FI91806B - Ytplasmonresonansbaserad givare med integrerad optik för mätning av vätskor och gaser samt förfarande för framställning därav - Google Patents

Ytplasmonresonansbaserad givare med integrerad optik för mätning av vätskor och gaser samt förfarande för framställning därav Download PDF

Info

Publication number
FI91806B
FI91806B FI920412A FI920412A FI91806B FI 91806 B FI91806 B FI 91806B FI 920412 A FI920412 A FI 920412A FI 920412 A FI920412 A FI 920412A FI 91806 B FI91806 B FI 91806B
Authority
FI
Finland
Prior art keywords
point
electromagnetic radiation
planar waveguide
sensor
radiation
Prior art date
Application number
FI920412A
Other languages
English (en)
Finnish (fi)
Other versions
FI91806C (sv
FI920412A0 (sv
FI920412A (sv
Inventor
Jaakko Aarnio
Seppo Honkanen
Original Assignee
Valtion Teknillinen
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Valtion Teknillinen filed Critical Valtion Teknillinen
Priority to FI920412A priority Critical patent/FI91806C/sv
Publication of FI920412A0 publication Critical patent/FI920412A0/sv
Publication of FI920412A publication Critical patent/FI920412A/sv
Application granted granted Critical
Publication of FI91806B publication Critical patent/FI91806B/sv
Publication of FI91806C publication Critical patent/FI91806C/sv

Links

Landscapes

  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Claims (4)

1. Ytplasmonresonansbaserad givare med integrerad optik för mätning av vätskor och 5 gaser, omfattande - organ (11) för alstring av polariserad elektromagnetisk strälning (2), - en för strälningen (2) avsedd passage (1), som den polariserade 10 elektromagnetiska strälningen (2) kan ledas tili, - en punktkälla (3) för omvandling av den polariserade elektromagnetiska strälningen i punktform, 15. ett inriktningsdon (4), med vilket den punktformiga elektromagnetiska strälningen kan riktas mot ett kopplingsställe (10), - en bakom kopplingsstället (10) bildad metallfolie (6), 20. ett riktdon, med vilket den mot kopplingsstället (10) riktade elektromagnetiska strälningen kan riktas för att bli detekterad, och - ett detekteringsdon (9), medelst vilket de optiska egenskapema hos ett material bakom metallfolien (6) kan bestämmas utgäende frän den strälning 25 som äterkastas därav, kännetecknad därav, att - passagen (1) för strälningen utgörs av en planvägsledare, och 30 - punktkällan (3), inriktningsdonet (4), riktdonet (8) och detekteringsdonet (9) är bildade pä samma enhetliga kiselbit (5) i planvägsledaren (1). 91806 9
2. Givare enligt patentkravet 1, kännetecknad därav, att inriktningsdonet (4) är en totalreflekterande ellipsyta och riktdonet (8) är en totalreflekterande parabelyta.
3. Givare enligt patentkravet 1, kännetecknad därav, att detekteringsdonet (9) är 5 en CCD-cell.
4. Förfarande för tillverkning av en givare enligt patentkravet 1, kännetecknat därav, att planvägsledarens (1) kopplingsyta (10) bildas sä, att V-spär (20) vätetsas pä ytan av en kiselbit (5) parallellt med kiselbitens (5) < 100 > kristallriktning och kiselbiten (5) 10 bryts av i riktningen för spären (20).
FI920412A 1992-01-30 1992-01-30 Ytplasmonresonansbaserad givare med integrerad optik för mätning av vätskor och gaser samt förfarande för framställning därav FI91806C (sv)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI920412A FI91806C (sv) 1992-01-30 1992-01-30 Ytplasmonresonansbaserad givare med integrerad optik för mätning av vätskor och gaser samt förfarande för framställning därav

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FI920412 1992-01-30
FI920412A FI91806C (sv) 1992-01-30 1992-01-30 Ytplasmonresonansbaserad givare med integrerad optik för mätning av vätskor och gaser samt förfarande för framställning därav

Publications (4)

Publication Number Publication Date
FI920412A0 FI920412A0 (sv) 1992-01-30
FI920412A FI920412A (sv) 1993-07-31
FI91806B true FI91806B (sv) 1994-04-29
FI91806C FI91806C (sv) 1994-08-10

Family

ID=8534320

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
FI920412A FI91806C (sv) 1992-01-30 1992-01-30 Ytplasmonresonansbaserad givare med integrerad optik för mätning av vätskor och gaser samt förfarande för framställning därav

Country Status (1)

Country Link
FI (1) FI91806C (sv)

Also Published As

Publication number Publication date
FI91806C (sv) 1994-08-10
FI920412A0 (sv) 1992-01-30
FI920412A (sv) 1993-07-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8620120B2 (en) Retro-reflective structures
US6621951B1 (en) Thin film structures in devices with a fiber on a substrate
US7212692B2 (en) Multiple array surface plasmon resonance biosensor
TW200302367A (en) Optical circuit fabrication method and device
TW200530571A (en) Photonic crystal sensors
US7933019B2 (en) Surface plasmon resonance sensor using rotating mirror
JPH07311141A (ja) 光学式検出装置
KR20140031927A (ko) 광학 부품의 제조 방법 및 광학 부품
US20060215165A1 (en) High sensitivity optical detection by temperature independent differential polarization surface plasmon resonance
EP1308714B1 (en) Measuring plate for a sensor utilising attenuated total reflection
US7009706B2 (en) Measuring chip
CN201903327U (zh) 纳米级微位移测量的自由空间微光学光杠杆系统
FI91806B (sv) Ytplasmonresonansbaserad givare med integrerad optik för mätning av vätskor och gaser samt förfarande för framställning därav
WO2001031369A1 (fr) Composant optique et procede de fabrication de film polyimide epais
CN103837929B (zh) 一种wgm元件制作方法
US6340448B1 (en) Surface plasmon sensor
JP2004101678A (ja) マイクロミラー及びその製造方法
JP3928403B2 (ja) 反射ミラー付導波路及びその製造方法
JP2002323441A (ja) 水素ガスセンサ
de Cesare et al. Electro-optical detector for lab-on-chip applications
CN111307742B (zh) 一种增强型导模共振光纤传感器的制备方法
US20240192441A1 (en) Heterogeneously integrated sensor
KR100621833B1 (ko) 광연결 장치 및 그 제작 방법
JP4094997B2 (ja) 光ファイバーセンサ
Matsubara et al. Optical chemical sensor using surface plasma resonance

Legal Events

Date Code Title Description
BB Publication of examined application
MM Patent lapsed