FI91806C - Ytplasmonresonansbaserad givare med integrerad optik för mätning av vätskor och gaser samt förfarande för framställning därav - Google Patents

Ytplasmonresonansbaserad givare med integrerad optik för mätning av vätskor och gaser samt förfarande för framställning därav Download PDF

Info

Publication number
FI91806C
FI91806C FI920412A FI920412A FI91806C FI 91806 C FI91806 C FI 91806C FI 920412 A FI920412 A FI 920412A FI 920412 A FI920412 A FI 920412A FI 91806 C FI91806 C FI 91806C
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
electromagnetic radiation
radiation
coupling
silicon
integrated optics
Prior art date
Application number
FI920412A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI91806B (sv
FI920412A0 (sv
FI920412A (sv
Inventor
Jaakko Aarnio
Seppo Honkanen
Original Assignee
Valtion Teknillinen
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Valtion Teknillinen filed Critical Valtion Teknillinen
Priority to FI920412A priority Critical patent/FI91806C/sv
Publication of FI920412A0 publication Critical patent/FI920412A0/sv
Publication of FI920412A publication Critical patent/FI920412A/sv
Publication of FI91806B publication Critical patent/FI91806B/sv
Application granted granted Critical
Publication of FI91806C publication Critical patent/FI91806C/sv

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Claims (4)

1. Ytplasmonresonansbaserad givare med integrerad optik for måtning av våtskor och 5 gaser, omfattande - organ (11) for alstring av polariserad elektromagnetisk strålning (2), - en for strålningen (2) avsedd passage (1), som den polariserede 10 elektromagnetiska strålningen (2) kan ledas till, - en punktkålla (3) for omvandling av den polariserede elektromagnetiska strålningen i punktform, 15. ett inriktningsdon (4), med vilket den punktformiga elektromagnetiska strålningen kan riktas mot ett kopplingsstalle (10), - en bakom kopplingsstallet (10) bildad metallfolie (6), 20. ett riktdon, med vilket den mot kopplingsstallet (10) riktade elektromagnetiska strålningen kan riktas for att bli detekterad, och - ett detekteringsdon (9), medelst vilket de optiska egenskapema hos ett material bakom metallfolien (6) kan bestammas utgående från den strålning 25 som återkastas darav, kånnetecknad darav, att - passagen (1) for strålningen utgors av en planvågsledare, och 30 - punktkallan (3), inriktningsdonet (4), riktdonet (8) och detekteringsdonet (9) år bildade på samma enhetliga kiselbit (5) i planvågsledaren (1). 91806 9
2. Givare enligt patentkravet 1, kånnetecknad dårav, att inriktningsdonet (4) år en totalreflekterande ellipsyta och riktdonet (8) år en totalreflekterande parabelyta.
3. Givare enligt patentkravet 1, kånnetecknad dårav, att detekteringsdonet (9) år 5 en CCD-cell.
4. Forfarande for tillverkning av en givare enligt patentkravet 1, kånnetecknat dårav, att planvågsledarens (1) kopplingsyta (10) bildas så, att V-spår (20) våtetsas på ytan av en kiselbit (5) parallellt med kiselbitens (5) < 100 > kristallriktning och kiselbiten (5) 10 bryts av i riktningen for spåren (20).
FI920412A 1992-01-30 1992-01-30 Ytplasmonresonansbaserad givare med integrerad optik för mätning av vätskor och gaser samt förfarande för framställning därav FI91806C (sv)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI920412A FI91806C (sv) 1992-01-30 1992-01-30 Ytplasmonresonansbaserad givare med integrerad optik för mätning av vätskor och gaser samt förfarande för framställning därav

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI920412A FI91806C (sv) 1992-01-30 1992-01-30 Ytplasmonresonansbaserad givare med integrerad optik för mätning av vätskor och gaser samt förfarande för framställning därav
FI920412 1992-01-30

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI920412A0 FI920412A0 (sv) 1992-01-30
FI920412A FI920412A (sv) 1993-07-31
FI91806B FI91806B (sv) 1994-04-29
FI91806C true FI91806C (sv) 1994-08-10

Family

ID=8534320

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI920412A FI91806C (sv) 1992-01-30 1992-01-30 Ytplasmonresonansbaserad givare med integrerad optik för mätning av vätskor och gaser samt förfarande för framställning därav

Country Status (1)

Country Link
FI (1) FI91806C (sv)

Also Published As

Publication number Publication date
FI91806B (sv) 1994-04-29
FI920412A0 (sv) 1992-01-30
FI920412A (sv) 1993-07-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3139770B2 (ja) チップレベル導波管センサ
Melendez et al. A commercial solution for surface plasmon sensing
US6100991A (en) Near normal incidence optical assaying method and system having wavelength and angle sensitivity
US8620120B2 (en) Retro-reflective structures
US6621951B1 (en) Thin film structures in devices with a fiber on a substrate
US7304734B2 (en) Fluorescence analysis optical multiplexer/demultiplexer, fluorescence analysis optical module, fluorescence analyzer, fluorescence/photothermal conversion spectroscopic analyzer, and fluorescence analysis chip
EP1079225A1 (en) Surface plasmon sensor for analyzing liquid sample or humid atmosphere
US7933019B2 (en) Surface plasmon resonance sensor using rotating mirror
JPH07311141A (ja) 光学式検出装置
JPH01313736A (ja) 物質の屈折率を測定する装置及び方法
US20060215165A1 (en) High sensitivity optical detection by temperature independent differential polarization surface plasmon resonance
EP1308714B1 (en) Measuring plate for a sensor utilising attenuated total reflection
EP1030160A1 (en) Optical position sensor
US7009706B2 (en) Measuring chip
US5245410A (en) Optical fiber sensor based on the excitation of surface plasmon
JPH0650882A (ja) 光学測定装置
FI91806C (sv) Ytplasmonresonansbaserad givare med integrerad optik för mätning av vätskor och gaser samt förfarande för framställning därav
JP3883926B2 (ja) 測定装置
JPS63132139A (ja) 液体屈折率計
KR101109148B1 (ko) 표면 플라즈몬 공진 센서 및 표면 플라즈몬 공진을 이용한 센싱 방법
JP2013061301A (ja) Sprセンサセルおよびsprセンサ
JP3691209B2 (ja) 臨界ミセル濃度の測定方法
Bali et al. New approach to the measurement of refractive index
JP3928403B2 (ja) 反射ミラー付導波路及びその製造方法
KR100820235B1 (ko) 다 매질에서 측정 가능한 광학계를 이용한 표면 플라즈몬공명 장치

Legal Events

Date Code Title Description
BB Publication of examined application
MM Patent lapsed