ES2940510T3

ES2940510T3 - Sistema de control, sistema óptico y procedimiento

Info

Publication number: ES2940510T3
Application number: ES20705024T
Authority: ES
Inventors: Malte Hoffmann; Gunther Schulz
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 2019-02-12
Filing date: 2020-02-10
Publication date: 2023-05-08
Anticipated expiration: 2040-02-10
Also published as: US20210364926A1; PL3924793T3; CN113474738A; EP3924793A1; EP3924793B1; US11630395B2; KR20210125518A; WO2020165091A1; DE102019201810A1

Abstract

La invención se refiere a un sistema de control en lazo abierto (10), en particular para un sistema óptico (100), que comprende: un actuador (12), un elemento de medición (14) para adquirir los datos de medición del actuador (15) del actuador (12), una unidad de control de circuito cerrado (20) para generar una señal de control (13) para controlar el actuador (12) dependiendo de los datos de medición del actuador (15), y una unidad de monitoreo de estado (30) para monitorear un estado del sistema de control de lazo abierto (10) dependiendo de los datos de medición del actuador adquiridos (15). (Traducción automática con Google Translate, sin valor legal)

Description

DESCRIPCIÓN

Sistema de control, sistema óptico y procedimiento

La presente invención se refiere a un sistema de control, en particular para un sistema óptico o una instalación de litografía, a un sistema óptico con un sistema de control de este tipo y a un procedimiento para hacer funcionar un sistema de control.

Los sistemas de control conocidos presentan una pluralidad de elementos accionables, por lo que el funcionamiento de este tipo de sistemas depende a menudo de un control preciso y/o crítico en cuanto al tiempo de los elementos accionables. Un ejemplo de un sistema de control de este tipo es una instalación de litografía para microlitografía.

La microlitografía se utiliza para producir componentes microestructurados como, por ejemplo, circuitos integrados. El proceso de microlitografía se realiza con una instalación de litografía, que presenta un sistema de iluminación y un sistema de proyección. En este sentido, la imagen de una máscara (retícula) iluminada por medio del sistema de iluminación se proyecta por medio del sistema de proyección sobre un sustrato recubierto con una capa fotosensible (fotoprotección) y dispuesto en el plano de imagen del sistema de proyección, por ejemplo una oblea de silicio, para transferir la estructura de la máscara al recubrimiento fotosensible del sustrato. El sistema de proyección comprende, por ejemplo, una pluralidad de componentes ópticos accionables, como lentes o espejos.

Un fallo de un componente óptico puede llevar a retrasos inesperados en la producción y, así, a grandes pérdidas, por lo que es deseable supervisar el estado del sistema con la mayor precisión posible. Se conocen sistemas de supervisión que con ayuda de sensores específicos supervisan el estado del sistema. Una dificultad de los sistemas de control altamente complejos, como las instalaciones de litografía, pueden ser las condiciones de funcionamiento, cuando dicho sistema funciona, por ejemplo, al vacío, ya que entonces la refrigeración de los componentes electrónicos, que forman parte del sistema de supervisión, resulta compleja. Por tanto, la potencia de cálculo dentro del propio sistema suele ser limitada y no pueden procesarse todos los datos disponibles para la supervisión.

El documento EP 2 511 765 A1 da a conocer un dispositivo de regulación, que está configurado para regular una disposición plana de elementos de desviación del haz que pueden controlarse individualmente, con la que es posible iluminar de manera variable una superficie de pupila de un sistema de iluminación de una instalación de exposición por proyección microlitográfica, pudiendo conseguir mediante cada elemento de desviación del haz una desviación de un haz de luz de proyección que incide sobre el mismo en función de una señal de control aplicada al elemento de desviación del haz. El dispositivo de regulación comprende un módulo de medición, que está configurado para generar una señal de medición, un estimador de estado basado en un modelo, que está configurado para, utilizando la señal de medición, determinar un vector de estado estimado, que representa la desviación producida por el elemento de desviación del haz y su derivada temporal, y un regulador, que está configurado para procesar el vector de estado estimado y un valor teórico para la desviación producida por el elemento de desviación del haz y su derivada temporal y, a través de una variable de control, controlar la señal de control aplicada al elemento de desviación del haz.

El documento DE 10 2015 008754 A1 da a conocer un dispositivo para la supervisión de estado de un actuador controlado por servoválvula EHSA para el control de vuelo primario, concretamente, el timón de profundidad, alerón, timón de dirección, alerón de balanceo, alerón de tierra, paso del rotor principal y/o paso del rotor de cola, en una aeronave. El dispositivo comprende un sensor adicional que genera datos específicamente para la supervisión de estado, una unidad de procesador para procesar datos y para hacer funcionar un modelo de sistema del actuador, siendo la unidad de procesador la unidad de procesador de una electrónica de control del actuador, y estando configurada para realizar el control del actuador, y al menos un sensor para detectar una variable de control del actuador. Además está prevista una unidad de memoria, en la que están almacenados datos característicos sobre el actuador, estando configurada la unidad de procesador para realizar una supervisión de estado basándose en el modelo de sistema con referencia a la variable de control del actuador y los datos característicos de la unidad de memoria. Los datos característicos almacenados en la unidad de memoria son datos de análisis de resistencia, seguridad y/o fiabilidad del actuador, conocidos desde la fase de diseño del actuador, describiendo los datos característicos valores límite y características estructurales típicos. El EHSA comprende la electrónica de control y una electrohidráulica, comprendiendo la electrónica de control una electrónica de potencia, una regulación de accionamiento y la supervisión de estado. La supervisión de estado comprende la unidad de memoria, y la electrohidráulica comprende una servoválvula, una válvula de conmutación, grupos de deslizamiento, un freno o amortiguación, un cilindro hidráulico, la unidad de memoria así como el al menos un sensor.

El artículo “Linear Position Sensors for Prognostics” de los autores Srinivasan, Ramamurthy, Araganji y Kathani, publicado el 30 de enero de 2015, describe un procedimiento para estimar con precisión la vida útil restante de actuadores basándose en una supervisión de las cargas durante los ciclos de funcionamiento y el número de movimientos realizados utilizando sensores de posición lineal (LPS). Se realiza una valoración adaptativa de la vida útil restante de los actuadores con LPS, aprendiendo un patrón de los ciclos de funcionamiento y proporcionando, en base a esto, recomendaciones para medidas de uso y mantenimiento.

Con estos antecedentes, un objetivo de la presente invención consiste en proporcionar un sistema de control mejorado.

Según un primer aspecto se propone un sistema de control, en particular para un sistema óptico, con un elemento de actuación, un elemento de medición para adquirir datos de medición de elemento de actuación del elemento de actuación y una unidad de regulación para generar una señal de regulación para regular el elemento de actuación en función de los datos de medición de elemento de actuación adquiridos. Además se propone una unidad de supervisión de estado para supervisar un estado del sistema de control en función de los datos de medición de elemento de actuación adquiridos. La unidad de supervisión de estado comprende una primera unidad de procesamiento para generar datos de estado preprocesados en función de los datos de medición de elemento de actuación adquiridos y de un modelo físico y/o un modelo matemático del elemento de actuación o en función de los datos de medición de elemento de actuación adquiridos, de un modelo físico y/o un modelo matemático del elemento de actuación y de la señal de regulación generada, y una segunda unidad de procesamiento para determinar el estado del sistema de control en función de los datos de estado preprocesados.

En comparación con los sistemas conocidos de este tipo, el sistema de control propuesto tiene la ventaja de que los datos de medición de elemento de actuación, que normalmente se adquieren y utilizan para la regulación, también se utilizan para la supervisión de estado del sistema de control. Así, el estado del sistema de control puede supervisarse, por ejemplo, únicamente basándose en los datos de medición de elemento de actuación adquiridos, de modo que puede prescindirse de sensores específicos, como sensores ambientales, para la supervisión del estado. Alternativamente los datos de medición de elemento de actuación pueden utilizarse adicionalmente a los datos de medición de los sensores ambientales existentes para la supervisión de estado. De este modo se obtiene una mayor base de datos, por medio de la cual el estado del sistema de control puede supervisarse con mayor precisión. En particular puede recurrirse a los datos de medición de elemento de actuación para predecir un estado futuro, por ejemplo, trabajos de mantenimiento que serán necesarios en el futuro, el denominado predictive maintenance (mantenimiento predictivo). Se trata de una aplicación preferida, porque los datos de medición de elemento de actuación son, en particular, datos brutos no procesados de los elementos de actuación respectivos, de los que puede derivarse un estado del elemento de actuación respectivo sin distorsión.

El sistema de control es, en particular, un sistema altamente complejo con una pluralidad de elementos de actuación que van a controlarse, por ejemplo, una instalación de automatización, una fábrica de robots, una instalación técnica a gran escala, un centro de investigación o una parte de un centro de investigación, un sistema autónomo, un sistema de comunicación y/o una instalación de litografía.

En el caso de una instalación de litografía que, por ejemplo, presenta un sistema óptico con una pluralidad de elementos ópticos controlables, en particular disposiciones de microlentes y/o disposiciones de microespejos, en el funcionamiento en curso es importante que cada uno de los elementos ópticos pueda controlarse con exactitud. Cualquier mala alineación de un elemento óptico, por pequeña que sea, puede provocar una pérdida de resolución y/o errores de exposición, lo que, por ejemplo, puede tener efectos negativos sobre la función de un microchip producido con la instalación de litografía.

En particular en el caso de las instalaciones de litografía EUV, por un lado, ya no es posible trabajar con elementos ópticos transmisivos, por otro lado, la lente de proyección tiene que haberse evacuado, de modo que la trayectoria del haz discurra en vacío. En estas condiciones, resulta especialmente difícil hacer funcionar componentes activos como, por ejemplo, componentes microelectrónicos, porque durante el funcionamiento generan una cierta cantidad de calor residual, que no puede disiparse a través del medio circundante, en particular el aire, y su convección debido al vacío. Además, el espacio de instalación disponible puede ser limitado, por lo que los conceptos de refrigeración complejos, por ejemplo la refrigeración por líquido, no pueden utilizarse sin más. Por tanto, en tales condiciones, resulta ventajoso generar la menor cantidad de calor residual posible, razón por la cual, por ejemplo, la capacidad de cálculo disponible en este núcleo más interno del sistema de control es limitada.

A continuación, este núcleo más interno del sistema de control también puede denominarse nivel más bajo o Embedded System (sistema integrado). En una instalación de litografía, el sistema integrado puede separarse del exterior por ejemplo mediante una carcasa de vacío. Además, por sistema integrado puede entenderse aquella parte del sistema de control dentro de la cual un procesamiento de señales y/o una transmisión de señales son propios. Es decir, que por ejemplo sólo el fabricante del sistema integrado puede entender los datos y/o las señales, que se generan y/o transmiten dentro del sistema integrado. Por ejemplo, una interfaz que se comunica según un protocolo de comunicación determinado y divulgado puede considerarse el límite del sistema integrado.

Los elementos de actuación comprenden en particular elementos accionables o actuadores, como por ejemplo un microespejo de una disposición de microespejos con una articulación correspondiente. El elemento de actuación puede ajustarse o regularse en particular en al menos una dimensión, por ejemplo puede desplazarse en una dirección, inclinarse sobre un eje y/o girar sobre un eje. En este sentido, cada dimensión de ajuste disponible constituye un grado de libertad del elemento de actuación. Entonces, una posición del elemento de actuación queda definida por ejemplo de manera unívoca cuando para cada grado de libertad se conoce un valor en una escala de ajuste.

Los elementos de actuación pueden ajustarse en particular por medio de la unidad de regulación. La unidad de regulación también puede denominarse control de motor. La unidad de regulación genera, por ejemplo, para cada elemento de actuación del sistema de control una señal de regulación. Siempre que el elemento de actuación presente varios grados de libertad, para cada grado de libertad puede estar prevista una señal de regulación independiente. En función de la señal de regulación, el elemento de actuación cambia su ajuste, en particular su posición. Por ejemplo, el elemento de actuación presenta una posición dependiente de la intensidad de corriente, proporcionándose la intensidad de corriente en particular por una fuente de corriente en función de un factor de utilización. Entonces, la unidad de regulación puede generar en particular el factor de utilización como señal de regulación. Un sistema de control puede presentar en particular varias unidades de regulación. Preferiblemente una unidad de regulación respectiva está dispuesta en el o en los elementos de actuación que van a regularse.

Al menos un elemento de actuación del sistema de control presenta un elemento de medición asociado, que está configurado para adquirir datos de medición de elemento de actuación del elemento de actuación. Un elemento de medición también puede denominarse, por ejemplo, codificador, transductor o transmisor. El elemento de medición adquiere los datos de medición de elemento de actuación por ejemplo en función de una posición del elemento de actuación con respecto a un grado de libertad determinado. Un elemento de medición de este tipo también puede denominarse sensor de posición, presentando el sensor de posición por ejemplo una resolución espacial en el rango de los nm. Los datos de medición de elemento de actuación representan en particular un ajuste o posición real del elemento de actuación. Por tanto, los datos de medición de elemento de actuación de la unidad de regulación se proporcionan como valores de entrada para la regulación.

Los datos de medición de elemento de actuación pueden generarse como señal analógica o digital por el elemento de medición. El elemento de medición genera los datos de medición de elemento de actuación, por ejemplo, con una frecuencia de reloj de 10 kHz. Siempre que los datos de medición de elemento de actuación se generen como señal analógica, por ejemplo, puede convertirse mediante un convertidor analógico-digital en una señal digital, situándose una frecuencia de muestreo, por ejemplo, en 100 kHz.

También puede estar previsto que un único elemento de medición esté asociado a una pluralidad de elementos de actuación. Entonces el elemento de medición puede estar configurado para generar datos de medición de elemento de actuación para cada elemento de actuación asociado y emitirlos como una señal independiente.

La unidad de supervisión de estado está configurada para supervisar el estado del sistema de control en función de los datos de medición de elemento de actuación. La unidad de supervisión de estado puede estar implementada en hardware y/o software. En una implementación en hardware, la unidad de supervisión de estado puede estar configurada por ejemplo como ordenador o como microprocesador. En una implementación en software, la unidad de supervisión de estado puede estar configurada como producto de programa informático, como función, como rutina, como parte de un código de programa o como objeto ejecutable. La unidad de supervisión de estado puede ser total o parcialmente parte del sistema integrado, es decir, del nivel más bajo del sistema de control.

Por estado del sistema de control puede entenderse un estado global, como un estado general del sistema de control, pero también un estado de un único elemento de actuación o de varios elementos de actuación. El estado puede representarse, por ejemplo, como parámetro, conjunto de parámetros, escalar, vector, tensor, campo escalar, campo vectorial y/o campo tensorial. El estado puede comprender además un estado actual y/o un estado futuro. Un estado respectivo también puede comprender o considerar estados pasados.

El estado comprende, en particular, variables derivadas de los datos de medición de elemento de actuación. Un ejemplo de ello es la distancia total recorrida por un actuador desde que el actuador se puso en funcionamiento. Además los datos de medición de elemento de actuación también pueden utilizarse para inferir influencias ambientales, como por ejemplo vibraciones excitadas o una temperatura.

Por supervisión del estado se entiende en particular que la unidad de supervisión de estado determina un estado respectivo del sistema de control. Por determinar se entiende en particular que la unidad de supervisión de estado procesa los datos de medición de elemento de actuación, por ejemplo, los almacena, analiza y/o realiza cálculos en función de los datos de medición de elemento de actuación. En particular, los datos de medición de elemento de actuación pueden utilizarse como variable de entrada para modelos físicos y/o matemáticos, obteniéndose como variable de salida por ejemplo un valor de estimación y/o una variable de medición física. En particular, la unidad de supervisión de estado está configurada para proporcionar las variables de salida obtenidas de este modo a una unidad adicional y/o almacenarlas.

Además, por supervisión puede entenderse que la unidad de supervisión de estado compara el estado determinado con un estado esperado y/o con un estado predeterminado, por ejemplo, un valor límite. En función de la comparación, en particular, puede estar previsto que la unidad de supervisión de estado genere y emita una alarma o una indicación.

Preferiblemente la unidad de supervisión de estado está configurada para la supervisión del estado en función de la señal de regulación generada por la unidad de regulación. En particular, la unidad de supervisión de estado puede acoplar o correlacionar entre sí la señal de regulación para el elemento de actuación y los datos de medición de elemento de actuación adquiridos por el elemento de medición asociado. A partir de los datos correlacionados de este modo, de manera particularmente sencilla, puede reconocerse si el elemento de actuación trabaja según una especificación o curva característica original. Esto permite reconocer signos de desgaste en una fase temprana y, por tanto, predecir y/o planificar mejor las medidas de mantenimiento necesarias en un futuro.

El estado del sistema de control propuesto puede supervisarse en particular sin sensores adicionales y sólo en función de los datos de medición de elemento de actuación, por lo que puede reducirse la complejidad del sistema de control y, por tanto, el sistema de control puede construirse de manera más sencilla, con lo que puede ahorrarse en costes. Además, el sistema de control propuesto tiene la ventaja de que la supervisión de estado se produce basándose en los datos de medición de elemento de actuación originales, antes de producirse una reducción de datos.

La unidad de supervisión de estado comprende una primera unidad de procesamiento para generar datos de estado preprocesados en función de los datos de medición de elemento de actuación adquiridos y de un modelo físico y/o un modelo matemático del elemento de actuación, o en función de los datos de medición de elemento de actuación adquiridos, de un modelo físico y/o un modelo matemático del elemento de actuación y de la señal de regulación generada, y comprende una segunda unidad de procesamiento para determinar el estado del sistema de control en función de los datos de estado preprocesados. En particular, la primera unidad de procesamiento forma parte del sistema integrado y, por tanto, está dispuesta en el nivel más bajo del sistema de control. Así, la primera unidad de procesamiento está sujeta a requisitos posiblemente elevados con respecto a espacio necesario, consumo de energía, calor residual y/o inmisiones adicionales. La segunda unidad de procesamiento está dispuesta preferiblemente en un nivel más alto del sistema de control, para el cual no se aplican los mismos requisitos estrictos. Al dividir de este modo la unidad de supervisión de estado puede conseguirse, por un lado, que todos los datos brutos para la supervisión de estado estén disponibles o puedan utilizarse, pero, por otro lado, que las evaluaciones intensas desde el punto de vista computacional puedan realizarse posteriormente fuera del sistema integrado.

La mayor cantidad de datos brutos se genera durante el funcionamiento en curso del sistema de control en el nivel más bajo, en el sistema integrado, porque aquí, por ejemplo, están dispuestos los elementos de actuación, los elementos de medición y la unidad de regulación. En particular, la cantidad de datos brutos, que se genera por unidad de tiempo, es decir, la tasa de transmisión de datos brutos, es tan alta que no puede transmitirse completamente del sistema integrado a sistemas externos debido a las condiciones técnicas límite. Las condiciones técnicas límite son los requisitos, en parte elevados, que se aplican al sistema integrado. Esto incluye, por ejemplo, que la transmisión de datos al exterior no es escalable a voluntad, ya que los transmisores/receptores y cables necesarios también deben cumplir requisitos correspondientemente altos. Por tanto, el ancho de banda disponible para la transmisión de datos puede ser limitado.

Por tanto, la primera unidad de procesamiento está configurada en particular para preprocesar los datos brutos, para reducir una cantidad de datos, que se transmitirá del sistema integrado a la segunda unidad de procesamiento. Por preprocesar se entiende, en particular, que la primera unidad de procesamiento recibe los datos de medición de elemento de actuación y/o la señal de regulación y, por ejemplo, realiza operaciones matemáticas sencillas como promedios, gradientes, sumas, comparaciones y/o multiplicaciones. Como resultado del preprocesamiento mediante la primera unidad de procesamiento, ésta genera datos de estado preprocesados. Los datos de estado preprocesados se transmiten, en particular, a la segunda unidad de procesamiento. Los datos de estado preprocesados presentan, en particular, una tasa de transmisión de datos que es claramente inferior a la tasa de transmisión de datos brutos, por ejemplo asciende a sólo el 10%, preferiblemente sólo el 1% de la misma.

La segunda unidad de procesamiento presenta preferiblemente una potencia de cálculo significativamente mayor, en particular una potencia de cálculo que no es crítica en cuanto al tiempo, en comparación con la primera unidad de procesamiento y está configurada para, en función de los datos de estado preprocesados, determinar el estado del sistema de control. Para ello, la segunda unidad de procesamiento puede estar configurada para almacenar los datos de estado preprocesados, analizarlos y/o realizar cálculos con los mismos. En particular, los datos de estado preprocesados pueden utilizarse como variable de entrada para modelos físicos y/o matemáticos, obteniéndose como variable de salida, por ejemplo, un valor de estimación y/o una variable de medición física. En particular, la segunda unidad de procesamiento está configurada para proporcionar las variables de salida obtenidas de este modo a una unidad adicional y/o almacenarlas.

En formas de realización, la segunda unidad de procesamiento puede estar configurada para controlar la primera unidad de procesamiento de tal modo que genere por ejemplo los datos de estado preprocesados de una manera diferente, por ejemplo, por medio de otro método de cálculo.

Según otra forma de realización del sistema de control, la primera unidad de procesamiento está configurada para adquirir los datos de medición de elemento de actuación adquiridos de manera continua, en particular de manera síncrona a la adquisición de los datos de medición de elemento de actuación mediante el elemento de medición, y procesarlos.

Esta forma de realización es ventajosa porque así se garantiza que puedan utilizarse todos los datos de medición de elemento de actuación para la supervisión de estado. Si los datos están disponibles como datos digitales, esto significa que cada bit, en particular el valor de cada bit, que se genera mediante el elemento de medición o un convertidor analógico-digital, se tiene en cuenta al generar los datos de estado preprocesados. Por adquisición de los datos de medición de elemento de actuación adquiridos mediante la primera unidad de procesamiento se entenderá la recepción de los datos de medición de elemento de actuación adquiridos. De manera continua se entenderá en particular en el sentido de que la adquisición de los datos de medición de elemento de actuación adquiridos mediante la primera unidad de procesamiento se produce sin una interrupción temporal mientras el elemento de medición adquiera los datos de medición de elemento de actuación. A este respecto, puede estar previsto que los datos de medición de elemento de actuación adquiridos se almacenen en parte temporalmente, antes de que se generen los datos de estado preprocesados.

Según otra forma de realización del sistema de control, la primera unidad de procesamiento está configurada para generar los datos de estado preprocesados en función de los datos de medición de elemento de actuación adquiridos en el funcionamiento en curso del sistema de control.

Esta forma de realización es ventajosa porque no es necesario un modo de funcionamiento especial, por ejemplo, un funcionamiento de prueba, para determinar y/o supervisar el estado del sistema de control. Por funcionamiento en curso se entiende, en particular, que el sistema de control se hace funcionar según un funcionamiento de regulación, para el que está previsto el sistema de control. Puede ser, en particular, un funcionamiento productivo.

En el caso de una instalación de litografía, el funcionamiento en curso es, por ejemplo, un funcionamiento de producción, adquiriéndose y procesándose en particular también durante una exposición los datos de medición de elemento de actuación y/o la señal de regulación. En este sentido, durante el funcionamiento, los datos de estado preprocesados se generan de manera permanente.

Preferiblemente también la segunda unidad de procesamiento está configurada para determinar el estado del sistema de control en función de los datos de estado preprocesados en el funcionamiento en curso.

Según otra forma de realización el sistema de control presenta una unidad de control para generar datos de control de elemento de actuación en función de un programa de funcionamiento realizado actualmente de una serie de programas de funcionamiento. La unidad de regulación está configurada para generar la señal de regulación en función de los datos de control de elemento de actuación, estando configurada la primera unidad de procesamiento para generar los datos de estado preprocesados en función del programa de funcionamiento realizado actualmente.

La unidad de control también puede denominarse control de posición. La unidad de control puede estar configurada como unidad independiente o también como parte de la unidad de regulación. Los datos de control de elemento de actuación comprenden en particular para cada elemento de actuación datos de posición teóricos individuales. La unidad de regulación recibe los datos de posición teóricos y los convierte en una señal de regulación correspondiente para un elemento de actuación respectivo.

Los programas de funcionamiento comprenden, en particular, un funcionamiento de regulación, un funcionamiento de prueba y/o también un funcionamiento de emergencia.

Un funcionamiento de prueba puede estar previsto, en particular, para someter el sistema de control a prueba. El funcionamiento de prueba puede ser particularmente útil para determinar el estado del sistema de control y/o de elementos de actuación individuales. El funcionamiento de prueba puede activarse, por ejemplo, de manera manual y/o automática, por ejemplo, a intervalos regulares. El funcionamiento de prueba puede realizarse, por ejemplo, en las pausas de producción. El funcionamiento de prueba también puede limitarse a determinadas zonas del sistema de control. Por ejemplo, un sistema de control comprende dos zonas, que se activan de manera alterna, porque una realiza, por ejemplo, un preprocesamiento y la otra un posprocesamiento, de modo que una zona espera en cada caso a la otra. Entonces, durante esta fase de inactividad de una de las zonas puede realizarse una prueba con esta zona.

La primera unidad de procesamiento genera los datos de estado preprocesados en función del programa de funcionamiento respectivo. Por ejemplo puede estar previsto que los datos de estado preprocesados en el funcionamiento en curso se generen según un primer procedimiento de preprocesamiento y durante un funcionamiento de prueba se generen según un segundo procedimiento de preprocesamiento. En particular puede estar previsto que en un programa de funcionamiento determinado los datos de estado preprocesados sean idénticos a los datos brutos. Por ejemplo la primera unidad de procesamiento comprende una memoria intermedia, en la que se almacenan los datos brutos de manera intermedia, hasta que se transmiten al exterior.

Según otra forma de realización del sistema de control, éste presenta un sensor ambiental para adquirir datos de sensor ambiental, estando configurada la primera unidad de procesamiento para generar los datos de estado preprocesados en función de los datos de sensor ambiental adquiridos.

Esta forma de realización es particularmente ventajosa para combinar la mayor cantidad posible de información con respecto al sistema de control para la supervisión del estado.

Los sensores ambientales pueden ser sensores de cualquier tipo, por ejemplo, sensores de temperatura, presión, gas, aceleración, radiación, corriente, tensión y/o caudal. Un sensor ambiental es, en particular, un sensor, cuyos datos adquiridos no se utilizan para la regulación de los elementos de actuación regulados mediante la unidad de regulación. Los datos de sensor ambiental adquiridos por el sensor ambiental pueden referirse a un elemento de actuación, un elemento de medición, una serie de varios elementos de actuación o medición y/o a elementos pasivos del sistema de control.

El tener en cuenta los datos de sensor ambiental adquiridos ya durante la generación de los datos de estado preprocesados puede ser particularmente ventajoso para mantener reducida la tasa de transmisión de datos de los datos de estado preprocesados. Por ejemplo, el método aplicado para el preprocesamiento puede seleccionarse en función de los datos de sensor ambiental adquiridos.

Los datos de sensor ambiental adquiridos pueden ser ventajosamente en sí mismos una parte de los datos de estado preprocesados, en particular también sin preprocesarse. En este sentido, los datos de sensor ambiental adquiridos pueden proporcionarse como datos brutos a la segunda unidad de procesamiento.

Según otra forma de realización del sistema de control, el elemento de medición está configurado para adquirir los datos de medición de elemento de actuación con una frecuencia de 1 kHz a 10 kHz, preferiblemente a 100 kHz, más preferiblemente a 1 MHz.

La frecuencia de adquisición del elemento de medición depende, en particular, de la finalidad del elemento de actuación asociado. En el caso de aplicaciones de alta velocidad resulta ventajosa una alta frecuencia, dando lugar una alta frecuencia de adquisición en particular a una alta tasa de transmisión de datos brutos.

Según otra forma de realización del sistema de control, la unidad de regulación está configurada para generar la señal de regulación con una frecuencia de 1 kHz a 10 kHz, preferiblemente a 100 kHz, más preferiblemente a 1 MHz.

La frecuencia de reloj de la señal de regulación depende, en particular, de la finalidad del elemento de actuación regulado con la misma. En aplicaciones de alta velocidad resulta ventajosa una alta frecuencia.

Preferiblemente una frecuencia de adquisición del elemento de medición es un orden de magnitud mayor que la frecuencia de reloj de la señal de regulación.

Según otra forma de realización del sistema de control, la primera unidad de procesamiento está configurada para generar los datos de estado preprocesados con una tasa de transmisión de datos que asciende, como mucho, al 10%, preferiblemente como mucho al 1% de una tasa de transmisión de datos de los datos de medición de elemento de actuación adquiridos, incluyéndose cada dato de medición de elemento de actuación adquirido en los datos de estado preprocesados.

Esta forma de realización permite ventajosamente que, incluso con una alta tasa de transmisión de datos de medición de elemento de actuación y un ancho de banda de transmisión limitado desde el sistema integrado, todos los datos de medición de elemento de actuación adquiridos se tengan en cuenta en la supervisión de estado. Así, la primera unidad de procesamiento está configurada para la reducción de la tasa de transmisión de datos, sin descartar datos. Preferiblemente, a partir de los datos de medición de elemento de actuación adquiridos, la primera unidad de procesamiento determina y/o calcula determinados datos derivados y los emite como datos de estado preprocesados.

En una forma de realización del sistema de control, la primera unidad de procesamiento está configurada para generar los datos de estado preprocesados en función de los datos de medición de elemento de actuación adquiridos y de un modelo físico del elemento de actuación respectivo de la pluralidad.

Un modelo físico comprende por ejemplo una descripción matemática de relaciones físicas y/o parámetros físicos. Un modelo sencillo es, por ejemplo, la descripción de un péndulo de resorte, que se describe mediante una masa, una constante de resorte y un término de amortiguación. Para diferentes elementos de actuación, en función del tipo de elemento de actuación respectivo, pueden utilizarse diferentes modelos físicos.

Este tipo de modelos físicos permiten ventajosamente determinar o derivar, a partir de una gran cantidad de datos, uno o varios valores característicos para un sistema respectivo que, en particular, pueden presentar una dimensión física o un significado físico. Además, el modelo físico puede comprender métodos estadísticos, de modo que, por ejemplo, a partir de distribuciones de valores puedan determinarse momentos de estas distribuciones, por ejemplo, una desviación estándar, una varianza y similares.

Según otra forma de realización del sistema de control, el elemento de actuación comprende un actuador para ajustar una posición de un elemento, en particular un actuador de Lorentz, y el elemento de medición comprende un sensor de posición para detectar la posición del elemento, en particular un interferómetro y/o una cámara CCD.

Preferiblemente es posible ajustar una posición del elemento que, por ejemplo, es un elemento óptico, como un espejo o una lente, con una precisión de al menos 1 pm en una dirección lateral y con una precisión de al menos 10 prad en un sentido de giro. El sensor de posición está configurado preferiblemente para detectar la posición con al menos la misma precisión, preferiblemente con una precisión 10 veces mayor.

Cuanto mayor sea la precisión de ajuste de los elementos de actuación, mayor deberá ser la resolución de los elementos de medición, preferiblemente al menos igual de alta. Por posición se entenderá en el presente documento por ejemplo una inclinación, un giro o también un desplazamiento.

Por ejemplo, a partir de los datos de medición de elemento de actuación, siempre que presenten una resolución espacial y/o temporal lo suficientemente alta, puede inferirse una temperatura actual del elemento de actuación respectivo.

Según otra forma de realización del sistema de control, la unidad de regulación y la unidad de supervisión de estado, en particular, la primera unidad de procesamiento, están integradas en un SoC (System-on-Chip, sistema en chip) y/o en una FPGA (Field-programmable-gate-array, disposición de puertas programables en campo), estando dispuestos preferiblemente el SoC o la FPGA en el nivel más bajo del sistema de control.

El nivel más bajo del sistema de control corresponde al sistema integrado. Los SoC o las FPGA tienen la ventaja de que pueden presentar una alta densidad de integración, un consumo de energía comparativamente bajo y, así, un calor residual reducido, y aun así presentan una alta potencia de cálculo mediante una programación específica.

Según otra forma de realización del sistema de control, la segunda unidad de procesamiento está dispuesta en un nivel más alto con respecto al nivel más bajo del sistema de control, estando configurada la primera unidad de procesamiento para transmitir los datos de estado preprocesados a la segunda unidad de procesamiento por medio de una conexión de datos.

Esta forma de realización presenta la ventaja de que la segunda unidad de procesamiento tiene que cumplir con requisitos significativamente más bajos con respecto a la necesidad de espacio y/o un consumo de energía en comparación con la primera unidad de procesamiento. Por ejemplo, el nivel más alto está dispuesto por fuera de un vacío. Entonces, los componentes electrónicos pueden refrigerarse con aire, algo particularmente sencillo.

La conexión de datos es preferiblemente una línea de datos protegida frente a las interferencias por campos electromagnéticos. Puede comprender, por ejemplo, una conexión eléctrica, como un cable de par trenzado o un cable coaxial. La conexión de datos está configurada preferiblemente para la transmisión en serie de los datos, aunque también pueden utilizarse protocolos de transmisión en paralelo.

Además la segunda unidad de procesamiento puede presentar una gran memoria de datos asociada. Una gran memoria de datos de este tipo comprende, por ejemplo, al menos 100 GB de espacio de almacenamiento, preferiblemente al menos 1 TB. Preferiblemente el espacio de almacenamiento es tan grande que en éste pueden almacenarse los datos de estado preprocesados de una fase de producción completa. Entonces, éstos pueden analizarse por ejemplo también a posteriori.

Según otra forma de realización del sistema de control, la segunda unidad de procesamiento está configurada para analizar los datos de estado preprocesados por medio de un algoritmo de aprendizaje por máquina y/o métodos de evaluación estadísticos.

Esta forma de realización es particularmente ventajosa cuando deben reconocerse correlaciones complejas en una pluralidad de datos. Por ejemplo, de este modo, puede reconocerse correlaciones entre diferentes elementos de actuación, datos de medición de elemento de actuación y/o datos de sensor ambiental, que pueden tenerse en cuenta para el funcionamiento adicional. En particular también pueden reconocerse puntos débiles del sistema de control y pueden mejorarse en caso necesario. Un análisis espectral de datos de posición temporales puede proporcionar, por ejemplo, indicaciones con respecto a frecuencias de resonancia y/o excitaciones, que después pueden adaptarse o evitarse para mejorar la precisión.

Según otra forma de realización del sistema de control, la unidad de supervisión de estado está configurada para, en función del estado supervisado o de los datos de estado preprocesados, determinar un estado futuro del sistema de control, en particular un estado de avería o un estado de un sistema óptico, que requiere un mantenimiento.

Por ejemplo, la unidad de supervisión de estado está configurada para realizar un denominado predictive maintenance analysis (análisis de mantenimiento predictivo), basándose en los datos de estado preprocesados. A este respecto, basándose en los datos adquiridos, en particular los datos de medición de elemento de actuación, se hace una predicción sobre futuras averías. Así, es posible planificar mejor un mantenimiento necesario, en particular integrarlo en el funcionamiento en curso. Además, las piezas de repuesto necesarias pueden adquirirse de forma selectiva y a tiempo. Con este método puede reducirse significativamente un riesgo financiero derivado de un fallo de funcionamiento repentino. Debido a la pluralidad de datos disponibles para la supervisión de estado en el sistema de control propuesto puede determinarse significativamente con mayor precisión el estado del sistema de control en conjunto, el estado de elementos de actuación individuales individualmente y/o componentes que comprenden una pluralidad de elementos de actuación, en comparación con el uso de exclusivamente sensores ambientales. Además, los datos de medición de elemento de actuación siempre están actualizados y así describen un estado real actual, pudiendo derivarse de una progresión temporal de los estados reales, por ejemplo, una curva de desgaste, que puede dar información sobre un estado de desgaste y así, por ejemplo, sobre la duración restante hasta que se produzca un fallo.

En formas de realización la unidad de supervisión de estado está configurada además para, en función del estado futuro determinado, realizar una acción predeterminada.

Preferiblemente la unidad de supervisión de estado emite una indicación correspondiente o un aviso, cuando se supera o no se alcanza un valor límite determinado con respecto a un estado futuro determinado.

La unidad de supervisión de estado también puede estar configurada para proporcionar el estado determinado, en particular el estado futuro determinado, y/o una variable derivada del mismo, por ejemplo a la unidad de regulación y/o una regulación de posición. Entonces ésta puede estar configurada para, en función de los datos recibidos por la unidad de supervisión de estado, adaptar una característica de regulación. Puede denominarse, por ejemplo, regulación adaptativa al estado. En particular, la regulación de los elementos accionables puede producirse de tal modo que, si es posible, en un futuro se eviten determinadas posiciones de un servomotor.

Según un segundo aspecto de la presente invención se propone un sistema óptico, en particular una instalación de litografía, con un sistema de control según el primer aspecto.

En este sentido, el sistema de control comprende en particular al menos un elemento de actuación para controlar un elemento óptico controlable. Disposiciones de microespejos o disposiciones de microlentes son ejemplos de un elemento óptico controlable.

Según un tercer aspecto se propone un procedimiento para hacer funcionar un sistema de control según el primer aspecto o un sistema óptico según el segundo aspecto. En una primera etapa de procedimiento se adquieren datos de medición de elemento de actuación. En una segunda etapa de procedimiento se genera una señal de regulación en función de los datos de medición de elemento de actuación adquiridos. En una tercera etapa de procedimiento se supervisa el estado del sistema de control o del sistema óptico en función de los datos de medición de elemento de actuación adquiridos. Esto comprende que se generen datos de estado preprocesados en función de los datos de medición de elemento de actuación adquiridos y de un modelo físico y/o un modelo matemático del elemento de actuación, o en función de los datos de medición de elemento de actuación adquiridos, de un modelo físico y/o un modelo matemático del elemento de actuación y de la señal de regulación generada y que se determine el estado del sistema de control o del sistema óptico en función de los datos de estado preprocesados.

Este procedimiento puede realizarse de manera particularmente ventajosa con el sistema de control según el primer aspecto o una de las formas de realización así como con el sistema óptico según el segundo aspecto.

El procedimiento puede comprender otras etapas de procedimiento opcionales. En particular puede estar previsto que se generen datos de estado preprocesados en función de los datos de medición de elemento de actuación adquiridos por medio de una primera unidad de procesamiento, que a continuación se comuniquen los datos de estado preprocesados a través de una conexión de comunicación a una segunda unidad de procesamiento, determinando la segunda unidad de procesamiento un estado del sistema de control en función de los datos de estado preprocesados.

Según una forma de realización del procedimiento, éste comprende además un mantenimiento del sistema óptico en función del estado supervisado.

En el presente documento, “un/una” no deben entenderse necesariamente como limitados a exactamente un elemento. También puede haber varios elementos, como dos, tres o más. Asimismo, cualquier otra palabra contable utilizada aquí no debe entenderse como una limitación del número de elementos exactamente a ese número. Más bien, son posibles desviaciones numéricas hacia arriba y hacia abajo, a menos que se indique lo contrario.

Las formas de realización y características descritas para el sistema de control son válidas de manera correspondiente para el procedimiento propuesto, y viceversa.

Otras posibles implementaciones de la invención también comprenden combinaciones de características o formas de realización descritas anteriormente o a continuación con respecto a los ejemplos de realización que no se mencionan explícitamente. A este respecto, el experto en la materia también añadirá aspectos individuales como mejoras o adiciones a la respectiva forma básica de la invención.

Las configuraciones y los aspectos adicionales ventajosos de la invención son el objeto de las reivindicaciones dependientes así como de los ejemplos de realización de la invención, descritos a continuación. A continuación se explicará la invención en más detalle mediante formas de realización preferidas con referencia a las figuras adjuntas.

La figura 1 muestra un diagrama de bloques esquemático de una primera forma de realización de un sistema de control;

la figura 2 muestra un diagrama de bloques esquemático de otra forma de realización de un sistema de control;

la figura 3 muestra una vista esquemática de una primera forma de realización de un sistema óptico, que está configurado como instalación de litografía EUV;

la figura 4 muestra una vista esquemática de una segunda forma de realización de un sistema óptico, que está configurado como una instalación de litografía DUV;

la figura 5 muestra un diagrama de bloques esquemático de un ejemplo de realización de un procedimiento para hacer funcionar un sistema de control; y

la figura 6 muestra un diagrama de bloques esquemático de una forma de realización de una unidad de supervisión de estado.

En las figuras, los elementos idénticos o funcionalmente idénticos llevan los mismos números de referencia, salvo indicación contraria. También hay que señalar que las representaciones de las figuras no están necesariamente a escala.

La figura 1 muestra un diagrama de bloques esquemático de un primer ejemplo de realización de un sistema de control 10. El sistema de control 10 está configurado, por ejemplo, como instalación de automatización, en particular instalación de litografía. La instalación de automatización 10 comprende varios elementos de actuación 12, por ejemplo, herramientas, brazos de herramienta, articulaciones, motores y similares. En la figura 1, por razones de claridad, sólo se muestran seis elementos de actuación 12, de los cuales sólo dos están dotados de números de referencia. Los elementos de actuación 12 pueden regularse en particular mediante una unidad de regulación 20, que está configurada como circuito integrado, en particular un SoC que comprende un procesador multinúcleo, una memoria principal, memoria flash así como, opcionalmente, una o varias FPGA así como convertidores A/D. Por regular se entiende en particular que la unidad de regulación 20 controla un elemento de actuación 12 respectivo por medio de una señal de regulación 13. La señal de regulación 13 puede ser, por ejemplo, una señal de corriente o también una señal de tensión. La señal de regulación 13 hace, en particular, que el elemento de actuación 12 cambie una posición actual según la señal de regulación 13, por ejemplo que se mueva a otra posición. Aunque en la figura 1 la señal de regulación 13 esté representada como una línea o una conducción, la señal de regulación 13 es individual para cada elemento de actuación 12. Siempre que uno de los elementos de actuación 12 presente varios ejes o grados de libertad regulables, la señal de regulación 13 comprende para cada eje o para cada grado de libertad una señal de regulación 13 correspondiente. En función del elemento de actuación 12, la señal de regulación 13 también puede proporcionarse como señal de datos digital.

En la figura 1 los elementos de actuación 12 presentan unos elementos de medición 14 asociados. Un elemento de medición 14 respectivo está configurado para adquirir datos de medición de elemento de actuación 15.

Los datos de medición de elemento de actuación 15 comprenden, por ejemplo, una posición actual del elemento de actuación 12 asociado. Como se representa a la derecha en la figura 1, un único elemento de medición 14 también puede estar configurado para adquirir datos de medición de elemento de actuación 15 de varios elementos de actuación 12. Un elemento de medición 14 puede estar configurado, por ejemplo, como dispositivo de medición óptico o dispositivo de medición eléctrico. En particular puede determinarse ópticamente una distancia y, así, una posición con mucha precisión, por ejemplo en el rango de los nm. Los elementos de medición 14 pueden estar configurados para emitir los datos de medición de elemento de actuación 15 como flujo de datos digital o también como señal de tensión o corriente analógica.

Los datos de medición de elemento de actuación 15 se adquieren y proporcionan por el elemento de medición 14 respectivo, en particular a la unidad de regulación 20, que utiliza los datos de medición de elemento de actuación para regular los elementos de actuación 12. Para ello, la unidad de regulación 20 compara, por ejemplo, una posición teórica predeterminada de un elemento de actuación 12 respectivo con la posición real del elemento de actuación 12, que puede derivarse de los datos de medición de elemento de actuación 15. Siempre que la posición teórica y la posición real no coincidan, la unidad de regulación 20 emite una señal de regulación 13 correspondiente, tras lo cual el elemento de actuación 12 regulado de este modo adapta su posición.

La instalación de automatización 10 presenta además una unidad de supervisión de estado 30. La unidad de supervisión de estado 30 está configurada en particular como circuito integrado, en particular un SoC que comprende un procesador multinúcleo, una memoria principal, memoria flash así como, opcionalmente, una o varias FPGA así como convertidores A/D. La unidad de supervisión de estado, a diferencia de la representación de la figura 1 puede estar integrada en un circuito integrado junto con la unidad de regulación 20. La unidad de supervisión de estado 30 está configurada para recibir los datos de medición de elemento de actuación 15 adquiridos y, a partir de los mismos, determinar un estado de la instalación de automatización 10. Un estado de la instalación de automatización 10 comprende un estado global, un estado general así como un estado de elementos de actuación 12 individuales. El estado comprende por ejemplo una posición real actual de cada elemento de actuación 12. El estado comprende preferiblemente también variables derivadas o acumuladas durante un tiempo de funcionamiento determinado, como por ejemplo una pluralidad de controles de un elemento de actuación 12, una cantidad total de desviaciones realizadas, como una distancia recorrida, de un elemento de actuación 12 y/o también una distribución de permanencia en una determinada posición, acumulada con respecto a un grado de libertad de movimiento.

Por ejemplo la unidad de supervisión de estado 30 presenta una memoria (no representada), que está configurada para almacenar una pluralidad de estados determinados anteriormente, en particular los anteriores al estado determinado actualmente. Entonces, la unidad de supervisión de estado 30 puede adquirir por ejemplo un cambio del estado de la instalación de automatización 10. Ventajosamente la unidad de supervisión de estado 30 está configurada para determinar el estado de la instalación de automatización 10 en función de la señal de regulación 13. Para ello, en particular puede vincular o correlacionar la señal de regulación 13 para un elemento de actuación 12 determinado con los datos de medición de elemento de actuación 15 adquiridos del elemento de actuación 12 correspondiente. A partir de los datos vinculados de este modo puede determinarse de manera particularmente sencilla si, por ejemplo, el elemento de actuación 12 reacciona a la señal de regulación 13 de la manera deseada y prevista. En caso contrario, esto indica, por ejemplo, que el elemento de actuación 12 presenta signos de desgaste y que posiblemente debe sustituirse pronto.

La figura 2 muestra un diagrama de bloques esquemático de otra forma de realización de un sistema de control 10, que en este caso, por ejemplo, es un sistema óptico, en particular una herramienta de verificación o herramienta de prueba para comprobar estructuras fabricadas mediante litografía. En este ejemplo de realización, el sistema 10 óptico comprende una zona central, que se denomina sistema 11 integrado. Este sistema 11 integrado se caracteriza en este caso porque todos los componentes correspondientes, que se enumerarán a continuación, están dispuestos en una carcasa de vacío (no representada).

Debido a esta disposición, existen condiciones técnicas límite en el diseño de estos componentes. La refrigeración del sistema 11 integrado o de sus componentes es especialmente problemática, ya que no se dispone de gas como medio de refrigeración. Por tanto, el calor generado, por ejemplo, por los componentes electrónicos debe disiparse a través de un puente térmico sólido y/o a través de un sistema cerrado de refrigeración por líquido, algo complejo desde el punto de vista técnico, porque el espacio de instalación en un sistema 10 óptico de este tipo es muy limitado. Además la refrigeración por líquido genera vibraciones que pueden transmitirse al sistema óptico, lo que puede llevar a pérdidas de resolución no deseadas. Por tanto, es ventajoso generar el menor calor posible en el sistema 11 integrado. Esto puede conseguirse, sobre todo, mediante una reducción del consumo de energía de los componentes electrónicos. Así, por ejemplo, se limita al alza la capacidad de cálculo disponible en el sistema integrado. Un aumento de la capacidad de cálculo puede conseguirse sobre todo mediante un aumento de la eficiencia, por ejemplo, la potencia de cálculo por vatio, de los componentes electrónicos utilizados. Por otro lado, es deseable adquirir y procesar la mayor cantidad posible de datos de funcionamiento del sistema 11 integrado, por ejemplo para la supervisión de estado.

Debido a la pluralidad de datos brutos adquiridos en el sistema 11 integrado se obtiene una alta tasa de transmisión de datos que, debido a las limitaciones descritas, no puede transmitirse fácilmente fuera del sistema 11 integrado.

El sistema 11 integrado comprende en particular una unidad de regulación 20 así como una pluralidad de elementos de actuación 12, de los cuales sólo uno está dotado de un número de referencia. La unidad de regulación 20 está configurada para generar una señal de regulación 13 para regular los elementos de actuación 12. Los elementos de actuación 12 presentan además unos elementos de medición 14 asociados, que están configurados para adquirir datos de medición de elemento de actuación 15. Los datos de medición de elemento de actuación 15 sirven en particular para regular los elementos de actuación 12 mediante la unidad de regulación 20. El sistema 11 integrado presenta además un sensor ambiental 16, que está configurado para adquirir y emitir datos de sensor ambiental 17. El sensor ambiental 16 está diseñado, por ejemplo, como sensor de temperatura y aceleración. El sensor ambiental 16 puede presentar, en particular, una pluralidad de detectores térmicos (no representados) para adquirir una temperatura local en varias posiciones dentro del sistema 11 integrado. El sensor de aceleración está dispuesto preferiblemente en una carcasa (no representada) que, por ejemplo, también se denomina Force Frame, y detecta sus vibraciones. Otros sensores de aceleración pueden estar dispuestos, por ejemplo, en una suspensión de elementos ópticos (no representada), en particular disposiciones de espejos o lentes, y detectar sus vibraciones.

Al sistema 11 integrado pertenece en este ejemplo además una primera unidad de procesamiento 32. La primera unidad de procesamiento 32 está configurada para recibir los datos de medición de elemento de actuación 15 adquiridos y procesarlos según una rutina de preprocesamiento. El resultado de este preprocesamiento son datos de estado 33 preprocesados. La primera unidad de procesamiento 32 recibe además los datos de sensor ambiental 17 adquiridos por el sensor ambiental 16 y los tiene en cuenta en la generación de los datos de estado 33 preprocesados. Los datos de estado 33 generados preprocesados los transmite la primera unidad de procesamiento 32 a una segunda unidad de procesamiento 34, que está dispuesta fuera del sistema 11 integrado. La primera unidad de procesamiento 32 y la segunda unidad de procesamiento 34 forman en conjunto una unidad de supervisión de estado 30.

La primera unidad de procesamiento 32 está configurada en particular para procesar los datos de medición de elemento de actuación 15 adquiridos, de tal modo que la tasa de transmisión de datos de los datos de estado 33 preprocesados se reduzca significativamente con respecto a la tasa de transmisión de datos de medición de elemento de actuación, por ejemplo ascienda al 10% de la misma, y aun así, se tengan en cuenta todos los datos adquiridos. Esto puede producirse, por ejemplo, mediante un promediado (media móvil). A este respecto, la primera unidad de procesamiento 32 también tiene en cuenta los datos de sensor ambiental 17. En particular, los datos de sensor ambiental 17 también pueden formar parte de los datos de estado 33 preprocesados como datos brutos.

La segunda unidad de procesamiento 34 fuera del sistema 11 integrado presenta una potencia de cálculo significativamente mayor con respecto a la primera unidad de procesamiento 32, por lo que, por ejemplo, por medio de métodos complicados a partir de los datos de estado 33 preprocesados puede determinar un estado del sistema 10 óptico. Preferiblemente la segunda unidad de procesamiento 34 presenta además un dispositivo de almacenamiento asociado (no representado) para almacenar datos de estado.

Basándose en los estados determinados, en particular puede hacerse un pronóstico, sobre cuándo fallarán por desgaste elementos individuales, en particular los elementos de actuación 12, del sistema 10 óptico. Por tanto, la reparación o el mantenimiento del sistema 10 óptico pueden planificarse en una fase temprana y, así, integrarse mejor en el funcionamiento productivo del sistema 10 óptico, por lo que pueden evitarse paradas imprevistas de la producción.

La figura 3 muestra una vista esquemática de un sistema 100 óptico que, en este caso, está configurado como instalación de litografía EUV. La instalación de litografía EUV 100 comprende un sistema de conformación del haz y de iluminación 102 y un sistema de proyección 104. A este respecto, EUV significa “ultravioleta extremo” (en inglés: extreme ultra-violet, EUV) y designa una longitud de onda de luz de trabajo entre 0,1 nm y 30 nm. El sistema de conformación del haz y de iluminación 102 y el sistema de proyección 104 están dispuestos en cada caso en una carcasa de vacío no mostrada, evacuándose cada carcasa de vacío mediante un dispositivo de evacuación no representado. Las carcasas de vacío están rodeadas por una sala de máquinas no representada, en la que se prevén los dispositivos de accionamiento para el desplazamiento o ajuste mecánico de los elementos ópticos. Además en esta sala de máquinas también pueden estar previstos controles eléctricos y similares.

La instalación de litografía EUV 100 presenta una fuente de luz EUV 106A. Como fuente de luz EUV 106A puede estar prevista, por ejemplo, una fuente de plasma (o un sincrotrón), que emite radiación 108A en el rango EUV (rango ultravioleta extremo), es decir, por ejemplo, en el rango de longitud de onda de 5 nm a 20 nm. En el sistema de conformación del haz y de iluminación 102 se enfoca la radiación EUV 108A y la longitud de onda de funcionamiento deseada se filtra a partir de la radiación EUV 108A. La radiación EUV 108A generada por la fuente de luz EUV 106A presenta una transmisividad relativamente baja a través del aire, por lo que los espacios de guiado del haz en el sistema de conformación del haz y de iluminación 102 y en el sistema de proyección 104 están evacuados.

El sistema de conformación del haz y de iluminación 102 representado en la figura 3 presenta cinco espejos 110, 112, 114, 116, 118. Después de pasar por el sistema de conformación del haz y de iluminación 102, la radiación EUV 108A se dirige hacia una fotomáscara (en inglés: reticle) 120. La fotomáscara 120 también está configurada como elemento óptico reflectante y puede estar dispuesta fuera de los sistemas 102, 104. Además, la radiación EUV 108A puede desviarse por medio de un espejo 122 hacia la fotomáscara 120. La fotomáscara 120 presenta una estructura que, por medio del sistema de proyección 104, se visualiza en tamaño reducido sobre una oblea 124 o similar.

El sistema de proyección 104 está dispuesto con una unidad de regulación 20 y una primera unidad de procesamiento 32 en la carcasa de vacío y con ésta forma un sistema 11 integrado. El sistema de proyección 104 (también denominado lente de proyección) presenta cinco espejos M1 a M5 y una disposición de microespejos M6 para visualizar la fotomáscara 120 sobre la oblea 124. A este respecto, los espejos M1 a M5 individuales del sistema de proyección 104 pueden estar dispuestos simétricamente a un eje 126 óptico del sistema de proyección 104. Cabe señalar que el número de espejos M1 a M5 de la instalación de litografía EUV 100 no está limitado al número representado. También pueden estar previstos más o menos espejos M1 a M5. Además, generalmente los espejos M1 a M5 están curvados en su lado anterior para la conformación del haz. La disposición de microespejos M6 comprende por ejemplo 300 microespejos individuales. Cada microespejo presenta dos grados de libertad, dados por una inclinación sobre dos ejes ortogonales entre sí y que pueden ajustarse individualmente mediante un actuador asociado. En este sentido, cada microespejo constituye un elemento de actuación 12 con dos grados de libertad. En la figura 3, por motivos de claridad, sólo se representan siete microespejos 12, de los cuales sólo uno está dotado de un número de referencia. Mediante la disposición de microespejos M6 es posible adaptar el curso de la radiación EUV 108A, en particular pueden compensarse por ejemplo variaciones del frente de onda y, así, puede conseguirse una resolución mejorada de la fotomáscara 120 sobre la oblea 124.

Una unidad de control 40 dispuesta fuera del sistema de proyección 104 está configurada para controlar los microespejos 12, al generar datos de control de elemento de actuación 42, que se emiten y transmiten a la unidad de regulación 20. Los datos de control de elemento de actuación 42 comprenden en particular una posición teórica para cada uno de los microespejos 12.

Los microespejos 12 se regulan por la unidad de regulación 20 por medio de una señal de regulación 13. La señal de regulación 13 presenta por ejemplo una frecuencia de reloj de 10 kHz. Los elementos de medición 14 asociados a los microespejos 12 individuales presentan, por ejemplo, una frecuencia de reloj de salida de 10 kHz, es decir, la posición de un microespejo 12 respectivo se detecta con 10 kHz y se emite como datos de medición de elemento de actuación 15. Los datos de medición de elemento de actuación 15 presentan, por ejemplo, un contenido de información de, en cada caso, 32 bits. Esto da como resultado una tasa de transmisión de datos de los datos de medición de elemento de actuación 15 de, por ejemplo, 192 Mb/s o 24 MB/s. No obstante, por las condiciones técnicas límite, como se describe por ejemplo mediante la figura 1, una conexión de datos para transmitir datos desde o hacia el sistema 11 integrado puede estar limitada a, por ejemplo, 4 MB/s. Además, una frecuencia de reloj de la transmisión de datos puede ser diferente de una frecuencia de reloj de los elementos de medición 14, de la unidad de regulación 20 y/o de la primera unidad de procesamiento 32 de una unidad de supervisión de estado 30 (véase, por ejemplo, la figura 2). Así, para poder utilizar los datos de medición de elemento de actuación 15 adquiridos en conjunto para una supervisión de estado fuera del sistema 11 integrado, la tasa de transmisión de datos deberá reducirse significativamente. Esto se consigue mediante un preprocesamiento de los datos de medición de elemento de actuación 15 mediante la primera unidad de procesamiento 32 que, en función de los datos de medición de elemento de actuación 15 adquiridos, genera datos de estado 33 preprocesados. Como en particular se transmitirán datos de control de un control externo (no representado) para regular los microespejos 12 y, opcionalmente, otros elementos regulables al sistema 11 integrado, no está disponible todo el ancho de banda para la transmisión de los datos de estado 33 preprocesados.

Por tanto, la primera unidad de procesamiento 32 está configurada para recibir los datos de medición de elemento de actuación 15 adquiridos con una tasa de transmisión de datos de 24 MB/s y generar datos de estado 33 preprocesados con una tasa de transmisión de datos de, como mucho, 2,4 MB/s. Como la supervisión de estado, como se describe en este caso, es relativamente poco crítica, puede llevarse a cabo con menor prioridad en cuanto al tiempo, de modo que, por ejemplo, preferiblemente se transmitan y/o calculen datos de control críticos en cuanto al tiempo, en particular los datos de control de elemento de actuación 42. Para ello, los datos de estado 33 preprocesados pueden almacenarse temporalmente durante un breve espacio de tiempo, para transmitirse en un momento, en el que se disponga de un mayor ancho de banda para la transmisión de datos.

La segunda unidad de procesamiento 34 recibe los datos de estado 33 preprocesados y, en función de éstos, determina un estado de la instalación de litografía EUV 100, en particular de los microespejos 12 de la disposición de microespejos M6. Al utilizar los datos de medición de elemento de actuación 15 adquiridos como base para la supervisión de estado, puede ahorrarse en sensores ambientales 16 adicionales (véase, por ejemplo, la figura 2). De este modo, alternativamente el estado de la instalación de litografía EUV 100 puede supervisarse significativamente con mayor precisión en relación con los sensores ambientales 16.

En este ejemplo de realización la disposición de microespejos M6 con los microespejos 12 y los elementos de medición 14 asociados, la unidad de regulación 20, la primera unidad de procesamiento 32, la segunda unidad de procesamiento 34 y la unidad de control 40 forman un sistema de control 10.

La figura 4 muestra una vista esquemática de una segunda forma de realización de un sistema 100 óptico, que está configurado como instalación de litografía DUV. La instalación de litografía DUV 100 comprende un sistema de conformación del haz y de iluminación 102 y un sistema de proyección 104. A este respecto, DUV significa “ultravioleta profundo” (en inglés: deep ultra-violet, DUV) y designa una longitud de onda de la luz de trabajo entre 30 nm y 250 nm. El sistema de conformación del haz y de iluminación 102 y el sistema de proyección 104, como ya se ha descrito con respecto a la figura 3, pueden estar dispuestos en una carcasa de vacío y/o estar rodeados por una sala de máquinas con dispositivos de accionamiento correspondientes.

La instalación de litografía DUV 100B presenta una fuente de luz DUV 106B. Como fuente de luz DUV 106B puede estar previsto, por ejemplo, un láser excimer ArF, que emite radiación 108B en el rango DUV a, por ejemplo, 193 nm.

El sistema de conformación del haz y de iluminación 102 representado en la figura 4 conduce la radiación DUV 108B hacia una fotomáscara 120. La fotomáscara 120 está configurada como elemento óptico transmisivo y puede estar dispuesta fuera de los sistemas 102, 104. La fotomáscara 120 presenta una estructura que, por medio del sistema de proyección 104, se visualiza en tamaño reducido sobre una oblea 124 o similar.

El sistema de proyección 104 presenta varias lentes 128 y/o espejos 130 para visualizar la fotomáscara 120 sobre la oblea 124. A este respecto, las lentes 128 y/o los espejos 130 individuales del sistema de proyección 104 pueden estar dispuestos de manera simétrica a un eje 126 óptico del sistema de proyección 104. Cabe señalar que el número de lentes 128 y espejos 130 de la instalación de litografía DUV 100 no está limitado al número representado. También pueden estar previstas más o menos lentes 128 y/o estar previstos más o menos espejos 130. Además los espejos 130 suelen estar curvados en su lado anterior para la conformación del haz.

El espacio de aire entre la última lente 128 y la oblea 124 puede sustituirse por un medio 132 líquido, que presenta un índice de refracción > 1. El medio 132 líquido puede ser, por ejemplo, agua de alta pureza. Esta configuración también se denomina litografía de inmersión y presenta una mayor resolución fotolitográfica. El medio 132 también puede denominarse líquido de inmersión.

El sistema de proyección 104 está dispuesto con una unidad de regulación 20 y una primera unidad de procesamiento 32 en una carcasa de vacío y con éstas forma un sistema 11 integrado. El sistema de proyección 104 presenta en particular una disposición de microlentes L1, que presenta una pluralidad de microlentes 12 accionables, y junto con la lógica de control 20, 32, 34 forma un sistema de control 10. Un elemento de medición 14 asociado registra una posición de cada microlente 12 de la disposición de microlentes L1 y se proporciona a la unidad de regulación 20 en forma de datos de medición de elemento de actuación 15, que en función de los mismos genera y emite una señal de regulación 13 para regular las microlentes 12.

En el presente caso, la primera unidad de procesamiento 32 está dispuesta con la unidad de regulación 20 en una placa, en particular puede estar previsto que la unidad de regulación 20 y la primera unidad de procesamiento 32 compartan determinados recursos. La primera unidad de procesamiento 32 genera en función de los datos de medición de elemento de actuación 15 adquiridos y de la señal de regulación 13 datos de medición 33 preprocesados, que se transmiten a una segunda unidad de procesamiento 34 situada fuera de la carcasa de vacío. Como la primera unidad de procesamiento 32 tiene en cuenta la señal de regulación 13, por ejemplo, pueden registrarse signos de desgaste y la tasa de transmisión de datos de los datos de estado preprocesados puede mantenerse reducida. Por ejemplo la dependencia de una posición de una microlente 12 de una corriente, con la que se controla el actuador de la microlente 12, puede determinarse o supervisarse de manera continua mediante la primera unidad de procesamiento 32. Siempre que la dependencia determinada corresponda a una dependencia definida determinada, el actuador funciona correctamente. Puede estar previsto que en este caso no se generen datos de estado 33 preprocesados. Siempre que se determine una desviación de la dependencia predeterminada y/o un cambio en el tiempo de la dependencia, puede estar previsto generar y emitir datos de estado preprocesados correspondientes. Así, con un procedimiento de este tipo se determina implícitamente que un estado del sistema 100 óptico o del sistema de control 10 está bien o funciona correctamente cuando no se generan ni emiten datos de estado 33 preprocesados.

La figura 5 muestra un diagrama de bloques esquemático de un procedimiento para hacer funcionar un sistema de control 10, por ejemplo de la figura 1 o 2 o también de un sistema 100 óptico, como se representa en las figuras 3 o 4.

En una primera etapa de procedimiento S1 mediante los elementos de medición 14 asociados a los elementos de actuación 12 se adquieren datos de medición de elemento de actuación 15. Los datos de medición de elemento de actuación 15 comprenden en particular datos de sensor de posición, que caracterizan una posición del elemento de actuación 12 respectivo. Los datos de medición de elemento de actuación 15 adquiridos se proporcionan o transmiten en particular a una unidad de regulación 20 y una unidad de supervisión de estado 30.

En una segunda etapa de procedimiento S2 la unidad de regulación 20 genera una señal de regulación 13 para regular los elementos de actuación 12 en función de los datos de medición de elemento de actuación 15. De este modo se garantiza, por ejemplo, que los elementos de actuación 12 respectivos se encuentran en una posición teórica deseada. Así, en función de la precisión y velocidad de la regulación pueden compensarse también influencias ambientales externas, como por ejemplo vibraciones, choques y/o turbulencias. En el caso de los sistemas ópticos también se habla de óptica adaptativa.

En una tercera etapa de procedimiento S3 la unidad de supervisión de estado 30 supervisa un estado del sistema de control 10 en función de los datos de medición de elemento de actuación 15 adquiridos. Por ejemplo la unidad de supervisión de estado 30 determina la distancia total recorrida por un elemento de actuación 12 durante un tiempo de funcionamiento del sistema de control 10. A partir de esta información puede estimarse en particular la esperanza de vida restante del elemento de actuación 12, y por tanto, puede planificarse mejor un mantenimiento del sistema de control 10.

Además de las etapas de procedimiento representadas, el procedimiento puede comprender muchas otras etapas, que por ejemplo se deducen de la descripción del sistema de control 10 de la figura 1 o 2 así como de la descripción del sistema óptico de la figura 3 o 4. En este sentido, los aspectos aquí descritos se considerarán etapas parciales de las etapas de procedimiento aquí descritas y/o etapas adicionales del procedimiento.

La figura 6 muestra un diagrama de bloques esquemático de una forma de realización de una unidad de supervisión de estado 30. La unidad de supervisión de estado 30 puede utilizarse, por ejemplo, en el sistema de control 10 de la figura 1 o 2 o como parte del sistema de control 10 del sistema 100 óptico de la figura 3 o 4. La unidad de supervisión de estado 30 representada comprende una primera unidad de procesamiento 32 y una segunda unidad de procesamiento 34. Preferiblemente la primera unidad de procesamiento 32 está dispuesta en el sistema 11 integrado (véase la figura 2, 3 o 4), y la segunda unidad de procesamiento 34 está dispuesta fuera del sistema 11 integrado. Como se describe mediante las figuras 1 - 4, la unidad de procesamiento de estado 30 recibe datos de medición de elemento de actuación 15 de al menos un elemento de medición 14 (véanse las figuras 1 - 4), que está asociado a un elemento de actuación 12 (véanse las figuras 1 - 4) del sistema de control 10. Opcionalmente la unidad de procesamiento de estado 30 puede recibir además la señal de regulación 13 generada por una unidad de regulación 20 (véanse las figuras 1 - 4).

En este ejemplo la primera unidad de procesamiento 32 está configurada en particular para generar datos de estado 33 preprocesados en función de los datos de medición de elemento de actuación 15 adquiridos y de un modelo físico PM y/o modelo matemático MM del elemento de actuación 12 respectivo. Además, opcionalmente al generar los datos de estado 33 preprocesados puede tenerse en cuenta la señal de regulación 13. Un modelo físico PM comprende por ejemplo una descripción matemática de relaciones físicas y/o parámetros físicos. Un ejemplo de un modelo físico PM de este tipo para un elemento de actuación que, por ejemplo, está configurado como actuador magnético, es una relación entre una corriente de bobina y un campo magnético generado por la misma así como un cambio de posición del actuador producido por el campo magnético generado, teniendo en cuenta por ejemplo también efectos térmicos. Un ejemplo de un modelo matemático MM es la formación de un promedio, pudiendo tratarse en particular de una media ponderada y/o una media móvil. Para diferentes elementos de actuación 12, en función del tipo de elemento de actuación 12 respectivo, pueden utilizarse diferentes modelos físicos PM y/o modelos matemáticos MM.

Este tipo de modelos físicos PM y/o modelos matemáticos MM permiten ventajosamente determinar o derivar uno o varios valores característicos a partir de una gran cantidad de datos para un sistema respectivo que, en particular, pueden presentar una dimensión física o un significado físico. Además, el modelo físico PM y/o el modelo matemático MM pueden comprender métodos estadísticos, de modo que, por ejemplo, a partir de distribuciones de valores puedan determinarse momentos de estas distribuciones, por ejemplo, una desviación estándar, una varianza y similares. Aunque la presente invención se ha descrito mediante ejemplos de realización, puede modificarse de muchas maneras. En particular, el concepto descrito de la supervisión de estado puede aplicarse a diversos sistemas de control. La ventaja particular es que los datos adquiridos por los elementos de medición se utilizan directamente, en particular completamente, para la supervisión de estado, mientras que en los sistemas de control convencionales estos datos sólo se utilizan para la regulación. Por tanto, para la supervisión de estado estos sistemas convencionales requieren sensores ambientales. De este modo, el estado del sistema de control según la invención puede supervisarse con una precisión significativamente mayor y también sin utilizar sensores ambientales.

Lista de símbolos de referencia

10 sistema de control

11 sistema integrado

12 elemento de actuación

13 señal de regulación

14 elemento de medición

15 datos de medición de elemento de actuación

16 sensor ambiental

17 datos de sensor ambiental

20 unidad de regulación

30 unidad de supervisión de estado

32 primera unidad de procesamiento

33 datos de estado preprocesados

34 segunda unidad de procesamiento

40 unidad de control

42 datos de control de elemento de actuación

100 sistema óptico

102 sistema de conformación del haz y de iluminación

104 sistema de proyección

106A fuente de luz EUV

106B fuente de luz DUV

108A radiación EUV

108B radiación DUV

110 espejo

112 espejo

114 espejo

116 espejo

118 espejo

120 fotomáscara

122 espejo

124 oblea

126 eje óptico

128 lente

130 espejo

132 medio

L1 disposición de microlentes

M1 espejo

M2 espejo

M3 espejo

M4 espejo

M5 espejo

M6 disposición de microespejos

MM modelo matemático

PM modelo físico

51 etapa de procedimiento

52 etapa de procedimiento

53 etapa de procedimiento

Claims

REIVINDICACIONES

1. Sistema de control (10), en particular para un sistema (100) óptico, que presenta:

un elemento de actuación (12),

un elemento de medición (14) para adquirir datos de medición de elemento de actuación (15) del elemento de actuación (12),

una unidad de regulación (20) para generar una señal de regulación (13) para regular el elemento de actuación (12) en función de los datos de medición de elemento de actuación (15) adquiridos, y

una unidad de supervisión de estado (30) para supervisar un estado del sistema de control (10) en función de los datos de medición de elemento de actuación (15) adquiridos, caracterizado por que la unidad de supervisión de estado (30) comprende:

una primera unidad de procesamiento (32) para generar datos de estado (33) preprocesados en función de (i) los datos de medición de elemento de actuación (15) adquiridos y de un modelo físico (PM) y/o un modelo matemático (MM) del elemento de actuación (12) o

(ii) los datos de medición de elemento de actuación (15) adquiridos, de un modelo físico (PM) y/o un modelo matemático (MM) del elemento de actuación (12) y de la señal de regulación (13) generada, y

una segunda unidad de procesamiento (34) para determinar el estado del sistema de control (10) en función de los datos de estado (33) preprocesados.

2. Sistema de control según la reivindicación 1, caracterizado por que la primera unidad de procesamiento (32) está configurada para adquirir los datos de medición de elemento de actuación (15) adquiridos de manera continua, en particular de manera síncrona a la adquisición de los datos de medición de elemento de actuación (15) mediante el elemento de medición (14), y procesarlos.

3. Sistema de control según la reivindicación 1 o 2, caracterizado por que la primera unidad de procesamiento (32) está configurada para generar los datos de estado (15) preprocesados en función de los datos de medición de elemento de actuación (15) adquiridos en el funcionamiento en curso del sistema de control (10).

4. Sistema de control según una de las reivindicaciones 1 a 3, que presenta además

una unidad de control (40) para generar datos de control de elemento de actuación (42) en función de un programa de funcionamiento realizado,

estando configurada la unidad de regulación (20) para generar la señal de regulación (13) en función de los datos de control de elemento de actuación (42), y

estando configurada la primera unidad de procesamiento (32) para generar los datos de estado (33) preprocesados en función del programa de funcionamiento realizado actualmente.

5. Sistema de control según una de las reivindicaciones 1 a 4, que presenta además un sensor ambiental (16) para adquirir datos de sensor ambiental (17),

estando configurada la primera unidad de procesamiento (32) para generar los datos de estado (33) preprocesados en función de los datos de sensor ambiental (17) adquiridos.

6. Sistema de control según una de las reivindicaciones 1 a 5, estando configurado el elemento de medición (14) para adquirir los datos de medición de elemento de actuación (15) con una frecuencia de 1 kHz a 10 kHz, preferiblemente a 100 kHz, más preferiblemente a 1 MHz.

7. Sistema de control según una de las reivindicaciones 1 a 6, estando configurada la unidad de regulación (20) para generar la señal de regulación (13) con una frecuencia de 1 kHz a 10 kHz, preferiblemente a 100 kHz, más preferiblemente a 1 MHz.

8. Sistema de control según una de las reivindicaciones 1 a 7, estando configurada la primera unidad de procesamiento (32) para generar los datos de estado (15) preprocesados con una tasa de transmisión de datos que, como mucho, asciende al 10%, preferiblemente como mucho al 1% de una tasa de transmisión de datos de los datos de medición de elemento de actuación (15) adquiridos, incluyéndose cada dato de medición de elemento de actuación adquirido en los datos de estado (33) preprocesados.

9. Sistema de control según una de las reivindicaciones 1 a 8, comprendiendo el elemento de actuación (12) un actuador para ajustar una posición de un elemento, en particular un actuador de Lorentz, y comprendiendo el elemento de medición (14) un sensor de posición para detectar la posición del elemento, en particular un interferómetro y/o cámara CCD.

10. Sistema de control según una de las reivindicaciones 1 a 9, estando configurada la unidad de supervisión de estado (30) para, en función del estado supervisado o los datos de estado (33) preprocesados, determinar un estado futuro del sistema de control (10), en particular un estado de avería o un estado de un sistema óptico, que requiere un mantenimiento.

11. Sistema (100) óptico, en particular instalación de litografía, con un sistema de control (10) según una de las reivindicaciones 1 a 10.

12. Procedimiento para hacer funcionar un sistema de control (10), en particular según una de las reivindicaciones 1 a 10, o un sistema (100) óptico, en particular según la reivindicación 11, con las etapas de:

a) adquirir datos de medición de elemento de actuación (15) de un elemento de actuación (12),

b) generar una señal de regulación (13) en función de los datos de medición de elemento de actuación (15) adquiridos, y

c) supervisar un estado del sistema de control (10) o del sistema (100) óptico en función de los datos de medición de elemento de actuación (15), caracterizado por que se generan datos de estado preprocesados en función de (i) los datos de medición de elemento de actuación (15) adquiridos y de un modelo físico (PM) y/o un modelo matemático (MM) del elemento de actuación (12) o

(ii) los datos de medición de elemento de actuación (15) adquiridos, de un modelo físico (PM) y/o un modelo matemático (MM) del elemento de actuación (12) y de la señal de regulación (13) generada

y se determina el estado del sistema de control (10) o del sistema (100) óptico en función de los datos de estado (33) preprocesados.

13. Procedimiento según la reivindicación 12, realizándose un mantenimiento del sistema (100) óptico en función del estado supervisado.