JP4094997B2 - 光ファイバーセンサ - Google Patents
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Description
また、ATR法により、採血やセンサを埋め込むことなどを必要とせずに、人体の血中のグルコースの濃度を簡便に測定する分析システムなども開発されている(特許文献1参照)。
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、より小型な分析システムが構築できるようにすることを目的とする。
このセンサは、細線コアからしみ出した光が、コアの露出した面に接触している分析対象物により吸収されることを利用する。
図1は、本発明の実施の形態における光ファイバーセンサ100の構成例を示す断面図(a),部分平面図(b),斜視図(c),及び平面図(d)である。光ファイバーセンサ100は、まず、例えば酸化シリコンから構成された下部クラッドとなる円板形状の基板(下部クラッド層)101の上に、スポットサイズ変換部(光結合手段)102及び微小光回路からなる検出部103を備える。
細線コア131は、例えば、図1(d)に示すように、基板101の上面で任意の方向に延在する閉回路を構成している。
まず、SOI(Silicon on Insulator)基板を用意する。SOI基板は、埋め込み絶縁層(埋め込み酸化層)の上のシリコン層(単結晶シリコン層)が、高抵抗p形あるいは高抵抗n形であればよい。また、シリコン層は、所望の厚さより薄い高抵抗p形の単結晶シリコン層の上に、ノンドープの単結晶シリコンを結晶成長させて所望の厚さとしたものでもよい。同様に、シリコン層は、所望の厚さより薄い高抵抗n形の単結晶シリコン層の上に、ノンドープの単結晶シリコンを結晶成長させて所望の厚さとしたものでもよい。
なお、図4において、同一の構成については、図1と同様の符号を付してあり、説明は省略する。
Claims (3)
- 光ファイバーの光出射端面に裏面が当接する下部クラッド層と、
この下部クラッド層の表面に形成されて少なくとも一部の面が露出した細線コアと、
この細線コアから構成された導波路の光入出射端と、
前記下部クラッド層の裏面より前記光ファイバーから入射した光を、前記細線コアの光入出射端より前記細線コアに光結合させるための光結合手段と
を少なくとも備え、
前記導波路は、シングルモード導波路であり、
前記細線コアの露出した面に分析対象物が接触する
ことを特徴とする光ファイバーセンサ。 - 請求項1記載の光ファイバーセンサにおいて、
膜厚が100nm以下の状態で前記細線コアの露出した部分を覆うように形成され、所望とする分析対象の流体を凝集する機能膜
を備えたことを特徴とする光ファイバーセンサ。 - 請求項1または2記載の光ファイバーセンサにおいて、
2つの第1及び第2光ファイバーの先端に各々配置された第1及び第2光ファイバーセンサを備え、
前記第1光ファイバーセンサの第1細線コアの光入射端は、前記第1光ファイバーに光接続され、
前記第1細線コアの光出射端は、前記第2光ファイバーセンサの第2細線コアの光入射端に光接続され、
前記第2細線コアの光出射端は、前記第2光ファイバーに光接続され
ていることを特徴とする光ファイバーセンサ。
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JP5581955B2 (ja) * | 2010-10-08 | 2014-09-03 | コニカミノルタ株式会社 | 微小物質検出センサおよびそれを有する微小物質検出装置 |
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