ES2318708T3 - Micropila de combustible con una membrana reforzada por un elemento de anclaje y procedimiento de fabricacion de una micropila de combustible. - Google Patents

Micropila de combustible con una membrana reforzada por un elemento de anclaje y procedimiento de fabricacion de una micropila de combustible. Download PDF

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ES2318708T3 ES06354026T ES06354026T ES2318708T3 ES 2318708 T3 ES2318708 T3 ES 2318708T3 ES 06354026 T ES06354026 T ES 06354026T ES 06354026 T ES06354026 T ES 06354026T ES 2318708 T3 ES2318708 T3 ES 2318708T3
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Frederic Gaillard
Karine Lambert
Marc Plissonnier
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Abstract

Micropila de combustible (14) que incluye al menos: - un sustrato (15) provisto de caras anterior (15a) y posterior (15b) - y un apilamiento sucesivo de un primer electrodo, una membrana electrolítica (19) sustancialmente plana y un segundo electrodo (20), estando dicho apilamiento soportado por la cara anterior (15a) del sustrato (15), micropila (14) caracterizada porque la membrana electrolítica (19) incluye al menos un elemento de anclaje (19a) que sobresale sustancialmente en perpendicular al plano de dicha membrana (19) y dispuesto en una parte complementaria de un rebaje de anclaje (16b, 22) formado en el sustrato (15).

Description

Micropila de combustible con una membrana reforzada por un elemento de anclaje y procedimiento de fabricación de una micropila de combustible.
Campo técnico de la invención
La presente invención se refiere a una micropila de combustible que incluye al menos:
- un sustrato provisto de caras anterior y posterior
- y un apilamiento sucesivo de un primer electrodo, una membrana electrolítica sustancialmente plana y un segundo electrodo, estando dicho apilamiento soportado por la cara anterior del sustrato.
La invención se refiere igualmente a un procedimiento de fabricación de una micropila de combustible.
Estado de la técnica
En el campo de las pilas de combustible, existen en la actualidad dos categorías de pilas. La primera categoría se refiere a las pilas llamadas de apilamiento de tipo filtro-prensa, como las pilas de combustible de membrana de intercambio de protones ("PEMFC" o "Proton Exchange Membrane Fuel Cell"). Estas pilas incluyen en general un gran número de celdas elementales dispuestas en serie. Cada celda incluye un apilamiento que comprende un ánodo y un cátodo, separados por una membrana electrolítica. El apilamiento, denominado en general apilamiento de tipo "EME" (Electrodo-Membrana-Electrodo), se dispone entre dos placas colectoras de corriente. El conjunto de las celdas elementales forma un ensamblaje de tipo filtro-prensa, con placas de ajuste empernadas a una y otra parte de una serie de apilamientos EME.
A modo de ejemplo, como se ilustra en la fig. 1, una pila de combustible incluye un apilamiento EME que comprende una membrana electrolítica 1 provista de caras anterior y posterior 1a y 1b. Las caras anterior y posterior 1a y 1b están recubiertas respectiva y sucesivamente por capas catalíticas primera y segunda 2a y 3a y capas de difusión 2b y 3b. La primera capa catalítica 2a y la primera capa de difusión 2b forman el ánodo 2 mientras que la segunda capa catalítica 3a y la segunda capa de difusión 3b forman el cátodo 3. Se disponen colectores primero y segundo 4 y 5 respectivamente en las caras externas de las capas de difusión primera y segunda 2b y 3b. Se integran en el apilamiento EME, es decir, el apilamiento EME y los colectores de corriente primero y segundo 4 y 5 forman una misma celda elemental. Cada uno está constituido por una deposición metálica que incluye una pluralidad de pasos transversales 4a y 5a destinados a permitir el paso de un fluido hacia una capa de difusión. Así, el hidrógeno, que sirve en general de combustible, puede pasar a través de los pasos transversales 4a del colector de corriente anódica 4 para alcanzar la capa de difusión 2b del ánodo 2. El oxígeno que sirve en general de comburente pasa a través de los pasos transversales 5a del colector de corriente catódica 5 para alcanzar la capa de difusión 3b del cátodo 3. Asimismo, el agua producida en el curso del funcionamiento de la pila de combustible se evacua por los mismos pasos transversales 5a.
Con esta primera categoría de pilas de combustible, el aprovisionamiento de los electrodos con fluido reactivo y la evacuación de los productos formados durante el funcionamiento de la pila pueden representar dificultades principales, sobre todo en el campo de los equipos portátiles. En efecto, la miniaturización de las pilas de combustible impone realizar los medios de almacenamiento y los circuitos de circulación de fluido, en volúmenes restringidos. Ahora bien, las pilas de combustible en apilamiento de tipo filtro-prensa son limitadas en términos de miniaturización.
Así, desde hace algunos años, se ha propuesto realizar pilas de combustible en miniatura, por medio de técnicas extraídas de la microtecnología y más en particular por deposición y estructuración de capas delgadas sobre un sustrato. Esta segunda categoría de pilas de combustibles, denominadas igualmente micropilas de combustible de tipo plano, permite reducir el volumen de los circuitos de aprovisionamiento y en su caso de almacenamiento de fluidos reactivos y de productos formados. De una manera general, los circuitos de aprovisionamiento de los electrodos están en forma de cavidades o de microcanales de aprovisionamiento formados en el sustrato, en su caso con capas de difusión microporosas que llevan los fluidos a los electrodos o a la membrana electrolítica. A modo de ejemplo, en el artículo "Novel microfabrication approaches for directly patterning PEM fuel cell membranes", de K. Shah y col. (Journal of Power Sources, 123 (2003), 172-181) se describe la fabricación de una micropila de combustible que incluye una pluralidad de microcanales de aprovisionamiento formados en un sustrato de silicio o de polidimetilsiloxano (PDMS). El ánodo, la membrana electrolítica y el cátodo están en forma de capas delgadas, depositadas sucesivamente en un sustrato que incluye microcanales de aprovisionamiento.
La fig. 2 representa, a modo de ilustración, una micropila de combustible según la técnica anterior, que incluye un sustrato 6 que soporta un ánodo 8, una membrana electrolítica 9 y un cátodo 10. En el cátodo 10 se dispone un colector de corriente catódica 11 y la circulación del comburente es tangencial al cátodo 10. El aprovisionamiento de combustible del ánodo 8 se realiza por medio de canales de circulación 7 formados verticalmente en el sustrato 6. Los canales de circulación 7 permiten así transportar el combustible desde una fuente de combustible (no representada) hacia una capa de difusión microporosa 12 dispuesta entre el ánodo 8 y un colector de corriente 13.
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En la solicitud de patente WO-A-2005/079.466, una micropila de combustible, integrada en un sustrato, incluye una membrana electrolítica que incluye elementos en saliente que delimitan, con una de las caras de dicho sustrato, canales de alimentación.
Las micropilas de combustible, realizadas en un sustrato, con soportes porosos y/o microcanales de alimentación, no están, sin embargo, adaptadas cuando existe una diferencia de presión a una y otra parte de la membrana electrolítica. En efecto, esta diferencia de presión puede provocar la destrucción de la micropila o un desprendimiento de una o varias capas delgadas dispuestas en el sustrato. Esta diferencia de presión tiene lugar, más en particular, en pilas de combustibles miniaturizadas, en las que los volúmenes son reducidos porque el control de la presión de combustible no está dominado perfectamente.
La solicitud de patente FR-A-2.859.201 describe, en un campo diferente, un dispositivo microelectrónico, como un captador de aceleración, que incluye un elemento suspendido unido a un soporte por un pilar. La base de dicho pilar está enterrada en una cavidad del soporte e incluye una zona de sección ensanchada para anclar el pilar en el soporte. Asimismo, la solicitud US-A-2001/0.040.250 describe un microcomponente electrónico que incluye ranuras de anclaje que sirven para fijar una placa deformable en una placa fija.
Objeto de la invención
La invención tiene por objetivo una micropila de combustible que remedie los inconvenientes de la técnica anterior. Más en particular, la invención tiene por objetivo una micropila de combustible capaz de funcionar cuando existe una diferencia de presión a una y otra parte del apilamiento EME, sin riesgo de desprendimiento o de destrucción.
Según la invención, este objetivo se alcanza mediante las reivindicaciones anexas.
Más en particular, este objetivo se alcanza por el hecho de que la micropila de combustible que incluye al menos:
- un sustrato provisto de caras anterior y posterior
- un apilamiento sucesivo de un primer electrodo, una membrana electrolítica sustancialmente plana y un segundo electrodo, estando soportado dicho apilamiento por la cara anterior del sustrato,
se caracteriza porque la membrana electrolítica incluye al menos un elemento de anclaje que sobresale sustancialmente en perpendicular al plano de dicha membrana y está dispuesto en una parte complementaria de un rebaje de anclaje formado en el sustrato.
Más en particular, el sustrato incluye una pluralidad de microcanales, sustancialmente perpendiculares al plano de la membrana y que incluyen cada una de las aberturas primera y segunda, respectivamente en las caras anteriores y posteriores del sustrato.
Según un primer desarrollo de la invención, el rebaje de anclaje es uno de los microcanales, estando los otros microcanales destinados al aprovisionamiento con fluido reactivo.
Según un segundo desarrollo de la invención, el rebaje de anclaje incluye al menos un paso estrecho para el elemento de anclaje y que desemboca en una cavidad ensanchada.
La invención tiene igualmente por objetivo un procedimiento de fabricación de una micropila de combustible según el primer desarrollo de la invención, fácil de implementar y poco costoso.
Según la invención, este objetivo se alcanza por el hecho de que incluye al menos las etapas sucesivas siguientes:
- formación, en el sustrato, de la pluralidad de microcanales,
- formación del primer electrodo en la cara anterior del sustrato, entre los microcanales,
- selección, entre los microcanales, de un microcanal destinado a formar el rebaje de anclaje,
- deposición de una película delgada fotosensible que permite obturar la segunda abertura de los microcanales no seleccionados,
- extensión, en la cara anterior del sustrato provista del primer electrodo, de una capa delgada de solución electrolítica de manera que se forme, después de secado, la membrana electrolítica sustancialmente plana, con el elemento de anclaje que sobresale sustancialmente en perpendicular al plano de dicha membrana y rellena al menos una parte complementaria del rebaje de anclaje
- y formación del segundo electrodo en la cara libre sustancialmente plana de la membrana electrolítica.
Breve descripción de los dibujos
Se desprenderán otras ventajas y características más claramente a partir de la descripción que sigue a continuación de formas particulares de realización de la invención dadas a modo de ejemplos no limitativos y representadas en los dibujos anexos, en los que:
la fig. 1 representa, en corte, un apilamiento elemental de una pila de combustible de tipo filtro-prensa, según la técnica anterior;
la fig. 2 representa, en corte, una micropila de combustible de tipo plano según la técnica anterior;
la fig. 3 representa, esquemáticamente y en corte, una forma particular de realización de una micropila de combustible según la invención;
la fig. 4 representa, esquemáticamente y en corte, una variante de realización de la micropila de combustible según la fig. 3.
Descripción de formas particulares de realización
Según formas particulares de realización representadas en las fig. 3 y 4, una micropila de combustible 14 incluye un sustrato 15, provisto de caras anterior 15a y posterior 15b, preferentemente sustancialmente planas. El sustrato 15, por ejemplo de silicio, de plástico o de cerámica, incluye una pluralidad de microcanales 16, sustancialmente perpendiculares al plano de la cara anterior 15a del sustrato. Así, en la fig. 3 se representan seis microcanales y en la fig. 4 se representan cuatro microcanales 16, con cada una de las aberturas primera y segunda, respectivamente en las caras anterior 15a y posterior 15b del sustrato 15. El sustrato 15 está, así, atravesado, en su grosor, por los microcanales 16.
En la forma particular de realización representada en la fig. 3 y como se indica a continuación, los seis microcanales están constituidos respectivamente por cuatro microcanales 16a destinados al aprovisionamiento de fluido y dos microcanales 16b destinados a servir de rebajes de anclaje. Además, se dispone un primer colector de corriente 17, preferentemente, en la cara anterior 15a del sustrato 15 y se horada y se corta de manera que incluya aberturas en el nivel de los microcanales 16a y 16b. El primer colector de corriente 17 y la forma del sustrato 15 permiten, sobre todo, asegurar la continuidad del paso del corriente en el primer colector de corriente. A modo de ejemplo, el primer colector de corriente 17 puede estar en la forma de una rejilla provista de aberturas dispuestas respectivamente al lado de las primeras aberturas de los microcanales 16a y 16b.
El primer colector de corriente 17 está recubierto por una pluralidad de elementos catalíticos 18. Más en particular, la totalidad de la superficie libre del primer colector de corriente 17 está recubierta por dichos elementos catalíticos 18 que están separados unos de otros por los microcanales 16a y 16b. Los elementos catalíticos constituyen entonces el primer electrodo de la micropila 14, por ejemplo un ánodo.
La cara anterior 15a del sustrato 15, provista del primer colector de corriente 17 y de los elementos catalíticos 18, soporta sucesivamente una membrana electrolítica 19 sustancialmente plana, un segundo electrodo 20 y un segundo colector 21. El segundo electrodo 20 y el segundo colector de corriente 21 están, por ejemplo, en forma de capas delgadas sustancialmente planas. El segundo colector de corriente 21 puede ser en parte discontinuo.
Por membrana electrolítica sustancialmente plana se entiende una capa delgada cuyas caras anterior y posterior son sustancialmente planas. Además, teniendo en cuenta el pequeño grosor de la membrana electrolítica, puede definirse un plano principal, paralelo a los planos respectivos de las caras anterior y posterior de la membrana electrolítica. Así, en la fig. 3, el plano principal de la membrana electrolítica 19 está representado por una recta denotada como A1, en trazos mixtos y es paralelo al plano de la cara anterior 15a del sustrato 15.
El apilamiento sucesivo formado por el primer electrodo 18, la membrana electrolítica 19 y el segundo electrodo 20 se fija, además, mecánicamente al sustrato 15. Esta fijación está asegurada por al menos un elemento de anclaje 19a que pertenece a la membrana electrolítica 19. En la fig. 3, la membrana electrolítica 19 incluye, en efecto, dos elementos de anclaje 19a, que sobresalen sustancialmente en perpendicular al plano principal A1 de dicha membrana 19 y que ocupan cada uno un microcanal 16b. Cada microcanal 16b ocupado por un elemento de anclaje 19a sirve, entonces, de rebaje de anclaje para dicho elemento de anclaje 19a. Se dispone entonces un elemento de anclaje 19a en una parte complementaria del rebaje de anclaje que le está asociado.
Los otros cuatro microcanales 16a se usan para aprovisionar la micropila de combustible, y más en particular el primer electrodo 18, con fluido reactivo. El fluido reactivo es, por ejemplo, un combustible en el que el primer electrodo 18 es un ánodo. La circulación de un fluido reactivo en los microcanales 16a, no ocupados por un elemento de anclaje 19a, se representa en la fig. 3, por una flecha F1 que va de abajo arriba, es decir, de la segunda abertura de un microcanal 16a en dirección a la primera abertura. Cada una de las segundas aberturas de los microcanales 16a puede conectarse a una fuente con fluido reactivo, como un depósito de almacenamiento. Además, el aprovisionamiento del segundo electrodo 20, con fluido reactivo, por ejemplo un comburente, puede realizarse mediante cualquier tipo de medio. Este aprovisionamiento se realiza, por ejemplo, con ayuda de un canal de alimentación (no representado) dispuesto sobre el apilamiento y sustancialmente paralelo al plano del segundo electrodo. El aprovisionamiento del segundo electrodo 19 de comburente se representa, en la fig. 3, mediante la flecha F2 sustancialmente paralela al segundo electrodo 20.
Los microcanales 16a y 16b pueden ser de dimensiones variables. A modo de ejemplo, tienen un diámetro del orden de 50 micrómetros y la distancia que separa dos microcanales adyacentes es de 30 micrómetros. En este caso, el 10% de los microcanales se usan, preferentemente, como rebaje de anclaje para alojar los elementos de anclaje de la membrana electrolítica 19. Además, la forma y el tamaño de los microcanales 16a y 16b pueden adaptarse de manera que permitan una mejor fijación de la membrana electrolítica 19 al sustrato 15. Así, como se representa en la fig. 3, las paredes que delimitan un microcanal 16b pueden formar, en su parte inferior, una zona ensanchada que desemboca en la segunda abertura de dicho microcanal 16b.
A modo de ejemplo, la micropila de combustible representada en la fig. 3 se obtiene formando, previamente, en el sustrato 15, la pluralidad de microcanales 16a y 16b. Para un sustrato 15 de silicio, esta operación puede realizarse mediante grabado iónico reactivo o RIE ("Reactive Ion Etching"), realizando los microcanales 16a y 16b de diámetro reducido, por ejemplo del orden de 30 micrómetros, con una distancia entre dos microcanales 16a y 16b, por ejemplo del orden de 80 micrómetros. A continuación se realiza un grabado suplementario para realizar la zona ensanchada de la parte inferior de cada microcanal y facilitar así el anclaje de los elementos de anclaje 19a en los microcanales 16b.
A continuación, se forman sucesivamente el primer colector de corriente y el primer electrodo en la cara anterior 15a del sustrato 15, entre los microcanales 16. Los elementos colectores de corriente 17 se forman, por ejemplo, por deposición física en fase de vapor (deposición PVD) de una capa delgada de oro. Los elementos catalíticos 18 del primer electrodo se realizan, más en particular, por medio de nanotubos de carbono, formados en los elementos colectores de corriente 17 recubiertos previamente de promotor de crecimiento y destinados a servir de soporte de catalizador. El catalizador se deposita, por ejemplo, en los nanotubos de carbono, por electrodeposición.
Entre los microcanales 16a y 16b formados en el sustrato 15, se seleccionan uno o varios microcanales 16b para formar uno o varios rebajes de anclaje. Se han elegido, por ejemplo, dos microcanales 16b para la micropila representada en la fig. 3. A continuación se deposita una película delgada fotosensible en la cara posterior 15b del sustrato 15, de manera que se obture la segunda abertura de los microcanales 16a no seleccionados. La película delgada permite, así, comprender un volumen de aire en los microcanales 16a no seleccionados. A continuación se extiende una solución electrolítica, por ejemplo, por deposición por centrifugación ("spin coating"), en la cara anterior 15a del sustrato 15, recubierta por el primer colector de corriente y el primer electrodo. La solución electrolítica llena entonces los microcanales 16b seleccionados mientras que el volumen de aire contenido en los otros microcanales 16a impide el llenado de dichos microcanales 16a por la solución electrolítica. La solución electrolítica, una vez seca, permite formar los dos elementos de anclaje 19a y una capa delgada sustancialmente plana. Los dos elementos de anclaje ocupan los microcanales 16b seleccionados y la capa delgada está soportada por la cara anterior 15a del sustrato 15, formando el conjunto la membrana electrolítica 19 que puede ser una membrana ionomérica a base de perfluorosulfonato, como Nafion®.
A continuación se forma el segundo electrodo 20, por ejemplo de carbono al platino, en la cara anterior de la membrana electrolítica, por extensión por pulverización y, a continuación, puede depositarse el segundo colector de corriente 21 en la superficie libre del segundo electrodo 20, por deposición PVD.
Una micropila de combustible 14 semejante está adaptada en particular para funcionar cuando existe una diferencia de presión a una y otra parte del apilamiento Electrodo-Membrana-Electrodo (EME). En efecto, el o los elementos de anclaje de la membrana electrolítica aseguran una fijación mecánica que permite evitar los problemas de destrucción de la micropila o de desprendimiento del apilamiento o de al menos un elemento de este apilamiento. Además, esta fijación mecánica es fácil de implementar y poco costosa. No necesita la introducción de un material nuevo en la micropila de combustible, ya que el material usado para formar el o los elementos de anclaje está constituido por la solución electrolítica destinada a formar la membrana en el apilamiento. Finalmente, el volumen de la micropila de combustible no se aumenta con este modo de fijación y el aumento de la masa de la micropila es insignificante.
La realización de una micropila semejante presenta igualmente la ventaja de poder ajustar o controlar el número de rebajes de anclaje, en función de la diferencia de presión susceptible de tener lugar a una y otra parte del apilamiento. Igualmente, es posible controlar la relación entre la superficie fijada por los elementos de anclaje y la superficie bajo presión, así como la disposición de los elementos de anclaje. En efecto, al ser la adherencia entre los diferentes elementos de la micropila de combustible dependiente de los materiales usados, es posible medir previamente esta adherencia, de manera que se estime la fuerza de anclaje necesaria y, así, elegir el número, la forma y la disposición de los elementos de anclaje que se formarán durante la construcción de la micropila.
Un microcanal 16b usado para recibir un elemento de anclaje 19a de la membrana electrolítica 19 puede sustituirse por cualquier tipo de rebaje formado en el sustrato 15. Así, en la variante de realización representada en la fig. 4, los dos microcanales 16b ocupados por los elementos de anclaje 19a, en la micropila 14 según la fig. 3, están sustituidos por dos rebajes cerrados 22, formados en el sustrato 15. Cada rebaje 22 incluye, preferentemente, un paso estrecho 22a para el elemento de anclaje 19a correspondiente y este paso estrecho 22a desemboca en una cavidad ensanchada 22b cerrada. En la fig. 4, los dos elementos de anclaje 19a de la membrana electrolítica 19 ocupan la totalidad del volumen de los rebajes 22 correspondientes. El volumen de los rebajes 22 puede rellenarse sólo parcialmente por los elementos de anclaje 19a, teniendo éstos, sin embargo, una forma complementaria a al menos una parte del rebaje 22 de manera que se asegura un anclaje satisfactorio de la membrana 19 al sustrato 15.
En la fig. 4, cuatro microcanales 16 destinados al aprovisionamiento del primer electrodo 18 con fluido reactivo y, más en particular con comburente, se reparten en el sustrato 15, sustancialmente en perpendicular al plano de la membrana electrolítica 19. Así, en la fig. 4, cada rebaje 22 está rodeado por dos microcanales 16. Los elementos colectores de corriente 17 que forman el primer colector y que soportan los elementos catalíticos 18 del primer electrodo están separados entonces unos de otros por los microcanales 16 y los pasos estrechos 22a de los dos rebajes 22.
Una micropila de combustible semejante se obtiene, por ejemplo, formando, previamente, en el sustrato 15, los cuatro microcanales 16 y los dos rebajes 22, por ejemplo por grabado RIE. Posteriormente, se forman sucesivamente el primer colector de corriente 17 y el primer electrodo 18 en la cara anterior 15a del sustrato 15. Pueden estar formados según se describe anteriormente. A continuación, se extiende la solución electrolítica destinada a formar la membrana electrolítica 19, con sus elementos de anclaje 19a, en la cara anterior 15a del sustrato 15, recubierta por el primer colector de corriente y el primer electrodo. La solución electrolítica rellena entonces los microcanales 16 y los rebajes 22. Los microcanales 16 se liberan a continuación por soplado, a partir de la cara posterior 15b del sustrato. Después del secado de la solución electrolítica, se forman a continuación los otros elementos de la micropila de combustible, como el segundo electrodo 20 y el segundo colector de corriente, según se describe anteriormente.
En otras formas de realización, el aprovisionamiento con fluido reactivo podría realizarse mediante cualquier otro tipo de medios, de manera que los microcanales que sirven para el aprovisionamiento de comburente pueden sustituirse, por ejemplo, por un sustrato poroso, provisto de al menos un rebaje de anclaje.
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Referencias citadas en la descripción
Esta lista de referencias citadas por el solicitante pretende únicamente ayudar al lector y no forma parte del documento de patente europeo. Aun cuando se ha puesto el mayor esmero en su elaboración, no pueden excluirse errores u omisiones y la EPO declina toda responsabilidad a este respecto.
Documentos de patentes citados en la descripción
\bullet WO-2005/079.466-A [0008]
\bullet US-2001/0.040.250-A [0010]
\bullet FR-2.859.201-A [0010]
Bibliografía distinta de patentes citada en la descripción
- K. SHAH y col. Journal of Power Sources, 2003, vol. 123, 172-181 [0006]

Claims (9)

1. Micropila de combustible (14) que incluye al menos:
-
un sustrato (15) provisto de caras anterior (15a) y posterior (15b)
-
y un apilamiento sucesivo de un primer electrodo, una membrana electrolítica (19) sustancialmente plana y un segundo electrodo (20), estando dicho apilamiento soportado por la cara anterior (15a) del sustrato (15), micropila (14) caracterizada porque la membrana electrolítica (19) incluye al menos un elemento de anclaje (19a) que sobresale sustancialmente en perpendicular al plano de dicha membrana (19) y dispuesto en una parte complementaria de un rebaje de anclaje (16b, 22) formado en el sustrato (15).
2. Micropila de combustible (14) según la reivindicación 1, caracterizada porque el elemento de anclaje (19a) ocupa la totalidad del volumen del rebaje de anclaje (16b, 22).
3. Micropila (14) según una de las reivindicaciones 1 y 2, caracterizada porque el sustrato (15) incluye una pluralidad de microcanales (16, 16a, 16b), sustancialmente perpendiculares al plano de la membrana (19) y que incluye cada una de las aberturas primera y segunda, respectivamente en las caras anteriores y posteriores (15a, 15b) del sustrato (15).
4. Micropila (14) según la reivindicación 3, caracterizada porque el primer electrodo está constituido por una pluralidad de elementos catalíticos (18) distintos, separados por los microcanales (16a, 16b) y dispuestos en la cara anterior (15a) del sustrato (15).
5. Micropila (14) según la reivindicación 4, caracterizada porque incluye colectores de corriente primero y segundo (17, 21), dispuestos respectivamente entre los elementos catalíticos (18) del primer electrodo y la cara anterior (15a) del sustrato (15) y en la superficie libre del segundo electrodo (20).
6. Micropila (14) según una cualquiera de las reivindicaciones 3 a 5, caracterizada porque el rebaje de anclaje es uno de los microcanales (16b), estando los otros microcanales (16a) destinados al aprovisionamiento con fluido reactivo.
7. Micropila (14) según una cualquiera de las reivindicaciones 1 a 5, caracterizada porque el rebaje de anclaje (22) incluye al menos un paso estrecho (22a) para el elemento de anclaje (19a) y que desemboca en una cavidad (22b) ensanchada.
8. Micropila (14) según una cualquiera de las reivindicaciones 1 y 2, caracterizada porque el sustrato (15) es un sustrato poroso, que incluye al menos un rebaje de anclaje (16b, 22).
9. Procedimiento de fabricación de una micropila de combustible (14) según la reivindicación 6, caracterizado porque incluye al menos las etapas sucesivas siguientes:
-
formación, en el sustrato (15), de la pluralidad de microcanales (16a, 16b),
-
formación del primer electrodo en la cara anterior (15a) del sustrato (15), entre los microcanales (16a, 16b),
-
selección, entre los microcanales (16a, 16b), de un microcanal (16b) destinado a formar el rebaje de anclaje,
-
deposición de una película delgada fotosensible que permite obturar la segunda abertura de los microcanales (16a) no seleccionados,
-
extensión, en la cara anterior (15a) del sustrato (15) provista del primer electrodo (18), de una capa delgada de solución electrolítica de manera que se forma, después de secado, la membrana electrolítica (19) sustancialmente plana, con el elemento de anclaje (19a) sobresaliendo sustancialmente en perpendicular al plano de dicha membrana (19) y rellenando al menos una parte complementaria del rebaje de anclaje (16b)
-
y formación del segundo electrodo (20) en la cara libre sustancialmente plana de la membrana electrolítica (19).
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