ES2500415T3 - Procedimiento para formar motivos eléctricamente conductores sobre un sustrato aislante, y dispositivo obtenido - Google Patents

Procedimiento para formar motivos eléctricamente conductores sobre un sustrato aislante, y dispositivo obtenido Download PDF

Info

Publication number
ES2500415T3
ES2500415T3 ES06709342.7T ES06709342T ES2500415T3 ES 2500415 T3 ES2500415 T3 ES 2500415T3 ES 06709342 T ES06709342 T ES 06709342T ES 2500415 T3 ES2500415 T3 ES 2500415T3
Authority
ES
Spain
Prior art keywords
electrically conductive
motifs
conductive material
model
material layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
ES06709342.7T
Other languages
English (en)
Inventor
Christian Desagulier
Alain Lacombe
Bruno Esmiller
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Airbus Defence and Space SAS
Original Assignee
Astrium SAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Astrium SAS filed Critical Astrium SAS
Application granted granted Critical
Publication of ES2500415T3 publication Critical patent/ES2500415T3/es
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/06Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process
    • H05K3/061Etching masks
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01QANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
    • H01Q1/00Details of, or arrangements associated with, antennas
    • H01Q1/36Structural form of radiating elements, e.g. cone, spiral, umbrella; Particular materials used therewith
    • H01Q1/38Structural form of radiating elements, e.g. cone, spiral, umbrella; Particular materials used therewith formed by a conductive layer on an insulating support
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0284Details of three-dimensional rigid printed circuit boards
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/09Shape and layout
    • H05K2201/09009Substrate related
    • H05K2201/09018Rigid curved substrate
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/01Tools for processing; Objects used during processing
    • H05K2203/0104Tools for processing; Objects used during processing for patterning or coating
    • H05K2203/013Inkjet printing, e.g. for printing insulating material or resist
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49128Assembling formed circuit to base
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49155Manufacturing circuit on or in base
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49155Manufacturing circuit on or in base
    • Y10T29/49156Manufacturing circuit on or in base with selective destruction of conductive paths
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49117Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49155Manufacturing circuit on or in base
    • Y10T29/49165Manufacturing circuit on or in base by forming conductive walled aperture in base

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)

Abstract

Procedimiento que permite realizar motivos eléctricamente conductores (7) sobre una superficie (6) de un sustrato eléctricamente aislante (5), procedimiento según el cual: - se recubre uniformemente dicha superficie (6) con una capa de un material eléctricamente conductor (9); - sobre dicha capa de material eléctricamente conductor (9), se forma, por proyección 5de un chorro de material protector polimerizable bajo la acción de radiaciones, un modelo (10) de dichos motivos eléctricamente conductores (7), estando dotado dicho modelo (10) de aberturas (10.8) correspondientes a dichas porciones de dicha capa de material eléctricamente conductor (9) que se han de eliminar; - se procede a la eliminación selectiva de las porciones de dicha capa de material eléctricamente conductor (9) que no corresponden a zonas que deban formar dichos motivos (7), a través de dichas aberturas (10.8) del modelo (10) rigidizado, quedando protegidas por dicho modelo (10) rigidizado, durante dicha eliminación selectiva, las zonas de dicha capa de material eléctricamente conductor (9) correspondientes a dichos motivos (7), caracterizado porque, para la formación y la rigidización de dicho modelo (10) sobre dicha capa de material eléctricamente conductor (9), se utiliza un cabezal móvil de impresión por chorro y una fuente móvil de radiaciones de polimerización a los cuales se desplaza de manera solidaria con relación a dicha capa de material eléctricamente conductor (9) para cubrir todas las zonas de la misma que deban formar dichos motivos eléctricamente conductores (7), realizándose así la polimerización del material protector constitutivo de dicho modelo (10) a la par de la formación del mismo sobre dicha capa de material eléctricamente conductor (9).

Description

5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55 E06709342
09-09-2014
DESCRIPCIÓN
Procedimiento para formar motivos eléctricamente conductores sobre un sustrato aislante, y dispositivo obtenido
La presente invención se refiere a un procedimiento para la realización de motivos eléctricamente conductores sobre una superficie de un sustrato aislante.
Esta es particularmente indicada, aunque no exclusivamente, para la realización, sobre una superficie al menos aproximadamente en forma de paraboloide, de hiperboloide, etc., de una rejilla de polarización (antena de reutilización de frecuencia) o de una serie de motivos resonantes (antenas dicroicas). La invención se refiere también a los dispositivos que incluyen un sustrato de este tipo cuya dicha superficie no desarrollable es portadora de dichos motivos eléctricamente conductores, realizados de acuerdo con el procedimiento.
Sabido es que, para realizar un circuito impreso sobre una cara plana de un sustrato eléctricamente aislante, se empieza por recubrir uniformemente dicha superficie con una capa de un metal, tal como el cobre o el aluminio, tras lo cual esta propia capa metálica se recubre uniformemente con un producto fotosensible. A continuación, se expone el producto fotosensible a un haz luminoso, a través de una máscara correspondiente al circuito impreso que ha de obtenerse. Tal exposición hace resistentes químicamente las partes del producto fotosensible que se encuentran en la vertical de las partes de la capa metálica que debe formar el circuito impreso, de modo que un apropiado ataque químico permite seguidamente eliminar selectivamente las porciones del producto fotosensible que no se han hecho químicamente resistentes mediante la exposición, así como las porciones de capa metálica que se encuentran bajo las mismas.
Como consecuencia de dicho ataque químico, se obtiene, pues, el circuito impreso deseado.
En caso de que se desease aplicar este procedimiento a la realización de circuitos impresos sobre una superficie ya no plana, sino no desarrollable de tres dimensiones, se toparía con dificultades a la hora de aplicar la máscara sobre dicha superficie. En efecto, por evidentes motivos de comodidad de realización y de precisión, tal máscara es plana. Así pues, habría que o bien trocear dicha máscara en piezas de reducidas áreas y aplicar dichas piezas, yuxtaponiéndolas, sobre dicha superficie no desarrollable, o bien realizar dicha máscara en un material flexible con posibilidad de ser aplicado sobre aquella por deformación. En los dos casos, el circuito impreso obtenido sería poco preciso, tanto en lo que respecta a la forma como a la posición de los motivos que lo componen.
Se apreciará además que si, como variante, se realiza dicho circuito impreso sobre un sustrato auxiliar plano destinado a ser aplicado con posterioridad sobre la superficie no desarrollable, se topa con las mismas dificultades que las anteriormente mencionadas a propósito de las máscaras.
Para subsanar estos inconvenientes y permitir realizar circuitos impresos precisos, directamente sobre superficies de tres dimensiones no desarrollables, se puede poner en práctica el procedimiento descrito en los documentos US4738746; EP-0241331 y FR-2596230. En este procedimiento, al igual que en el anteriormente apuntado, se empieza por recubrir uniformemente dicha superficie, entonces no desarrollable de tres dimensiones, con una capa de un material eléctricamente conductor, la cual a su vez se recubre con una capa de un material protector. Tras la formación de dichas capas de material conductor y de material protector, se traza mecánicamente sobre las mismas el contorno de dichos motivos por medio de una herramienta ahuecadora de surcos cuya profundidad es al menos igual al espesor de dicha capa protectora, y luego se somete dichas capas a la acción de un agente químico susceptible de atacar selectivamente dicho material eléctricamente conductor, sin atacar dicho material protector, prosiguiéndose esta operación de ataque durante un tiempo suficiente para que se elimine dicho material eléctricamente conductor en todo su espesor en la vertical de dichos surcos, tras lo cual, por desprendimiento, se separan del sustrato las partes de dicha capa de material eléctricamente conductor exteriores a dichos motivos.
Así, merced a este último procedimiento, se pueden realizar directamente motivos eléctricamente conductores sobre superficies no desarrollables de tres dimensiones sin recurrir a una máscara o un sustrato auxiliar con los cuales, por otro lado, técnicamente sería difícil obtener motivos tan precisos, tanto en su forma como en su posición sobre dichas superficies.
En tal procedimiento anterior, para el trazado de los contornos de dichos motivos eléctricamente conductores, se utiliza una herramienta dotada de al menos una punta de grabado o de al menos una hoja cortante, montándose dicha herramienta en una máquina (por ejemplo de control numérico y con cinco ejes de rotación) encargada de desplazarla con relación a la superficie no desarrollable.
Se pueden realizar así, de manera sencilla y precisa, dispositivos de superficie no desarrollable portadores de motivos eléctricamente conductores. Por ejemplo, la puesta en práctica de este procedimiento conocido permite la realización de reflectores de rejilla de gran calidad, aptos para trabajar en la banda Ku (de 11 a 18 GHz) y formados a partir de al menos una red de hilos conductores paralelos, teniendo estos hilos conductores una anchura de 0,25 mm, un espesor de 35 micrómetros y estando repartidos con un paso de 1 mm en una superficie al menos aproximadamente en forma de paraboloide, cuyo diámetro de apertura puede llegar a 2300 mm.
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50 E06709342
09-09-2014
Sin embargo, este procedimiento anterior presenta límites de índole técnica y económica. Por ejemplo, si en lugar de un reflector de rejilla destinado a trabajar en la banda Ku, tal reflector se desea realizar destinado a la banda Ka (de 20 a 30 GHz), la anchura, el espesor y el paso de distribución de los hilos conductores pasan a quedar más pequeños (por ejemplo, respectivamente, 0,125 mm, 18 micrómetros y 0,5 mm) y de ello se derivan dificultades debidas a la menor anchura y al menor espesor de los hilos conductores y de las zonas entre hilos:
-
los parámetros de trazado de los motivos conductores (presión y disposición de las puntas o de las hojas de grabado) y los parámetros de ataque químico (duración) se hacen más sensibles, de modo que resultan defectos geométricos y una fragilización de los hilos conductores en el desprendimiento;
-
en el trazado de los hilos conductores, los efectos de bordes se hacen significativos, al repujar las puntas o las hojas, a modo de reja de arado, el material conductor de reducido espesor y al disminuir la adherencia de los hilos conductores sobre el sustrato; y
-
las zonas entre hilos son frágiles y, por lo tanto, son susceptibles de romperse en el desprendimiento.
Como consecuencia de ello, se tiene que vigilar que la herramienta ejerza siempre un trazado perfecto y se debe ralentizar el desarrollo del procedimiento, lo cual incrementa los costes de fabricación de tal reflector.
Por otro lado, ya es conocido, por el documento WO 2004/026977, un procedimiento que permite realizar motivos eléctricamente conductores sobre una superficie de un sustrato eléctricamente aislante, procedimiento según el cual:
-se recubre uniformemente dicha superficie con una capa de un material eléctricamente conductor;
-sobre dicha capa de material eléctricamente conductor, se forma, por proyección de un chorro de material protector polimerizable bajo la acción de radiaciones, un modelo de dichos motivos eléctricamente conductores, estando dotado dicho modelo de aberturas correspondientes a dichas porciones de dicha capa de material eléctricamente conductor que se han de eliminar; y
-se procede a la eliminación selectiva de las porciones de dicha capa de material eléctricamente conductor que no corresponden a zonas que deban formar dichos motivos, a través de dichas aberturas del modelo rigidizado, quedando protegidas por dicho modelo rigidizado, durante dicha eliminación selectiva, las zonas de dicha capa de material eléctricamente conductor correspondientes a dichos motivos.
Así, tal procedimiento conocido se asemeja, en lo que a la formación de dicho modelo se refiere, a la impresión por chorro de tinta, de modo que, en la realización de dichos motivos eléctricamente conductores, se elude cualquier contacto mecánico con la capa de material eléctricamente conductor, lo cual permite evitar los inconvenientes anteriormente mencionados referentes al procedimiento conforme al documento US-4738746.
No obstante, para poder ser proyectado, dicho material protector polimerizable debe ser relativamente fluido, de modo que, una vez proyectado sobre dicha capa de material eléctricamente conductor, tiene tendencia a escurrir y a extenderse sobre esta última, en perjuicio de la precisión de dicho modelo y, por tanto, de la de dichos motivos eléctricamente conductores.
La presente invención tiene por objeto subsanar estos inconvenientes.
A tal fin, de acuerdo con la invención, el procedimiento por proyección de material protector polimerizable anteriormente apuntado es notable por el hecho de que, para la formación y la rigidización de dicho modelo sobre dicha capa de material eléctricamente conductor, se utiliza un cabezal móvil de impresión por chorro y una fuente móvil de radiaciones de polimerización a los cuales se desplaza de manera solidaria con relación a dicha capa de material eléctricamente conductor para cubrir todas las zonas de la misma que deban formar dichos motivos eléctricamente conductores, realizándose así la polimerización del material protector constitutivo de dicho modelo a la par de la formación del mismo sobre dicha capa de material eléctricamente conductor.
Así, dicho modelo es rigidizado a la par de su formación sobre el sustrato, de modo que puede ser realizado con una gran precisión.
Preferentemente, dicho material protector es del tipo polimerizable mediante un haz de radiaciones ultravioletas. A título de ejemplo, tal material protector puede ser una resina que contiene fotoiniciadores que reticulan con las radiaciones UV, por ejemplo la conocida comercialmente con el nombre de FUNJET o de SERICOL.
Para el desplazamiento solidario de dicho cabezal de impresión y de dicha fuente de radiaciones, ventajosamente se puede utilizar una máquina semejante a la anteriormente mencionada, prevista para la puesta en práctica del anterior procedimiento del documento US-4738746.
Dicha eliminación selectiva de las porciones de dicha capa de material eléctricamente conductor que no corresponden a dichas zonas que deben formar dichos motivos se realiza con el concurso de un agente químico susceptible de atacar el material eléctricamente conductor, sin atacar dicho material protector.
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50 E06709342
09-09-2014
Preferentemente, dicho agente químico puede ser percloruro férrico, cuando dicha capa es de cobre.
Tras dicha eliminación selectiva de las porciones de dicha capa de material eléctricamente conductor que no corresponden a zonas que deben formar dichos motivos eléctricamente conductores, se puede, bien sea eliminar, o bien dejar que subsista dicho modelo que recubre dichos motivos eléctricamente conductores.
Por lo que antecede, se comprenderá fácilmente que la invención es particularmente ventajosa en su puesta en práctica para la realización de un dispositivo, tal como por ejemplo un reflector, que incluye un sustrato eléctricamente aislante portador de motivos eléctricamente conductores sobre una de sus superficies no desarrollable de tres dimensiones. En efecto, en tal caso, cualquiera que sea la disposición de dicho sustrato durante la proyección del modelo, unas partes de dicho sustrato se hallan inclinadas o verticales, lo cual favorecería el escurrimiento y la extensión del material proyectado, si el modelo no se solidificase desde su misma formación sobre dicha superficie.
Mediante las figuras del adjunto dibujo se entenderá perfectamente la manera en que se puede realizar la invención. En estas figuras, referencias idénticas indican elementos semejantes.
La figura 1 representa esquemáticamente un dispositivo de antena, cuyo reflector está dotado de motivos eléctricamente conductores realizados para la puesta en práctica del procedimiento conforme a la presente invención.
La figura 2 es una vista de frente esquemática ampliada de una parte del reflector de la figura 1, que ilustra la forma y la disposición de dichos motivos eléctricamente conductores.
Las figuras 3A a 3D ilustran esquemáticamente, en sección, unas etapas del procedimiento conforme a la presente invención, aplicado a la realización de los motivos eléctricamente conductores de las figuras 1 y 2.
En las figuras 2 y 3A a 3D, la superficie del reflector portadora de dichos motivos eléctricamente conductores, aun siendo cóncava y no desarrollable, se representa plana para la facilidad del dibujo.
En la figura 1, se ha representado esquemáticamente un dispositivo de antena 1 dotado de un reflector de antena 2 (representado en sección diametral), soportado por una superficie de apoyo 3, por mediación de un soporte 4.
El reflector 2 incluye un sustrato eléctricamente aislante 5 (por ejemplo, realizado en material compuesto), cuya superficie 6 opuesta al soporte 4 es cóncava y presenta una forma no desarrollable, por ejemplo la forma al menos aproximada de un paraboloide, de un hiperboloide, etc. Sobre esta superficie 6 no desarrollable de tres dimensiones, el reflector 2 es portador de motivos eléctricamente conductores, formados, en el ejemplo representado, por unos
conductores 7 paralelos entre sí y equidistantes. Cada conductor 7 presenta una sección rectangular de anchura l y de espesor e, y el paso de distribución de los conductores paralelos 7 se designa con p. Así, entre dos conductores 7 adyacentes, se establece una zona de separación 8, en forma de banda que tiene una anchura igual a p (véase asimismo la figura 2).
Para la realización del reflector 2 ilustrado esquemáticamente por las figuras 1 y 2, se empieza por recubrir uniformemente la superficie no desarrollable 6 del sustrato 5 mediante una capa 9 de un material eléctricamente conductor (véase la figura 3A) de espesor igual a e. Tal capa 9 puede, por ejemplo, ser depositada a vacío sobre la superficie 6 o ser sobrepuesta por pegado sobre esta última. Puede ser metálica y constituida, por ejemplo, por cobre o aluminio.
A continuación, con el concurso de un cabezal de proyección móvil, semejante a un cabezal de impresión por chorro de tinta, se forma, sobre la capa de material eléctricamente conductor 9, un modelo 10 de dichos conductores, con el concurso de un material protector polimerizable. Tal como muestra la figura 3B, este modelo 10 incluye, por una
parte, líneas de material protector 10.7, de anchura igual a l , en la vertical de las zonas de la capa conductora 9 que deben formar los conductores 7 y, por otra, entre dichas líneas 10.7, unas aberturas 10.8 correspondientes a porciones de la capa conductora 9 que han de eliminarse para formar las zonas de separación 8.
A la par de la deposición por proyección de las líneas 10.7 de la máscara 10 sobre la capa conductora 9, se polimeriza el material de dichas líneas 10.7, preferentemente con el concurso de un haz de radiaciones ultravioletas, con el fin de rigidizar dicha máscara 10 desde su misma formación. Para tal fin, se utiliza una fuente móvil de radiaciones de polimerización a la que se desplaza, de manera solidaria con dicho cabezal de proyección, con relación a la capa de material eléctricamente conductor 9.
Después de tal rigidización, se somete la capa conductora 9, a través de las aberturas 10.8, a la acción de un agente químico, aplicado, por ejemplo, por proyección o por inmersión.
Este agente químico ataca, entre las líneas 10.7, la capa de material eléctricamente conductor 9, sin atacar dichas líneas de material protector 10.7. El agente químico, que entonces elimina selectivamente la capa conductora 9, es por ejemplo percloruro férrico, cuando la capa 9 es de cobre.
E06709342
09-09-2014
La acción del agente químico sobre la capa conductora 9 se prosigue hasta que esta sea eliminada en todo su espesor en la vertical de las zonas de separación 8 (figura 3C). Consecuencia de ello es la formación de los conductores 7.
A continuación, se efectúa un enjuague sobre el conjunto del sustrato 5 y de dicha capa 9 parcialmente recortada.
5 Eventualmente, se procede además a la eliminación de la máscara 10 (líneas 10.7) que recubre los conductores 7 (figura 3D). Sin embargo, se puede elegir el material protector de la máscara 10 para que posea características que lo hagan compatible con el entorno (por ejemplo, espacial) en el que estará destinado a trabajar el reflector. Así pues, las líneas 10.7 de la máscara 10 pueden subsistir entonces sobre los conductores 7 y servir de protección para los mismos, por ejemplo contra la corrosión.
10 Por lo que antecede, se apreciará que el procedimiento conforme a la presente invención es:
-económico y rápido, en particular por el hecho de que la velocidad de impresión por chorro puede ser muy rápida (por ejemplo, 0,3 m/s) y de que se pueden utilizar simultáneamente varios cabezales de impresión;
-reversible, puesto que se puede corregir un error de programación de la máquina o una anomalía de impresión, pudiendo reanudarse la impresión tras la eliminación al menos parcial del material protector ya 15 proyectado, sin alteración del sustrato 5 ni de la capa conductora 9;
-robusto, puesto que obvia el corte mecánico de motivos muy finos; y
-versátil, puesto que permite la realización de motivos conductores con formas variadas.
A título de ejemplo, se comenta seguidamente que la puesta en práctica del procedimiento según la invención ha permitido fabricar un reflector tal como el representado en las figuras 1 y 2, con l = 0,125 mm, p = 0,5 mm y e = 18
20 micrómetros, siendo el diámetro D de la apertura de dicho reflector igual a 2300 mm.

Claims (9)

  1. 5
    10
    15
    20
    25
    30
    35
    40 E06709342
    09-09-2014
    REIVINDICACIONES
    1. Procedimiento que permite realizar motivos eléctricamente conductores (7) sobre una superficie (6) de un sustrato eléctricamente aislante (5), procedimiento según el cual:
    -se recubre uniformemente dicha superficie (6) con una capa de un material eléctricamente conductor (9);
    -sobre dicha capa de material eléctricamente conductor (9), se forma, por proyección de un chorro de material protector polimerizable bajo la acción de radiaciones, un modelo (10) de dichos motivos eléctricamente conductores (7), estando dotado dicho modelo (10) de aberturas (10.8) correspondientes a dichas porciones de dicha capa de material eléctricamente conductor (9) que se han de eliminar;
    -se procede a la eliminación selectiva de las porciones de dicha capa de material eléctricamente conductor
    (9) que no corresponden a zonas que deban formar dichos motivos (7), a través de dichas aberturas (10.8) del modelo (10) rigidizado, quedando protegidas por dicho modelo (10) rigidizado, durante dicha eliminación selectiva, las zonas de dicha capa de material eléctricamente conductor (9) correspondientes a dichos motivos (7),
    caracterizado porque, para la formación y la rigidización de dicho modelo (10) sobre dicha capa de material eléctricamente conductor (9), se utiliza un cabezal móvil de impresión por chorro y una fuente móvil de radiaciones de polimerización a los cuales se desplaza de manera solidaria con relación a dicha capa de material eléctricamente conductor (9) para cubrir todas las zonas de la misma que deban formar dichos motivos eléctricamente conductores (7), realizándose así la polimerización del material protector constitutivo de dicho modelo (10) a la par de la formación del mismo sobre dicha capa de material eléctricamente conductor (9).
  2. 2.
    Procedimiento según la reivindicación 1, caracterizado porque dicho material protector es polimerizable bajo la acción de radiaciones ultravioletas.
  3. 3.
    Procedimiento según la reivindicación 2, caracterizado porque dicho material protector es una resina que contiene fotoiniciadores que reticulan bajo la acción de radiaciones ultravioletas.
  4. 4.
    Procedimiento según una de las reivindicaciones 1 a 3, caracterizado porque dicha eliminación selectiva de las porciones de dicha capa de material eléctricamente conductor (9) que no corresponden a dichas zonas que deben formar dichos motivos (7) se realiza con el concurso de un agente químico susceptible de atacar el material eléctricamente conductor sin atacar dicho material protector.
  5. 5.
    Procedimiento según la reivindicación 4, caracterizado porque el agente químico que elimina dicha capa de material conductor (9) es percloruro férrico, cuando dicha capa (9) es de cobre.
  6. 6.
    Procedimiento según una de las reivindicaciones 1 a 5, caracterizado porque, tras dicha eliminación selectiva de las porciones de dicha capa de material eléctricamente conductor (9) que no corresponden a zonas que deben formar dichos motivos (7), se elimina dicho modelo (10) que recubre dichos motivos eléctricamente conductores (7).
  7. 7.
    Procedimiento según una de las reivindicaciones 1 a 5, caracterizado porque, tras dicha eliminación selectiva de las porciones de dicha capa de material eléctricamente conductor (9) que no corresponden a zonas que deben formar dichos motivos (7), se deja que subsista dicho modelo (10) que recubre dichos motivos eléctricamente conductores (7).
  8. 8.
    Dispositivo que incluye un sustrato eléctricamente aislante (5) portador de motivos eléctricamente conductores (7) sobre una de sus superficies (6), caracterizado porque dichos motivos eléctricamente conductores
    (7) están realizados mediante la puesta en práctica del procedimiento especificado bajo una de las reivindicaciones 1 a 7.
  9. 9. Dispositivo según la reivindicación 8, caracterizado porque dicha superficie (6) portadora de dichos motivos eléctricamente conductores (7) es no desarrollable de tres dimensiones.
    6
ES06709342.7T 2005-02-23 2006-02-20 Procedimiento para formar motivos eléctricamente conductores sobre un sustrato aislante, y dispositivo obtenido Active ES2500415T3 (es)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0501816 2005-02-23
FR0501816A FR2882491B1 (fr) 2005-02-23 2005-02-23 Procede pour former des motifs electriquement conducteurs sur une surface non developpable d'un substrat isolant, et dispositif obtenu
PCT/FR2006/000374 WO2006090051A1 (fr) 2005-02-23 2006-02-20 Procede pour former des motifs electriquement conducteurs sur un substrat isolant, et dispositif obtenu

Publications (1)

Publication Number Publication Date
ES2500415T3 true ES2500415T3 (es) 2014-09-30

Family

ID=35115933

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
ES06709342.7T Active ES2500415T3 (es) 2005-02-23 2006-02-20 Procedimiento para formar motivos eléctricamente conductores sobre un sustrato aislante, y dispositivo obtenido

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7726015B2 (es)
EP (1) EP1852003B1 (es)
ES (1) ES2500415T3 (es)
FR (1) FR2882491B1 (es)
WO (1) WO2006090051A1 (es)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9090456B2 (en) * 2009-11-16 2015-07-28 Qualcomm Mems Technologies, Inc. System and method of manufacturing an electromechanical device by printing raised conductive contours
TWI653785B (zh) * 2016-12-22 2019-03-11 日商京瓷股份有限公司 天線基板
US10516216B2 (en) 2018-01-12 2019-12-24 Eagle Technology, Llc Deployable reflector antenna system
US10707552B2 (en) 2018-08-21 2020-07-07 Eagle Technology, Llc Folded rib truss structure for reflector antenna with zero over stretch
CN112654180A (zh) * 2020-12-11 2021-04-13 杨同建 一种多层电路板制作方法与制作机器

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US17408A (en) * 1857-05-26 Stephen thueston
US3264402A (en) * 1962-09-24 1966-08-02 North American Aviation Inc Multilayer printed-wiring boards
US4383363A (en) * 1977-09-01 1983-05-17 Sharp Kabushiki Kaisha Method of making a through-hole connector
US4648179A (en) * 1983-06-30 1987-03-10 International Business Machines Corporation Process of making interconnection structure for semiconductor device
FR2596230B1 (fr) 1986-03-19 1988-07-08 Aerospatiale Procede pour la realisation de motifs electriquement conducteurs sur une surface non developpable d'un substrat isolant, outil pour la mise en oeuvre du procede et dispositif obtenu
US5595943A (en) * 1994-06-30 1997-01-21 Hitachi, Ltd. Method for formation of conductor using electroless plating
JP2736042B2 (ja) * 1995-12-12 1998-04-02 山一電機株式会社 回路基板
US6711802B2 (en) * 2000-07-10 2004-03-30 Hikari Tech Co., Ltd. Method of manufacturing multi-core ferrule
JP2003133727A (ja) * 2001-10-22 2003-05-09 Nec Toppan Circuit Solutions Inc 樹脂穴埋め基板の製造方法およびそれを用いた多層プリント配線板の製造方法
US6692094B1 (en) * 2002-07-23 2004-02-17 Eastman Kodak Company Apparatus and method of material deposition using compressed fluids
US20040101666A1 (en) * 2002-09-11 2004-05-27 Dai Nippon Prtg. Co., Ltd. Inspection contact sheet and method of fabricating the same
GB0221892D0 (en) * 2002-09-20 2002-10-30 Avecia Ltd Process

Also Published As

Publication number Publication date
EP1852003A1 (fr) 2007-11-07
EP1852003B1 (fr) 2014-06-25
FR2882491B1 (fr) 2009-04-24
US7726015B2 (en) 2010-06-01
FR2882491A1 (fr) 2006-08-25
US20080134501A1 (en) 2008-06-12
WO2006090051A1 (fr) 2006-08-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2500415T3 (es) Procedimiento para formar motivos eléctricamente conductores sobre un sustrato aislante, y dispositivo obtenido
ES2492541T3 (es) Método de fabricar vidrio reforzado
US10882221B2 (en) Peeling method of flexible substrate
CN103451598A (zh) 一种oled显示面板生产用新型精细金属掩膜版及制作方法
US4139409A (en) Laser engraved metal relief process
CN107709602B (zh) 制造蒸镀掩模、有机半导体元件和有机el显示器的方法、蒸镀掩模准备体、及蒸镀掩模
EP2824510B1 (en) Mask and method for forming the same
TW201803179A (zh) 中空電子顯示器
US7952208B2 (en) Substrate, manufacturing method thereof, method for manufacturing semiconductor device
JP6256000B2 (ja) 蒸着マスク装置の製造方法
ES2383874T3 (es) Procedimiento para la fabricación de un soporte de conexión
KR20180077075A (ko) 증착용 마스크, 그리고 그 설치 방법 및 제조 방법
KR970060360A (ko) 투영 마스크 제조방법
US5344729A (en) Conformal photomask for three-dimensional printed circuit board technology
CN207619515U (zh) 蒸镀用金属掩模
CN101873775A (zh) 具编织图纹的壳体及其制作方法
CN112267091B (zh) 制造蒸镀掩模、有机半导体元件和有机el显示器的方法、蒸镀掩模准备体、及蒸镀掩模
ES2347851T3 (es) Sistema para crear lineas finas usando tecnologia de chorro de tinta.
JP2005183153A (ja) 蒸着用マスクの製造方法
CN101490618A (zh) 用于使移动的基板上的薄膜图案化的方法及工具
CN108172126A (zh) 基板保护膜及其制作方法、基板及显示面板的制作方法
KR20160117449A (ko) 성막 마스크의 제조 방법 및 성막 마스크
KR20170019698A (ko) 글라스 절단 방법
US20140238963A1 (en) Apparatus for manufacturing mask and method of manufacturing mask using laser beam
KR100700660B1 (ko) 마스크 및 그의 제조 방법