FI119260B - Förfarande för kalibrering av en mätanläggning och mätanläggning - Google Patents
Förfarande för kalibrering av en mätanläggning och mätanläggning Download PDFInfo
- Publication number
- FI119260B FI119260B FI20065160A FI20065160A FI119260B FI 119260 B FI119260 B FI 119260B FI 20065160 A FI20065160 A FI 20065160A FI 20065160 A FI20065160 A FI 20065160A FI 119260 B FI119260 B FI 119260B
- Authority
- FI
- Finland
- Prior art keywords
- sensor
- reference piece
- measuring
- web
- measuring apparatus
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0691—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of objects while moving
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D21—PAPER-MAKING; PRODUCTION OF CELLULOSE
- D21G—CALENDERS; ACCESSORIES FOR PAPER-MAKING MACHINES
- D21G9/00—Other accessories for paper-making machines
- D21G9/0009—Paper-making control systems
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B7/00—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
- G01B7/02—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness
- G01B7/06—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness
- G01B7/08—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using capacitive means
- G01B7/087—Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness using capacitive means for measuring of objects while moving
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Claims (27)
1. Förfarande för kalibrering av en mätapparatur (1) som mäter en rörlig banas (2) tjocklek, vilken mätapparatur (1) omfattar ätminstone en första sensor (10), ätminstone en andra sensor (11) och ätminstone ett referens- 5 stycke(12), kännetecknat avatt den rörliga banan (2) stöds mot nämnda referensstycke (12), referensstycket (12) och den däremot stödda rörliga banan (2) för-flyttas tili olika avständ frän den första sensom (10) och den andra sensom 10 (11), med den första sensom (10) mäts avständet (D1) mellan den rörliga banan (2) och den första sensorn (10) pä ätminstone tvä olika avständ (D1), med den andra sensorn (11) mäts avständet (D2) mellan referensstycket (12) och den andra sensorn (11) pä ätminstone tvä olika avständ (D2) 15 och den första sensorn (10) och den andra sensom (11) kalibreras en-hetligt i förhällande tili referensstyckets (12) förskjutning.
2. Förfarande enligt patentkrav 1, kännetecknat av att ett un-dertryck bildas mellan den rörliga banan (2) och referensstycket (12) för att 20 stöda den rörliga banan (2) mot referensstycket (12).
3. Förfarande enligt patentkrav 1 eller 2, kännetecknat av att : ;*: referensstycket (12) uppvisar en mätpunkt (14), varvid den första sensom (10) • · är anordnad att mätä avständet (D1) mellan den rörliga banan (2) och den för- : .·. sta sensom (10) innanför ett av mätpunkten (14) indikerat omräde och att refe- • ♦ · |’V 25 rensstycket (12) är anordnat i mätapparaturen (1) sä att det finns ett väsentli- • ♦ · IV. m gen öppet luftutrymme (20) nedanför referensstycket (12) och att mätapparatu- *·*·* ren ytterligare uppvisar medel för att bilda ett undertryck i luftutrymmet (20) nedanför referensstycket (12) och att referensstycket (20) uppvisar igenom :.v densamma bildade häl (19) pä olika avständ frän mätpunkten (14) och att ett ··· 30 undertryck bildas i nämnda luftutrymme (20), vilket verkar genom de i refe- . .*. rensstycket bildade hälen (19) mellan referensstycket (12) och den rörliga ba- .·*·. nan (2) sä att den rörliga banan (2) stöds mot referensstycket väsentligen ät- • · ' V minstone pä hela omrädet för mätpunkten (14). v
: 4. Förfarande enligt patentkrav 3, kännetecknat av att mätap- 35 paraturen (1) i den rörliga banans (2) tjockleksriktning omfattar ett första mät- 119260 huvud (3) och ett andra mäthuvud (4) som placeras pä motsatta sidor av ba-nan (2), och att den första sensom (10) och den andra sensorn (11) är anord-nade i det första mäthuvudet (3) och referensstycket (12) är anordnat i det andra mäthuvudet (4), och att det andra mäthuvudet (4) uppvisar atminstone 5 en kanal (21) som star i förbindelse med luftutrymmet (20) nedanför referensstycket (12) och att ett gasformigt medium mätäs mellan det andra mäthuvudet (4) och den rörliga banan (2) sä att matningen av det gasformiga mediet föror-sakar ett undertryck i luftutrymmet (20) och vidare via referensstyckets (12) hai (19) mellan referensstycket (12) och den rörliga banan (2). 10
5. Förfarande enligt patentkrav 4, kännetecknat av att kanalen (21) för matning av det gasformiga mediet mellan det andra mäthuvudet (4) och den rörliga banan (2) omfattar referensstycket (12) och en stomkonstruk-tion (26) för det andra mäthuvudet (4) eller en däri anordnad, mellan ett form-element (27) befintlig dysspalt (22) och att det gasformiga mediet mätäs frän 15 dysspalten (22) mellan det andra mäthuvudet (4) och den rörliga banan (2) längs kanterna av det andra mäthuvudets (4) stomkonstruktion (26) eller det däri anordnade formelementet (27).
6. Förfarande enligt patentkrav 5, kännetecknat av att tili det andra mäthuvudets (4) stomkonstruktion (26) eller tili det däri anordnade form- 20 elementet (27) hör en böjd styryta (25) för att vänga det gasformiga mediets strömning att strömma mellan det andra mäthuvudet (4) och den rörliga banan • · · !...; (2).
7. Förfarande enligt nägot av patentkraven 4-6, kännetecknat ·:·1: av att det gasformiga mediet är luft. • :1· 25
8. Förfarande enligt nägot av de föregäende patentkraven, k ä n n e - ·1· · . t e c k n a t av att mätapparaturen (1) vidare omfattar ätminstone en tredje sen- sor och att den rörliga banans (2) och den tredje sensoms avstand mäts i ba- • · nans (2) tjockleksriktning frän dess motsatta sida i förhällande tili den första . . sensorn (10), och att den första sensorn (10), den andra sensom (11) och den • · · *;[f 30 tredje sensorn kalibreras enhetligt i förhällande tili referensstyckets (12) för- *·”’ skjutning.
: 9. Förfarande enligt nägot av de föregäende patentkraven, k ä n n e - tecknat av att avstandet mellan den första sensorn (10) och den rörliga ba-nan (2) mäts optiskt. * · · *·' | 35
10. Förfarande enligt nägot av de föregäende patentkraven, kä n- : n e tecknat av att avständet (D2) mellan den andra sensorn (11) och refe- 119260 rensstycket (12) mats induktivt, kapacitivt eller medelst nägot annat förfarande som mäter genom en rörlig bana (2).
11. Förfarande enligt nägot avpatentkraven 8-10, kännetecknat av att avständet mellan den tredje sensom och den rörliga banan (2) mäts op- 5 tiskt.
12. Förfarande enligt nagot av de föregaende patentkraven, kännetecknat av att mätapparaturen (1) vidare omfattar ett manövreringsorgan (16) och en mellan manövreringsorganet (16) och referensstycket (12) anord-nad axel (17) och att referensstycket (12) förflyttas i förhallande tili sensorema 10 (10,11) medelst axeln (17) genom användning av manövreringsorganet (16).
13. Förfarande enligt nagot av de föregäende patentkraven, kännetecknat av att den rörliga banan är en pappersbana (2), kartongbana, mjukpappersbana eller cellulosabana.
14. Mätapparatur (1) för mätning av en rörlig banas (2) tjocklek, vil-15 ken mätapparatur (1) omfattar ätminstone en första sensor (10), ätminstone en andra sensor (11) och ätminstone ett referensstycke (12), kännetecknad av att den rörliga banan (2) är anordnad att stödas mot nämnda referensstycke (12), 20 referensstycket (12) är anordnat att förflyttas tili olika avständ frän den första sensom (10) och den andra sensom (11), den första sensom (10) är anordnad att mätä avständet (D1) mellan den rörliga banan (2) och den första sensom (10) pä ätminstone tvä olika av-·:**: ständ(D1), : 25 den andra sensom (11) är anordnad att mätä avständet (D2) mellan : referensstycket (12) och den andra sensom (11) pä ätminstone tvä olika av- ständ (D2) och att • t mätapparaturen (1) vidare omfattar en databehandlingsenhet (18) . . som är anordnad att kalibrera den första sensom (10) och den andra sensom 30 (11) enhetligt i förhällande tili referensstyckets (12) förskjutning.
* · *·;·* 15. Mätapparatur enligt patentkrav 14, kännetecknad av att : mätapparaturen (1) vidare omfattar ett manövreringsorgan (16) och en mellan manövreringsorganet (16) och referensstycket (12) anordnad axel • · · 1 för att förflytta referensstycket (12) medelst axeln (17) genom användning • · · *·* [ 35 av manövreringsorganet (16).
* * 16. Mätapparatur enligt patentkrav 15, kännetecknad av att 119260 manövreringsorganet är en stegmotor (16).
17. Mätapparatur enligt nagot av patentkraven 14-16, känne-t e c k n a d av att mätapparaturen (1) omfattar medel för att bilda ett undertryck mellan den rörliga banan (2) och referensstycket (1) för att bringa den rörliga 5 banan (2) i anslutning tili referensstycket (12).
18. Mätapparatur enligt nägot av patentkraven 14-17, känne-tecknad av att referensstycket (12) uppvisar en mätpunkt (14), varvid den första sensorn (10) är anordnad att mätä avständet (D1) mellan den rörliga banan (2) och den första sensom (10) innanför ett av mätpunkten (14) indike- 10 rat omräde och att referensstycket (12) är anordnat i mätapparaturen (1) sä att det finns ett väsentligen öppet luftutrymme (20) nedanför referensstycket (12) och att mätapparaturen ytterligare uppvisar medel för att bilda ett undertryck i luftutrymmet (20) nedanför referensstycket (12) och att referensstycket (20) uppvisar igenom densamma bildade häl (19) pä olika avständ frän mätpunkten 15 (14) sä att undertrycket som bildas i luftutrymmet (20) är anordnat att verka genom de i referensstycket bildade hälen (19) mellan referensstycket (12) och den rörliga banan (2) sä att den rörliga banan (2) stöds mot referensstycket (12) väsentligen ätminstone pä hela omrädet för mätpunkten (14).
19. Mätapparatur enligt patentkrav 18, kännetecknad av att 20 mätapparaturen (1) i den rörliga banans (2) tjockleksriktning omfattar ett första mäthuvud (3) och ett andra mäthuvud (4) som placeras pä motsatta sidor av banan (2), och att den första sensom (10) och den andra sensom (11) är an- ordnade i det första mäthuvudet (3) och referensstycket (12) är anordnat i det *:**: andra mäthuvudet (4), och att det andra mäthuvudet (4) uppvisar ätminstone : 25 en kanal (21) som stär i förbindelse med luftutrymmet (20) nedanför referens- : stycket (12) och vilken kanal (21) är anordnad att mata ett gasformigt medium • « .···. mellan det andra mäthuvudet (4) och den rörliga banan (2) sä att matningen av det gasformiga mediet förorsakar ett undertryck i luftutrymmet (20) och vidare via referensstyckets (12) häl (19) mellan referensstycket (12) och den rörliga 30 banan (2).
• · *·;·* 20. Mätapparatur enligt patentkrav 19, kännetecknad av att ka- :j[: nalen (21) för matning av det gasformiga mediet mellan det andra mäthuvudet (4) och den rörliga banan (2) omfattar referensstycket (12) och en stomkon- • · · struktion (26) för det andra mäthuvudet (4) eller en däri anordnad, mellan ett *** | 35 formelement (27) befintlig dysspalt (22) sä att det gasformiga mediet är anord nat att mätäs frän dysspalten (22) mellan det andra mäthuvudet (4) och den 119260 rörliga banan (2) längs kanterna av det andra mäthuvudets (4) stomkonstruk-tion (26) eller det däri anordnade formelementet (27).
21. Mätapparatur enligt patentkrav 20, kä n n ete c k n a d av att tili det andra mäthuvudets (4) stomkonstruktion (26) eller tili det däri anordnade 5 formelementet (27) hör en böjd styryta (25) för att vända det gasformiga medi-ets strömning att strömma mellan det andra mäthuvudet (4) och den rörliga banan (2).
22. Mätapparatur enligt nägot av patentkraven 19-21, känne-t e c k n a t av att det gasformiga mediet är luft. 10
23. Mätapparatur enligt nägot av de föregäende patentkraven, kännetecknat av att mätapparaturen (1) vidare omfattar ätminstone en tredje sensor som är anordnad att mätä den rörliga banans (2) och den tredje sensorns avständ i banans (2) tjockleksriktning frän dess motsatta sida i förhäl-lande tili den första sensom (10) och att databehandlingsenheten (18) är anis ordnad att kalibrera den första sensom, den andra sensom och den tredje sensorn enhetligt i förhallande tili referensstyckets (12) förskjutning.
24. Mätapparatur enligt nägot av patentkraven 14-23, kännetecknat av att den första sensorn (10) omfattar en laser som är anordnad att mätä avständet (D1) mellan den första sensorn (10) och den rörliga banan (2) 20 optiskt.
25. Mätapparatur enligt nägot av patentkraven 14-24, känne- ··· tecknat av att den andra sensorn (11) omfattar en spole som är anordnad att mätä avständet (D2) mellan den andra sensom (11) och referensstycket ·!··: (12) induktivt. • :1· 25
26. Mätapparatur enligt nägot av patentkraven 23-25, känne- ··1 1 . tecknat av att den tredje sensorn omfattar en laser som är anordnad att .·1··. mätä avständet mellan den tredje sensorn och den rörliga banan optiskt. • 1
27. Mätapparatur enligt nägot av de föregäende patentkraven, .. kännetecknat av att den rörliga banan (2) är en pappersbana (2), kar- • · · *;[·’ 30 tongbana, mjukpappersbana eller celluiosabana. * · • · ··· • · · • · » ··· ··· • · • · ··· • · ti • · · • · · *
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI20065160A FI119260B (sv) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | Förfarande för kalibrering av en mätanläggning och mätanläggning |
US12/282,316 US8117891B2 (en) | 2006-03-10 | 2007-03-07 | Method for calibration of measuring equipment and measuring equipment |
PCT/FI2007/050124 WO2007104833A1 (en) | 2006-03-10 | 2007-03-07 | Method for calibration of measuring equipment and measuring equipment |
EP07730625.6A EP2002202B1 (en) | 2006-03-10 | 2007-03-07 | Method for calibration of measuring equipment and measuring equipment |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FI20065160A FI119260B (sv) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | Förfarande för kalibrering av en mätanläggning och mätanläggning |
FI20065160 | 2006-03-10 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
FI20065160A0 FI20065160A0 (sv) | 2006-03-10 |
FI20065160A FI20065160A (sv) | 2007-09-11 |
FI119260B true FI119260B (sv) | 2008-09-15 |
Family
ID=36192005
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
FI20065160A FI119260B (sv) | 2006-03-10 | 2006-03-10 | Förfarande för kalibrering av en mätanläggning och mätanläggning |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8117891B2 (sv) |
EP (1) | EP2002202B1 (sv) |
FI (1) | FI119260B (sv) |
WO (1) | WO2007104833A1 (sv) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA2884632C (en) * | 2007-08-31 | 2016-10-25 | Abb Ltd. | Web thickness measurement device |
US9045306B2 (en) * | 2007-11-27 | 2015-06-02 | Abb Ltd. | Sheet stabilizer with suction nozzle having center protrusion |
FI20075975L (sv) * | 2007-12-31 | 2009-07-01 | Metso Automation Oy | Mätning av en bana |
GB2479572A (en) * | 2010-04-15 | 2011-10-19 | Paul Roderick Hayes Griffin | Thickness guage for measurement of hot metal plate on the procss line |
DE102011107771B4 (de) * | 2011-04-15 | 2013-10-17 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zur Dickenmessung eines Messobjekts |
DE102011106523A1 (de) * | 2011-07-04 | 2013-01-10 | Giesecke & Devrient Gmbh | Prüfgerät und Verfahren zur Kalibrierung eines Prüfgeräts |
WO2013007864A1 (en) * | 2011-07-08 | 2013-01-17 | Metso Automation Oy | Method and measuring device for measuring caliper of moving fibre web |
WO2013026791A1 (de) * | 2011-08-22 | 2013-02-28 | Windmöller & Hölscher Kg | Maschine und verfahren zum bedrucken von materialbahnen |
FI125811B (sv) * | 2013-05-29 | 2016-02-29 | Valmet Automation Oy | Mätning av bana |
JP6337538B2 (ja) * | 2014-03-18 | 2018-06-06 | セイコーエプソン株式会社 | 画像記録装置、キャリブレーション方法および画像記録方法 |
US9753114B2 (en) * | 2014-11-03 | 2017-09-05 | Honeywell Limited | Gap and displacement magnetic sensor system for scanner heads in paper machines or other systems |
US10184784B2 (en) * | 2015-05-05 | 2019-01-22 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Device and method for measuring the width and thickness of a flat object |
US10641758B2 (en) | 2015-09-01 | 2020-05-05 | Exxonmobil Upstream Research Company | Apparatus, systems, and methods for enhancing hydrocarbon extraction and techniques related thereto |
JP2018090344A (ja) * | 2016-11-30 | 2018-06-14 | コニカミノルタ株式会社 | 用紙搬送装置、画像形成装置、用紙の坪量の推定方法、および用紙の坪量の推定プログラム |
IT201700042506A1 (it) * | 2017-04-18 | 2018-10-18 | Btsr Int Spa | Metodo, sistema e sensore per rilevare una caratteristica di un filo tessile o metallico alimentato ad una macchina operatrice |
CN109238092A (zh) * | 2018-09-14 | 2019-01-18 | 佛山市恒力泰机械有限公司 | 陶瓷砖坯厚度在线自动检测方法及装置 |
TWI755842B (zh) * | 2020-09-04 | 2022-02-21 | 奈米趨勢科技有限公司 | 非接觸式塑膠吹袋機薄膜厚度量測裝置 |
CN117906509B (zh) * | 2024-01-16 | 2024-07-26 | 山东力强钢板有限公司 | 一种钢板厚度差激光测量装置及测量方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60114709A (ja) | 1983-11-28 | 1985-06-21 | Yokohama Rubber Co Ltd:The | 絶縁物の厚み測定装置 |
JPH01155204A (ja) | 1987-12-14 | 1989-06-19 | Yokogawa Electric Corp | 厚さ測定装置の校正方法 |
JPH01156615A (ja) | 1987-12-15 | 1989-06-20 | Yokogawa Electric Corp | 厚さ測定装置の校正方法 |
US5355083A (en) * | 1988-11-16 | 1994-10-11 | Measurex Corporation | Non-contact sensor and method using inductance and laser distance measurements for measuring the thickness of a layer of material overlaying a substrate |
US5062298A (en) * | 1989-12-05 | 1991-11-05 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Non-contact wet or dry film thickness measuring device using eddy current and ultrasonic sensors |
US5485082A (en) * | 1990-04-11 | 1996-01-16 | Micro-Epsilon Messtechnik Gmbh & Co. Kg | Method of calibrating a thickness measuring device and device for measuring or monitoring the thickness of layers, tapes, foils, and the like |
US6281679B1 (en) * | 1998-12-21 | 2001-08-28 | Honeywell - Measurex | Web thickness measurement system |
FI114337B (sv) * | 2001-07-03 | 2004-09-30 | Metso Automation Oy | Förfarande och mätdon för mätning av åtminstone en egenskap hos en rörlig bana |
US6967726B2 (en) | 2003-10-03 | 2005-11-22 | Honeywell International Inc. | Means for in-place automated calibration of optically-based thickness sensor |
-
2006
- 2006-03-10 FI FI20065160A patent/FI119260B/sv active IP Right Grant
-
2007
- 2007-03-07 US US12/282,316 patent/US8117891B2/en active Active
- 2007-03-07 WO PCT/FI2007/050124 patent/WO2007104833A1/en active Application Filing
- 2007-03-07 EP EP07730625.6A patent/EP2002202B1/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FI20065160A (sv) | 2007-09-11 |
EP2002202B1 (en) | 2017-05-31 |
WO2007104833A1 (en) | 2007-09-20 |
FI20065160A0 (sv) | 2006-03-10 |
US8117891B2 (en) | 2012-02-21 |
EP2002202A1 (en) | 2008-12-17 |
US20090056412A1 (en) | 2009-03-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
FI119260B (sv) | Förfarande för kalibrering av en mätanläggning och mätanläggning | |
FI114337B (sv) | Förfarande och mätdon för mätning av åtminstone en egenskap hos en rörlig bana | |
US8760669B2 (en) | Method of measuring the thickness of a moving web | |
FI125343B (sv) | Mätningsanordning för bantjocklek | |
US7369255B2 (en) | Apparatus and method for capacitive measurement of materials | |
US3528002A (en) | Caliper with air bearings for continuously moving sheet material | |
US7797985B2 (en) | Method and system for operating an air gauge at programmable or constant standoff | |
US9335145B2 (en) | Apparatus and method for measuring the thickness of a measurement object | |
FI68185C (fi) | Foerfarande och anordning foer laegesobservering | |
CN101918787B (zh) | 片材的松弛度评价方法以及评价装置 | |
EP2302319B1 (en) | Radiation inspection apparatus | |
JP4629026B2 (ja) | 圧力センサ | |
US7319521B2 (en) | Measuring device | |
CA2705991C (en) | Sheet stabilizers with suction nozzle having center protrusion | |
US10184784B2 (en) | Device and method for measuring the width and thickness of a flat object | |
WO2013007864A1 (en) | Method and measuring device for measuring caliper of moving fibre web | |
JP2002257506A (ja) | 非接触膜厚測定装置 | |
US7799172B2 (en) | Apparatus for measuring tension in paper web | |
US6769297B2 (en) | Method and equipment for measuring tension of moving web | |
FI108885B (sv) | Förfarande för mätning av egenskaper hos papper och ett arrangemang som hänför sig till mätanordningen för papper | |
FI109940B (sv) | Förfarande för att bestämma positionen av kanten hos en rörlig bana | |
JP2006047059A (ja) | 厚さ測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
FG | Patent granted |
Ref document number: 119260 Country of ref document: FI |