EP3615470B1

EP3615470B1 - Procédé de fabrication d'un oscillateur horloger

Info

Publication number: EP3615470B1
Application number: EP18717965.0A
Authority: EP
Inventors: Thomas MERCIER; Christian GUICHARD; Guy Semon
Original assignee: LVMH Swiss Manufactures SA
Current assignee: LVMH Swiss Manufactures SA
Priority date: 2017-04-25
Filing date: 2018-04-24
Publication date: 2024-04-24
Anticipated expiration: 2038-04-24
Also published as: JP7184800B2; US20200192299A1; JP2020517949A; EP3615470A1; US11467542B2; CN111278765A; FR3065542A1; FR3065542B1; WO2018197516A1

Description

La présente invention se rapporte à un procédé de fabrication d'un oscillateur horloger, à un oscillateur horloger obtenu en tout ou partie en mettant en oeuvre ce procédé et à un mouvement horloger comprenant un tel oscillateur horloger.
Dans le domaine horloger, il est connu de réaliser tout ou partie d'un mouvement horloger de manière monolithique. En particulier, le régulateur d'un mouvement horloger peut être réalisé de manière monolithique.
La demande WO-A-2016/091 823 au nom de la demanderesse décrit un tel régulateur de mouvement horloger, obtenu à partir d'une galette de silicium, notamment en gravant la galette de silicium. Un tel régulateur monolithique présente ainsi un nombre limité de parties en mouvement les unes par rapport aux autres. On limite ainsi le nombre de zones de friction, qui sont localisées au niveau des parties en contact, qui sont en mouvement les unes par rapport aux autres.
La réalisation d'un régulateur de mouvement horloger à partir d'une unique galette de matériau pose cependant certaines difficultés.
Tout d'abord, il est généralement nécessaire d'avoir recours à une étape de mise en forme, par exemple une étape de gravure, qui doit être mise en oeuvre en salle blanche. Ceci induit un surcoût de réalisation du mouvement horloger.
Ensuite, la géométrie des éléments constitutifs du mouvement horloger est limitée. Par exemple, il est difficile avec les techniques actuelles de réaliser une lame flexible d'orientation quelconque, ayant un rapport d'aspect supérieur à environ 25, à cette échelle. On rappelle que le rapport d'aspect d'une lame flexible est défini par le rapport de sa largeur sur son épaisseur. On rappelle également que la longueur d'une lame est la dimension suivant la direction passant par les points d'ancrage de la lame. La longueur correspond ainsi généralement à la plus grande dimension de cette lame. L'épaisseur de la lame est sa plus petite dimension. Enfin, la largeur est la dimension « intermédiaire » de la lame, plus grande que son épaisseur, mais plus petite que sa longueur. Il est à noter toutefois que la largeur d'une lame peut, dans certains cas particuliers, être sensiblement égale à sa longueur.
Or, une telle lame flexible, ou « flexure », est notamment mise en oeuvre dans un mouvement horloger pour réaliser un régulateur. Un régulateur est un dispositif oscillant. Une lame flexible, avec un rapport d'aspect le plus grand possible, est préférée dans ce cas, notamment quand la largeur de la lame s'étend selon un plan sensiblement perpendiculaire au plan de base de l'oscillateur. Dans ce cas, en effet, un grand rapport d'aspect permet de limiter les oscillations de la lame hors du plan de base de l'oscillateur.
En outre, à largeur constante, l'accroissement du rapport d'aspect induit une réduction de l'épaisseur de la lame flexible. Une lame flexible d'épaisseur réduite est également préférée car elle permet une oscillation du régulateur à une fréquence propre plus faible.
Par ailleurs, dans un tel régulateur monolithique, le même matériau sert à la fois pour les lames flexibles et les masses rigides qui sont reliées par les lames flexibles. Ceci limite par conséquent les possibilités de conception du régulateur, en particulier en ce qui concerne le matériau mis en oeuvre.
Cependant, il est connu, par exemple de la demande WO-A-2012/109559 , un procédé de fabrication d'une structure tridimensionnelle comprenant les étapes suivantes.
Dans un premier temps, on superpose et on assemble différentes couches de matériaux différents, préalablement usinées, afin d'obtenir une structure multicouche plane. Les couches comprennent des amorces de pliage de la couche concernée et/ou des amorces de rupture. Il est ensuite possible de développer la structure multicouche plane, en exerçant une traction sur l'une des couches, selon une direction sensiblement normale au plan de la structure multicouche plane. On obtient ainsi une structure déployée tridimensionnelle.
Dans le cas de ce type de procédé, il est connu de mettre en oeuvre des couches rigides pour réaliser des parties rigides de la structure tridimensionnelle, et des couches souples pour former des articulations entre les parties rigides. Les articulations ainsi formées peuvent, le cas échéant, être bloquées après le déploiement de la structure tridimensionnelle, notamment par collage ou soudage au laser.
Dans le cas de cette demande WO-A-2012/109559 , les parties fixées à une couche flexible, le sont durant l'étape de superposition et d'assemblage des couches planes. Ceci permet en effet la réalisation aisée d'une articulation entre les parties fixées à la couche flexible. Par ailleurs, dans la structure tridimensionnelle finale, la couche flexible s'étend sur une distance très réduite entre les parties rigides qu'elle relie, la couche flexible formant principalement un angle entre les parties rigides.
Ainsi, le procédé décrit dans cette demande WO-A-2012/109559 est limité quant à la variété des structures qu'il permet de réaliser.
Par ailleurs, la demande US-A-2016/0184041 décrit un procédé de fabrication d'un actionneur à bobine mobile comprenant une première étape consistant à assembler des couches planes ensemble pour former une structure multicouche sensiblement plane. Puis, la structure multicouche est déployée. Il est ainsi formé un mécanisme de retenue de bobine. Un noyau magnétique externe, un aimant permanent, une bobine magnétique et un noyau magnétique interne peuvent alors être fixés sur le mécanisme de retenue de bobine.
Un but de l'invention est de proposer un procédé de fabrication d'un oscillateur horloger.
À cette fin, l'invention propose un procédé de fabrication d'un oscillateur horloger, comprenant les étapes consistant à :

i) assembler des couches planes ensemble pour former une structure multicouche sensiblement plane ;
ii) déployer la structure multicouche selon une direction sensiblement normale aux couches planes ;

Ainsi, avantageusement, le procédé selon l'invention permet de réaliser un oscillateur horloger ayant au moins une lame flexible fixée à une ou plusieurs masses rigides. Un tel procédé trouve avantageusement à s'appliquer dans le domaine des montres. Dans ce dernier cas, en particulier, le procédé selon l'invention permet par exemple de réaliser un régulateur oscillant avec une ou des lames flexibles de dimensions réduites, par exemple d'épaisseur comprise entre 2 et 25 µm, et sensiblement constantes, donnant accès à des fréquences d'oscillation du régulateur plus faibles que celles généralement obtenues dans le cas d'un régulateur monolithique, réalisé en mettant en oeuvre les procédés connus. Le procédé selon l'invention permet en outre d'obtenir une ou des lames flexibles présentant un rapport d'aspect élevé, en particulier plus élevé que celui traditionnellement obtenu dans le cas d'un régulateur monolithique, réalisé en mettant en oeuvre les procédés classiquement mis en oeuvre à cette échelle, c'est-à-dire à l'échelle centimétrique.
Selon des modes de réalisation préférés, le procédé selon l'invention comporte une ou plusieurs des caractéristiques suivantes, prises seules ou en combinaison :

chaque lame présente, dans l'oscillateur horloger, une longueur libre supérieure au tiers de la largeur de la lame considérée, la longueur libre étant définie comme étant :
- o la longueur de la lame qui n'est pas en contact avec la masse, dans le cas où la lame est fixée à une masse, ou
- o la longueur de la lame qui s'étend entre les deux masses, sans être en contact avec l'une des masses, dans le cas où la lame est fixée à deux masses,
la ou chaque lame n'étant de préférence, sur la longueur libre, en contact avec aucun autre élément de l'oscillateur horloger ;
le procédé comprend une étape iii) postérieure à l'étape ii), consistant à bloquer la structure multicouche en position déployée ;
l'étape iii), la structure est bloquée en position déployée en mettant en oeuvre l'un au moins parmi un surmoulage, un brasage, un clipsage, un collage, un soudage, notamment un soudage par point, en particulier un soudage par point au laser, et un serrage, d'au moins une partie de l'oscillateur horloger, notamment d'au moins une articulation de l'oscillateur horloger ;
la ou chaque masse est rapportée à une extrémité, de préférence à une extrémité respective, d'une desdites au moins une lame ;
la ou chaque masse est fixée à la lame ou à chaque lame par : surmoulage ; brasage ; clipsage ; collage ; soudage, notamment soudage par point, en particulier soudage par point au laser ; serrage ;
la ou les masses sont réalisées par au moins une des couches planes assemblées à l'étape i) ;
la ou les masses sont en l'un parmi le tungstène, le molybdène, l'or, l'argent, le tantale, le platine, les alliages comprenant ces éléments et un matériau polymère chargé de particules de densité supérieure à dix, notamment de particules en tungstène ;
la ou les lames sont en l'un parmi le silicium, le verre, le saphir, le diamant, notamment le diamant synthétique, en particulier le diamant synthétique obtenu par procédé de déposition chimique en phase vapeur, le titane, un alliage de titane, notamment un alliage de la famille des Gum métal^® et un alliage de la famille des élinvars, en particulier l'Elinvar ^®, le Nivarox ^®, le Thermelast ^®, le Ni-Span-C ^®, le Précision C ^® ;
à l'étape i), on assemble entre dix et cinquante couches planes ensemble ;
la ou les lames ont une largeur, une épaisseur et un rapport d'aspect défini comme étant égal au rapport de la largeur de la lame sur l'épaisseur de la lame, le rapport d'aspect de chaque lame étant supérieur à 10, de préférence supérieur à 25 ;
la ou les lames ont une épaisseur supérieure ou égale à 1 µm, de préférence supérieure ou égale à 5 µm, et/ou inférieure ou égale 30 µm, de préférence inférieure ou égale à 20 µm, de préférence encore inférieure ou égale à 15 µm ;
la ou les lames ont une largeur supérieure ou égale à 0,1 mm et/ou inférieure ou égale à 2 mm, de préférence inférieure ou égale à 1 mm ;
la structure multicouche sensiblement plane forme au moins un échafaudage de montage, le procédé comprenant une étape iv), de préférence postérieure à l'étape iii) le cas échéant, consistant à détacher la structure en position déployée, du au moins un échafaudage de montage ;
chaque couche est soumise, de préférence avant son assemblage, à une étape d'usinage, notamment de découpe laser, d'usinage chimique, d'étampage, de fraisage, d'électroérosion à fil et/ou à une étape de mise en forme, notamment à une étape de mise en forme par ajout de matière, en particulier une étape de mise en forme par LIGA ou par moulage par injection ;
une pluralité de structures multicouches sensiblement planes, respectivement de structures en positon déployée, sont obtenues à l'étape ii), respectivement à l'étape iii), à partir d'un unique assemblage de couches à l'étape i) ; et
la ou chaque lame est en un matériau plus souple que la ou chaque masse qui est fixée sur ladite lame.

Selon un autre aspect, l'invention se rapporte à un oscillateur horloger réalisé en tout ou partie en mettant en oeuvre un procédé tel que décrit ci-avant, dans toutes ses combinaisons.
Selon encore un autre aspect, l'invention se rapporte à un mouvement horloger pour pièce d'horlogerie comprenant un oscillateur horloger tel que décrit ci-avant, dans toutes ses combinaisons.
L'invention sera mieux comprise de la description qui suit, donnée au regard des dessins ci-annexés. Sur ces dessins :

les figures 1 à 12 illustrent schématiquement les différentes d'étapes d'un exemple de procédé de fabrication d'un mécanisme, la figure 9 illustrant plus particulièrement un détail de la figure 8 ;
la figure 13 est une vue schématique d'une pièce d'horlogerie comprenant un mouvement horloger ; et
la figure 14 est un schéma bloc du mouvement horloger de la pièce d'horlogerie de la figure 13.

Dans la suite de la description, les éléments identiques ou de fonction identique des différentes couches décrites, portent le même signe de référence suivi d'un indice relatif au numéro de la couche dont cet élément fait partie. L'ensemble formé par la superposition d'éléments identiques de différentes couches porte encore le même signe de référence, sans indice. À fin de concision de la présente description, ces éléments identiques ou de fonction identique ne sont pas décrits en regard de chaque figure.
On décrit tout d'abord en regard des figures 1 à 12 un exemple de procédé de fabrication d'un mécanisme flexible, en particulier d'un mécanisme à lame(s) flexible(s). De manière connue, un mécanisme flexible ou liaison à articulation élastique, est un élément de construction remplissant une fonction cinématique en utilisant le principe physique de l'élasticité de la matière. Dans un mécanisme à lame(s) flexible(s), on utilise l'élasticité d'une ou plusieurs lames.
La figure 1 représente une première couche 10 en un premier matériau. Ici, la première couche 10 est sous forme d'une plaque sensiblement rectangulaire. Afin de faciliter la compréhension de la description qui suit, on définit un trièdre X, Y, Z, dans lequel :

la direction X correspond à la direction transversale de la couche 10 ;
la direction Y correspond à la direction longitudinale de la couche 10 ; et
la direction Z correspond à la direction normale à la couche 10, telle que le trièdre X, Y, Z soit un trièdre direct.

Différentes découpes sont réalisées dans la première couche 10 afin, notamment, de créer des amorces de pliages et/ou des amorces de rupture dans la première couche 10. Ces découpes forment tout d'abord une croix 12₁, dans la partie centrale de la première couche 10. La croix 12₁ comporte quatre branches 14a₁, 14b₁ perpendiculaires deux à deux. Deux branches 14a₁, dites longitudinales, s'étendant sensiblement selon la direction Y, sont plus longues que les deux autres branches 14b₁, dites transversales, qui s'étendent sensiblement selon la direction X.
On décrit tout d'abord les deux branches 14a₁ longitudinales. Le long de chacune de ces branches 14a₁ longitudinales, des découpes forment, depuis le centre de la première couche 10 vers le rebord de la première couche 10 :

une première arête 16₁ cannelée, s'étendant selon la direction X
une deuxième arête 18₁ cannelée, s'étendant selon la direction X, les cannelures de la deuxième arête 18₁ étant complémentaires des cannelures de la première arête 16₁, et
une troisième arête 20₁, cannelée, à l'extrémité de la branche 14a₁ longitudinale considérée, la troisième arête 20₁ s'étendant selon la direction X.

Par cannelures complémentaires, on entend des cannelures telles qu'elles peuvent être reçues l'une dans l'autre, les dents d'une cannelure étant par exemple reçues chacune entre deux dents voisines de l'autre cannelure.
En vis-à-vis de la troisième arête 20₁ de chaque branche 14a₁ longitudinale, la première couche 10 forme une bande 22₁ de matière, s'étendant sensiblement selon la direction X. La bande 22₁ de matière s'étend de part et d'autre de la branche 14a₁ longitudinale de la croix 12₁, la longueur de la bande 22₁ de matière étant supérieure à la largeur de la branche 14a₁ longitudinale de la croix 12₁. La bande 22₁ de matière présente une quatrième arête 24₁ cannelée, en vis-à-vis de la troisième arête 20₁, les cannelures des troisième et quatrième arêtes 20₁, 24₁ étant complémentaires. La quatrième arête 24₁ s'étend sur sensiblement toute la longueur de la bande 22₁ de matière. Le bord de la bande 22₁, opposé à la quatrième arête 24₁ est ici rectiligne, s'étendant selon la direction X.
La troisième arête 20₁ cannelée s'étend de part et d'autre de l'extrémité de la branche 14a₁ longitudinale, en vis-à-vis de la quatrième arête 24₁. Cette troisième arête 20₁ délimite alors partiellement le contour d'un étrier 26₁, auquel la bande 22₁ de matière est reliée par des languettes 28₁. Le contour de l'étrier 26₁ est également partiellement délimité par le prolongement, dans la direction X, de part et d'autre de la branche 14a₁ longitudinale de la croix 12₁, de la deuxième arête 16₁ cannelée. L'étrier 26₁ forme encore une traverse 30₁, s'étendant sensiblement selon la direction X, deux montants 31₁, s'étendant sensiblement selon la direction Y, et deux coudes 32₁, à l'extrémité des montants 31₁. Les coudes 32₁ sont orientés l'un vers l'autre. La traverse 30₁ est disposée entre les deux coudes 32₁ et la bande de matière 22₁, selon la direction Y. Les coudes 32₁ forment ici un angle droit. L'extrémité libre 33₁ des coudes 32₁ est reliée, via une languette 34₁, à un palet 36₁. Le palet 36₁ est ici de forme sensiblement rectangulaire.
L'étrier 26₁ est relié par ses montants 31₁, au bord 38₁ de la première couche 10₁, au moyen de languettes 40₁.
Par ailleurs, la première arête 16₁ cannelée se prolonge selon la direction X, de part et d'autre de la branche 14a₁ longitudinale de la croix 12₁ sur laquelle elle est réalisée, en regard du prolongement de la deuxième arête 16₁ longitudinale délimitant partiellement l'étrier 26₁.
L'étrier 26₁ est enfin relié à la portion extrémale 120₁ de la branche 14a₁ longitudinale de la croix 12₁, par des languettes 42₁. La portion extrémale 120₁ de la branche 14a₁ longitudinale s'étend entre la deuxième arête 18₁ et la troisième arête 20₁.
Par ailleurs, chaque branche 14b₁ transversale présente une configuration sensiblement équivalente. Les éléments identiques des branches longitudinales 14a₁ et transversales 14b₁ portent le même signe de référence.
Ainsi, le long de chacune des branches transversales 14b₁, des découpes forment, depuis le centre de la première couche 10 vers le rebord de la première couche 10 :

une première arête 16₁ cannelée, s'étendant selon la direction Y,
une deuxième arête 18₁ cannelée, s'étendant selon la direction Y, les cannelures de la deuxième arête 20₁ étant complémentaires des cannelures de la première arête 18₁, et
une troisième arête 20₁ cannelée, formant l'extrémité de la branche 14b₁ transversale considérée, la troisième arête 20₁ s'étendant selon la direction Y.

En vis-à-vis de la troisième arête 20₁ de chaque branche transversale, la première couche 10 forme une bande 22₁ de matière, s'étendant sensiblement selon la direction Y. La bande 22₁ de matière s'étend de part et d'autre de la branche 14b₁ transversale de la croix 12₁, la longueur de la bande 22₁ de matière étant supérieure à la largeur de la branche 14b₁ transversale de la croix 12₁. La bande 22₁ de matière présente une quatrième arête 24₁ cannelée, en vis-à-vis de la troisième arête 20₁, les cannelures des troisième et quatrième arêtes 20₁, 24₁ étant complémentaires. La quatrième arête 24₁ s'étend sur sensiblement toute la longueur de la bande 22₁ de matière.
La troisième arête 20₁ cannelée s'étend de part et d'autre de l'extrémité de la branche 14b₁ transversale, en vis-à-vis de la quatrième arête 24₁. Cette troisième arête 20₁ délimite alors partiellement le contour d'un carré 44₁ de matière. Le contour du carré 44₁ est également partiellement délimité par le prolongement, dans la direction Y, de part et d'autre de la branche 14b₁ transversale de la croix 12₁, de la deuxième arête 16₁ cannelée.
Le carré 44₁ est relié au bord 38₁ de la couche 10 par des languettes 46₁. Par ailleurs, la première arête 16₁ cannelée se prolonge selon la direction Y, de part et d'autre de la branche 14b₁ transversale de la croix 12₁ sur laquelle elle est réalisée, en regard du prolongement de la deuxième arête 16₁ délimitant partiellement le carré 44₁.
Le carré 44₁ est également relié à la portion extrémale 120₁ de la branche 14b₁ transversale de la croix 12₁, par des languettes 48₁. La portion extrémale 120₁ de la branche 14b₁ transversale s'étend entre la deuxième arête 18₁ et la troisième arête 20₁.
Enfin, les bandes 22₁ en vis-à-vis des branches 14b₁ transversales sont directement reliées au bord 38₁ de la couche 10 par des languettes 50₁.
Il est à noter que la distance d1 entre la deuxième arête 18₁ et la troisième arête 20₁ est identique sur chaque branche 14a₁, 14b₁ de la croix 12₁. Par ailleurs, la largeur des bandes 22₁ est identique, la largeur étant mesurée entre la quatrième arête 24₁ et le côté de la bande 22₁ opposée à cette quatrième arête 24₁. Les distances d1 et d2 sont ici sensiblement égales.
La première couche 10 est par ailleurs munie de quatre trous 52₁ répartis aux angles de la première couche 10, permettant le passage d'un pion d'alignement de la première couche avec d'autres couches superposées sur cette première couche. Deux trous 54₁ sont également réalisés au centre de la première couche 10. La fonction de ces deux trous 54₁ sera décrite ultérieurement.
La première couche 10 telle qu'elle vient d'être décrite est par exemple réalisée à partir d'une couche monolithique par découpes et/ou mises en forme. Les découpes peuvent être réalisées par tout procédé adapté au matériau de la première couche. Les découpes peuvent notamment être réalisées par découpe laser, découpe chimique, étampage. La mise en forme peut consister à ajouter de la matière, notamment par un procédé LIGA (de l'allemand « Rδntgenlithographie, Galvanoformung, Abformung » pour lithographie aux rayons X, galvanisation par électrodéposition et formage). Les étapes de découpes et/ou de mises en forme sont de préférence mises en oeuvre avant l'assemblage de la première couche 10 avec d'autres couches afin d'en faciliter la réalisation. Il en va de même des autres couches décrites ci-après.
Sur la figure 2, la première couche 10 est recouverte par une deuxième couche 56 de matériau flexible. Le matériau flexible peut être un film polymère, par exemple en polyimide. Ici, à titre d'exemple, le matériau flexible est du kapton^®. En pratique, une couche de colle ou une couche de matériau adhésif, de forme sensiblement identique à la première 10 ou à la deuxième couche 56, est interposée entre la première couche 10 et la deuxième couche 56.
Il est à noter que des découpes sont réalisées dans la deuxième couche 56, de sorte que la deuxième couche 56 présente une forme sensiblement identique à la première couche 10. La deuxième couche 56 forme par exemple une croix 12₂ de forme identique à la croix 12₁ de la première couche 10. Cependant, la croix 12₂, sur la deuxième couche 56, est pleine, à l'exception, ici, des deux trous 54₂. En particulier, la croix 12₂ sur la deuxième couche 56 est dépourvue d'arêtes cannelées. Plus généralement, la deuxième couche 56 dans son ensemble est dépourvue d'arêtes cannelées.
Par ailleurs, les branches 14a₂, 14b₂ de la croix 12₂ ne sont pas reliées au bord 38₂ de la deuxième couche 56 par des languettes s'étendant selon la direction X. Au contraire, les branches 14a₂, 14b₂ sont ici reliées au bord 38₂ de la deuxième couche uniquement par leurs extrémités. En d'autres termes, la croix 12₂ sur la deuxième couche 56 est dépourvue de languettes la reliant au bord 38₂ de la deuxième couche 56.
Sur la figure 3, la deuxième couche 56 est recouverte par une troisième couche 58. En pratique, là encore, une couche de colle ou de matière adhésive est interposée entre la deuxième couche 56 et la troisième couche 58, la couche de colle étant par exemple de forme identique à la troisième couche 58.
La troisième couche 58 est ici de forme identique à la première couche 10. Ainsi, sur la figure 3, la deuxième couche 56 apparait entre les cannelures des arêtes cannelées en vis-à-vis.
Sur la figure 4, la troisième couche 58 est recouverte par une quatrième couche 60. Là encore, en pratique, une couche de colle ou de matière adhésive est interposée entre la troisième couche 58 et la quatrième couche 60. Cette couche de colle ou de matière adhésive est de forme sensiblement identique à la troisième couche 58.
La quatrième couche 60 est de forme sensiblement identique à la troisième couche 58.
La quatrième couche 60 se distingue des première 10 et troisième 58 couches essentiellement en ce que les extrémités libres 33₄ des coudes 32₄ sont reliées, chacune via une languette 34₄ respective, à une même lame 62.
La quatrième couche 60 est de préférence en un matériau différent des matériaux constituant les première et troisième couches 10, 58, lesquelles peuvent, le cas échant être en un même matériau. Notamment, la quatrième couche 60 peut être en un matériau plus souple que les première et troisième couches 10, 58. Alternativement ou au surplus, la quatrième couche 60 peut être plus fine que les première et troisième couches 10, 58, notamment dans le cas où toutes ces couches sont en un même matériau.
Dans l'exemple, la quatrième couche 60 est ensuite recouverte d'une cinquième couche 64 comme illustré à la figure 5.
Cette cinquième couche 64 est également fixée à la quatrième couche 60, par exemple par collage. Pour ce faire, une couche de colle ou de matière adhésive, par exemple de forme semblable à la cinquième couche 64 est interposée entre les quatrième 60 et cinquième 64 couches.
La cinquième couche 64 est de forme identique aux première et troisième couches 10, 58. Cette cinquième couche 64 est par exemple en un matériau pouvant être brasé ou soudé, au contraire de la quatrième couche 60. Cette cinquième couche 64 ne forme pas de lame superposée à la lame 62 formée par la quatrième couche 60.
On obtient ainsi une structure multicouche 68 sensiblement plane, visible notamment à la figure 6.
Enfin, dans l'exemple de procédé décrit en regard des figures, un socle 66 est disposé sur la cinquième couche 64, comme illustré à la figure 6. Ce socle 66 est positionné par rapport à la structure multicouche 68 plane, notamment à l'aide des trous 54 qui peuvent recevoir des pions de guidages. Puis le socle 66 reçoit un support 90 de deux poutrelles 92, reliées au support 90 au moyen de languettes 94 sécables. Là encore, le positionnement correct du support 90 et, par conséquent, des poutrelles 92 par rapport à la structure multicouche 68 plane est obtenu grâce aux trous 54 et à des pions de guidage qui y sont reçus. Il est à noter ici que le support 90, les poutrelles 92 et les languettes 94 peuvent être réalisés en une seule pièce. Notamment, le support 90, les poutrelles 92 et les languettes 94 peuvent être obtenus en mettant en oeuvre les mêmes procédés que ceux précédemment décrits pour la réalisation des différentes couches décrites ci-avant. Il est à noter également que dans l'exemple décrit le support 90 est posé sur le socle 66, sans y être fixé.
Le procédé de fabrication d'un mécanisme se poursuit alors par une étape de découpe des languettes 28, 40, 42, 46, 48, 50. Cette étape aboutit à la structure multicouche 68, sensiblement plane, de la figure 7 dans laquelle, notamment :

les étriers 26 sont détachés du bord 38 des couches 10, 56, 58, 60, 64 superposées ;
les bandes 22 sont détachées des étriers 26 ; et
les carrés 44 sont détachés du bord 38 des couches 10, 56, 58, 60, 64 superposées et des portions extrêmales 120 des branches 14b transversales de la croix 12.

Le procédé de fabrication se poursuit alors par une étape de déploiement selon un axe Z sensiblement normal au plan de la structure multicouche 68 plane, cette étape étant illustrée aux figures 8 à 10. En d'autres termes, la structure multicouche 68 de la figure 7 est déployée pour l'étendre selon la direction Z normale au plan de la structure multicouche 68, plane. On obtient ainsi une structure déployée 88 tridimensionnelle.
La figure 8 illustre un état intermédiaire de la structure multicouche 68, avant d'atteindre son état final, déployé, illustré à la figure 10.
Ici, du fait de la traction selon la direction Z, et comme illustré à la figure 8, des articulations - c'est-à-dire dire des liaisons autorisant essentiellement une rotation - se forment au niveau des arêtes cannelées en vis-à-vis.
La figure 9 illustre, à titre d'exemple, la formation d'une articulation 72 au niveau des troisième et quatrième arêtes 20, 24 d'un branche 14a longitudinale de la croix 12 et de la bande 22 de matière en vis-à-vis. Sur cette figure 9, les cannelures des troisième et quatrième arêtes 20, 24 des troisième, quatrième et cinquième couches 58, 60, 64 se rapprochent, les dents d'une cannelure étant reçues entre deux dents voisines de l'autre cannelure. Au contraire, les troisième et quatrième arêtes 20, 24 de la première couche 10 s'éloignent. Dans ces conditions, la deuxième couche 56, dépourvue d'arêtes cannelées, demeure monobloc et s'étend, de manière continue, entre la base de la branche 14a longitudinale (à droite sur la figure 9) et la portion extrémale 120 de la branche 14a longitudinale (à gauche sur la figure 9). La deuxième couche 56 forme alors une articulation 72.
Les arêtes cannelées précédemment évoquées forment ainsi, en coopération avec la deuxième couche 56, les articulations suivantes :

une première articulation 70 d'axe X entre la base de chaque branche 14a longitudinale et la portion d'extrémité correspondante ;
une deuxième articulation 72 d'axe X entre la portion d'extrémité 120 de chaque branche 14a longitudinale et la bande 22 en vis-à-vis ;
deux troisièmes articulations 74 d'axe X entre chaque bande 22 de matière en vis-à-vis d'une branche 14a longitudinale et l'étrier 26 associé ;
deux quatrièmes articulations 76 d'axe X entre chaque étrier 26 et le bord 38 des différentes couches ;
une cinquième articulation 78 d'axe Y entre la base de chaque branche 14b transversale et la portion d'extrémité correspondante ;
une sixième articulation 80 d'axe Y entre la portion d'extrémité de chaque branche 14b transversale et la bande 22 en vis-à-vis ;
deux septièmes articulations 82 d'axe Y entre chaque bande 22 de matière en vis-à-vis d'une branche 14b transversale et les deux carrés 44 associés ;
une huitième articulation 84 d'axe Y entre chaque carré 44 et le bord 38 des différentes couches.

Ainsi, en choisissant des orientations perpendiculaires des articulations, on forme ici un montage de Sarrus 86 (de l'anglais « Sarrus linkage »). Ce montage de Sarrus est un exemple particulier d'échafaudage de montage (de l'anglais « mounting scaffold ») pouvant être mis en oeuvre dans le procédé.
Un tel échafaudage de montage est réalisé par la structure multicouche, en plus de la structure d'intérêt que l'on cherche à réaliser. Cet échafaudage de montage permet de relier les différents mouvements nécessaires au déploiement de la structure multicouche, de manière que ce déploiement puisse être réalisé en agissant sur la structure multicouche selon un unique degré de liberté. Cet échafaudage de montage facilite ainsi l'étape de déploiement.
Le montage de Sarrus 86 ainsi réalisé permet ainsi, en tirant sur une partie de la structure multicouche 68 selon la direction Z, de provoquer un redressement des étriers 26. Le redressement des étriers 26 s'accompagne d'un rapprochement des lames 62 du support 66. Le redressement des étriers 26 provoque également un pivotement des lames 62, de sorte que leur largeur s'étende selon une direction normale au plan de la structure multicouche 68 plane, la longueur et l'épaisseur des lames s'étendant sensiblement dans un plan parallèle au plan de la structure multicouche 68, plane. On obtient ainsi, à partir d'une lame adaptée initialement à osciller dans un plan normal au plan de la structure multicouche 68 plane, une lame adaptée à osciller dans un plan parallèle au plan de la structure multicouche 68.
On obtient ainsi une structure multicouche déployée 88, telle qu'illustrée à la figure 10. Il est à noter ici que la structure n'est pas a priori bloquée dans cette position déployée. Une étape de blocage de la structure multicouche dans sa configuration déployée 88 peut être mise en oeuvre. Cette étape peut être réalisée de nombreuses façons. Par exemple, ici, on peut bloquer certaines ou toutes les articulations évoquées ci avant par brasage ou collage.
En outre, à cette étape ou après cette étape de blocage, les palets 36 fixés aux extrémités des lames 62 peuvent être fixés à des masses 92, ici réalisées sous forme de poutrelles. Ceci peut notamment être réalisé par brasage. Dans ce cas, une plaquette métallique peut être collée à chaque extrémité des masses 92, permettant ainsi la fixation par brasage.
La figure 11 illustre le détachement de l'ensemble formé par les masses 92 solidarisées aux lames 62 via les palets 36, du reste de la structure multicouche déployée 88. Ceci est réalisé en découpant les languettes 34 reliant les palets 36 et la lame 62 aux étriers 26, ainsi que les languettes 94 reliant les masses 92 au support 90.
Enfin, la figure 12 illustre le mécanisme flexible 100 finalement obtenu. Ce mécanisme flexible comprend essentiellement les deux masses 92, les deux lames 62 flexibles reliant les masses 92, et les palets 36 reliant les extrémités des lames 62 aux masses 92.
Dans l'exemple illustré, les lames 62 sont plus souples que les masses 92 et les palets 36. Notamment les lames 62 sont en un matériau plus souple que les masses 92 et, éventuellement, les palets 36. Le mécanisme 100 flexible peut ainsi former un oscillateur.
Il est à noter ici que les lames 62 sont orientées de telle sorte qu'elles permettent au mécanisme flexible 100 d'osciller dans un plan s'étendant sensiblement selon les directions X et Y. Au contraire, dans la structure multicouche 68 plane, les lames 62 étaient orientées de telle sorte qu'elles avaient tendance à osciller dans un plan normal à ce plan.
Les lames 62 sont par exemple en l'un parmi le silicium, le verre, le saphir ou alumine, le diamant, notamment le diamant synthétique, en particulier le diamant synthétique obtenu par procédé de déposition chimique en phase vapeur, le titane, un alliage de titane, notamment un alliage de la famille des Gum metal ^® et un alliage de la famille des élinvars, en particulier l'Elinvar ^®, le Nivarox ^®, le Thermelast ^®, le NI-Span-C ^® et le Précision C ^®.
Ces matériaux présentent en effet l'avantage que leur module d'Young est très peu sensible aux variations de température. Ceci est particulièrement avantageux dans le domaine horloger, par exemple, où le mécanisme, notamment le régulateur, doit garder sa précision, même en cas de variations de température.
Les Gum métal^® sont des matériaux comprenant : 23 % de niobium ; 0,7 % de tantale ; 2 % de zirconium ; 1 % d'oxygène ; facultativement du vanadium ; et facultativement du hafnium.
Les alliages élinvars sont des alliages d'acier au nickel comprenant du nickel et du chrome qui sont très peu sensible aux températures. L'Elinvar ^®, en particulier, est un alliage d'acier au nickel, comprenant 59 % de fer, 36 % de nickel et 5 % de chrome.
le NI-Span-C ^® comprend entre 41,0 et 43,5 % de nickel et de cobalt ; entre 4,9 et 5,75 % de chrome ; entre 2,20 et 2,75 % de titane ; entre 0,30 et 0,80 % d'aluminium ; au plus 0,06 % de carbone ; au plus 0,80 % de manganèse ; au plus 1 % de silicium ; au plus 0,04 % de soufre ; au plus de 0,04 % de phosphore ; et le complément à 100 % en fer.
Le Précision C ^® comprend : 42 % de nickel ; 5,3 % de chrome ; 2,4 % de titane ; 0,55 % d'aluminium ; 0,50 % de silicium ; 0,40 % de manganèse ; 0,02 % de carbone ; et le complément à 100 % en fer.
Le Nivarox ^® comprend : entre 30 et 40 % de nickel ; entre 0,7 et 1,0% de béryllium ; entre 6 et 9 % de molybdène et/ou 8 % de chrome ; de manière facultative, 1 % de titane ; entre 0,7 et 0,8 % de manganèse ; entre 0,1 et 0,2 % de silicium ; du carbone, jusqu'à 0,2 % ; et le complément en fer.
Le Thermelast ^® comprend : 42,5 % de nickel ; moins de 1 % de silicium ; 5,3 % de chrome ; moins de 1 % d'aluminium ; moins de 1 % de manganèse ; 2,5 % de titane ; et 48 % de fer.
Toutes les compositions ci-dessus sont indiquées en pourcentages massiques.
La ou les lames présentent avantageusement une épaisseur supérieure ou égale à 1 µm, de préférence supérieure ou égale à 5 µm, et/ou inférieure ou égale à 30 µm, de préférence inférieure ou égale à 20 µm, de préférence inférieure ou égale à 15 µm.
La ou les lames peuvent encore présenter une largeur supérieure ou égale à 0,1 mm et/ou inférieure ou égale à 2 mm, de préférence inférieure ou égale à 1 mm.
La ou les lames peuvent aussi présenter une longueur comprise, par exemple, entre 5 et 13 mm.
La ou chaque lame 62 peut encore présenter un rapport d'aspect défini comme le rapport entre la largeur et l'épaisseur de la lame, supérieur à 10, de préférence supérieur à 25.
Les masses 92 sont par exemple en l'un parmi le tungstène, le molybdène, l'or, l'argent, le tantale, le platine, les alliages comprenant ces éléments et un matériau polymère chargé de particules de densité supérieure à dix, notamment de particules de tungstène. Ces matériaux sont en effet lourds. Dans le cas d'un mécanisme 100 formant oscillateur, cela permet d'avoir masses 92 de dimensions réduites mais avec un poids relativement important.
Les palets 36, et donc les première, troisième et cinquième couches 10, 58, 64 sont par exemple en matériaux polymères. Ces palets 36 peuvent permettre d'améliorer la résistance du mécanisme 100 aux chocs.
Comme indiqué précédemment, le mécanisme 100 peut avantageusement former un oscillateur. Dans ce cas, l'une des masses 92 peut former un bâti ou être fixée rigidement à un bâti, par rapport auquel l'autre masse 92 oscille. En l'espèce, dans ce cas, l'une des masses 92 oscille selon un mouvement de translation circulaire T par rapport à l'autre masse 92. Dans un tel cas, un rapport d'aspect élevé de la ou de chaque lame 62 permet notamment de limiter les modes d'oscillation de cette ou ces lames 62 hors plan.
Avantageusement, la ou chaque lame 62 présente une longueur libre L supérieure ou égale au tiers de la largeur de la lame 62. Dans le cas où la lame est fixée à une seule masse, la longueur libre est définie comme étant la longueur de la lame qui n'est pas en contact avec la masse. Dans le cas où la lame est fixée à deux masses, la longueur libre s'entend de la longueur de la lame entre les deux masses, qui n'est pas en contact avec l'une ou l'autre des masses. De préférence, sur la longueur libre de la lame 62, cette dernière n'est en contact avec aucun autre élément du mécanisme intégrant la ou les lames 62.
Un mécanisme flexible du type de celui de la figure 12, c'est-à-dire du type comprenant au moins une lame flexible entre au moins une, de préférence entre deux masses, obtenu en mettant en oeuvre le procédé précédemment décrit, est mis en oeuvre dans un mouvement horloger dans une pièce d'horlogerie, pour la fabrication d'un oscillateur, notamment en tant que régulateur d'un tel mouvement horloger.
De manière connue, une pièce d'horlogerie 200 telle qu'une montre illustrée à la figure 13, comprend essentiellement :

un boîtier 202,
un mouvement horloger 203 contenu dans le boîtier 202,
généralement, un remontoir 204,
un cadran 205,
un verre 206 recouvrant le cadran 205,
un indicateur de temps 207, comprenant par exemple deux aiguilles 207a, 207b respectivement pour les heures et les minutes, disposé entre le verre 206 et le cadran 205 et actionné par le mouvement horloger 203.

Comme représenté schématiquement sur la figure 14, le mouvement horloger 203 peut comprendre par exemple :

un dispositif 208 de stockage d'énergie mécanique, généralement un ressort de barillet,
une transmission mécanique 209 mue par le dispositif 208 de stockage d'énergie mécanique,
l'indicateur de temps 207 susmentionné,
un organe de distribution d'énergie 210 (par exemple une roue d'échappement),
une ancre 211 adaptée pour séquentiellement retenir et libérer l'organe de distribution d'énergie 210,
un régulateur 212, qui est un mécanisme comportant un organe réglant oscillant contrôlant l'ancre 211 pour la déplacer régulièrement de façon que l'organe de distribution d'énergie soit déplacé pas à pas à intervalles de temps constants, et, éventuellement,
un organe de découplage 213, qui est interposé entre le régulateur 212 et l'ancre 211.

L'invention ne se limite pas au seul mode de réalisation décrit ci-avant en regard des figures, mais est, au contraire, susceptible de nombreuses variantes accessibles à l'homme de l'art.
Tout d'abord, dans l'exemple de procédé décrit, les masses sont fixées sur les lames, plus précisément aux extrémités des lames, après le déploiement de la structure multicouche. Dans l'exemple décrit, cette fixation est réalisée à l'aide d'un brasage. Alternativement, cependant, les masses sont fixées à la ou aux lames, en particulier aux extrémités de ces lames, par surmoulage, serrage, clipsage, collage, soudage, notamment soudage par point, en particulier soudage par point au laser, ou tout autre procédé accessible à l'homme de l'art.
Les masses peuvent être rapportées sur la structure multicouche déployée, sous forme d'une découpe dans une couche de matériau supplémentaire que l'on superpose à la structure multicouche déployée. La découpe dans la couche de matériau supplémentaire peut notamment former des logements de réception des extrémités des lames flexibles, en particulier des palets fixés aux extrémités des lames, la réception étant alors, de préférence, réalisée avec serrage.
Également, selon une variante, les masses peuvent être formées par la structure multicouche. Les masses sont alors disposées en vis-à-vis des extrémités des lames ou des palets fixés à ces extrémités au moment du déploiement de la structure multicouche.
Par ailleurs, dans l'exemple de procédé décrit, celui-ci comporte une étape de blocage de la structure en position déployée. Cette étape est a priori facultative. Elle est toutefois préférée quand d'autres manipulations de la structure en position déployée sont souhaitées pour aboutir au mécanisme. Dans le cas où un tel blocage est à réaliser, celui-ci peut être obtenu par tout moyen accessible à l'homme de l'art, notamment par collage, surmoulage, brasage, clipsage, soudage, notamment soudage par point, en particulier soudage par point au laser ou, plus généralement, par fixation ensemble d'éléments de la structure en position déployée.
De plus, le procédé de fabrication d'un mécanisme peut comporter une étape d'assemblage de nombreuses couches les unes sur les autres. De préférence, cependant, le nombre de couches de matériau superposées est compris entre dix et cinquante.
Enfin, dans l'exemple décrit, un unique mécanisme 100 est obtenu par mise en oeuvre du procédé. Cependant, de manière avantageuse, il peut être prévu qu'un même empilement de couches permette la formation d'une pluralité de structures multicouches et/ou d'une pluralité de structures déployées. On peut ainsi améliorer sensiblement le rendement du procédé de fabrication d'un mécanisme.
Enfin, les arêtes cannelées évoquées dans l'exemple décrit peuvent être remplacées par des amorces de pliage. Notamment, les amorces de pliages peuvent être réalisées par des découpes partielles des couches. Les découpes partielles peuvent consister en des découpes en pointillés et/ou en une découpe sur une partie seulement de l'épaisseur des couches. Dans le cas d'une découpe sur une partie seulement de l'épaisseur des couches, la découpe partielle peut éventuellement être continue. Une découpe totale des couches peut également être envisagée.
Les masses peuvent être rapportées sur la structure multicouche déployée, sous forme d'une découpe dans une couche de matériau supplémentaire que l'on superpose à la structure multicouche déployée. La découpe dans la couche de matériau supplémentaire peut notamment former des logements de réception des extrémités des lames flexibles, en particulier des palets fixés aux extrémités des lames, la réception étant alors, de préférence, réalisée avec serrage.
Également, selon une variante, les masses peuvent être formées par la structure multicouche. Les masses sont alors disposées en vis-à-vis des extrémités des lames ou des palets fixés à ces extrémités au moment du déploiement de la structure multicouche.
Par ailleurs, dans l'exemple de procédé décrit, celui-ci comporte une étape de blocage de la structure en position déployée. Cette étape est a priori facultative. Elle est toutefois préférée quand d'autres manipulations de la structure en position déployée sont souhaitées pour aboutir au mécanisme. Dans le cas où un tel blocage est à réaliser, celui-ci peut être obtenu par tout moyen accessible à l'homme de l'art, notamment par collage, surmoulage, brasage, clipsage, soudage, notamment soudage par point, en particulier soudage par point au laser ou, plus généralement, par fixation ensemble d'éléments de la structure en position déployée.
De plus, le procédé de fabrication d'un mécanisme peut comporter une étape d'assemblage de nombreuses couches les unes sur les autres. De préférence, cependant, le nombre de couches de matériau superposées est compris entre dix et cinquante.
Enfin, dans l'exemple décrit, un unique mécanisme 100 est obtenu par mise en oeuvre du procédé. Cependant, de manière avantageuse, il peut être prévu qu'un même empilement de couches permette la formation d'une pluralité de structures multicouches et/ou d'une pluralité de structures déployées. On peut ainsi améliorer sensiblement le rendement du procédé de fabrication d'un mécanisme.
Enfin, les arêtes cannelées évoquées dans l'exemple décrit peuvent être remplacées par des amorces de pliage. Notamment, les amorces de pliages peuvent être réalisées par des découpes partielles des couches. Les découpes partielles peuvent consister en des découpes en pointillés et/ou en une découpe sur une partie seulement de l'épaisseur des couches. Dans le cas d'une découpe sur une partie seulement de l'épaisseur des couches, la découpe partielle peut éventuellement être continue. Une découpe totale des couches peut également être envisagée.

Claims

Procédé de fabrication d'un oscillateur horloger (100) comprenant les étapes consistant à :
i) assembler des couches planes (10 ; 56 ; 58 ; 60 ; 64) ensemble pour former une structure multicouche sensiblement plane (68) ;

ii) déployer la structure multicouche selon une direction (Z) sensiblement normale aux couches planes (10 ; 56 ; 58 ; 60 ; 64) ;
procédé dans lequel au moins une première couche (60) desdites couches (10 ; 56 ; 58 ; 60 ; 64) forme au moins une lame (62) flexible dans l'oscillateur horloger (100), la ou les lames (62) étant fixées, dans l'oscillateur horloger (100), à au moins une masse (92), de préférence à deux masses (92), la ou chaque masse (92) étant plus rigide que la ou les lames (62), la ou les lames (62) étant fixées à la ou à chaque masse (92) à une étape postérieure à l'étape ii).
Procédé selon la revendication 1, dans lequel chaque lame (62) présente, dans l'oscillateur horloger (100), une longueur libre (L) supérieure au tiers de la largeur de la lame (62) considérée, la longueur libre (L) étant définie comme étant :
- la longueur de la lame (62) qui n'est pas en contact avec la masse (92), dans le cas où la lame (62) est fixée à une masse (92), ou

- la longueur de la lame (62) qui s'étend entre les deux masses (92), sans être en contact avec l'une des masses (92), dans le cas où la lame (62) est fixée à deux masses (92),
la ou chaque lame (62) n'étant de préférence, sur la longueur libre (L), en contact avec aucun autre élément de l'oscillateur horloger (100).
Procédé selon la revendication 1 ou 2, comprenant une étape iii) postérieure à l'étape ii), consistant à bloquer la structure multicouche en position déployée (88), dans lequel, de préférence, à l'étape iii), la structure est bloquée en position déployée (88) en mettant en oeuvre l'un au moins parmi un surmoulage, un brasage, un clipsage, un collage, un soudage, notamment un soudage par point, en particulier un soudage par point au laser, et un serrage, d'au moins une partie de l'oscillateur horloger, notamment d'au moins une articulation de l'oscillateur horloger.
Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la ou chaque masse (92) est rapportée à une extrémité, de préférence à une extrémité respective, d'une desdites au moins une lame (62).
Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la ou chaque masse (92) est fixée à la lame (62) ou à chaque lame (62) par :
- surmoulage ;

- brasage ;

- clipsage ;

- collage ;

- soudage, notamment soudage par point, en particulier soudage par point au laser ;

- serrage.
Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la ou les masses (92) sont réalisées par au moins une des couches planes (10 ; 56 ; 58 ; 60 ; 64) assemblées à l'étape i).
Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la ou les masses (92) sont en l'un parmi le tungstène, le molybdène, l'or, l'argent, le tantale, le platine, les alliages comprenant ces éléments et un matériau polymère chargé de particules de densité supérieure à dix, notamment de particules en tungstène.
Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la ou les lames (62) sont en l'un parmi le silicium, le verre, le saphir, le diamant, notamment le diamant synthétique, en particulier le diamant synthétique obtenu par procédé de déposition chimique en phase vapeur, le titane, un alliage de titane, notamment un alliage de la famille des Gum métal^® et un alliage de la famille des élinvars, en particulier l'Elinvar ^®, le Nivarox ^®, le Thermelast ^®, le Ni-Span-C ^®, le Précision C ^®.
Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel :
- à l'étape i), on assemble entre dix et cinquante couches planes (10 ; 56 ; 58 ; 60 ; 64) ensemble ; et/ou

- la ou les lames (62) ont une largeur, une épaisseur et un rapport d'aspect défini comme étant égal au rapport de la largeur de la lame (62) sur l'épaisseur de la lame (62), le rapport d'aspect de chaque lame étant supérieur à 10, de préférence supérieur à 25 ; et/ou

- la ou les lames (62) ont une épaisseur supérieure ou égale à 1 µm, de préférence supérieure à 5 µm, et/ou inférieure ou égale 30 µm, de préférence inférieure ou égale à 20 µm, de préférence encore inférieure ou égale à 15 µm ;

- la ou les lames (62) ont une largeur supérieure ou égale à 0,1 mm et/ou inférieure ou égale à 2 mm, de préférence inférieure ou égale à 1 mm.
Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la structure multicouche sensiblement plane (68) forme au moins un échafaudage de montage (86), le procédé comprenant une étape iv), de préférence postérieure à l'étape iii) le cas échéant, consistant à détacher la structure en position déployée (88), du au moins un échafaudage de montage (86).
Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel chaque couche (10 ; 56 ; 58 ; 60 ; 64) est soumise, de préférence avant son assemblage, à une étape d'usinage, notamment de découpe laser, d'usinage chimique, d'étampage, de fraisage, d'électroérosion à fil et/ou à une étape de mise en forme, notamment à une étape de mise en forme par ajout de matière, en particulier une étape de mise en forme par LIGA ou par moulage par injection.
Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel une pluralité de structures multicouches sensiblement planes (68), respectivement de structures en positon déployée (88), sont obtenues à l'étape ii), respectivement à l'étape iii), à partir d'un unique assemblage de couches à l'étape i).
Procédé selon l'une quelconque des revendications précédentes, dans lequel la ou chaque lame (62) est en un matériau plus souple que la ou chaque masse (92) qui est fixée sur ladite lame (62).
Oscillateur horloger réalisé au moins en partie en mettant en oeuvre un procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 13.
Mouvement horloger (203) pour pièce d'horlogerie (200), comprenant un oscillateur horloger selon la revendication 14.