EP3769160A1 - Procede de fabrication d'un spiral en silicium - Google Patents
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Abstract
Description
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---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (5)
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---|---|---|---|---|
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EP3882714A1 (fr) * | 2020-03-19 | 2021-09-22 | Patek Philippe SA Genève | Procédé de fabrication d'un composant horloger en silicium |
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Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH447042A (fr) * | 1965-09-24 | 1968-03-15 | Tissot Horlogerie | Dispositif de fixation de l'extrémité extérieure d'un spiral réglant de pièce d'horlogerie |
JPH04318491A (ja) * | 1991-04-17 | 1992-11-10 | Seiko Epson Corp | 時計用外装部品 |
ATE307990T1 (de) | 2002-11-25 | 2005-11-15 | Suisse Electronique Microtech | Spiraluhrwerkfeder und verfahren zu deren herstellung |
CN101274740A (zh) * | 2007-03-28 | 2008-10-01 | 中国科学院微电子研究所 | 基于二氧化硅特性制作热剪切应力传感器的方法 |
EP2105807B1 (fr) * | 2008-03-28 | 2015-12-02 | Montres Breguet SA | Spiral à élévation de courbe monobloc et son procédé de fabrication |
EP2151722B8 (fr) * | 2008-07-29 | 2021-03-31 | Rolex Sa | Spiral pour résonateur balancier-spiral |
CH702151A1 (fr) * | 2009-11-10 | 2011-05-13 | Cartier Creation Studio Sa | Procede de realisation de pieces micromecaniques, notamment en verre ceramique. |
EP2423764B1 (fr) | 2010-08-31 | 2013-03-27 | Rolex S.A. | Dispositif pour la mesure du couple d'un spiral |
CN102800699B (zh) * | 2011-05-25 | 2015-04-29 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 半导体结构及其形成方法 |
CN104797989B (zh) * | 2012-11-16 | 2017-08-08 | 尼瓦洛克斯-法尔股份有限公司 | 对气候变化的敏感度降低的谐振器 |
EP2781968A1 (fr) | 2013-03-19 | 2014-09-24 | Nivarox-FAR S.A. | Résonateur moins sensible aux variations climatiques |
CN104253042B (zh) * | 2013-06-28 | 2017-07-07 | 无锡华润上华半导体有限公司 | 一种绝缘栅双极晶体管的制造方法 |
JP6345493B2 (ja) * | 2014-02-25 | 2018-06-20 | シチズン時計株式会社 | ひげぜんまい |
JP6486697B2 (ja) | 2014-02-26 | 2019-03-20 | シチズン時計株式会社 | ひげぜんまいの製造方法及びひげぜんまい |
EP2952972B1 (fr) * | 2014-06-03 | 2017-01-25 | The Swatch Group Research and Development Ltd. | Procédé de fabrication d'un spiral compensateur composite |
CN107003641B (zh) | 2014-12-12 | 2021-02-19 | 西铁城时计株式会社 | 钟表部件以及钟表部件的制造方法 |
JP2016133495A (ja) | 2015-01-22 | 2016-07-25 | シチズンホールディングス株式会社 | 時計部品の製造方法および時計部品 |
US10042964B2 (en) | 2015-03-02 | 2018-08-07 | General Electric Company | Method of evaluating a part |
CN104737989B (zh) | 2015-03-06 | 2017-06-16 | 浙江省农业科学院 | 一种利用蝇蛆规模化处理发酵滤渣和畜禽粪混合物的方法 |
JP2016173355A (ja) * | 2015-03-16 | 2016-09-29 | シチズンホールディングス株式会社 | 機械部品の製造方法 |
CN104977425B (zh) * | 2015-06-19 | 2017-10-03 | 东南大学 | 一种测风传感器芯片结构及其制造方法 |
CH711248B1 (fr) * | 2015-06-25 | 2019-07-31 | Nivarox Sa | Pièce à base de silicium avec au moins un chanfrein et son procédé de fabrication. |
JP6514993B2 (ja) | 2015-08-25 | 2019-05-15 | シチズン時計株式会社 | 時計部品の製造方法 |
CH711962B1 (fr) * | 2015-12-18 | 2017-10-31 | Csem Centre Suisse D'electronique Et De Microtechnique Sa – Rech Et Développement | Procédé de fabrication d'un spiral d'une raideur prédéterminée avec retrait localisé de matière. |
EP3181938B1 (fr) | 2015-12-18 | 2019-02-20 | CSEM Centre Suisse d'Electronique et de Microtechnique SA - Recherche et Développement | Procede de fabrication d'un spiral d'une raideur predeterminee par retrait de matiere |
JP6736365B2 (ja) | 2016-06-10 | 2020-08-05 | シチズン時計株式会社 | 時計部品の製造方法 |
TWI774925B (zh) * | 2018-03-01 | 2022-08-21 | 瑞士商Csem瑞士電子及微技術研發公司 | 製造螺旋彈簧的方法 |
EP3543795A1 (fr) * | 2018-03-20 | 2019-09-25 | Patek Philippe SA Genève | Procede de fabrication de composants horlogers en silicium |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2021053501A1 (fr) | 2019-09-16 | 2021-03-25 | Richemont International Sa | Procédé de fabrication d'une pluralité de résonateurs sur une plaquette |
EP4031936B1 (fr) * | 2019-09-16 | 2023-11-08 | Richemont International S.A. | Procédé de fabrication d'une pluralité de résonateurs sur une plaquette |
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