ES2222111B1 - Distribuidor de gases para el recubrimiento de una lente, y procedimiento, lente y dispositivo de recubrimiento correspondientes. - Google Patents
Distribuidor de gases para el recubrimiento de una lente, y procedimiento, lente y dispositivo de recubrimiento correspondientes.Info
- Publication number
- ES2222111B1 ES2222111B1 ES200401600A ES200401600A ES2222111B1 ES 2222111 B1 ES2222111 B1 ES 2222111B1 ES 200401600 A ES200401600 A ES 200401600A ES 200401600 A ES200401600 A ES 200401600A ES 2222111 B1 ES2222111 B1 ES 2222111B1
- Authority
- ES
- Spain
- Prior art keywords
- flat
- plate
- lens
- distributor
- points
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
- C23C16/45563—Gas nozzles
- C23C16/45565—Shower nozzles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/44—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating
- C23C16/455—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the method of coating characterised by the method used for introducing gases into reaction chamber or for modifying gas flows in reaction chamber
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Eyeglasses (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
Abstract
Distribuidor de gases para el recubrimiento de una lente, y procedimiento, lente y dispositivo de recubrimiento correspondientes. El distribuidor comprende una placa de salida plana con una pluralidad de orificios de salida que presentan una distribución sobre la placa obtenible de la siguiente manera: [a] definición de una superficie auxiliar, [b] posicionado de unos primeros puntos sobre una primera superficie plana, con una densidad superficial de primeros puntos constante, donde la primera superficie se apoya sobre el borde inferior de la superficie auxiliar, y [c] trazado de unas rectas de proyección desde un origen de proyección, y que pasen por cada uno de los primeros puntos, hasta que corten la superficie auxiliar, definiendo unos puntos proyectados sobre la superficie auxiliar, y abatido de los puntos proyectados hasta que corten la placa de salida plana, definiendo la posición de los orificios de salida.
Description
Distribuidor de gases para el recubrimiento de
una lente, y procedimiento, lente y dispositivo de recubrimiento
correspondientes.
La invención tiene por objeto un distribuidor de
gases para el recubrimiento de una lente, donde la lente define una
superficie a recubrir y un eje óptico. La invención tiene asimismo
por objeto un procedimiento para la fabricación de una lente y una
lente fabricada con dicho procedimiento. La invención tiene también
por objeto una lente con un recubrimiento, preferentemente un
recubrimiento antireflejante (o interferencial) y/o un recubrimiento
de una capa endurecedora. Otro objeto de la invención es un
dispositivo de recubrimiento de lentes, dicho dispositivo siendo de
tipo CVD (Chemical Vapour Deposition).
Es conocido el recubrimiento de lentes, en
particular de lentes oftálmicas, con capas interferenciales que
permitan reducir la reflexión de la luz incidente en la lente. Para
ello se depositan una pluralidad de capas (preferentemente entre 5 y
6) de espesores preferentemente entre 10 y 120 nanómetros. Ello se
hace habitualmente mediante técnicas PVD (Physical Vapour
Deposition), si bien es posible emplear otras técnicas como la CVD
(Chemical Vapour Deposition), la PE-CVD (Plasma
Enhanced - Chemical Vapour Deposition), etc.
Asimismo es conocido el tratar las lentes
añadiéndoles un recubrimiento de una capa endurecedora. Esto es
particularmente el caso cuando las lentes son de naturaleza
polimérica u orgánica, como es frecuente en las lentes oftálmicas,
ya que estas lentes tienen una resistencia al rallado
considerablemente inferior que las lentes minerales (usualmente
denominadas lentes de vidrio). Este recubrimiento se hace
usualmente por inmersión en un baño siloxánico, y se obtienen unas
capas con unos espesores de unas 2 ó 3 micras.
Ambos recubrimientos pueden (y suelen) coexistir
para una misma lente, si bien los procedimientos para su formación
son diferentes, por lo que han de ser etapas independientes de
fabricación de la lente. Ello provoca que el procedimiento completo
sea largo (de varias horas) y costoso.
Un requisito muy importante en estas capas es que
sean de un espesor muy homogéneo. Todos los procedimientos
actualmente conocidos tienen fuertes limitaciones en este sentido, y
requieren soluciones tecnológicamente complejas para conseguir unas
dispersiones de espesor que permitan obtener una calidad de visión
aceptable.
En la presente descripción y reivindicaciones se
debe entender por lente todo sistema óptico compuesto de al menos
una superficie y que presenta propiedades dióptricas y/o
catóptricas. Es decir, todo sistema óptico basado en fenómenos de
refracción (sistemas dióptricos), como por ejemplo las lentes
oftálmicas, como en fenómenos de reflexión (sistemas catóptricos),
como por ejemplo espejos ópticos. Asimismo se deben considerar
lentes aquellos sistemas ópticos que combinen ambos efectos, como
por ejemplo sistemas ópticos con una primera superficie refractante
y una segunda superficie reflectante, sistemas ópticos con
superficies semitransparentes, etc.
La invención tiene por objeto superar estos
inconvenientes. Esta finalidad se consigue mediante un distribuidor
de gases del tipo indicado al principio caracterizado porque
comprende una placa de salida plana con una pluralidad de orificios
de salida, donde la placa de salida plana tiene definido un centro
de placa y donde los orificios de salida presentan una distribución
sobre la placa obtenible de la siguiente manera:
[a] definición de una superficie auxiliar, y
posicionado de la superficie auxiliar respecto de la placa de salida
plana, donde la superficie auxiliar define un perímetro
exterior,
[b] posicionado de unos primeros puntos sobre una
primera superficie plana de manera que presenten una distribución
con una densidad superficial de primeros puntos constante,
[c] posicionado de la primera superficie plana de
manera que esté en contacto con el perímetro y sea paralela a la
placa de salida plana,
[d] para cada uno de los primeros puntos:
- [d.1]
- trazado de una recta de proyección desde un origen de proyección, dispuesto sobre dicho eje óptico, y que pase por el primer punto,
- [d.2]
- prolongación de la recta de proyección hasta que corte la superficie auxiliar, definiendo un punto proyectado sobre la superficie auxiliar,
\newpage
- [d.3]
- trazado de una recta de abatimiento perpendicular a la placa de salida plana, desde el punto proyectado hasta que corte la placa de salida plana, definiendo un segundo punto
[e] perforación de un orificio de salida en cada
uno de los segundos puntos.
Efectivamente uno de los graves problemas de las
lentes es que no son superficies planas, mientras que los
distribuidores de gases suelen tener una placa de salida que es
plana. Debido a ello los distribuidores de gases convencionales
suelen formar unas densidades de gases y, en general, unos flujos de
gases que son aproximadamente uniformes en planos paralelos a la
placa de salida. AI entrar en contacto los gases con la superficie
curva de la lente, cada punto de la lente entra en contacto con un
flujo de gas diferente, y ello provoca espesores de capa
irregulares. Es posible diseñar unos distribuidores de gases que
tengan una placa de salida que no sea plana sino que sea similar a
la superficie a recubrir de la lente. Sin embargo estos
distribuidores son caros y complejos de fabricar. En el estado de la
técnica son conocidos algunos distribuidores de gases con una placa
de salida plana y con una pluralidad de orificios distribuidos de
una forma irregular para intentar reducir la dispersión de
espesores de las capas a depositar. Sin embargo se ha observado que
el distribuidor de gases según la invención presenta unos resultados
claramente mejores a los obtenidos por los distribuidores de gases
de acuerdo con el estado de la técnica. El distribuidor de gases de
acuerdo con la invención tiene en cuenta el flujo de gases como una
magnitud vectorial, y tiene en cuenta la geometría tridimensional de
la superficie. De esta manera se tiene en cuenta que no solamente
es importante la densidad del flujo de gas en cada punto del espacio
sino también el ángulo de incidencia del flujo de gas sobre la
superficie.
Para la fabricación del distribuidor de gases es
necesario definir una superficie auxiliar a recubrir. Efectivamente
el caso ideal sería aquél, en el que el distribuidor de gases ha
sido calculado y fabricado para la lente real que se desea recubrir.
Sin embargo lentes reales hay muchísimas, ya que debe tenerse en
cuenta que, por ejemplo en el caso de lentes oftálmicas que tengan
alguna prescripción, pueden combinarse superficies esféricas,
tóricas, progresivas, etc. y todas ellas con diversas potencias. Por
lo tanto, por motivos prácticos, el distribuidor de gases deberá
ser fabricado pensando en que debe ser adecuado para recubrir una
pluralidad de superficies diferentes. En este sentido se deberá
definir una superficie auxiliar (que será una superficie
"promedio" del rango de superficies que deberá ser capaz de
recubrir el distribuidor en cuestión). Lógicamente, como ya se ha
dicho antes, esta superficie auxiliar será preferentemente similar
a la superficie a recubrir, ya que cuanto más se parezca a la
superficie real a recubrir mejor será el resultado obtenido. Por
otro lado, desde un punto de vista de simplicidad de cálculo, es
ventajoso que la superficie auxiliar sea apta para ser descrita
mediante una expresión analítica, ya que las expresiones analíticas
permiten un tratamiento matemático simplificado. Además debe tenerse
en cuenta que las lentes oftálmicas, si bien pueden ser una
combinación de una pluralidad de superficies, son sustancialmente
una superficie esférica. Por ello es ventajoso que la superficie
auxiliar sea una superficie esférica, ya que en primera
aproximación, es una superficie que se asemeja a la mayoría de las
superficies de las lentes oftálmicas reales. Si bien ello no
descarta la posibilidad de que la superficie auxiliar sea cualquier
otro tipo de superficie analítica (superficies esféricas, tóricas,
elipsoidales, etc.) o incluso cualquier otro tipo de superficie no
necesariamente analítica (como por ejemplo superficies progresivas
expresadas numéricamente o mediante otras técnicas de representación
de superficies complejas).
El posicionado del origen de proyección es una
variable de gran importancia, ya que es un parámetro que define
cómo será la proyección de los primeros puntos de la primera
superficie plana sobre la superficie auxiliar y, por lo tanto,
determina la distribución de los segundos puntos.
El posicionado de la superficie a recubrir
respecto de la placa de salida plana es asimismo de gran
importancia y, de hecho, es una variable de diseño que permite
optimizar la calidad de los recubrimientos obtenidos.
Debe tenerse en cuenta que en la presente
invención se hace referencia a dos procedimientos que no deben ser
mezclados ni confundidos: por un lado está el procedimiento de
determinación de las posiciones de los orificios de salida (o sea de
los segundos puntos). Para ello se define una superficie auxiliar
con un perímetro exterior, una primera superficie y unos primeros
puntos que nos servirán para realizar la proyección descrita
anteriormente. Sin embargo, todos estos elementos son virtuales, es
decir, no tienen existencia física y sirven únicamente para obtener
una distribución de segundos puntos. Por otro lado, en el
procedimiento de recubrimiento se trata de recubrir una superficie a
recubrir real, dispuesta físicamente en un dispositivo de
recubrimiento y a una distancia real del distribuidor. En el
procedimiento de recubrimiento, la superficie auxiliar y los
restantes elementos empleados durante el procedimiento de
determinación de las posiciones de los orificios de salida no tiene
un significado físico, y únicamente están relacionados con el
procedimiento de recubrimiento en tanto en cuanto han influido en la
configuración de la placa de salida del distribuidor. Sin embargo,
el hecho que la superficie auxiliar se parezca (o incluso sea igual)
a la superficie a recubrir permite mejorar los resultados obtenidos,
como ya se ha comentado anteriormente y como se demostrará más
adelante.
El distribuidor de gases de acuerdo con la
invención presenta una placa de salida plana, que es de fácil
construcción y con una distribución de los orificios de salida que
es obtenible mediante el procedimiento anteriormente indicado. Al
indicar que la distribución de orificios es obtenible mediante el
procedimiento indicado debe quedar claro que ello incluye los casos
en los que la distribución de orificios de salida se ha obtenido
mediante cualquier otro procedimiento, siempre y cuando se hubiese
podido obtener mediante el procedimiento indicado anteriormente.
Como ya se ha comentado anteriormente los
primeros puntos están posicionados sobre la primera superficie
plana de manera que presentan una distribución con una densidad
superficial de primeros puntos que sea constante. De hecho,
conceptualmente, el procedimiento de redistribución de los primeros
puntos para convertirlos en los segundos puntos, pretende que los
segundos puntos presenten una distribución que permita un flujo
proyectado homogéneo sobre la superficie, teniendo en cuenta la
forma y distancia de la superficie a recubrir.
Preferentemente la distribución de los primeros
puntos sobre la primera superficie plana está definida por los
nudos de una malla cuadrada, o por los nudos de una malla de
triángulos equiláteros.
En el proceso de deposición (por el que se forman
las capas de recubrimiento) deben tenerse particularmente en cuenta
dos fenómenos que afectan a la homogeneidad del espesor de la capa
depositada. Por un lado la distancia entre la superficie a recubrir
y la placa de salida: cuanto mayor es la distancia más lenta es la
velocidad de deposición. Por otro lado el ángulo entre la superficie
a recubrir y la velocidad del chorro de gas emergente de los
orificios de salida: cuanto menor es este ángulo menor es la
velocidad de deposición. En el caso del recubrimiento de una
superficie que es cóncava en el sentido de la placa de salida,
entonces ambos efectos se compensan parcialmente. Sin embargo en el
caso en que la superficie a recubrir es una superficie convexa hacia
la placa de salida plana, entonces ambos efectos se acumulan. En
este sentido el distribuidor de acuerdo con la invención es
particularmente adecuado para recubrir superficies convexas hacia la
placa de salida del distribuidor, ya que el distribuidor si ha sido
calculado empleando una superficie auxiliar que también sea convexa,
y de una forma similar a la superficie a recubrir, entonces la
distribución de los segundos puntos es tal que compensa los efectos
negativos debidos a la forma convexa de la superficie a
recubrir.
Ventajosamente la distancia entre la superficie a
recubrir y la placa de salida es variable, de manera que pueda ser
ajustada a diferentes valores en función de determinados criterios,
como por ejemplo en función del radio de curvatura de la superficie
a recubrir. Efectivamente esta distancia tiene un efecto importante
sobre la calidad de recubrimiento realizado. Es posible que pueda
ser conveniente ajustar esta distancia en función de la lente real
que se desee recubrir en cada momento. La distancia puede ser
definida de diversas maneras, como por ejemplo en la distancia
existente entre el centro óptico de la superficie de la lente y el
centro de placa, o cualquier otra definición que permita comparar
distancias.
Ventajosamente los orificios de salida tienen un
diámetro superior a 0'5 mm. Se ha observado que con orificios
inferiores existe el riesgo de que se obturen debido a la presencia
de contaminantes. Por otro lado es ventajoso que entre los orificios
de salida haya una separación comprendida entre 1 y 10 mm.
Separaciones más pequeñas provocarían que los orificios se
superpongan entre sí, mientras que separaciones más grandes provocan
que el flujo de salida del gas presente irregularidades demasiado
elevadas.
Ventajosamente la placa de salida tiene un
diámetro de comprendido entre los 50 y los 100 mm, y
preferentemente está fabricado con un material del grupo formado
por plata, cobre y aluminio. Estos materiales presentan una buena
conductividad eléctrica a la frecuencia a la que es empleado el
equipo, que usualmente será radiofrecuencia, preferentemente 13,56
MHz. Por otro lado interesa que los materiales tengan unas buenas
propiedades mecánicas y sean fáciles de mecanizar. En este sentido
el aluminio es particularmente preferente. Por otro lado, otro
material preferente es el titanio, que adicionalmente presenta la
ventaja de que presenta un sputtering (reducción catódica)
reducido. Preferentemente la placa de salida plana tiene un espesor
comprendido entre 1 y 2 mm.
La invención tiene también por objeto un
procedimiento para la fabricación de una lente, preferentemente una
lente oftálmica, caracterizado porque que comprende una etapa de
recubrimiento en la que se emplea un distribuidor de acuerdo con la
invención. Ventajosamente se realiza simultáneamente el
recubrimiento de ambas caras de la lente, para lo cual se emplea
simultáneamente un distribuidor de acuerdo con la invención para
cada cara de la lente.
La invención tiene asimismo por objeto una lente,
preferentemente una lente oftálmica, fabricada según un
procedimiento de acuerdo con la invención.
La invención permite la obtención de lentes que
tienen un radio de curvatura menor de 350 mm en por lo menos uno de
los puntos de su cara convexa y un recubrimiento en su cara convexa
con una diferencia de espesor máxima entre \pm 2'5%. Esta
uniformidad en el espesor no es obtenible por otras técnicas de
recubrimiento de lentes descritas en el estado de la técnica, por
lo que la invención tiene asimismo por objeto lentes que tienen un
radio de curvatura menor de 350 mm en por lo menos uno de los
puntos de su cara convexa y un recubrimiento en su cara convexa con
una diferencia de espesor máxima entre \pm 2'5%. Preferentemente
las lentes tiene un diámetro (del perímetro de su base) mayor o
igual a 50 mm, ya que es realmente en las lentes de mayor diámetro
en las que es más difícil conseguir espesores homogéneos, y es en
estos casos en los que la invención representa una mejora
claramente notoria.
Otro objeto de la invención es un dispositivo de
recubrimiento de lentes de tipo CVD, caracterizado porque comprende
por lo menos un distribuidor de acuerdo con la invención. Estos
dispositivos permiten la obtención de recubrimientos con espesores
comprendidos entre los 5 y los 3000 nanómetros, y con unas
características físicas (en particular con una uniformidad en el
espesor de las capas depositadas) adecuadas para las lentes, en
particular para las lentes oftálmicas.
Preferentemente el dispositivo de recubrimiento
es del tipo PE-CVD, ya que este tipo de tecnología
permite trabajar a temperaturas más bajas (lo que facilita su
aplicación para el recubrimiento de lentes orgánicas), y permite
obtener capas de mayor densidad e índice de refracción (el cual,
además, es más fácilmente ajustable), con una mejor adherencia al
substrato y una mayor resistencia a la abrasión. Por otro lado, la
tecnología de recubrimiento por PE-CVD requiere
trabajar en condiciones de vacío menos exigentes que otras
tecnologías, lo que permite evitar posibles dispersiones en las
características de los recubrimientos debidas a dispersiones en las
condiciones de vacío del proceso. Asimismo, en este caso el
dispositivo de acuerdo con la invención permite realizar
simultáneamente el recubrimiento de ambas caras, y se puede realizar
la deposición de la capa endurecedora y de las capas
interferenciales en una misma etapa de vacío. Gracias al empleo de
distribuidores de acuerdo con la invención es posible conseguir
todos estos resultados y, simultáneamente, obtener unas bajas
dispersiones en el espesor de cada una de las capas, que
preferentemente están por debajo de \pm 2'5%.
Ventajosamente el dispositivo comprende por lo
menos un generador de radiofrecuencia, es decir, emplea
radiofrecuencia para la excitación de los gases a depositar. Frente
a la alternativa de emplear microondas como fuente de excitación, la
radiofrecuencia permite obtener unas capas más uniformes, y
requiere unas condiciones de vacío menos exigentes.
Otras ventajas y características de la invención
se aprecian a partir de la siguiente descripción, en la que, sin
ningún carácter limitativo, se relatan unos modos preferentes de
realización de la invención, haciendo mención de los dibujos que se
acompañan. Las figuras muestran:
Fig. 1, una vista esquemática del procedimiento
de obtención de la posición de los orificios de salida de la placa
de salida plana.
Fig. 2, una vista en planta de una distribución
de primeros puntos con una densidad superficial constante.
Fig. 3, una vista en planta de una distribución
de orificios de salida de acuerdo con la invención.
Fig. 4, un gráfico de la diferencia máxima de
espesores de la zona recubierta de la lente, expresada en %, en
función del radio de curvatura de la superficie a recubrir,
expresado en mm, que es esférica.
Fig. 5, un gráfico del valor de la posición del
origen de proyección, expresado en mm, en función del radio de la
superficie auxiliar, expresado en mm, que es esférica.
Fig. 6, un gráfico del valor de la distancia
óptima entre el distribuidor y el perímetro exterior de la
superficie a recubrir, expresado en mm, en función del radio de la
superficie a recubrir, expresado en mm, que es esférica.
Figs. 7 a 9, unos gráficos del valor de la
diferencia máxima de espesores de la zona recubierta de la lente,
expresada en %, en función del radio de superficie a recubrir, y en
función del empleo de diferentes distribuidores.
Fig. 10, una vista esquemática de un primer
dispositivo de recubrimiento de lentes de acuerdo con la
invención.
Fig. 11, una vista esquemática de un segundo
dispositivo de recubrimiento de lentes de acuerdo con la
invención.
Fig. 12, una vista esquemática de un distribuidor
de acuerdo con la invención.
La Fig. 1 muestra esquemáticamente un ejemplo del
procedimiento que se sigue para la determinación de las posiciones
de los orificios de salida en la placa de salida plana del
distribuidor de gases de acuerdo con la invención. En este caso
concreto se ha tomado como superficie auxiliar SA una superficie
esférica de radio r_{a}. La superficie auxiliar define un eje
óptico, vertical en la Fig. 1, que pasa por el origen O de la
esfera. Por debajo del origen O, y a una distancia \rho, se
posiciona el origen de proyección OP. Se posiciona la placa de
salida plana de manera que pasa por el origen de proyección OP (en
general esto no es necesario que sea así, es decir la placa de
salida plana puede estar posicionada de manera que no coincida con
el origen de proyección). Sobre la base del casquete esférico (que
define un perímetro que es una circunferencia) se posiciona la
primera superficie plana con los primeros puntos PI distribuidos de
tal manera que presentan una densidad superficial constante (como
por ejemplo los mostrados en la Fig. 2). A partir de ahí se traza
una recta de proyección desde el origen de proyección OP hasta cada
uno de los primeros puntos P1 y se extiende hasta que corte la
superficie auxiliar SA, donde se obtiene un punto proyectado. El
punto proyectado es nuevamente proyectado (o abatido)
perpendicularmente a la placa de salida plana, hasta que la corta,
definiendo un segundo punto P2.
Un ejemplo de una distribución de segundos puntos
P2 puede verse en la Fig. 3. Esta distribución ha sido obtenida
partiendo de una distribución de primeros puntos P1 como la de la
Fig. 2 (que es una distribución en forma de malla cuadrada y con
los puntos separados 3 mm entre sí), definiendo la superficie
auxiliar SA como un casquete esférico convexo de radio de curvatura
r_{a} = 65,38 mm, diámetro del perímetro = 70 mm y tomando \rho
= -30 mm. Estos segundos puntos P2 son los que definen las
posiciones de los orificios de salida en la placa de salida.
Como puede verse, el ejemplo ha consistido en una
superficie auxiliar SA que es esférica, en una placa de salida
plana dispuesta paralela a la base del casquete esférico, de manera
que el perímetro exterior del casquete esférico es una
circunferencia paralela a la placa de salida plana, y la placa de
salida plana ha sido dispuesta de manera que contenga el origen de
proyección. Sin embargo todo esto son casos particulares y es
posible emplear otras geometrías diferentes a las del ejemplo de la
Fig. 1.
Asimismo, el origen de proyección OP no tiene por
qué estar siempre más alejado de la superficie auxiliar que el
origen O sino que también puede estar entre la superficie auxiliar y
el origen O. Es decir, el valor de p puede ser positivo o
negativo.
Para simplificar la obtención de datos
experimentales, se han realizado diversas simulaciones numéricas
que han predicho el comportamiento que tendrá un distribuidor de
acuerdo con la invención. En las siguientes figuras se muestran los
resultados obtenidos.
En la Fig. 4 se muestran los resultados de las
siguientes modelizaciones:
- la curva 1 muestra el empleo de un distribuidor
convencional, con una placa de salida plana con unos orificios de
salida distribuidos de manera que tienen una densidad superficial
constante, cuando se recubre la superficie cóncava de una lente
oftálmica.
- la curva 2 muestra el empleo del distribuidor
de la curva 1 cuando se recubre la superficie convexa de una lente
oftálmica.
- la curva 3 muestra el empleo de un distribuidor
de acuerdo con la invención, cuando se recubre la superficie
convexa de una lente oftálmica. Estos datos han sido obtenidos
considerando que la superficie auxiliar es un casquete esférico, que
la superficie a recubrir es asimismo un casquete esférico, y con
los valores de r_{a}, \rho y de la distancia entre la placa de
salida plana y la base de la superficie a recubrir mostradas en la
siguiente tabla 1:
r (mm) | r_{a} (mm) | \rho (mm) | d (mm) |
58,11 | 58,11 | -20 | 25 |
65,38 | 65,38 | -30 | 20 |
74,71 | 74,71 | -30 | 20 |
87,17 | 87,17 | -20 | 20 |
104,6 | 104,6 | -10 | 20 |
130,75 | 130,75 | 20 | 20 |
174,33 | 174,33 | 40 | 15 |
261,5 | 261,5 | 110,0 | 15 |
523,0 | 523,0 | 380 | 15 |
En todos los casos, el diámetro de la
circunferencia que conforma el perímetro del casquete esférico ha
sido de 70 mm.
Estos valores son los que minimizan la dispersión
de espesores para cada uno de los radios de esfera de la lente a
recubrir.
Debe observarse que en cada caso, el radio
r_{a} de la superficie auxiliar es coincidente con el radio r de
la superficie a recubrir. Sin embargo, tal como ya se ha comentado
anteriormente, no se deben confundir ambas superficies. Esta
coincidencia entre ambos radios quiere decir que se ha tomado el
caso extremo de similitud entre la superficie auxiliar y la
superficie a recubrir: ambas son idénticas.
Se muestra gráficamente los valores del parámetro
\rho que optimizan la diferencia de espesores, indicados en la
Tabla 1, en función de los radios de esfera de la superficie
auxiliar (o, si se prefiere, de los radios de la lente a recubrir,
ya que son del mismo valor.)
En la Figura 6 se muestra para cada radio de
esfera de la superficie a recubrir cuál es la distancia entre la
placa de salida plana y la base del casquete esférico que minimiza
la dispersión de espesores. Como puede verse pueden considerarse
grupos de radios de esfera que tienen todos ellos una misma
distancia como óptima. En este sentido puede ser de interés prever
que el dispositivo de recubrimiento de lentes oftálmicas tenga un
mecanismo que permita variar la distancia entre la placa de salida
plana y las lentes a recubrir en función del radio de curvatura de
las mismas (o de un parámetro equivalente). Las curvas 1, 2 y 3 se
corresponden con las curvas de la Fig. 4.
La superficie auxiliar es la superficie que es
necesario definir para poder realizar el procedimiento de
posicionado de los orificios de salida. Óptimamente esta superficie
auxiliar coincide con la superficie real de la lente oftálmica a
recubrir, pero esto es muy complejo y caro en la práctica. Por ello
es conveniente escoger una superficie auxiliar que, siendo similar a
la lente oftálmica real a recubrir, permita simplificar todo el
procedimiento. Preferentemente esta superficie auxiliar es similar a
una pluralidad de lentes oftálmicas reales de manera que sirva para
recubrir a una pluralidad de lentes oftálmicas reales dentro de unos
parámetros de calidad requeridos. Como puede verse el concepto
similar no es un concepto exacto, ya que cuanto menos similar sea
la superficie auxiliar con la lente oftálmica real, peores serán
los resultados obtenidos pero no se puede definir una frontera
exacta ya que será básicamente una decisión de tipo económico. A
modo de ejemplo se muestra en la Fig. 7 la siguiente
comparativa:
La curva 1 muestra la diferencia máxima de
espesores, en función del radio de esfera de la superficie a
recubrir, en el caso de emplear una placa de salida plana con una
distribución de puntos de densidad constante para recubrir la
superficie convexa de una lente oftálmica. De hecho esta curva 1
corresponde a la curva 2 de la Figura 4.
La curva 2 muestra la curva 3 de la Fig. 4, es
decir, el caso que cada lente de un radio determinado ha sido
recubierta empleando el distribuidor óptimo.
La curva 3 muestra los resultados obtenidos en el
caso de emplear un único distribuidor para todas las superficies a
recubrir, tomando concretamente el que optimiza el recubrimiento de
una esfera de 104,6 mm de radio, lo cual requiere que el valor de
r_{a} sea asimismo de 104,6 mm, que \rho sea de -10 mm. El
diámetro del perímetro de la esfera auxiliar ha sido de 70 mm. Una
vez escogido este distribuidor, se ha tomado la distancia d (entre
la placa de salida y la lente a recubrir) que minimiza la
dispersión de espesores, es decir, para cada radio de esfera de la
superficie a recubrir se ha tomado la distancia indicada en la
curva 3 de la Fig. 6.
La Figura 8 muestra un gráfico similar al de la
Figura 7 pero en el que se han tomado dos distribuidores. Las curvas
1 y 2 son las mismas que las de la Figura 7 y la curva 3 muestra
los resultados obtenidos en el caso de emplear dos distribuidores
para todas las superficies, tomados de la siguiente manera: el
primer distribuidor es el que optimiza los espesores para el caso de
radio de esfera igual a 74,71 mm (obtenido con un valor de r_{a}
igual a 74,71 mm, \rho igual a -30 mm y diámetro de
circunferencia igual a 70 mm) y se ha empleado para recubrir
superficies de radio de esfera menor o igual a 104,6 mm, el segundo
distribuidor es el que optimiza los espesores para el caso de radio
de esfera igual a 261,5 mm (obtenido con un valor de r_{a} igual
a 261,5, \rho igual a 110 mm y de diámetro de circunferencia igual
a 70 mm) y se ha empleado para recubrir superficies de radio de
esfera mayor o igual a 130,75 mm. AI igual que en el caso anterior,
una vez escogido el distribuidor para cada rango de radios de
esfera, se ha tomado la distancia d (entre la placa de salida y la
lente a recubrir) que minimiza la dispersión de espesores, es decir,
para cada radio de esfera de la superficie a recubrir se ha tomado
la distancia indicada en la curva 3 de la Fig. 6.
La Figura 9 muestra otro gráfico similar al de la
Figura 7 pero en el que se han empleado tres distribuidores. Las
curvas 1 y 2 vuelven a ser las mismas que las de la Figura 7, y la
curva 3 muestra los resultados obtenidos en el caso de emplear tres
distribuidores para todas las superficies, tomados de la siguiente
manera: el primer distribuidor es el que optimiza los espesores
para el caso de radio de esfera igual a 65,38 mm y se ha empleado
para recubrir las superficies de radio de esfera de 58,11 mm, 65,38
mm, y 74,71 mm; el segundo distribuidor optimiza los espesores para
el caso de radio de esfera igual a 104,6 mm y se ha empleado para
recubrir las superficies de radio de esfera de 87,17 mm, 104,6 mm y
130,75 mm; y el tercer distribuidor optimiza los espesores para el
caso de radio de esfera igual a 262,5 mm y se ha empleado para
recubrir las superficies de radio de esfera de 174,33 mm, 262,5 mm
y 523 mm. Al igual que en los casos anteriores, para obtener los
distribuidores "óptimos" se han empleado tos datos
correspondientes de la tabla 1. También en este caso, para cada
radio de esfera se ha tomado la distancia d (entre la placa de
salida y la lente a recubrir) que minimiza la dispersión de
espesores, es decir, para cada radio de esfera se ha tomado la
distancia indicada en la curva 3 de la Fig. 6.
Como puede verse, se puede mejorar la dispersión
de espesores obtenida a base de tomar más distribuidores. La
elección definitiva de la cantidad de distribuidores a construir
vendrá determinada principalmente por condicionantes logísticos y de
coste.
Figuras 10 a
12
En la Figura 10 se muestra un esquema de un
dispositivo de recubrimiento de lentes. El dispositivo es del tipo
PE-CVD, apto para aplicar tanto las multicapas
antireflejantes como el recubrimiento endurecedor. Para ello puede
depositar capas de espesores entre 5 y 3000 nanómetros con
velocidades de crecimiento de hasta 7 nanómetros por segundo. La
deposición se realiza simultáneamente sobre las dos superficies de
la lente oftálmica, y se realiza por
plasma-polimerización de precursores
organometálicos, que son introducidos en una cámara de vacío en fase
vapor mezclados con gases reactivos, como el oxígeno y/o el
nitrógeno, y/o inertes, como el argón. De esta manera se obtienen
unas capas de óxidos metálicos que permiten obtener las propiedades
ópticas y mecánicas deseadas. El dispositivo comprende una cámara
cilíndrica CC de unos 120 l desde donde se realiza el vacío hasta
presiones inferiores a los 10^{-3} milibares. El dispositivo
consta además de dos generadores de radiofrecuencia RF, de 13,56
MHz, y de hasta 600 W de potencia, y de los medios para transmitir
eficazmente la señal de radiofrecuencia a unos electrodos.
Preferentemente el dispositivo comprende dos
electrodos E y un plato portalentes PP dispuesto entre ambos
electrodos E, donde por lo menos uno de dichos electrodos E
incorpora por lo menos uno de dichos distribuidores. Concretamente,
en el ejemplo de las Figs. se observa que en el interior de la
cámara CC se han dispuesto dos electrodos E circulares,
substancialmente planos y paralelos entre sí, y separados entre sí
una distancia d_{1}. Los electrodos E están separados una
distancia de d_{2} de las paredes de la cámara CC y una distancia
d_{3} de la base (o el techo) de la cámara CC, de tal manera que
d_{1} es menor que d_{2} y d_{2} es menor que d_{3}. Entre
ambos electrodos E se ha dispuesto un plato portalentes PP con
capacidad para alojar seis lentes de 70 mm de diámetro cada una.
Esta configuración permite obtener un buen confinamiento del plasma
entre los electrodos E.
Cada electrodo E presenta seis placas de salida
PS plana correspondientes a seis distribuidores de gases
enfrentadas cada una de ellas a una de las lentes dispuestas en el
plato portalentes PP. En la Figura 12 se muestra un detalle de uno
de los distribuidores. Tiene una cámara de homogeneización CH a la
que llegan dos tubos T por su parte inferior por los que circulan
los precursores. La cámara de homogeneización CH está cerrada por
una placa PL que está conectada a la fuente de radiofrecuencia. En
la zona de la placa PL coincidente con la cámara de homogeneización
CH están dispuestos los orificios de salida de modo que esta zona
conforme la placa de salida PS plana.
Es posible escoger entre diversas alternativas
por lo que respecta a la conexión de la fuente de radiofrecuencia
RF. Es posible que estén conectados ambos electrodos E a la fuente
de radiofrecuencia RF (ver Fig. 10), pudiendo existir un desfase no
entre ambas señales. Es posible que esté conectado sólo uno de ambos
electrodos E a la fuente de radiofrecuencia RF. Por su parte el
plato portalentes PP puede estar conectado a la fuente de
radiofrecuencia RF (tal como es el caso en ejemplo de la Figura
11), puede estar a potencial flotante o puede estar conectada una
polarización variable. En el caso de que el plato portalentes PP
esté conectado a la fuente de radiofrecuencia RF, entonces los dos
electrodos E se conecte a masa. Esta solución es particularmente
interesante ya que permite una velocidad de crecimiento de la capa
de recubrimiento más elevada.
Ventajosamente los electrodos E están acoplados
capacitivamente.
Claims (22)
1. Distribuidor de gases para el recubrimiento de
una lente que define una superficie a recubrir y un eje óptico,
caracterizado porque comprende una placa de salida (PS)
plana con una pluralidad de orificios de salida, donde dicha placa
de salida (PS) plana tiene definido un centro de placa y donde
dichos orificios de salida presentan una distribución sobre dicha
placa obtenible de la siguiente manera:
[a] definición de una superficie auxiliar (SA), y
posicionado de dicha superficie auxiliar respecto de dicha placa de
salida (PS) plana, donde dicha superficie auxiliar (SA) define un
perímetro exterior,
[b] posicionado de unos primeros puntos (P1)
sobre una primera superficie plana de manera que presenten una
distribución con una densidad superficial de primeros puntos (P1)
constante,
[c] posicionado de dicha primera superficie plana
de manera que esté en contacto con dicho perímetro y sea paralela a
dicha placa de salida (PS) plana,
[d] para cada uno de dichos primeros puntos
(P1):
- [d.1]
- trazado de una recta de proyección desde un origen de proyección (OP), dispuesto sobre dicho eje óptico, y que pase por dicho primer punto (P1),
- [d.2]
- prolongación de dicha recta de proyección hasta que corte dicha superficie auxiliar (SA), definiendo un punto proyectado sobre dicha superficie auxiliar,
- [d.3]
- trazado de una recta de abatimiento perpendicular a dicho placa de salida (PS) plana, desde dicho punto proyectado hasta que corte dicha placa de salida plana, definiendo un segundo punto (P2),
[e] perforación de un orificio de salida en cada
uno de dichos segundos puntos (P2).
2. Distribuidor según la reivindicación 1,
caracterizado porque dicha superficie auxiliar (SA) es apta
para ser descrita mediante una expresión analítica.
3. Distribuidor según la reivindicación 2,
caracterizado porque dicha superficie auxiliar (SA) es una
superficie esférica.
4. Distribuidor según cualquiera de las
reivindicaciones 1 a 3, caracterizado porque dicha
superficie auxiliar (SA) es una superficie convexa hacia dicha placa
de salida (PS) plana.
5. Distribuidor según cualquiera de las
reivindicaciones 1 a 4, caracterizado porque la distancia
entre la superficie a recubrir y la placa de salida (PS) plana es
variable.
6. Distribuidor según cualquiera de las
reivindicaciones 1 a 5, caracterizado porque dichos
orificios de salida tienen un diámetro superior a 0'5 mm.
7. Distribuidor según cualquiera de las
reivindicaciones 1 a 6, caracterizado porque entre dichos
orificios de salida hay una separación comprendida entre 1 y 10
mm.
8. Distribuidor según cualquiera de las
reivindicaciones 1 a 7, caracterizado porque dicha placa de
salida (PS) plana es de un material del grupo formado por plata,
cobre y aluminio.
9. Distribuidor según la reivindicación 8,
caracterizado porque dicha placa de salida (PS) plana es de
aluminio.
10. Distribuidor según cualquiera de las
reivindicaciones 1 a 9, caracterizado porque dicha placa de
salida (PS) plana es de titanio.
11. Procedimiento para la fabricación de una
lente caracterizado porque que comprende una etapa de
recubrimiento en la que se emplea un distribuidor según cualquiera
de las reivindicaciones 1 a 10.
12. Procedimiento según la reivindicación 11,
caracterizado porque en dicha etapa de recubrimiento se
emplea simultáneamente uno de dichos distribuidores para cada cara
de dicha lente.
13. Lente fabricada según un procedimiento según
una de las reivindicaciones 11 ó 12.
14. Lente que tiene un radio de curvatura menor
de 350 mm en por lo menos uno de los puntos de su cara convexa y un
recubrimiento en su cara convexa con una diferencia de espesor
máxima entre \pm 2'5%.
\newpage
15. Dispositivo de recubrimiento de lentes de
tipo CVD, caracterizado porque comprende por lo menos un
distribuidor según cualquiera de las reivindicaciones 1 a 10.
16. Dispositivo según la reivindicación 15,
caracterizado porque es del tipo PE-CVD.
17. Dispositivo según una de las reivindicaciones
15 ó 16, caracterizado porque comprende por lo menos un
generador de radiofrecuencia (RF).
18. Dispositivo según cualquiera de las
reivindicaciones 15 a 17, caracterizado porque comprende dos
electrodos (E) y un plato portalentes (PP) dispuesto entre ambos
electrodos (E), donde por lo menos uno de dichos electrodos (E)
incorpora por lo menos uno de dichos distribuidores.
19. Dispositivo según la reivindicación 18,
caracterizado porque dichos electrodos (E) están acoplados
capacitivamente.
20. Dispositivo según una de las reivindicaciones
18 ó 19, caracterizado porque uno de dichos electrodos (E)
está conectado a dicho generador de radiofrecuencia (RF).
21. Dispositivo según la reivindicación 20,
caracterizado porque ambos electrodos (E) están conectados a
dicho generador de radiofrecuencia (RF).
22. Dispositivo según cualquiera de las
reivindicaciones 17 a 21, caracterizado porque dicho plato
portalentes (PP) está conectado a dicho generador de radiofrecuencia
(RF), está conectado a una polarización variable o está a potencial
flotante.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
ES200401600A ES2222111B1 (es) | 2004-06-18 | 2004-06-18 | Distribuidor de gases para el recubrimiento de una lente, y procedimiento, lente y dispositivo de recubrimiento correspondientes. |
PCT/ES2005/000278 WO2006000599A1 (es) | 2004-06-18 | 2005-05-19 | Distribuidor de gases para el recubrimiento de una lente, y procedimiento, lente y dispositivo de recubrimiento correspondientes |
EP05750167A EP1757713A1 (en) | 2004-06-18 | 2005-05-19 | Lens-coating gas dispenser and corresponding coating device, lens and method |
US11/587,370 US20070178230A1 (en) | 2004-06-18 | 2006-10-23 | Gas distributor for coating a lens, and corresponding method, lens and coating device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
ES200401600A ES2222111B1 (es) | 2004-06-18 | 2004-06-18 | Distribuidor de gases para el recubrimiento de una lente, y procedimiento, lente y dispositivo de recubrimiento correspondientes. |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
ES2222111A1 ES2222111A1 (es) | 2005-01-16 |
ES2222111B1 true ES2222111B1 (es) | 2005-12-16 |
Family
ID=34507918
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
ES200401600A Expired - Fee Related ES2222111B1 (es) | 2004-06-18 | 2004-06-18 | Distribuidor de gases para el recubrimiento de una lente, y procedimiento, lente y dispositivo de recubrimiento correspondientes. |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20070178230A1 (es) |
EP (1) | EP1757713A1 (es) |
ES (1) | ES2222111B1 (es) |
WO (1) | WO2006000599A1 (es) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ES2302661B1 (es) * | 2008-02-14 | 2009-10-29 | Indo Internacional S.A. | Lente de base polimerica que comprende una capa endurecedora, una multicapa interferencial y una capa dura intercalada entre ambas, y procedimiento de fabricacion correspondiente. |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1036971A (ja) * | 1996-07-24 | 1998-02-10 | Nikon Corp | Cvd装置 |
KR19980071011A (ko) * | 1997-01-24 | 1998-10-26 | 조셉 제이. 스위니 | 고온 및 고 흐름 속도의 화학적 기상 증착 장치 및 관련증착 방법 |
JP3782206B2 (ja) * | 1997-05-16 | 2006-06-07 | Hoya株式会社 | プラズマcvd成膜用の膜厚補正機構 |
US20020011215A1 (en) * | 1997-12-12 | 2002-01-31 | Goushu Tei | Plasma treatment apparatus and method of manufacturing optical parts using the same |
JPH11172447A (ja) * | 1997-12-12 | 1999-06-29 | Tadahiro Omi | プラズマ処理装置および光学部品の製造法 |
US6126753A (en) * | 1998-05-13 | 2000-10-03 | Tokyo Electron Limited | Single-substrate-processing CVD apparatus and method |
US6207590B1 (en) * | 1999-11-19 | 2001-03-27 | Wafertech, Inc. | Method for deposition of high stress silicon dioxide using silane based dual frequency PECVD process |
-
2004
- 2004-06-18 ES ES200401600A patent/ES2222111B1/es not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-05-19 EP EP05750167A patent/EP1757713A1/en not_active Withdrawn
- 2005-05-19 WO PCT/ES2005/000278 patent/WO2006000599A1/es not_active Application Discontinuation
-
2006
- 2006-10-23 US US11/587,370 patent/US20070178230A1/en not_active Abandoned
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
BASE DE DATOS PAJ en JPO European Patent Office JP 10-317151 A (HOYA CORP.) 02.12.1998, resumen; dibujos. * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
ES2222111A1 (es) | 2005-01-16 |
US20070178230A1 (en) | 2007-08-02 |
EP1757713A1 (en) | 2007-02-28 |
WO2006000599A1 (es) | 2006-01-05 |
WO2006000599A8 (es) | 2006-07-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ES2623630T3 (es) | Procedimiento de obtención de un sustrato provisto de un revestimiento que comprende una capa delgada metálica discontinua | |
ES2372605T3 (es) | Procedimiento de fabricación de una lente oftálmica destinada a la realización de un visualizador óptico. | |
CN102645681B (zh) | 光学部件、其制造方法以及使用其的光学系统 | |
US7729054B2 (en) | Optical diffuser for producing a circular light field | |
ES2261261T3 (es) | Elemento retroreflectante triangular piramidal con esquinas tipo cubo. | |
ES2222111B1 (es) | Distribuidor de gases para el recubrimiento de una lente, y procedimiento, lente y dispositivo de recubrimiento correspondientes. | |
CN107735717A (zh) | 平视显示装置 | |
US10877181B2 (en) | Substrate with low-reflection property and manufacturing method thereof | |
ES2687100T3 (es) | Método para generar recubrimientos de baja emisividad y alta LSG con el mismo color después del tratamiento térmico | |
TW201446666A (zh) | 用於沿等壓管堰控制熔融玻璃流的設備與方法 | |
US20240142673A1 (en) | Optical film | |
US20080241520A1 (en) | Hydrophilic elements | |
KR101407994B1 (ko) | 베셀빔 성형렌즈와 이를 이용하는 기판 절단방법 | |
JPWO2019082309A1 (ja) | 加工装置、塗料、加工方法、及び、移動体の製造方法 | |
ES2390533T3 (es) | Disposición para depositar polvo de recubrimiento sobre un cuerpo de rotación simétrico | |
CA2271775A1 (en) | Device for holding lenses, especially for eye glasses to be coated in a vacuum coating of sputtering machine | |
US9878400B1 (en) | Device for controlling the direction of a laser beam | |
ES2442181T3 (es) | Procedimiento para producir purpurina | |
CN106661721A (zh) | 用于制造涂层的方法以及具有涂层的光电子半导体部件 | |
US20230167556A1 (en) | Coating apparatus | |
WO2021090129A1 (en) | Optical system including light control film and fresnel lens | |
TWI690008B (zh) | 自碟形物品的表面移除液體之裝置與方法 | |
KR20190067103A (ko) | 증착 장치 및 증착 방법 | |
CN107062157A (zh) | 地埋灯透镜、具有该地埋灯透镜的发光模块和地埋灯 | |
CN207958480U (zh) | 镀膜喷头及镀膜系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EC2A | Search report published |
Date of ref document: 20050116 Kind code of ref document: A1 |
|
FG2A | Definitive protection |
Ref document number: 2222111B1 Country of ref document: ES |
|
FD1A | Patent lapsed |
Effective date: 20100315 |