EP4548429A1 - Radarsensor mit einer hohlleiterstruktur - Google Patents

Radarsensor mit einer hohlleiterstruktur

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Publication number
EP4548429A1
EP4548429A1 EP23723594.0A EP23723594A EP4548429A1 EP 4548429 A1 EP4548429 A1 EP 4548429A1 EP 23723594 A EP23723594 A EP 23723594A EP 4548429 A1 EP4548429 A1 EP 4548429A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
frequency
substrate
holes
feedthrough
frequency feedthrough
Prior art date
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Pending
Application number
EP23723594.0A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Kevin Stella
Christian Hollaender
Klaus Baur
Minh Nhat Pham
Juergen Seiz
Kai Schiemenz
Vincent Tom ENGL
Stefan Orasch
Ulrich Mack
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of EP4548429A1 publication Critical patent/EP4548429A1/de
Pending legal-status Critical Current

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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01Q—ANTENNAS, i.e. RADIO AERIALS
    • H01Q1/00—Details of, or arrangements associated with, antennas
    • H01Q1/27—Adaptation for use in or on movable bodies
    • H01Q1/32—Adaptation for use in or on road or rail vehicles
    • H01Q1/3208—Adaptation for use in or on road or rail vehicles characterised by the application wherein the antenna is used
    • H01Q1/3233—Adaptation for use in or on road or rail vehicles characterised by the application wherein the antenna is used particular used as part of a sensor or in a security system, e.g. for automotive radar, navigation systems
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
    • G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
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    • G01S7/03—Details of HF subsystems specially adapted therefor, e.g. common to transmitter and receiver
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    • H01Q13/06—Waveguide mouths
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00—Printed circuits
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    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
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    • H05K3/0044—Mechanical working of the substrate, e.g. drilling or punching
    • H05K3/0047—Drilling of holes
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • G01S13/88—Radar or analogous systems specially adapted for specific applications
    • G01S13/93—Radar or analogous systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes
    • G01S13/931—Radar or analogous systems specially adapted for specific applications for anti-collision purposes of land vehicles

Definitions

  • the invention relates to a radar sensor with a plate-shaped substrate which has at least one layer made of electrically non-conductive material and has a waveguide structure on one side and a high-frequency source/sink on the opposite side, which is connected to the waveguide structure via a high-frequency feedthrough passing through the substrate.
  • the invention is concerned with a radar sensor for motor vehicles.
  • Radar sensors are used in motor vehicles to implement comfort functions such as Adaptive Cruise Control and safety functions such as emergency braking assistant.
  • the radar sensors send out high-frequency radar beams via an antenna structure and receive the beams reflected from objects.
  • the detected objects can be stationary or moving. With the help of the received radar beams, the distance and direction (angle) to the object can be calculated. In addition, the speed of the object can be calculated relative to the radar sensor.
  • the radar sensors typically work in a frequency range between 76 and 81 GHz.
  • Driver assistance functions with higher functionality in the comfort or safety area such as NCAP AEB emergency braking functions for pedestrians or cyclists, as well as future autonomous functions in the level 3 to level 5 range, on the one hand lead to a large number of sensors that are arranged around the vehicle in different positions in order to cover the necessary field of view, and on the other hand to sensors with an ever wider azimuthal detection range.
  • Radar sensors with a wide azimuthal detection range and long range can be implemented using waveguide antennas, among other things.
  • the waveguide antenna can be fed via a metallized opening through a circuit board, so that the waveguide antenna and a high-frequency source (or a high-frequency sink, i.e., a receiver) can be arranged on opposite sides of the circuit board. It is known to produce such openings in the circuit board, which serve as high-frequency feedthroughs, by drilling or milling an opening with the desired cross section into the circuit board and then metallizing the circuit board, including the surface of the opening, using a standard process.
  • the object of the invention is to create a radar sensor with a high-frequency feedthrough that has a geometry optimized for the respective application and can still be manufactured cost-effectively.
  • This object is achieved according to the invention in that a wall of the high-frequency feedthrough is formed by a sequence of circular-cylindrically curved surface segments which have a uniform cross-section over at least part of the length of the high-frequency feedthrough.
  • These high-frequency feedthroughs can be produced cost-effectively in any desired cross-sectional shape by lining up holes whose cross-sections overlap or at least almost touch each other according to the course of the wall of the high-frequency feedthrough.
  • the wall of the high-frequency feedthrough formed in this way does have a certain waviness because each individual hole forms at least one circular-cylindrically curved segment of the wall, but it can be achieved with a relatively small number of holes and with correspondingly little effort that the waviness affects the transmission properties the high-frequency feedthrough for microwaves has no detrimental influence, especially if the unevenness in the wall is smoothed out by subsequent metallization.
  • a significant advantage of this manufacturing process is that no complex milling process is required to achieve a desired geometry of the high-frequency feedthrough that deviates from the circular shape.
  • the holes can be efficiently made with a single drill or an assortment of a few drills and can be arranged so that only small transverse forces act on the drill during the drilling process.
  • the invention also relates to a method for producing a radar sensor with the above-mentioned features, in which the high-frequency feedthrough is formed by lining up several bores in line with the course of the wall of the high-frequency feedthrough to be produced.
  • Advantageous refinements and further developments are specified in the dependent claims.
  • the holes can be introduced into the substrate in such a way that their cross sections overlap each other, that is, the distance between the axes of two adjacent holes is smaller than the diameter of the holes or, if these diameters are different, smaller than the sum of the radii of the two drilling.
  • the lined-up holes then create a straight or curved slot in the substrate.
  • the burrs become higher and sharper, but the advantage is that when drilling a single hole, lower transverse forces act on the drill, since the surfaces with which the drill is attached to the wall of the Substrate attacks are distributed more evenly. If you finally increase the distance between the axes of the holes so that it becomes equal to the diameter of the holes, the circular cylindrical wall segments form a sequence of semicircles. If you increase the distance between the axes even further, narrow bars remain between the individual holes.
  • the slot formed by the holes forms a closed line
  • the island enclosed by the line which is then connected to the surrounding material via narrow webs, can be broken out with little force, so that with a comparatively small number of holes, in which practically no transverse forces occur, a high-frequency feedthrough with a relatively large cross-sectional area is obtained.
  • the substrate will generally be a multilayer printed circuit board having at least two electrically conductive layers on its two opposite surfaces. However, additional electrically conductive layers can optionally be provided inside the circuit board.
  • the metallized layers on the two surfaces of the circuit board as well as the metallized layers on the inner surfaces of the high-frequency feedthroughs can be produced in a single operation using known chemical or electrochemical metallization processes.
  • the metallization layer on the inner surfaces of the high-frequency feedthroughs should have a thickness of 1 m or more, since the above-mentioned burrs are then reliably covered and the high-frequency properties are no longer dependent on the metallization thickness.
  • a first contour can be formed by a series of holes with a shallow depth and then within it a further contour can be formed by a series of deeper holes, the geometry of which is independent of the geometry of the first contour within certain limits. In this way, graduated structures can also be implemented in the high-frequency feedthrough.
  • Fig. 1 shows a partial section through a radar sensor according to one
  • Fig. 2 shows a section through a substrate of the radar sensor
  • Fig. 1 and a high-frequency feedthrough formed therein; uO 3 and 4 examples of high-frequency feedthroughs with different geometry; and
  • FIG. 5 shows a section through a substrate with a high-frequency feedthrough according to another exemplary embodiment.
  • the radar sensor 10 shown in a partial section in FIG. 1 has a substrate 12 which is formed by several layers 14 of electrically non-conductive material and thus alternating layers 16 of electrically conductive material.
  • the top and bottom sides of the substrate 12 are metallized and thus also form layers 16 made of electrically conductive material.
  • a waveguide structure 18 is arranged on the top of the substrate 12, which can be, for example, a waveguide antenna or a connection structure that leads to a waveguide antenna, not shown.
  • the substrate 12 On the opposite side of the substrate 12, at the bottom in FIG to detect and evaluate a microwave signal received by the waveguide antenna.
  • the waveguide structure 18 and the high-frequency source/sink 20 are connected to one another in terms of signals via a high-frequency feedthrough 22.
  • This high-frequency feedthrough 22 is formed by a breakthrough, which in the example shown passes from the top to the bottom of the substrate 12 with a uniform cross-section and the wall of which has a metallization 24.
  • the high-frequency feedthrough 24 is thus able to transmit microwave signals from a connection point of the waveguide structure 18 to a connection point of the high-frequency source/sink 20 and vice versa.
  • the Transmissivity of the high-frequency feedthrough 22 for microwave signals with different frequencies and polarizations depends on the geometry, in particular the cross section of the breakthrough, which forms the high-frequency feedthrough 22.
  • the high-frequency feedthrough 22 is shown in cross section. It can be seen that the high-frequency feedthrough 22 is formed by four holes 28 arranged in a row, the outlines of which are shown in dash-dotted lines in FIG.
  • the four holes 28 have a uniform radius and are arranged at uniform center distances, this center distance being slightly smaller than the diameter of the holes, so that the cross sections of the holes overlap one another.
  • the high-frequency feedthrough 22 thus has the overall shape of an elongated, straight slot, the opposite walls of which are formed by diametrically opposed wall segments 30 of the same holes.
  • the high-frequency feedthrough can be produced, for example, by clamping the substrate 12 in an XY table, which enables controlled movements of the substrate in a two-dimensional Holes 28 are formed. Subsequently, the substrate 12 is metallized to form the metallization 24 on the walls of the high-frequency feedthrough 22 and at the same time the metallizations on the top and bottom of the substrate.
  • Fig. 3 shows a high-frequency feedthrough 22a, which differs from the exemplary embodiment according to Fig. 2 in that the bores 28 have different diameters. In the example shown, the diameters are chosen so that the slot forming the high-frequency feedthrough has a waist in the middle and its width increases towards both ends.
  • Fig. 4 shows a high-frequency feedthrough 22b according to a further exemplary embodiment.
  • the bores 28 again have a uniform diameter, but their central axes are arranged on a curved line, so that the slot forming the high-frequency feedthrough has a curved shape overall.
  • FIG 5 shows a cross section of a substrate 12c with a high-frequency feedthrough 22c that is stepped in the longitudinal section.
  • This high-frequency feedthrough was produced by drilling holes with different diameters into the substrate from opposite sides.
  • the walls of the high-frequency feedthrough 22c are therefore delimited by circular-cylindrically curved wall segments 30c, which have a smaller radius of curvature and a smaller width in the upper part of the feedthrough in FIG. 5 than in the lower part.
  • the center axes of the holes that were made into the substrate from above are also at a smaller distance than the center axes of the holes that were made from below.

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Abstract

Radarsensor mit einem plattenförmigen Substrat (12), das mindestens eine Lage aus elektrisch nichtleitendem Material aufweist und auf einer Seite eine Hohlleiterstruktur und auf der entgegengesetzten Seite einen Hochfrequenzquelle/senke aufweist, die über eine durch das Substrat hindurchgehende Hochfrequenzdurchführung (22) mit der Hohlleiterstruktur verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass eine Wand der Hochfrequenzdurchführung (22) durch eine Folge von kreiszylindrisch gekrümmten Flächensegmenten (30) gebildet wird, die auf mindestens einem Teil der Länge der Hochfrequenzdurchführung einen einheitlichen Querschnitt haben.

Description

Beschreibung
Titel
Radarsensor mit einer Hohlleiterstruktur
Die Erfindung betrifft einen Radarsensor mit einem plattenförmigen Substrat, das mindestens eine Lage aus elektrisch nichtleitendem Material aufweist und auf einer Seite eine Hohlleiterstruktur und auf der entgegengesetzten Seite eine Hochfrequenzquelle/senke aufweist, die über eine durch das Substrat hindurchgehende Hochfrequenzdurchführung mit der Hohlleiterstruktur verbunden ist.
Insbesondere befasst sich die Erfindung mit einem Radarsensor für Kraftfahrzeuge.
Stand der Technik
Zur Realisierung von Komfortfunktionen wie Adaptive Cruise Control und von Sicherheitsfunktionen wie etwa einem Notbremsassistenten kommen in Kraft- fahrzeugen Radarsensoren zum Einsatz. Die Radarsensoren senden über eine Antennenstruktur hochfrequente Radarstrahlen aus und empfangen die an Objekten reflektierten Strahlen. Die erfassten Objekte können hierbei feststehend oder bewegt sein. Mit Hilfe der empfangenen Radarstrahlen lässt sich der Abstand und die Richtung (Winkel) zum Objekt berechnen. Zudem kann die Ge- schwindigkeit des Objekts relativ zum Radarsensor berechnet werden. Typischerweise arbeiten die Radarsensoren in einem Frequenzbereich zwischen 76 und 81 GHz.
Fahrerassistenzfunktionen mit höherer Funktionalität im Komfort- oder Sicher- heitsbereich wie beispielsweise NCAP AEB-Notbremsfunktionen auf Fußgänger oder Radfahrer sowie zukünftige autonome Funktionen im Bereich Level 3 bis Level 5 führen einerseits zu einer Vielzahl von Sensoren die rund um das Fahrzeug herum an verschiedenen Positionen angeordnet sein müssen, um das notwendige Sichtfeld abzudecken, und andererseits zu Sensoren mit immer breiterem azimutalen Erfassungsbereich.
Radarsensoren mit breitem azimutalen Erfassungsbereich und großer Reichweite können unter anderem mittels Hohlleiterantennen realisiert werden. Die Speisung der Hohlleiterantenne kann über eine durch eine Leiterplatte hindurchgehende metallisierte Öffnung erfolgen, so dass die Hohlleiterantenne und eine Hochfrequenzquelle (oder eine Hochfrequenzsenke, d.h., ein Empfänger) auf entgegengesetzten Seiten der Leiterplatte angeordnet werden können. Es ist bekannt, solche Öffnungen der Leiterplatte, die als Hochfrequenzdurchführungen dienen, dadurch herzustellen, dass ein Durchbruch mit dem gewünsch- ten Querschnitt in die Leiterplatte gebohrt oder gefräst wird und anschließend die Leiterplatte einschließlich der Oberfläche des Durchbruchs nach einem Standardverfahren metallisiert wird.
Offenbarung der Erfindung
Aufgabe der Erfindung ist es, einen Radarsensor mit einer Hochfrequenzdurchführung zu schaffen, die eine für den jeweiligen Anwendungszweck optimierte Geometrie aufweist und sich dennoch kostengünstig herstellen lässt. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass eine Wand der Hochfrequenzdurchführung durch eine Folge von kreiszylindrisch gekrümmten Flächensegmenten gebildet wird, die auf mindestens einem Teil der Länge der Hochfrequenzdurchführung einen einheitlichen Querschnitt haben.
Diese Hochfrequenzdurchführungen lassen sich kostengünstig in jeder gewünschten Querschnittsform herstellen, indem Bohrungen, deren Querschnitte einander überlappen oder mindestens nahezu berühren, entsprechend dem Verlauf der Wand der Hochfrequenzdurchführung aneinandergereiht werden. Die so gebildete Wand der Hochfrequenzdurchführung weist zwar eine gewisse Welligkeit auf, weil jede einzelne Bohrung mindestens ein kreiszylindrisch gekrümmtes Segment der Wand bildet, doch lässt es sich mit einer verhältnismäßig geringen Zahl von Bohrungen und mit entsprechend geringem Aufwand erreichen, dass die Welligkeit auf die Transmissionseigenschaften der Hochfrequenzdurchführung für Mikrowellen keinen nachteiligen Einfluss hat, insbesondere dann nicht, wenn die Wandunebenheiten durch eine anschließende Metallisierung geglättet werden.
Ein wesentlicher Vorteil dieses Herstellungsverfahrens besteht darin, dass kein aufwendiges Fräsverfahren benötigt wird, um eine gewünschte, von der Kreisform abweichende Geometrie der Hochfrequenzdurchführung zu realisieren.
Die Bohrungen können rationell mit einem einzigen Bohrer oder einem Sortiment aus wenigen Bohrern hergestellt werden und lassen sich so anordnen, dass auf den Bohrer während des Bohrvorgangs nur geringe Querkräfte wirken.
Gegenstand der Erfindung ist auch ein Verfahren zur Herstellung eines Radarsensors mit den oben angegebenen Merkmalen, bei dem die Hochfrequenzdurchführung dadurch gebildet wird, dass mehrere Bohrungen entsprechend dem Verlauf der herzustellenden Wand der Hochfrequenzdurchführung anei- nander gereiht werden. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben. Die Bohrungen können so in das Substrat eingebracht werden, dass ihre Querschnitte einander überlappen, d.h., dass der Abstand zwischen den Achsen zweier benachbarter Bohrungen kleiner ist als der Durchmesser der Bohrungen bzw., wenn diese Durchmesser verschieden sind, kleiner als Summe der Radien der beiden Bohrungen. Die aneinandergereihten Bohrungen erzeugen dann in dem Substrat einen geradlinig oder gekrümmt verlaufenden Schlitz.
In einer Ausführungsform wird die Hochfrequenzdurchführung unmittelbar durch diesen Schlitz gebildet. In einer anderen Ausführungsform bildet der gekrümmte oder mehrfach abgewinkelte Schlitz eine geschlossene Linie. Innerhalb dieser Linie bildet das stehengebliebene Material der Leiterplatte dann eine Insel, die nicht mit dem umgebenden Material verbunden ist und deshalb herausfällt, so dass man eine Hochfrequenzdurchführung erhält, deren Breite größer ist als die Breite des Schlitzes. Jede einzelne Bohrung erzeugt in der Wand der Hochfrequenzdurchführung ein kreiszylindrisch gekrümmtes Wandsegment, und die aneinandergrenzenden Wandsegmente bilden längs der Wand der Hochfrequenzdurchführung eine Folge von Graten, die in das Innere der Durchführung vorspringen. Je kleiner der Abstand zwischen den Achsen der einzelnen Bohrungen ist, desto flacher und stumpfer sind diese Grate. Wenn man den Abstand zwischen den Achsen der Bohrungen vergrößert, werden die Grate höher und spitzer, jedoch ergibt sich dann der Vorteil, dass beim Bohren einer einzelnen Bohrungen geringere Querkräfte auf den Bohrer wirken, da die Flächen, mit denen der Bohrer an der Wand des Substrats angreift, gleichmäßiger verteilt sind. Wenn man schließlich den Abstand zwischen den Achsen der Bohrungen so weit vergrößert, dass er gleich dem Durchmesser der Bohrungen wird, so bilden die kreiszylindrischen Wandsegmente eine Folge von Halbkreisen. Wenn man den Abstand zwischen den Achsen noch weiter vergrößert, bleiben zwischen den einzelnen Bohrungen schmale Stege stehen. Sofern der durch die Bohrungen gebildete Schlitz jedoch eine geschlossene Linie bildet, lässt sich die von der Linie umschlossene Insel, die dann über schmale Stege mit dem umgebenden Material verbunden ist, mit geringer Kraft herausbrechen, so dass man mit einer vergleichsweise geringen Anzahl von Bohrungen, bei denen zudem praktisch keine Querkräfte auftreten, eine Hochfrequenzdurchführung mit verhältnismäßig großer Querschnittsfläche erhält.
Bei dem Substrat wird es sich im allgemeinen um eine mehrlagige Leiterplatte handeln, die zumindest zwei elektrisch leitende Lagen an ihren beiden entgegengesetzten Oberflächen aufweist. Wahlweise können jedoch weitere elektrisch leitende Lagen im Inneren der Leiterplatte vorgesehen sein. Nachdem mit Hilfe des oben beschriebenen Verfahrens eine oder mehrere Hochfrequenzdurchführungen hergestellt wurden, lassen sich die metallisierten Lagen an den beiden Oberflächen der Leiterplatte sowie die metallisierten Lagen an den Innenflächen der Hochfrequenzdurchführungen in einem einzigen Arbeitsgang mit Hilfe von bekannten chemischen oder elektrochemischen Metallisierungsverfahren herstellen. Vorzugsweise sollte die Metallisierungsschicht an den Innenflächen der Hochfrequenzdurchführungen eine Dicke von 1 m oder mehr haben, da dann die oben erwähnten Grate sicher abgedeckt werden und die Hochfrequenzeigenschaften nicht mehr von der Metallisierungsdicke abhängig sind.
Da das erfindungsgemäße Verfahren eine hohe Flexibilität hinsichtlich der Gestaltung der Querschnittsgeometrie der Hochfrequenzdurchführungen erlaubt, lässt sich die Bandbreite auf einfache Weise optimieren, und gewünschte Filter- oder Dämpfungseigenschaften können durch geeignete Wahl der Geometrie realisiert werden, ggf. auch selektiv für bestimmte Polarisationsrichtungen. In bekannter Weise können die Dämpfungseigenschaften und die Perm ittivität der Hochfrequenzdurchführungen auch dadurch beeinflusst werden, dass die
5 Durchbrüche, die diese Hochfrequenzdurchführungen bilden, mit geeigneten Materialien gefüllt werden. Auf dem Füllmaterial können dann an den entgegengesetzten Enden der Hochfrequenzdurchführung bei Bedarf weitere Leiterstrukturen angebracht werden.
Es ist auch nicht zwingend, dass die Bohrungen, mit denen die Wände der Hochfrequenzdurchführungen erzeugt werden, von einer Seite der Leiterplatte zur anderen durchgehen. Beispielsweise kann durch eine Folge von Bohrungen mit geringer Tiefe eine erste Kontur gebildet werden und dann innerhalb derselben durch eine Folge von tieferen Bohrungen eine weitere Kontur, deren Geometrie in gewissen Grenzen von der Geometrie der ersten Kontur unabhängig ist. Auf diese Weise lassen sich in der Hochfrequenzdurchführung auch abgestufte Strukturen realisieren.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele anhand der Zeichnung näher erläu- 20 tert.
Es zeigen:
Fig. 1 einen Teilschnitt durch einen Radarsensor gemäß einem
25 Ausführungsbeispiel der Erfindung;
Fig. 2 einen Schnitt durch ein Substrat des Radarsensors nach
Fig. 1 und eine darin gebildete Hochfrequenzdurchführung; uO Fig. 3 und 4 Beispiele für Hochfrequenzdurchführungen mit anderer Geometrie; und
Fig. 5 einen Schnitt durch ein Substrat mit einer Hochfrequenz- durchführung gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel.
Der in Fig. 1 in einem Teilschnitt gezeigte Radarsensor 10 weist ein Substrat 12 auf, das durch mehrere Lagen 14 aus elektrisch nichtleitendem Material und damit abwechselnde Lagen 16 aus elektrisch leitfähigem Material gebildet wird. Die Ober- und Unterseiten des Substrats 12 sind metallisiert und bilden damit ebenfalls Lagen 16 aus elektrisch leitfähigem Material.
Auf der Oberseite des Substrats 12 ist eine Hohlleiterstruktur 18 angeordnet, bei der es sich beispielsweise um eine Hohlleiterantenne oder um eine Verbindungsstruktur handeln kann, die zu einer nicht gezeigten Hohlleiterantenne führt. Auf der entgegengesetzten Seite des Substrats 12, unten in Fig. 1 , ist eine Hochfrequenzquelle/senke 20 angeordnet, die z.B. durch einen integrierten Hochfrequenzbaustein (MMIC) gebildet wird und dazu dient, ein Mikrowellensignal zu erzeugen und in die Hohlleiterstruktur 18 einzuspeisen und/oder ein von der Hohlleiterantenne empfangenes Mikrowellensignal zu detektieren und auszuwerten.
Die Hohlleiterstruktur 18 und die Hochfrequenzquelle/senke 20 sind durch eine Hochfrequenzdurchführung 22 signaltechnisch miteinander verbunden. Diese Hochfrequenzdurchführung 22 wird durch einen Durchbruch gebildet, der im gezeigten Beispiel mit einheitlichem Querschnitt von der Oberseite zur Unterseite des Substrats 12 durchgeht und dessen Wand eine Metallisierung 24 aufweist.
Die Hochfrequenzdurchführung 24 ist somit in der Lage, Mikrowellensignale von einer Anbindungsstelle der Hohlleiterstruktur 18 zu einer Anbindungsstelle der Hochfrequenzquelle/senke 20 zu übertragen und umgekehrt. Die Transmissivität der Hochfrequenzdurchführung 22 für Mikrowellensignale mit unterschiedlicher Frequenz und Polarisierung ist von der Geometrie, insbesondere dem Querschnitt des Durchbruchs abhängig, der die Hochfrequenzdurchführung 22 bildet.
In Fig. 2 ist die Hochfrequenzdurchführung 22 im Querschnitt gezeigt. Man erkennt, dass die Hochfrequenzdurchführung 22 durch vier aneinandergereihte Bohrungen 28 gebildet wird, deren Umrisslinien in Fig. 2 strichpunktiert dargestellt sind. Die vier Bohrungen 28 haben einen einheitlichen Radius und sind in einheitlichen Mittenabständen angeordnet, wobei dieser Mittenabstand etwas kleiner ist als der Durchmesser der Bohrungen, so dass die Querschnitte der Bohrungen einander überlappen. Die in Fig. 2 oberen und unteren Wände der Hochfrequenzdurchführung 22 haben deshalb eine wellige Querschnittsform und werden gebildet durch kreiszylindrische Wandsegmente 30, die jeweils einem Teil des Umfangs einer der Bohrungen 28 entsprechen und die unter Bildung von Graten 32 aneinandergrenzen.
Die Hochfrequenzdurchführung 22 hat somit insgesamt die Form eines länglichen geraden Schlitzes, dessen gegenüberliegende Wände durch einander dia- metral gegenüberliegende Wandsegmente 30 derselben Bohrungen gebildet werden.
Die Hochfrequenzdurchführung kann beispielsweise dadurch hergestellt werden, dass das Substrat 12 in einen X-Y-Tisch eingespannt wird, der gesteuerte Bewegungen des Substrats in einer zweidimensionalen X-Y-Ebene ermöglicht, und dass mit einem in ein in der X-Y-Ebene ortsfestes Bohrfutter eingespannten Bohrer nacheinander die Bohrungen 28 gebildet werden. Anschließend wird das Substrat 12 metallisiert, um die Metallisierung 24 an den Wänden der Hochfrequenzdurchführung 22 sowie zugleich die Metallisierungen an der Ober- seite und der Unterseite des Substrats zu bilden. Fig. 3 zeigt eine Hochfrequenzdurchführung 22a, die sich von dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 2 dadurch unterscheidet, dass die Bohrungen 28 unterschiedliche Durchmesser haben. Im gezeigten Beispiel sind die Durchmesser so gewählt, dass der die Hochfrequenzdurchführung bildende Schlitz in der Mitte eine Taille hat und seine Breite nach beiden Enden hin zunimmt.
Fig. 4 zeigt eine Hochfrequenzdurchführung 22b gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel. In diesem Fall haben die Bohrungen 28 wieder einen einheitlichen Durchmesser, jedoch sind ihre Mittelachsen auf einer gekrümmten Linie angeordnet, so dass der die Hochfrequenzdurchführung bildende Schlitz insgesamt eine gekrümmte Gestalt hat.
Fig. 5 zeigt einen Querschnitt eines Substrats 12c mit einer im Längsschnitt abgestuften Hochfrequenzdurchführung 22c. Diese Hochfrequenzdurchführung ist dadurch hergestellt worden, dass Bohrungen mit unterschiedlichen Durchmessern von entgegengesetzten Seiten her in das Substrat eingebracht wurden.
Die Wände der Hochfrequenzdurchführung 22c werden deshalb durch kreiszylindrisch gekrümmte Wandsegmente 30c begrenzt, die im in Fig. 5 oberem Teil der Durchführung einen kleineren Krümmungsradius und eine geringere Breite haben als im unteren Teil. Entsprechend haben auch die Mittelachsen der Bohrungen, die von oben in das Substrat eingebracht wurden, einen kleineren Abstand als die Mittelachsen der Bohrungen, die von unten eingebracht wurden.
Insgesamt erhält man so eine Hochfrequenzdurchführung mit einer Stufe 34. Die durch die Wandsegmente 30c oberhalb und unterhalb dieser Stufe definierten Konturen können dabei voneinander verschieden sein.

Claims

ANSPRÜCHE
1 . Radarsensor mit einem plattenförmigen Substrat (12), das mindestens eine Lage (14) aus elektrisch nichtleitendem Material aufweist und auf einer Seite eine Hohlleiterstruktur (18) und auf der entgegengesetzten Seite einen Hochfrequenzquelle/senke (20) aufweist, die über eine durch das Substrat hindurchgehende Hochfrequenzdurchführung (22; 22a-c) mit der Hohlleiterstruktur (18) verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass eine Wand der Hochfrequenzdurchführung (22; 22a-c) durch eine Folge von kreiszylindrisch gekrümmten Flächensegmenten (30; 30c) gebildet wird, die auf mindestens einem Teil der Länge der Hochfrequenzdurchführung einen einheitlichen Querschnitt haben.
2. Verfahren zur Herstellung eines Radarsensors nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass zur Herstellung der Hochfrequenzdurchführung (22; 22a-c) mehrere rechtwinklig zur Ebene des Substrats verlaufende Bohrungen (28) so aneinandergereiht werden, dass die Umfangswände der Bohrungen (28) die Wandsegmente (30; 30c) bilden.
3. Verfahren nach Anspruch 2, bei dem durch die Aneinanderreihung der
Bohrungen (28) die Hochfrequenzdurchführung (22; 22a-c) in der Form eines Schlitzes gebildet wird, dessen Breite dem Durchmesser der Bohrungen (28) entspricht.
4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, bei dem die Achsen der nacheinander hergestellten Bohrungen (28) auf einer Geraden liegen.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, bei dem die Bohrungen (28) unterschiedliche Durchmesser haben.
6. Verfahren nach einem der vorstehenden Ansprüche, bei dem die Bohrungen (28) von einer Seite des Substrats (12) zur anderen Seite durchgehend ausgebildet werden.
7. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 6, bei dem das Substrat nach dem Herstellen der Bohrungen (28) metallisiert wird, wobei an den Wänden der Hochfrequenzdurchführung eine Metallisierung (24) mit einer Schichtdicke von
1 m oder mehr gebildet wird.
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