FI95179C - Liuskajohtoresonaattorirakenne - Google Patents

Description

! 95179

Liuskajohtoresonaattorirakenne

Keksinnön kohteena on liuskaj ohtoresonaattorirakenne, joka käsittää substraatin ja yhden tai useampia subst-5 raatille johdinpinnoitteena muodostettuja liuskajohtokuvi-oita.

Liuskajohtoresonaattorit ovat matalia tasomaisia resonaattoreita. Liuskajohtoresonaattoreita käytetään suurtaajuuspiirien toteuttamiseen esimerkiksi matkapuheli-10 missä tai niiden tukiasemissa. Liuskajohtoresonaattoreita voidaan käyttää esimerkiksi radiopuhelinten vahvistimien pääteasteissa sovituspiireinä ja suodatuspiireinä. Liuska-johtopiirejä käytetään yleisesti jo 1.8 GHz taajuuksilla. Liuskajohtoresonaattorien liuskajohdekuviot sovitetaan si-15 ten toisiinsa, että resonaattorirakenne toteuttaa taajuusalueessa halutun kaltaisen taajuusvasteen. Yksinkertaisimmillaan resonaattorirakenne voi muodostua yhdestä liuska-johtokuviosta, jollaista resonaattoria voidaan käyttää esimerkiksi VCO-käytössä eli jänniteohjatun oskillaattorin 20 yhteydessä, jolloin liuskajohtoresonaattori määrää oskillaattorin värähtelytaajuuden. Yleensä liuskajohtoresonaat-torit käsittävät 3-6 liuskajohtokuviota tai 6-12 liuska-johtokuviota, mikäli kyseessä on duplex-suodatin. Liuska-johtoresonaattorin ominaisuudet eli käytännössä resonans-25 sitaajuus ja ominaisimpedanssi ovat riippuvaisia liuska-johtokuvion leveydestä, pituudesta, vierekkäisten liuska-johtokuvioiden välisestä etäisyydestä, substraatin paksuudesta ja substraatin dielektrisyysvakiosta.

Liuskajohtoresonaattoreissa substraattina käytetään : 30 dielektristä materiaalia esimerkiksi keraamista materiaa lia kuten esimerkiksi Zirkonium-tina-titanaattia, jonka dielektrisyysvakio on suuruudeltaan noin 36 yksikköä. Substraatin päälle muodostettavat liuskajohtokuviot muodostuvat johdinmetalloinnista kuten esimerkiksi hopeapin-35 noituksesta. Liuskajohtoresonaattoreita käytetään erityi- 2 95179 sesti niiden helpon valmistettavuuden ja rakenteen mataluuden vuoksi. Liuskajohtoresonaattorilla voidaan haluttu resonaattorirakenne muodostaa matalampana ja ainakin helpommin valmistettavana kuin eräällä toisella resonaattori-5 tyypillä nimittäin koaksiaaliresonaattorilla, joilla kuitenkin saavutetaan liuskajohtoresonaattoreita parempi hy-vyysluku eli Q-arvo.

Nykyisin tunnetut tavanomaiset liuskajohtoresonaat-torit ovat sellaisia, joissa liuskajohtokuviot on muodos-10 tettu tasaisen substraatin päälle ohuiksi tasomaisiksi liuskamaisiksi kuvioiksi. Tunnetuissa liuskajohtoresonaat-toreissa liuskajohtokuvio on erittäin ohut usein paksuudeltaan vain muutamia kymmeniä mikrometrejä, jolloin liuska johtokuvio eli johtava pinnoite on käytännössä kaksi-15 ulotteinen tasokuvio. Tunnettujen liuskajohtoresonaatto- reiden merkittävimpänä epäkohtana on niiden hyvyysluvun eli Q-arvon mataluus verrattuna esimerkiksi koaksiaaliresonaattorilla saavutettaviin Q-arvoihin. Liuskajohto-resonaattoreissa hyvyysluvun mataluus johtuu liuskajohto-20 kuvioissa tapahtuvista johdinhäviöistä. Vierekkäisten liuskajohtokuvioiden sähköinen sovitus toisiinsa eli kytkeytyminen ja lisäksi ulkoisen kytkeytymisen suorittaminen ovat myös tunnettujen tasomaisilla kaksiulotteisilla liuska johtokuvioilla toteutettujen liuskajohtoresonaattoreiden 25 eräs ongelma. Tunnetuissa ratkaisuissa vierekkäisten liuskajohtokuvioiden eli yksittäisten resonaattoreiden välisen kytkeytymisen säätö on suoritettu vierekkäisten liuskajohtokuvioiden välistä etäisyyttä muuttamalla, joka luonnollisesti on kasvattanut liuskajohtoresonaattorin fyysistä 30 kokoa komponenttina tarkastellen.

Liuskajohtoresonaattorin ominaisuuksia on pyritty parantamaan pyrkimällä muokkaamaan liuskajohtoresonaatto-rirakennetta liuskajohtokuvion osalta jossain määrin kolmiulotteiseen muotoon, joka toiminnallisesti pyrkii jäl-35 jittelemään paremman Q-arvon mahdollistavaa koaksiaali- 3 95179 resonaattoria. Esimerkki tällaisesta rakenteesta on reso-naattorirakenne, jossa tasomaiseen substraattiin on muodostettu puoliympyränmuotoisia kaarevia syvennyksiä, joiden pinnalle liuskajohtopinnoite on muodostettu. Hakijan 5 havaintojen mukaan kyseinen ratkaisu ei kuitenkaan valmistettavuuden ja koaksiaaliresonaattoritoiminnon jäljittelyn osalta kuitenkaan tuota kaikkiin käyttötarkoituksiin riittävän soveliasta rakennetta.

Tämän keksinnön tarkoituksena on tuoda esiin uuden-10 tyyppinen liuskajohtoresonaattorirakenne, joka välttää tunnettuihin ratkaisuihin liittyvät ongelmat.

Tämä tarkoitus saavutetaan keksinnön mukaisella liuskajohtoresonaattorirakenteella, jolle on tunnusomaista, että liuskajohtokuviot on muodostettu varsinaisesta 15 substraattimateriaalista ulkonevien substraattimateriaa- lista muodostettujen ulokkeiden yhteyteen ulokkeiden joh-dinpinnoitteeksi.

Keksinnön mukainen liuskajohtoresonaattorirakenne perustuu siihen ajatukseen, että pyritään kolmiulotteiseen 20 helposti valmistettavaan rakenteeseen, joka jäljittelee koaksiaaliresonaattorin toimintaa.

Keksinnön mukaisella liuskajohtoresonaattoriraken-teella saavutetaan useita etuja. Uudella liuskajohtotyyp-pisellä resonaattorilla saavutetaan matala ja helpostival-25 mistettava, mutta Q-arvoltaan parempi liuskajohtoresonaattorirakenne. Hakijan havaintojen mukaan uudessa ratkaisussa sähkömagneettinen kenttä toimii verrattain paljon sa-mantyyppisesti kuin oikeaoppisessa koaksiaaliresonaatto-rissa. Uusi rakenne mahdollistaa vierekkäisten liuskajoh-30 tokuvioiden välisen kytkeytymisen säädön toteuttamisen re sonaattorin kokoa kasvattamatta. Lisäksi ulkoinen kytkeytyminen resonaattorirakenteeseen eli käytännössä reunimmaisiin liuskajohtokuvioihin voidaan tehdä ilman galvaanista kytkentää sähkömagneettisen kentän välityksellä.

35 Keksintöä selitetään seuraavassa lähemmin viitaten 4 95179 oheisiin piirustuksiin, joissa kuvio 1 esittää päätykuvantoa liuskajohtoresonaat-torirakenteesta, kuvio 2 esittää päällykuvantoa liuskajohtoresonaat-5 torirakenteesta, kuvio 3 esittää päätykuvantona liuskajohtoresonaat-torirakenteen toista toteutusmuotoa.

Kuvioihin 1 ja 2 viitaten liuskajohtoresonaattori-rakenne 1 käsittää substraatin 2 ja yhden tai useampia, 10 kuviossa 1 ja 2 viisi liuskajohtokuvioita 3-7, jotka on muodostettu johdinpinnoitteeksi substraatille 2. Substraatti 2 on edullisimmin keraamista dielektristä materiaalia kuten esimerkiksi Zirkonium-tina-titanaattia. Liuska-johtoresonaattori 1 on asennettu komponentiksi piirilevyl-15 le 8.

Substraatti 2 käsittää ainakin yhtä monta uloketta 9-13 kuin mikä on liuska johtokuvioiden 3-7 lukumäärä. Ulokkeet 9-13 ulkonevat varsinaisesta substraattimateriaa-lista siis substraatista 2 ja ovat muodostettuja samasta 20 substraattimateriaalista ja siis samasta materiaalikappa- leesta kuin varsinainen substraatti 2 ulokkeen alapuolella. Keksinnön mukaisesti liuskajohtokuviot 3-7 on muodostettu varsinaisesta substraatista 2 ulkonevien substraat-timateriaalisten ulokkeiden 9-13 johdinpinnoitteeksi. Mai-25 nitulla tavalla sijoitettuna liuskajohtokuviot 3-7 käsit tävät ulokkeiden 9-13 korkeussuuntaista ulottumaa. Kuvioiden 1 ja 2 esittämässä edullisessa toteutusmuodossa liuska johtokuvioiden 3-7 alustana olevat ulokkeet 9-13 käsittävät kolme toisiinsa nähden kulmittain asetettua olennai-: 30 sesti tasomaista pintaa 9a-13a, 9b-13b ja 9c-13c, jolloin liuskajohtokuviot 3-7 ulottuvat kaikille kolmelle tasomaiselle pinnalle. Tällöin liuskajohtokuviot 3-7 vastaavasti käsittävät kolme toisiinsa nähden kulmittain asetettua olennaisesti tasomaista pintaa 3a-7a, 3b-7b ja 3c-7c.

35 Kuvioiden 1 ja 2 esittämästä toteutusmuodosta ha- s 95179 vaitaan, että edullisessa toteutusmuodossa ulokkeiden 9-13 kolmesta tasomaisesta pinnasta 9a-13a, 9b-13b ja 9c-13c äärimmäiset kaksi tasomaista pintaa, kuten esimerkiksi pinnat 9a ja 9c ovat keskenään yhdensuuntaisia. Vastaaval-5 la tavalla muidenkin ulokkeiden 10-13 reunimmaiset pinnat kuten esimerkiksi pinnat 13a ja 13c ulokkeessa 13 ovat keskenään yhdensuuntaisia. Liuskajohtoresonaattori käsittää myös ulokkeita 9-13 ympäröiviä alueita 14-19, jotka ovat vapaita substraattimateriaalista. Käytännössä subst-10 raattimateriaalista vapaat alueet 14-19 ovat tasaiseen substraattiin muodostettuja uria. Tällöin liuskajohtokuvi-oiden 3-7 alustana olevat substraattimateriaalista 2 muodostuvat ja varsinaisesta substraattimateriaalista 2 ulkonevat ulokkeet 9-13 on muodostettu substraattimateriaaliin 15 muodostettujen substraattimateriaalista vapaiden alueiden 14-19 välille. Mainittu toteutusmuoto on substraatin valmistettavuuden kannalta helppo, koska ulokeet 9-13 voidaan muodostaa esimerkiksi sahaamalla tai hiomalla tasaiseen substraattiin 2 urat eli nyt siis substraattimateriaalista 20 vapaat alueet 14-19, joiden välille tällöin muodostuu ulokkeet 9-13. Valmistettavuus on erityisen helppo kuvioiden 1 ja 2 mukaisessa ratkaisussa, jossa ulokkeiden 9-13 reunimmaiset pinnat kuten esimerkiksi pinnat 9a ja 9c ovat keskenään yhdensuuntaisia, koska yhdensuuntaisten urien 25 muodostaminen esimerkiksi sahauksella on helppoa. Lisäetuna saadaan se, että liuskajohtokuvioiden 3-7 muodostaminen ulokkeisiin, erityisesti ulokkeiden 9-13 reunimmaisiin pintoihin kuten esimerkiksi pintoihin 9a ja 9c liuskajoh-tokuvioiksi 3a ja 3c on helpompaa.

30 Tässä yhteydessä tuodaan esille se, että liuskajoh- toresonaattorin pinnan ei välttämättä tarvitse olla porrasmainen tai muutoin epätasainen, sillä ulokkeiden 9-13 väliset urat 14-19 voidaan täyttää ulokkeiden 9-13 liuska-johdinkuvioiden 3-7 muodostamisessa käytettävällä metal-35 loinnilla kuten esimerkiksi hopeamaalilla. Näin ollen siis 6 95179 termi uloke tulee ymmärtää siten, että se ei välttämättä edellyttä epätasaista pinnanmuotoa vaan keksinnön mukaisesti sitä, että uloke, kuten ulokkeet 3-7, on todellinen ulkoneva uloke nimenomaan suhteessa varsinaiseen subst-5 raattiin 2.

Hakijan havaintojen mukaan keksinnön mukainen ratkaisu toimii jo silloin kun on kyse yhden ulokeen ja yhden liuskajohtokuvion resonaattorirakenteesta, jolloin usean resonaattorin rakenne voidaan tarvittaessa muodostaa omil-10 le erillisille substraateilleen muodostetuista yksittäi sistä liuskajohtokuvioista, joskin tällainen rakenne on valmistettavuudeltaan hankalampi. Silloin kun liuskajohto-kuvioita 3-7 ja siis myös ulokkeita 9-13 on useita, niin tällöin edullisessa toteutusmuodossa liuskajohtokuviot 3-7 15 ja siis myös ulokkeet 9-13 ovat samalla substraatilla 2 kuvioiden 1 ja 2 mukaisesti.

Kuvioiden 1 ja 2 esittämä liuskajohtoresonaattori-rakenne 1 käsittää useita liuskajohtokuvioita 3-7. Subst-raattimateriaalista 2 muodostuvat ja varsinaisesta subst-20 raattimateriaalista 2 ulkonevat ulokkeet 9-13 ulottuvat ainakin likimain samalle korkeudelle, mikä havaitaan kuviosta 1. Tämä edullinen toteutusmuoto on helpoin substraatin valmistettavuuden kannalta, koska urien 14-19 muodostaminen ja siis ulokkeiden 9-13 muodostaminen voidaan 25 aloittaa tasomaisesta substraattikappaleesta.

Pelkkä resonaattorirakenne 1 sinänsä ei vielä muodosta toimivaa sähköistä piiriä, vaan resonaattorirakenne tulee kytkeä osaksi muuta sähköistä piiriä tai kytkentää. Tämä saadaan aikaan resonaattorin 1 ulkoisella kytkeytymi-30 sellä, joka suoritetaan resonaattorin 1 reunimmaisten yksittäisten liuskajohtokuvioresonaattoreiden kuten 3 ja 7 kautta. Kuvioissa 1 ja 2 liuskajohtoresonaattorin 1 ulkoinen kytkeytyminen on suoritettu piirilevyn 8 käsittämään johdinkuvioon 8a. Kuvioista 1 ja 2 havaitaan, että edulli-35 sessa toteutusmuodossa ulkoinen kytkeytyminen liuskajohto- 7 95179 resonaattorirakenteen 1 reunimmaiseen liuskajohtokuvioon 3 on suoritettu liuskajohtoresonaattorirakenteen sivulle muodostetun kytkentäalueen 20 ja liuskajohtokuvion 3 välisen sähkömagneettisen kentän välityksellä. Keksinnön mu-5 kaisesti kolmiulotteisessa liuskajohtoresonaattorissa l pyörii sähkömagneettinen kenttä liuskajohtokuvioiden 3-7 kuten reunimmaisen liuskajohtokuvion 3 ympärillä siten, että sähkökenttä ulottuu liuskajohtokuviolta 3 resonaattorirakenteen 1 sivulle saakka, jolloin sähkömagneettisen 10 kentän kattamalle alueelle sijoitetun kytkentäalueen kautta voidaan suorittaa ulkoinen kytkeytyminen. Hakijan havaintojen mukaan kytkeytyminen kytkentäalueen 20 ja liuskajohtokuvion 3 välillä on voimakkain siinä edullisessa toteutusmuodossa, jossa kytkentäalue 20 on ainakin 15 osittain muodostettu korkeudellisesti sille korkeudelle, jolle korkeudelle reunimmainen substraattimateriaalista ulkoneva substraattimateriaalista muodostettu uloke 9 on muodostettu. Tämä käytännössä tarkoittaa sitä, että kytkentäalue 20 on muodostettu korkeudellisesti sille alueel-20 le, jolla korkeudella sijaitsee uloketta 9 sivuava ura 14 eli substraattimateriaalista vapaa alue 14. Eräässä edullisessa toteutusmuodossa kuvioiden 1 ja 2 mukaisesti kytkentäalue 20 on muodostettu ulottumaan ainakin likimain substraatin 2 alareunan 2a korkeudelle tai muutoin liuska-25 johtoresonaattorikomponentin pohjan läheisyyteen, jolloin kytkentäaluetta 20 voidaan hyväksikäyttää suoraan pinta-liitos jalkana kun resonaattorikomponentti 1 sijoitetaan piirilevylle. Tällöin kytkentäalue suoraan tukeutuu piirilevyn 8 johdinkuvioon 8a, mikä toteutustapa mahdollistaa 30 kytkeytymisen täysin ilman lankabondausta.

Resonaattorirakenne 1 käsittää myös suojaavan pinnoitteen 21 kuten metalloinnin. Erityisesti kuviosta 2 havaitaan, että kytkentäalue 20 on erillään substraattia 2 suojaavasta pinnoitteesta 21.

35 Erityisesti kuviosta 1 havaitaan, että edullisimmin 8 95179 liuskajohtokuvion kuten liuskajohtokuvioiden 3-7 ulottuma korkeussuunnassa on moninkertainen verrattuna liuskajohtokuvion paksuuteen. Tämä käytännössä tarkoittaa esimerkiksi sitä, että liuskajohtokuvioiden reunimmaiset osat 3a-7a ja 5 3c-7c ulottuvat esimerkiksi 0.5 millimetrin matkalle kor keussuunnassa, mutta liuskajohtokuvion paksuus onkin vain muutamia kymmeniä mikrometrejä.

Eräässä erityisen edullisessa toteutusmuodossa erityisesti kuvion 1 mukaisesti substraattimateriaaliin muo-10 dostettujen substraattimateriaalista vapaiden alueiden 14-19 eli urien 14-19 syvyydet poikkeavat toisistaan, joka puolestaan mahdollistaa sen, että liuskajohtokuvioiden 3-7 ulottumat korkeussuunnassa ulokkeiden 9-13 pinnalla poikkeavat toisistaan, jolloin eri syvyyksisillä urilla 14-19 15 voidaan käytännössä sovittaa eli kytkeä yksittäiset liuska j ohtokuviot 3-7 eli siis yksittäiset resonaattoriliuskat 3-7 toisiinsa juuri halutulla voimakkuudella, jotta koko resonaattorirakenteella 1 voitaisiin toteuttaa juuri halutun tyyppinen taajuusvaste. Mainittu uusi kytkeytymisen 20 säätötapa, joka siis tapahtuu rakenteen korkeusuunnassa, on erityisen toteutuskelpoinen nimenomaan keksinnön mukaisissa matalissa liuskajohtoresonaattorirakenteissa, koska kytkeytymisen voimakkuus määritellään käytännössä jo siinä vaiheessa jossa uria 14-19 muodostetaan. Vierekkäisten re-25 sonaattoriliuskojen kuten esimerkiksi liuskojen 3 ja 4 tai 4 ja 5 tai 5 ja 6 kytkeytymisen säätö ei siis vaadi erityisiä toimenpiteitä, sillä urat 14-19 tehdään joka tapauksessa, jotta ulokkeet 9-13 saadaan muodostetuksi. Lisätoimenpiteenä tarvitaan ainoastaan urien 14-19 muodostus 30 eri syvyisiksi. Kaikkien urien 14-19 ei suinkaan tarvitse olla erisyvyisiä.

Kuvio 3 esittää päätykuvantona liuskajohtoresonaat-torirakenteen toista toteutusmuotoa, jossa substraatin ulokkeet ja näin ollen myös liuskajohtokuviot on muodos-35 tettu kuvioista l ja 2 poikkeavalla tavalla. Kuviossa 3 on 9 95179 esitetty resonaattorirakenne 101, joka käsittää substraatin 102. Kuvion 3 resonaattorirakenne 101 käsittää vain kaksi liuskaj ohtokuviota 103 ja 104 ja substraatti 102 puolestaan käsittää vain kaksi uloketta 109 ja 110, jotka 5 ulkonevat varsinaisesta substraatista 102, mutta ovat samaa materiaalikappaletta kuin varsinainen substraatti 102. Vastaavasti kuten kuviossa 1 niin myös kuviossa 3 on liuska j ohtokuviot 103 ja 104 muodostettu varsinaisesta substraatista 102 ulkonevien substraattmateriaalista muodos-10 tettujen ulokkeiden 109 ja 110 yhteyteen ulokkeiden joh-dinpinnoitteeksi. Vastaavalla tavalla kuin kuvioissa l ja 2 niin myös kuvion 3 toteutusmuodossa resonaattoriraken-teen ulokeet 109 ja 110 käsittävät kolme toisiinsa nähden kulmittain asetettua olennaisesti tasomaista pintaa 109a-15 109c ja I10a-110c, jolloin vastaavasti liuskajohtokuviot 103 ja 104 käsittävät vastaavat pinnat 103a-103c ja 104a-104c, jolloin liuskajohtokuviot 103 ja 104 siis ulottuvat kaikille kolmelle tasomaiselle pinnalle I09a-109c ja 110a-110c ulokkeissa 109 ja 110. Tällöin resonaattorirakenne 20 101 käsittää substraattimateriaalista vapaat alueet 114- 116 eli siis urat 114-116. Kuvion 3 toteutusmuodon eräs etu ilmenee siinä, että ulokkeiden kolmesta tasomaisesta pinnasta kuten pinnoista I09a-109c äärimmäiset kaksi tasomaista pintaa 109a ja 109c ovat keskenään eri suuntai-25 siä. Vastaavasti äärimmäiset kaksi tasomaista pintaa 110a ja 110c ovat keskenään eri suuntaisia. Tällöin hakijan havaintojen mukaan matala liuskajohtoresonaattorirakenne 101 entistä tarkemmin toiminnallisesti jäljittelee koaksiaali-resonaattoria, joskin urien 114-116 muodostaminen on hie-30 man suurempi toimenpide kuin kuvioiden 1 ja 2 esittämässä tapauksessa. Kuviossa 3 suojaava pinnoite kuten metallointi on esitetty viitenumerolla 121.

Vaikka keksintöä on edellä selostettu viitaten oheisten piirustusten mukaisiin esimerkkeihin, on selvää 35 ettei keksintö ole rajoittunut niihin, vaan sitä voidaan monin tavoin muunnella oheisten patenttivaatimusten esittämän keksinnöllisen ajatuksen puitteissa.

Claims (11)

1. 2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen liuskajohtoreso naattorirakenne, tunnettu siitä, että liuskajohto-kuvioiden (3-7) alustana olevat substraattimateriaalista muodostuvat ja varsinaisesta substraattimateriaalista ulkonevat ulokkeet (9-13) on muodostettu substraattimateri- 15 aaliin muodostettujen substraattimateriaalista vapaiden alueiden (14-19) välille.
2. 3. Patenttivaatimuksen 1 mukainen liuskajohtoresonaattorirakenne, tunnettu siitä, että liuskajohto-kuvioiden (3-7) alustana olevat ulokkeet (9-13) käsittävät 20 kolme toisiinsa nähden kulmittain asetettua olennaisesti tasomaista pintaa (9a-13a, 9b-13b,9c-13c), ja että liuska johtokuvio (3-7) ulottuu kaikille kolmelle tasomaiselle pinnalle.
3. 4. Patenttivaatimuksen 3 mukainen liuskajohtoreso- 25 naat tori rakenne, tunnettu siitä, että kolmesta tasomaisesta pinnasta äärimmäiset kaksi tasomaista pintaa (9a ja 9c, vastaavasti 10a ja 10c, vastaavasti 11a ja 11c, vastaavasti 12a ja 12c, vastaavasti 13a ja 13c) ovat keskenään yhdensuuntaisia.
4. 5. Patenttivaatimuksen 3 mukainen liuskajohtoreso naattorirakenne, tunnettu siitä, että kolmesta tasomaisesta pinnasta äärimmäiset kaksi tasomaista pintaa (103a ja 103c, vastaavasti 104a ja 104c) ovat keskenään eri suuntaisia.
5. 6. Patenttivaatimuksen 2 mukainen liuskajohtoreso- ; id ; iiiu i l . . _ w 95179 naattorirakenne, tunnettu siitä, että liuskajohto-resonaattorirakenne käsittää useita liuskajohtokuvioita (3-7), ja että substraattimateriaaliin muodostettujen substraattmateriaalista vapaiden alueiden (14-19) syvyy-5 det poikkeavat toisistaan.
6. 7. Patenttivaatimuksen 2 mukainen liuskajohtoreso-naattorirakenne, tunnettu siitä, että liuskajohto-resonaattorirakenne käsittää useita liuskajohtokuvioita (3-7), ja että substraattimateriaalista muodostuvat ja 10 varsinaisesta substraattimateriaalista ulkonevat ulokkeet (9-13) ulottuvat ainakin likimain samalle korkeudelle.
7. 8. Patenttivaatimuksen 1 mukainen liuskajohtoreso-naattorirakenne, tunnettu siitä, että ulkoinen kytkeytyminen liuskajohtoresonaattorirakenteen reunimmai- 15 seen liuskajohtokuvioon (3) on suoritettu liuskajohtoreso-naattorirakenteen sivulle muodostetun kytkentäalueen (20) ja liuskajohtokuvion (3) välisen sähkömagneettisen kentän välityksellä.
8. 9. Patenttivaatimuksen 8 mukainen liuskajohtoreso- 20 naattorirakenne, tunnettu siitä, että kytkentäalue (20) on ainakin osittain muodostettu korkeudellisesti sille korkeudelle, jolle korkeudelle reunimmainen substraattimateriaalista ulkoneva substraattimateriaalista muodostettu liuskajohtokuviolla (3) pinnoitettu uloke (9) on 25 muodostettu.
9. 10. Patenttivaatimuksen 8 tai 9 mukainen liuskajoh-toresonaattori, tunnettu siitä, että kytkentäalue (20) on muodostettu ulottumaan ainakin likimain substraatin (2) alareunan (2a) korkeudelle.
10. 11. Patenttivaatimuksen 1 mukainen liuskajohtore- ‘ sonaattorirakenne, tunnettu siitä, että liuskajoh tokuvion (3-7) ulottuma korkeussuunnassa on moninkertainen verrattuna liuskajohtokuvion (3-7) paksuuteen. f 12 95179