 1 yhteydessä on esitetty, niin että pääosa kiertovirtauksesta saadaan ohjatuksi ohituskanavan kautta ja vain pieni osa virtauksesta kulkee työkappaleen kautta. Välilevyillä 10 voidaan muodostaa muuallekin käsittelytilaan pysty- tai vaakasuuntaisia ohjauska-35 navia, kuten kuviossa 2 on esitetty katkoviivoilla.
il 5 96239
Kuvion 2 esittämässä sovitelmassa on suuttimet 13 tuloilmaa A varten sijoitettu itse ohituskanavan sisään. Suuttimet vetävät tässäkin tapauksessa saman määrän in-duktioilmaa kaapin kulkuaukon alareunan kautta ohituska-5 navaan kuin edellisessä toteutusmuodossa. Tällainen järjestely helpottaa toisinaan laitteiden sijoitusongelmia. Esimerkiksi yllämainitussa tapauksessa, jossa yhteiseen kaappiin on sijoitettu kaksi tuotantolinjaa, jolloin kaapin molemmilla sivuilla on aukot 5, voidaan selvitä 10 yhdellä tuloilmalaitteistolla ja suuttimilla 13, jotka sijoitetaan työtasojen 3 väliin puhaltamaan ylöspäin, jolloin ne imevät ilmaa molempien työtasojen alitse.
Tulo- ja poistoaukkoja 8, 9 voidaan pienentää sijoittamalla niihin ohjauslevyjä 14, 15, kuvio 2, kun 15 levyt muotoillaan siten, että ne pienentävät aukkojen virtausvastusta. Käsittelytilan ulkomitat pienenevät tällöin. Ohjauslevyjä voidaan sijoittaa muuallekin.
Piirustus ja siihen liittyvä selitys on tarkoitettu vain havainnollistamaan keksinnön ajatusta. Yksi-20 tyiskohdiltaan voivat keksinnön mukainen menetelmä ja laitteisto vaihdella patenttivaatimusten puitteissa. Vaikka keksintöä onkin edellä selitetty sovellettuna kaappiin, jossa kiertää ympäristöön nähden kylmempää ilmaa, voidaan keksintöä soveltaa myös silloin, kun kä-25 sittelytilassa kiertää ylilämpöinen ilma. Tällöin ilman virtaussuunta on päinvastainen kuvioissa 1 ja 2 nuolilla esitettyihin virtauksiin nähden. Suutin 13 puhaltaa kaapin aukkosivua kohti ja aukon 5 yläreunan kohdalla oleva suutin puhaltaa ilmaa käsittelytilan kattoa kohti. On 30 myös mahdollista asentaa käsittelytilaan pieniä apusuut-timia haluttuihin kohtiin, esim. kuvioiden 1 ja 2 esittämissä tapauksissa aukon 5 yläreunan kohdalle alaspäin puhaltavia suuttimia kiertovirtauksen tukemista varten. Käsittelytilan alapohjana voi tietenkin myös olla huone-35 tilan lattiataso.

Claims (10)

96239 6
1. Menetelmä kiertoilmavirtauksen aikaansaamiseksi ympäristöstä eristettyyn käsittelyillään tuotantolinjaa, 5 työaluetta tai sentapaista varten, jolloin käsittelytilaan (1) puhalletaan tuloilmaa (A) muodostamaan käsittelytilas-sa kiertävän ilmavirtauksen (A'), joka aikaansaa ympäris-töilman sisäänpääsyn estävän ilmaverhon (A'') käsittelyti-lan avoimen kulkuaukon (5) kohdalle, tunnettu siilo tä, että ainakin osa (B) kiertävästä ilmavirtauksesta (A') poikkeutetaan pois työalueelta (3) käsittelytilan aukon (5) puolelta ja palautetaan vastakkaisella puolella käsittelytilan kulkuaukkoon nähden siten, että työalue jää olennaisesti kiertävän ilmavirtauksen sisäpuolelle.
2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että kiertävän ilmavirtauksen (A') poikkeutettu osa (B) palautetaan työalueelle käsittelytilan pohjalla käsittelytilan takaseinän puolella (9).
3. Patenttivaatimuksen 1 tai 2 mukainen menetelmä, 20 tunnettu siitä, että kiertävän ilmavirtauksen (A') poikkeutettava osa (B) poistetaan työalueelta (3) sen alapuolelle puhalletun tuloilmasuihkun (A) imuvaikutuksen avulla.
4. Sovitelma kiertoilmavirtauksen aikaansaamiseksi 25 ympäristöstä eristettyyn käsittelytilaan tuotantolinjaa, työaluetta tai sentapaista varten, johon käsittelytilaan (1) johtaa ympäristöstä kulkuaukko (5), jolloin käsittely-tilassa on välineet (6; 13) tuloilman (A) puhaltamiseksi käsittelytilaan siten, että tuloilma muodostaa käsittely-30 tilassa kiertävän ilmavirtauksen (A'), joka aikaansaa ym-päristöilman sisäänpääsyn estävän ilmaverhon (A'') kulkuaukon kohdalle, tunnettu siitä, että käsittelytilaan (1) on muodostettu työalueen (3) ohittava ohitustie (7; 12) ainakin kiertävän ilmavirtauksen osaa (B) varten, 35 jolloin ohitustiehen kuuluu tuloaukko (8), joka sijaitsee 7 96239 käsittelytilan kulkuaukon vieressä, ja poistoaukko (9), joka sijaitsee käsittelytilan vastakkaisella puolella kulkuaukkoon nähden.
5. Patenttivaatimuksen 4 mukainen sovitelma, 5 tunnettu siitä, että ohitustie on työalueen muodostavan työtason (3) ja käsittelytilan (1) pohjalevyn (2a) välisen virtaussolan (7) muodostama.
6. Patenttivaatimuksen 4 mukainen sovitelma, tunnettu siitä, että ohitustie on käsittelytilan 10 (1) pohjalevyn (2a) alla sijaitsevan virtauskanavan (12) muodostama, jossa on käsittelytilan takaseinän vieressä sijaitseva poistoaukko (9).
7. Jonkin patenttivaatimuksen 4-6 mukainen sovitelma, tunnettu siitä, että välineet (6) tuloil- 15 man (A) puhaltamiseksi käsittelyillään (1) ja kiertävän ilmavirtauksen (A' ) aikaansaamiseksi sijaitsevat ohitustien (7; 12) alueella.
8. Jonkin patenttivaatimuksen 4-7 mukainen sovitelma, tunnettu siitä, että ohitustielle (7; 12) 20 on asennettu ilmavirtaa ohjaavia ohjauslevyjä (14, 15) tai sentapaisia.
9. Jonkin patenttivaatimuksen 4-8 mukainen sovitelma, tunnettu siitä, että ohitustie (7; 12) ja sen poistoaukko (9) ulottuvat työtason (3) yläpuolelle.
10. Jonkin patenttivaatimuksen 4-9 mukainen sovi- % telma, tunnettu siitä, että käsittelytilaan (1) on asennettu välilevyjä (10) ohjaussolan tai -solien muodostamiseksi käsittelytilan rajoituspintojen sisäpuolelle. 8 96719
FI920697A 1992-02-18 1992-02-18 Menetelmä ja laitteisto kiertoilmavirtauksen aikaansaamiseksi käsittelytilaan FI96239C (fi)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI920697A FI96239C (fi) 1992-02-18 1992-02-18 Menetelmä ja laitteisto kiertoilmavirtauksen aikaansaamiseksi käsittelytilaan
PCT/FI1993/000026 WO1993016334A1 (en) 1992-02-18 1993-01-28 A method of and an arrangement for providing a circulating air flow in a treatment space
ES93917403T ES2107677T3 (es) 1992-02-18 1993-01-28 Un metodo y un dispositivo para poseer un flujo de aire circulante en un espacio de tratamiento.
DE69314472T DE69314472T2 (de) 1992-02-18 1993-01-28 Verfahren und anlage zum liefern einer zirkulierenden luftströmung in einem behandlungsraum
AU34544/93A AU3454493A (en) 1992-02-18 1993-01-28 A method of and an arrangement for providing a circulating air flow in a treatment space
AT93917403T ATE159093T1 (de) 1992-02-18 1993-01-28 Verfahren und anlage zum liefern einer zirkulierenden luftströmung in einem behandlungsraum
EP93917403A EP0626056B1 (en) 1992-02-18 1993-01-28 A method of and an arrangement for providing a circulating air flow in a treatment space
GR970403324T GR3025675T3 (en) 1992-02-18 1997-12-16 A method of and an arrangement for providing a circulating air flow in a treatment space.

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI920697A FI96239C (fi) 1992-02-18 1992-02-18 Menetelmä ja laitteisto kiertoilmavirtauksen aikaansaamiseksi käsittelytilaan
FI920697 1992-02-18

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI920697A0 FI920697A0 (fi) 1992-02-18
FI920697A FI920697A (fi) 1993-08-19
FI96239B true FI96239B (fi) 1996-02-15
FI96239C FI96239C (fi) 1996-05-27

Family

ID=8534705

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI920697A FI96239C (fi) 1992-02-18 1992-02-18 Menetelmä ja laitteisto kiertoilmavirtauksen aikaansaamiseksi käsittelytilaan

Country Status (8)

Country Link
EP (1) EP0626056B1 (fi)
AT (1) ATE159093T1 (fi)
AU (1) AU3454493A (fi)
DE (1) DE69314472T2 (fi)
ES (1) ES2107677T3 (fi)
FI (1) FI96239C (fi)
GR (1) GR3025675T3 (fi)
WO (1) WO1993016334A1 (fi)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5428668A (en) * 1993-11-04 1995-06-27 Ericsson Ge Mobile Communications Inc. Radio personal communications system and method for allocating frequencies for communications between a cellular terminal and a base station
DE10145921A1 (de) 2001-09-18 2003-04-03 Volkswagen Ag Vorrichtung zum Bearbeiten eines Werkstücks
US9527183B1 (en) * 2015-08-11 2016-12-27 Thermwood Corporation System for confining particulate residue in a machining operation

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4936824A (en) * 1987-05-15 1990-06-26 The Boc Group, Inc. Infant incubator with air curtain
FI88541C (fi) * 1991-04-23 1993-05-25 Ilmateollisuus Oy Foerfarande och anordning foer att aostadkomma en luftvaexling foer ett behandlingsrum

Also Published As

Publication number Publication date
ATE159093T1 (de) 1997-10-15
AU3454493A (en) 1993-09-03
DE69314472T2 (de) 1998-02-26
FI920697A (fi) 1993-08-19
DE69314472D1 (de) 1997-11-13
EP0626056A1 (en) 1994-11-30
EP0626056B1 (en) 1997-10-08
FI920697A0 (fi) 1992-02-18
FI96239C (fi) 1996-05-27
ES2107677T3 (es) 1997-12-01
GR3025675T3 (en) 1998-03-31
WO1993016334A1 (en) 1993-08-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102424035B1 (ko) 반도체 용기 보관 설비
KR100524359B1 (ko) 클린 룸용의 물품 보관 설비
CN107529732B (zh) 栽培生产设备
US4779604A (en) Baking oven
US6494779B1 (en) Control cabinet with cooling device
US7468084B2 (en) Device for conditioning recirculating air, especially clean room air
KR0179405B1 (ko) 크린장치가 부착된 하물보관설비
NL1008444C2 (nl) Ventilatiesysteem.
US2984085A (en) Walk-in cooler apparatus
US6488126B1 (en) Elevator control device
JP2020133913A (ja) エアーカーテン生成装置
KR102227862B1 (ko) 스토커
JP2016202110A (ja) 植物栽培装置
FI96239B (fi) Menetelmä ja laitteisto kiertoilmavirtauksen aikaansaamiseksi käsittelytilaan
KR20210053260A (ko) 부스 및 분출장치
JP5952476B2 (ja) 植物栽培設備
FI88541B (fi) Foerfarande och anordning foer att aostadkomma en luftvaexling foer ett behandlingsrum
FI106149B (fi) Menetelmä ja laite ilman syöttämiseksi tuuletettavaan huonetilaan
KR20080081855A (ko) 반도체 기판용 스토커
JP4378652B2 (ja) 浄化空気通風式の物品保管設備
US4091719A (en) Welding booths
JP5830263B2 (ja) 植物栽培設備
US3974754A (en) Controlled fluid flow systems
JP2002343846A (ja) ストッカ
JPH04131636A (ja) クリーンストッカー装置

Legal Events

Date Code Title Description
BB Publication of examined application