FI940589A0 - Kapasitiv mätarsensor för mätning av det absoluta trycket och förfarande för framställning av flera sådana sensorer - Google Patents

Kapasitiv mätarsensor för mätning av det absoluta trycket och förfarande för framställning av flera sådana sensorer

Info

Publication number
FI940589A0
FI940589A0 FI940589A FI940589A FI940589A0 FI 940589 A0 FI940589 A0 FI 940589A0 FI 940589 A FI940589 A FI 940589A FI 940589 A FI940589 A FI 940589A FI 940589 A0 FI940589 A0 FI 940589A0
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
detectors
pressure measuring
absolute pressure
measuring detector
capacitive absolute
Prior art date
Application number
FI940589A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI940589L (sv
FI111993B (sv
Inventor
Philippe Renaud
Original Assignee
Suisse Electronique Microtech
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suisse Electronique Microtech filed Critical Suisse Electronique Microtech
Publication of FI940589A0 publication Critical patent/FI940589A0/sv
Publication of FI940589L publication Critical patent/FI940589L/sv
Application granted granted Critical
Publication of FI111993B publication Critical patent/FI111993B/sv

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
    • G01L9/0073—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance using a semiconductive diaphragm
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/0042—Constructional details associated with semiconductive diaphragm sensors, e.g. etching, or constructional details of non-semiconductive diaphragms

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)
FI940589A 1993-02-12 1994-02-09 Kapasitiv mätarsensor för mätning av det absoluta trycket och förfarande för framställning av flera sådana sensorer FI111993B (sv)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9301700A FR2701564B1 (fr) 1993-02-12 1993-02-12 Capteur de mesure de pression absolue de type capacitif et procédé de fabrication d'une pluralité de tels capteurs.
FR9301700 1993-02-12

Publications (3)

Publication Number Publication Date
FI940589A0 true FI940589A0 (sv) 1994-02-09
FI940589L FI940589L (sv) 1994-08-13
FI111993B FI111993B (sv) 2003-10-15

Family

ID=9444083

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI940589A FI111993B (sv) 1993-02-12 1994-02-09 Kapasitiv mätarsensor för mätning av det absoluta trycket och förfarande för framställning av flera sådana sensorer

Country Status (8)

Country Link
US (1) US5488869A (sv)
EP (1) EP0610806B1 (sv)
JP (1) JPH06249733A (sv)
DE (1) DE69418740T2 (sv)
DK (1) DK0610806T3 (sv)
FI (1) FI111993B (sv)
FR (1) FR2701564B1 (sv)
NO (1) NO311110B1 (sv)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5581226A (en) * 1994-11-02 1996-12-03 Motorola, Inc. High pressure sensor structure and method
WO1997021986A1 (de) * 1995-12-08 1997-06-19 Micronas Semiconductor S.A. Mikrosensoren mit siliziummembranen und verfahren zur herstellung derselben
DE19653427A1 (de) * 1996-12-20 1998-07-02 Siemens Ag Kraftsensor
US5916179A (en) * 1997-04-18 1999-06-29 Sharrock; Nigel System and method for reducing iatrogenic damage to nerves
DE19847563A1 (de) * 1998-04-17 1999-10-28 Micronas Intermetall Gmbh Kapazitiver Sensor
EP1101079B1 (en) * 1998-07-07 2003-09-10 THE GOODYEAR TIRE & RUBBER COMPANY Dual output capacitance interface circuit
ATE227423T1 (de) * 1998-12-15 2002-11-15 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zum erzeugen einer mikromechanischen struktur für ein mikro-elektromechanisches element
WO2000036387A1 (de) 1998-12-15 2000-06-22 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren zum erzeugen eines mikro-elektromechanischen elements
US6431003B1 (en) 2000-03-22 2002-08-13 Rosemount Aerospace Inc. Capacitive differential pressure sensor with coupled diaphragms
WO2002008712A1 (de) 2000-07-26 2002-01-31 Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg Kapazitiver drucksensor
DE10036433A1 (de) * 2000-07-26 2002-02-07 Endress Hauser Gmbh Co Kapazitiver Drucksensor
US8109149B2 (en) 2004-11-17 2012-02-07 Lawrence Livermore National Security, Llc Contact stress sensor
JP4965827B2 (ja) * 2005-07-13 2012-07-04 アルプス電気株式会社 静電容量型圧力センサ素子及びその製造方法
US8397578B2 (en) 2010-06-03 2013-03-19 Medtronic, Inc. Capacitive pressure sensor assembly
US9737657B2 (en) 2010-06-03 2017-08-22 Medtronic, Inc. Implantable medical pump with pressure sensor
US9837935B2 (en) * 2013-10-29 2017-12-05 Honeywell International Inc. All-silicon electrode capacitive transducer on a glass substrate

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4405970A (en) * 1981-10-13 1983-09-20 United Technologies Corporation Silicon-glass-silicon capacitive pressure transducer
US4530029A (en) * 1984-03-12 1985-07-16 United Technologies Corporation Capacitive pressure sensor with low parasitic capacitance
US4586109A (en) * 1985-04-01 1986-04-29 Bourns Instruments, Inc. Batch-process silicon capacitive pressure sensor
US4872945A (en) * 1986-06-25 1989-10-10 Motorola Inc. Post seal etching of transducer diaphragm
JPH0750789B2 (ja) * 1986-07-18 1995-05-31 日産自動車株式会社 半導体圧力変換装置の製造方法
US5207103A (en) * 1987-06-01 1993-05-04 Wise Kensall D Ultraminiature single-crystal sensor with movable member
US4815472A (en) * 1987-06-01 1989-03-28 The Regents Of The University Of Michigan Multipoint pressure-sensing catheter system
US5113868A (en) * 1987-06-01 1992-05-19 The Regents Of The University Of Michigan Ultraminiature pressure sensor with addressable read-out circuit
GB8718637D0 (en) * 1987-08-06 1987-09-09 Spectrol Reliance Ltd Sealing electrical feedthrough
GB8718639D0 (en) * 1987-08-06 1987-09-09 Spectrol Reliance Ltd Capacitive pressure sensors
JPH03170826A (ja) * 1989-11-29 1991-07-24 Toshiba Corp 容量型圧力センサ
DE9105851U1 (de) * 1991-01-14 1991-07-04 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 8000 München Drucksensor
DE9102748U1 (de) * 1991-01-14 1991-07-04 Plöchinger, Heinz, Dipl.-Ing., 82319 Starnberg Drucksensor für niedere Drücke

Also Published As

Publication number Publication date
FI940589L (sv) 1994-08-13
DE69418740D1 (de) 1999-07-08
FR2701564A1 (fr) 1994-08-19
FR2701564B1 (fr) 1995-05-19
EP0610806B1 (fr) 1999-06-02
NO311110B1 (no) 2001-10-08
JPH06249733A (ja) 1994-09-09
NO940472D0 (no) 1994-02-11
DK0610806T3 (da) 1999-12-06
US5488869A (en) 1996-02-06
FI111993B (sv) 2003-10-15
NO940472L (no) 1994-08-15
EP0610806A1 (fr) 1994-08-17
DE69418740T2 (de) 1999-12-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
FI940589A0 (sv) Kapasitiv mätarsensor för mätning av det absoluta trycket och förfarande för framställning av flera sådana sensorer
FI960394A7 (sv) Förfarande jämte anordning för detektering av icke skönjbart objekt
FI935682A7 (sv) Mätgivare och mätningsanordning för analysering av gasblandningar
FI951139A7 (sv) Förfarande och anordning för att mäta fasförskjutning
FI955511A0 (sv) Ett förfarande för att upptäcka och/eller mäta fysikaliska storheter med en utspridd sensor
BR9407628A (pt) Sensor de pressao diferencial para monitoraçao respiratória
DE69533910D1 (de) Messfühlersystem und Messverfahren
DE69417337D1 (de) Druckdifferenzmessverfahren und Verschiebungs-Umwandlungsvorrichtung
EP0729574A4 (en) DETECTION OF FLUIDS WITH M.I.S. SENSORS
IT8512434A0 (it) Rivelatore capacitivo di pressione assoluta
FI885554A7 (sv) Indikationsfönster för analysator och dess framställningsförfarande
DE69425752D1 (de) Kapazitiver detektor und alarmsystem
DE69632097D1 (de) Messapparat und -verfahren mit zwei zugeordneten Interferometern
FI934267L (sv) Förfarande och arrangemang vid mätning av fuktighet speciellt i radiosonder
FI943868A0 (sv) Magnetisk givare och magnetisk visningsanordning
SG45527A1 (en) A processing method for calibrating a hydrophone- geophone sensor pair and a seismic prospecting method implementing the processing
DE69614307D1 (de) Spürgas-Leckdetektor
IT1186893B (it) Struttura di rivelatore capacitivo di pressione e metodo per la sua fabbricazione
FI962296L (sv) Förfarande och anordning för analysering av tvärsnittsprofil hos en kontinuerligt producerande materialbana
FI913821A7 (sv) Mätningsförfarande och apparat för hydrocykloner
FI964637A7 (sv) Givare för mätning av tryck och acceleration
NO931051L (no) Trykkfoeler og fremgangsmaate for dens fremstilling
FI961309A7 (sv) Tvåskiktat cellulosalaminat och anordning och förfarande för framställ ning av detta
FI954923A0 (sv) Förfarande och givare för daggpunktmätning
EP0736911A3 (en) Infrared detector and method for its production