ES2340724T3 - Sensor de flujo del tipo termico. - Google Patents
Sensor de flujo del tipo termico. Download PDFInfo
- Publication number
- ES2340724T3 ES2340724T3 ES07075369T ES07075369T ES2340724T3 ES 2340724 T3 ES2340724 T3 ES 2340724T3 ES 07075369 T ES07075369 T ES 07075369T ES 07075369 T ES07075369 T ES 07075369T ES 2340724 T3 ES2340724 T3 ES 2340724T3
- Authority
- ES
- Spain
- Prior art keywords
- housing
- tube
- sensor
- parts
- flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims abstract description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 3
- 238000005266 casting Methods 0.000 claims description 4
- 229910001092 metal group alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 7
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000611 Zinc aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- HXFVOUUOTHJFPX-UHFFFAOYSA-N alumane;zinc Chemical compound [AlH3].[Zn] HXFVOUUOTHJFPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009411 base construction Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000002247 constant time method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229920006327 polystyrene foam Polymers 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/6847—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow where sensing or heating elements are not disturbing the fluid flow, e.g. elements mounted outside the flow duct
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
- G01F15/14—Casings, e.g. of special material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
- G01F15/18—Supports or connecting means for meters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Control Of Combustion (AREA)
Abstract
Un sensor de flujo del tipo térmico que tiene un tubo (54) sensor con forma de U con dos patas (52, 53) y una pieza de conexión con dos elementos (A'', B'') de resistencia eléctrica contiguos y con una carcasa sobre una base (59), en el cual el tubo (54) sensor con forma de U tiene un lado de entrada por el que entra el flujo y un lado de salida por el que sale el flujo, en el cual la carcasa comprende una parte primera (60) y segunda (60'') de un material buen conductor del calor, cada una con una superficie interna dotada de cavidades y con una superficie externa, las partes primera (60) y segunda (60'') de la carcasa están situadas con sus superficies interiores apoyadas una contra la otra, mientras que el tubo (54) sensor con forma de U tiene una superficie principal que se extiende paralela a las superficies interiores, y las cavidades de las partes primera y segunda de la carcasa rodean a la pieza de conexión y a las patas del tubo sensor con forma de U, la pieza de conexión está conectada a las patas (52, 53) por medio de codos (57, 58), y las patas (52, 53) están sujetas dentro de canales (55, 56) de las superficies interiores de las partes primera (60) y segunda (60'') de la carcasa que se extienden desde las caras inferiores de los codos (57, 58) atravesando totalmente la base (59), caracterizado porque cada pata (52, 53) está acoplada térmicamente entre las partes primera (60) y segunda (60'') de la carcasa entre los codos (57, 58) y el lado de entrada/salida del tubo (54) sensor.
Description
Sensor de flujo del tipo térmico.
El invento se refiere a un sensor de flujo del
tipo térmico que tiene un tubo sensor con forma de U con dos patas
y una pieza de conexión con dos elementos de resistencia eléctrica
contiguos, y con una carcasa sobre una base, en el cual el tubo
sensor con forma de U tiene un lado de entrada por el que entra el
flujo y un lado de salida por el que sale el flujo, en donde la
carcasa comprende una primera y una segunda parte de la carcasa de
un material buen conductor del calor, cada parte con una superficie
interior provista de cavidades y con una superficie exterior, las
partes primera y segunda de la carcasa están situadas con sus
superficies interiores apoyadas una contra la otra, mientras que el
tubo sensor con forma de U tiene una superficie principal que se
extiende paralela a las superficies interiores, y las cavidades de
las partes primera y segunda de la carcasa rodean a la pieza de
conexión y a las patas del tubo sensor con forma de U.
A partir del documento WO 03058180 se conoce un
sensor de flujo másico del tipo térmico. El sensor de flujo
descrito en este documento comprende un tubo sensor con forma de U
(capilar) con una carcasa que está montada sobre una base que tiene
dos taladros a través de los cuales se extienden las patas de la U,
conformando dicha carcasa una cámara alrededor exclusivamente de
esa porción de la pieza de conexión de la U que soporta a los
elementos de resistencia.
Los medidores de flujo térmicos con sensores de
flujo que tienen un tubo capilar utilizan el hecho de que la
transmisión de calor desde la pared del tubo hacia un fluido (gas o
líquido) que fluye dentro del tubo es una función del flujo másico,
de la diferencia entre la temperatura del fluido y la temperatura de
la pared y del calor específico del fluido. En los controladores de
flujo másico se usa una gran variedad de configuraciones de sensor
de flujo. Un tipo concreto de construcción, por ejemplo, implica el
uso de un tubo de flujo de acero inoxidable con dos o más elementos
de resistencia en contacto conductor del calor con el tubo de flujo.
Típicamente, los elementos de resistencia se fabrican a partir de
un material que tiene un gran coeficiente de resistencia a la
temperatura. Cada uno de los elementos puede actuar como calentador,
como detector de temperatura, o como ambos. Al menos un elemento de
resistencia (el calentador) se alimenta con una corriente eléctrica
para suministrar calor al flujo de fluido que pasa a través del
tubo. Cuando dos calentadores están alimentados con una potencia
constante, el flujo másico del fluido que pasa a través del tubo se
puede calcular a partir de las diferencias de temperatura entre los
elementos de resistencia. En un método alternativo, un primer
elemento de resistencia situado en una primera posición actúa como
calentador y como detector de temperatura, y un segundo elemento de
resistencia situado en una segunda posición aguas arriba de la
primera posición actúa como detector de temperatura. Un circuito de
control sirve para mantener la diferencia de temperatura entre los
elementos de resistencia en un valor predeterminado, fijo,
calculándose entonces el flujo másico del fluido que fluye a través
del tubo a partir de datos del circuito de control. Este método de
medida se conoce como el método de Temperatura Contante (CT).
El invento, sin embargo, es también apropiado
para su uso con el método TB (Balance Térmico) como se describe en
el documento EP 1 477 779.
Con los métodos y sistemas de medida mencionados
anteriormente existe el problema de que se pueden producir
imprecisiones en la señal de medida en el caso de que pase a través
del tubo un flujo másico comparativamente bajo. Los inventores
atribuyen esto al hecho de que los medidores de flujo másico
térmicos se utilizan a menudo en entornos en los que pueden
aparecer gradientes de temperatura a través del tubo sensor (o a
través de porciones del tubo sensor) y/o a través de los elementos
de resistencia. En la construcción conocida a partir del documento
WO 03058180 citado anteriormente, por ejemplo, las patas y los codos
que unen las patas a la pieza de conexión sobresalen de la
carcasa.
El invento tiene por objetivo proporcionar un
sensor de flujo del tipo mencionado en el párrafo inicial que
resista la influencia de gradientes de temperatura externos para
conseguir que no aparezca ningún gradiente de temperatura o que sea
lo más pequeño posible no sólo a través del segmento operativo del
tubo, es decir, de la porción situada entre los lados de los
elementos de resistencia que miran en direcciones opuestas una de
la otra, sino también a través de las patas (y de los codos que unen
las patas a la pieza de conexión) durante el funcionamiento.
De acuerdo con el invento, para este propósito,
un sensor de flujo del tipo mencionado en el párrafo inicial está
caracterizado porque la pieza de conexión está conectada a
las patas por medio de codos y las patas están sujetas dentro de
canales de las superficies interiores de las partes primera y
segunda de la carcasa que se extienden desde las caras inferiores
de los codos atravesando completamente la base, y donde cada pata
está acoplada térmicamente entre las partes primera y segunda de la
carcasa entre los codos y el lado de entrada/salida del tubo
sensor.
Se ha descubierto que el problema de los
gradientes de temperatura a través del tubo sensor (o a través de
porciones de dicho tubo sensor) puede ser resuelto en gran medida
por la construcción de acoplamiento térmico explicada
anteriormente.
Del documento US 5.191.793 se conoce un
dispositivo medidor de flujo, el cual tiene un conducto sensor
dentro de una carcasa. Existen en la carcasa zonas de soporte muy
cortas que tienen el objetivo de minimizar el contacto entre la
carcasa y el conducto.
Para conseguir un buen funcionamiento, una
realización preferente está caracterizada porque el tubo
sensor con forma de U queda libre entre las partes de la carcasa
entre su lado de entrada y el elemento resistivo situado aguas
arriba y entre su lado de salida y el elemento resistivo situado
aguas abajo excepto para las posiciones en que está acoplado
térmicamente.
Una realización que tiene la ventaja de un
acoplamiento térmico eficaz está caracterizada porque las
cavidades de la superficie interior de la primera parte de la
carcasa y las cavidades de la superficie interior de la segunda
parte de la carcasa constituyen canales que se corresponden entre sí
dos a dos, siendo dichos canales menos profundos en aquellas
posiciones en las que el tubo sensor está térmicamente acoplado de
lo que lo son en otras posiciones.
La porción del tubo sensor que queda entre las
porciones de los elementos de resistencia eléctrica que miran en
direcciones opuestas una de la otra (es decir, el segmento operativo
del tubo sensor) puede estar situada en canales mutuamente
enfrentados de las superficies internas de dimensiones tales que el
tubo (con arrollamientos) queda libre de las partes de la
carcasa.
Sin embargo, si las cavidades (los canales) son
tan anchas que puede aparecer un flujo de aire alrededor del
segmento operativo del tubo durante el funcionamiento (lo que se
conoce como el efecto chimenea), puede ser aconsejable disponer
espuma de poliestireno en el espacio que rodea a esta porción del
tubo. Sin embargo, una desventaja de esto es que se ha observado que
va en contra de un funcionamiento rápido del sensor.
Por consiguiente, una realización adicional está
caracterizada porque la pieza de conexión del tubo sensor
con forma de U con los elementos de resistencia proporcionados sobre
él está estrechamente rodeada por las cavidades, es decir, los
canales, mutuamente enfrentadas de las superficies interiores de las
partes de la carcasa.
El hecho de que los canales rodeen estrechamente
al tubo con arrollamientos sirve para garantizar que el aire
alrededor del tubo permanezca estacionario durante el
funcionamiento, de manera que no se produzca ningún flujo de calor
alrededor del sensor (dando origen al llamado efecto chimenea).
Un problema adicional en sistemas de medida que
funcionan de acuerdo con el principio CT es que se produce una caída
(indeseable) en la señal de medida cuando existe un flujo
comparativamente bajo a través del tubo.
Para evitar esta caída, una realización
adicional está caracterizada porque además la pieza de
conexión del tubo sensor con forma de U está térmicamente acoplada
entre las partes de la carcasa en una posición situada entre los
dos elementos de resistencia eléctrica. Esta realización es de
especial importancia en casos en los que se produce acoplamiento
térmico en los codos o cerca de ellos, en particular en combinación
con elementos de resistencia de valores diferentes.
La provisión de un contacto térmico entre el
tubo y las partes de la carcasa en una posición situada entre los
dos elementos de resistencia garantiza que en esta posición
cualquier calor generado por el calentador y que fluya a través de
la pared del tubo se descarga hacia la carcasa, de forma que no
pueda alcanzar el detector de temperatura situado aguas arriba, es
decir, de forma que no pueda influir adversamente en este último.
La caída mencionada anteriormente está provocada por influencias
indeseables de este tipo.
Un rasgo adicional del invento es la
característica de que cada parte de la carcasa comprende una porción
de la base, y que las patas del tubo sensor se hacen pasar al
exterior a través de cavidades dispuestas dos a dos una enfrente de
la otra en dichas porciones de la base. Esta realización hace
posible una fabricación automatizada del sensor así como una
colocación automatizada de dicho sensor sobre una construcción base
de un controlador de
flujo másico.
flujo másico.
Un paso adicional hacia la automatización está
caracterizado porque las partes primera y segunda de la
carcasa se fabrican a partir de una aleación metálica por medio de
colada en molde. La colada en molde de las partes de la carcasa
hace innecesario ningún rectificado y/o corte de las citadas partes
de la carcasa.
A modo de ejemplo, se explicará ahora con más
detalle una realización del invento haciendo referencia a los
dibujos, en los cuales:
La figura 1A es una vista en sección
longitudinal de una carcasa alternativa para un sensor de flujo de
acuerdo con el invento; y
La figura 1B es una vista en sección transversal
tomada sobre la línea V de la figura 1A.
El invento se refiere a un sensor de flujo que
comprende una primera parte de la carcasa y una segunda parte de la
carcasa. Las partes de la carcasa se pueden fabricar a partir de una
aleación metálica buena conductora del calor, tal como una aleación
de zinc-aluminio, por medio de una técnica de colada
en molde. Las partes encajan una en/sobre la otra tras su
ensamblaje, es decir, las superficies interiores de las mismas
quedan una encima de la otra. Dichas partes se centran mediante
juntas de caja y espiga. Las espigas pueden estar conformadas por
crestas sobre la superficie interior de una parte de la carcasa, y
las cajas por las aberturas de la otra parte de la carcasa que
coinciden con las crestas. Esto permite llevar a cabo un proceso de
automatización por el cual las partes de la carcasa se suministran
sobre una bandeja, el tubo sensor se sitúa dentro de una de las
partes de la carcasa y las partes de la carcasa se encajan a presión
unas dentro de otras por medio de un robot.
El sensor comprende un tubo sensor. Este es un
tubo capilar de acero inoxidable de una sola pieza, por ejemplo con
un diámetro exterior de 0,3 mm y un diámetro interior de 0,2 mm. El
tubo está doblado en forma de U y tiene patas que están conectadas
entre sí por una pieza de conexión. Una pata tiene un lado de
entrada para recibir el flujo \Phi a medir y la otra parte tiene
un lado de salida para el flujo \Phi a medir. La pieza de
conexión soporta elementos de resistencia, los cuales están en
contacto con buena transmisión del calor con la pieza de conexión.
Los elementos de resistencia pueden estar construidos como
arrollamientos eléctricos proporcionados alrededor de la pieza de
conexión. Sin embargo, el invento no está limitado a esta
realización. Durante el montaje, el tubo sensor se coloca con sus
elementos de resistencia eléctrica dentro de canales proporcionados
en la superficie interior de una parte de la carcasa. De esta forma
la superficie principal del tubo con forma de U queda paralela a la
superficie interior de una parte de la carcasa (y después del
montaje también a la superficie interior de la otra parte de la
carcasa).
Entre los canales antes mencionados existe un
canal más ancho y más profundo. Este canal rodea al segmento
operativo del tubo con forma de U después del montaje, es decir, a
esa porción de la pieza de conexión que queda entre los lados de
los arrollamientos eléctricos que miran en direcciones opuestas una
de la otra. Preferiblemente, la anchura y la profundidad de este
canal son tales que el segmento operativo queda estrechamente
rodeado para garantizar que el aire dentro del canal permanezca tan
estacionario como sea posible durante el funcionamiento. La
distancia entre los elementos de resistencia y la pared del canal
es, por ejemplo, del orden de unas pocas décimas de milímetro.
En una realización un canal, el cual rodea al
segmento operativo del tubo sensor con forma de U en una posición
situada entre los elementos de resistencia eléctrica, está provisto
de una elevación sobre la cual descansa el segmento operativo.
Cuando las partes de la carcasa se ensamblan entre sí, el tubo se
acoplará térmicamente en una posición situada entre los elementos de
resistencia eléctrica.
De esta forma se transmite calor desde el tubo a
la carcasa entre los arrollamientos durante el funcionamiento, lo
cual es importante para obtener valores de medida correctos cuando
se hace funcionar el sensor de flujo térmico mediante el método CT.
Si existen un sensor y un arrollamiento calentador, es importante
que la posición del contacto térmico (la elevación) sea más cercana
al sensor que al calentador (preferiblemente tan cercana como sea
posible al sensor) para evitar cualquier influencia indeseable del
calentador sobre el sensor.
La figura 1A, la cual es una vista esquemática
en sección longitudinal de una carcasa para un sensor de flujo de
acuerdo con el invento, y la figura 1B, la cual es una vista en
sección transversal tomada sobre la línea V de la figura 1A,
presentan una realización del invento.
En la figura 1A, los canales 55, 56 de la
superficie interior de la parte 60 de la carcasa se extienden desde
los lados inferiores de los codos atravesando totalmente la base 59.
En esta construcción se puede proporcionar un acoplamiento térmico
del tubo 54 sensor entre los elementos A' y B' de resistencia.
La expresión "tubo con forma de U" denota
cualquier configuración de dos patas conectadas entre sí por una
pieza de conexión, por ejemplo también configuraciones en las que
las patas están más próximas entre sí cerca de sus extremos que en
la pieza de conexión.
Aspectos específicos adicionales del sensor de
flujo de acuerdo con el invento son: existen dos arrollamientos
(elementos de resistencia) que están situados uno junto al otro
sobre la pieza de conexión, preferiblemente de forma simétrica con
respecto al centro de dicha pieza de conexión. Las partes de la
carcasa conforman una carcasa en la que la pata de conexión queda
en la parte superior durante el funcionamiento, de manera que un
gradiente de temperatura en la base (sobre la cual está firmemente
atornillado el sensor) se elimina antes de que se alcance la parte
operativa del sensor.
Claims (7)
1. Un sensor de flujo del tipo térmico que tiene
un tubo (54) sensor con forma de U con dos patas (52, 53) y una
pieza de conexión con dos elementos (A', B') de resistencia
eléctrica contiguos y con una carcasa sobre una base (59), en el
cual el tubo (54) sensor con forma de U tiene un lado de entrada por
el que entra el flujo y un lado de salida por el que sale el
flujo,
en el cual la carcasa comprende una parte
primera (60) y segunda (60') de un material buen conductor del
calor, cada una con una superficie interna dotada de cavidades y con
una superficie externa,
las partes primera (60) y segunda (60') de la
carcasa están situadas con sus superficies interiores apoyadas una
contra la otra, mientras que el tubo (54) sensor con forma de U
tiene una superficie principal que se extiende paralela a las
superficies interiores, y las cavidades de las partes primera y
segunda de la carcasa rodean a la pieza de conexión y a las patas
del tubo sensor con forma de U,
la pieza de conexión está conectada a las patas
(52, 53) por medio de codos (57, 58), y las patas (52, 53) están
sujetas dentro de canales (55, 56) de las superficies interiores de
las partes primera (60) y segunda (60') de la carcasa que se
extienden desde las caras inferiores de los codos (57, 58)
atravesando totalmente la base (59), caracterizado porque
cada pata (52, 53) está acoplada térmicamente entre las partes
primera (60) y segunda (60') de la carcasa entre los codos (57, 58)
y el lado de entrada/salida del tubo (54) sensor.
\vskip1.000000\baselineskip
2. Un sensor de flujo como se reivindica en la
reivindicación 1,
caracterizado porque el tubo (54) sensor
con forma de U no hace contacto con las partes primera (60) y
segunda (60') de la carcasa entre su lado de entrada y el elemento
(A') de resistencia situado aguas arriba y entre su lado de salida y
el elemento (B') de resistencia situado aguas abajo, excepto para
aquellas posiciones en las que está acoplado térmicamente.
\vskip1.000000\baselineskip
3. Un sensor de flujo como se reivindica en la
reivindicación 1,
caracterizado porque cavidades de la
superficie interior de la primera parte (60) de la carcasa y
cavidades de la superficie interior de la segunda parte (60') de la
carcasa constituyen canales que se corresponden entre sí dos a dos,
siendo dichos canales menos profundos en posiciones en las que el
tubo (54) sensor está acoplado térmicamente que en zonas en las que
el tubo (54) sensor no está acoplado térmicamente.
\vskip1.000000\baselineskip
4. Un sensor de flujo como se reivindica en las
reivindicaciones 1, 2 ó 3,
caracterizado porque la pieza de conexión
del tubo (54) sensor con forma de U con los elementos (A', B') de
resistencia proporcionados sobre el mismo está rodeada estrechamente
por las cavidades situadas unas frente a otras de las superficies
internas de las partes primera (60) y segunda (60') de la
carcasa.
\vskip1.000000\baselineskip
5. Un sensor de flujo como se reivindica en la
reivindicación 1,
caracterizado porque además la pieza de
conexión del tubo (54) sensor con forma de U está acoplada
térmicamente entre las partes primera (60) y segunda (60') en una
posición entre los dos elementos (A', B') de resistencia
eléctrica.
\vskip1.000000\baselineskip
6. Un sensor de flujo como se reivindica en la
reivindicación 1,
caracterizado porque cada una de las
partes primera (60) y segunda (60') de la carcasa comprende una
porción de base, y porque las patas del tubo sensor se hacen pasar
hasta el exterior a través de cavidades, dispuestas dos a dos unas
frente a otras dentro de dichas porciones de base.
\vskip1.000000\baselineskip
7. Un sensor de flujo como se reivindica en la
reivindicación 1,
caracterizado porque las partes primera
(60) y segunda (60') de la carcasa se fabrican a partir de una
aleación metálica por medio de colada en molde.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL1032007 | 2006-06-14 | ||
| NL1032007A NL1032007C2 (nl) | 2006-06-14 | 2006-06-14 | Stromingssensor van het thermische type. |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| ES2340724T3 true ES2340724T3 (es) | 2010-06-08 |
Family
ID=37685940
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| ES07075369T Active ES2340724T3 (es) | 2006-06-14 | 2007-05-15 | Sensor de flujo del tipo termico. |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7437928B2 (es) |
| EP (1) | EP1867962B1 (es) |
| JP (1) | JP2007333735A (es) |
| AT (1) | ATE461432T1 (es) |
| DE (1) | DE602007005306D1 (es) |
| DK (1) | DK1867962T3 (es) |
| ES (1) | ES2340724T3 (es) |
| NL (1) | NL1032007C2 (es) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7971480B2 (en) * | 2008-10-13 | 2011-07-05 | Hitachi Metals, Ltd. | Mass flow controller having a first pair of thermal sensing elements opposing a second pair of thermal sensing elements |
| NL2011975C2 (nl) * | 2013-12-17 | 2015-06-18 | Berkin Bv | Stromingsmeetapparaat van het thermische type. |
| NL2012126C2 (en) | 2014-01-23 | 2015-07-29 | Berkin Bv | Flow measurement system and method for determining at least one property of a medium. |
| WO2016144717A1 (en) * | 2015-03-06 | 2016-09-15 | Alicat Scientific, Inc. | Systems and methods for detecting flow of a fluid |
| JP2017101955A (ja) * | 2015-11-30 | 2017-06-08 | アズビル株式会社 | 測定装置及び測定装置の製造方法 |
| KR102403432B1 (ko) * | 2016-03-11 | 2022-05-30 | 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 | 열식 질량 유량 센서, 당해 열식 질량 유량 센서의 제조 방법, 및 당해 열식 질량 유량 센서를 사용하는 열식 질량 유량계 |
| CN106768113B (zh) * | 2016-12-09 | 2019-10-25 | 北京七星华创流量计有限公司 | 一种流体输送测量装置 |
| CN110462348B (zh) * | 2017-03-30 | 2021-08-10 | 富士金公司 | 质量流量传感器、具备该质量流量传感器的质量流量计以及具备该质量流量传感器的质量流量控制器 |
| NL2021082B1 (en) | 2018-06-08 | 2019-12-11 | Berkin Bv | Pressure-insensitive thermal type flow meter |
| FR3096452B1 (fr) * | 2019-05-22 | 2022-02-11 | Buerkert Werke Gmbh & Co Kg | Ensemble de capteur de débit massique et procédé de fabrication d’un ensemble de capteur de débit massique |
| JP7467887B2 (ja) * | 2019-11-01 | 2024-04-16 | オムロン株式会社 | 植物生体センサ |
| NL2026167B1 (en) | 2020-07-30 | 2022-04-08 | Berkin Bv | Thermal-type flow sensor with a thermally conductive frame element in the form of a printed circuit board (PCB) |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5988622A (ja) * | 1982-11-12 | 1984-05-22 | Ohkura Electric Co Ltd | 熱式質量流量計 |
| US5191793A (en) | 1984-03-12 | 1993-03-09 | Tylan Corporation | Fluid mass flow meter device with reduced attitude sensitivity |
| JPH0676897B2 (ja) * | 1986-05-27 | 1994-09-28 | 株式会社エステツク | 熱式流量計 |
| JP3047184B2 (ja) * | 1989-11-27 | 2000-05-29 | 株式会社エステック | 質量流量計 |
| WO1991019959A1 (en) * | 1990-06-14 | 1991-12-26 | Unit Instruments, Inc. | Thermal mass flow sensor |
| US5792952A (en) * | 1996-05-23 | 1998-08-11 | Varian Associates, Inc. | Fluid thermal mass flow sensor |
| US6779394B2 (en) * | 2001-12-21 | 2004-08-24 | Mks Instruments, Inc. | Apparatus and method for thermal management of a mass flow controller |
| NL1023405C2 (nl) | 2003-05-13 | 2004-11-18 | Berkin Bv | Massadebietmeter. |
-
2006
- 2006-06-14 NL NL1032007A patent/NL1032007C2/nl not_active IP Right Cessation
-
2007
- 2007-05-15 AT AT07075369T patent/ATE461432T1/de active
- 2007-05-15 ES ES07075369T patent/ES2340724T3/es active Active
- 2007-05-15 DK DK07075369.4T patent/DK1867962T3/da active
- 2007-05-15 DE DE602007005306T patent/DE602007005306D1/de active Active
- 2007-05-15 EP EP07075369A patent/EP1867962B1/en not_active Not-in-force
- 2007-05-18 US US11/798,983 patent/US7437928B2/en active Active
- 2007-05-31 JP JP2007145880A patent/JP2007333735A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1867962A1 (en) | 2007-12-19 |
| US20070295079A1 (en) | 2007-12-27 |
| ATE461432T1 (de) | 2010-04-15 |
| EP1867962B1 (en) | 2010-03-17 |
| DE602007005306D1 (de) | 2010-04-29 |
| US7437928B2 (en) | 2008-10-21 |
| JP2007333735A (ja) | 2007-12-27 |
| DK1867962T3 (da) | 2010-06-28 |
| NL1032007C2 (nl) | 2007-12-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ES2340724T3 (es) | Sensor de flujo del tipo termico. | |
| ES2262598T3 (es) | Caudalimetro de masas. | |
| ES2639637T3 (es) | Sensor de calidad del aceite y dispositivo de fritura con dicho sensor de calidad del aceite | |
| ES2430990T3 (es) | Instalación generadora de gas de escape, particularmente una embarcación, con una determinación del volumen del gas de escape | |
| KR102277609B1 (ko) | 열식 유량계 | |
| ES2364679T3 (es) | Dispositivo para la medición del nivel de llenado. | |
| CN101657706A (zh) | 温度传感器 | |
| ES2137423T3 (es) | Dispositivo de sensor para medicion de la temperatura. | |
| US7789555B2 (en) | Temperature sensor | |
| JP2009516853A (ja) | 垂直取り付け式質量流量センサ | |
| JP4034379B2 (ja) | 流量計 | |
| ES2269286T3 (es) | Dispositivo de aire caliente. | |
| ES2421170T3 (es) | Dispositivo de determinación de coeficiente de intercambio térmico y procedimiento asociado | |
| ES2286473T3 (es) | Aparato y procedimiento para medir el valor calorico de los gases. | |
| US5104234A (en) | Air cooled thermocouple lance | |
| US5184894A (en) | Method of using an immersible air cooled thermocouple | |
| JP6465985B2 (ja) | 逆充填炭素及び温度ドロップインセンサ | |
| JP2001296187A (ja) | 温度検出装置及びこの温度検出装置を用いた制御システム | |
| CN115790958A (zh) | 一种高空模拟试验用电加热防冰压力探针 | |
| JPH06174561A (ja) | 光ファイバセンサ | |
| WO2008139237A1 (en) | Flow rate sensor for water ducts and a method for measuring water flow | |
| JP3865159B2 (ja) | 熱式質量流量計 | |
| JP2003227761A (ja) | 圧力容器内の温度測定用センサ | |
| JP3324389B2 (ja) | ガス温度計測装置 | |
| US7347092B1 (en) | Apparatus and method for fluid flow measurement |