EP4123186A1 - Vacuum generating device and suction gripper - Google Patents

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EP4123186A1
EP4123186A1 EP22183569.7A EP22183569A EP4123186A1 EP 4123186 A1 EP4123186 A1 EP 4123186A1 EP 22183569 A EP22183569 A EP 22183569A EP 4123186 A1 EP4123186 A1 EP 4123186A1
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EP
European Patent Office
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main flow
section
generating device
nozzle
flow channel
Prior art date
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Granted
Application number
EP22183569.7A
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German (de)
French (fr)
Other versions
EP4123186B1 (en
Inventor
Jan GAUß
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
J Schmalz GmbH
Original Assignee
J Schmalz GmbH
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Filing date
Publication date
Application filed by J Schmalz GmbH filed Critical J Schmalz GmbH
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/14—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid
    • F04F5/16—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids
    • F04F5/20—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow the inducing fluid being elastic fluid displacing elastic fluids for evacuating
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/42—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow characterised by the input flow of inducing fluid medium being radial or tangential to output flow
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04F—PUMPING OF FLUID BY DIRECT CONTACT OF ANOTHER FLUID OR BY USING INERTIA OF FLUID TO BE PUMPED; SIPHONS
    • F04F5/00—Jet pumps, i.e. devices in which flow is induced by pressure drop caused by velocity of another fluid flow
    • F04F5/44—Component parts, details, or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04F5/02 - F04F5/42
    • F04F5/46—Arrangements of nozzles
    • F04F5/463—Arrangements of nozzles with provisions for mixing

Definitions

  • the invention relates to a vacuum generating device according to claim 1 and a suction gripper according to claim 15.
  • the negative pressure generation devices mentioned are pressure fluid-operated, in particular compressed air-operated, negative pressure generation devices. In this respect, it is devices that use a pressurized fluid source to generate negative pressure. Such vacuum generating devices are used in vacuum handling systems, among other things, and are used there, for example, to supply a vacuum gripper with vacuum.
  • ejectors which generate negative pressure according to the Venturi principle.
  • Such an ejector usually has a jet nozzle with an inlet opening for the driving compressed air and a catching nozzle with an outlet opening that follows in the flow path.
  • a suction opening is provided between the blasting nozzle and the catching nozzle, at which a negative pressure is created due to a flow from the blasting nozzle to the catching nozzle is accessible.
  • the Coanda principle is also known.
  • compressed air usually flows through an annular gap into a nozzle and is thus accelerated. Due to the so-called “Coanda effect", the inflowing compressed air follows a curved surface of the nozzle and thus causes the ambient air to be sucked in.
  • pneumatic vacuum generators are known which work according to the Bernoulli principle.
  • the known vacuum generating devices are usually designed either to suck in larger volumes of air or to provide a high vacuum.
  • use in vacuum handling systems regularly requires both. For example, it is desirable to be able to discharge larger volume flows of sucked-in air in order to be able to empty a volume to be evacuated, e.g. a suction pad or lifting hose, sufficiently quickly.
  • the invention is concerned with the task of providing a robustly working negative pressure generation device, by means of which large volumes can be sucked off and at the same time a high negative pressure can be provided. In addition, ease of manufacture is desirable.
  • the vacuum generating device comprises a main flow channel, which extends along a central main flow axis and is delimited by a wall, in particular a peripheral wall.
  • the main flow channel is in particular designed to be rotationally symmetrical about the main flow axis.
  • the main flow channel has an inlet opening, which is open to the environment, for sucking in fluid and an outlet opening for discharging fluid.
  • the main flow channel can be flown through from the inlet opening to the outlet opening along a main flow direction parallel to the main flow axis.
  • the main flow channel has an inlet section, a mixing section, and a nozzle section arranged between the inlet section and the mixing section.
  • the nozzle section is directly adjacent to the inlet section and the mixing section.
  • the nozzle section opens out in particular into the mixing section.
  • the inlet section connects to the inlet opening.
  • the mixing section opens out in particular into the outlet opening.
  • the wall delimiting the main flow channel runs in the area of the nozzle section in such a way that there is a flow cross section which progressively narrows along the main flow direction.
  • a flow cross section of the inlet section is larger than a flow cross section in the mixing section.
  • flow cross-section is in particular the local cross-sectional area of the main flow channel orthogonal to the Main flow axis understood through which fluid can flow.
  • the vacuum generating device also includes a driving nozzle arrangement for the inflow of a pressurized fluid into the main flow channel.
  • the pressurized fluid is a pressurized gas, preferably compressed air.
  • the propulsion nozzle arrangement is designed to generate a propulsion flow in the direction of the outlet opening in the main flow channel.
  • the propulsion nozzle arrangement comprises a plurality of propulsion nozzles, in particular separately formed propulsion nozzles, which open into the main flow channel.
  • the propulsion nozzle arrangement comprises, in particular, a plurality of individual nozzles.
  • the propulsion nozzles in particular their nozzle outlets, are distributed along a circumference around the main flow axis, in particular evenly.
  • the propulsion nozzles open into the main flow channel at different positions.
  • the motive nozzles are arranged such that the circumference along which the motive nozzles are arranged is larger than a flow channel circumference in the mixing section.
  • the propulsion nozzles are arranged in particular in such a way that a respective nozzle outlet is at a greater radial distance from the main flow axis than the wall in the mixing section is from the main flow axis.
  • the propulsion nozzles are designed and arranged in such a way that the pressurized fluid flows into the main flow channel obliquely to the main flow axis and utilizing the Coanda effect flows along a surface of the wall in the tapered nozzle section into the mixing section.
  • Such a vacuum generating device makes it possible to suck in large volumes and at the same time to provide a high vacuum.
  • the generation of negative pressure is based on the basic principle that the inflow of pressurized fluid through the motive nozzles generates a motive flow in the main flow channel, which entrains adjacent air in the main flow channel. In this way, a negative pressure is created, which causes more air to be sucked in through the inlet opening into the main flow channel. Due to the fact that the propulsion nozzles are arranged along a comparatively large circumference around the main flow axis, large volumes can be sucked in. A large effective suction cross section is thus provided.
  • the proposed arrangement of the propulsion nozzles and the design of the main flow channel enables the formation of a Coanda flow along the surface of the wall.
  • the motive flow can be designed in particular in the form of a sheath flow along the surface of the wall. In this way, mixing in of the sucked-in air and inflow of the pressure fluid into the mixing section can be additionally improved.
  • the proposed propulsion nozzle arrangement with a plurality of individual nozzles is constructed in a particularly robust manner and is also easy to produce.
  • such an arrangement is characterized by a higher level of operational readiness compared to annular nozzles, since the motive flow does not come to a complete standstill even if one of the individual nozzles fails or becomes blocked.
  • the proposed arrangement of the propulsion nozzles also enables the pressurized fluid to be introduced particularly evenly into the main flow channel.
  • the propulsion nozzle arrangement has at least 2, in particular 4, more particularly 6, more particularly 8 and/or a maximum of 12, more particularly a maximum of 10 propulsion nozzles.
  • the propulsion nozzles are distributed uniformly along the circumference around the main flow axis, preferably along a ring.
  • the propulsion nozzles are arranged in front of the mixing section, in particular when viewed in the main flow direction.
  • the propulsion nozzles are arranged in particular in a section of the main flow channel in which a flow cross section is larger than a flow cross section in the mixing section.
  • the propulsion nozzles open into the inlet section or into the nozzle section of the main flow channel.
  • a flow cross section in the inlet section is at least 1.5 times as large as a Flow cross section in the mixing section, in particular at least twice.
  • the propulsion nozzles are set at an angle of attack to the main flow axis.
  • the propulsion nozzles are designed and arranged in particular in such a way that the pressurized fluid flows along a respective inflow direction into the main flow channel, with the respective inflow direction being oriented inclined to the main flow axis in the angle of attack. In this way, an impulse effect in the direction of the outlet opening can be increased.
  • the angle of attack is at least 20°, in particular at least 30°, more particularly at least 40° and/or at most 60°, in particular at most 45°.
  • the angle of attack is preferably 45°.
  • an angle of attack of 0° denotes an orientation of the propulsion nozzles or inflow directions parallel to the main flow direction and an angle of 90° denotes an orientation of the propulsion nozzles orthogonally to the main flow direction.
  • the propulsion nozzles are arranged in particular in such a way that the inflow axes, viewed in the main flow direction, run towards the main flow axis and intersect it, in particular at a common point.
  • the propulsion nozzles are in particular not arranged in such a way that a swirl or a helical propulsion flow occurs in the main flow channel (no vortex nozzle).
  • the propulsion nozzles are designed and arranged in such a way that the pressurized fluid is parallel, in particular tangential, to the wall in the nozzle section, in particular to a surface of the wall, flows into the main flow channel.
  • an inflow axis runs in particular parallel or tangential to a wall section in the nozzle section. In this way, the formation of a Coanda flow along the surface of the wall is promoted.
  • the formation of a Coanda flow can be promoted in that the wall in the nozzle section is convexly curved towards the main flow channel.
  • the wall in the nozzle section extends in such a way that the nozzle section, viewed in the main direction of flow, tapers in a funnel shape, in particular in the shape of a trumpet or cone.
  • the driving nozzles are each formed by a passage in the wall.
  • a respective passage runs inclined to the main flow axis in the angle of attack.
  • the propulsion nozzles can each be formed by a bore penetrating the wall.
  • a respective borehole axis is oriented inclined in the angle of attack to the main flow axis.
  • the borehole axes of the individual boreholes intersect the main flow axis, preferably at a common point.
  • an inlet cone can be provided which is in the inflow direction of the pressure fluid is arranged in front of the respective bore and tapers in the inflow direction.
  • the nozzle outlets of the propulsion nozzles can run out at an angle to the wall. If the propulsion nozzle is designed as a bore, the surface of the wall intersects the bore in particular at an angle. In this way, noise emissions from the inflowing pressure fluid can be reduced, which can be advantageous in particular in production environments with a large number of vacuum-generating devices.
  • the nozzle outlets of the driving nozzles are offset orthogonally to the wall.
  • the friction of the inflowing pressure fluid on the wall is reduced, so that the pressure fluid is decelerated to a lesser extent.
  • a flow speed of the pressure fluid in the main flow channel is increased, which further improves the entrainment of ambient air.
  • the propulsion nozzle is designed as a bore, then in particular the surface of the wall intersects the bore orthogonally to the bore axis.
  • the propulsion nozzles each open into the main flow channel via a section that widens in the inflow direction, in particular the outlet radius, more particularly the outlet cone. In this way, a further acceleration of the pressure fluid can be achieved, in particular according to the Laval principle.
  • the wall delimiting the main flow channel can be provided by a nozzle body which extends along the main flow axis.
  • the driving nozzles can be formed in particular by recesses in the nozzle body.
  • the nozzle body can be designed to be rotationally symmetrical about the main flow axis, for example in the form of a cylindrical bush.
  • the nozzle body can preferably be designed in one piece.
  • the vacuum generating device comprises in particular a pressure chamber which can be connected to a pressure fluid source, in particular a compressed air supply, via a supply connection.
  • the pressure chamber can in particular be designed as an annular chamber which encircles the propulsion nozzle arrangement, in particular the nozzle body.
  • the pressure chamber can be provided in a nozzle housing surrounding the main flow channel.
  • the vacuum generating device can also include an outlet nozzle which, viewed in the main flow direction, is connected to the outlet opening of the main flow channel.
  • the outlet nozzle can in particular be designed in such a way that a flow cross section of the outlet nozzle progressively widens in the main flow direction.
  • the vacuum generating device includes a sensor device for detecting flow and/or pressure conditions.
  • the vacuum generating device can also include an ejector that works according to the Venturi principle.
  • the outlet opening of the main flow channel can then be flow-connected to an inlet opening of the ejector.
  • the negative pressure generating device can be constructed in several stages. In this way, large volumes can be sucked off and, at the same time, a particularly high negative pressure can be achieved with the cooperation of the ejector.
  • a check valve is provided between the individual stages, for example in the flow connection between the outlet opening of the main flow channel and the inlet opening of the ejector, which opens and/or closes depending on the vacuum.
  • non-return flap to release or close a flow connection between the outlet opening of the main flow channel and the ejector as a function of the vacuum. It is also conceivable that the non-return valve opens or closes in the direction of the atmosphere.
  • the vacuum generating devices described above can in particular each be part of a suction gripper for gripping an object.
  • the suction gripper can be a surface suction gripper or a wafer gripper.
  • the suction gripper can also include multiple vacuum generating devices. It is conceivable, for example, that several Vacuum generating devices are connected in parallel.
  • a surface suction gripper has a plurality of suction points via which an object can be sucked up. It can then be possible for each suction point or a subset of the suction points to be supplied with negative pressure by a separate negative pressure generating device.
  • the figure 1 shows a sectional view of an embodiment of a vacuum generating device, which is denoted overall by the reference numeral 10 .
  • the vacuum generating device 10 includes a main flow channel 12 which extends along a main flow axis 14 .
  • the main flow channel 12 is designed, for example and preferably, to be rotationally symmetrical about the main flow axis 14 .
  • the main flow channel 12 has a circular cross section in the example shown. In the case of configurations that are not shown, it is also conceivable for the main flow channel 12 to have an elliptical, oval or angular cross section.
  • the main flow channel 12 is delimited by a peripheral wall 16, which is provided by a nozzle body 18 in the example shown (cf. 2 ).
  • the nozzle body 18 provides the main flow channel 12 .
  • the nozzle body 18 extends along the main flow axis 14 and is, for example, also rotationally symmetrical about the main flow axis 14 .
  • the nozzle body 18 is preferably designed in one piece.
  • the main flow channel 12 has an inlet opening 20 and an outlet opening 22 and can be traversed along a main flow direction 24 from the inlet opening 20 to the outlet opening 22 .
  • the main flow channel 12 comprises an inlet section 26 adjoining the inlet opening 20, a mixing section 28 opening into the outlet opening 22 and a nozzle section 30 arranged in between.
  • the flow cross section 32 in the inlet section 26 is at least 1.2 times as large as the flow cross section 34 in the mixing section 28.
  • a flow channel circumference in the inlet section 26 is larger than a flow channel circumference in the mixing section 28.
  • the wall 16 in the nozzle section 30 runs convexly curved in such a way that a flow cross section in the nozzle section progressively tapers in the main flow direction 24 .
  • the vacuum generating device 10 also includes a driving nozzle arrangement 36 which is designed to flow a pressurized fluid, in particular compressed air, along an inflow axis 38 into the main flow channel 12 and thus to generate a driving flow in the direction of the outlet opening 22 .
  • a driving nozzle arrangement 36 which is designed to flow a pressurized fluid, in particular compressed air, along an inflow axis 38 into the main flow channel 12 and thus to generate a driving flow in the direction of the outlet opening 22 .
  • the propulsion nozzle arrangement 36 comprises a plurality of separately formed propulsion nozzles 40 which are distributed along a circumference around the main flow axis 14 .
  • the propulsion nozzles 40 are formed by passages 42 in the wall 16 of the nozzle body 18 .
  • Exemplary are the passages 42 through straight, in particular cylindrical bores 44 are formed, which pass through the wall 16 from an outside 46 to the main flow channel 12 .
  • the passages 42 additionally include an optional inlet cone 48 which is arranged in front of the bore 44 in an inflow direction 50 and via which the pressurized fluid can be introduced into the bore 44 .
  • an outlet cone is additionally or additionally provided behind the bore 44 in the inflow direction 50 , via which the pressurized fluid flows into the main flow channel 12 .
  • the bores 44 are oriented inclined at an angle of incidence ⁇ to the main flow axis 14 .
  • a respective borehole axis 52 (corresponding to a respective inflow axis 38 of the pressure fluid in the example shown) is oriented inclined to the main flow axis 14 and encloses the angle of attack ⁇ with it.
  • the borehole axes 52 and the inflow axes 38 are in particular oriented in such a way that they intersect the main flow axis 14, in particular at a common point (cf. 2 ).
  • the angle of attack is 45°.
  • the driving nozzles 40 are arranged in such a way that the pressurized fluid flows in parallel to a surface 54 of the wall 16 in the nozzle section 30 .
  • the inflow axes 38 run parallel or tangentially to the section of the surface 54 of the wall 16 at which the pressure fluid flows.
  • the nozzle outlets 56 run out obliquely to the surface 54 of the wall 16 .
  • the surface 54 of the wall 16 intersects the bores 44 obliquely.
  • the nozzle outlets 56 it is also possible for the nozzle outlets 56 to be offset orthogonally to the wall 16 .
  • Such a configuration of a vacuum generating device 10 is in 3 shown (cf. the detail 57 delimited by dashed lines).
  • the vacuum generating device 10 according to 3 is otherwise identical to the in 1 vacuum generating device 10 shown constructed.
  • the vacuum generating device 10 also includes a pressure chamber 58 (cf. 1 ).
  • the pressure chamber 58 is formed by a cavity 60 which extends between the outside 46 of the nozzle body 18 and a nozzle housing 62 .
  • the nozzle housing 62 is, for example, part of an outlet nozzle 64 described in more detail below. It is conceivable, for example, that the nozzle body 18 is pressed into the nozzle housing 62 and in this way the pressure chamber 58 is sealed off from the environment. It is also possible that, alternatively or additionally, a sealing device 66, for example in the form of an O-ring 68, is provided for sealing.
  • the pressure chamber 58 can be connected to a pressure fluid source (not shown), in particular a compressed air supply, via a supply connection 70 .
  • pressurized fluid in particular compressed air
  • the pressurized fluid flows obliquely to the main flow axis 14 into the main flow channel 12 in such a way that it flows along the convex surface 54 of the wall 16 in the nozzle section 30, utilizing the Coanda effect, and is then introduced into the mixing section 28.
  • the pressurized fluid generates a driving flow in the direction of the outlet opening 22, which entrains air in the main flow channel 12. In this way, a negative pressure is created, which causes more air to be sucked in through the inlet opening 20 into the main flow channel 12 .
  • the vacuum generating device 10 also includes an optional outlet nozzle 64 already mentioned above, which is connected to the outlet opening 22 of the main flow channel 12 in the main flow direction 24 .
  • the outlet nozzle 64 is bounded by the nozzle housing 62 and widens progressively in the main flow direction 24, in particular conically.
  • the outlet nozzle 64 serves in particular to delay the fluid flow, in particular the air flow, emerging from the outlet opening 22 and thereby to recover static pressure in the main flow.
  • the vacuum generating device 10 can also include an inlet cone which is arranged in front of the inlet opening 20 viewed in the main flow direction 24 and progressively tapers in the main flow direction 24 and opens into the inlet opening 20 . In this way, an intake cross section can be further increased.
  • the vacuum generating device 10 described above can be part of a suction gripper (not shown).
  • the inlet opening 20 can then be flow-connected to a suction connection of the suction gripper, for example. It is also conceivable that the inlet opening 20 itself functions as a suction opening for sucking in an object.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Unterdruckerzeugungsvorrichtung (10), umfassend einen Hauptströmungskanal (12), welcher sich entlang einer Hauptströmungsachse (14) erstreckt, von einer Wandung (16) begrenzt ist, eine Eintrittsöffnung (20) und eine Austrittsöffnung (22) aufweist und von der Eintrittsöffnung zu der Austrittsöffnung entlang einer Hauptströmungsrichtung (24) durchströmbar ist, wobei der Hauptströmungskanal einen Einlassabschnitt (26), einen Mischabschnitt (28) und einen Düsenabschnitt (30) aufweist, wobei die Wandung im Bereich des Düsenabschnitts derart verläuft, dass ein Strömungsquerschnitt vorliegt, welcher sich entlang der Hauptströmungsrichtung fortschreitend verjüngt, ferner umfassend eine Treibdüsenanordnung (36) zum Einströmen eines Druckfluids in den Hauptströmungskanal, wobei die Treibdüsenanordnung eine Mehrzahl von Treibdüsen (40) umfasst, welche entlang eines Umfangs um die Hauptströmungsachse verteilt angeordnet sind, wobei die Treibdüsen derart ausgebildet und angeordnet sind, dass das Druckfluid schräg zu der Hauptströmungsachse in den Hauptströmungskanal einströmt und unter Ausnutzung des Coanda-Effekts entlang einer Oberfläche der Wandung in dem des sich verjüngenden Düsenabschnitts in den Mischabschnitt einströmt.The invention relates to a vacuum generating device (10), comprising a main flow channel (12) which extends along a main flow axis (14), is delimited by a wall (16), has an inlet opening (20) and an outlet opening (22) and from which inlet opening to the outlet opening can be flowed through in a main flow direction (24), the main flow channel having an inlet section (26), a mixing section (28) and a nozzle section (30), the wall in the area of the nozzle section running in such a way that a flow cross section is present, which progressively tapers along the main flow direction, further comprising a propulsion nozzle arrangement (36) for inflow of a pressurized fluid into the main flow channel, wherein the propulsion nozzle arrangement comprises a plurality of propulsion nozzles (40) which are distributed along a circumference around the main flow axis, the propulsion nozzles being arranged in such a way trained and are arranged such that the pressurized fluid flows obliquely to the main flow axis into the main flow channel and using the Coanda effect along a surface of the wall in that of the tapered nozzle section flows into the mixing section.

Description

Beschreibungdescription

Die Erfindung betrifft eine Unterdruckerzeugungsvorrichtung gemäß Anspruch 1 sowie einen Sauggreifer gemäß Anspruch 15.The invention relates to a vacuum generating device according to claim 1 and a suction gripper according to claim 15.

Bei den genannten Unterdruckerzeugungsvorrichtungen handelt es sich um druckfluidbetriebene, insbesondere druckluftbetriebene, Unterdruckerzeugungsvorrichtungen. Insofern handelt es sich um Vorrichtungen, die eine Druckfluidquelle verwenden, um Unterdruck zu erzeugen. Solche Unterdruckerzeugungsvorrichtungen finden unter anderem in Unterdruckhandhabungsanlagen Verwendung und dienen dort beispielsweise dazu, einen Sauggreifer mit Unterdruck zu versorgen.The negative pressure generation devices mentioned are pressure fluid-operated, in particular compressed air-operated, negative pressure generation devices. In this respect, it is devices that use a pressurized fluid source to generate negative pressure. Such vacuum generating devices are used in vacuum handling systems, among other things, and are used there, for example, to supply a vacuum gripper with vacuum.

Es sind verschiedene Arten von druckluftbetriebenen Unterdruckerzeugungsvorrichtungen bekannt. Beispielsweise sind sogenannte Ejektoren bekannt, welche nach dem Venturi-Prinzip Unterdruck erzeugen. Ein solcher Ejektor weist üblicherweise eine Strahldüse mit einer Eintrittsöffnung für die antreibende Druckluft sowie eine im Strömungspfad folgende Fangdüse mit einer Austrittsöffnung auf. Zwischen Strahldüse und Fangdüse ist eine Saugöffnung vorgesehen, an welcher aufgrund einer Strömung von der Strahldüse zur Fangdüse ein Unterdruck abgreifbar ist. Anstelle des Venturi-Prinzips ist auch das Coanda-Prinzip bekannt. Bei solchen Vorrichtungen wird Druckluft üblicherweise durch einen Ringspalt in eine Düse eingeströmt und somit beschleunigt. Die einströmende Druckluft folgt hierbei aufgrund des sogenannten "Coanda-Effekt" einer gekrümmten Oberfläche der Düse und bewirkt somit ein Ansaugen der Umgebungsluft. Außerdem sind pneumatische Unterdruckerzeuger bekannt, welche nach dem Bernoulli-Prinzip arbeiten.Various types of compressed air operated vacuum generating devices are known. For example, so-called ejectors are known, which generate negative pressure according to the Venturi principle. Such an ejector usually has a jet nozzle with an inlet opening for the driving compressed air and a catching nozzle with an outlet opening that follows in the flow path. A suction opening is provided between the blasting nozzle and the catching nozzle, at which a negative pressure is created due to a flow from the blasting nozzle to the catching nozzle is accessible. Instead of the Venturi principle, the Coanda principle is also known. In such devices, compressed air usually flows through an annular gap into a nozzle and is thus accelerated. Due to the so-called "Coanda effect", the inflowing compressed air follows a curved surface of the nozzle and thus causes the ambient air to be sucked in. In addition, pneumatic vacuum generators are known which work according to the Bernoulli principle.

Die bekannten Unterdruckerzeugungsvorrichtungen sind üblicherweise darauf ausgelegt, entweder größere Luftvolumina anzusaugen oder einen hohen Unterdruck bereitzustellen. Ein Einsatz in Unterdruckhandhabungsanlagen erfordert jedoch regelmäßig beides. Beispielsweise ist es wünschenswert, größere Volumenströme an eingesaugter Luft abführen zu können, um ein zu evakuierendes Volumen, z.B. einen Sauggreifer oder Hebeschlauch, ausreichend schnell entleeren zu können. Gleichzeitig ist es wünschenswert, einen ausreichend starken Unterdruck bereitzustellen, bspw. um ein sicheres Halten eines Gegenstandes an einem Sauggreifer zu gewährleisten.The known vacuum generating devices are usually designed either to suck in larger volumes of air or to provide a high vacuum. However, use in vacuum handling systems regularly requires both. For example, it is desirable to be able to discharge larger volume flows of sucked-in air in order to be able to empty a volume to be evacuated, e.g. a suction pad or lifting hose, sufficiently quickly. At the same time, it is desirable to provide a sufficiently strong negative pressure, for example to ensure that an object is held securely on a suction gripper.

Die Erfindung beschäftigt sich mit der Aufgabe, eine robust arbeitende Unterdruckerzeugungsvorrichtung bereitzustellen, mittels welcher große Volumina abgesaugt werden können und gleichzeitig ein hoher Unterdruck bereitgestellt werden kann. Darüber hinaus ist eine einfache Herstellbarkeit wünschenswert.The invention is concerned with the task of providing a robustly working negative pressure generation device, by means of which large volumes can be sucked off and at the same time a high negative pressure can be provided. In addition, ease of manufacture is desirable.

Diese Aufgabe wird durch eine Unterdruckerzeugungsvorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst.This object is achieved by a vacuum generating device having the features of claim 1.

Die Unterdruckerzeugungsvorrichtung umfasst einen Hauptströmungskanal, welcher sich entlang einer zentralen Hauptströmungsachse erstreckt und von einer, insbesondere umlaufenden, Wandung begrenzt ist. Der Hauptströmungskanal ist insbesondere rotationssymmetrisch um die Hauptströmungsachse ausgebildet.The vacuum generating device comprises a main flow channel, which extends along a central main flow axis and is delimited by a wall, in particular a peripheral wall. The main flow channel is in particular designed to be rotationally symmetrical about the main flow axis.

Der Hauptströmungskanal weist eine zur Umgebung offene Eintrittsöffnung zum Ansaugen von Fluid und eine Austrittsöffnung zum Austritt von Fluid auf. Der Hauptströmungskanal ist von der Eintrittsöffnung zu der Austrittsöffnung entlang einer zu der Hauptströmungsachse parallelen Hauptströmungsrichtung durchströmbar.The main flow channel has an inlet opening, which is open to the environment, for sucking in fluid and an outlet opening for discharging fluid. The main flow channel can be flown through from the inlet opening to the outlet opening along a main flow direction parallel to the main flow axis.

Der Hauptströmungskanal weist einen Einlassabschnitt, einen Mischabschnitt, und einen zwischen Einlassabschnitt und Mischabschnitt angeordneten Düsenabschnitt auf. Insbesondere grenzt der Düsenabschnitt unmittelbar an den Einlassabschnitt und den Mischabschnitt an. Insofern mündet der Düsenabschnitt insbesondere in den Mischabschnitt. Insbesondere schließt sich der Einlassabschnitt an die Eintrittsöffnung an. Der Mischabschnitt mündet insbesondere in die Austrittsöffnung ein.The main flow channel has an inlet section, a mixing section, and a nozzle section arranged between the inlet section and the mixing section. In particular, the nozzle section is directly adjacent to the inlet section and the mixing section. In this respect, the nozzle section opens out in particular into the mixing section. In particular, the inlet section connects to the inlet opening. The mixing section opens out in particular into the outlet opening.

Die den Hauptströmungskanal begrenzende Wandung verläuft im Bereich des Düsenabschnitts derart, dass ein Strömungsquerschnitt vorliegt, welcher sich entlang der Hauptströmungsrichtung fortschreitend verjüngt. Insofern ist ein Strömungsquerschnitt des Einlassabschnitts größer als ein Strömungsquerschnitt in dem Mischabschnitt. Unter Strömungsquerschnitt wird vorliegend insbesondere die lokale Querschnittsfläche des Hauptströmungskanals orthogonal zu der Hauptströmungsachse verstanden, durch welche Fluid durchströmbar ist.The wall delimiting the main flow channel runs in the area of the nozzle section in such a way that there is a flow cross section which progressively narrows along the main flow direction. In this respect, a flow cross section of the inlet section is larger than a flow cross section in the mixing section. In the present case, flow cross-section is in particular the local cross-sectional area of the main flow channel orthogonal to the Main flow axis understood through which fluid can flow.

Die Unterdruckerzeugungsvorrichtung umfasst außerdem eine Treibdüsenanordnung zum Einströmen eines Druckfluids in den Hauptströmungskanal. Insbesondere handelt es sich bei dem Druckfluid um ein Druckgas, vorzugsweise Druckluft. Die Treibdüsenanordnung ist dazu ausgebildet, in dem Hauptströmungskanal eine Treibströmung in Richtung der Austrittsöffnung zu erzeugen.The vacuum generating device also includes a driving nozzle arrangement for the inflow of a pressurized fluid into the main flow channel. In particular, the pressurized fluid is a pressurized gas, preferably compressed air. The propulsion nozzle arrangement is designed to generate a propulsion flow in the direction of the outlet opening in the main flow channel.

Die Treibdüsenanordnung umfasst eine Mehrzahl von, insbesondere separat ausgebildeten, Treibdüsen, welche in den Hauptströmungskanal einmünden. Insofern umfasst die Treibdüsenanordnung insbesondere eine Mehrzahl von Einzeldüsen.The propulsion nozzle arrangement comprises a plurality of propulsion nozzles, in particular separately formed propulsion nozzles, which open into the main flow channel. In this respect, the propulsion nozzle arrangement comprises, in particular, a plurality of individual nozzles.

Die Treibdüsen, insbesondere deren Düsenauslässe, sind entlang eines Umfangs um die Hauptströmungsachse verteilt angeordnet, insbesondere gleichmäßig. Insofern münden die Treibdüsen an unterschiedlichen Positionen in den Hauptströmungskanal ein. Die Treibdüsen sind derart angeordnet, dass der Umfang, entlang dessen die Treibdüsen angeordnet sind, größer ist als ein Strömungskanalumfang in dem Mischabschnitt. Insofern sind die Treibdüsen insbesondere derart angeordnet, dass ein jeweiliger Düsenauslass einen größeren radialen Abstand zu der Hauptströmungsachse aufweist als die Wandung im Mischabschnitt zu der Hauptströmungsachse.The propulsion nozzles, in particular their nozzle outlets, are distributed along a circumference around the main flow axis, in particular evenly. In this respect, the propulsion nozzles open into the main flow channel at different positions. The motive nozzles are arranged such that the circumference along which the motive nozzles are arranged is larger than a flow channel circumference in the mixing section. In this respect, the propulsion nozzles are arranged in particular in such a way that a respective nozzle outlet is at a greater radial distance from the main flow axis than the wall in the mixing section is from the main flow axis.

Die Treibdüsen sind derart ausgebildet und angeordnet, dass das Druckfluid schräg zu der Hauptströmungsachse in den Hauptströmungskanal einströmt und unter Ausnutzung des Coanda-Effekts entlang einer Oberfläche der Wandung in dem sich verjüngenden Düsenabschnitt in den Mischabschnitt einströmt.The propulsion nozzles are designed and arranged in such a way that the pressurized fluid flows into the main flow channel obliquely to the main flow axis and utilizing the Coanda effect flows along a surface of the wall in the tapered nozzle section into the mixing section.

Eine solche Unterdruckerzeugungsvorrichtung ermöglicht es, große Volumina anzusaugen und gleichzeitig einen hohen Unterdruck bereitzustellen. Die Unterdruckerzeugung basiert auf dem Grundprinzip, dass durch Einströmen von Druckfluid durch die Treibdüsen eine Treibströmung in dem Hauptströmungskanal erzeugt wird, welche benachbarte Luft in dem Hauptströmungskanal mitreißt. Auf diese Weise entsteht ein Unterdruck, der bewirkt, dass weitere Luft durch die Eintrittsöffnung in den Hauptströmungskanal angesaugt wird. Dadurch, dass die Treibdüsen entlang eines vergleichsweise großen Umfangs um die Hauptströmungsachse angeordnet sind, können große Volumina angesaugt werden. Es wird also ein großer wirksamer Ansaugquerschnitt bereitgestellt. Aufgrund des Düseneffekts beim Übergang von dem großen Ansaugquerschnitt zu dem vergleichsweise kleinen Strömungsquerschnitt im Mischabschnitt wird dann ein hoher Unterdruck erzielt. Eine Impulswirkung in Richtung der Austrittsöffnung wird ferner dadurch erhöht, dass das Druckfluid über die Treibdüsen schräg zu der Hauptströmungsrichtung einströmt. Zudem ermöglicht die vorgeschlagene Anordnung der Treibdüsen und die Ausgestaltung des Hauptströmungskanals die Ausbildung einer Coanda-Strömung entlang der Oberfläche der Wandung. Insofern kann die Treibströmung insbesondere in Form einer Mantelströmung entlang der Oberfläche der Wandung ausgebildet sein. Auf diese Weise kann eine Einmischung der angesaugten Luft und ein Einströmen des Druckfluids in den Mischabschnitt zusätzlich verbessert werden.Such a vacuum generating device makes it possible to suck in large volumes and at the same time to provide a high vacuum. The generation of negative pressure is based on the basic principle that the inflow of pressurized fluid through the motive nozzles generates a motive flow in the main flow channel, which entrains adjacent air in the main flow channel. In this way, a negative pressure is created, which causes more air to be sucked in through the inlet opening into the main flow channel. Due to the fact that the propulsion nozzles are arranged along a comparatively large circumference around the main flow axis, large volumes can be sucked in. A large effective suction cross section is thus provided. Because of the nozzle effect during the transition from the large intake cross section to the comparatively small flow cross section in the mixing section, a high negative pressure is then achieved. An impulse effect in the direction of the outlet opening is further increased by the pressure fluid flowing in obliquely to the main flow direction via the driving nozzles. In addition, the proposed arrangement of the propulsion nozzles and the design of the main flow channel enables the formation of a Coanda flow along the surface of the wall. In this respect, the motive flow can be designed in particular in the form of a sheath flow along the surface of the wall. In this way, mixing in of the sucked-in air and inflow of the pressure fluid into the mixing section can be additionally improved.

Die vorgeschlagene Treibdüsenanordnung mit einer Mehrzahl von Einzeldüsen ist besonders robust aufgebaut und zudem einfach herstellbar. Insbesondere zeichnet sich eine solche Anordnung im Vergleich zu Ringdüsen durch eine höhere Betriebsbereitschaft aus, da auch bei Ausfall oder Verstopfung einer der Einzeldüsen die Treibströmung nicht vollständig zum Erliegen kommt. Die vorgeschlagene Anordnung der Treibdüsen ermöglicht zudem eine besonders gleichmäßige Einleitung des Druckfluids in den Hauptströmungskanal.The proposed propulsion nozzle arrangement with a plurality of individual nozzles is constructed in a particularly robust manner and is also easy to produce. In particular, such an arrangement is characterized by a higher level of operational readiness compared to annular nozzles, since the motive flow does not come to a complete standstill even if one of the individual nozzles fails or becomes blocked. The proposed arrangement of the propulsion nozzles also enables the pressurized fluid to be introduced particularly evenly into the main flow channel.

Für eine optimale Verteilung der Impulskräfte im Mischabschnitt hat es sich insbesondere als vorteilhaft herausgestellt, wenn die Treibdüsenanordnung wenigstens 2, insbesondere 4, weiter insbesondere 6, weiter insbesondere 8 und/oder maximal 12, weiter insbesondere maximal 10 Treibdüsen aufweist. Insbesondere sind die Treibdüsen gleichmäßig entlang des Umfangs um die Hauptströmungsachse verteilt angeordnet, vorzugsweise entlang eines Rings.For an optimal distribution of the impulse forces in the mixing section, it has proven particularly advantageous if the propulsion nozzle arrangement has at least 2, in particular 4, more particularly 6, more particularly 8 and/or a maximum of 12, more particularly a maximum of 10 propulsion nozzles. In particular, the propulsion nozzles are distributed uniformly along the circumference around the main flow axis, preferably along a ring.

Die Treibdüsen sind insbesondere in Hauptströmungsrichtung betrachtet vor dem Mischabschnitt angeordnet. Insofern sind die Treibdüsen insbesondere in einem Abschnitt des Hauptströmungskanals angeordnet, in dem ein Strömungsquerschnitt größer ist als ein Strömungsquerschnitt in dem Mischabschnitt. Insbesondere münden die Treibdüsen in den Einlassabschnitt oder in den Düsenabschnitt des Hauptströmungskanals ein.The propulsion nozzles are arranged in front of the mixing section, in particular when viewed in the main flow direction. In this respect, the propulsion nozzles are arranged in particular in a section of the main flow channel in which a flow cross section is larger than a flow cross section in the mixing section. In particular, the propulsion nozzles open into the inlet section or into the nozzle section of the main flow channel.

Um einen hohen Volumenstrom und gleichzeitig einen hohen Unterdruck erzielen zu können, kann es insbesondere vorteilhaft sein, wenn ein Strömungsquerschnitt in dem Einlassabschnitt wenigstens 1,5-fach so groß ist wie ein Strömungsquerschnitt in dem Mischabschnitt, insbesondere wenigstens 2-fach.In order to be able to achieve a high volume flow and at the same time a high negative pressure, it can be particularly advantageous if a flow cross section in the inlet section is at least 1.5 times as large as a Flow cross section in the mixing section, in particular at least twice.

Insbesondere sind die Treibdüsen in einem Anstellwinkel zu der Hauptströmungsachse angestellt. Insofern sind die Treibdüsen insbesondere derart ausgebildet und angeordnet, dass das Druckfluid entlang einer jeweiligen Einströmrichtung in den Hauptströmungskanal einströmt, wobei die jeweilige Einströmrichtung zu der Hauptströmungsachse in dem Anstellwinkel geneigt orientiert ist. Auf diese Weise kann eine Impulswirkung in Richtung der Austrittsöffnung erhöht werden. Als besonders vorteilhaft hat sich herausgestellt, wenn der Anstellwinkel wenigstens 20°, insbesondere wenigstens 30°, weiter insbesondere wenigstens 40° und/oder maximal 60°, insbesondere maximal 45° beträgt. Vorzugsweise beträgt der Anstellwinkel 45°. Dabei bezeichnet im vorliegenden Zusammenhang ein Anstellwinkel von 0° eine Ausrichtung der Treibdüsen bzw. Einströmrichtungen parallel zu der Hauptströmungsrichtung und ein Anstellwinkel von 90° eine Ausrichtung der Treibdüsen orthogonal zu der Hauptströmungsrichtung. Die Treibdüsen sind insbesondere derart angeordnet, dass die Einströmachsen in Hauptströmungsrichtung betrachtet auf die Hauptströmungsachse zu laufen und diese, insbesondere in einem gemeinsamen Punkt, schneiden. Insofern sind die Treibdüsen insbesondere nicht derart angeordnet, dass ein Drall oder eine wendelförmige Treibströmung in dem Hauptströmungskanal entsteht (keine Vortex-Düse).In particular, the propulsion nozzles are set at an angle of attack to the main flow axis. In this respect, the propulsion nozzles are designed and arranged in particular in such a way that the pressurized fluid flows along a respective inflow direction into the main flow channel, with the respective inflow direction being oriented inclined to the main flow axis in the angle of attack. In this way, an impulse effect in the direction of the outlet opening can be increased. It has been found to be particularly advantageous if the angle of attack is at least 20°, in particular at least 30°, more particularly at least 40° and/or at most 60°, in particular at most 45°. The angle of attack is preferably 45°. In the present context, an angle of attack of 0° denotes an orientation of the propulsion nozzles or inflow directions parallel to the main flow direction and an angle of 90° denotes an orientation of the propulsion nozzles orthogonally to the main flow direction. The propulsion nozzles are arranged in particular in such a way that the inflow axes, viewed in the main flow direction, run towards the main flow axis and intersect it, in particular at a common point. In this respect, the propulsion nozzles are in particular not arranged in such a way that a swirl or a helical propulsion flow occurs in the main flow channel (no vortex nozzle).

Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Treibdüsen derart ausgebildet und angeordnet sind, dass das Druckfluid parallel, insbesondere tangential, zu der Wandung in dem Düsenabschnitt, insbesondere zu einer Oberfläche der Wandung, in den Hauptströmungskanal einströmt. Insofern verläuft eine Einströmachse insbesondere parallel bzw. tangential zu einem Wandungsabschnitt in dem Düsenabschnitt. Auf diese Weise wird die Ausbildung einer Coanda-Strömung entlang der Oberfläche der Wandung begünstigt.It is particularly advantageous if the propulsion nozzles are designed and arranged in such a way that the pressurized fluid is parallel, in particular tangential, to the wall in the nozzle section, in particular to a surface of the wall, flows into the main flow channel. In this respect, an inflow axis runs in particular parallel or tangential to a wall section in the nozzle section. In this way, the formation of a Coanda flow along the surface of the wall is promoted.

Zusätzlich oder ergänzend kann die Ausbildung einer Coanda-Strömung dadurch begünstigt werden, dass die Wandung in dem Düsenabschnitt zu dem Hauptströmungskanal hin konvex gekrümmt ist. Insbesondere verläuft die Wandung in dem Düsenabschnitt derart, dass sich der Düsenabschnitt in Hauptströmungsrichtung betrachtet trichterförmig, insbesondere trompeten- oder kegelförmig verjüngt.In addition or in addition, the formation of a Coanda flow can be promoted in that the wall in the nozzle section is convexly curved towards the main flow channel. In particular, the wall in the nozzle section extends in such a way that the nozzle section, viewed in the main direction of flow, tapers in a funnel shape, in particular in the shape of a trumpet or cone.

Eine besonders robuste und einfach zu fertigende Ausgestaltung sieht vor, dass die Treibdüsen jeweils durch einen Durchgang in der Wandung gebildet sind. Insbesondere verläuft ein jeweiliger Durchgang zu der Hauptströmungsachse in dem Anstellwinkel geneigt. In vorteilhafter Weise können die Treibdüsen jeweils durch eine die Wandung durchsetzende Bohrung gebildet sein. Dann ist insbesondere eine jeweilige Bohrungsachse in dem Anstellwinkel zu der Hauptströmungsachse geneigt orientiert. Insbesondere schneiden die Bohrungsachsen der einzelnen Bohrungen die Hauptströmungsachse, vorzugsweise in einem gemeinsamen Punkt.A particularly robust and easy-to-manufacture embodiment provides that the driving nozzles are each formed by a passage in the wall. In particular, a respective passage runs inclined to the main flow axis in the angle of attack. Advantageously, the propulsion nozzles can each be formed by a bore penetrating the wall. Then, in particular, a respective borehole axis is oriented inclined in the angle of attack to the main flow axis. In particular, the borehole axes of the individual boreholes intersect the main flow axis, preferably at a common point.

Ferner kann es vorteilhaft sein, wenn das Druckfluid über eine Einlaufschräge in die jeweilige Bohrung bzw. den Durchgang einströmt. Auf diese Weise kann das Druckfluid beim Einleiten in die Bohrung weiter beschleunigt werden. Insbesondere kann ein Einlaufkegel vorgesehen sein, welcher in Einströmrichtung des Druckfluids betrachtet vor der jeweiligen Bohrung angeordnet ist und sich in Einströmrichtung verjüngt.Furthermore, it can be advantageous if the pressure fluid flows into the respective bore or passage via an inlet bevel. In this way, the pressurized fluid can be further accelerated as it is introduced into the bore. In particular, an inlet cone can be provided which is in the inflow direction of the pressure fluid is arranged in front of the respective bore and tapers in the inflow direction.

Die Düsenauslässe der Treibdüsen können schräg zu der Wandung auslaufen. Bei einer Ausgestaltung der Treibdüsen als Bohrung schneidet insofern die Oberfläche der Wandung die Bohrung insbesondere schräg. Auf diese Weise können Geräuschemissionen durch das einströmende Druckfluid verringert werden, was insbesondere in Produktionsumgebungen mit einer Vielzahl von Unterdruckerzeugungseinrichtungen von Vorteil sein kann.The nozzle outlets of the propulsion nozzles can run out at an angle to the wall. If the propulsion nozzle is designed as a bore, the surface of the wall intersects the bore in particular at an angle. In this way, noise emissions from the inflowing pressure fluid can be reduced, which can be advantageous in particular in production environments with a large number of vacuum-generating devices.

Es kann aber auch vorteilhaft sein, wenn die Düsenauslässe der Treibdüsen orthogonal zu der Wandung abgesetzt sind. Bei einer solchen Ausgestaltung ist eine Reibung des einströmenden Druckfluids an der Wandung verringert, sodass das Druckfluid weniger stark abgebremst wird. Insofern ist eine Strömungsgeschwindigkeit des Druckfluids in dem Hauptströmungskanal erhöht, was ein Mitreißen von Umgebungsluft weiter verbessert. Bei einer Ausgestaltung der Treibdüsen als Bohrung schneidet dann insbesondere die Oberfläche der Wandung die Bohrung orthogonal zur Bohrungsachse.However, it can also be advantageous if the nozzle outlets of the driving nozzles are offset orthogonally to the wall. In such an embodiment, the friction of the inflowing pressure fluid on the wall is reduced, so that the pressure fluid is decelerated to a lesser extent. In this respect, a flow speed of the pressure fluid in the main flow channel is increased, which further improves the entrainment of ambient air. If the propulsion nozzle is designed as a bore, then in particular the surface of the wall intersects the bore orthogonally to the bore axis.

Alternativ oder ergänzend kann es vorteilhaft sein, wenn die Treibdüsen jeweils über einen sich in Einströmrichtung verbreiternden Abschnitt, insbesondere Auslaufradius, weiter insbesondere Auslaufkegel, in den Hauptströmungskanal einmünden. Auf diese Weise kann eine weitere Beschleunigung des Druckfluids erzielt werden, insbesondere nach dem Laval-Prinzip.Alternatively or additionally, it can be advantageous if the propulsion nozzles each open into the main flow channel via a section that widens in the inflow direction, in particular the outlet radius, more particularly the outlet cone. In this way, a further acceleration of the pressure fluid can be achieved, in particular according to the Laval principle.

Im Rahmen einer vorteilhaften Ausgestaltung kann die den Hauptströmungskanal begrenzende Wandung von einem Düsenkörper bereitgestellt sein, welcher sich entlang der Hauptströmungsachse erstreckt. Dann können die Treibdüsen insbesondere durch Aussparungen in dem Düsenkörper gebildet sein. Insbesondere kann der Düsenkörper rotationssymmetrisch um die Hauptströmungsachse ausgebildet sein, beispielsweise in Form einer zylindrischen Buchse. Der Düsenkörper kann vorzugsweise einstückig ausgebildet sein.Within the scope of an advantageous embodiment, the wall delimiting the main flow channel can be provided by a nozzle body which extends along the main flow axis. Then the driving nozzles can be formed in particular by recesses in the nozzle body. In particular, the nozzle body can be designed to be rotationally symmetrical about the main flow axis, for example in the form of a cylindrical bush. The nozzle body can preferably be designed in one piece.

Zur Versorgung der Treibdüsen mit Druckfluid umfasst die Unterdruckerzeugungsvorrichtung insbesondere eine Druckkammer, welche über einen Versorgungsanschluss mit einer Druckfluidquelle, insbesondere einer Druckluftversorgung, verbindbar ist. Die Druckkammer kann insbesondere als Ringkammer ausgebildet sein, welche die Treibdüsenanordnung, insbesondere den Düsenkörper, umläuft. Beispielsweise kann die Druckkammer in einem den Hauptströmungskanal umgebenden Düsengehäuse vorgesehen sein.In order to supply the driving nozzles with pressure fluid, the vacuum generating device comprises in particular a pressure chamber which can be connected to a pressure fluid source, in particular a compressed air supply, via a supply connection. The pressure chamber can in particular be designed as an annular chamber which encircles the propulsion nozzle arrangement, in particular the nozzle body. For example, the pressure chamber can be provided in a nozzle housing surrounding the main flow channel.

Im Rahmen einer vorteilhaften Weiterbildung kann die Unterdruckerzeugungsvorrichtung außerdem eine Auslassdüse umfassen, welche sich in Hauptströmungsrichtung betrachtet an die Austrittsöffnung des Hauptströmungskanals anschließt. Die Auslassdüse kann insbesondere derart ausgebildet sein, dass sich ein Strömungsquerschnitt der Auslassdüse in Hauptströmungsrichtung fortschreitend verbreitert. Eine solche Auslassdüse (Diffusor) ermöglicht eine Verzögerung und Druckrückgewinnung der aus der Austrittsöffnung ausströmenden Luftmassen.As part of an advantageous development, the vacuum generating device can also include an outlet nozzle which, viewed in the main flow direction, is connected to the outlet opening of the main flow channel. The outlet nozzle can in particular be designed in such a way that a flow cross section of the outlet nozzle progressively widens in the main flow direction. Such an outlet nozzle (diffuser) enables a deceleration and pressure recovery of the air masses flowing out of the outlet opening.

Ferner kann es vorteilhaft sein, wenn die Unterdruckerzeugungsvorrichtung eine Sensoreinrichtung zur Detektion von Strömungs- und/oder Druckverhältnissen umfasst.Furthermore, it can be advantageous if the vacuum generating device includes a sensor device for detecting flow and/or pressure conditions.

Im Rahmen einer vorteilhaften Weiterbildung kann die Unterdruckerzeugungsvorrichtung zusätzlich einen nach dem Venturi-Prinzip arbeitenden Ejektor umfassen. Insbesondere kann dann die Austrittsöffnung des Hauptströmungskanals mit einer Einlassöffnung des Ejektors strömungsverbunden sein. Die Unterdruckerzeugungsvorrichtung kann insofern mehrstufig aufgebaut sein. Auf diese Weise können große Volumina abgesaugt werden und gleichzeitig unter Mitwirkung des Ejektors ein besonders hoher Unterdruck erzielt werden. Bei einer mehrstufigen Ausgestaltung kann es zudem vorteilhaft sein, wenn zwischen den einzelnen Stufen, beispielsweise in der Strömungsverbindung zwischen Austrittsöffnung des Hauptströmungskanals und Einlassöffnung des Ejektors, eine Rückschlagklappe vorgesehen ist, welche unterdruckabhängig öffnet und/oder schließt. Es ist beispielsweise denkbar, dass die Rückschlagklappe eine Strömungsverbindung zwischen Austrittsöffnung des Hauptströmungskanals und Ejektor unterdruckabhängig freigibt oder verschließt. Es ist auch denkbar, dass die Rückschlagklappe in Richtung Atmosphäre öffnet oder schließt.As part of an advantageous development, the vacuum generating device can also include an ejector that works according to the Venturi principle. In particular, the outlet opening of the main flow channel can then be flow-connected to an inlet opening of the ejector. In this respect, the negative pressure generating device can be constructed in several stages. In this way, large volumes can be sucked off and, at the same time, a particularly high negative pressure can be achieved with the cooperation of the ejector. In a multi-stage configuration, it can also be advantageous if a check valve is provided between the individual stages, for example in the flow connection between the outlet opening of the main flow channel and the inlet opening of the ejector, which opens and/or closes depending on the vacuum. It is conceivable, for example, for the non-return flap to release or close a flow connection between the outlet opening of the main flow channel and the ejector as a function of the vacuum. It is also conceivable that the non-return valve opens or closes in the direction of the atmosphere.

Die vorstehend beschriebenen Unterdruckerzeugungsvorrichtungen können insbesondere jeweils Teil eines Sauggreifers zum Greifen eines Gegenstands sein. Beispielsweise kann es sich bei dem Sauggreifer um einen Flächensauggreifer oder einen Wafergreifer handeln. Insbesondere kann der Sauggreifer auch mehrere Unterdruckerzeugungsvorrichtungen umfassen. Es ist beispielsweise denkbar, dass mehrere Unterdruckerzeugungsvorrichtungen parallelgeschaltet sind. Beispielsweise ist es denkbar, dass ein Flächensauggreifer eine Mehrzahl von Saugstellen aufweist, über welche ein Gegenstand angesaugt werden kann. Dann kann es möglich sein, dass jede Saugstelle oder eine Teilmenge der Saugstellen von einer separaten Unterdruckerzeugungsvorrichtung mit Unterdruck versorgt wird.The vacuum generating devices described above can in particular each be part of a suction gripper for gripping an object. For example, the suction gripper can be a surface suction gripper or a wafer gripper. In particular, the suction gripper can also include multiple vacuum generating devices. It is conceivable, for example, that several Vacuum generating devices are connected in parallel. For example, it is conceivable that a surface suction gripper has a plurality of suction points via which an object can be sucked up. It can then be possible for each suction point or a subset of the suction points to be supplied with negative pressure by a separate negative pressure generating device.

Die Erfindung wird im Folgenden anhand der Figuren näher erläutert.The invention is explained in more detail below with reference to the figures.

Es zeigen:

Figur 1
skizzierte Darstellung einer Ausgestaltung der Unterdruckerzeugungsvorrichtung in einer Schnittansicht;
Figur 2
skizzierte Darstellung eines Düsenkörpers der Unterdruckerzeugungsvorrichtung gemäß Figur 1 in einer Schnittansicht; und
Figur 3
skizzierte Darstellung einer weiteren Ausgestaltung der Unterdruckerzeugungsvorrichtung in einer Schnittansicht.
Show it:
figure 1
Sketched representation of an embodiment of the vacuum generating device in a sectional view;
figure 2
Sketched representation of a nozzle body according to the vacuum generating device figure 1 in a sectional view; and
figure 3
Outlined representation of a further embodiment of the vacuum generating device in a sectional view.

In der nachfolgenden Beschreibung sowie in den Figuren sind für identische oder einander entsprechende Merkmale jeweils dieselben Bezugszeichen verwendet.In the following description and in the figures, the same reference symbols are used for identical or corresponding features.

Die Figur 1 zeigt in einer Schnittansicht eine Ausgestaltung einer Unterdruckerzeugungsvorrichtung, welche insgesamt mit dem Bezugszeichen 10 bezeichnet ist.the figure 1 shows a sectional view of an embodiment of a vacuum generating device, which is denoted overall by the reference numeral 10 .

Die Unterdruckerzeugungsvorrichtung 10 umfasst einen Hauptströmungskanal 12, welcher sich entlang einer Hauptströmungsachse 14 erstreckt. Der Hauptströmungskanal 12 ist beispielhaft und bevorzugt rotationssymmetrisch um die Hauptströmungsachse 14 ausgebildet. Insofern weist der Hauptströmungskanal 12 in dem dargestellten Beispiel einen kreisförmigen Querschnitt auf. Bei nicht dargestellten Ausgestaltungen ist es auch denkbar, dass der Hauptströmungskanal 12 einen elliptischen, ovalen oder eckigen Querschnitt aufweist.The vacuum generating device 10 includes a main flow channel 12 which extends along a main flow axis 14 . The main flow channel 12 is designed, for example and preferably, to be rotationally symmetrical about the main flow axis 14 . In this respect, the main flow channel 12 has a circular cross section in the example shown. In the case of configurations that are not shown, it is also conceivable for the main flow channel 12 to have an elliptical, oval or angular cross section.

Der Hauptströmungskanal 12 ist durch eine umlaufende Wandung 16 begrenzt, welche in dem dargestellten Beispiel durch einen Düsenkörper 18 bereitgestellt ist (vgl. Fig. 2). Insofern stellt der Düsenkörper 18 den Hauptströmungskanal 12 bereit. Wie in Fig. 2 gezeigt, erstreckt sich der Düsenkörper 18 entlang der Hauptströmungsachse 14 und ist beispielhaft ebenfalls rotationssymmetrisch um die Hauptströmungsachse 14 ausgebildet. Vorzugsweise ist der Düsenkörper 18 einstückig ausgebildet.The main flow channel 12 is delimited by a peripheral wall 16, which is provided by a nozzle body 18 in the example shown (cf. 2 ). In this respect, the nozzle body 18 provides the main flow channel 12 . As in 2 shown, the nozzle body 18 extends along the main flow axis 14 and is, for example, also rotationally symmetrical about the main flow axis 14 . The nozzle body 18 is preferably designed in one piece.

Der Hauptströmungskanal 12 weist eine Eintrittsöffnung 20 und eine Austrittsöffnung 22 auf und ist entlang einer Hauptströmungsrichtung 24 von der Eintrittsöffnung 20 zu der Austrittsöffnung 22 durchströmbar. Wie in Fig. 2 gezeigt, umfasst der Hauptströmungskanal 12 einen sich an die Eintrittsöffnung 20 anschließenden Einlassabschnitt 26, einen in die Austrittsöffnung 22 mündenden Mischabschnitt 28 und einen dazwischen angeordneten Düsenabschnitt 30.The main flow channel 12 has an inlet opening 20 and an outlet opening 22 and can be traversed along a main flow direction 24 from the inlet opening 20 to the outlet opening 22 . As in 2 shown, the main flow channel 12 comprises an inlet section 26 adjoining the inlet opening 20, a mixing section 28 opening into the outlet opening 22 and a nozzle section 30 arranged in between.

Wie aus Fig. 2 ersichtlich, ist ein Strömungsquerschnitt, bzw. ein Strömungskanaldurchmesser (in Fig. 2 durch den mit 32 bezeichneten Doppelpfeil dargestellt), in dem Einlassabschnitt 26 größer als ein Strömungsquerschnitt, bzw. Strömungskanaldurchmesser (in Fig. 2 durch den mit 34 bezeichneten Doppelpfeil dargestellt), in dem Mischabschnitt 28. Beispielhaft und bevorzugt ist der Strömungsquerschnitt 32 in dem Einlassabschnitt 26 wenigstens 1,2-fach so groß wie der Strömungsquerschnitt 34 in dem Mischabschnitt 28. Mit anderen Worten ist also ein Strömungskanalumfang in dem Einlassabschnitt 26 größer als ein Strömungskanalumfang in dem Mischabschnitt 28.How out 2 visible, is a flow cross-section or a flow channel diameter (in 2 represented by the double arrow labeled 32) in the inlet section 26 larger than a flow cross-section or flow channel diameter (in 2 represented by the double arrow labeled 34) in the mixing section 28. By way of example and preferably, the flow cross section 32 in the inlet section 26 is at least 1.2 times as large as the flow cross section 34 in the mixing section 28. In other words, a flow channel circumference in the inlet section 26 is larger than a flow channel circumference in the mixing section 28.

Wie aus Fig. 2 ersichtlich, verläuft die Wandung 16 in dem Düsenabschnitt 30 derart konvex gekrümmt, dass sich ein Strömungsquerschnitt in dem Düsenabschnitt in Hauptströmungsrichtung 24 fortschreitend verjüngt.How out 2 As can be seen, the wall 16 in the nozzle section 30 runs convexly curved in such a way that a flow cross section in the nozzle section progressively tapers in the main flow direction 24 .

Die Unterdruckerzeugungsvorrichtung 10 umfasst ferner eine Treibdüsenanordnung 36, welche dazu ausgebildet ist, ein Druckfluid, insbesondere Druckluft, entlang einer Einströmachse 38 in den Hauptströmungskanal 12 einzuströmen und somit eine Treibströmung in Richtung der Austrittsöffnung 22 zu erzeugen.The vacuum generating device 10 also includes a driving nozzle arrangement 36 which is designed to flow a pressurized fluid, in particular compressed air, along an inflow axis 38 into the main flow channel 12 and thus to generate a driving flow in the direction of the outlet opening 22 .

Die Treibdüsenanordnung 36 umfasst eine Mehrzahl von separat ausgebildeten Treibdüsen 40, welche entlang eines Umfangs um die Hauptströmungsachse 14 verteilt angeordnet sind. In dem dargestellten Beispiel sind die Treibdüsen 40 durch Durchgänge 42 in der Wandung 16 des Düsenkörpers 18 gebildet. Beispielhaft sind die Durchgänge 42 durch gerade, insbesondere zylindrische, Bohrungen 44 gebildet, welche die Wandung 16 von einer Außenseite 46 zu dem Hauptströmungskanal 12 durchsetzen.The propulsion nozzle arrangement 36 comprises a plurality of separately formed propulsion nozzles 40 which are distributed along a circumference around the main flow axis 14 . In the example shown, the propulsion nozzles 40 are formed by passages 42 in the wall 16 of the nozzle body 18 . Exemplary are the passages 42 through straight, in particular cylindrical bores 44 are formed, which pass through the wall 16 from an outside 46 to the main flow channel 12 .

In den in den Figuren dargestellten Beispielen umfassen die Durchgänge 42 zusätzlich einen optionalen Einlaufkegel 48, welcher in einer Einströmrichtung 50 vor der Bohrung 44 angeordnet ist und über den das Druckfluid in die Bohrung 44 einleitbar ist. Bei nicht dargestellten Ausgestaltung ist es auch möglich, dass zusätzlich oder ergänzend ein in Einströmrichtung 50 hinter der Bohrung 44 angeordneter Auslasskegel vorgesehen ist, über welchen das Druckfluid in den Hauptströmungskanal 12 einströmt.In the examples shown in the figures, the passages 42 additionally include an optional inlet cone 48 which is arranged in front of the bore 44 in an inflow direction 50 and via which the pressurized fluid can be introduced into the bore 44 . In an embodiment that is not shown, it is also possible that an outlet cone is additionally or additionally provided behind the bore 44 in the inflow direction 50 , via which the pressurized fluid flows into the main flow channel 12 .

Wie aus Fig. 2 ersichtlich, sind die Bohrungen 44 zu der Hauptströmungsachse 14 in einem Anstellwinkel α geneigt orientiert. Insofern ist eine jeweilige Bohrungsachse 52 (in dem dargestellten Beispiel einer jeweiligen Einströmachse 38 des Druckfluids entsprechend) zu der Hauptströmungsachse 14 geneigt orientiert und schließt mit dieser den Anstellwinkel α ein. Die Bohrungsachsen 52 bzw. die Einströmachsen 38 sind insbesondere derart orientiert, dass sie die Hauptströmungsachse 14, insbesondere in einem gemeinsamen Punkt, schneiden (vgl. Fig. 2). In dem dargestellten Beispiel beträgt der Anstellwinkel beispielhaft 45°.How out 2 As can be seen, the bores 44 are oriented inclined at an angle of incidence α to the main flow axis 14 . In this respect, a respective borehole axis 52 (corresponding to a respective inflow axis 38 of the pressure fluid in the example shown) is oriented inclined to the main flow axis 14 and encloses the angle of attack α with it. The borehole axes 52 and the inflow axes 38 are in particular oriented in such a way that they intersect the main flow axis 14, in particular at a common point (cf. 2 ). In the example shown, the angle of attack is 45°.

Wie aus Fig. 2 ersichtlich, sind die Treibdüsen 40 derart angeordnet, dass das Druckfluid parallel zu einer Oberfläche 54 der Wandung 16 in dem Düsenabschnitt 30 einströmt. Mit anderen Worten verlaufen die Einströmachsen 38 parallel bzw. tangential zu dem Abschnitt der Oberfläche 54 der Wandung 16, an welchem das Druckfluid eingeströmt wird.How out 2 As can be seen, the driving nozzles 40 are arranged in such a way that the pressurized fluid flows in parallel to a surface 54 of the wall 16 in the nozzle section 30 . In other words, the inflow axes 38 run parallel or tangentially to the section of the surface 54 of the wall 16 at which the pressure fluid flows.

Bei der in Fig. 2 dargestellten beispielhaften Ausgestaltung laufen die Düsenauslässe 56 schräg zu der Oberfläche 54 der Wandung 16 aus. Mit anderen Worten schneidet die Oberfläche 54 der Wandung 16 die Bohrungen 44 schräg. Es ist aber auch möglich, dass die Düsenauslässe 56 orthogonal zu der Wandung 16 abgesetzt sind. Eine solche Ausgestaltung einer Unterdruckerzeugungsvorrichtung 10 ist in Fig. 3 dargestellt (vgl. den mit Strichlinien umgrenzten Ausschnitt 57). Die Unterdruckerzeugungsvorrichtung 10 gemäß Fig. 3 ist ansonsten identisch zu der in Fig. 1 dargestellten Unterdruckerzeugungsvorrichtung 10 aufgebaut.At the in 2 In the exemplary embodiment illustrated, the nozzle outlets 56 run out obliquely to the surface 54 of the wall 16 . In other words, the surface 54 of the wall 16 intersects the bores 44 obliquely. However, it is also possible for the nozzle outlets 56 to be offset orthogonally to the wall 16 . Such a configuration of a vacuum generating device 10 is in 3 shown (cf. the detail 57 delimited by dashed lines). The vacuum generating device 10 according to 3 is otherwise identical to the in 1 vacuum generating device 10 shown constructed.

Zur Versorgung der Treibdüsen 40 mit Druckfluid umfasst die Unterdruckerzeugungsvorrichtung 10 ferner eine Druckkammer 58 (vgl. Fig. 1). Die Druckkammer 58 ist in dem dargestellten Beispiel durch einen Hohlraum 60 gebildet, welcher sich zwischen der Außenseite 46 des Düsenkörpers 18 und einem Düsengehäuse 62 erstreckt. Das Düsengehäuse 62 ist beispielhaft Teil einer nachfolgend noch näher beschriebenen Auslassdüse 64. Es ist beispielsweise denkbar, dass der Düsenkörper 18 in das Düsengehäuse 62 eingepresst ist und auf diese Weise eine Abdichtung der Druckkammer 58 gegenüber der Umgebung erzielt wird. Es ist auch möglich, dass alternativ oder ergänzend eine Dichteinrichtung 66, beispielsweise in Form eines O-Ring 68, zur Abdichtung vorgesehen ist. Die Druckkammer 58 ist über einen Versorgungsanschluss 70 mit einer Druckfluidquelle (nicht dargestellt), insbesondere einer Druckluftversorgung, verbindbar.In order to supply the driving nozzles 40 with pressurized fluid, the vacuum generating device 10 also includes a pressure chamber 58 (cf. 1 ). In the example shown, the pressure chamber 58 is formed by a cavity 60 which extends between the outside 46 of the nozzle body 18 and a nozzle housing 62 . The nozzle housing 62 is, for example, part of an outlet nozzle 64 described in more detail below. It is conceivable, for example, that the nozzle body 18 is pressed into the nozzle housing 62 and in this way the pressure chamber 58 is sealed off from the environment. It is also possible that, alternatively or additionally, a sealing device 66, for example in the form of an O-ring 68, is provided for sealing. The pressure chamber 58 can be connected to a pressure fluid source (not shown), in particular a compressed air supply, via a supply connection 70 .

Im Betrieb wird über den Versorgungsanschluss 70 Druckfluid, insbesondere Druckluft, in der Druckkammer 58 bereitgestellt, welches dann über die Treibdüsen 40 in den Hauptströmungskanal 12 einströmt. Das Druckfluid strömt dabei derart schräg zu der Hauptströmungsachse 14 in den Hauptströmungskanal 12 ein, dass es unter Ausnutzung des Coanda-Effekts entlang der konvex verlaufenden Oberfläche 54 der Wandung 16 in dem Düsenabschnitt 30 strömt und dann in den Mischabschnitt 28 eingeleitet wird. Das Druckfluid erzeugt dabei eine Treibströmung in Richtung der Austrittsöffnung 22, welche Luft in dem Hauptströmungskanal 12 mitreißt. Auf diese Weise entsteht ein Unterdruck, der bewirkt, dass weitere Luft durch die Eintrittsöffnung 20 in den Hauptströmungskanal 12 angesaugt wird.During operation, pressurized fluid, in particular compressed air, is made available in the pressure chamber 58 via the supply connection 70 and is then fed into the main flow channel via the driving nozzles 40 12 flows in. The pressurized fluid flows obliquely to the main flow axis 14 into the main flow channel 12 in such a way that it flows along the convex surface 54 of the wall 16 in the nozzle section 30, utilizing the Coanda effect, and is then introduced into the mixing section 28. The pressurized fluid generates a driving flow in the direction of the outlet opening 22, which entrains air in the main flow channel 12. In this way, a negative pressure is created, which causes more air to be sucked in through the inlet opening 20 into the main flow channel 12 .

Bei den in den Figuren 1 und 3 dargestellten Ausgestaltungen umfasst die Unterdruckerzeugungsvorrichtung 10 ferner eine vorstehend bereits erwähnte optionale Auslassdüse 64, welche sich in Hauptströmungsrichtung 24 an die Austrittsöffnung 22 des Hauptströmungskanals 12 anschließt. Die Auslassdüse 64 ist von dem Düsengehäuse 62 umgrenzt und verbreitert sich in Hauptströmungsrichtung 24 fortschreitend, insbesondere kegelförmig. Die Auslassdüse 64 dient insbesondere dazu, den aus der Austrittsöffnung 22 austretenden Fluidstrom, insbesondere Luftstrom, zu verzögern und dadurch statischen Druck in der Hauptströmung zurückzugewinnen.At the in the figures 1 and 3 In the illustrated configurations, the vacuum generating device 10 also includes an optional outlet nozzle 64 already mentioned above, which is connected to the outlet opening 22 of the main flow channel 12 in the main flow direction 24 . The outlet nozzle 64 is bounded by the nozzle housing 62 and widens progressively in the main flow direction 24, in particular conically. The outlet nozzle 64 serves in particular to delay the fluid flow, in particular the air flow, emerging from the outlet opening 22 and thereby to recover static pressure in the main flow.

Bei nicht dargestellten Ausgestaltungen kann die Unterdruckerzeugungsvorrichtung 10 außerdem einen in Hauptströmungsrichtung 24 betrachtet vor der Einlassöffnung 20 angeordneten Einlasskegel umfassen, welcher sich in Hauptströmungsrichtung 24 fortschreitend verjüngt und in die Eintrittsöffnung 20 einmündet. Auf diese Weise kann ein Ansaugquerschnitt weiter erhöht werden.In configurations that are not shown, the vacuum generating device 10 can also include an inlet cone which is arranged in front of the inlet opening 20 viewed in the main flow direction 24 and progressively tapers in the main flow direction 24 and opens into the inlet opening 20 . In this way, an intake cross section can be further increased.

Die vorstehend beschriebene Unterdruckerzeugungsvorrichtung 10 kann Teil eines Sauggreifers (nicht dargestellt) sein. Dann kann die Eintrittsöffnung 20 beispielsweise mit einem Sauganschluss des Sauggreifers strömungsverbunden sein. Es ist auch denkbar, dass die Eintrittsöffnung 20 selbst als Saugöffnung zum Ansaugen eines Gegenstands fungiert.The vacuum generating device 10 described above can be part of a suction gripper (not shown). The inlet opening 20 can then be flow-connected to a suction connection of the suction gripper, for example. It is also conceivable that the inlet opening 20 itself functions as a suction opening for sucking in an object.

Claims (15)

Unterdruckerzeugungsvorrichtung (10), umfassend: - einen Hauptströmungskanal (12), welcher sich entlang einer Hauptströmungsachse (14) erstreckt und von einer Wandung (16) begrenzt ist, wobei der Hauptströmungskanal (12) eine Eintrittsöffnung (20) und eine Austrittsöffnung (22) aufweist und von der Eintrittsöffnung (20) zu der Austrittsöffnung (22) entlang einer Hauptströmungsrichtung (24) durchströmbar ist, wobei der Hauptströmungskanal (12) einen Einlassabschnitt (26), einen Mischabschnitt (28) und einen zwischen Einlassabschnitt (26) und Mischabschnitt (28) angeordneten Düsenabschnitt (30) aufweist, wobei die Wandung (16) im Bereich des Düsenabschnitts (30) derart verläuft, dass ein Strömungsquerschnitt vorliegt, welcher sich entlang der Hauptströmungsrichtung (24) fortschreitend verjüngt; - eine Treibdüsenanordnung (36) zum Einströmen eines Druckfluids in den Hauptströmungskanal (12), um eine Treibströmung in Richtung der Austrittsöffnung (22) zu erzeugen, wobei die Treibdüsenanordnung (36) eine Mehrzahl von Treibdüsen (40) umfasst, welche entlang eines Umfangs um die Hauptströmungsachse (14) verteilt angeordnet sind, wobei dieser Umfang größer ist als ein Strömungskanalumfang in dem Mischabschnitt (28), wobei die Treibdüsen (40) derart ausgebildet und angeordnet sind, dass das Druckfluid schräg zu der Hauptströmungsachse (14) in den Hauptströmungskanal (12) einströmt und unter Ausnutzung des Coanda-Effekts entlang einer Oberfläche (54) der Wandung (16) in dem sich verjüngenden Düsenabschnitt (30) in den Mischabschnitt (28) einströmt. Vacuum generating device (10) comprising: - a main flow channel (12) which extends along a main flow axis (14) and is delimited by a wall (16), wherein the main flow channel (12) has an inlet opening (20) and an outlet opening (22) and can be flown through from the inlet opening (20) to the outlet opening (22) along a main flow direction (24), wherein the main flow channel (12) has an inlet section (26), a mixing section (28) and an intermediate inlet section (26) and Mixing section (28) arranged nozzle section (30), wherein the wall (16) in the region of the nozzle section (30) runs such that a flow cross-section is present, which progressively narrows along the main flow direction (24); - a motive nozzle arrangement (36) for the inflow of a pressurized fluid into the main flow channel (12) in order to generate a motive flow in the direction of the outlet opening (22), wherein the propulsion nozzle arrangement (36) comprises a plurality of propulsion nozzles (40) which are distributed along a circumference around the main flow axis (14), this circumference being larger than a flow channel circumference in the mixing section (28), wherein the propulsion nozzles (40) are formed in such a way and are arranged such that the pressurized fluid flows obliquely to the main flow axis (14) into the main flow channel (12) and utilizing the Coanda effect along a surface (54) of the wall (16) in the tapering nozzle section (30) into the mixing section ( 28) flows in. Unterdruckerzeugungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1, wobei die Treibdüsen (40) in den Einlassabschnitt (26) oder in den Düsenabschnitt (30) des Hauptströmungskanals (12) einmünden.Vacuum generating device (10) according to claim 1, wherein the driving nozzles (40) open into the inlet section (26) or into the nozzle section (30) of the main flow channel (12). Unterdruckerzeugungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1 oder 2, wobei ein Strömungsquerschnitt (32) in dem Einlassabschnitt (26) wenigstens 1,5-fach so groß ist wie ein Strömungsquerschnitt (34) in dem Mischabschnitt (28), insbesondere wenigstens 2-fach.Vacuum generating device (10) according to claim 1 or 2, wherein a flow cross section (32) in the inlet section (26) is at least 1.5 times as large as a flow cross section (34) in the mixing section (28), in particular at least twice. Unterdruckerzeugungsvorrichtung (10) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Treibdüsen (40) in einem Anstellwinkel (α) zu der Hauptströmungsachse (14) angestellt sind, insbesondere wobei der Anstellwinkel (α) wenigstens 20°, weiter insbesondere wenigstens 30°, weiter insbesondere wenigstens 40° und/oder maximal 60°, insbesondere maximal 50°, vorzugsweise 45°, beträgt.Vacuum generating device (10) according to one of the preceding claims, wherein the propulsion nozzles (40) are set at an angle of attack (α) to the main flow axis (14), in particular wherein the angle of attack (α) is at least 20°, more particularly at least 30°, more particularly at least 40° and/or at most 60°, in particular at most 50°, preferably 45°. Unterdruckerzeugungsvorrichtung (10) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Treibdüsen (40) derart ausgebildet und angeordnet sind, dass das Druckfluid parallel, insbesondere tangential, zu einer Oberfläche (54) der Wandung (16) in dem Düsenabschnitt (30) in den Hauptströmungskanal (12) einströmt.Vacuum generating device (10) according to one of the preceding claims, wherein the driving nozzles (40) are designed and arranged in such a way that the pressurized fluid runs parallel, in particular tangentially, to a surface (54) of the wall (16) in the nozzle section (30) in the main flow channel (12) flows in. Unterdruckerzeugungsvorrichtung (10) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Wandung (16) in dem Düsenabschnitt (30) konvex gekrümmt ist, insbesondere so dass der Düsenabschnitt (30) sich trichterförmig, weiter insbesondere trompeten- oder kegelförmig, verjüngt.Vacuum generating device (10) according to one of the preceding claims, wherein the wall (16) in the nozzle section (30) is convexly curved, in particular so that the nozzle section (30) tapers in a funnel shape, more particularly in the shape of a trumpet or cone. Unterdruckerzeugungsvorrichtung (10) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Treibdüsen (40) jeweils durch einen Durchgang (42) in der Wandung (16) gebildet sind, insbesondere in Form einer zu der Hauptströmungsachse (14) geneigten Bohrung (44).Vacuum generating device (10) according to one of the preceding claims, wherein the driving nozzles (40) are each formed by a passage (42) in the wall (16), in particular in the form of a bore (44) inclined to the main flow axis (14). Unterdruckerzeugungsvorrichtung (10) nach Anspruch 7, wobei jeder Durchgang (42) einen Einlaufkegel (48) und eine sich in Einströmrichtung (50) an den Einlaufkegel (48) anschließende gerade Bohrung (44) umfasst.Vacuum generating device (10) according to claim 7, wherein each passage (42) comprises an inlet cone (48) and a straight bore (44) adjoining the inlet cone (48) in the inflow direction (50). Unterdruckerzeugungsvorrichtung (10) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Düsenauslässe (56) der Treibdüsen (40) orthogonal zu der Wandung (16) abgesetzt sind oder wobei die Düsenauslässe (56) schräg zu der Wandung (16) auslaufen.Vacuum generating device (10) according to one of the preceding claims, wherein the nozzle outlets (56) of the driving nozzles (40) are offset orthogonally to the wall (16) or wherein the nozzle outlets (56) run out obliquely to the wall (16). Unterdruckerzeugungsvorrichtung (10) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Treibdüsen (40) jeweils über einen sich in Einströmrichtung (50) verbreiternden Abschnitt, insbesondere Auslaufradius, weiter insbesondere Auslaufkegel, in den Hauptströmungskanal (12) einmünden.Vacuum generating device (10) according to one of the preceding claims, wherein the propulsion nozzles (40) each open into the main flow channel (12) via a section that widens in the inflow direction (50), in particular an outlet radius, more particularly an outlet cone. Unterdruckerzeugungsvorrichtung (10) nach einem der vorherigen Ansprüche, wobei die Wandung (16) von einem, vorzugsweise rotationssymmetrisch um die Hauptströmungsachse (14) ausgebildeten, Düsenkörper (18) bereitgestellt ist.Vacuum generating device (10) according to any one of the preceding claims, wherein the wall (16) of a, preferably rotationally symmetrical to the Main flow axis (14) formed, nozzle body (18) is provided. Unterdruckerzeugungsvorrichtung (10) nach einem der vorherigen Ansprüche, außerdem umfassend eine Druckkammer (58) zur Versorgung der Treibdüsen (40) mit Druckfluid.Vacuum generating device (10) according to any one of the preceding claims, further comprising a pressure chamber (58) for supplying the driving nozzles (40) with pressurized fluid. Unterdruckerzeugungsvorrichtung (10) nach einem der vorherigen Ansprüche, außerdem umfassend eine Auslassdüse (64), welche sich in Hauptströmungsrichtung (24) betrachtet an die Austrittsöffnung (22) des Hauptströmungskanals (12) anschließt und welche sich in Hauptströmungsrichtung (24) fortschreitend, insbesondere kegelförmig, verbreitert.Vacuum generating device (10) according to one of the preceding claims, also comprising an outlet nozzle (64) which, viewed in the main flow direction (24), adjoins the outlet opening (22) of the main flow channel (12) and which progresses in the main flow direction (24), in particular conically , widened. Unterdruckerzeugungsvorrichtung (10) nach einem der vorherigen Ansprüche, außerdem umfassend einen nach dem Venturi-Prinzip arbeitenden Ejektor, wobei die Austrittsöffnung (22) des Hauptströmungskanals (12) mit einer Einlassöffnung des Ejektors strömungsverbunden ist, insbesondere wobei in der Strömungsverbindung zwischen Austrittsöffnung (22) des Hauptströmungskanals (12) und Einlassöffnung des Ejektors eine Rückschlagklappe vorgesehen ist, welche unterdruckabhängig öffnet und/oder schließt.Vacuum generating device (10) according to one of the preceding claims, also comprising an ejector working according to the Venturi principle, wherein the outlet opening (22) of the main flow channel (12) is flow-connected to an inlet opening of the ejector, in particular wherein in the flow connection between the outlet opening (22) of the main flow channel (12) and the inlet opening of the ejector, a non-return valve is provided, which opens and/or closes as a function of the vacuum. Sauggreifer, insbesondere Flächensauggreifer oder Wafergreifer, umfassend wenigstens eine Unterdruckerzeugungsvorrichtung (10) nach einem der vorherigen Ansprüche.Suction grippers, in particular surface suction grippers or wafer grippers, comprising at least one vacuum generating device (10) according to one of the preceding claims.
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