EP3499040A1 - Screw vacuum pump - Google Patents

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EP3499040A1
EP3499040A1 EP17207550.9A EP17207550A EP3499040A1 EP 3499040 A1 EP3499040 A1 EP 3499040A1 EP 17207550 A EP17207550 A EP 17207550A EP 3499040 A1 EP3499040 A1 EP 3499040A1
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EP
European Patent Office
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rotors
alignment
tool
vacuum pump
rotor
Prior art date
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EP17207550.9A
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German (de)
French (fr)
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EP3499040B1 (en
Inventor
Peter Huber
Harald Martin
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Pfeiffer Vacuum GmbH
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum GmbH
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Filing date
Publication date
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/14Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
    • F04C18/16Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/082Details specially related to intermeshing engagement type pumps
    • F04C18/084Toothed wheels
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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    • F04C25/00Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2230/00Manufacture
    • F04C2230/60Assembly methods
    • F04C2230/603Centering; Aligning
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04CROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2230/00Manufacture
    • F04C2230/60Assembly methods
    • F04C2230/604Mounting devices for pumps or compressors

Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing a rotary displacement vacuum pump, in particular a screw vacuum pump, in which a housing and two pump-active rotors are provided for arrangement in the housing.
  • the invention also relates to a method for aligning rotors of a rotary displacement vacuum pump, in particular screw vacuum pump.
  • the invention relates to a Rotationsverdrängervakuumpumpe, in particular screw vacuum pump, with a housing and two pump-active rotors, which are arranged in the housing.
  • the invention further relates to a tool for aligning two rotors of a rotary displacement vacuum pump.
  • the invention relates to a system comprising a Rotationsverdrängervakuumpumpe the aforementioned type and a tool of the aforementioned type.
  • Rotary displacement vacuum pumps with two rotors usually have complex rotor geometries.
  • the rotors must be aligned with each other as accurately as possible to ensure safe, efficient and efficient operation.
  • Two screw rotors of an exemplary screw vacuum pump form between each other and with respect to the housing narrow gaps, although to avoid of collision or friction are unavoidable, but are to be kept as small as possible. Such gaps are usually a few tenths of a millimeter. This results in high demands on manufacturing tolerances and assembly accuracy.
  • the rotors are aligned relative to each other and set, for example by applying gears of a synchronizing in the corresponding relative orientation.
  • Alignment may be hampered, for example, by the occurrence of torques in the assembly of gears on the rotors, e.g. cause a twist of the rotors and / or can affect column size.
  • the alignment of two rotors requires a great deal of effort for a rotary displacement vacuum pump.
  • the rotors are aligned by defining gaps existing between rotor profiles by feeler gauges including rotors, e.g. relative to a housing, are fixed and then Synchronsitionsstatt2020 be applied.
  • Such a method thus requires many, in particular manual, individual steps. This also requires a variety of special tools and special manual skills.
  • This object is achieved by a method according to claim 1, and in particular by the steps: providing each of an alignment surface on the rotors such that the alignment surfaces in an aligned state of the rotors in a predetermined orientation relative to each other, aligning the rotors based on the alignment surfaces by means adapted to the alignment surfaces in the predetermined orientation tool.
  • the inventive method requires in principle no variety of tools, but only one. Although this may be a special tool, but also this orientation is already simplified. Also, no special manual skills are needed to bring the tool into alignment with the alignment surfaces. For example, the person who carries out the alignment does not need any special or only a shorter corresponding training or learning.
  • At least one of the alignment surfaces may be e.g. be formed as a flattening. These are particularly easy to produce. It is also easy to produce at least one of the alignment surfaces if it is formed by a slot.
  • the alignment surface can be formed by means of a milling cutter, in particular by being moved transversely, in particular at least substantially perpendicularly to the rotor axis.
  • the alignment surfaces are arranged in at least substantially the same axial position on the rotors. This must be through the Tool no distance along the rotors are compensated. The tool can therefore be made relatively small. In addition, this leads to an advantageous distribution of force in the tool.
  • At least one of the alignment surfaces may be flat.
  • a flat alignment surface is also easy to manufacture, for example by a milling cutter, and is advantageous for installation of the tool and a force distribution.
  • At least one of the alignment surfaces may be perpendicular to a rotor axis of the corresponding rotor.
  • At least one of the alignment surfaces is provided on the rotor during a working step in which a pumping profile of the rotor is formed.
  • the alignment surface can be arranged and formed in a particularly precise manner in relation to the pump profile.
  • a clamping of the rotor remains during this step, in particular for a milling of the alignment surface and a milling of the pumping profile, in particular screw profile.
  • the alignment surfaces are each provided at a position on the rotor, which is located in a mounted state of the pump in a pump chamber, in particular in an ejection space.
  • suction space refers to the total volume of process gas within the housing of the pump. In the pump chamber and in particular in the ejection space is relatively much space, so that the tool can be used thereby easily and reliably.
  • the tool for aligning the rotors may be inserted into the housing through an inlet or outlet of the pump.
  • the rotors in the alignment in particular completely, can be arranged in the housing.
  • a bearing and / or a seal can be mounted on the rotors prior to the alignment and / or before the application of torque transmission elements and / or synchronization elements.
  • housing, storage and / or seal are provided in particular for the Rotationsverdrängervakuumpumpe in the finished state and are no longer dismantled after alignment, especially before completion.
  • the tool can thus be particularly easily introduced through openings, ie inlet and outlet, which are provided anyway in a vacuum pump. In particular, therefore, no additional access must be provided.
  • the alignment surfaces are arranged symmetrically in each case in the aligned state of the rotors with respect to a rotor cross-section.
  • At least one rotor can be provided with a corresponding shape with respect to its alignment surface. As a result, a corresponding imbalance in the rotor is avoided.
  • At least one of the alignment surfaces in the axial direction is provided on one side of a pump-active region of the rotor, on which a torque transmission element, in particular a synchronization element, in particular a gear of a synchronization gear provided on the rotor, in particular fixed.
  • a torque transmission element in particular a synchronization element, in particular a gear of a synchronization gear provided on the rotor, in particular fixed.
  • a development is characterized in that the tool for abutment with the alignment surfaces of the rotors in the aligned state in each case has a cooperation surface, wherein the cooperation surfaces form a wedge shape.
  • the tool to be applied particularly precisely to the alignment surfaces. For example, in parallel alignment and cooperation surfaces a certain clearance for insertion of the tool must be provided.
  • the wedge shape can be produced practically free of play or applied to the alignment surfaces. It can thus ensure a particularly accurate alignment of the rotors.
  • the wedge shape may be self-locking. In this case, any torques in the rotors are automatically absorbed by the tool and the alignment can be performed even more precisely. In addition, the tool does not have to be kept separately in position, which would possibly require an additional holding tool.
  • the wedge shape may for example have an angle between 1 ° and 10 °, in particular over 3 ° and / or below 8 °, in particular about 6 °.
  • the terms “above” and “below” include the specified values.
  • the tool for abutment with the alignment surfaces of the rotors in the aligned state may each have a cooperation surface, wherein the rotors are aligned by bringing the cooperation surfaces into contact with the alignment surfaces.
  • the rotors can be rotated by the tool into an aligned position.
  • the tool can be guided for alignment between the rotors, in particular in one direction at least substantially perpendicular to the rotor axis.
  • the force required to rotate the rotors can be introduced, for example, exclusively by means of tools.
  • the rotation can be supported manually on accessible rotor ends, for example.
  • the object of the invention is also achieved by a method according to claim 12, and in particular by the fact that the rotors are aligned by means of aligning surfaces provided on the rotors by means of a tool adapted to the aligning surfaces.
  • the object of the invention is also achieved by a Rotationsverdrängervakuumpumpe according to claim 13, in particular in that the rotors each have an alignment surface for aligning the rotors.
  • the object of the invention is also achieved by a tool according to claim 14, and in particular by the fact that the tool has two cooperation surfaces each for abutment with an alignment surface of a respective rotor of the Rotatationsverdrängervakuumpumpe.
  • the tool may have, for example, an alignment section and / or a holding section. Both can e.g. be designed as separate parts and, for example, firmly connected, for example screwed and / or welded.
  • the alignment section in particular its cooperation surface, can in particular be formed by machining, whereby a high precision can be achieved.
  • the holding section can be produced for example with low precision and, for example, be designed as, in particular curved, sheet metal part.
  • the cooperation surfaces can in particular form a, for example symmetrical, wedge shape.
  • the cooperation surfaces and alignment surfaces be flat against the rotors and / or aligned in the aligned state at least substantially without play abutment against each other.
  • the object of the invention is also achieved by a system according to claim 15.
  • a tool according to the invention or an alignment according to the invention can, for example, also simplify a method for measuring screw rotors of a screw vacuum pump.
  • paired rotors are stored on a roller block and stored rotatably.
  • the rotors are aligned over the tool.
  • Synchronization gears, in particular dummy gears, are applied to the rotors.
  • the tool is removed.
  • the rotors are rolled against each other, with feeler gauge a mecanicspaltrich along the rotor is determined.
  • a maximum gap must be e.g. can not be determined because it is crucial for a final pressure of the pump and this is easily determinable and in particular anyway determined during a final inspection.
  • the invention not only facilitates the manufacture of a pump, but also the measurement of rotors.
  • the rotors are first inserted into a pumping chamber of the pump or into the housing. Prior to alignment, two end shields are mounted with respective bearings, including fixed and floating bearings, and gasket so that the rotors are fully supported by the final bearing assembly.
  • an alignment tool is introduced into the suction space through an inlet or outlet flange.
  • the inlet flange is usually larger than the outlet flange. Therefore, the alignment surfaces are provided in particular in an inlet or suction of the suction chamber, to ensure a particularly easy access.
  • the arrangement of components on the respective rotors is advantageously chosen so that torsion of the rotors by assembly-related torques is minimal, e.g. such that gear wheels are arranged on the same rotor end and in the vicinity of the alignment surfaces or the tool position.
  • the rotors have e.g. Flattening as alignment surfaces for installation of the tool.
  • each rotor has a symmetrically arranged pair of flattenings, ie an additional flattening to compensate for the flattening serving as the alignment surface.
  • a particularly high balancing quality in particular even before balancing the rotors, can thereby be achieved.
  • the alignment surfaces of the rotors are machined before assembly together with their screw profile.
  • a respective alignment surface serve as a reference for the production of the profile. This can form the basis for a particularly precise alignment.
  • the alignment surface can also be used, for example, as a reference for a measurement of a respective rotor, for example by a 3D coordinate measuring machine.
  • an alignment portion of the tool is e.g. formed wedge-shaped and rotated the two rotors against each other until the tool rests flat on both sides.
  • Angle and / or distance of the surfaces are in particular to be chosen so that torques can be absorbed during assembly and only a relatively small insertion depth for the tool is necessary. For example, a self-locking angle between 1 ° and 10 °, in particular between 3 ° and 8 °, in particular about 6 ° between the alignment in the aligned state or between cooperation surfaces of the tool to be provided with alignment surfaces.
  • the tool comprises a precisely machined alignment section and a low cost manufactured retaining section which is connected to the alignment section e.g. connected by screws or welded.
  • Gears of a synchronization gear are mounted after mounting the rotors in the housing on the rotor, wherein introduced torques are absorbed by the tool. By the gears or the synchromesh the rotors are synchronized with each other. Then the tool is removed.
  • a screw vacuum pump 10 which has a motor 12, a gear box 14, a housing 16, a bearing plate 18 and a cover 20.
  • the screw vacuum pump 10 delivers a process gas from an inlet 22 to a downward, in Fig. 3 visible outlet 24.
  • an active liquid cooling is provided which emerges from a housing of the engine 12.
  • an active liquid cooling which has two cooling lines, which in Fig. 1 are not shown, but their course is indicated by corresponding grooves 32 of the housing 16, in which the cooling lines are pressed.
  • active liquid coolers are provided in the gear box 14 and in the lid 20 and are each formed here as immersion coolers 34, which are described below with reference to FIG Fig. 5 be explained in more detail.
  • the housing 16 of the screw vacuum pump 10 has a sidecut 36.
  • the sidecut 36 is arranged in the region of the outlet 24.
  • Fig. 4 the screw vacuum pump 10 is shown in a sectional view, the sectional plane of the line AA in Fig. 3 equivalent.
  • the screw profiles 38 and 40 in cooperation with the housing 16, form a pump-active area of the screw vacuum pump 10 and repeatedly deliver closed volumes of delivery of the process gas from the inlet 22 to the outlet 24, in FIG Fig. 4 from left to right.
  • the pumping power of the screw vacuum pump 10 depends on the size and shape of different gaps in the pump active region, which are unavoidable due to the relative movement of rotors 28, 30 and housing 16, but are small and as constant as possible for the purpose of good pumping performance. Temperature changes in the components involved lead to their change in shape. The avoidance, release and general measures described herein Control of heat in the pump 10 thus cause the least possible change in shape and as a result controllable column as possible.
  • the gaps can therefore be designed more precisely, which improves the pumping power and its efficiency.
  • the screw rotor 28 is directly, so without intermediate clutch, driven by the motor 12.
  • the screw rotor 30, in contrast, is driven via a synchronization gear 42 with toothed wheels 43 in a defined angular relationship with the screw rotor 28.
  • the motor 12 comprises a housing 44, which is made of aluminum, for example, and in which cooling lines 26 for the active liquid cooling are formed.
  • the motor 12 further includes a wound stator 46 which, together with a magnet carrier 48 mounted on a shaft end of the screw rotor 28, forms an electric motor and a direct drive for the screw rotor 28.
  • the screw rotor 28 forms a rotor of the motor 12.
  • the magnet carrier 48 comprises a plurality of permanent magnets.
  • the motor 12 thus forms a permanent magnet synchronous machine with internal magnets, which is also referred to as IPMSM.
  • the stator 46 is arranged in a potting body 50 which isolates electrical conductors (not shown) at the stator 46 and leads them in isolation to a circuit board 52.
  • the potting body 50 here, in conjunction with the circuit board 52, forms a vacuum-tight connection of the motor 12 to an electronic control system provided in a region of atmospheric pressure.
  • an external frequency converter for the motor 12 may be provided.
  • at least part of control electronics for the motor 12 may be provided on the circuit board 52.
  • the synchronization gear 42 is arranged in the gear box 14.
  • oil is provided as a lubricant, which is distributed by splash disks 54 via the synchronization gear 42 and adjacent bearings 56.
  • the waist 36 forms a shield or thermal barrier, in particular for heat produced in the area of the screw rotors 28, 30 during the pumping operation. Characterized in that a small material cross-section remains, and in that a heat path is extended by the change in shape, the heat from the screw rotor, which otherwise spreads in the housing 16, prevented from entering into otherworldly areas.
  • the oil in the gear box 14 and the bearings 56 are protected from excessive temperatures.
  • the immersion cooler 34 arranged in the gearbox 14 also contributes to the temperature reduction. This is arranged in an oil bath of the gear box 14, not shown, and thus cools the oil directly.
  • a respective deflector 58 forms a barrier for the oil in the gearbox so that it does not enter a pump-active region or a vacuum region, in particular an outlet region.
  • the deflector 58 includes an unspecified Abschleuderkante for the oil. Opposite the Abschleuderkante a drain groove is formed in the housing 16, which absorbs thrown off oil and this passes back into the gear box 14 and in a local oil bath. The oil, which is conveyed or distributed by the spray disks 54 on the gear 42 and bearing 56, is thus removed by the deflectors 58 again from the rotors 28 and 30 respectively.
  • piston rings are provided on a piston ring carrier 60. These form a non-contact seal and thus avoid frictional heat.
  • the Deflektoren 58 lead back as much oil to the gearbox 14, so that as little as possible oil is present at the piston rings. This achieves an overall reliable sealing effect with particularly low heat production.
  • the screw rotors 28 and 30 have in their respective screw profile 38 and 40, three sections of different pitch.
  • a in pumping direction first section 62 in Fig. 4 left, forms a suction section and has a constant and the largest slope under the three sections.
  • the first portion 62 is longer than a closed delivery volume in the first portion with respect to a screw axis 63 extending along a respective rotor 28, 30, respectively.
  • a second portion 64 has a plurality of subsections, which are not further referenced, with different but each constant pitches in the screw profile 38 and 40, wherein the slopes are lower than in the first section.
  • the second section 64 forms the longest section here.
  • a third section 66 of even lower pitch forms an ejection section. In the third section, again, there is a constant slope. Due to the reduced slope along the pumping direction, an internal compression is effected, which compresses the process gas even before the ejection.
  • the rotors 28, 30 and the screw profiles 38, 40 can be particularly easy to design and manufacture by providing the constant sections. As it is based on Fig. 4 As can be seen, an extended first portion 62 leads to correspondingly elongated gaps between the screw profiles 28, 30 and the housing 16, so that the path or the gap from the inner compression at the transition of the sections 62 and 64 towards a suction chamber or suction area 67 longer is. Accordingly, the sealing effect of the column is increased accordingly especially at high differential pressures leads to an improved sealing of the inner compression relative to the suction region 67.
  • the screw vacuum pump 10 thus has an internal compression.
  • the size of a delivery volume is determined by a cross-section of a screw profile 38, 40 and its pitch.
  • the size of a delivery volume on the inlet side or in the section 62 determines a theoretical pumping speed of the screw pump 10.
  • the pitch of the screw profile 38, 40 is constant on the inlet side over section 62, so that the delivery volume is compressed only after completion by the internal compression. If a respective rotor 28, 30 closes a respective delivery volume too early or too late, or if the internal compression begins too early, the theoretical pumping speed of the pump decreases.
  • the size of a respective delivery volume on the outlet side or in section 66 determines the power consumption of the pump in operation at an achievable final pressure.
  • the ratio of the sizes of the delivery volume on the inlet side and outlet side or in the sections 62 and 66 corresponds to the ratio of the internal compression of the pump.
  • the pitch over several revolutions of the screw profile 38, 40 is constant.
  • the slope corresponds approximately to the minimum of achievable by a particular machining tool pitch and is thus, in particular with cost considerations, manufacturing technology. Due to the fact that several revolutions, that is to say a plurality of closed delivery volumes, are provided in section 66, a return flow due to a pressure difference between balanced in the columns.
  • the overall gradient along the rotors 28, 30 and the size of the gaps formed between the rotors 28, 30 and between rotors 28, 30 and the housing 16 determine the vacuum performance data of the pump, ie in particular the pumping speed and an achievable final pressure.
  • the screw profiles 38, 40 have by their saussen morte configuration on a particularly low imbalance. Thus, for example, there are no compensating elements, such as e.g. Compensation masses that require additional space, and / or compensation holes, in which material can deposit, necessary.
  • the pump can be operated with the two-speed cycloidal screw profiles 38, 40 in a wide speed range, in particular with speed control, and / or for example in a stand-by mode.
  • the compression of the process gas in general generates heat, which is dissipated in the screw pump 10 primarily by a liquid cooling.
  • a liquid cooling In Fig. 4 the grooves 32 provided for this purpose are visible. Cooling lines of the liquid cooling extend here and preferably in the longitudinal direction over a wide range of screw profiles, in particular over at least half the length of the screw profiles.
  • the liquid cooling is arranged in the region or in the vicinity of an internal compression.
  • bearing plate 18 At an inlet end of the housing 16 of the bearing plate 18 is attached. This carries, inter alia, a further storage with bearings 68, which form a loose storage.
  • bearing plate 70 which is formed integrally with the housing 16 but may also be formed separately, the bearing plate 68 is formed as a separate component, but may also be integrally formed.
  • spray disks 54, deflectors 58 and a piston ring carrier 60 with a plurality of piston rings are also provided, which operate in accordance with the outlet-side arrangement.
  • a further, separately executed oil bath is provided in the lid 20.
  • a dip cooler 34 is provided for this oil bath.
  • a cooling line in a wall of the bearing plate 14 and / or the cover 20 may be provided, in particular encapsulated
  • a biasing device in particular a spring, be provided, which is provided in particular at a floating bearing of the rotor and / or inlet side.
  • the biasing device can for example also absorb forces acting on the rotors by means of helical gears and / or generally guarantee a design-appropriate preloading of the bearings, regardless of the operating state, with changing pressures or pressure ratios.
  • a dip cooler 34 is shown as it is arranged in the gear box 14 and in the cover 20 of the screw vacuum pump 10.
  • the immersion coolers 34 are thus formed identically, which leads to a small number of parts and low production costs.
  • the immersion cooler 34 has a cooling line 72 which extends through a heat sink 74.
  • the heat sink has a structuring to increase the surface of the heat sink in order to optimize the heat transfer.
  • the immersion cooler 34 also has a flange 76 with which the immersion cooler 34 is attached.
  • FIG. 6 the suction region 67 of the screw vacuum pump 10 is illustrated in a perspective sectional view.
  • respective suction-side ends of the screw profiles 38 and 40 are arranged which, due to their rotation and in cooperation with an edge of a closing surface 77, repeatedly close up delivery volumes and convey along the rotor axes to the outlet 24.
  • the screw rotors 28 and 30 each have an alignment surface 78, of which in Fig. 6 only that of the rotor 28 is visible.
  • both rotors 28 and 30 have an alignment surface 78 respectively opposite corresponding shape or a compensation surface 80.
  • Of the compensation surfaces 80 is in Fig. 6 again only that of the rotor 30 visible.
  • the compensation surface 80 avoids a balancing by the corresponding alignment surface 78th
  • the alignment surface 78 is here in each case formed as a flattening, which is formed by a milled slot in the rotor.
  • the slot runs perpendicular to the rotor axis.
  • the alignment surface 78 is flanked by walls 79. Conveniently, here the compensation surface 80 is formed accordingly.
  • FIG. 7 an alignment process for the screw rotors 28, 30 is shown by means of a tool 82.
  • the tool 82 and the rotors 28, 30 are shown in an aligned position or an aligned state.
  • Cooperation surfaces 84 of the tool 82 are in contact with the alignment surfaces 78th
  • the walls 79 form a guide for the tool 82nd
  • the tool 82 is for aligning the rotors 28, 30 through the inlet 22 in the suction chamber, here in the. Intake portion 67 of the screw vacuum pump 10 introduced. In the scoop space and the alignment surfaces 78 are arranged.
  • the tool 82 can therefore very easily be used to align the rotors 28, 30.
  • the rotors 28, 30 are already fully supported and sealed at the time of alignment, and do not have to be separately aligned beforehand.
  • Fig. 8 Based on the side view of Fig. 8 The interaction of tool 82 and rotors 28, 30 is further illustrated. As it is in Fig. 8 can be seen, the cooperation surfaces 84 are flat and wedge-shaped with respect to each other. In the illustrated, aligned position, the cooperation surfaces 84 rest against the alignment surfaces 78 without play. In this position, the alignment surfaces 78 are correspondingly V-shaped and symmetrically aligned.
  • the cooperation surfaces 84 are aligned with each other such that the tool 82 is self-locking. Therefore, a torque occurring in a screw rotor 28, 30 does not result in a displacement of the tool 82 and a deviation from the aligned position. Instead, become Torques in the rotors 28, 30 are automatically absorbed by the tool 82.
  • the tool 82 is in Fig. 9 shown individually. It is formed in two parts and comprises an alignment section 86 and a holding section 88.
  • the alignment section 86 is manufactured precisely by means of a milling method.
  • the holding portion 88 is formed as a bent sheet metal part and can thus be produced very inexpensively.
  • the alignment portion 86 is bolted to the retaining portion 88. It can be seen that the tool 82 is relatively small and flat. It is very handy and overall relatively inexpensive to produce.

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Abstract

Rotationsverdrängervakuumpumpe, Werkzeug und Verfahren zum Herstellen einer Rotationsverdrängervakuumpumpe, insbesondere Schraubenvakuumpumpe, mit den Schritten: Bereitstellen eines Gehäuses; Bereitstellen von zwei pumpaktiv ausgebildeten Rotoren zur Anordnung in dem Gehäuse; Vorsehen von jeweils einer Ausrichtfläche an den Rotoren derart, dass die Ausrichtflächen in einem ausgerichteten Zustand der Rotoren in einer vorbestimmten Orientierung relativ zu einander stehen; Ausrichten der Rotoren anhand der Ausrichtflächen mittels eines an die Ausrichtflächen in der vorbestimmten Orientierung angepassten Werkzeugs.A rotary displacement vacuum pump, tool and method for manufacturing a rotary displacement vacuum pump, in particular screw vacuum pump, comprising the steps of: providing a housing; Providing two pump-active rotors for placement in the housing; Providing each of an alignment surface on the rotors such that the alignment surfaces are in an aligned orientation of the rotors in a predetermined orientation relative to each other; Aligning the rotors based on the alignment surfaces by means of a matched to the alignment surfaces in the predetermined orientation tool.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Rotationsverdrängervakuumpumpe, insbesondere Schraubenvakuumpumpe, bei dem ein Gehäuse und zwei pumpaktiv ausgebildete Rotoren zur Anordnung in dem Gehäuse bereitgestelt werden.The present invention relates to a method for manufacturing a rotary displacement vacuum pump, in particular a screw vacuum pump, in which a housing and two pump-active rotors are provided for arrangement in the housing.

Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Ausrichten von Rotoren einer Rotationsverdrängervakuumpumpe, insbesondere Schraubenvakuumpumpe.The invention also relates to a method for aligning rotors of a rotary displacement vacuum pump, in particular screw vacuum pump.

Ferner betrifft die Erfindung eine Rotationsverdrängervakuumpumpe, insbesondere Schraubenvakuumpumpe, mit einem Gehäuse und zwei pumpaktiv ausgebildeten Rotoren, die in dem Gehäuse angeordnet sind.Furthermore, the invention relates to a Rotationsverdrängervakuumpumpe, in particular screw vacuum pump, with a housing and two pump-active rotors, which are arranged in the housing.

Die Erfindung betrifft des Weiteren ein Werkzeug zum Ausrichten zweier Rotoren einer Rotationsverdrängervakuumpumpe.The invention further relates to a tool for aligning two rotors of a rotary displacement vacuum pump.

Außerdem betrifft die Erfindung ein System umfassend eine Rotationsverdrängervakuumpumpe der vorstehend genannten Art und ein Werkzeug der vorstehend genannten Art.In addition, the invention relates to a system comprising a Rotationsverdrängervakuumpumpe the aforementioned type and a tool of the aforementioned type.

Rotationsverdrängervakuumpumpen mit zwei Rotoren weisen überlicherweise komplexe Rotorgeometrien auf. Die Rotoren müssen gegenüber einander möglichst genau ausgerichtet werden, um einen sicheren, wirksamen und effizienten Betrieb zu gewährleisten.Rotary displacement vacuum pumps with two rotors usually have complex rotor geometries. The rotors must be aligned with each other as accurately as possible to ensure safe, efficient and efficient operation.

Zwei Schraubenrotoren einer beispielhaften Schraubenvakuumpumpe bilden zwischeneinander und gegenüber dem Gehäuse enge Spalte aus, die zwar zur Vermeidung von Kollision bzw. Reibung unvermeidbar sind, jedoch möglichst klein zu halten sind. Derartige Spalte betragen üblicherweise wenige Zehntelmillimeter. Daraus resultieren hohe Anforderungen an Fertigungstoleranzen und Montagegenauigkeit. Die Rotoren werden dafür relativ zueinander ausgerichtet und beispielsweise durch Aufbringen von Zahnrädern eines Synchronosierungsgetriebes in der entsprechenden Relativorientierung festgelegt.Two screw rotors of an exemplary screw vacuum pump form between each other and with respect to the housing narrow gaps, although to avoid of collision or friction are unavoidable, but are to be kept as small as possible. Such gaps are usually a few tenths of a millimeter. This results in high demands on manufacturing tolerances and assembly accuracy. The rotors are aligned relative to each other and set, for example by applying gears of a synchronizing in the corresponding relative orientation.

Die Ausrichtung kann beispielsweise dadurch erschwert werden, dass bei der Montage von Zahnrädern auf den Rotoren Drehmomente auftreten, die z.B. eine Torsion der Rotoren hervorrufen und/oder Spalte in ihrer Größe beeinflussen können.Alignment may be hampered, for example, by the occurrence of torques in the assembly of gears on the rotors, e.g. cause a twist of the rotors and / or can affect column size.

Im Allgemeinen erfordert die Ausrichtung von zwei Rotoren, insbesondere sowohl bei einer Herstellung als auch bei einer Wartung oder Reparatur, einer Rotationsverdrängervakuumpumpe einen großen Aufwand. Bei einem beispielhaften Verfahren zum Ausrichtung von zwei Rotoren einer Rotationsverdrängervakuumpumpe des Standes der Technik werden die Rotoren ausgerichtet, indem zwischen Rotorprofilen vorhandene Spalte durch Fühlerlehren definiert werden, die Rotoren, z.B. gegenüber einem Gehäuse, festgelegt werden und anschließend Synchronsitionszahnräder aufgebracht werden. Ein solches Verfahren erfordert also viele, insbesondere manuelle, Einzelschritte. Hierfür sind außerdem eine Vielzahl von speziellen Werkzeugen und besondere manuelle Fertigkeiten nötig.In general, the alignment of two rotors, in particular both during manufacture and during maintenance or repair, requires a great deal of effort for a rotary displacement vacuum pump. In an exemplary method of aligning two rotors of a prior art rotary displacement vacuum pump, the rotors are aligned by defining gaps existing between rotor profiles by feeler gauges including rotors, e.g. relative to a housing, are fixed and then Synchronsitionszahnräder be applied. Such a method thus requires many, in particular manual, individual steps. This also requires a variety of special tools and special manual skills.

Es ist eine Aufgabe der Erfindung, die Ausrichtung von zwei Rotoren einer Rotationsverdrängervakuumpumpe, insbesondere Schraubenvakuumpumpe, zu vereinfachen.It is an object of the invention to simplify the alignment of two rotors of a rotary displacement vacuum pump, in particular screw vacuum pump.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 gelöst, und insbesondere durch die Schritte: Vorsehen von jeweils einer Ausrichtfläche an den Rotoren derart, dass die Ausrichtflächen in einem ausgerichteten Zustand der Rotoren in einer vorbestimmten Orientierung relativ zueinander stehen, Ausrichten der Rotoren anhand der Ausrichtflächen mittels eines an die Ausrichtflächen in der vorbestimmten Orientierung angepassten Werkzeugs.This object is achieved by a method according to claim 1, and in particular by the steps: providing each of an alignment surface on the rotors such that the alignment surfaces in an aligned state of the rotors in a predetermined orientation relative to each other, aligning the rotors based on the alignment surfaces by means adapted to the alignment surfaces in the predetermined orientation tool.

Durch das Werkzeug werden also die Rotoren in besonders einfacher Weise ausgerichtet. Das erfindungsgemäße Verfahren benötigt prinzipiell keine Vielzahl von Werkzeugen, sondern lediglich eines. Auch dieses kann zwar ein Spezialwerkzeug sein, jedoch wird auch hierdurch schon die Ausrichtung vereinfacht. Auch sind grundsätzlich keine besonderen manuellen Fertigkeiten dafür nötig, das Werkzeug mit den Ausrichtflächen zusammenzubringen. Diejenige Person, welche die Ausrichtung durchführt, benötigt also beispielsweise keine besondere oder nur eine kürzere entsprechende Ausbildung bzw. Einlernung.By the tool so the rotors are aligned in a particularly simple manner. The inventive method requires in principle no variety of tools, but only one. Although this may be a special tool, but also this orientation is already simplified. Also, no special manual skills are needed to bring the tool into alignment with the alignment surfaces. For example, the person who carries out the alignment does not need any special or only a shorter corresponding training or learning.

Grundsätzlich ist es vorteilhaft, die Ausrichtflächen derart anzuordnen und/oder auszubilden, dass sie eine Pumpwirkung der Rotationsverdrängervakuumpumpe nicht oder nur unwesentlich beeinflussen oder beeinträchtigen.In principle, it is advantageous to arrange and / or to design the alignment surfaces in such a way that they do not or only insignificantly influence or impair a pump action of the rotary displacement vacuum pump.

Wenigstens eine der Ausrichtflächen kann z.B. als Abflachung ausgebildet werden. Diese sind besonders einfach herstellbar. Ebenfalls einfach lässt sich wenigstens eine der Ausrichtflächen herstellen, wenn sie durch einen Schlitz gebildet wird. Beispielsweise kann die Ausrichtfläche mittels eines Fräsers ausgebildet werden, insbesondere indem dieser quer, insbeondere zumindest im Wesentlichen senkrecht zur Rotorachse bewegt wird.At least one of the alignment surfaces may be e.g. be formed as a flattening. These are particularly easy to produce. It is also easy to produce at least one of the alignment surfaces if it is formed by a slot. For example, the alignment surface can be formed by means of a milling cutter, in particular by being moved transversely, in particular at least substantially perpendicularly to the rotor axis.

Insoweit im Rahmen dieser Offenbarung Merkmale in Bezug auf wenigstens eine der Ausrichtflächen beschrieben werden, können diese Merkmale insbesondere für zwei, insbesondere beide, oder mehrere Ausrichtflächen vorgesehen sein.Insofar as features relating to at least one of the alignment surfaces are described in the context of this disclosure, these features can be provided in particular for two, in particular both, or a plurality of alignment surfaces.

Bei einer Weiterbildung werden die Ausrichtflächen in zumindest im Wesentlichen gleicher axialer Position an den Rotoren angeordnet. Hierdurch muss durch das Werkzeug kein Abstand längs der Rotoren ausgeglichen werden. Das Werkzeug kann also verhältnismäßig klein ausgebildet sein. Außerdem führt dies zu einer vorteilhaften Kraftverteilung im Werkzeug.In a development, the alignment surfaces are arranged in at least substantially the same axial position on the rotors. This must be through the Tool no distance along the rotors are compensated. The tool can therefore be made relatively small. In addition, this leads to an advantageous distribution of force in the tool.

Beispielsweise kann wenigstens eine der Ausrichtflächen eben ausgebildet sein. Eine ebene Ausrichtfläche ist, beispielsweise durch einen Fräser, ebenfalls einfach zu fertigen und ist für eine Anlage des Werkzeugs und eine Kraftverteilung vorteilhaft.For example, at least one of the alignment surfaces may be flat. A flat alignment surface is also easy to manufacture, for example by a milling cutter, and is advantageous for installation of the tool and a force distribution.

Insbesondere kann wenigstens eine der Ausrichtflächen senkrecht zu einer Rotorachse des entsprechenden Rotors verlaufen.In particular, at least one of the alignment surfaces may be perpendicular to a rotor axis of the corresponding rotor.

Gemäß einer Weiterbildung ist vorgesehen, dass wenigstens eine der Ausrichtflächen an dem Rotor während eines Arbeitsschrittes vorgesehen wird, in dem ein Pumpprofil des Rotors ausgebildet wird. Hierdurch kann die Ausrichtfläche besonders präzise in Relation zu dem Pumpprofil angeordnet und ausgebildet werden. Insbesondere bleibt während dieses Arbeitsschrittes eine Einspannung des Rotors bestehen, und zwar insbesondere für ein Fräsen der Ausrichtfläche und ein Fräsen des Pumpprofils, insbesondere Schraubenprofils.According to one embodiment, it is provided that at least one of the alignment surfaces is provided on the rotor during a working step in which a pumping profile of the rotor is formed. As a result, the alignment surface can be arranged and formed in a particularly precise manner in relation to the pump profile. In particular, a clamping of the rotor remains during this step, in particular for a milling of the alignment surface and a milling of the pumping profile, in particular screw profile.

Bei noch einer Weiterbildung werden die Ausrichtflächen jeweils an einer Position am Rotor vorgesehen, die sich in einem montierten Zustand der Pumpe in einem Schöpfraum, insbesondere in einem Ausstoßraum, befindet. Der Begriff "Schöpfraum" bezieht sich auf das gesamte Prozessgasvolumen innerhalb des Gehäuses der Pumpe. Im Schöpfraum und insbesondere im Ausstoßraum ist verhältnismäßig viel Platz, sodass das Werkzeug hierdurch einfach und zuverlässig eingesetzt werden kann.In a further development, the alignment surfaces are each provided at a position on the rotor, which is located in a mounted state of the pump in a pump chamber, in particular in an ejection space. The term "suction space" refers to the total volume of process gas within the housing of the pump. In the pump chamber and in particular in the ejection space is relatively much space, so that the tool can be used thereby easily and reliably.

Insbesondere kann das Werkzeug zum Ausrichten der Rotoren durch einen Einlass oder einen Auslass der Pumpe in das Gehäuse eingeführt werden. Dies hat den Vorteil, dass die Rotoren bei der Ausrichtung, insbesondere vollständig, im Gehäuse angeordnet sein können. Beispielsweise kann vor der Ausrichtung und/oder vor Aufbringen von Drehmomentübertragungselementen und/oder Synchronisierungselementen auf die Rotoren eine Lagerung und/oder eine Dichtung montiert werden. Dabei sind Gehäuse, Lagerung und/oder Dichtung insbesondere für die Rotationsverdrängervakuumpumpe im fertigen Zustand vorgesehen und werden nach der Ausrichtung, insbesondere vor der Fertigstellung, nicht mehr demontiert. Außerdem lässt sich somit das Werkzeug besonders einfach durch Öffnungen, also Einlass und Auslass, einführen, die ohnehin bei einer Vakuumpumpe vorgesehen sind. Es muss also insbesondere kein zusätzlicher Zugang vorgesehen sein.In particular, the tool for aligning the rotors may be inserted into the housing through an inlet or outlet of the pump. this has the advantage that the rotors in the alignment, in particular completely, can be arranged in the housing. For example, a bearing and / or a seal can be mounted on the rotors prior to the alignment and / or before the application of torque transmission elements and / or synchronization elements. In this case, housing, storage and / or seal are provided in particular for the Rotationsverdrängervakuumpumpe in the finished state and are no longer dismantled after alignment, especially before completion. In addition, the tool can thus be particularly easily introduced through openings, ie inlet and outlet, which are provided anyway in a vacuum pump. In particular, therefore, no additional access must be provided.

Mit Vorteil kann vorgesehen sein, dass die Ausrichtflächen jeweils im ausgerichteten Zustand der Rotoren in Bezug auf einen Rotorquerschnitt symmetrisch angeordnet sind.It can be advantageously provided that the alignment surfaces are arranged symmetrically in each case in the aligned state of the rotors with respect to a rotor cross-section.

An wenigstens einem Rotor kann gegenüber seiner Ausrichtfläche eine korrespondierende Form vorgesehen werden. Hierdurch wird eine entsprechende Unwucht im Rotor vermieden.At least one rotor can be provided with a corresponding shape with respect to its alignment surface. As a result, a corresponding imbalance in the rotor is avoided.

Bei einer Weiterbildung wird wenigstens eine der Ausrichtflächen in axialer Richtung auf einer Seite eines pumpaktiven Bereichs des Rotors vorgesehen, auf der auch ein Drehmomentübertragungselement, insbesondere Synchronisierungselement, insbesondere ein Zahnrad eines Synchronisierungsgetriebes, am Rotor vorgesehen, insbesondere befestigt, wird. Somit wird vermieden, dass bei Montage des Drehmomentübertragungselements auftretende Drehmomente über den pumpaktiven Bereich des Rotors, insbesondere sein Pumpprofil, geleitet wird. Stattdessen wird das Drehmoment vom Werkzeug aufgenommen. Dies erlaubt für den Fall, dass Drehmomente bei der Montage zu erwarten sind, eine präzisere Ausrichtung. Beispielsweise kann wenigstens eine der Ausrichtflächen in axialer Richtung zwischen einem Zahnradsitz und einem pumpaktiven Bereich des Rotors vorgesehen werden.In a further development, at least one of the alignment surfaces in the axial direction is provided on one side of a pump-active region of the rotor, on which a torque transmission element, in particular a synchronization element, in particular a gear of a synchronization gear provided on the rotor, in particular fixed. Thus, it is avoided that occurring during assembly of the torque transmitting element torques on the pump-active region of the rotor, in particular his pumping profile, is passed. Instead, the torque is absorbed by the tool. This allows a more precise alignment in the event that torques are expected during assembly. For example, at least one of the alignment surfaces in axial Direction between a gear seat and a pump active region of the rotor can be provided.

Eine Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass das Werkzeug zur Anlage an die Ausrichtflächen der Rotoren im ausgerichteten Zustand jeweils eine Kooperationsfläche aufweist, wobei die Kooperationsflächen eine Keilform bilden. Hierdurch lässt sich das Werkzeug besonders präzise an die Ausrichtflächen anlegen. Beispielsweise bei parallelen Ausricht- und Kooperationsflächen muss ein gewisses Spiel zum Einführen des Werkzeugs vorgesehen werden. Dagegen lässt sich die Keilform praktisch spielfrei herstellen bzw. an die Ausrichtflächen anlegen. Es lässt sich also eine besonders genaue Ausrichtung der Rotoren gewährleisten.A development is characterized in that the tool for abutment with the alignment surfaces of the rotors in the aligned state in each case has a cooperation surface, wherein the cooperation surfaces form a wedge shape. This allows the tool to be applied particularly precisely to the alignment surfaces. For example, in parallel alignment and cooperation surfaces a certain clearance for insertion of the tool must be provided. On the other hand, the wedge shape can be produced practically free of play or applied to the alignment surfaces. It can thus ensure a particularly accurate alignment of the rotors.

Insbesondere kann die Keilform selbsthemmend ausgebildet sein. In diesem Fall werden etwaige Drehmomente in den Rotoren automatisch vom Werkzeug aufgenommen und die Ausrichtung lässt sich noch präziser durchführen. Außerdem muss das Werkzeug hierdurch nicht gesondert in Position gehalten werden, wofür gegebenenfalls ein zusätzliches Haltewerkzeug nötig wäre.In particular, the wedge shape may be self-locking. In this case, any torques in the rotors are automatically absorbed by the tool and the alignment can be performed even more precisely. In addition, the tool does not have to be kept separately in position, which would possibly require an additional holding tool.

Die Keilform kann beispielsweise einen Winkel zwischen 1° und 10°, insbesondere über 3° und/oder unter 8°, insbesondere etwa 6° aufweisen. Dabei sind die Begriffe "über" und "unter" inklusive der angegebenen Werte zu verstehen.The wedge shape may for example have an angle between 1 ° and 10 °, in particular over 3 ° and / or below 8 °, in particular about 6 °. The terms "above" and "below" include the specified values.

Insbesondere kann das Werkzeug zur Anlage an die Ausrichtflächen der Rotoren im ausgerichteten Zustand jeweils eine Kooperationsfläche aufweisen, wobei die Rotoren dadurch ausgerichtet werden, dass die Kooperationsflächen in Anlage mit den Ausrichtflächen gebracht werden.In particular, the tool for abutment with the alignment surfaces of the rotors in the aligned state may each have a cooperation surface, wherein the rotors are aligned by bringing the cooperation surfaces into contact with the alignment surfaces.

Beispielsweise können die Rotoren durch das Werkzeug in eine ausgerichtete Position gedreht werden. Z.B. kann das Werkzeug zur Ausrichtung zwischen die Rotoren geführt werden, insbesondere in einer Richtung zumindest im Wesentlichen senkrecht zur Rotorachse. Dabei kann die nötige Kraft zur Drehung der Rotoren beispielsweise ausschließlich über Werkzeug eingeleitet werden. Alternativ kann z.B. an zugänglichen Rotorenden manuell die Drehung unterstützt werden.For example, the rotors can be rotated by the tool into an aligned position. For example, the tool can be guided for alignment between the rotors, in particular in one direction at least substantially perpendicular to the rotor axis. In this case, the force required to rotate the rotors can be introduced, for example, exclusively by means of tools. Alternatively, the rotation can be supported manually on accessible rotor ends, for example.

Die Aufgabe der Erfindung wird auch durch ein Verfahren gemäß Anspruch 12 gelöst, und insbesondere dadurch, dass die Rotoren anhand von an den Rotoren vorgesehenen Ausrichtflächen mittels eines an die Ausrichtflächen angepassten Werkzeugs ausgerichtet werden.The object of the invention is also achieved by a method according to claim 12, and in particular by the fact that the rotors are aligned by means of aligning surfaces provided on the rotors by means of a tool adapted to the aligning surfaces.

Die Aufgabe der Erfindung wird auch durch eine Rotationsverdrängervakuumpumpe gemäß Anspruch 13 gelöst, und zwar insbesondere dadurch, dass die Rotoren jeweils eine Ausrichtfläche zum Ausrichten der Rotoren aufweisen.The object of the invention is also achieved by a Rotationsverdrängervakuumpumpe according to claim 13, in particular in that the rotors each have an alignment surface for aligning the rotors.

Die Aufgabe der Erfindung wird auch durch ein Werkzeug gemäß Anspruch 14 gelöst, und insbesondere dadurch, dass das Werkzeug zwei Kooperationsflächen jeweils zur Anlage an eine Ausrichtfläche eines jeweiligen Rotors der Rotatationsverdrängervakuumpumpe aufweist.The object of the invention is also achieved by a tool according to claim 14, and in particular by the fact that the tool has two cooperation surfaces each for abutment with an alignment surface of a respective rotor of the Rotatationsverdrängervakuumpumpe.

Das Werkzeug kann beispielsweise einen Ausrichtabschnitt und/oder einen Halteabschnitt aufweisen. Beide können z.B. als separate Teile ausgebildet sein und beispielsweise fest verbunden, beispielsweise verschraubt und/oder verschweißt sein. Der Ausrichtabschnitt, insbesondere dessen Kooperationsfläche, kann insbesondere durch spanenende Bearbeitung ausgebildet sein, wodurch eine hohe Präzision erreicht werden kann. Der Halteabschnitt kann beispielsweise mit geringer Präzision hergestellt werden und beispielsweise als, inbesondere gebogenes, Blechteil ausgebildet sein.The tool may have, for example, an alignment section and / or a holding section. Both can e.g. be designed as separate parts and, for example, firmly connected, for example screwed and / or welded. The alignment section, in particular its cooperation surface, can in particular be formed by machining, whereby a high precision can be achieved. The holding section can be produced for example with low precision and, for example, be designed as, in particular curved, sheet metal part.

Die Kooperationsflächen können insbesondere eine, beispielsweise symmetrische, Keilform bilden. Insbesondere können die Kooperationsflächen und Ausrichtflächen an den Rotoren eben und/oder im ausgerichteten Zustand zumindest im Wesentlichen spielfrei aneinander anlegbar ausgebildet sein.The cooperation surfaces can in particular form a, for example symmetrical, wedge shape. In particular, the cooperation surfaces and alignment surfaces be flat against the rotors and / or aligned in the aligned state at least substantially without play abutment against each other.

Die Aufgabe der Erfindung wird auch durch ein System gemäß Anspruch 15 gelöst.The object of the invention is also achieved by a system according to claim 15.

Die hierin beschriebenen Verfahren, Pumpen, Werkzeuge und Systeme lassen sich im Sinne von beliebigen Merkmalen der hierin beschriebenen Ausführungsformen bzw. Weiterbildungen von Verfahren, Pumpen, Werkzeugen und Systemen vorteilhaft weiterbilden.The methods, pumps, tools, and systems described herein may be advantageously developed in accordance with any features of the embodiments or refinements of methods, pumps, tools, and systems described herein.

Ein erfindungsgemäßes Werkzeug bzw. eine erfindungsgemäße Ausrichtung kann beispielsweise auch ein Verfahren zum Vermessen von Schraubenrotoren einer Schraubenvakuumpumpe vereinfachen. Bei einem beispielhaften solchen Vermessungsverfahren werden gepaarte Rotoren auf einem Rollenbock abgelegt und drehbar gelagert. Die Rotoren werden über das Werkzeug ausgerichtet. Synchronisierungszahnräder, insbesondere Dummy-Zahnräder, werden auf die Rotoren aufgebracht. Das Werkzeug wird entfernt. Die Rotoren werden gegeneinander abgewälzt, wobei mit Fühlerlehren ein Mindestspaltmaß entlang der Rotororen ermittelt wird. Ein maximales Spaltmaß muss z.B. nicht ermittelt werden, da es für einen Enddruck der Pumpe entscheidend ist und hierüber leicht bestimmbar ist und insbesondere ohnehin im Rahmen einer Endkontrolle bestimmt wird. Die Erfindung erleichtert also nicht nur die Herstellung einer Pumpe, sondern auch die Vermessung von Rotoren.A tool according to the invention or an alignment according to the invention can, for example, also simplify a method for measuring screw rotors of a screw vacuum pump. In an exemplary such surveying method paired rotors are stored on a roller block and stored rotatably. The rotors are aligned over the tool. Synchronization gears, in particular dummy gears, are applied to the rotors. The tool is removed. The rotors are rolled against each other, with feeler gauge a Mindestspaltmaß along the rotor is determined. A maximum gap must be e.g. can not be determined because it is crucial for a final pressure of the pump and this is easily determinable and in particular anyway determined during a final inspection. Thus, the invention not only facilitates the manufacture of a pump, but also the measurement of rotors.

Ein beispielhaftes Verfahren zur Herstellung einer beispielhaften Schraubenvakuumpumpe mit zwei in einem Gehäuse angeordneten Rotoren wird im Folgenden beschrieben.An exemplary method of manufacturing an exemplary screw vacuum pump having two rotors disposed within a housing will be described below.

Die Rotoren werden zunächst in einen Schöpfraum der Pumpe bzw. in das Gehäuse eingesetzt. Vor einer Ausrichtung bzw. Synchronisation werden zwei Lagerschilde mit jeweiligen Lagern, einschließlich Fest- und Loslagern, und Dichtung montiert, sodass die Rotoren vollständig mittels der endgültigen Lageranordnung gelagert sind.The rotors are first inserted into a pumping chamber of the pump or into the housing. Prior to alignment, two end shields are mounted with respective bearings, including fixed and floating bearings, and gasket so that the rotors are fully supported by the final bearing assembly.

Je nach Anordnung von Ausrichtflächen wird ein Ausrichtwerkzeug durch einen Einlass- oder Auslassflansch in den Schöpfraum eingeführt. Der Einlassflansch ist in der Regel größer als der Auslassflansch. Daher sind die Ausrichtflächen insbesondere in einem Einlass- oder Ansaugbereich des Schöpfraumes vorgesehen, um einen besonders leichten Zugang zu gewährleisten. Die Anordnung von Komponenten auf den jeweiligen Rotoren wird vorteilhafterweise so gewählt, dass eine Torsion der Rotoren durch montagebedingte Drehmomente minimal ist, also z.B. derart, dass Zahnräder am gleichen Rotorende und in der Nähe der Ausrichtflächen bzw. der Werkzeugposition angeordnet sind.Depending on the arrangement of alignment surfaces, an alignment tool is introduced into the suction space through an inlet or outlet flange. The inlet flange is usually larger than the outlet flange. Therefore, the alignment surfaces are provided in particular in an inlet or suction of the suction chamber, to ensure a particularly easy access. The arrangement of components on the respective rotors is advantageously chosen so that torsion of the rotors by assembly-related torques is minimal, e.g. such that gear wheels are arranged on the same rotor end and in the vicinity of the alignment surfaces or the tool position.

Die Rotoren weisen z.B. Abflachungen als Ausrichtflächen zur Anlage des Werkzeugs auf. Um Unwuchten zu vermeiden, weist jeder Rotor ein symmetrisch angeordnetes Paar von Abflachungen auf, also eine zusätzliche Abflachung zum Ausgleich der als Ausrichtfläche dienenden Abflachung. Insbesondere bei einem zweigängigen Schraubenprofil kann dadurch eine besonders hohe Wuchtgüte, insbesondere bereits vor einem Wuchten der Rotoren erreicht werden.The rotors have e.g. Flattening as alignment surfaces for installation of the tool. In order to avoid imbalances, each rotor has a symmetrically arranged pair of flattenings, ie an additional flattening to compensate for the flattening serving as the alignment surface. In particular, in the case of a double-flighted screw profile, a particularly high balancing quality, in particular even before balancing the rotors, can thereby be achieved.

Die Ausrichtflächen der Rotoren werden vor der Montage gemeinsam mit deren Schraubenprofil spanend gefertigt. Dabei kann eine jeweilige Ausrichtfläche als Bezug für die Fertigung des Profils dienen. Dies kann die Grundlage für eine besonders präzise Ausrichtung bilden. Die Ausrichtfläche kann beispielsweise auch als Bezug für eine Vermessung eines jeweiligen Rotors, z.B. durch eine 3D-Koordinatenmessmaschine, genutzt werden.The alignment surfaces of the rotors are machined before assembly together with their screw profile. In this case, a respective alignment surface serve as a reference for the production of the profile. This can form the basis for a particularly precise alignment. The alignment surface can also be used, for example, as a reference for a measurement of a respective rotor, for example by a 3D coordinate measuring machine.

Zur Ausrichtung der Rotoren wird das Werkzeug zwischen die Rotoren geführt. Ein Ausrichtabschnitt des Werkzeugs ist z.B. keilförmig ausgebildet und verdreht die beiden Rotoren gegeneinander bis das Werkzeug beidseitig eben anliegt. Dies ermöglicht eine spielfreie Anlage des Werkzeugs, eine hohe Ausrichtgenauigkeit und verhältnismäßig große Fertigungstoleranzen für Werkzeug und Ausrichtflächen, insbesondere im Vergleich zu parallelen Ausrichtflächen bzw. Kooperationsflächen des Werkzeugs. Winkel und/oder Abstand der Flächen sind insbesondere so zu wählen, dass Drehmomente während der Montage aufgenommen werden können und nur eine verhältnismäßig geringe Einstecktiefe für das Werkzeug nötig ist. Beispielsweise kann ein selbsthemmender Winkel zwischen 1° und 10°, insbesondere zwischen 3° und 8°, insbesondere etwa 6° zwischen den Ausrichtflächen im ausgerichteten Zustand bzw. zwischen Kooperationsflächen des Werkzeugs zur Anlage mit Ausrichtflächen vorgesehen sein.To align the rotors, the tool is guided between the rotors. An alignment portion of the tool is e.g. formed wedge-shaped and rotated the two rotors against each other until the tool rests flat on both sides. This allows a play-free installation of the tool, a high alignment accuracy and relatively large manufacturing tolerances for tools and alignment surfaces, in particular in comparison to parallel alignment surfaces or cooperation surfaces of the tool. Angle and / or distance of the surfaces are in particular to be chosen so that torques can be absorbed during assembly and only a relatively small insertion depth for the tool is necessary. For example, a self-locking angle between 1 ° and 10 °, in particular between 3 ° and 8 °, in particular about 6 ° between the alignment in the aligned state or between cooperation surfaces of the tool to be provided with alignment surfaces.

Das Werkzeug umfasst einen präzise gefertigten Ausrichtabschnitt und einen kostengünstig hergestellten Halteabschnitt, der mit dem Ausrichtabschnitt z.B. über Schrauben verbunden oder verschweißt ist.The tool comprises a precisely machined alignment section and a low cost manufactured retaining section which is connected to the alignment section e.g. connected by screws or welded.

Zahnräder eines Synchronisierungsgetriebes werden nach Montage der Rotoren im Gehäuse am Rotor montiert, wobei eingeleitete Drehmomente über das Werkzeug aufgenommen werden. Durch die Zahnräder bzw. das Synchronisierungsgetriebe werden die Rotoren zueinander synchronisiert. Anschließend wird das Werkzeug entfernt.Gears of a synchronization gear are mounted after mounting the rotors in the housing on the rotor, wherein introduced torques are absorbed by the tool. By the gears or the synchromesh the rotors are synchronized with each other. Then the tool is removed.

Die Erfindung wird nachfolgend lediglich beispielhaft anhand der schematischen Zeichnung erläutert.

Fig. 1
zeigt eine Schraubenvakuumpumpe in perspektivischer Ansicht.
Fig. 2
zeigt die Schraubenvakuumpumpe der Fig. 1 in einer Draufsicht.
Fig. 3
zeigt die Schraubenvakuumpumpe der Fig. 1 und 2 in einer Seitenansicht.
Fig. 4
zeigt eine Schnittansicht der Schraubenvakuumpumpe entlang einer in Fig. 3 angedeuteten Schnittebene A-A.
Fig. 5
zeigt einen Tauchkühler der Schraubenvakuumpumpe der Fig. 1 bis 4.
Fig. 6
zeigt in einer perspektivischen Schnittdarstellung einen Ansaugbereich der Schraubenvakuumpumpe der Fig. 1 bis 4.
Fig. 7
zeigt den Ansaugbereich in einer weiteren Schnittdarstellung mit einem Werkzeug zur Ausrichtung von zwei Rotoren der Schraubenvakuumpumpe der Fig. 1 bis 4.
Fig. 8
zeigt die Schnittdarstellung der Fig. 7 in einer Vorderansicht.
Fig. 9
zeigt ein Werkzeug zum Ausrichten von Rotoren, wie es in den Fig. 7 und 8 bei einem Ausrichtvorgang gezeigt ist.
The invention will now be described by way of example only with reference to the schematic drawing.
Fig. 1
shows a screw vacuum pump in a perspective view.
Fig. 2
shows the screw vacuum pump the Fig. 1 in a top view.
Fig. 3
shows the screw vacuum pump the Fig. 1 and 2 in a side view.
Fig. 4
shows a sectional view of the screw vacuum pump along a in Fig. 3 indicated section plane AA.
Fig. 5
shows a submerged cooler of the screw vacuum pump of Fig. 1 to 4 ,
Fig. 6
shows in a perspective sectional view of a suction of the screw vacuum pump of Fig. 1 to 4 ,
Fig. 7
shows the intake in a further sectional view with a tool for aligning two rotors of the screw vacuum pump Fig. 1 to 4 ,
Fig. 8
shows the sectional view of Fig. 7 in a front view.
Fig. 9
shows a tool for aligning rotors, as in the Fig. 7 and 8th is shown in an alignment process.

In den Fig. 1 bis 3 ist eine Schraubenvakuumpumpe 10 gezeigt, die einen Motor 12, einen Getriebekasten 14, ein Gehäuse 16, einen Lagerschild 18 sowie einen Deckel 20 aufweist. Die Schraubenvakuumpumpe 10 fördert ein Prozessgas von einem Einlass 22 zu einem nach unten gerichteten, in Fig. 3 sichtbaren Auslass 24.In the Fig. 1 to 3 a screw vacuum pump 10 is shown, which has a motor 12, a gear box 14, a housing 16, a bearing plate 18 and a cover 20. The screw vacuum pump 10 delivers a process gas from an inlet 22 to a downward, in Fig. 3 visible outlet 24.

Für den Motor 12 ist eine aktive Flüssigkeitskühlung vorgesehen, die aus einem Gehäuse des Motors 12 austritt. Für im Inneren des Gehäuses 16 angeordnete und in Fig. 4 sichtbare Schraubenrotoren 28 und 30 ist ebenfalls eine aktive Flüssigkeitskühlung vorgesehen, die zwei Kühlleitungen aufweist, welche in Fig. 1 nicht dargestellt sind, deren Verlauf aber durch entsprechende Nuten 32 des Gehäuses 16 angedeutet ist, in die die Kühlleitungen eingepresst werden. Des Weiteren sind aktive Flüssigkeitskühlungen im Getriebekasten 14 und im Deckel 20 vorgesehen und hier jeweils als Tauchkühler 34 ausgebildet, die unten anhand von Fig. 5 näher erläutert werden.For the engine 12, an active liquid cooling is provided which emerges from a housing of the engine 12. For arranged in the interior of the housing 16 and in Fig. 4 visible screw rotors 28 and 30 is also provided an active liquid cooling, which has two cooling lines, which in Fig. 1 are not shown, but their course is indicated by corresponding grooves 32 of the housing 16, in which the cooling lines are pressed. Furthermore, active liquid coolers are provided in the gear box 14 and in the lid 20 and are each formed here as immersion coolers 34, which are described below with reference to FIG Fig. 5 be explained in more detail.

Wie es in den Fig. 1 bis 4 ersichtlich ist, weist das Gehäuse 16 der Schraubenvakuumpumpe 10 eine Taillierung 36 auf. Die Taillierung 36 ist im Bereich des Auslasses 24 angeordnet.As it is in the Fig. 1 to 4 it can be seen, the housing 16 of the screw vacuum pump 10 has a sidecut 36. The sidecut 36 is arranged in the region of the outlet 24.

In Fig. 4 ist die Schraubenvakuumpumpe 10 in einer Schnittansicht gezeigt, deren Schnittebene der Linie A-A in Fig. 3 entspricht. Es sind zwei Schraubenrotoren 28 und 30 sichtbar, die jeweils zweigängige, ineinandergreifende Schraubenprofile 38 und 40 aufweisen, die mit Hilfe eines Zykloidenprofil generiert sind und eine zylindrische Hüllkontur sowie eine zylindrische Grundform des Schraubengrundes aufweisen. Die Schraubenprofile 38 und 40 bilden in Zusammenwirkung mit dem Gehäuse 16 einen pumpaktiven Bereich der Schraubenvakuumpumpe 10 und fördern wiederholt abgeschlossene Fördervolumina des Prozessgases vom Einlass 22 zum Auslass 24, in Fig. 4 also von links nach rechts.In Fig. 4 the screw vacuum pump 10 is shown in a sectional view, the sectional plane of the line AA in Fig. 3 equivalent. There are two screw rotors 28 and 30 visible, each having zweigängige, interlocking screw profiles 38 and 40, which are generated by means of a cycloid profile and have a cylindrical envelope contour and a cylindrical basic shape of the screw base. The screw profiles 38 and 40, in cooperation with the housing 16, form a pump-active area of the screw vacuum pump 10 and repeatedly deliver closed volumes of delivery of the process gas from the inlet 22 to the outlet 24, in FIG Fig. 4 from left to right.

Die Pumpleistung der Schraubenvakuumpumpe 10 hängt von Größe und Gestalt verschiedener Spalte im pumpaktiven Bereich ab, die aufgrund der Relativbewegung von Rotoren 28, 30 und Gehäuse 16 zwar unvermeidbar sind, jedoch zwecks guter Pumpleistung klein und möglichst konstant zu halten sind. Temperaturänderungen in den beteiligten Bauteilen führen zu deren Formänderung. Die hierin beschriebenen Maßnahmen zur Vermeidung, Abführung und im Allgemeinen Beherrschung von Wärme in der Pumpe 10 bewirken somit eine möglichst geringe Formänderung und in der Folge möglichst beherrschbare Spalte. Die Spalte können also präziser ausgelegt werden, was die Pumpleistung bzw. ihre Effizienz verbessert.The pumping power of the screw vacuum pump 10 depends on the size and shape of different gaps in the pump active region, which are unavoidable due to the relative movement of rotors 28, 30 and housing 16, but are small and as constant as possible for the purpose of good pumping performance. Temperature changes in the components involved lead to their change in shape. The avoidance, release and general measures described herein Control of heat in the pump 10 thus cause the least possible change in shape and as a result controllable column as possible. The gaps can therefore be designed more precisely, which improves the pumping power and its efficiency.

Der Schraubenrotor 28 wird direkt, also ohne zwischengeschaltete Kupplung, von dem Motor 12 angetrieben. Der Schraubenrotor 30 wird dagegen über ein Synchronisierungsgetriebe 42 mit Zahnrädern 43 in einem definierten Winkelverhältnis zum Schraubenrotor 28 angetrieben.The screw rotor 28 is directly, so without intermediate clutch, driven by the motor 12. The screw rotor 30, in contrast, is driven via a synchronization gear 42 with toothed wheels 43 in a defined angular relationship with the screw rotor 28.

Der Motor 12 umfasst ein Gehäuse 44, welches zum Beispiel aus Aluminium hergestellt ist und in welchem Kühlleitungen 26 für die aktive Flüssigkeitskühlung ausgebildet sind. Der Motor 12 umfasst außerdem einen gewickelten Stator 46, der zusammen mit einem auf einem Wellenende des Schraubenrotors 28 angebrachten Magnetträger 48 einen elektrischen Motor und einen Direktantrieb für den Schraubenrotor 28 bildet. Der Schraubenrotor 28 bildet einen Läufer des Motors 12. Der Magnetträger 48 umfasst eine Mehrzahl an Permanentmagneten. Der Motor 12 bildet also eine Permanentmagnetsynchronmaschine mit innenliegenden Magneten, welche auch als IPMSM bezeichnet wird.The motor 12 comprises a housing 44, which is made of aluminum, for example, and in which cooling lines 26 for the active liquid cooling are formed. The motor 12 further includes a wound stator 46 which, together with a magnet carrier 48 mounted on a shaft end of the screw rotor 28, forms an electric motor and a direct drive for the screw rotor 28. The screw rotor 28 forms a rotor of the motor 12. The magnet carrier 48 comprises a plurality of permanent magnets. The motor 12 thus forms a permanent magnet synchronous machine with internal magnets, which is also referred to as IPMSM.

Der Stator 46 ist in einem Vergusskörper 50 angeordnet, welcher nicht näher dargestellte elektrische Leiter beim Stator 46 isoliert und diese isoliert zu einer Platine 52 führt. Der Vergusskörper 50 bildet hier in Verbindung mit der Platine 52 einen vakuumdichten Anschluss des Motors 12 an eine in einem Bereich atmosphärischen Drucks vorgesehene Steuerungselektronik. Es kann z.B. ein externer Frequenzumrichter für den Motor 12 vorgesehen sein. Alternativ oder zusätzlich kann auf der Platine 52 zumindest ein Teil einer Steuerungselektronik für den Motor 12 vorgesehen sein.The stator 46 is arranged in a potting body 50 which isolates electrical conductors (not shown) at the stator 46 and leads them in isolation to a circuit board 52. The potting body 50 here, in conjunction with the circuit board 52, forms a vacuum-tight connection of the motor 12 to an electronic control system provided in a region of atmospheric pressure. For example, an external frequency converter for the motor 12 may be provided. Alternatively or additionally, at least part of control electronics for the motor 12 may be provided on the circuit board 52.

In dem Getriebekasten 14 ist das Synchronisierungsgetriebe 42 angeordnet. Im Getriebekasten 14 ist außerdem Öl als Schmiermittel vorgesehen, welches durch Spritzscheiben 54 über das Synchronisierungsgetriebe 42 und benachbarte Lager 56 verteilt wird.In the gear box 14, the synchronization gear 42 is arranged. In the gear box 14 also oil is provided as a lubricant, which is distributed by splash disks 54 via the synchronization gear 42 and adjacent bearings 56.

Die Tailllierung 36 bildet eine Abschirmung bzw. eine Wärmebarriere, und zwar insbesondere für Wärme, die im Bereich der Schraubenrotoren 28, 30 während des Pumpbetriebs produziert wird. Dadurch, dass ein geringer Materialquerschnitt verbleibt, und dadurch, dass durch die Formänderung ein Wärmepfad verlängert ist, wird die Wärme vom Schraubenrotor, die sich ansonsten im Gehäuse 16 ausbreitet, daran gehindert, in jenseitige Bereiche zu gelangen. So werden insbesondere das Öl im Getriebekasten 14 und die Lager 56 vor zu hohen Temperaturen geschützt. Der im Getriebekasten 14 angeordnete Tauchkühler 34 trägt ebenfalls zur Temperaturreduzierung bei. Dieser ist in einem nicht dargestellten Ölbad des Getriebekastens 14 angeordnet und kühlt somit das Öl direkt.The waist 36 forms a shield or thermal barrier, in particular for heat produced in the area of the screw rotors 28, 30 during the pumping operation. Characterized in that a small material cross-section remains, and in that a heat path is extended by the change in shape, the heat from the screw rotor, which otherwise spreads in the housing 16, prevented from entering into otherworldly areas. In particular, the oil in the gear box 14 and the bearings 56 are protected from excessive temperatures. The immersion cooler 34 arranged in the gearbox 14 also contributes to the temperature reduction. This is arranged in an oil bath of the gear box 14, not shown, and thus cools the oil directly.

Für einen jeweiligen Schraubenrotor 28 bzw. 30 ist benachbart zu den Lagern 56, die hier eine Festlagerung bilden, eine als Deflektor 58 ausgebildete Schmiermittel-Abführeinrichtung vorgesehen. Ein jeweiliger Deflektor 58 bildet eine Barriere für das Öl im Getriebekasten, damit es nicht in einen pumpaktiven Bereich oder einen Vakuumbereich, hier insbesondere einen Auslassbereich, gelangt. Der Deflektor 58 umfasst eine nicht näher veranschaulichte Abschleuderkante für das Öl. Gegenüber der Abschleuderkante ist im Gehäuse 16 eine Ablaufnut ausgebildet, die abgeschleudertes Öl aufnimmt und dieses zurück in den Getriebekasten 14 bzw. in ein dortiges Ölbad leitet. Das Öl, welches durch die Spritzscheiben 54 auf Getriebe 42 und Lager 56 gefördert bzw. verteilt wird, wird somit durch die Deflektoren 58 wieder von den Rotoren 28 bzw. 30 abgeführt.For a respective screw rotor 28 and 30 is adjacent to the bearings 56, which form a fixed bearing here, designed as a deflector 58 lubricant discharge device. A respective deflector 58 forms a barrier for the oil in the gearbox so that it does not enter a pump-active region or a vacuum region, in particular an outlet region. The deflector 58 includes an unspecified Abschleuderkante for the oil. Opposite the Abschleuderkante a drain groove is formed in the housing 16, which absorbs thrown off oil and this passes back into the gear box 14 and in a local oil bath. The oil, which is conveyed or distributed by the spray disks 54 on the gear 42 and bearing 56, is thus removed by the deflectors 58 again from the rotors 28 and 30 respectively.

Als dynamische Fluiddichtung sind Kolbenringe auf einem Kolbenringträger 60 vorgesehen. Diese bilden eine berührungslose Dichtung und vermeiden somit Reibungswärme. Die Deflektoren 58 führen möglichst viel Öl zum Getriebekasten 14 zurück, sodass bereits möglichst wenig Öl an den Kolbenringen ansteht. So wird eine insgesamt zuverlässige Dichtwirkung bei besonders geringer Wärmeproduktion erreicht.As a dynamic fluid seal, piston rings are provided on a piston ring carrier 60. These form a non-contact seal and thus avoid frictional heat. The Deflektoren 58 lead back as much oil to the gearbox 14, so that as little as possible oil is present at the piston rings. This achieves an overall reliable sealing effect with particularly low heat production.

Die Schraubenrotoren 28 und 30 weisen in ihrem jeweiligen Schraubenprofil 38 bzw. 40 drei Abschnitte unterschiedlicher Steigung auf. Ein in Pumprichtung erster Abschnitt 62, in Fig. 4 links, bildet einen Ansaugabschnitt und weist eine konstante und die größte Steigung unter den drei Abschnitten auf. Der erste Abschnitt 62 ist in Bezug auf eine Schraubenachse 63, die entlang eines jeweiligen Rotors 28 bzw. 30 verläuft, länger als ein abschlossenes Fördervolumen im ersten Abschnitt. Ein zweiter Abschnitt 64 weist mehrere Unterabschnitte, die nicht näher referenziert sind, mit verschiedenen aber jeweils konstanten Steigungen im Schraubenprofil 38 bzw. 40 auf, wobei die Steigungen niedriger sind, als im ersten Abschnitt. Der zweite Abschnitt 64 bildet hier den längsten Abschnitt. Ein dritter Abschnitt 66 mit noch niedrigerer Steigung bildet einen Ausstoßabschnitt. Im dritten Abschnitt liegt wiederum eine konstante Steigung vor. Durch die entlang der Pumprichtung verminderte Steigung wird eine innere Verdichtung bewirkt, die das Prozessgas schon vor dem Ausstoßen verdichtet.The screw rotors 28 and 30 have in their respective screw profile 38 and 40, three sections of different pitch. A in pumping direction first section 62, in Fig. 4 left, forms a suction section and has a constant and the largest slope under the three sections. The first portion 62 is longer than a closed delivery volume in the first portion with respect to a screw axis 63 extending along a respective rotor 28, 30, respectively. A second portion 64 has a plurality of subsections, which are not further referenced, with different but each constant pitches in the screw profile 38 and 40, wherein the slopes are lower than in the first section. The second section 64 forms the longest section here. A third section 66 of even lower pitch forms an ejection section. In the third section, again, there is a constant slope. Due to the reduced slope along the pumping direction, an internal compression is effected, which compresses the process gas even before the ejection.

Die Rotoren 28, 30 bzw. die Schraubenprofile 38, 40 lassen sich durch das Vorsehen der konstanten Abschnitte besonders einfach auslegen und fertigen. Wie es anhand von Fig. 4 ersichtlich ist, führt ein verlängerter erster Abschnitt 62 zu entsprechend verlängerten Spalten zwischen den Schraubenprofilen 28, 30 und dem Gehäuse 16, sodass der Weg bzw. die Spalte von der inneren Verdichtung am Übergang der Abschnitte 62 und 64 hin zu einem Schöpfraum oder Ansaugbereich 67 länger ist. Entsprechend erhöht ist also die Dichtwirkung der Spalte, was insbesondere bei hohen Differenzdrücken zu einer verbesserten Abdichtung der inneren Verdichtung gegenüber dem Ansaugbereich 67 führt.The rotors 28, 30 and the screw profiles 38, 40 can be particularly easy to design and manufacture by providing the constant sections. As it is based on Fig. 4 As can be seen, an extended first portion 62 leads to correspondingly elongated gaps between the screw profiles 28, 30 and the housing 16, so that the path or the gap from the inner compression at the transition of the sections 62 and 64 towards a suction chamber or suction area 67 longer is. Accordingly, the sealing effect of the column is increased accordingly especially at high differential pressures leads to an improved sealing of the inner compression relative to the suction region 67.

Die Schraubenvakuumpumpe 10 weist also eine innere Verdichtung auf. Die Schraubenrotoren 28, 30 der Pumpe 10 schließen in Zusammenwirkung mit dem Gehäuse 16 wiederholt abgeschlossene Fördervolumina ein. Deren Größe ist an einem einlassseitigen Ende bzw. im Abschnitt 62 größer als an einem auslassseitigen Ende bzw. im Abschnitt 62. Die Größe eines Fördervolumens wird durch einen Querschnitt eines Schraubenprofils 38, 40 und dessen Steigung bestimmt.The screw vacuum pump 10 thus has an internal compression. The screw rotors 28, 30 of the pump 10, in cooperation with the housing 16, repeatedly closed delivery volumes. Their size is greater at an inlet-side end or in section 62 than at an outlet-side end or in section 62. The size of a delivery volume is determined by a cross-section of a screw profile 38, 40 and its pitch.

Die Größe eines Fördervolumens auf der Einlassseite bzw. im Abschnitt 62 bestimmt ein theoretisches Saugvermögen der Schraubenpumpe 10. Die Steigung des Schraubenprofils 38, 40 ist einlassseitig über Abschnitt 62 konstant, damit das Fördervolumen erst nach Abschluss durch die innere Verdichtung komprimiert wird. Schließt ein jeweiliger Rotor 28, 30 ein jeweiliges Fördervolumen zu früh oder zu spät bzw. beginnt die innere Verdichtung zu früh, sinkt das theoretische Saugvermögen der Pumpe.The size of a delivery volume on the inlet side or in the section 62 determines a theoretical pumping speed of the screw pump 10. The pitch of the screw profile 38, 40 is constant on the inlet side over section 62, so that the delivery volume is compressed only after completion by the internal compression. If a respective rotor 28, 30 closes a respective delivery volume too early or too late, or if the internal compression begins too early, the theoretical pumping speed of the pump decreases.

Die Größe eines jeweiligen Fördervolumens auf der Auslassseite bzw. im Abschnitt 66 bestimmt die Leistungsaufnahme der Pumpe im Betrieb bei einem erreichbaren Enddruck. Das Verhältnis der Größen des Fördervolumens an Einlassseite und Auslasseite bzw. in den Abschnitten 62 und 66 entspricht dem Verhältnis der inneren Verdichtung der Pumpe.The size of a respective delivery volume on the outlet side or in section 66 determines the power consumption of the pump in operation at an achievable final pressure. The ratio of the sizes of the delivery volume on the inlet side and outlet side or in the sections 62 and 66 corresponds to the ratio of the internal compression of the pump.

In Abschnitt 66 ist die Steigung über mehrere Umdrehungen des Schraubenprofils 38, 40 konstant. Die Steigung entspricht dabei in etwa dem Minimum der durch ein bestimmtes Bearbeitungswerkzeug erreichbaren Steigung und ist somit, insbesondere unter Kostenabwägung, fertigungstechnisch bedingt. Dadurch, dass mehrere Umdrehungen, also mehrere abgeschlossene Fördervolumina, im Abschnitt 66 vorgesehen sind, wird eine Rückströmung infolge einer Druckdifferenz zwischen den Spalten ausgeglichen. Insgesamt bestimmen insbesondere der gesamte Steigungsverlauf entlang der Rotoren 28, 30 und die Größe der sich zwischen den Rotoren 28, 30 und zwischen Rotoren 28, 30 und dem Gehäuse 16 ausbildenden Spalte die vakuumtechnischen Leistungsdaten der Pumpe, also insbesondere das Saugvermögen und einen erreichbaren Enddruck.In section 66, the pitch over several revolutions of the screw profile 38, 40 is constant. The slope corresponds approximately to the minimum of achievable by a particular machining tool pitch and is thus, in particular with cost considerations, manufacturing technology. Due to the fact that several revolutions, that is to say a plurality of closed delivery volumes, are provided in section 66, a return flow due to a pressure difference between balanced in the columns. Overall, in particular the overall gradient along the rotors 28, 30 and the size of the gaps formed between the rotors 28, 30 and between rotors 28, 30 and the housing 16 determine the vacuum performance data of the pump, ie in particular the pumping speed and an achievable final pressure.

Die Schraubenprofile 38, 40 weisen durch ihre zweigängige Ausgestaltung eine besonders geringe Unwucht auf. Es sind also beispielsweise keine Ausgleichselemente, wie z.B. Ausgleichsmassen, die zusätzlichen Bauraum erfordern, und/oder Ausgleichsbohrungen, in denen sich Material ablagern kann, notwendig. Die Pumpe kann mit den zweigängigen Zykloidenschraubenprofilen 38, 40 in einem weiten Drehzahlbereich, insbesondere mit Drehzahlregelung, und/oder beispielsweise in einer Stand-By-Betriebsart betrieben werden.The screw profiles 38, 40 have by their zweigängige configuration on a particularly low imbalance. Thus, for example, there are no compensating elements, such as e.g. Compensation masses that require additional space, and / or compensation holes, in which material can deposit, necessary. The pump can be operated with the two-speed cycloidal screw profiles 38, 40 in a wide speed range, in particular with speed control, and / or for example in a stand-by mode.

Die Verdichtung des Prozessgases im Allgemeinen erzeugt Wärme, die bei der Schraubenpumpe 10 vornehmlich durch eine Flüssigkeitskühlung abgeführt wird. In Fig. 4 sind die hierfür vorgesehenen Nuten 32 sichtbar. Kühlleitungen der Flüssigkeitskühlung erstrecken sich hier und vorzugsweise in Längsrichtung über einen weiten Bereich der Schraubenprofile, insbesondere über wenigstens die Hälfte der Länge der Schraubenprofile. Insbesondere ist die Flüssigkeitskühlung im Bereich oder in der Nähe einer inneren Verdichtung angeordnet.The compression of the process gas in general generates heat, which is dissipated in the screw pump 10 primarily by a liquid cooling. In Fig. 4 the grooves 32 provided for this purpose are visible. Cooling lines of the liquid cooling extend here and preferably in the longitudinal direction over a wide range of screw profiles, in particular over at least half the length of the screw profiles. In particular, the liquid cooling is arranged in the region or in the vicinity of an internal compression.

An einem einlassseitigen Ende des Gehäuses 16 ist der Lagerschild 18 befestigt. Dieser trägt unter anderem eine weitere Lagerung mit Lagern 68, die eine Loslagerung bilden. Im Gegensatz zu einem gegenüberliegenden, an einem auslassseitigen Gehäuseende angeordneten Lagerschild 70, der integral mit dem Gehäuse 16 ausgebildet ist aber auch separat ausgebildet sein kann, ist der Lagerschild 68 als separates Bauteil ausgebildet, kann jedoch auch integral ausgebildet sein.At an inlet end of the housing 16 of the bearing plate 18 is attached. This carries, inter alia, a further storage with bearings 68, which form a loose storage. In contrast to an opposite, arranged at an outlet side housing end bearing plate 70 which is formed integrally with the housing 16 but may also be formed separately, the bearing plate 68 is formed as a separate component, but may also be integrally formed.

Einlassseitig sind ebenfalls Spritzscheiben 54, Deflektoren 58 und ein Kolbenringträger 60 mit mehreren Kolbenringen vorgesehen, die entsprechend der auslassseitigen Anordung arbeiten. Einlassseitig ist ein weiteres, separat ausgeführtes Ölbad im Deckel 20 vorgesehen. Auch für dieses Ölbad ist ein Tauchkühler 34 vorgesehen. Alternativ oder zusätzlich kann auch beispielsweise eine Kühlleitung in einer Wand des Lagerschildes 14 und/oder des Deckels 20 vorgesehen, insbesondere vergossen seinOn the inlet side, spray disks 54, deflectors 58 and a piston ring carrier 60 with a plurality of piston rings are also provided, which operate in accordance with the outlet-side arrangement. On the inlet side, a further, separately executed oil bath is provided in the lid 20. Also for this oil bath a dip cooler 34 is provided. Alternatively or additionally, for example, a cooling line in a wall of the bearing plate 14 and / or the cover 20 may be provided, in particular encapsulated

Am Anfang eines Abpumpvorganges durch die Pumpe 10 herrscht gewöhnlich am Einlass 22 im Wesentlichen der gleiche Druck wie am Auslass. Während des Abpumpens sinkt dagegen der Druck am Einlass 22 bis hin zu einem Enddruck, der hinsichtlich resultierender Kräfte im Wesentlichen Null ist. Somit übt der Druck am Auslass 24 eine Kraft auf die Rotoren 28, 30 aus, die anders ist als am Anfang des Abpumpvorgangs. Um diese Kraft auszugleichen kann z.B. eine Vorspanneinrichtung, insbesondere eine Feder, vorgesehen sein, die insbesondere bei einem Loslager des Rotors und/oder einlassseitig vorgesehen ist. Die Vorspanneinrichtung kann beispielsweise auch durch schräg verzahnte Zahnräder auf die Rotoren wirkende Kräfte aufnehmen und/oder generell eine auslegungsgerechte Vorspannung der Lager unabhängig vom Betriebszustand bei sich verändernden Drücken bzw. Druckverhältnissen gewährleisten.At the beginning of a pumping operation by the pump 10, there is usually substantially the same pressure at the inlet 22 as at the outlet. On the other hand, during the pumping down, the pressure at inlet 22 drops to a final pressure that is substantially zero with respect to resultant forces. Thus, the pressure at the outlet 24 exerts a force on the rotors 28, 30 which is different than at the beginning of the pumping operation. To compensate for this force, e.g. a biasing device, in particular a spring, be provided, which is provided in particular at a floating bearing of the rotor and / or inlet side. The biasing device can for example also absorb forces acting on the rotors by means of helical gears and / or generally guarantee a design-appropriate preloading of the bearings, regardless of the operating state, with changing pressures or pressure ratios.

In Fig. 5 ist ein Tauchkühler 34 dargestellt, wie er im Getriebekasten 14 bzw. im Deckel 20 der Schraubenvakuumpumpe 10 angeordnet ist. In dieser Ausführungsform sind die Tauchkühler 34 also identisch ausgebildet, was zu einer geringen Teilevielfalt und geringen Herstellungskosten führt.In Fig. 5 a dip cooler 34 is shown as it is arranged in the gear box 14 and in the cover 20 of the screw vacuum pump 10. In this embodiment, the immersion coolers 34 are thus formed identically, which leads to a small number of parts and low production costs.

Der Tauchkühler 34 weist eine Kühlleitung 72 auf, die durch einen Kühlkörper 74 verläuft. Der Kühlkörper weist eine Strukturierung zur Erhöhung der Oberfläche des Kühlkörpers auf, um die Wärmeübertragung zu optimieren. Der Tauchkühler 34 weist außerdem einen Flansch 76 auf, mit dem der Tauchkühler 34 befestigt wird.The immersion cooler 34 has a cooling line 72 which extends through a heat sink 74. The heat sink has a structuring to increase the surface of the heat sink in order to optimize the heat transfer. The immersion cooler 34 also has a flange 76 with which the immersion cooler 34 is attached.

In Fig. 6 ist der Ansaugbereich 67 der Schraubenvakuumpumpe 10 in einer perspektivischen Schnittansicht veranschaulicht. Im Ansaugbereich 67 sind jeweilige ansaugseitige Enden der Schraubenprofile 38 und 40 angeordnet, die infolge ihrer Rotation und in Zusammenwirken mit einer Kante einer Abschlussfläche 77 wiederholt Fördervolumina abschließen und entlang der Rotorachsen zum Auslass 24 fördern.In Fig. 6 the suction region 67 of the screw vacuum pump 10 is illustrated in a perspective sectional view. In the suction region 67, respective suction-side ends of the screw profiles 38 and 40 are arranged which, due to their rotation and in cooperation with an edge of a closing surface 77, repeatedly close up delivery volumes and convey along the rotor axes to the outlet 24.

Die Schraubenrotoren 28 und 30 weisen jeweils eine Ausrichtfläche 78 auf, von denen in Fig. 6 nur diejenige des Rotors 28 sichtbar ist. Außerdem weisen beide Rotoren 28 und 30 eine der Ausrichtfläche 78 jeweils gegenüberliegende korrespondierende Form bzw. eine Ausgleichsfläche 80 auf. Von den Ausgleichsflächen 80 ist in Fig. 6 wiederum nur diejenige des Rotors 30 sichtbar. Die Ausgleichsfläche 80 vermeidet eine Umwucht durch die entsprechende Ausrichtfläche 78.The screw rotors 28 and 30 each have an alignment surface 78, of which in Fig. 6 only that of the rotor 28 is visible. In addition, both rotors 28 and 30 have an alignment surface 78 respectively opposite corresponding shape or a compensation surface 80. Of the compensation surfaces 80 is in Fig. 6 again only that of the rotor 30 visible. The compensation surface 80 avoids a balancing by the corresponding alignment surface 78th

Die Ausrichtfläche 78 ist hier jeweils als eine Abflachung ausgebildet, die durch einen gefrästen Schlitz im Rotor gebildet ist. Der Schlitz verläuft senkrecht zur Rotorachse. Die Ausrichtfläche 78 ist von Wänden 79 flankiert. Zweckmäßigerweise ist hier die Ausgleichsfläche 80 entsprechend ausgebildet.The alignment surface 78 is here in each case formed as a flattening, which is formed by a milled slot in the rotor. The slot runs perpendicular to the rotor axis. The alignment surface 78 is flanked by walls 79. Conveniently, here the compensation surface 80 is formed accordingly.

In Fig. 7 ist ein Ausrichtvorgang für die Schraubenrotoren 28, 30 mittels eines Werkzeugs 82 gezeigt. Das Werkzeug 82 bzw. die Rotoren 28, 30 sind dabei in einer ausgerichteten Stellung bzw. einem ausgerichteten Zustand gezeigt. Kooperationsflächen 84 des Werkzeugs 82, von denen in Fig. 7 aufgrund der Perspektive nur diejenige sichtbar ist, die dem Rotor 30 zugewandt ist, befinden sich in Anlage mit den Ausrichtflächen 78.In Fig. 7 an alignment process for the screw rotors 28, 30 is shown by means of a tool 82. The tool 82 and the rotors 28, 30 are shown in an aligned position or an aligned state. Cooperation surfaces 84 of the tool 82, of which in Fig. 7 because of the perspective, only the one that is facing the rotor 30 is visible, are in contact with the alignment surfaces 78th

Die Position des Werkzeugs 82 hinsichtlich einer Richtung senkrecht zu den Rotoren 28, 30, hier in Richtung oben-unten bzw. in Längsrichtung des Werkzeugs, bestimmt im Wesentlichen die Ausrichtung der Rotoren 28, 30. Um eine Bewegung des Werkzeugs 82 im Wesentlichen nur in dieser Richtung zu ermöglichen, bilden die Wände 79 eine Führung für das Werkzeug 82.The position of the tool 82 with respect to a direction perpendicular to the rotors 28, 30, here in the up-down or longitudinal direction of the tool, substantially determines the orientation of the rotors 28, 30. To substantially prevent movement of the tool 82 in only allow this direction, the walls 79 form a guide for the tool 82nd

Das Werkzeug 82 ist zur Ausrichtung der Rotoren 28, 30 durch den Einlass 22 in den Schöpfraum, hier in den. Ansaugbereich 67 der Schraubenvakuumpumpe 10 eingeführt. Im Schöpfraum sind auch die Ausrichtflächen 78 angeordnet. Das Werkzeug 82 lässt sich also sehr einfach zur Ausrichtung der Rotoren 28, 30 einführen. Insbesondere sind die Rotoren 28, 30 zum Zeitpunkt der Ausrichtung bereits vollständig gelagert und abgedichtet und müssen nicht aufwendig vorher separat ausgerichtet werden.The tool 82 is for aligning the rotors 28, 30 through the inlet 22 in the suction chamber, here in the. Intake portion 67 of the screw vacuum pump 10 introduced. In the scoop space and the alignment surfaces 78 are arranged. The tool 82 can therefore very easily be used to align the rotors 28, 30. In particular, the rotors 28, 30 are already fully supported and sealed at the time of alignment, and do not have to be separately aligned beforehand.

Anhand der Seitenansicht der Fig. 8 wird das Zusammenwirken von Werkzeug 82 und Rotoren 28, 30 weiter veranschaulicht. Wie es in Fig. 8 ersichtlich ist, sind die Kooperationsflächen 84 eben und keilförmig in Bezug zueinander ausgebildet. In der gezeigten, ausgerichteten Stellung liegen die Kooperationsflächen 84 spielfrei an den Ausrichtflächen 78 an. In dieser Stellung sind entsprechend auch die Ausrichtflächen 78 V-förmig und symmetrisch ausgerichtet.Based on the side view of Fig. 8 The interaction of tool 82 and rotors 28, 30 is further illustrated. As it is in Fig. 8 can be seen, the cooperation surfaces 84 are flat and wedge-shaped with respect to each other. In the illustrated, aligned position, the cooperation surfaces 84 rest against the alignment surfaces 78 without play. In this position, the alignment surfaces 78 are correspondingly V-shaped and symmetrically aligned.

Um die Rotoren 28, 30 in die ausgerichtete Stellung zu bringen, bedarf es lediglich der Einführung des Werkzeugs 82 von oben mit einer gewissen Kraft. Durch das Werkzeug 82 werden die Rotoren 28, 30 dabei in die ausgerichtete Stellung verdreht.To bring the rotors 28, 30 in the aligned position, it only requires the introduction of the tool 82 from above with a certain force. By the tool 82, the rotors 28, 30 thereby rotated in the aligned position.

Die Kooperationsflächen 84 sind derart zueinander ausgerichtet, dass das Werkzeug 82 selbsthemmend ausgebildet ist. Ein in einem Schraubenrotor 28, 30 auftretendes Drehmoment führt daher nicht zu einer Verschiebung des Werkzeugs 82 und zu einer Abweichung von der ausgerichteten Stellung. Stattdessen werden Drehmomente in den Rotoren 28, 30 automatisch durch das Werkzeug 82 aufgenommen.The cooperation surfaces 84 are aligned with each other such that the tool 82 is self-locking. Therefore, a torque occurring in a screw rotor 28, 30 does not result in a displacement of the tool 82 and a deviation from the aligned position. Instead, become Torques in the rotors 28, 30 are automatically absorbed by the tool 82.

Das Werkzeug 82 ist in Fig. 9 einzeln gezeigt. Es ist zweiteilig ausgebildet und umfasst einen Ausrichtabschnitt 86 und einen Halteabschnitt 88. Der Ausrichtabschnitt 86 ist präzise mittels eines Fräsverfahrens hergestellt. Der Halteabschnitt 88 ist als gebogenes Blechteil ausgebildet und lässt sich somit sehr kostengünstig herstellen. Der Ausrichtabschnitt 86 ist mit dem Halteabschnitt 88 verschraubt. Es ist ersichtlich, dass das Werkzeug 82 relativ klein und flach ist. Es ist sehr handlich und insgesamt relativ kostengünstig herstellbar.The tool 82 is in Fig. 9 shown individually. It is formed in two parts and comprises an alignment section 86 and a holding section 88. The alignment section 86 is manufactured precisely by means of a milling method. The holding portion 88 is formed as a bent sheet metal part and can thus be produced very inexpensively. The alignment portion 86 is bolted to the retaining portion 88. It can be seen that the tool 82 is relatively small and flat. It is very handy and overall relatively inexpensive to produce.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

1010
SchraubenvakuumpumpeScrew vacuum pump
1212
Motorengine
1414
Getriebekastengearbox
1616
Gehäusecasing
1818
Lagerschildend shield
2020
Deckelcover
2222
Einlassinlet
2424
Auslassoutlet
2626
Kühlleitungcooling line
2828
Schraubenrotorscrew rotor
3030
Schraubenrotorscrew rotor
3232
Nutgroove
3434
Tauchkühlerimmersion cooler
3636
Taillierungsidecut
3838
Schraubenprofilscrews profile
4040
Schraubenprofilscrews profile
4242
Synchronisierungsgetriebesynchronizing gear
4343
Zahnradgear
4444
Gehäusecasing
4646
Statorstator
4848
Magnetträgermagnet carrier
5050
Vergusskörperpotting
5252
Platinecircuit board
5454
Spritzscheibesplasher
5656
Lagerwarehouse
5858
Deflektordeflector
6060
KolbenringträgerPiston ring carrier
6262
erster Abschnittfirst section
6363
Schraubenachsescrew axis
6464
zweiter Abschnittsecond part
6666
dritter Abschnittthird section
6767
Ansaugbereichsuction
6868
Lagerwarehouse
7070
Lagerschildend shield
7272
Kühlleitungcooling line
7474
Kühlkörperheatsink
7676
Flanschflange
7777
Abschlussflächeend surface
7878
Ausrichtflächealignment
7979
Wandwall
8080
Ausgleichsflächecompensation area
8282
WerkzeugTool
8484
Kooperationsflächecooperation area
8686
Ausrichtabschnittaligner
8888
Halteabschnittholding section

Claims (15)

Verfahren zum Herstellen einer Rotationsverdrängervakuumpumpe, insbesondere Schraubenvakuumpumpe (10),
mit den Schritten: Bereitstellen eines Gehäuses (16), Bereitstellen von zwei pumpaktiv ausgebildeten Rotoren (28, 30) zur Anordnung in dem Gehäuse (16), Vorsehen von jeweils einer Ausrichtfläche (78) an den Rotoren (28, 30) derart, dass die Ausrichtflächen (78) in einem ausgerichteten Zustand der Rotoren (28, 30) in einer vorbestimmten Orientierung relativ zueinander stehen, Ausrichten der Rotoren (28, 30) anhand der Ausrichtflächen (78) mittels eines an die Ausrichtflächen (78) in der vorbestimmten Orientierung angepassten Werkzeugs (82).
Method for producing a rotary displacement vacuum pump, in particular screw vacuum pump (10),
with the steps: Providing a housing (16), Providing two pump-active rotors (28, 30) for arrangement in the housing (16), Providing in each case one alignment surface (78) on the rotors (28, 30) such that the alignment surfaces (78) are in a predetermined orientation relative to one another in an aligned state of the rotors (28, 30), Aligning the rotors (28, 30) on the basis of the alignment surfaces (78) by means of a tool (82) adapted to the alignment surfaces (78) in the predetermined orientation.
Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass
wenigstens eine der Ausrichtflächen (78) als Abflachung ausgebildet wird.
Method according to claim 1,
characterized in that
at least one of the alignment surfaces (78) is formed as a flattening.
Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Ausrichtflächen (78) in zumindest im Wesentlichen gleicher axialer Position an den Rotoren (28, 30) angeordnet werden.
Method according to claim 1 or 2,
characterized in that
the alignment surfaces (78) are arranged in at least substantially the same axial position on the rotors (28, 30).
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
wenigstens eine der Ausrichtflächen (78) an dem Rotor (28, 30) während eines Arbeitsschrittes vorgesehen wird, in dem ein Pumpprofil (38, 40) des Rotors (28, 30) ausgebildet wird.
Method according to at least one of the preceding claims,
characterized in that
at least one of the alignment surfaces (78) on the rotor (28, 30) is provided during a step in which a pumping profile (38, 40) of the rotor (28, 30) is formed.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Ausrichtflächen (78) jeweils an einer Position am Rotor (28, 30) vorgesehen werden, die sich in einem montierten Zustand der Pumpe (10) in einem Schöpfraum (67), insbesondere in einem Ausstoßraum, befindet.
Method according to at least one of the preceding claims,
characterized in that
the alignment surfaces (78) are each provided at a position on the rotor (28, 30), which is in a mounted state of the pump (10) in a suction chamber (67), in particular in a discharge space.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Werkzeug (82) zum Ausrichten der Rotoren (28, 30) durch einen Einlass (22) oder einen Auslass der Pumpe in das Gehäuse eingeführt wird.
Method according to at least one of the preceding claims,
characterized in that
the tool (82) for directing the rotors (28, 30) through an inlet (22) or an outlet of the pump is introduced into the housing.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Ausrichtflächen (78) jeweils im ausgerichteten Zustand der Rotoren (28, 30) in Bezug auf einen Rotorquerschnitt symmetrisch angeordnet sind.
Method according to at least one of the preceding claims,
characterized in that
the alignment surfaces (78) are each arranged symmetrically in the aligned state of the rotors (28, 30) with respect to a rotor cross-section.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
wenigstens eine der Ausrichtflächen (78) in axialer Richtung auf einer Seite eines pumpaktiven Bereichs des Rotors (28, 30) vorgesehen wird, auf der auch ein Drehmomentübertragungselement (43) am Rotor (28, 30) vorgesehen wird.
Method according to at least one of the preceding claims,
characterized in that
at least one of the alignment surfaces (78) is provided in the axial direction on one side of a pump active region of the rotor (28, 30) on which a torque transmission element (43) is also provided on the rotor (28, 30).
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Werkzeug (82) zur Anlage an die Ausrichtflächen (78) der Rotoren (28, 30) im ausgerichteten Zustand jeweils eine Kooperationsfläche (84) aufweist, wobei die Kooperationsflächen (84) eine Keilform bilden
Method according to at least one of the preceding claims,
characterized in that
the tool (82) for abutment with the alignment surfaces (78) of the rotors (28, 30) in the aligned state each have a cooperation surface (84), wherein the cooperation surfaces (84) form a wedge shape
Verfahren nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet, dass
die Keilform selbsthemmend ausgebildet ist.
Method according to claim 9,
characterized in that
the wedge shape is self-locking.
Verfahren nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, dass
das Werkzeug (82) zur Anlage an die Ausrichtflächen (78) der Rotoren (28, 30) im ausgerichteten Zustand jeweils eine Kooperationsfläche (84) aufweist, wobei die Rotoren (28, 30) dadurch ausgerichtet werden, dass die Kooperationsflächen (84) in Anlage mit den Ausrichtflächen (78) gebracht werden.
Method according to at least one of the preceding claims,
characterized in that
the tool (82) for abutment with the alignment surfaces (78) of the rotors (28, 30) in the aligned state each having a cooperation surface (84), wherein the rotors (28, 30) are aligned by the cooperation surfaces (84) in Plant with the alignment surfaces (78) are brought.
Verfahren zum Ausrichten von Rotoren (28, 30) einer Rotationsverdrängervakuumpumpe, insbesondere Schraubenvakuumpumpe (10),
wobei die Rotoren (28, 30) anhand von an den Rotoren (28, 30) vorgesehenen Ausrichtflächen (78) mittels eines an die Ausrichtflächen (78) angepassten Werkzeugs (82) ausgerichtet werden.
Method for aligning rotors (28, 30) of a rotary displacement vacuum pump, in particular screw vacuum pump (10),
wherein the rotors (28, 30) are aligned by means of an alignment surface (78) provided on the rotors (28, 30) by means of a tool (82) adapted to the alignment surfaces (78).
Rotationsverdrängervakuumpumpe, insbesondere Schraubenvakuumpumpe (10), insbesondere hergestellt durch ein Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 11, mit
einem Gehäuse (16) und zwei pumpaktiv ausgebildeten Rotoren (28, 30), die in dem Gehäuse (16) angeordnet sind,
wobei die Rotoren (28,30) jeweils eine Ausrichtfläche (78) zum Ausrichten der Rotoren (28, 30) aufweisen.
Rotationsverdrängervakuumpumpe, in particular screw vacuum pump (10), in particular produced by a method according to one of claims 1 to 11, with
a housing (16) and two pump-active rotors (28, 30), which are arranged in the housing (16),
wherein the rotors (28,30) each have an alignment surface (78) for aligning the rotors (28, 30).
Werkzeug (82) zum Ausrichten von Rotoren (28, 30) einer Rotationsverdrängervakuumpumpe (10), wobei das Werkzeug (82) zwei Kooperationsflächen (84) jeweils zur Anlage an eine Ausrichtfläche (78) eines jeweiligen Rotors (28, 30) der Rotatationsverdrängervakuumpumpe (10) aufweist.A tool (82) for aligning rotors (28, 30) of a rotary displacement vacuum pump (10), the tool (82) having two co-operating surfaces (84) each for engagement with an alignment surface (78) of a respective rotor (28, 30) of the rotary displacement vacuum pump (10). 10). System umfassend eine Rotationsverdrängervakuumpumpe gemäß Anspruch 13 und ein Werkzeug gemäß Anspruch 14.A system comprising a rotary displacement vacuum pump according to claim 13 and a tool according to claim 14.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2024025289A (en) * 2022-08-12 2024-02-26 株式会社日立産機システム Screw compressor and method for assembling the same

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1018982A (en) * 1996-07-03 1998-01-20 Hitachi Techno Eng Co Ltd Adjusting method for position between rotors of screw compressor
US6027322A (en) * 1997-10-29 2000-02-22 Coltec Industries Inc Method and apparatus for adjusting the rotors of a rotary screw compressor
EP2182215A2 (en) * 2008-11-03 2010-05-05 Cardinal Health 203, Inc. Roots-type blower rotor alignment method and apparatus
EP2532895A1 (en) * 2011-06-06 2012-12-12 Vacuubrand Gmbh + Co Kg Vacuum pump with pump rotor bearings on a single side

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52129006A (en) * 1976-04-19 1977-10-29 Honda Motor Co Ltd Rotor assembly method for screw type rotary machine
JPS6069281A (en) * 1984-08-01 1985-04-19 Hitachi Ltd Screw hydraulic machine
JPS61197789A (en) * 1985-02-23 1986-09-02 Toyota Motor Corp Relative revolution phase adjustor for rotor in roots type fluid feeder
JP2007023848A (en) * 2005-07-14 2007-02-01 Hitachi Ltd Two stage screw compressor
WO2008152713A1 (en) * 2007-06-13 2008-12-18 Kashiyama Industries, Ltd. Roots pump and method of producing roots pump
JP3181159U (en) * 2012-10-03 2013-01-31 伏虎金属工業株式会社 Washer member and twin screw pump using the same
DE102013111547B4 (en) 2013-10-21 2021-01-21 Sick Ag Sensor with a scanning unit that can be moved around the axis of rotation

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1018982A (en) * 1996-07-03 1998-01-20 Hitachi Techno Eng Co Ltd Adjusting method for position between rotors of screw compressor
US6027322A (en) * 1997-10-29 2000-02-22 Coltec Industries Inc Method and apparatus for adjusting the rotors of a rotary screw compressor
EP2182215A2 (en) * 2008-11-03 2010-05-05 Cardinal Health 203, Inc. Roots-type blower rotor alignment method and apparatus
EP2532895A1 (en) * 2011-06-06 2012-12-12 Vacuubrand Gmbh + Co Kg Vacuum pump with pump rotor bearings on a single side

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