ES2688803T3 - Analizador de superficie de onda y procedimiento para determinar las diferencias de pistón y de tilt entre varios haces luminosos - Google Patents

Analizador de superficie de onda y procedimiento para determinar las diferencias de pistón y de tilt entre varios haces luminosos Download PDF

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Abstract

Analizador de superficie de onda por interferencia, que comprende: - una entrada óptica (10), destinada a recibir una radiación luminosa 5 que tiene una superficie de onda inicial (S0) que se extiende a través de dicha entrada óptica; - un divisor de radiación, dispuesto para producir, a partir de haces luminosos (F1, F2) que provienen respectivamente de zonas reducidas en el interior de la entrada óptica (10), al menos dos sub-haces (F'1, F"1, F'2, F"2) para cada haz luminoso, reproduciendo cada sub-haz unas características de la superficie de onda inicial (S0) existente en la zona reducida correspondiente; - unos caminos ópticos, dispuestos para superponer dos sub-haces (F"1, F'2) que proceden respectivamente de dos zonas reducidas diferentes en el interior de la entrada óptica (10) y que pasan, cada uno, por un camino óptico diferente; - al menos un detector de imagen (13), dispuesto para adquirir unas figuras de interferencia que son producidas por los sub-haces (F"1, F'2) superpuestos; - un módulo de tratamiento (14), adaptado para determinar, a partir de las figuras de interferencia, las diferencias de pistón (p) y de tilt (i) existentes para la superficie de onda inicial (S0) entre las zonas reducidas de las que provienen los sub-haces superpuestos; y - una máscara (11) adaptada para seleccionar, por medio de aberturas de dicha máscara, unas zonas de interés (ZI) disjuntas en el interior de la entrada óptica (10) como zonas reducidas, ocultando al menos en parte la superficie de onda inicial (S0) fuera de dichas zonas de interés u ocultando al menos en parte unos haces luminosos que no provienen de dichas zonas de interés, de manera que unas porciones (P) separadas del detector de imagen (13) están dedicadas respectivamente a unos pares de zonas de interés que son vecinas en el interior de la entrada óptica, caracterizado por que la máscara (11) y el divisor de radiación se forman juntos mediante un modulador espacial de intensidad.

Description

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