FI93554C - Infrapunaikkuna - Google Patents

Description

i 93554

Infrapunaikkuna Tämä keksintö koskee infrapunasäteilyä läpäiseviä ikkunoita, jotka tekevät mahdolliseksi infrapunasäteilyn 5 viemisen kemikaalihöyrykerrostuskammioon kammiossa olevien alustojen lämmittämiseksi. Tarkemmin sanottuna keksinnön kohteena on laitteisto alustan pinnoittamiseksi metallilla, jossa laitteistossa on kammio, joka sisältää alustan ja joka on sovitettu vastaanottamaan metallikarbonyylikaa-10 sua ja joka sisältää infrapunasäteilyä läpäisevän ikkunan, ja infrapunasäteilylähde infrapunasäteilyn kohdentamiseksi mainittuun kammion mainitun infrapunasäteilyä läpäisevän ikkunan läpi kammiossa olevan alustan kuumentamiseksi lämpötilaan, jossa metallikarbonyylikaasun hajoaminen ta-15 pahtuu alustan pinnalla. Keksinnön kohteena on myös menetelmä metallikarbonyylikaasun hajottamiseksi alustalle.

Kemikaalihöyryn kerrostus metallikarbonyylin termisellä hajotuksella on pitkään ollut tunnettu alustojen pinnoitusmenetelmä. Metallikarbonyylikaasua sisältävässä 20 kammiossa oleva alusta lämmitetään lämpötilaan, joka on metallikarbonyylikaasun hajoamislämpötilan yläpuolella. Metallikarbonyylikaasu hajoaa pinnoittaen alustan metalli-pinnoitteella, kuten nikkelipinnoitteella, joka saadaan hajotetusta nikkelikarbonyylikaasusta. Hyödullisiä metal-25 leja, joita voidaan kerrostaa metallikarbonyyliyhdisteis-tä, ovat nikkeli, rauta, kromi, molybdeeni, wolframi, koboltti, telluuri, renium yms.

Alustan kuumennusmenetelmiä kemikaalihöyryn kerros-tuskammioissa ovat induktio-, sähkövastus- ja infrapuna-30 kuumennus. Infrapunakuumennusta vaaditaan, kun kuumennettava alusta ei ole sähköä johtava, kuten polyuretaani. Infrapunakuumennus suunnataan kammioon infrapunasäteilyä läpäisevien ikkunoiden läpi alustan kuumentamiseksi. Edullisesti infrapunakuumennus kuumentaa selektiivisesti kam-35 miossa olevan alustan eikä metallikarbonyylikaasua tai 93554 2 Γ infrapunasäteilyä läpäisevää ikkunaa. Jos metallikarbonyy-likaasu kuumennetaan sen hajoamislämpötilan yläpuolelle, se hajoaa itsestään. Samoin jos infrapunasäteilyä läpäisevä ikkuna kuumennetaan metallikarbonyylikaasun hajoamis-5 lämpötilan yläpuolelle, kaasumainen yhdiste hajoaa infrapunasäteilyä läpäisevän ikkunan pinnalla. Tästä tilanteesta käytetään nimitystä ikkunan "sumuttuminen". Ikkunan sumuttuminen johtaa alustojen karbonyylipinnoituksen päättymiseen, koska säteily ei kykene tehokkaasti läpäisemään 10 sumuttuneita ikkunoita. Tämän ongelman ratkaisemiseksi ikkunat on poistettava puhdistusta tai vaihtoa varten.

Eräs syy tähän ongelmaan on, että infrapunasäteilyä läpäisevät ikkunat, jotka on valmistettu sellaisista materiaaleista kuin boorisilikaattilasista, kirkkaasta sulate-15 tusta kvartsista, polyeteenitereftalaatista, polytetra- fluorieteenistä, polytetrafluorieteeni-propeenista ja muista materiaaleista, eivät ole täysin infrapunasäteilyä läpäiseviä. Tämän vuoksi infrapunasäteilyn absorboituminen kuumentaa infrapunasäteilyä läpäiseviä ikkunoita, jolloin 20 ikkunat saattavat kuumentua lämpötiloihin, joissa metalli-karbonyylikaasun hajoaminen tapahtuu. Metallikarbonyyli-kaasu hajoaa ylikuumentuneiden ikkunoiden pinnalla sulauttaen ikkunat. Kun sumuttumista kerran tapahtuu, kerrostu-misprosessi kiihtyy nopeasti. Sumuttuminen kiihtyy, koska 25 myöskään karbonyylikaasun metallinen tuote ei ole täysin infrapunasäteilyä läpäisevä, mikä aiheuttaa ikkunoiden 1i sääntynyttä infrapunakuumennusta.

Jenkin kuvaa US-patentissa n:o 3 213 827 ilmajääh-dytteistä jäähdytysputkea infrapunasäteilyä läpäisevän 30 kammion seinämän jäähdyttämiseksi. Kuitenkin johtuen ilma-jäähdytyksen tehottomuuksista arvellaan, että Jenkinin malli on riittämätön estämään tehokkaasti sumuttumista.

Tämän keksinnön tavoitteena on estää tehokkaasti infrapunaikkunoiden sumuttuminen karbonyylin hajotuskam-35 mioissa.

Il: 93554 3 Tämän keksinnön toisena tavoitteena on estää tehokkaasti sumuttuminen suoritustehon minimaalisella häviöllä.

Keksinnön mukaiselle laitteistolle on tunnusomaista, että infrasäteilyä läpäisevässä ikkunassa on jäähdy-5 tyskanava, joka on täytetty nestemäisellä jäähdytysaaneella, joka on valittu ryhmästä, joka sisältää tetrakloori-etaania ja tetrakloorietyleeniä, jonka nestemäisen jäähdy-tysaineen lämpötila on alempi kuin missä metallikarbonyy-likaasun hajoaminen tapahtuu, mainitun ikkunan jäähdyttä-10 miseksi, jotta estetään metallikarbonyylikaasun hajoaminen infrapunasäteilyä läpäisevällä ikkunalla, ja nestemäinen jäähdytysaine on oleellisesti infrapunasäteilyä läpäisevä infrapunasäteilyn päästämiseksi infrapunasäteilyä läpäisevän ikkunan ja jäähdytyskanavan läpi mainittuun kam-15 mioon alustan kuumentamiseksi säteilyllä. Laitteiston suositeltavat suoritusmuodot on esitetty oheistetuissa patenttivaatimuksissa 2-6.

Keksinnön mukaiselle menetelmälle metallikarbonyylikaasun hajottamiseksi alustalle on tunnusomaista, että 20 se käsittä vaiheet, joissa syötetään alustaa kammioon, joka sisältää metalli-karbonyylikaasua ja jossa on infrapunasäteilyä läpäisevä ikkuna infrapunasäteilyn päästämiseksi kammioon alustan kuumentamiseksi, jolloin infrapunasäteilyä läpäisevässä 25 ikkunassa on jäähdytyskanava, lähetetään infrapunasäteilyä mainitun infrapunasäteilyä läpäisevän ikkunan ja mainitun jäähdytyskanavan läpi alustan kuumentamiseksi lämpötilaan, jossa metallikarbonyylikaasun hajoaminen tapahtuu, 30 jäähdytetään mainittu infrapunasäteilyä läpäisevä ikkuna mainitun jäähdytyskanavan sisällä olevalla nestemäisellä jäähdytysaineella, joka on valittu ryhmästä, joka sisältää tetrakloorietaania ja tetrakloorietyleeniä, metallikarbonyylikaasun hajoamisen estämiseksi mainitulle 35 infrapunasäteilyä läpäisevälle ikkunalle, joka nestemäinen 93554 4 jäähdytysaine on oleellisesti infrapunasäteilyä läpäisevä infrapunasäteilyn päästämiseksi mainitun jäähdytyskanavan läpi kuumentamaan alustaa, ja pidetään mainittu nestemäinen jäähdytysaine sen 5 lämpötilan alapuolella, jossa metallikarbonyylikaasu hajoaa. Menetelmän suositeltavat suoritusmuodot on esitetty oheistetuissa patenttivaatimuksissa 8-10. Kun nestemäistä jäähdytysainetta pidetään lämpötilassa, joka on alle sen, jossa metallikarbonyylikaasu hajoaa, varmistetaan 10 läpinäkyvän ikkunan tehokas jäähdytys.

Kuvio 1 on kaavamainen poikkileikkauskuvanto tämän keksinnön laitteistosta, joka kuvaa jäähdytyskanavia infrapunasäteilyä läpäisevien ikkunoiden läpi;

Kuvio 2 on lämpötila/aikakäyrästö polyuretaanin 15 infrapunakuumennukselle, jossa verrataan erilaisia infrapunasäteilyä läpäiseviä nesteitä käyttäen infrapunasäteilyä läpäiseviä levyjä, jotka on sijoitettu 4 mm:n päähän toisistaan? ja

Kuvio 3 on lämpötila/aikakäyrästö polyuretaanivaah-20 don infrapunakuumennukselle, jossa verrataan erilaisia infrapunasäteilyä läpäiseviä nesteitä käyttäen infrapunasäteilyä läpäiseviä levyjä, jotka on asetettu 5 mm:n päähän toisistaan.

Viitaten kuvioon 1 laitteisto 10 on rakennettu kam-25 miosta 12, jossa on kammion syöttöputki 14 ja poistoputki 16. Metallikarbonyylikaasu tulee kammioon 12, jossa kar-bonyylikaasu hajoaa kuumennetulle alustalle 18 pinnoittaen metallilla alustan 18. Poistokaasut poistetaan poistoput-ken 16 kautta. Alusta 18, kuten polyuretaanivaahto, roh-30 dinkuidut tai -kangas, jotka on valmistettu lasi-, hiili- tai polymeerikuiduista, kulkee jatkuvasti kammion 12 läpi tullen sisään alustan syöttöaukosta 20 ja poistuen alustan poistoaukosta 22 (kuvatussa keksinnön toteutus-muodossa ). Vaihtoehtoisesti keksintöä voidaan käyttää pa-35 nostyyppisiin operaatioihin.

Il 93554 5

Alusta kuumennetaan infrapunalähteillä 24 Ja 32. Infrapunalähde 24 lähettää säteilyä infrapunasäteilyä läpäisevän ikkunan 25 läpi. Infrapunasäteilyä läpäisevä ikkuna 25 on rakennettu ulkolevystä 26, jäähdytyskanavasta 5 28 Ja sisälevystä 30. Samoin infrapunalähde 32 lähettää säteilyä infrapunasäteilyä läpäisevän ikkunan 33 läpi. Infrapunasäteilyä läpäisevä ikkuna 33 on rakennettu ulkolevystä 34, Jäähdytyskanavasta 36 Ja sisälevystä 38. On edullista, että levyt 26, 30, 34 Ja 38 on tehty stabiilis-10 ta lasista tai Jäykästä muovista. Sopivia ikkunamateriaa-leja ovat esimerkiksi: lasi, Jota myydään kauppanimellä Pyrex tai Vycor, kvartsi Ja Jäykät muovit, Joilla on suuri infrapunasäteilyn läpäisevyys Ja pehmenemispiste n. 150°C tai korkeampi.

15 Jäähdytyskanavat 28 Ja 36 rajoittuvat edullisesti tilaan, Joka on levyjen 26 Ja 30 Ja levyjen 34 Ja 38 välissä samassa järjestyksessä. Kuitenkin myönnetään, että Jäähdytyskanavilla 28 Ja 36 voisi olla erilaiset muodot riippuen ikkunoiden 25 Ja 33 mallista. Nestemäinen jäähdy-20 tysaine 40 Jäähdyttää levyt 30 Ja 38 estäen metallikarbo-nyylikaasua hajoamasta levyille 30 Ja 38. Nestemäiset Jäähdytysaineet määritellään miksi tahansa nesteiksi,

Joita voidaan käyttää läpinäkyvien ikkunoiden jäähdyttämiseen ja jotka sallivat riittävän infrapunasäteilyn tunkeu-25 tumisen kammioon alustan kuumentamiseksi kammiossa olevan metallikarbonyylikaasun hajoamislämpötilaan tai sen yläpuolelle. Nestemäinen jäähdytysaine 40 on oleellisesti infrapunasäteilyä läpäisevä infrapunasäteilyn päästämiseksi mainitun ikkunan ja mainitun jäähdytyskanavan läpi mai-30 nittuun kammioon.

Kun metallikarbonyyli hajoaa levyille 30 ja 38, leyt sumuttuvat metallista. Kun tämä tapahtuu, levyille 30 ja 38 kerrostunut metalli kuumenee edelleen, mikä kiihdyttää metallikarbonyylin hajoamista. Tässä vaiheessa alustan 35 metallipinnoitus ei ole enää mahdollista, koska levyille 93554 6 30 ja 38 kerrostunut metalli estää tehokkaasti alustan 18 infrapunakuumennuksen. Ikkunoiden 25 ja 33 sumuttumisesta tulee suurempi ongelma, kun kammiossa 12 oleva metallikar-bonyylikaasu lähestyy hajoamislämpötilaansa. Kuitenkin 5 tämän keksinnön laitteisto ja menetelmä estää tehokkaasti ikkunoiden 25 ja 33 sumuttumisen, kun metallikarbonyyli-kaasu on lähellä hajoamislämpötilaansa.

Nestemäinen jäähdytysaine 40 on pidettävä lämpötilassa, joka on metallikarbonyylikaasun hajoamislämpötilan 10 alapuolella, levyjen 30 ja 38 jäähdyttämiseksi tehokkaasti. Pumppu 42 pakottaa jäähdytysnesteen putkien 43 ja 44 läpi jäähdytyskanaviin 28 ja 36. Infrapunasäteilyä läpäisevä neste virtaa sitten putkien 45 ja 46 läpi radiaat-toriin 48. Radiaattoria 48 käytetään nestemäisen jäähdy-15 tysaineen 40 pitämiseen lämpötilassa, joka estää tehokkaasti levyjen 30 ja 38 sumuttumisen. Radiaattoria 48 voidaan jäähdyttää ilmalla, vedellä, jäävedellä tai millä tahansa muulla jäähdytysaineella.

Nestemäisen jäähdytysaineen 40 valinta on olennai-20 nen laitteiston 10 toiminnalle. Jos neste absorboi liian paljon infrapunaenergiaa, alusta 18 ei kuumene riittävään lämpötilaan eikä karbonyylikaasun hajoamista tapahdu. Samoin infrapunaenergian absorboituminen nestemäiseen jääh-dytysaineeseen 40 huonontaa pinnoitustehoa nostaen käyttö-25 kustannuksia. Seuraava taulukko 1 sisältää luettelon nestemäisistä jäähdytysaineista, joilla odotetaan olevan tarvittava infrapunasäteilyn läpäisevyys ja riittävä lämpökapasiteetti levyjen 30 ja 38 jäähdyttämiseksi.

Il 93554 7

Taulukko 1

Ryhmänimi Vaadittu atomien lukumäärä x)

Alkaanit >. 10-11 hiiltä

Alkeenit 10-11 hiiltä 5 Alkyynit 10-11 hiiltä

Aromaatit >_ 10 hiiltä

Alkoholit > 3 hiiltä + happi

Eetterit _> 10-11 hiiltä + happi

Karboksyylihapot 3 hiiltä + happi 10 Karboksyylihapot 3, 10 tai 11 hiltä + happi

Esterit .> 7 tai 8 hiiltä + happi

Ketonit _> 7 tai 8 hiiltä + happi

Anhydridit 7 tai 8 hiiltä + happi

Amidit 3 hiiltä + happi + typpi 15 Amiinit 7 hiiltä + typpi s) Pienempi halogeenisubstituoiduille yhdisteille.

Läsnä olevien atomien lukumäärää tulee myös rajoit-20 taa, jotta yhdisteet ovat nestemäisiä huoneenlämpötilassa.

Silikonipohjäiset nesteet, kuten Dow Corning-yhtiön tuote Dow Corning 200 Fluid ovat myös tehokkaita. Kuitenkin eräät yhdisteet, jotka ovat kiinteitä huoneenlämpötilassa, toimisivat myös, jos niitä pidettäisiin tarpeeksi korkeas-25 sa lämpötilassa, jotta ne ovat nestemäisiä ja tarpeeksi matalassa lämpötilassa levyjen 30 ja 38 jäähdyttämiseksi tehokkaasti. On edullista, että valittujen nestemäisten jäähdytysaineiden viskositeetti on alle 10 mPa.s ja kiehumispiste yli 100°C tehokkaan jäähdytyksen saavuttamiseksi. 30 Viitaten kuvioihin 2 ja 3 testattiin useita infra- punasäteilyä läpäiseviä nesteitä. Laboratoriokoejärjestelyssä käytettiin ikkunoita, joissa oli kaksi infrapunasä-teilyä läpäisevää lasilevyä, joita myydään kauppanimellä Pyrex ja jotka oli asetettu 6 mm:n päähän toisistaan.

35 Pyrex-levyjen välinen tila täytettiin eri nesteillä. Ku- 8 93554 vion 2 kokeessa käytettiin 4 mm paksuja Pyrex-levyjä ja kuvion 3 kokeessa käytetiin 5 mm paksuja Pyrex-levyjä. Pyrex-levyjen ja koenesteen toisen puolen viereen asetettiin 140 V:n, 440 W:n infrapunalamppu. Infrapunalampun 5 filamentti kuumennettiin 1980°K:n lämpötilaan ja sen aal-lonpituushuippu oli 1,46 pm. Ikkunoiden ja koenesteen vastakkaiselle puolelle sijoitettiin polyuretaanivaahtoalus-ta. Polyuretaanivaahdossa oli lämpöpari, jota käytettiin polyuretaanivaahdon lämpenemisen mittaamiseen.

10 Nestemäisen jäähdytysaineen infrapunasäteilyn transmittanssiaste kasvoi pienimmästä suurimpaan transmit-tanssiin seuraavassa järjestyksessä: vesi, etyleeniglyko-li, etyleeniglykolidiasetaatti, tetrakloorietaani ja tet-rakloorietyleeni. Koe osoitti, että tetrakloorietyleeni ja 15 ilma päästivät suunnilleen yhtä paljon infrapunasäteilyä lävitseen. Kuitenkin johtuen ilman pienestä tiheydestä se ei ole tehokas jäähdytysaine. Tetrakloorietyleeni on osoittautunut tehokkaaksi jäähdytysaineeksi. Tetrakloori-etyleenin lämpökapasiteetti 20°C:ssa on n. 0,904 J/g °C. 20 Käytetyn jäähdytysaineen tulee olla neste, jolla on riittävä lämpökapasiteetti ja riittävä infrapunasäteilyn läpäisevyys. Lämpökapasiteetti 20°C:ssa on edullisesti yli n. 0,4 J/g °C ja kaikkein edullisimmin yli n. 0,9 J/g °C. Ilman lämpökapasiteetti 20°C:ssa on itse asiassa hieman 25 suurempi kuin tetrakloorietyleenin 20°C:ssa, sen lämpökapasiteetin ollessa n. 1,00 J/g°C. Kuitenkin tetrakloorietyleenin tiheys on yli kolme kertaluokkaa suurempi kuin ilman. Tetrakloorietyleenin tiheys on n. 1,623 g/cm3 20°C:ssa, kun taas ilman tiheys on n. 0,00122 g/cm3 30 20°C:ssa. Tämä suurempi tiheys parantaa suuresti lämmön siirtoa, tehden tämän keksinnön infrapunasäteilyä läpäisevistä nestemäisistä jäähdytysaineista ylivoimaisia ilma-jäähdytteisiin menetelmiin verrattuna. Jäähdytys tämän keksinnön infrapunasäteilyä läpäisevillä nestemäisillä 35 jäähdytysaineilla helpottaa ikkunan sumuttumisen tehokasta estämistä.

tl I; 93554 9

Valinnaisesti hiilimonoksidin oleellisesti puhdasta lähdettä tai syöttöä voidaan ajaa venttiilin läpi kammioon, kun metalli kerrostuu kammiossa olevien ikkunoiden sisäseinämille karbonyylin hajotessa. Esimerkiksi kerros-5 tuneen nikkelin poistamiseksi infrapunasäteilylähde pienennetään tilapäisesti ja hiilimonoksidi täyttää kammion.

Kammion sisällä seuraava käänteisreaktio poistaa nikkelin ikkunasta: 10 Ni + 4C0 -> Ni(C0)4

Kuitenkaan keksintöä oikein käytettäessä ei ole välttämätöntä käyttää käänteisreaktiota. Tämän keksinnön laitteisto ja menetelmä ovat tehneet tarpeettomaksi vaati-15 muksen puhdistaa ajoittaisesti infrapunasäteilyllä kuumennettujen karbonyylikammioiden infrapunasäteilyä läpäisevät ikkunat.

Lain edellytysten mukaisesti tässä on valaistu ja kuvattu keksinnön erikoistoteutusmuotoja. Alaan perehty-20 neet oivaltavat, että patenttivaatimusten kattaman keksinnön muotoon voidaan tehdä muutoksia ja että keksinnön tiettyjä piirteitä voidaan käyttää hyväksi käyttämättä vastaavasti muita piireitä.

Claims (10)

93554 10

1. Laitteisto (10) alustan (18) pinnoittamiseksi metallilla, jossa laitteistossa on kammio (12), joka si- 5 sältää alustan (18) ja joka on sovitettu vastaanottamaan metallikarbonyylikaasua ja joka sisältää infrapunasäteilyä läpäisevän ikkunan (25, 33), ja infrapunasäteilylähde (24, 32. infrapunasäteilyn kohdentamiseksi mainittuun kammion (12) mainitun infrapunasäteilyä läpäisevän ikkunan (25, 10 33) läpi kammiossa olevan alustan (18) kuumentamiseksi lämpötilaan, jossa metallikarbonyylikaasun hajoaminen tapahtuu alustan (18) pinnalla, tunnettu siitä, että infrasäteilyä läpäisevässä ikkunassa (25, 33) on jäähdy-tyskanava (28, 36), joka on täytetty nestemäisellä jäähdy-15 tysaineella, joka on valittu ryhmästä, joka sisältää tet-rakloorietaania ja tetrakloorietyleeniä, jonka nestemäisen jäähdytysaineen lämpötila on alempi kuin missä metallikarbonyylikaasun hajoaminen tapahtuu, mainitun ikkunan (25, 33. jäähdyttämiseksi, jotta estetään metallikarbonyyli- 20 kaasun hajoaminen infrapunasäteilyä läpäisevällä ikkunalla (25, 33), ja nestemäinen jäähdytysaine on oleellisesti infrapunasäteilyä läpäisevä infrapunasäteilyn päästämiseksi infrapunasäteilyä läpäisevän ikkunan (25, 33) ja jääh-dytyskanavan (28, 36) läpi mainittuun kammioon (12) alus-25 tan (18) kuumentamiseksi säteilyllä.

2. Patenttivaatimuksen 1 mukainen laitteisto, tunnettu siitä, että infrapunasäteilyä läpäisevä ikkuna (25, 33) sisältää kaksi yhdensuuntaista, erillään olevaa levyä (26 ja 30, 34 ja 38) ja mainittu jäähdytyska- 30 nava (28, 36) rajoittuu levyjen (26 ja 30, 34 ja 38) väliseen tilaan.

3. Patenttivaatimuksen 1 mukainen laitteisto, tunnettu siitä, että se sisältää lisäksi pumpun (42), joka on yhdistetty mainittuun jäähdytyskanavaan (28, 35 36) nestemäisen jäähdytysaineen syöttämiseksi jäähdytyska- navaan (28, 36). lii 93554 11

4. Patenttivaatimuksen 1 mukainen laitteisto, tunnettu siitä, että nestemäinen jäähdytysaine on tetrakloorietyleeniä.

5. Patenttivaatimuksen 1 mukainen laitteisto, 5 tunnettu siitä, että se sisältää lisäksi hiilimo-noksidikaasun varaston ja venttiilin, joka yhdistää mainitun hiilimonoksidin varaston mainittuun kammioon (12) infrapunasäteilyä läpäisevälle ikkunalle (25, 33) mahdollisesti kerrostuneen metallin ajoittaiseksi poistamiseksi.

6. Patenttivaatimuksen 1 mukainen laitteisto, tunnettu siitä, että nestemäisen jäähdytysaineen lämpökapasiteetti 20 °C:ssa on yli n. 0,4 J/g °C.

7. Menetelmä metallikarbonyylikaasun hajottamiseksi alustalle (18), tunnettu siitä, että se käsit-15 tää vaiheet, joissa syötetään alustaa (18) kammioon (12), joka sisältää metallikarbonyylikaasua ja jossa on infrapunasäteilyä läpäisevä ikkuna (25, 33) infrapunasäteilyn päästämiseksi kammioon (12) alustan (18) kuumentamiseksi, jolloin infra-20 punasäteilyä läpäisevässä ikkunassa (25, 33) on jäähdytys-kanava (28, 36), lähetetään infrapunasäteilyä mainitun infrapunasäteilyä läpäisevän ikkunan (25, 33) ja mainitun jäähdy-tyskanavan (28, 36) läpi alustan (18) kuumentamiseksi läm-25 pötilaan, jossa metallikarbonyylikaasun hajoaminen tapah tuu, jäähdytetään mainittu infrapunasäteilyä läpäisevä ikkuna (25, 33) mainitun jäähdytyskanavan (28, 36) sisällä olevalla nestemäisellä jäähdytysaineella, joka on valittu 30 ryhmästä, joka sisältää tetrakloorietaania ja tetrakloori-etyleeniä, metallikarbonyylikaasun hajoamisen estämiseksi mainitulle infrapunasäteilyä läpäisevälle ikkunalle (25, 33), joka nestemäinen jäähdytysaine on oleellisesti infrapunasäteilyä läpäisevä infrapunasäteilyn päästämiseksi 35 mainitun jäähdytyskanavan (28, 36) läpi kuumentamaan alustaa (18), ja g 7 c c /1 12. ui J J 1 pidetään mainittu nestemäinen jäähdytysaine sen lämpötilan alapuolella, jossa metallikarbonyylikaasu hajoaa.

8. Patenttivaatimuksen 7 mukainen menetelmä, 5 tunnettu siitä, että se käsittää vaiheen, jossa puhdistetaan metallia mainitulta infrapunasäteilyä läpäisevältä ikkunalta (25, 33) suuntaamalla oleellisesti puhdasta hiilimonoksidia infrapunasäteilyä läpäisevään ikkunaan (25, 33) metallin poistamiseksi ikkunalta (25, 33) 10 metallikarbonyylikaasuna.

9. Patenttivaatimuksen 7 mukainen menetelmä, tunnettu siitä, että nestemäinen jäähdytysaine on tetrakloorietyleeniä.

10. Patenttivaatimuksen 7 mukainen menetelmä, 15 tunnettu siitä, että nestemäisen jäähdytysaineen lämpökapasiteetti 20 °C:ssa on yli n. 0,4 J/g °C. Il· 13 93554