EP4263899A1 - Titandiborid beschichtetes bauteil aus refraktärmetall - Google Patents

Titandiborid beschichtetes bauteil aus refraktärmetall

Info

Publication number
EP4263899A1
EP4263899A1 EP21823726.1A EP21823726A EP4263899A1 EP 4263899 A1 EP4263899 A1 EP 4263899A1 EP 21823726 A EP21823726 A EP 21823726A EP 4263899 A1 EP4263899 A1 EP 4263899A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
component
refractory metal
layer
component according
coated
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
EP21823726.1A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Robert SCHIFTNER
Karin KNITTL
Thomas Huber
Michael Mark
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Plansee SE
Original Assignee
Plansee SE
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Plansee SE filed Critical Plansee SE
Publication of EP4263899A1 publication Critical patent/EP4263899A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
    • C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
    • C23C16/38—Borides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C27/00—Alloys based on rhenium or a refractory metal not mentioned in groups C22C14/00 or C22C16/00
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/067—Borides
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17D—PIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
    • F17D1/00—Pipe-line systems
    • F17D1/02—Pipe-line systems for gases or vapours
    • F17D1/04—Pipe-line systems for gases or vapours for distribution of gas
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17D—PIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
    • F17D1/00—Pipe-line systems
    • F17D1/02—Pipe-line systems for gases or vapours
    • F17D1/065—Arrangements for producing propulsion of gases or vapours
    • F17D1/075—Arrangements for producing propulsion of gases or vapours by mere expansion from an initial pressure level, e.g. by arrangement of a flow-control valve
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
    • F17D—PIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
    • F17D3/00—Arrangements for supervising or controlling working operations
    • F17D3/12—Arrangements for supervising or controlling working operations for injecting a composition into the line
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D11/00—Control of flow ratio
    • G05D11/02—Controlling ratio of two or more flows of fluid or fluent material
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M8/00—Fuel cells; Manufacture thereof
    • H01M8/04—Auxiliary arrangements, e.g. for control of pressure or for circulation of fluids
    • H01M8/04082—Arrangements for control of reactant parameters, e.g. pressure or concentration
    • H01M8/04089—Arrangements for control of reactant parameters, e.g. pressure or concentration of gaseous reactants
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B23/00—Specially shaped nuts or heads of bolts or screws for rotations by a tool
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B25/00—Screws that cut thread in the body into which they are screwed, e.g. wood screws
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B31/00—Screwed connections specially modified in view of tensile load; Break-bolts
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B33/00—Features common to bolt and nut
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B35/00—Screw-bolts; Stay-bolts; Screw-threaded studs; Screws; Set screws
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
    • F16B37/00—Nuts or like thread-engaging members
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M8/00—Fuel cells; Manufacture thereof
    • H01M8/10—Fuel cells with solid electrolytes
    • H01M8/12—Fuel cells with solid electrolytes operating at high temperature, e.g. with stabilised ZrO2 electrolyte
    • H01M2008/1293—Fuel cells with solid oxide electrolytes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01M—PROCESSES OR MEANS, e.g. BATTERIES, FOR THE DIRECT CONVERSION OF CHEMICAL ENERGY INTO ELECTRICAL ENERGY
    • H01M8/00—Fuel cells; Manufacture thereof
    • H01M8/06—Combination of fuel cells with means for production of reactants or for treatment of residues
    • H01M8/0662—Treatment of gaseous reactants or gaseous residues, e.g. cleaning
    • H01M8/0675—Removal of sulfur
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/30—Hydrogen technology
    • Y02E60/50—Fuel cells

Definitions

  • the present invention relates to a component consisting of a refractory metal, characterized in that the surface of the component is at least partially covered with a layer of TiB? is coated, the manufacture of the component and the use of TiB? as a release agent in high-temperature applications.
  • auxiliary and separating means such as sleeves or applied separating layers of pastes.
  • these methods quickly reach their limits under extreme conditions.
  • some auxiliary and separating agents cannot be used in a vacuum due to the risk of evaporation of their components and/or are limited in their application temperature due to the risk of decomposition or cross-contamination.
  • AI2O3, ZrOz or boron nitride sprays or powders are currently used in furnace construction.
  • these variants are unsuitable for applications with temperatures above 1400°C, since cross-contamination between components and the auxiliary and separating agent is a particular problem.
  • DE 102013213503 relates to a screw connection for vacuum applications with a screw with an external thread and a component with an internal nut thread, with either the component or the screw or both being made of a stainless austenitic steel, the coating of the component/screw with the base materials different coating materials different pairs of contact surfaces are created, which allow mutual sliding without vacuum-damaging lubricants.
  • a first element suitable for selectively engaging a second element comprising a coating and at least an engaging portion of the first element being coated in the coating, the coating being formed by vapor deposition to form a to provide a thermochemically stable layer for temperatures up to 800 °C.
  • the coating may include one or more nitrides, oxides, or carbides of titanium, chromium, or aluminum.
  • the coating may include one or more of titanium nitride, chromium nitride, aluminum nitride, titanium oxide, chromium oxide, aluminum oxide, titanium carbide, chromium carbide, or aluminum carbide.
  • the object of the present invention is to provide a coated component which, even after use temperatures in the range of 1400 °C to 1800 °C, without decomposition or cross-contamination with other components or treated products.
  • Coating with a TiB? Layer enables the components to be used in different atmospheres, such as hydrogen or in a vacuum, without having to worry about evaporation, cross-contamination or decomposition.
  • the layer also ensures non-destructive replacement or non-destructive opening of components. This prevents individual parts from sintering and thus ensures that they remain detachable.
  • the widest temperature range to date from 400 °C up to 1800 °C could be covered without the risk of dirt/contamination or galling and the components/machine elements could be detached.
  • a connection is releasable if the surfaces of components that are in direct contact with one another can be separated again without damaging the components, and non-releasable if the components must be at least partially destroyed in order to separate the contacting surfaces from one another again.
  • the coated component according to the invention is particularly suitable for high-temperature applications, ie for temperatures of 400° C. to 2000° C., in particular 1400° C. to 1800° C. in the present case.
  • a refractory metal is a metal selected from the group consisting of titanium, zirconium, hafnium, vanadium, niobium, tantalum, chromium, molybdenum, tungsten and rhenium and alloys of the metals mentioned, also referred to here as refractory metal alloys.
  • Refractory metal alloys are alloys with at least 50 at.% of one or more of the above metals, preferably with at least 70 at.%, more preferably with at least 90 at.% and even more preferably with at least 95 at.%.
  • the melting point of the refractory metal defined above is selected in such a way that the component is suitable for the temperature aimed for in use.
  • the refractory metal has a melting point greater than 1400°C, more preferably greater than 1800°C, and more preferably greater than 2000°C.
  • the component consists of molybdenum, together with unavoidable impurities, or of a molybdenum alloy.
  • the alloy consists of up to 30% by weight of other refractory metal elements mentioned above in addition to molybdenum.
  • compositions are preferred which, in addition to molybdenum, consist of the following percentages by weight of elements:
  • compositions in which the proportions specified here deviate by up to 10% relate to the element referred to in each case (e.g. Mo, C or W), regardless of whether this is present in the molybdenum base material in elemental or bonded form.
  • the proportions of the different elements are determined by chemical analysis.
  • component within the meaning of the present invention includes individual parts (machine elements, components), in particular construction means that are suitable for replacing or for reversible attachment and detachment of machine elements, as well as assemblies made up of individual parts. Screws, nuts, pins, dowel pins, washers, bolts, metal sheets, clamps, tubes, rods and U-rails are particularly suitable as individual parts. Welded and riveted components, such as gas inlet pipes, heater mounts and charging racks, should be mentioned in particular as assemblies.
  • the term components within the meaning of the present invention expressly excludes cutting parts of cutting tools.
  • Preferred components as production aids are contact parts such as separating plates and washers.
  • Components that have a thread are particularly preferred as design aids.
  • a screw is particularly preferred.
  • the layer of the component consists of TiB?.
  • the TiB? Layer is typically formed by chemical vapor deposition (CVD) using H2, N2 TiCU and BCI3.
  • CVD chemical vapor deposition
  • the layer is deposited on the component at a temperature in the range from 800° C. to 900° C. over a period of 5 to 9 hours, preferably at 850° C. over a period of 7 hours.
  • PVD physical vapor deposition
  • Correspondingly coated components have a TiB2 layer with a thickness in a range from 1 ⁇ m to 5 ⁇ m, preferably 1.5 ⁇ m to 4 ⁇ m, more preferably 2 ⁇ m to 3.5 ⁇ m pm and even more preferably 2.6 pm to 3.1 pm.
  • the thickness of the layer can be determined by lateral REM measurement of a cross section of the coated component.
  • the component typically has no further layers made of other materials.
  • an adhesion promoter layer preferably consisting of TiN with a thickness in the range of 0.5 pm to 1.8 pm between the substrate and the TiB? layer to be present.
  • the TiBz layer is the outermost layer of the coated component.
  • the layer is typically applied completely to the surface of the coated component that is to be contacted with other components. In order to make the components detachable, it is already sufficient if the layer is applied only partially to the surface of the coated component that is to be contacted with other components.
  • the coated component to be contacted with a further component is coated with the layer, more preferably 50 to 100%.
  • the present invention can be used wherever good detachability of a component from another component is required after it has been used in the high-temperature range. Accordingly, the use of titanium diboride as a release agent to improve the detachability of components in high-temperature applications is also the subject of the present invention.
  • the titanium diboride is preferably used in the form of a layer applied by means of CVD or PVD, preferably on a component consisting of a refractory metal.
  • TZM plate (molybdenum with a weight percentage of 0.5 Ti and 0.08 Zr as well as 0.01 to 0.04 C) 140x80x9mm, 9mm long through hole M6 thread milled.
  • Comparative example 1 Molybdenum screws (rolled) without coating.
  • Comparative example 2 (C2): Several molybdenum screws (rolled) with a TiN CVD coating were produced using Hz, Nz and TiCl4 at a temperature of 850°C for 7 hours. The thickness of the TiN layers was 2.6 ⁇ m to 3.1 ⁇ m.
  • Inventive example (E) Several molybdenum screws (rolled) with a TiBz CVD coating were produced using Hz, Nz, TiCU and BCh at a temperature of 850°C for 7 hours. The thickness of the TiBz layers was 2.6 ⁇ m to 3.1 ⁇ m.
  • the uncoated components in this case the plate and the screw, show galling even at low temperatures from 400 °C and are therefore unsuitable for high-temperature applications.
  • the TiN-coated screws show partial seizure of the components at 1400 °C in a hydrogen atmosphere and in a vacuum, also in long-term tests, and seizure of all components in all atmospheres at 1800 °C.

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Sustainable Energy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Ceramic Products (AREA)

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Bauteil bestehend aus einem Refraktärmetall, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche des Bauteils mindestens teilweise mit einer Schicht aus TiB2 beschichtet ist, die Herstellung des Bauteils sowie die Verwendung von TiB2 als Trennmittel bei Hochtemperaturanwendungen.

Description

TITANDIBORID BESCHICHTETES BAUTEIL AUS REFRAKTARMETALL
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Bauteil bestehend aus einem Refraktärmetall, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche des Bauteils mindestens teilweise mit einer Schicht aus TiB? beschichtet ist, die Herstellung des Bauteils sowie die Verwendung von TiB? als Trennmittel bei Hochtemperaturanwendungen.
Bei Hochtemperaturanlagen, wie beispielsweise Sinteröfen, Wärmebehandlungsanlagen und Quarzschmelzanlagen oder auch bei Lichtanlagen und Verdampfungsanlagen kommt es zum Einsatz von Bauteilen und Komponenten, die auch nach mehrmaliger Temperatur- und Spannungsbelastung lösbar sein müssen. Die Lösbarkeit solcher Bauteile nach Einwirkung hoher Temperaturen im Bereich von 1000 °C bis 1800 °C stellt eine besondere Herausforderung dar, da die typischerweise metallgefertigten Bauteile an ihrer Kontaktfläche zur Versinterung mit der Gegenkontaktfläche, dem Phänomen des Fressens, neigen. Werden die Kontaktflächen zusätzlich mit Druck beaufschlagt, wie beispielsweise im Falle einer Schraubverbindung, wird die metallurgische Verbindung der Kontaktflächenpaare noch gefördert. Danach können die Kontaktflächenpaare nicht mehr zerstörungsfrei voneinander getrennt werden und die Trennung führt zum Untergang mindestens eines Bauteils.
Zur Vermeidung dieses Problems werden im Stand der Technik unterschiedliche Werkstoffpaarungen oder der Einsatz von Hilfs- und Trennmitteln, wie beispielweise Hülsen oder aufgebrachte Trennschichten von Pasten eingesetzt. Jedoch stoßen diese Methoden unter extremen Bedingungen schnell an ihre Grenzen. So sind zum Beispiel manche Hilfs- und Trennmittel aufgrund der Abdampfungsgefahr ihrer Bestandteile im Vakuum nicht verwendbar und/oder wegen Zersetzungs- oder Querkontaminationsgefahr in ihrer Einsatztemperatur limitiert. Aktuell werden für den Einsatz im Ofenbau beispielweise AI2O3-, ZrOz- oder Bornitrid-Sprays oder Pulver eingesetzt. Jedoch sind diese Varianten ungeeignet für Anwendungen mit Temperaturen über 1400°C, da insbesondere die Querkontamination zwischen Bauteilen und dem Hilfs- und Trennmittel ein Problem darstellt. Bei der Herstellung von grobkörnigen, kriechbeständigen Molybdän-Chargierblechen ist eine Rekristallisationsglühung bei Temperaturen von mehr als 1700°C notwendig, wobei im Stapel Bleche teilweise versintern und daher nach der Glühfahrt nicht mehr trennbar sind. Bisher wurden Wolfram-Feinbleche als Trennhilfsmittel verwendet. Nachteilig an diesem Verfahren ist jedoch, dass die Wolfram-Feinbleche nur einmal verwendbar sind und dadurch wesentlich zu den hohen Herstellungskosten von Chargierblechen beitragen.
Die DE 102013213503 betrifft eine Schraubverbindung für Vakuumanwendungen mit einer Schraube mit Außengewinde und einem Bauteil mit einem innen liegenden Muttergewinde, wobei entweder das Bauteil oder die Schraube oder beide aus einem nichtrostenden austenitischen Stahl gebildet sind, wobei durch das Beschichten von Bauteil/Schraube mit zu den Grundwerkstoffen unterschiedlichen Beschichtungsstoffen unterschiedliche Kontaktflächenpaare geschaffen werden, die ein gegenseitiges Gleiten ohne vakuumschädliche Schmierstoffe ermöglichen.
In der GB201110939 wird ein erstes Element bereitgestellt, das zum selektiven Eingreifen in ein zweites Element geeignet ist, wobei das erste Element eine Beschichtung umfasst und mindestens ein Eingriffsabschnitt des ersten Elements in der Beschichtung beschichtet ist, wobei die Beschichtung durch Aufdampfen gebildet ist, um eine thermochemisch stabile Schicht für Temperaturen bis zu 800 °C bereitzustellen. Die Beschichtung kann ein oder mehrere Nitride, Oxide oder Carbide von Titan, Chrom oder Aluminium umfassen. Beispielsweise kann die Beschichtung eines oder mehrere aus Titannitrid, Chromnitrid, Aluminiumnitrid, Titanoxid, Chromoxid, Aluminiumoxid, Titancarbid, Chromcarbid oder Aluminiumcarbid umfassen.
Auf dem Gebiet von Hochtemperaturbehandlungen wird zunehmend der Einsatz von besonders hohen Temperaturen von über 1800 °C gefordert. Gleichzeitig werden immer höhere Anforderungen an die Reinheit der behandelten Produkte gestellt.
Dementsprechend besteht die Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin ein beschichtetes Bauteil bereitzustellen, welches auch nach einem Einsatz mit Temperaturen im Bereich von 1400 °C bis 1800 °C, lösbar ist, wobei keine Zersetzung oder Querkontamination mit anderen Bauteilen oder behandelten Produkten auftritt.
Diese Aufgabe wird gelöst durch Bereitstellen eines Bauteils gemäß Anspruch 1 bestehend aus einem Refraktärmetall, dessen Oberfläche mindestens teilweise mit einer Schicht aus TiB? beschichtet ist. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche, die frei untereinander kombinierbar sind.
Die Beschichtung mit einer TiB? Schicht ermöglicht die Verwendung der Bauteile in verschiedenen Atmosphären, wie Wasserstoff oder im Vakuum, ohne dass mit einer Abdampfung, Querkontamination oder Zersetzung gerechnet werden muss. Die Schicht gewährleistet zudem den zerstörungsfreien Austausch bzw. das zerstörungsfreie Öffnen von Bauteilen. Ein Versintern von Einzelteilen kann dadurch verhindert werden und somit gewährleistet, dass sie lösbar bleiben. Durch das Beschichten mit TiB? konnte der bislang breiteste Temperaturanwendungsbereich von 400 °C bis zu 1800°C ohne Verunreinigungs-/Kontaminationsgefahr oder Fressen abgedeckt und eine Lösbarkeit der Bauteile/Maschinenelemente erreicht werden.
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist eine Verbindung lösbar, wenn in direktem Kontakt zueinander stehende Oberflächen von Bauteilen ohne Beschädigung der Bauteile wieder voneinander getrennt werden können und nicht lösbar, wenn die Bauteile mindestens teilweise zerstört werden müssen, um die kontaktierenden Oberflächen wieder voneinander zu trennen.
Das erfindungsgemäße beschichtete Bauteil ist insbesondere für Hochtemperaturanwendungen geeignet, also für Temperaturen von 400 °C bis 2000 °C, vorliegend insbesondere 1400 °C bis 1800 °C.
Um diesen Temperaturen standzuhalten besteht das Bauteil der vorliegenden Erfindung aus einem Refraktärmetall. Unter einem Refraktärmetall wird im Zusammenhang mit dieser Erfindung ein Metall ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Titan, Zirconium, Hafnium, Vanadium, Niob, Tantal, Chrom, Molybdän, Wolfram und Rhenium und Legierungen der genannten Metalle, vorliegend auch als Refraktärmetalllegierungen bezeichnet, verstanden. Refraktärmetalllegierungen sind Legierungen mit wenigstens 50 at. % eines oder mehrerer der oben genannten Metalle gemeint, bevorzugt mit wenigstens 70 at. %, weiter bevorzugt mit wenigstens 90 at. % und noch weiter bevorzugt mit wenigstens 95 at. %.
Es versteht sich, dass der Schmelzpunkt des oben definierten Refraktärmetalls so gewählt wird, dass das Bauteil geeignet für die im Einsatz angestrebte Temperatur ist. Vorzugsweise hat das Refraktärmetall einen Schmelzpunkt von mehr als 1400 °C, weiter bevorzugt von mehr als 1800 °C und weiter bevorzugt von mehr als 2000 °C.
In einer Ausführungsform besteht das Bauteil aus Molybdän, nebst unvermeidbaren Verunreinigungen oder aus einer Molybdänlegierung.
In einer Ausführungsform ist weiter bevorzugt, dass die Legierung neben Molybdän aus bis zu 30 Gew.-% weiterer der oben genannten Refraktärmetallelemente besteht.
In einer weiteren Ausführungsform werden Zusammensetzungen bevorzugt, welche neben Molybdän aus den folgenden, in Gewichtsprozent angegebenen Anteilen von Elementen bestehen:
0,5 Gew.-% Ti und 0,08 Gew.-% Zr sowie 0,01 Gew.-% bis 0,04 Gew.-% C. 1,2 Gew.-% Hf und 0,01 Gew.-% bis 0,04 Gew.-% C. 0,3 Gew.-% LazCh. 0,7 Gew.-% LazCh. 0,47 Gew.-% YzOs und 0,08 CezCh. 0,005 bis 0,1 Gew.-% K und 0,005 Gew.-% bis 0,1 Gew.-% Si sowie 0,01 bis 0,2 Gew.-% O. 5 Gew.-% Re oder 41 Gew.-% Re. 30 Gew.-% W. Des Weiteren sind auch Zusammensetzungen umfasst, bei denen die hier angegebenen Anteile um bis zu 10 % abweichen. Die Angaben der Anteile sowie die Angaben beziehen sich auf das jeweils in Bezug genommene Element (z.B. Mo, C oder W), unabhängig davon, ob dieses in dem Molybdänbasiswerkstoff in elementarer oder gebundener Form vorliegt. Die Anteile der verschiedenen Elemente werden über chemische Analyse bestimmt.
Der Begriff Bauteil im Sinne der vorliegenden Erfindung umfasst Einzelteile (Maschinenelemente, Komponenten), insbesondere Konstruktionsmittel die zum Austausch oder zum reversiblen Befestigen und Lösen von Maschinenelementen geeignet sind, sowie aus Einzelteilen zusammengesetzte Baugruppen. Als geeignete Einzelteile sind insbesondere Schrauben, Muttern, Stifte, Passstifte, Unterlegscheiben, Bolzen, Bleche, Klammern, Rohre, Stangen und U-Schienen zu nennen. Als Baugruppen sind insbesondere verschweißte und vernietete Bauteile, wie Gaseinlass-Rohre, Heizungsaufhängungen und Chargiergestelle zu nennen. Der Begriff Bauteile im Sinne der vorliegenden Erfindung schließt ausdrücklich Schneidteile von Zerspanungswerkzeugen aus.
Bevorzugte Bauteile als Produktionshilfsmittel sind Kontaktteile, wie Trennbleche und Unterlegscheiben.
Insbesondere bevorzugt sind Bauteile als Konstruktionshilfsmittel, die ein Gewinde aufweisen, wie eine Schraube oder eine Mutter. Besonders bevorzugt ist eine Schraube.
Die Schicht des Bauteils besteht erfindungsgemäß aus TiB?. Die TiB? Schicht wird typischerweise durch chemische Gasphasenabscheidung (CVD) unter Verwendung von H2, N2 TiCU und BCI3 gebildet. Typischerweise wird die Schicht bei einer Temperatur im Bereich von 800 °C bis 900 °C über einen Zeitraum von 5 bis 9 h auf dem Bauteil abgeschieden, vorzugsweise bei 850 °C über einen Zeitraum von 7 h. Die Herstellung der Schicht mittels physikalischer Gasphasenabscheidung (PVD) ist ebenfalls möglich.
Entsprechend beschichtete Bauteile weisen eine TiB2-Schicht mit einer Dicke in einem Bereich von 1 pm bis 5 pm, bevorzugt 1,5 pm bis 4 pm, weiter bevorzugt 2 pm bis 3,5 pm und noch weiter bevorzugt 2,6 pm bis 3,1 pm auf. Die Dicke der Schicht kann mittels lateraler REM-Messung eines Querschliffs des beschichteten Bauteils bestimmt werden. Das Bauteil weist typischerweise keine weiteren Schichten aus anderen Materialien auf. Gegebenenfalls kann eine Haftvermittlerschicht, vorzugsweise bestehend aus TiN mit einer Dicke im Bereich von 0,5 pm bis 1,8 pm zwischen dem Substrat und der TiB? Schicht vorhanden sein. Die TiBz-Schicht ist die äußerste Schicht des beschichteten Bauteils.
Typischerweise ist die Schicht vollständig auf der mit weiteren Bauteilen zu kontaktierender Oberfläche des beschichteten Bauteils aufgebracht. Um die Lösbarkeit der Bauteile zu erreichen ist es bereits ausreichend, wenn die Schicht nur teilweise auf der mit weiteren Bauteilen zu kontaktierender Oberfläche des beschichteten Bauteils aufgebracht wird.
Bevorzugt sind 20 bis 100 % der mit einem weiteren Bauteil zu kontaktierender Fläche des beschichteten Bauteils mit der Schicht beschichtet, weiter bevorzugt 50 bis 100 %.
Die vorliegende Erfindung kann überall dort verwendet werden, wo nach dem Einsatz eines Bauteils im Hochtemperaturbereich eine gute Lösbarkeit desselben von einem anderen Bauteil erforderlich ist. Entsprechend ist die Verwendung von Titandiborid als Trennmittel zur Verbesserung der Lösbarkeit von Bauteilen bei Hochtemperaturanwendungen ebenfalls Gegenstand der vorliegenden Erfindung.
Vorzugsweise wird das Titandiborid in Form einer mittels CVD oder PVD aufgebrachten Schicht verwendet, vorzugsweise auf einem Bauteil bestehend aus einem Refraktärmetall.
Weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich anhand der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen. Beispiele
TZM Platte (Molybdän mit einem Gewichtsanteil von 0,5 Ti und 0,08 Zr sowie 0,01 bis 0,04 C) 140x80x9mm, 9 mm lange Durchgangsbohrung M6 Gewinde gefräst. Molybdänunterlegscheibe: 18x6, 4x1, 5mm Molybdänschraube: M6xl2mm
Vergleichsbeispiel 1 (CI): Molybdänschrauben (gewalzt) ohne Beschichtung.
Vergleichsbeispiel 2 (C2): Mehrere Molybdänschrauben (gewalzt) mit einer TiN CVD- Beschichtung wurden unter Verwendung von Hz, Nz und TiCl4 bei einer Temperatur von 850 °C über 7 h hergestellt. Die Dicke der TiN Schichten betrug 2,6 pm bis 3,1 pm.
Erfindungsgemäßes Beispiel (E): Mehrere Molybdänschrauben (gewalzt) mit einer TiBz CVD-Beschichtung wurden unter Verwendung von Hz, Nz, TiCU und BCh bei einer Temperatur von 850 °C über 7 h hergestellt. Die Dicke der TiBz Schichten betrug 2,6 pm bis 3,1 pm.
Wie in nachstehender Tabelle angegeben, wurden mehrere Versuche zur Bewertung der TiBz Schicht im Vergleich zur TiN Schicht und zum unbeschichteten Bauteil unter verschiedenen Bedingungen durchgeführt. Dazu wurden jeweils drei Schrauben (S1 bis S3) mit Unterlegscheibe ausgewählt und bei einem Anzugsdrehmoment von 12 Nm in die Platte geschraubt. Es wurden Hochtemperaturbehandlungen bei Temperaturen (T in °C) von 400 °C bis 1800 °C und verschiedenen Atmosphären (A) (Wasserstoff (H), Vakuum 10-6 mbar (V)) über verschiedene Haltezeiten (H) durchgeführt. Das Öffnungsdrehmoment (L in Nm) nach der Hochtemperaturbehandlung wurde gemessen und die Gewinde visuell auf Fressen (F) untersucht und gegebenenfalls Bruch (B) der Schraube festgestellt.
Wie anhand der vorstehenden Tabelle deutlich wird, zeigen die unbeschichteten Bauteile, hier Platte und Schraube, bereits bei niedrigen Temperaturen ab 400 °C ein Fressen und sind deshalb ungeeignet für Hochtemperaturanwendungen.
Die TiN beschichteten Schrauben zeigen ein teilweises Fressen der Bauteile bei 1400 °C in Wasserstoffatmosphäre und im Vakuum, ebenfalls im Langzeitversuch, und ein Fressen aller Bauteile in allen Atmosphären bei 1800 °C.
Hingegen erfolgt mit der erfindungsgemäßen TiBz-Beschichtung kein Fressen der Schraubverbindung. Mithin kann die Beschichtung die Lösbarkeit von sich kontaktierenden Refraktärmetallbauteilen auch bei Langzeit- Hochtemperaturanwendungen erreichen. Eine Querkontamination zwischen den Bauteilen wurde nicht festgestellt.

Claims

9 Schutzansprüche
1. Bauteil bestehend aus einem Refraktärmetall, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche des Bauteils mindestens teilweise mit einer Schicht aus TiB? beschichtet ist.
2. Bauteil nach Anspruch 2, wobei das Refraktärmetall ein Metall ist ausgewählt aus der Gruppe bestehend aus Titan, Zirconium, Hafnium, Vanadium, Niob, Tantal, Chrom, Molybdän, Wolfram und Rhenium sowie Legierungen der genannten Metalle.
3. Bauteil nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei das Refraktärmetall aus mindestens 70 Gew.% Molybdän besteht.
4. Bauteil nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei das Bauteil eine Schraube, eine Mutter, ein Stift, ein Passstift, eine Unterlegscheibe, ein Bolzen, ein Blech, eine Klammer, ein Rohr, eine Stange oder eine U-Schiene ist.
5. Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das Bauteil eine Baugruppe aus verschweißten und/oder vernieteten Einzelteilen ist.
6. Bauteil nach einem der vorangehenden Ansprüche, wobei die TiBz-Schicht eine Dicke im Bereich von 1 pm bis 5 pm aufweist.
7. Bauteil nach einem der der vorangehenden Ansprüche, wobei die Oberfläche des Bauteils vollständig beschichtet ist.
8. Bauteil nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei die Oberfläche des Bauteils teilweise beschichtet ist.
9. Bauteil nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht aus durch CVD aufgedampftem TiBz besteht.
10. Verwendung von TiB? als Trennmittel für Bauteile für Hochtemperaturanwendungen.
11. Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Bauteils umfassend die folgenden
Schritte:
- Bereitstellen eines Bauteils bestehend aus einem Refraktärmetall
- Abscheiden einer Schicht aus TiB? auf mindestens einem Teil der Oberfläche des Bauteils durch chemische Gasphasenabscheidung (CVD) oder physikalische Gasphasenabscheidung (PVD).
EP21823726.1A 2020-12-15 2021-11-25 Titandiborid beschichtetes bauteil aus refraktärmetall Pending EP4263899A1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
ATGM50250/2020U AT17511U1 (de) 2020-12-15 2020-12-15 Titandiborid beschichtetes bauteil aus refraktärmetall
PCT/AT2021/060446 WO2022126157A1 (de) 2020-12-15 2021-11-25 Titandiborid beschichtetes bauteil aus refraktärmetall

Publications (1)

Publication Number Publication Date
EP4263899A1 true EP4263899A1 (de) 2023-10-25

Family

ID=81940937

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP21823726.1A Pending EP4263899A1 (de) 2020-12-15 2021-11-25 Titandiborid beschichtetes bauteil aus refraktärmetall

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20240117488A1 (de)
EP (1) EP4263899A1 (de)
JP (1) JP2023552482A (de)
CN (1) CN116615567A (de)
AT (1) AT17511U1 (de)
WO (1) WO2022126157A1 (de)

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB851208A (en) * 1958-01-17 1960-10-12 Metallgesellschaft Ag Process for the production of titanium boride coatings
US3431141A (en) * 1966-02-18 1969-03-04 Kawecki Chem Co High temperature oxidation resistant articles
FR1601469A (en) * 1968-12-05 1970-08-24 Preparation of refractory complex - materials
US4692385A (en) * 1986-04-14 1987-09-08 Materials Development Corporation Triplex article
US4975621A (en) * 1989-06-26 1990-12-04 Union Carbide Corporation Coated article with improved thermal emissivity
JPH04301067A (ja) * 1991-03-28 1992-10-23 Kobe Steel Ltd ほう化チタン皮膜の形成方法
SE522722C2 (sv) * 2001-03-28 2004-03-02 Seco Tools Ab Skärverktyg belagt med titandiborid
JP4125560B2 (ja) * 2001-08-16 2008-07-30 株式会社神戸製鋼所 耐水素吸収性に優れたチタン合金材
EP2209929B1 (de) * 2007-12-06 2013-08-21 Ceratizit Austria GmbH Beschichtetes werkzeug
JP5390934B2 (ja) * 2009-05-20 2014-01-15 株式会社神戸製鋼所 チタン合金材および構造部材ならびに放射性廃棄物用容器
DE102013213503A1 (de) 2013-07-10 2014-08-07 Carl Zeiss Smt Gmbh Schraubverbindung für vakuumanwendungen
US20190136371A1 (en) * 2017-11-06 2019-05-09 Silcotek Corp. Molybdenum substrate with an amorphous chemical vapor deposition coating
CN108893712A (zh) * 2018-07-06 2018-11-27 深圳市联合蓝海科技开发有限公司 表面带有镀层的贵金属制品及其制备方法
CN109930108A (zh) * 2018-11-21 2019-06-25 广东工业大学 一种高温耐磨自润滑TiB2基涂层及其制备方法和应用
KR102395885B1 (ko) * 2020-01-30 2022-05-09 한국야금 주식회사 절삭공구용 경질피막
CN112072118B (zh) * 2020-08-27 2026-02-13 深圳先进技术研究院 锂金属负极复合集流体及其制备方法、锂离子电池

Also Published As

Publication number Publication date
US20240117488A1 (en) 2024-04-11
CN116615567A (zh) 2023-08-18
AT17511U1 (de) 2022-06-15
WO2022126157A1 (de) 2022-06-23
JP2023552482A (ja) 2023-12-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2956562B1 (de) Nickel-kobalt-legierung
DE102011110740B4 (de) Verfahren zur Herstellung geschmiedeter TiAl-Bauteile
DE102008016222B4 (de) Metallfolie
DE102005003445B4 (de) Metallsubstrat-Werkstoff für die Anodenteller von Drehanodenröntgenröhren, Verfahren zur Herstellung eines solchen Werkstoffes sowie Verfahren zur Herstellung eines Anodentellers unter Verwendung eines solchen Werkstoffes
EP3333281B1 (de) Hochtemperaturschutzschicht für titanaluminid - legierungen
EP2209929A1 (de) Beschichteter gegenstand
EP3530763A1 (de) Verfahren zur herstellung eines bauteils aus einer gradierten tial - legierung und entsprechend hergestelltes bauteil
AT517894B1 (de) Rührreibschweißwerkzeug
EP3167095B1 (de) Target und verfahren zur herstellung eines targets
DE69913998T2 (de) Durch heissisostatisches Pressen verbundener Körper und dessen Herstellungsverfahren
EP1902148B1 (de) Dotiertes iridium mit verbesserten hochtemperatureigenschaften
WO2022126157A1 (de) Titandiborid beschichtetes bauteil aus refraktärmetall
WO2022117220A1 (de) Al-Si KORROSIONSSCHUTZSCHICHTEN
EP4263903A1 (de) Yttriumoxid beschichtetes bauteil aus refraktärmetall
EP4662348A1 (de) Siliziumhaltige übergangsmetallboridverdampfungsquelle
DE102014117424A1 (de) Schmelzverfahren für Legierungen
EP2686463A1 (de) Beschichteter körper, verwendung desselben und verfahren zu dessen herstellung
DE102014102407A1 (de) Sputtertargetanordnung
DE102013218322A1 (de) Verdampferkörper für eine PVD-Beschichtungsanlage sowie Verfahren zum Bereitstellen eines derartigen Verdampferkörpers
WO2017059467A1 (de) Komponente einer metallverarbeitungsmaschine
EP4170058A2 (de) Verfahren zum beschichten eines bauteils eines flugtriebwerks mit einer verschleissschutzschicht und bauteil für ein flugtriebwerk mit wenigstens einer verschleissschutzschicht und bauteil für ein flugtriebwerk mit wenigstens einer verschleissschutzschicht
DE102022113731A1 (de) Beschichtetes Werkzeugteil und Beschichtungsverfahren
DE3844941C2 (de) Pulvergesinterte Hartlegierung

Legal Events

Date Code Title Description
STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: UNKNOWN

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: THE INTERNATIONAL PUBLICATION HAS BEEN MADE

PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: REQUEST FOR EXAMINATION WAS MADE

17P Request for examination filed

Effective date: 20230524

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

DAV Request for validation of the european patent (deleted)
DAX Request for extension of the european patent (deleted)