EP3499040B1

EP3499040B1 - Screw vacuum pump

Info

Publication number: EP3499040B1
Application number: EP17207550.9A
Authority: EP
Inventors: Peter Huber; Harald Martin
Original assignee: Pfeiffer Vacuum GmbH
Current assignee: Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority date: 2017-12-15
Filing date: 2017-12-15
Publication date: 2020-03-25
Anticipated expiration: 2037-12-15
Also published as: JP2019113063A; EP3499040A1; JP7266399B2

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Rotationsverdrängervakuumpumpe, insbesondere Schraubenvakuumpumpe, bei dem ein Gehäuse und zwei pumpaktiv ausgebildete Rotoren zur Anordnung in dem Gehäuse bereitgestelt werden.The present invention relates to a method for producing a rotary displacement vacuum pump, in particular a screw vacuum pump, in which a housing and two pump-active rotors are provided for arrangement in the housing.

Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Ausrichten von Rotoren einer Rotationsverdrängervakuumpumpe, insbesondere Schraubenvakuumpumpe.The invention also relates to a method for aligning the rotors of a rotary displacement vacuum pump, in particular a screw vacuum pump.

Ferner betrifft die Erfindung eine Rotationsverdrängervakuumpumpe, insbesondere Schraubenvakuumpumpe, mit einem Gehäuse und zwei pumpaktiv ausgebildeten Rotoren, die in dem Gehäuse angeordnet sind.Furthermore, the invention relates to a rotary displacement vacuum pump, in particular a screw vacuum pump, with a housing and two pump-active rotors which are arranged in the housing.

Die Erfindung betrifft des Weiteren ein Werkzeug zum Ausrichten zweier Rotoren einer Rotationsverdrängervakuumpumpe.The invention further relates to a tool for aligning two rotors of a rotary displacement vacuum pump.

Außerdem betrifft die Erfindung ein System umfassend eine Rotationsverdrängervakuumpumpe der vorstehend genannten Art und ein Werkzeug der vorstehend genannten Art.The invention also relates to a system comprising a rotary displacement vacuum pump of the aforementioned type and a tool of the aforementioned type.

Rotationsverdrängervakuumpumpen mit zwei Rotoren weisen überlicherweise komplexe Rotorgeometrien auf. Die Rotoren müssen gegenüber einander möglichst genau ausgerichtet werden, um einen sicheren, wirksamen und effizienten Betrieb zu gewährleisten.Rotary displacement vacuum pumps with two rotors usually have complex rotor geometries. The rotors must be aligned with one another as precisely as possible to ensure safe, effective and efficient operation.

Zwei Schraubenrotoren einer beispielhaften Schraubenvakuumpumpe bilden zwischeneinander und gegenüber dem Gehäuse enge Spalte aus, die zwar zur Vermeidung von Kollision bzw. Reibung unvermeidbar sind, jedoch möglichst klein zu halten sind. Derartige Spalte betragen üblicherweise wenige Zehntelmillimeter. Daraus resultieren hohe Anforderungen an Fertigungstoleranzen und Montagegenauigkeit. Die Rotoren werden dafür relativ zueinander ausgerichtet und beispielsweise durch Aufbringen von Zahnrädern eines Synchronosierungsgetriebes in der entsprechenden Relativorientierung festgelegt. Die Druckschrift EP 2 532 895 A1 offenbart eine Schraubenvakuumpumpe mit Markierungen auf der Stirnseite der Rotoren, die eine exakte Ausrichtung ermöglichen.Two screw rotors of an exemplary screw vacuum pump form narrow gaps between one another and with respect to the housing, which are to be avoided collision or friction are unavoidable, but must be kept as small as possible. Such gaps are usually a few tenths of a millimeter. This results in high demands on manufacturing tolerances and assembly accuracy. For this purpose, the rotors are aligned relative to one another and are fixed in the corresponding relative orientation, for example, by applying gear wheels of a synchronizing gear. The publication EP 2 532 895 A1 discloses a screw vacuum pump with markings on the front of the rotors that enable precise alignment.

Die Ausrichtung kann beispielsweise dadurch erschwert werden, dass bei der Montage von Zahnrädern auf den Rotoren Drehmomente auftreten, die z.B. eine Torsion der Rotoren hervorrufen und/oder Spalte in ihrer Größe beeinflussen können.Alignment can be made more difficult, for example, by the fact that when gears are mounted on the rotors, torques occur, e.g. cause torsion of the rotors and / or can influence gaps in their size.

Im Allgemeinen erfordert die Ausrichtung von zwei Rotoren, insbesondere sowohl bei einer Herstellung als auch bei einer Wartung oder Reparatur, einer Rotationsverdrängervakuumpumpe einen großen Aufwand. Bei einem beispielhaften Verfahren zum Ausrichtung von zwei Rotoren einer Rotationsverdrängervakuumpumpe des Standes der Technik werden die Rotoren ausgerichtet, indem zwischen Rotorprofilen vorhandene Spalte durch Fühlerlehren definiert werden, die Rotoren, z.B. gegenüber einem Gehäuse, festgelegt werden und anschließend Synchronsitionszahnräder aufgebracht werden. Ein solches Verfahren erfordert also viele, insbesondere manuelle, Einzelschritte. Hierfür sind außerdem eine Vielzahl von speziellen Werkzeugen und besondere manuelle Fertigkeiten nötig.In general, the alignment of two rotors, in particular both during manufacture and during maintenance or repair, requires a large outlay for a rotary displacement vacuum pump. In an exemplary method for aligning two rotors of a prior art rotary displacement vacuum pump, the rotors are aligned by defining gaps between rotor profiles by feeler gauges that define the rotors, e.g. compared to a housing, and then synchronizing gears are applied. Such a process therefore requires many, in particular manual, individual steps. This also requires a variety of special tools and special manual skills.

Es ist eine Aufgabe der Erfindung, die Ausrichtung von zwei Rotoren einer Rotationsverdrängervakuumpumpe, insbesondere Schraubenvakuumpumpe, zu vereinfachen.It is an object of the invention to simplify the alignment of two rotors of a rotary displacement vacuum pump, in particular a screw vacuum pump.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren gemäß Anspruch 1 gelöst, und insbesondere durch die Schritte: Vorsehen von jeweils einer Ausrichtfläche an den Rotoren derart, dass die Ausrichtflächen in einem ausgerichteten Zustand der Rotoren in einer vorbestimmten Orientierung relativ zueinander stehen, Ausrichten der Rotoren anhand der Ausrichtflächen mittels eines an die Ausrichtflächen in der vorbestimmten Orientierung angepassten Werkzeugs.This object is achieved by a method according to claim 1, and in particular by the steps: providing an alignment surface on the rotors such that the alignment surfaces are in an aligned state of the rotors in FIG are in a predetermined orientation relative to one another, aligning the rotors on the basis of the alignment surfaces by means of a tool adapted to the alignment surfaces in the predetermined orientation.

Durch das Werkzeug werden also die Rotoren in besonders einfacher Weise ausgerichtet. Das erfindungsgemäße Verfahren benötigt prinzipiell keine Vielzahl von Werkzeugen, sondern lediglich eines. Auch dieses kann zwar ein Spezialwerkzeug sein, jedoch wird auch hierdurch schon die Ausrichtung vereinfacht. Auch sind grundsätzlich keine besonderen manuellen Fertigkeiten dafür nötig, das Werkzeug mit den Ausrichtflächen zusammenzubringen. Diejenige Person, welche die Ausrichtung durchführt, benötigt also beispielsweise keine besondere oder nur eine kürzere entsprechende Ausbildung bzw. Einlernung.The rotors are aligned in a particularly simple manner by the tool. In principle, the method according to the invention does not require a large number of tools, but only one. Although this can also be a special tool, this also simplifies alignment. In addition, no special manual skills are required to bring the tool together with the alignment surfaces. The person who carries out the alignment, for example, therefore does not need any special or only a shorter corresponding training or training.

Grundsätzlich ist es vorteilhaft, die Ausrichtflächen derart anzuordnen und/oder auszubilden, dass sie eine Pumpwirkung der Rotationsverdrängervakuumpumpe nicht oder nur unwesentlich beeinflussen oder beeinträchtigen.In principle, it is advantageous to arrange and / or design the alignment surfaces in such a way that they do not or only marginally influence or impair a pumping action of the rotary displacement vacuum pump.

Wenigstens eine der Ausrichtflächen kann z.B. als Abflachung ausgebildet werden. Diese sind besonders einfach herstellbar. Ebenfalls einfach lässt sich wenigstens eine der Ausrichtflächen herstellen, wenn sie durch einen Schlitz gebildet wird. Beispielsweise kann die Ausrichtfläche mittels eines Fräsers ausgebildet werden, insbesondere indem dieser quer, insbeondere zumindest im Wesentlichen senkrecht zur Rotorachse bewegt wird.At least one of the alignment surfaces can e.g. be formed as a flattening. These are particularly easy to manufacture. At least one of the alignment surfaces can also be produced in a simple manner if it is formed by a slot. For example, the alignment surface can be formed by means of a milling cutter, in particular by moving it crosswise, in particular at least substantially perpendicularly to the rotor axis.

Insoweit im Rahmen dieser Offenbarung Merkmale in Bezug auf wenigstens eine der Ausrichtflächen beschrieben werden, können diese Merkmale insbesondere für zwei, insbesondere beide, oder mehrere Ausrichtflächen vorgesehen sein.Insofar as features are described in relation to at least one of the alignment surfaces within the scope of this disclosure, these features can be provided in particular for two, in particular both, or more alignment surfaces.

Bei einer Weiterbildung werden die Ausrichtflächen in zumindest im Wesentlichen gleicher axialer Position an den Rotoren angeordnet. Hierdurch muss durch dasIn one development, the alignment surfaces are arranged on the rotors in at least substantially the same axial position. This means that

Werkzeug kein Abstand längs der Rotoren ausgeglichen werden. Das Werkzeug kann also verhältnismäßig klein ausgebildet sein. Außerdem führt dies zu einer vorteilhaften Kraftverteilung im Werkzeug.Tool no distance along the rotors can be compensated. The tool can therefore be made relatively small. In addition, this leads to an advantageous force distribution in the tool.

Beispielsweise kann wenigstens eine der Ausrichtflächen eben ausgebildet sein. Eine ebene Ausrichtfläche ist, beispielsweise durch einen Fräser, ebenfalls einfach zu fertigen und ist für eine Anlage des Werkzeugs und eine Kraftverteilung vorteilhaft.For example, at least one of the alignment surfaces can be flat. A flat alignment surface is also easy to manufacture, for example by means of a milling cutter, and is advantageous for a tool contact and a force distribution.

Insbesondere kann wenigstens eine der Ausrichtflächen senkrecht zu einer Rotorachse des entsprechenden Rotors verlaufen.In particular, at least one of the alignment surfaces can run perpendicular to a rotor axis of the corresponding rotor.

Gemäß einer Weiterbildung ist vorgesehen, dass wenigstens eine der Ausrichtflächen an dem Rotor während eines Arbeitsschrittes vorgesehen wird, in dem ein Pumpprofil des Rotors ausgebildet wird. Hierdurch kann die Ausrichtfläche besonders präzise in Relation zu dem Pumpprofil angeordnet und ausgebildet werden. Insbesondere bleibt während dieses Arbeitsschrittes eine Einspannung des Rotors bestehen, und zwar insbesondere für ein Fräsen der Ausrichtfläche und ein Fräsen des Pumpprofils, insbesondere Schraubenprofils.According to a further development, it is provided that at least one of the alignment surfaces is provided on the rotor during a work step in which a pump profile of the rotor is formed. As a result, the alignment surface can be arranged and formed particularly precisely in relation to the pump profile. In particular, the rotor remains clamped during this work step, in particular for milling the alignment surface and milling the pump profile, in particular screw profile.

Bei noch einer Weiterbildung werden die Ausrichtflächen jeweils an einer Position am Rotor vorgesehen, die sich in einem montierten Zustand der Pumpe in einem Schöpfraum, insbesondere in einem Ausstoßraum, befindet. Der Begriff "Schöpfraum" bezieht sich auf das gesamte Prozessgasvolumen innerhalb des Gehäuses der Pumpe. Im Schöpfraum und insbesondere im Ausstoßraum ist verhältnismäßig viel Platz, sodass das Werkzeug hierdurch einfach und zuverlässig eingesetzt werden kann.In another development, the alignment surfaces are each provided at a position on the rotor which, when the pump is assembled, is located in a scooping area, in particular in an ejection area. The term "scoop chamber" refers to the total process gas volume within the pump housing. There is a relatively large amount of space in the scooping area and in particular in the discharge area, so that the tool can be used easily and reliably as a result.

Insbesondere kann das Werkzeug zum Ausrichten der Rotoren durch einen Einlass oder einen Auslass der Pumpe in das Gehäuse eingeführt werden. Dies hat den Vorteil, dass die Rotoren bei der Ausrichtung, insbesondere vollständig, im Gehäuse angeordnet sein können. Beispielsweise kann vor der Ausrichtung und/oder vor Aufbringen von Drehmomentübertragungselementen und/oder Synchronisierungselementen auf die Rotoren eine Lagerung und/oder eine Dichtung montiert werden. Dabei sind Gehäuse, Lagerung und/oder Dichtung insbesondere für die Rotationsverdrängervakuumpumpe im fertigen Zustand vorgesehen und werden nach der Ausrichtung, insbesondere vor der Fertigstellung, nicht mehr demontiert. Außerdem lässt sich somit das Werkzeug besonders einfach durch Öffnungen, also Einlass und Auslass, einführen, die ohnehin bei einer Vakuumpumpe vorgesehen sind. Es muss also insbesondere kein zusätzlicher Zugang vorgesehen sein.In particular, the tool for aligning the rotors can be introduced into the housing through an inlet or an outlet of the pump. this has the advantage that the rotors can be arranged in the housing during the alignment, in particular completely. For example, a bearing and / or a seal can be mounted on the rotors before the alignment and / or before the application of torque transmission elements and / or synchronization elements. The housing, bearing and / or seal, in particular for the rotary displacement vacuum pump, are provided in the finished state and are no longer disassembled after alignment, in particular before completion. In addition, the tool can thus be introduced particularly easily through openings, that is to say inlet and outlet, which are provided in any case with a vacuum pump. In particular, no additional access has to be provided.

Mit Vorteil kann vorgesehen sein, dass die Ausrichtflächen jeweils im ausgerichteten Zustand der Rotoren in Bezug auf einen Rotorquerschnitt symmetrisch angeordnet sind.It can advantageously be provided that the alignment surfaces are arranged symmetrically with respect to a rotor cross section in the aligned state of the rotors.

An wenigstens einem Rotor kann gegenüber seiner Ausrichtfläche eine korrespondierende Form vorgesehen werden. Hierdurch wird eine entsprechende Unwucht im Rotor vermieden.A corresponding shape can be provided on at least one rotor with respect to its alignment surface. This avoids a corresponding imbalance in the rotor.

Bei einer Weiterbildung wird wenigstens eine der Ausrichtflächen in axialer Richtung auf einer Seite eines pumpaktiven Bereichs des Rotors vorgesehen, auf der auch ein Drehmomentübertragungselement, insbesondere Synchronisierungselement, insbesondere ein Zahnrad eines Synchronisierungsgetriebes, am Rotor vorgesehen, insbesondere befestigt, wird. Somit wird vermieden, dass bei Montage des Drehmomentübertragungselements auftretende Drehmomente über den pumpaktiven Bereich des Rotors, insbesondere sein Pumpprofil, geleitet wird. Stattdessen wird das Drehmoment vom Werkzeug aufgenommen. Dies erlaubt für den Fall, dass Drehmomente bei der Montage zu erwarten sind, eine präzisere Ausrichtung. Beispielsweise kann wenigstens eine der Ausrichtflächen in axialer Richtung zwischen einem Zahnradsitz und einem pumpaktiven Bereich des Rotors vorgesehen werden.In one development, at least one of the alignment surfaces is provided in the axial direction on one side of a pump-active region of the rotor, on which a torque transmission element, in particular a synchronization element, in particular a gearwheel of a synchronization gear, is also provided, in particular fastened, to the rotor. It is thus avoided that torques occurring during assembly of the torque transmission element are conducted over the pump-active area of the rotor, in particular its pump profile. Instead, the torque is taken up by the tool. In the event that torques are to be expected during assembly, this allows a more precise alignment. For example, at least one of the alignment surfaces can be axial Direction between a gear seat and a pump-active area of the rotor can be provided.

Eine Weiterbildung zeichnet sich dadurch aus, dass das Werkzeug zur Anlage an die Ausrichtflächen der Rotoren im ausgerichteten Zustand jeweils eine Kooperationsfläche aufweist, wobei die Kooperationsflächen eine Keilform bilden. Hierdurch lässt sich das Werkzeug besonders präzise an die Ausrichtflächen anlegen. Beispielsweise bei parallelen Ausricht- und Kooperationsflächen muss ein gewisses Spiel zum Einführen des Werkzeugs vorgesehen werden. Dagegen lässt sich die Keilform praktisch spielfrei herstellen bzw. an die Ausrichtflächen anlegen. Es lässt sich also eine besonders genaue Ausrichtung der Rotoren gewährleisten.A further development is characterized in that the tool for contacting the alignment surfaces of the rotors each has a cooperation surface in the aligned state, the cooperation surfaces forming a wedge shape. This allows the tool to be placed particularly precisely on the alignment surfaces. For example, in the case of parallel alignment and cooperation areas, a certain amount of play must be provided for inserting the tool. In contrast, the wedge shape can be produced practically without play or can be placed on the alignment surfaces. A particularly precise alignment of the rotors can thus be ensured.

Insbesondere kann die Keilform selbsthemmend ausgebildet sein. In diesem Fall werden etwaige Drehmomente in den Rotoren automatisch vom Werkzeug aufgenommen und die Ausrichtung lässt sich noch präziser durchführen. Außerdem muss das Werkzeug hierdurch nicht gesondert in Position gehalten werden, wofür gegebenenfalls ein zusätzliches Haltewerkzeug nötig wäre.In particular, the wedge shape can be designed to be self-locking. In this case, any torques in the rotors are automatically absorbed by the tool and the alignment can be carried out even more precisely. In addition, the tool does not have to be held in position separately, for which purpose an additional holding tool would possibly be necessary.

Die Keilform kann beispielsweise einen Winkel zwischen 1° und 10°, insbesondere über 3° und/oder unter 8°, insbesondere etwa 6° aufweisen. Dabei sind die Begriffe "über" und "unter" inklusive der angegebenen Werte zu verstehen.The wedge shape can, for example, have an angle between 1 ° and 10 °, in particular above 3 ° and / or below 8 °, in particular approximately 6 °. The terms "above" and "below" are to be understood, including the specified values.

Insbesondere kann das Werkzeug zur Anlage an die Ausrichtflächen der Rotoren im ausgerichteten Zustand jeweils eine Kooperationsfläche aufweisen, wobei die Rotoren dadurch ausgerichtet werden, dass die Kooperationsflächen in Anlage mit den Ausrichtflächen gebracht werden.In particular, the tool for bearing against the alignment surfaces of the rotors in the aligned state can each have a cooperation surface, the rotors being aligned by bringing the cooperation surfaces into contact with the alignment surfaces.

Beispielsweise können die Rotoren durch das Werkzeug in eine ausgerichtete Position gedreht werden. Z.B. kann das Werkzeug zur Ausrichtung zwischen die Rotoren geführt werden, insbesondere in einer Richtung zumindest im Wesentlichen senkrecht zur Rotorachse. Dabei kann die nötige Kraft zur Drehung der Rotoren beispielsweise ausschließlich über Werkzeug eingeleitet werden. Alternativ kann z.B. an zugänglichen Rotorenden manuell die Drehung unterstützt werden.For example, the rotors can be rotated into an aligned position by the tool. For example, the alignment tool can be guided between the rotors, in particular at least essentially in one direction perpendicular to the rotor axis. The force required to rotate the rotors can, for example, only be introduced using a tool. Alternatively, rotation can be supported manually at accessible rotor ends, for example.

Die Aufgabe der Erfindung wird auch durch ein Verfahren gemäß Anspruch 12 gelöst, und insbesondere dadurch, dass die Rotoren anhand von an den Rotoren vorgesehenen Ausrichtflächen mittels eines an die Ausrichtflächen angepassten Werkzeugs ausgerichtet werden.The object of the invention is also achieved by a method according to claim 12, and in particular in that the rotors are aligned on the basis of alignment surfaces provided on the rotors by means of a tool adapted to the alignment surfaces.

Die Aufgabe der Erfindung wird auch durch eine Rotationsverdrängervakuumpumpe gemäß Anspruch 13 gelöst, und zwar insbesondere dadurch, dass die Rotoren jeweils eine Ausrichtfläche zum Ausrichten der Rotoren aufweisen.The object of the invention is also achieved by a rotary displacement vacuum pump according to claim 13, in particular in that the rotors each have an alignment surface for aligning the rotors.

Die Aufgabe der Erfindung wird auch durch ein Werkzeug gemäß Anspruch 14 gelöst, und insbesondere dadurch, dass das Werkzeug zwei Kooperationsflächen jeweils zur Anlage an eine Ausrichtfläche eines jeweiligen Rotors der Rotatationsverdrängervakuumpumpe aufweist.The object of the invention is also achieved by a tool according to claim 14, and in particular in that the tool has two cooperation surfaces, each for contacting an alignment surface of a respective rotor of the rotary displacement vacuum pump.

Das Werkzeug kann beispielsweise einen Ausrichtabschnitt und/oder einen Halteabschnitt aufweisen. Beide können z.B. als separate Teile ausgebildet sein und beispielsweise fest verbunden, beispielsweise verschraubt und/oder verschweißt sein. Der Ausrichtabschnitt, insbesondere dessen Kooperationsfläche, kann insbesondere durch spanenende Bearbeitung ausgebildet sein, wodurch eine hohe Präzision erreicht werden kann. Der Halteabschnitt kann beispielsweise mit geringer Präzision hergestellt werden und beispielsweise als, inbesondere gebogenes, Blechteil ausgebildet sein.The tool can have an alignment section and / or a holding section, for example. Both can e.g. be formed as separate parts and, for example, be firmly connected, for example screwed and / or welded. The alignment section, in particular its cooperation surface, can be formed in particular by machining, which enables high precision to be achieved. The holding section can be produced, for example, with low precision and can be designed, for example, as a, in particular curved, sheet metal part.

Die Kooperationsflächen können insbesondere eine, beispielsweise symmetrische, Keilform bilden. Insbesondere können die Kooperationsflächen und Ausrichtflächen an den Rotoren eben und/oder im ausgerichteten Zustand zumindest im Wesentlichen spielfrei aneinander anlegbar ausgebildet sein.The cooperation areas can in particular form a, for example symmetrical, wedge shape. In particular, the cooperation areas and alignment areas be designed to be flat and / or at least essentially free of play against one another on the rotors and in the aligned state.

Die Aufgabe der Erfindung wird auch durch ein System gemäß Anspruch 15 gelöst.The object of the invention is also achieved by a system according to claim 15.

Die hierin beschriebenen Verfahren, Pumpen, Werkzeuge und Systeme lassen sich im Sinne von beliebigen Merkmalen der hierin beschriebenen Ausführungsformen bzw. Weiterbildungen von Verfahren, Pumpen, Werkzeugen und Systemen vorteilhaft weiterbilden.The methods, pumps, tools and systems described here can advantageously be further developed in terms of any features of the embodiments or further developments of methods, pumps, tools and systems described herein.

Ein erfindungsgemäßes Werkzeug bzw. eine erfindungsgemäße Ausrichtung kann beispielsweise auch ein Verfahren zum Vermessen von Schraubenrotoren einer Schraubenvakuumpumpe vereinfachen. Bei einem beispielhaften solchen Vermessungsverfahren werden gepaarte Rotoren auf einem Rollenbock abgelegt und drehbar gelagert. Die Rotoren werden über das Werkzeug ausgerichtet. Synchronisierungszahnräder, insbesondere Dummy-Zahnräder, werden auf die Rotoren aufgebracht. Das Werkzeug wird entfernt. Die Rotoren werden gegeneinander abgewälzt, wobei mit Fühlerlehren ein Mindestspaltmaß entlang der Rotororen ermittelt wird. Ein maximales Spaltmaß muss z.B. nicht ermittelt werden, da es für einen Enddruck der Pumpe entscheidend ist und hierüber leicht bestimmbar ist und insbesondere ohnehin im Rahmen einer Endkontrolle bestimmt wird. Die Erfindung erleichtert also nicht nur die Herstellung einer Pumpe, sondern auch die Vermessung von Rotoren.A tool according to the invention or an alignment according to the invention can, for example, also simplify a method for measuring screw rotors of a screw vacuum pump. In an exemplary measurement method of this type, paired rotors are placed on a roller block and rotatably supported. The rotors are aligned using the tool. Synchronization gears, especially dummy gears, are applied to the rotors. The tool is removed. The rotors are rolled against each other, with a minimum gap dimension along the rotor rotors being determined using feeler gauges. A maximum gap dimension must e.g. cannot be determined, since it is decisive for a final pressure of the pump and can be easily determined via it, and in particular is determined as part of a final check anyway. The invention therefore not only facilitates the manufacture of a pump, but also the measurement of rotors.

Ein beispielhaftes Verfahren zur Herstellung einer beispielhaften Schraubenvakuumpumpe mit zwei in einem Gehäuse angeordneten Rotoren wird im Folgenden beschrieben.An exemplary method for producing an exemplary screw vacuum pump with two rotors arranged in a housing is described below.

Die Rotoren werden zunächst in einen Schöpfraum der Pumpe bzw. in das Gehäuse eingesetzt. Vor einer Ausrichtung bzw. Synchronisation werden zwei Lagerschilde mit jeweiligen Lagern, einschließlich Fest- und Loslagern, und Dichtung montiert, sodass die Rotoren vollständig mittels der endgültigen Lageranordnung gelagert sind.The rotors are first inserted in a pumping chamber of the pump or in the housing. Prior to alignment or synchronization, two end shields with respective bearings, including fixed and floating bearings, and seals are installed so that the rotors are fully supported by means of the final bearing arrangement.

Je nach Anordnung von Ausrichtflächen wird ein Ausrichtwerkzeug durch einen Einlass- oder Auslassflansch in den Schöpfraum eingeführt. Der Einlassflansch ist in der Regel größer als der Auslassflansch. Daher sind die Ausrichtflächen insbesondere in einem Einlass- oder Ansaugbereich des Schöpfraumes vorgesehen, um einen besonders leichten Zugang zu gewährleisten. Die Anordnung von Komponenten auf den jeweiligen Rotoren wird vorteilhafterweise so gewählt, dass eine Torsion der Rotoren durch montagebedingte Drehmomente minimal ist, also z.B. derart, dass Zahnräder am gleichen Rotorende und in der Nähe der Ausrichtflächen bzw. der Werkzeugposition angeordnet sind.Depending on the arrangement of the alignment surfaces, an alignment tool is inserted into the scooping chamber through an inlet or outlet flange. The inlet flange is usually larger than the outlet flange. The alignment surfaces are therefore provided in particular in an inlet or suction area of the scooping chamber in order to ensure particularly easy access. The arrangement of components on the respective rotors is advantageously chosen so that torsion of the rotors due to assembly-related torques is minimal, e.g. such that gearwheels are arranged at the same rotor end and in the vicinity of the alignment surfaces or the tool position.

Die Rotoren weisen z.B. Abflachungen als Ausrichtflächen zur Anlage des Werkzeugs auf. Um Unwuchten zu vermeiden, weist jeder Rotor ein symmetrisch angeordnetes Paar von Abflachungen auf, also eine zusätzliche Abflachung zum Ausgleich der als Ausrichtfläche dienenden Abflachung. Insbesondere bei einem zweigängigen Schraubenprofil kann dadurch eine besonders hohe Wuchtgüte, insbesondere bereits vor einem Wuchten der Rotoren erreicht werden.The rotors have e.g. Flattened as alignment surfaces for the tool. In order to avoid unbalance, each rotor has a symmetrically arranged pair of flats, that is to say an additional flattening to compensate for the flattening serving as an alignment surface. Particularly in the case of a two-start screw profile, a particularly high balancing quality can thereby be achieved, in particular even before the rotors are balanced.

Die Ausrichtflächen der Rotoren werden vor der Montage gemeinsam mit deren Schraubenprofil spanend gefertigt. Dabei kann eine jeweilige Ausrichtfläche als Bezug für die Fertigung des Profils dienen. Dies kann die Grundlage für eine besonders präzise Ausrichtung bilden. Die Ausrichtfläche kann beispielsweise auch als Bezug für eine Vermessung eines jeweiligen Rotors, z.B. durch eine 3D-Koordinatenmessmaschine, genutzt werden.The alignment surfaces of the rotors are machined together with their screw profile before assembly. A respective alignment surface can serve as a reference for the manufacture of the profile. This can form the basis for a particularly precise alignment. The alignment surface can also be used, for example, as a reference for measuring a respective rotor, for example using a 3D coordinate measuring machine.

Zur Ausrichtung der Rotoren wird das Werkzeug zwischen die Rotoren geführt. Ein Ausrichtabschnitt des Werkzeugs ist z.B. keilförmig ausgebildet und verdreht die beiden Rotoren gegeneinander bis das Werkzeug beidseitig eben anliegt. Dies ermöglicht eine spielfreie Anlage des Werkzeugs, eine hohe Ausrichtgenauigkeit und verhältnismäßig große Fertigungstoleranzen für Werkzeug und Ausrichtflächen, insbesondere im Vergleich zu parallelen Ausrichtflächen bzw. Kooperationsflächen des Werkzeugs. Winkel und/oder Abstand der Flächen sind insbesondere so zu wählen, dass Drehmomente während der Montage aufgenommen werden können und nur eine verhältnismäßig geringe Einstecktiefe für das Werkzeug nötig ist. Beispielsweise kann ein selbsthemmender Winkel zwischen 1° und 10°, insbesondere zwischen 3° und 8°, insbesondere etwa 6° zwischen den Ausrichtflächen im ausgerichteten Zustand bzw. zwischen Kooperationsflächen des Werkzeugs zur Anlage mit Ausrichtflächen vorgesehen sein.The tool is guided between the rotors to align the rotors. An alignment section of the tool is e.g. wedge-shaped and rotates the two rotors against each other until the tool is flat on both sides. This enables the tool to be set up without play, high alignment accuracy and relatively large manufacturing tolerances for the tool and alignment surfaces, in particular in comparison to parallel alignment surfaces or cooperation surfaces of the tool. The angle and / or spacing of the surfaces should in particular be selected so that torques can be absorbed during assembly and only a relatively small insertion depth is required for the tool. For example, a self-locking angle between 1 ° and 10 °, in particular between 3 ° and 8 °, in particular approximately 6 °, can be provided between the alignment surfaces in the aligned state or between cooperation surfaces of the tool for contact with alignment surfaces.

Das Werkzeug umfasst einen präzise gefertigten Ausrichtabschnitt und einen kostengünstig hergestellten Halteabschnitt, der mit dem Ausrichtabschnitt z.B. über Schrauben verbunden oder verschweißt ist.The tool comprises a precisely manufactured alignment section and an inexpensively manufactured holding section which, e.g. is connected or welded by screws.

Zahnräder eines Synchronisierungsgetriebes werden nach Montage der Rotoren im Gehäuse am Rotor montiert, wobei eingeleitete Drehmomente über das Werkzeug aufgenommen werden. Durch die Zahnräder bzw. das Synchronisierungsgetriebe werden die Rotoren zueinander synchronisiert. Anschließend wird das Werkzeug entfernt.Gearwheels of a synchronization gearbox are mounted on the rotor after the rotors have been mounted in the housing, with the torques introduced being absorbed by the tool. The rotors are synchronized with each other by the gear wheels or the synchronization gear. The tool is then removed.

Die Erfindung wird nachfolgend lediglich beispielhaft anhand der schematischen Zeichnung erläutert.

Fig. 1: zeigt eine Schraubenvakuumpumpe in perspektivischer Ansicht.
Fig. 2: zeigt die Schraubenvakuumpumpe der Fig. 1 in einer Draufsicht.
Fig. 3: zeigt die Schraubenvakuumpumpe der Fig. 1 und 2 in einer Seitenansicht.
Fig. 4: zeigt eine Schnittansicht der Schraubenvakuumpumpe entlang einer in Fig. 3 angedeuteten Schnittebene A-A.
Fig. 5: zeigt einen Tauchkühler der Schraubenvakuumpumpe der Fig. 1 bis 4.
Fig. 6: zeigt in einer perspektivischen Schnittdarstellung einen Ansaugbereich der Schraubenvakuumpumpe der Fig. 1 bis 4.
Fig. 7: zeigt den Ansaugbereich in einer weiteren Schnittdarstellung mit einem Werkzeug zur Ausrichtung von zwei Rotoren der Schraubenvakuumpumpe der Fig. 1 bis 4.
Fig. 8: zeigt die Schnittdarstellung der Fig. 7 in einer Vorderansicht.
Fig. 9: zeigt ein Werkzeug zum Ausrichten von Rotoren, wie es in den Fig. 7 und 8 bei einem Ausrichtvorgang gezeigt ist.

The invention is explained below by way of example only with reference to the schematic drawing.

Fig. 1: shows a screw vacuum pump in perspective view.
Fig. 2: shows the screw vacuum pump of the Fig. 1 in a top view.
Fig. 3: shows the screw vacuum pump of the Fig. 1 and 2nd in a side view.
Fig. 4: shows a sectional view of the screw vacuum pump along an in Fig. 3 indicated cutting plane AA.
Fig. 5: shows an immersion cooler of the screw vacuum pump of the 1 to 4 .
Fig. 6: shows a perspective sectional view of a suction area of the screw vacuum pump 1 to 4 .
Fig. 7: shows the suction area in a further sectional view with a tool for aligning two rotors of the screw vacuum pump of the 1 to 4 .
Fig. 8: shows the sectional view of the Fig. 7 in a front view.
Fig. 9: shows a tool for aligning rotors, as shown in the Fig. 7 and 8th is shown during an alignment process.

In den Fig. 1 bis 3 ist eine Schraubenvakuumpumpe 10 gezeigt, die einen Motor 12, einen Getriebekasten 14, ein Gehäuse 16, einen Lagerschild 18 sowie einen Deckel 20 aufweist. Die Schraubenvakuumpumpe 10 fördert ein Prozessgas von einem Einlass 22 zu einem nach unten gerichteten, in Fig. 3 sichtbaren Auslass 24.In the 1 to 3 A screw vacuum pump 10 is shown, which has a motor 12, a gear box 14, a housing 16, a bearing plate 18 and a cover 20. The screw vacuum pump 10 conveys a process gas from an inlet 22 to a downward, in Fig. 3 visible outlet 24.

Für den Motor 12 ist eine aktive Flüssigkeitskühlung vorgesehen, die aus einem Gehäuse des Motors 12 austritt. Für im Inneren des Gehäuses 16 angeordnete und in Fig. 4 sichtbare Schraubenrotoren 28 und 30 ist ebenfalls eine aktive Flüssigkeitskühlung vorgesehen, die zwei Kühlleitungen aufweist, welche in Fig. 1 nicht dargestellt sind, deren Verlauf aber durch entsprechende Nuten 32 des Gehäuses 16 angedeutet ist, in die die Kühlleitungen eingepresst werden. Des Weiteren sind aktive Flüssigkeitskühlungen im Getriebekasten 14 und im Deckel 20 vorgesehen und hier jeweils als Tauchkühler 34 ausgebildet, die unten anhand von Fig. 5 näher erläutert werden.Active liquid cooling is provided for the motor 12 and emerges from a housing of the motor 12. For arranged inside the housing 16 and in Fig. 4 visible screw rotors 28 and 30 an active liquid cooling is also provided, which has two cooling lines, which in Fig. 1 are not shown, the course of which is indicated by corresponding grooves 32 of the housing 16, into which the cooling lines are pressed. Furthermore, active liquid cooling systems are provided in the gearbox 14 and in the cover 20 and are each designed here as immersion coolers 34, which are described below with the Fig. 5 are explained in more detail.

Wie es in den Fig. 1 bis 4 ersichtlich ist, weist das Gehäuse 16 der Schraubenvakuumpumpe 10 eine Taillierung 36 auf. Die Taillierung 36 ist im Bereich des Auslasses 24 angeordnet.Like it in the 1 to 4 can be seen, the housing 16 of the screw vacuum pump 10 has a waist 36. The waist 36 is arranged in the region of the outlet 24.

In Fig. 4 ist die Schraubenvakuumpumpe 10 in einer Schnittansicht gezeigt, deren Schnittebene der Linie A-A in Fig. 3 entspricht. Es sind zwei Schraubenrotoren 28 und 30 sichtbar, die jeweils zweigängige, ineinandergreifende Schraubenprofile 38 und 40 aufweisen, die mit Hilfe eines Zykloidenprofil generiert sind und eine zylindrische Hüllkontur sowie eine zylindrische Grundform des Schraubengrundes aufweisen. Die Schraubenprofile 38 und 40 bilden in Zusammenwirkung mit dem Gehäuse 16 einen pumpaktiven Bereich der Schraubenvakuumpumpe 10 und fördern wiederholt abgeschlossene Fördervolumina des Prozessgases vom Einlass 22 zum Auslass 24, in Fig. 4 also von links nach rechts.In Fig. 4 the screw vacuum pump 10 is shown in a sectional view, the sectional plane of the line AA in Fig. 3 corresponds. Two screw rotors 28 and 30 are visible, each having two-start, interlocking screw profiles 38 and 40, which are generated with the aid of a cycloid profile and have a cylindrical envelope contour and a cylindrical basic shape of the screw base. In cooperation with the housing 16, the screw profiles 38 and 40 form a pump-active area of the screw vacuum pump 10 and repeatedly convey closed delivery volumes of the process gas from the inlet 22 to the outlet 24, in Fig. 4 from left to right.

Die Pumpleistung der Schraubenvakuumpumpe 10 hängt von Größe und Gestalt verschiedener Spalte im pumpaktiven Bereich ab, die aufgrund der Relativbewegung von Rotoren 28, 30 und Gehäuse 16 zwar unvermeidbar sind, jedoch zwecks guter Pumpleistung klein und möglichst konstant zu halten sind. Temperaturänderungen in den beteiligten Bauteilen führen zu deren Formänderung. Die hierin beschriebenen Maßnahmen zur Vermeidung, Abführung und im Allgemeinen Beherrschung von Wärme in der Pumpe 10 bewirken somit eine möglichst geringe Formänderung und in der Folge möglichst beherrschbare Spalte. Die Spalte können also präziser ausgelegt werden, was die Pumpleistung bzw. ihre Effizienz verbessert.The pumping power of the screw vacuum pump 10 depends on the size and shape of various gaps in the pumping area, which are unavoidable due to the relative movement of the rotors 28, 30 and housing 16, but are small and as constant as possible for good pumping power. Temperature changes in the components involved lead to their shape change. The preventive, dissipative, and general measures described herein Control of heat in the pump 10 thus causes the least possible change in shape and consequently the most manageable gaps. The gaps can therefore be designed more precisely, which improves the pumping capacity and its efficiency.

Der Schraubenrotor 28 wird direkt, also ohne zwischengeschaltete Kupplung, von dem Motor 12 angetrieben. Der Schraubenrotor 30 wird dagegen über ein Synchronisierungsgetriebe 42 mit Zahnrädern 43 in einem definierten Winkelverhältnis zum Schraubenrotor 28 angetrieben.The screw rotor 28 is driven directly by the motor 12, that is to say without an intermediate coupling. The screw rotor 30, on the other hand, is driven via a synchronization gear 42 with gear wheels 43 in a defined angular relationship to the screw rotor 28.

Der Motor 12 umfasst ein Gehäuse 44, welches zum Beispiel aus Aluminium hergestellt ist und in welchem Kühlleitungen 26 für die aktive Flüssigkeitskühlung ausgebildet sind. Der Motor 12 umfasst außerdem einen gewickelten Stator 46, der zusammen mit einem auf einem Wellenende des Schraubenrotors 28 angebrachten Magnetträger 48 einen elektrischen Motor und einen Direktantrieb für den Schraubenrotor 28 bildet. Der Schraubenrotor 28 bildet einen Läufer des Motors 12. Der Magnetträger 48 umfasst eine Mehrzahl an Permanentmagneten. Der Motor 12 bildet also eine Permanentmagnetsynchronmaschine mit innenliegenden Magneten, welche auch als IPMSM bezeichnet wird.The motor 12 comprises a housing 44, which is made of aluminum, for example, and in which cooling lines 26 are formed for the active liquid cooling. Motor 12 also includes a wound stator 46 which, together with a magnet carrier 48 attached to a shaft end of screw rotor 28, forms an electric motor and a direct drive for screw rotor 28. The screw rotor 28 forms a rotor of the motor 12. The magnet carrier 48 comprises a plurality of permanent magnets. The motor 12 thus forms a permanent magnet synchronous machine with internal magnets, which is also referred to as IPMSM.

Der Stator 46 ist in einem Vergusskörper 50 angeordnet, welcher nicht näher dargestellte elektrische Leiter beim Stator 46 isoliert und diese isoliert zu einer Platine 52 führt. Der Vergusskörper 50 bildet hier in Verbindung mit der Platine 52 einen vakuumdichten Anschluss des Motors 12 an eine in einem Bereich atmosphärischen Drucks vorgesehene Steuerungselektronik. Es kann z.B. ein externer Frequenzumrichter für den Motor 12 vorgesehen sein. Alternativ oder zusätzlich kann auf der Platine 52 zumindest ein Teil einer Steuerungselektronik für den Motor 12 vorgesehen sein.The stator 46 is arranged in a potting body 50, which insulates electrical conductors (not shown in more detail) in the stator 46 and insulates them to a circuit board 52. The potting body 50 here, in conjunction with the circuit board 52, forms a vacuum-tight connection of the motor 12 to control electronics provided in a range of atmospheric pressure. For example, an external frequency converter can be provided for the motor 12. Alternatively or additionally, at least part of control electronics for the motor 12 can be provided on the circuit board 52.

In dem Getriebekasten 14 ist das Synchronisierungsgetriebe 42 angeordnet. Im Getriebekasten 14 ist außerdem Öl als Schmiermittel vorgesehen, welches durch Spritzscheiben 54 über das Synchronisierungsgetriebe 42 und benachbarte Lager 56 verteilt wird.The synchronizing gear 42 is arranged in the gear box 14. In the gearbox 14, oil is also provided as a lubricant, which is distributed by spray disks 54 via the synchronizing gear 42 and adjacent bearings 56.

Die Tailllierung 36 bildet eine Abschirmung bzw. eine Wärmebarriere, und zwar insbesondere für Wärme, die im Bereich der Schraubenrotoren 28, 30 während des Pumpbetriebs produziert wird. Dadurch, dass ein geringer Materialquerschnitt verbleibt, und dadurch, dass durch die Formänderung ein Wärmepfad verlängert ist, wird die Wärme vom Schraubenrotor, die sich ansonsten im Gehäuse 16 ausbreitet, daran gehindert, in jenseitige Bereiche zu gelangen. So werden insbesondere das Öl im Getriebekasten 14 und die Lager 56 vor zu hohen Temperaturen geschützt. Der im Getriebekasten 14 angeordnete Tauchkühler 34 trägt ebenfalls zur Temperaturreduzierung bei. Dieser ist in einem nicht dargestellten Ölbad des Getriebekastens 14 angeordnet und kühlt somit das Öl direkt.The waist 36 forms a shield or a heat barrier, in particular for heat that is produced in the area of the screw rotors 28, 30 during pump operation. Due to the fact that a small material cross section remains, and because the change in shape extends a heat path, the heat from the screw rotor, which otherwise spreads in the housing 16, is prevented from reaching areas beyond. In particular, the oil in the gearbox 14 and the bearings 56 are protected from excessive temperatures. The immersion cooler 34 arranged in the gearbox 14 also contributes to reducing the temperature. This is arranged in an oil bath (not shown) of the gear box 14 and thus cools the oil directly.

Für einen jeweiligen Schraubenrotor 28 bzw. 30 ist benachbart zu den Lagern 56, die hier eine Festlagerung bilden, eine als Deflektor 58 ausgebildete Schmiermittel-Abführeinrichtung vorgesehen. Ein jeweiliger Deflektor 58 bildet eine Barriere für das Öl im Getriebekasten, damit es nicht in einen pumpaktiven Bereich oder einen Vakuumbereich, hier insbesondere einen Auslassbereich, gelangt. Der Deflektor 58 umfasst eine nicht näher veranschaulichte Abschleuderkante für das Öl. Gegenüber der Abschleuderkante ist im Gehäuse 16 eine Ablaufnut ausgebildet, die abgeschleudertes Öl aufnimmt und dieses zurück in den Getriebekasten 14 bzw. in ein dortiges Ölbad leitet. Das Öl, welches durch die Spritzscheiben 54 auf Getriebe 42 und Lager 56 gefördert bzw. verteilt wird, wird somit durch die Deflektoren 58 wieder von den Rotoren 28 bzw. 30 abgeführt. Als dynamische Fluiddichtung sind Kolbenringe auf einem Kolbenringträger 60 vorgesehen. Diese bilden eine berührungslose Dichtung und vermeiden somit Reibungswärme. Die Deflektoren 58 führen möglichst viel Öl zum Getriebekasten 14 zurück, sodass bereits möglichst wenig Öl an den Kolbenringen ansteht. So wird eine insgesamt zuverlässige Dichtwirkung bei besonders geringer Wärmeproduktion erreicht.A lubricant discharge device designed as a deflector 58 is provided for a respective screw rotor 28 or 30 adjacent to the bearings 56, which form a fixed bearing here. A respective deflector 58 forms a barrier for the oil in the gearbox so that it does not get into a pump-active area or a vacuum area, here in particular an outlet area. The deflector 58 comprises a not-shown edge for the oil. Opposite the fling edge, a drain groove is formed in the housing 16, which takes up flung oil and directs it back into the gear box 14 or into an oil bath there. The oil, which is conveyed or distributed by the spray disks 54 to the gearbox 42 and bearing 56, is thus removed again by the deflectors 58 from the rotors 28 and 30. Piston rings are provided on a piston ring carrier 60 as a dynamic fluid seal. These form a non-contact seal and thus avoid frictional heat. The deflectors 58 return as much oil as possible to the gearbox 14, so that as little oil as possible is already present on the piston rings. An overall reliable sealing effect is achieved with particularly low heat production.

Die Schraubenrotoren 28 und 30 weisen in ihrem jeweiligen Schraubenprofil 38 bzw. 40 drei Abschnitte unterschiedlicher Steigung auf. Ein in Pumprichtung erster Abschnitt 62, in Fig. 4 links, bildet einen Ansaugabschnitt und weist eine konstante und die größte Steigung unter den drei Abschnitten auf. Der erste Abschnitt 62 ist in Bezug auf eine Schraubenachse 63, die entlang eines jeweiligen Rotors 28 bzw. 30 verläuft, länger als ein abschlossenes Fördervolumen im ersten Abschnitt. Ein zweiter Abschnitt 64 weist mehrere Unterabschnitte, die nicht näher referenziert sind, mit verschiedenen aber jeweils konstanten Steigungen im Schraubenprofil 38 bzw. 40 auf, wobei die Steigungen niedriger sind, als im ersten Abschnitt. Der zweite Abschnitt 64 bildet hier den längsten Abschnitt. Ein dritter Abschnitt 66 mit noch niedrigerer Steigung bildet einen Ausstoßabschnitt. Im dritten Abschnitt liegt wiederum eine konstante Steigung vor. Durch die entlang der Pumprichtung verminderte Steigung wird eine innere Verdichtung bewirkt, die das Prozessgas schon vor dem Ausstoßen verdichtet.The screw rotors 28 and 30 have three sections of different pitch in their respective screw profile 38 and 40, respectively. A first section 62 in the pumping direction, in Fig. 4 left, forms a suction section and has a constant and the greatest slope among the three sections. The first section 62 is longer than a closed delivery volume in the first section with respect to a screw axis 63 that runs along a respective rotor 28 or 30. A second section 64 has a plurality of subsections, which are not referenced in any more detail, with different but in each case constant pitches in the screw profile 38 or 40, the pitches being lower than in the first section. The second section 64 forms the longest section here. A third section 66 with an even lower slope forms an ejection section. In the third section there is again a constant slope. Due to the reduced slope along the pump direction, an internal compression is brought about, which compresses the process gas before it is expelled.

Die Rotoren 28, 30 bzw. die Schraubenprofile 38, 40 lassen sich durch das Vorsehen der konstanten Abschnitte besonders einfach auslegen und fertigen. Wie es anhand von Fig. 4 ersichtlich ist, führt ein verlängerter erster Abschnitt 62 zu entsprechend verlängerten Spalten zwischen den Schraubenprofilen 28, 30 und dem Gehäuse 16, sodass der Weg bzw. die Spalte von der inneren Verdichtung am Übergang der Abschnitte 62 und 64 hin zu einem Schöpfraum oder Ansaugbereich 67 länger ist. Entsprechend erhöht ist also die Dichtwirkung der Spalte, was insbesondere bei hohen Differenzdrücken zu einer verbesserten Abdichtung der inneren Verdichtung gegenüber dem Ansaugbereich 67 führt.The rotors 28, 30 and the screw profiles 38, 40 can be designed and manufactured particularly easily by the provision of the constant sections. As it is based on Fig. 4 It can be seen that an elongated first section 62 leads to correspondingly elongated gaps between the screw profiles 28, 30 and the housing 16, so that the path or the column from the internal compression at the transition of the sections 62 and 64 to a scooping area or suction area 67 is longer is. Accordingly, the sealing effect of the column is increased leads, in particular at high differential pressures, to an improved sealing of the inner compression with respect to the suction area 67.

Die Schraubenvakuumpumpe 10 weist also eine innere Verdichtung auf. Die Schraubenrotoren 28, 30 der Pumpe 10 schließen in Zusammenwirkung mit dem Gehäuse 16 wiederholt abgeschlossene Fördervolumina ein. Deren Größe ist an einem einlassseitigen Ende bzw. im Abschnitt 62 größer als an einem auslassseitigen Ende bzw. im Abschnitt 62. Die Größe eines Fördervolumens wird durch einen Querschnitt eines Schraubenprofils 38, 40 und dessen Steigung bestimmt.The screw vacuum pump 10 thus has an internal compression. In cooperation with the housing 16, the screw rotors 28, 30 of the pump 10 include repeatedly closed delivery volumes. Their size is larger at an inlet end or in section 62 than at an outlet end or in section 62. The size of a delivery volume is determined by a cross section of a screw profile 38, 40 and its slope.

Die Größe eines Fördervolumens auf der Einlassseite bzw. im Abschnitt 62 bestimmt ein theoretisches Saugvermögen der Schraubenpumpe 10. Die Steigung des Schraubenprofils 38, 40 ist einlassseitig über Abschnitt 62 konstant, damit das Fördervolumen erst nach Abschluss durch die innere Verdichtung komprimiert wird. Schließt ein jeweiliger Rotor 28, 30 ein jeweiliges Fördervolumen zu früh oder zu spät bzw. beginnt die innere Verdichtung zu früh, sinkt das theoretische Saugvermögen der Pumpe.The size of a delivery volume on the inlet side or in section 62 determines a theoretical pumping speed of the screw pump 10. The slope of the screw profile 38, 40 is constant on the inlet side via section 62, so that the delivery volume is only compressed after completion by the internal compression. If a respective rotor 28, 30 closes a respective delivery volume too early or too late or the internal compression begins too early, the theoretical pumping speed of the pump drops.

Die Größe eines jeweiligen Fördervolumens auf der Auslassseite bzw. im Abschnitt 66 bestimmt die Leistungsaufnahme der Pumpe im Betrieb bei einem erreichbaren Enddruck. Das Verhältnis der Größen des Fördervolumens an Einlassseite und Auslasseite bzw. in den Abschnitten 62 und 66 entspricht dem Verhältnis der inneren Verdichtung der Pumpe.The size of a respective delivery volume on the outlet side or in section 66 determines the power consumption of the pump in operation at an achievable final pressure. The ratio of the sizes of the delivery volume on the inlet side and outlet side or in sections 62 and 66 corresponds to the ratio of the internal compression of the pump.

In Abschnitt 66 ist die Steigung über mehrere Umdrehungen des Schraubenprofils 38, 40 konstant. Die Steigung entspricht dabei in etwa dem Minimum der durch ein bestimmtes Bearbeitungswerkzeug erreichbaren Steigung und ist somit, insbesondere unter Kostenabwägung, fertigungstechnisch bedingt. Dadurch, dass mehrere Umdrehungen, also mehrere abgeschlossene Fördervolumina, im Abschnitt 66 vorgesehen sind, wird eine Rückströmung infolge einer Druckdifferenz zwischen den Spalten ausgeglichen. Insgesamt bestimmen insbesondere der gesamte Steigungsverlauf entlang der Rotoren 28, 30 und die Größe der sich zwischen den Rotoren 28, 30 und zwischen Rotoren 28, 30 und dem Gehäuse 16 ausbildenden Spalte die vakuumtechnischen Leistungsdaten der Pumpe, also insbesondere das Saugvermögen und einen erreichbaren Enddruck.In section 66, the pitch is constant over several revolutions of the screw profile 38, 40. The slope corresponds approximately to the minimum of the slope that can be achieved by a specific machining tool and is therefore, particularly in consideration of costs, production-related. Because several revolutions, that is to say a plurality of closed delivery volumes, are provided in section 66, a backflow due to a pressure difference between the columns balanced. Overall, in particular the overall gradient course along the rotors 28, 30 and the size of the gaps formed between the rotors 28, 30 and between rotors 28, 30 and the housing 16 determine the vacuum performance data of the pump, in particular the pumping speed and an achievable final pressure.

Die Schraubenprofile 38, 40 weisen durch ihre zweigängige Ausgestaltung eine besonders geringe Unwucht auf. Es sind also beispielsweise keine Ausgleichselemente, wie z.B. Ausgleichsmassen, die zusätzlichen Bauraum erfordern, und/oder Ausgleichsbohrungen, in denen sich Material ablagern kann, notwendig. Die Pumpe kann mit den zweigängigen Zykloidenschraubenprofilen 38, 40 in einem weiten Drehzahlbereich, insbesondere mit Drehzahlregelung, und/oder beispielsweise in einer Stand-By-Betriebsart betrieben werden.The screw profiles 38, 40 have a particularly low imbalance due to their two-start design. For example, there are no compensating elements, such as Compensating compounds that require additional installation space and / or compensating holes in which material can be deposited are necessary. The pump can be operated with the two-start cycloid screw profiles 38, 40 in a wide speed range, in particular with speed control, and / or, for example, in a stand-by mode.

Die Verdichtung des Prozessgases im Allgemeinen erzeugt Wärme, die bei der Schraubenpumpe 10 vornehmlich durch eine Flüssigkeitskühlung abgeführt wird. In Fig. 4 sind die hierfür vorgesehenen Nuten 32 sichtbar. Kühlleitungen der Flüssigkeitskühlung erstrecken sich hier und vorzugsweise in Längsrichtung über einen weiten Bereich der Schraubenprofile, insbesondere über wenigstens die Hälfte der Länge der Schraubenprofile. Insbesondere ist die Flüssigkeitskühlung im Bereich oder in der Nähe einer inneren Verdichtung angeordnet.The compression of the process gas generally generates heat, which in the screw pump 10 is dissipated primarily by liquid cooling. In Fig. 4 The grooves 32 provided for this are visible. Cooling lines of the liquid cooling extend here and preferably in the longitudinal direction over a wide range of the screw profiles, in particular over at least half the length of the screw profiles. In particular, the liquid cooling is arranged in the area or in the vicinity of an internal compression.

An einem einlassseitigen Ende des Gehäuses 16 ist der Lagerschild 18 befestigt. Dieser trägt unter anderem eine weitere Lagerung mit Lagern 68, die eine Loslagerung bilden. Im Gegensatz zu einem gegenüberliegenden, an einem auslassseitigen Gehäuseende angeordneten Lagerschild 70, der integral mit dem Gehäuse 16 ausgebildet ist aber auch separat ausgebildet sein kann, ist der Lagerschild 68 als separates Bauteil ausgebildet, kann jedoch auch integral ausgebildet sein. Einlassseitig sind ebenfalls Spritzscheiben 54, Deflektoren 58 und ein Kolbenringträger 60 mit mehreren Kolbenringen vorgesehen, die entsprechend der auslassseitigen Anordung arbeiten. Einlassseitig ist ein weiteres, separat ausgeführtes Ölbad im Deckel 20 vorgesehen. Auch für dieses Ölbad ist ein Tauchkühler 34 vorgesehen. Alternativ oder zusätzlich kann auch beispielsweise eine Kühlleitung in einer Wand des Lagerschildes 14 und/oder des Deckels 20 vorgesehen, insbesondere vergossen seinThe bearing plate 18 is fastened to an inlet-side end of the housing 16. Among other things, this carries a further bearing with bearings 68, which form a loose bearing. In contrast to an opposite bearing plate 70 arranged on an outlet-side housing end, which is formed integrally with the housing 16 but can also be formed separately, the bearing plate 68 is formed as a separate component, but can also be formed integrally. Spray disks 54, deflectors 58 and a piston ring carrier 60 with a plurality of piston rings are also provided on the inlet side and operate in accordance with the arrangement on the outlet side. On the inlet side, another oil bath, which is carried out separately, is provided in the cover 20. An immersion cooler 34 is also provided for this oil bath. Alternatively or additionally, for example, a cooling line can also be provided in a wall of the end shield 14 and / or the cover 20, in particular encapsulated

Am Anfang eines Abpumpvorganges durch die Pumpe 10 herrscht gewöhnlich am Einlass 22 im Wesentlichen der gleiche Druck wie am Auslass. Während des Abpumpens sinkt dagegen der Druck am Einlass 22 bis hin zu einem Enddruck, der hinsichtlich resultierender Kräfte im Wesentlichen Null ist. Somit übt der Druck am Auslass 24 eine Kraft auf die Rotoren 28, 30 aus, die anders ist als am Anfang des Abpumpvorgangs. Um diese Kraft auszugleichen kann z.B. eine Vorspanneinrichtung, insbesondere eine Feder, vorgesehen sein, die insbesondere bei einem Loslager des Rotors und/oder einlassseitig vorgesehen ist. Die Vorspanneinrichtung kann beispielsweise auch durch schräg verzahnte Zahnräder auf die Rotoren wirkende Kräfte aufnehmen und/oder generell eine auslegungsgerechte Vorspannung der Lager unabhängig vom Betriebszustand bei sich verändernden Drücken bzw. Druckverhältnissen gewährleisten.At the beginning of a pumping process by the pump 10, there is usually essentially the same pressure at the inlet 22 as at the outlet. In contrast, during the pumping down, the pressure at the inlet 22 drops to a final pressure which is essentially zero with regard to the resulting forces. Thus, the pressure at the outlet 24 exerts a force on the rotors 28, 30 that is different than at the beginning of the pumping process. To balance this force e.g. a biasing device, in particular a spring, may be provided, which is provided in particular in the case of a loose bearing of the rotor and / or on the inlet side. The pretensioning device can, for example, also absorb forces acting on the rotors through helically toothed gearwheels and / or generally ensure that the bearings are preloaded in accordance with the design, regardless of the operating state when the pressures or pressure conditions change.

In Fig. 5 ist ein Tauchkühler 34 dargestellt, wie er im Getriebekasten 14 bzw. im Deckel 20 der Schraubenvakuumpumpe 10 angeordnet ist. In dieser Ausführungsform sind die Tauchkühler 34 also identisch ausgebildet, was zu einer geringen Teilevielfalt und geringen Herstellungskosten führt.In Fig. 5 An immersion cooler 34 is shown as it is arranged in the gearbox 14 or in the cover 20 of the screw vacuum pump 10. In this embodiment, the immersion coolers 34 are thus of identical design, which leads to a small number of parts and low manufacturing costs.

Der Tauchkühler 34 weist eine Kühlleitung 72 auf, die durch einen Kühlkörper 74 verläuft. Der Kühlkörper weist eine Strukturierung zur Erhöhung der Oberfläche des Kühlkörpers auf, um die Wärmeübertragung zu optimieren. Der Tauchkühler 34 weist außerdem einen Flansch 76 auf, mit dem der Tauchkühler 34 befestigt wird.The immersion cooler 34 has a cooling line 72 which runs through a heat sink 74. The heat sink has a structure for increasing the surface of the heat sink in order to optimize the heat transfer. The immersion cooler 34 also has a flange 76 with which the immersion cooler 34 is fastened.

In Fig. 6 ist der Ansaugbereich 67 der Schraubenvakuumpumpe 10 in einer perspektivischen Schnittansicht veranschaulicht. Im Ansaugbereich 67 sind jeweilige ansaugseitige Enden der Schraubenprofile 38 und 40 angeordnet, die infolge ihrer Rotation und in Zusammenwirken mit einer Kante einer Abschlussfläche 77 wiederholt Fördervolumina abschließen und entlang der Rotorachsen zum Auslass 24 fördern.In Fig. 6 the suction area 67 of the screw vacuum pump 10 is illustrated in a perspective sectional view. In the suction area 67, respective suction-side ends of the screw profiles 38 and 40 are arranged, which due to their rotation and in cooperation with an edge of an end surface 77 repeatedly terminate delivery volumes and deliver them along the rotor axes to the outlet 24.

Die Schraubenrotoren 28 und 30 weisen jeweils eine Ausrichtfläche 78 auf, von denen in Fig. 6 nur diejenige des Rotors 28 sichtbar ist. Außerdem weisen beide Rotoren 28 und 30 eine der Ausrichtfläche 78 jeweils gegenüberliegende korrespondierende Form bzw. eine Ausgleichsfläche 80 auf. Von den Ausgleichsflächen 80 ist in Fig. 6 wiederum nur diejenige des Rotors 30 sichtbar. Die Ausgleichsfläche 80 vermeidet eine Umwucht durch die entsprechende Ausrichtfläche 78.The screw rotors 28 and 30 each have an alignment surface 78, of which in Fig. 6 only that of the rotor 28 is visible. In addition, the two rotors 28 and 30 each have a corresponding shape opposite the alignment surface 78 or a compensation surface 80. Of the compensation surfaces 80 is in Fig. 6 again only that of the rotor 30 is visible. The compensation surface 80 avoids unbalance through the corresponding alignment surface 78.

Die Ausrichtfläche 78 ist hier jeweils als eine Abflachung ausgebildet, die durch einen gefrästen Schlitz im Rotor gebildet ist. Der Schlitz verläuft senkrecht zur Rotorachse. Die Ausrichtfläche 78 ist von Wänden 79 flankiert. Zweckmäßigerweise ist hier die Ausgleichsfläche 80 entsprechend ausgebildet.The alignment surface 78 is in each case designed as a flat, which is formed by a milled slot in the rotor. The slot runs perpendicular to the rotor axis. The alignment surface 78 is flanked by walls 79. The compensating surface 80 is expediently designed accordingly.

In Fig. 7 ist ein Ausrichtvorgang für die Schraubenrotoren 28, 30 mittels eines Werkzeugs 82 gezeigt. Das Werkzeug 82 bzw. die Rotoren 28, 30 sind dabei in einer ausgerichteten Stellung bzw. einem ausgerichteten Zustand gezeigt. Kooperationsflächen 84 des Werkzeugs 82, von denen in Fig. 7 aufgrund der Perspektive nur diejenige sichtbar ist, die dem Rotor 30 zugewandt ist, befinden sich in Anlage mit den Ausrichtflächen 78.In Fig. 7 An alignment process for the screw rotors 28, 30 by means of a tool 82 is shown. The tool 82 or the rotors 28, 30 are shown in an aligned position or an aligned state. Cooperation areas 84 of the tool 82, of which in Fig. 7 due to the perspective, only the one that faces the rotor 30 is visible, are in contact with the alignment surfaces 78.

Die Position des Werkzeugs 82 hinsichtlich einer Richtung senkrecht zu den Rotoren 28, 30, hier in Richtung oben-unten bzw. in Längsrichtung des Werkzeugs, bestimmt im Wesentlichen die Ausrichtung der Rotoren 28, 30. Um eine Bewegung des Werkzeugs 82 im Wesentlichen nur in dieser Richtung zu ermöglichen, bilden die Wände 79 eine Führung für das Werkzeug 82.The position of the tool 82 with respect to a direction perpendicular to the rotors 28, 30, here in the up-down direction or in the longitudinal direction of the tool, essentially determines the orientation of the rotors 28, 30. In order to move the tool 82 essentially only in To enable this direction, the walls 79 form a guide for the tool 82.

Das Werkzeug 82 ist zur Ausrichtung der Rotoren 28, 30 durch den Einlass 22 in den Schöpfraum, hier in den. Ansaugbereich 67 der Schraubenvakuumpumpe 10 eingeführt. Im Schöpfraum sind auch die Ausrichtflächen 78 angeordnet. Das Werkzeug 82 lässt sich also sehr einfach zur Ausrichtung der Rotoren 28, 30 einführen. Insbesondere sind die Rotoren 28, 30 zum Zeitpunkt der Ausrichtung bereits vollständig gelagert und abgedichtet und müssen nicht aufwendig vorher separat ausgerichtet werden.The tool 82 is for aligning the rotors 28, 30 through the inlet 22 into the scooping chamber, here in the. Suction area 67 of the screw vacuum pump 10 is introduced. The alignment surfaces 78 are also arranged in the scooping chamber. The tool 82 can therefore be inserted very easily to align the rotors 28, 30. In particular, the rotors 28, 30 are already completely supported and sealed at the time of the alignment and do not have to be aligned separately beforehand in a complicated manner.

Anhand der Seitenansicht der Fig. 8 wird das Zusammenwirken von Werkzeug 82 und Rotoren 28, 30 weiter veranschaulicht. Wie es in Fig. 8 ersichtlich ist, sind die Kooperationsflächen 84 eben und keilförmig in Bezug zueinander ausgebildet. In der gezeigten, ausgerichteten Stellung liegen die Kooperationsflächen 84 spielfrei an den Ausrichtflächen 78 an. In dieser Stellung sind entsprechend auch die Ausrichtflächen 78 V-förmig und symmetrisch ausgerichtet.Based on the side view of the Fig. 8 the interaction of tool 82 and rotors 28, 30 is further illustrated. Like it in Fig. 8 can be seen, the cooperation surfaces 84 are flat and wedge-shaped in relation to each other. In the aligned position shown, the cooperation surfaces 84 rest against the alignment surfaces 78 without play. In this position, the alignment surfaces 78 are also aligned V-shaped and symmetrically.

Um die Rotoren 28, 30 in die ausgerichtete Stellung zu bringen, bedarf es lediglich der Einführung des Werkzeugs 82 von oben mit einer gewissen Kraft. Durch das Werkzeug 82 werden die Rotoren 28, 30 dabei in die ausgerichtete Stellung verdreht.In order to bring the rotors 28, 30 into the aligned position, it is only necessary to insert the tool 82 from above with a certain force. The tool 82 rotates the rotors 28, 30 into the aligned position.

Die Kooperationsflächen 84 sind derart zueinander ausgerichtet, dass das Werkzeug 82 selbsthemmend ausgebildet ist. Ein in einem Schraubenrotor 28, 30 auftretendes Drehmoment führt daher nicht zu einer Verschiebung des Werkzeugs 82 und zu einer Abweichung von der ausgerichteten Stellung. Stattdessen werden Drehmomente in den Rotoren 28, 30 automatisch durch das Werkzeug 82 aufgenommen.The cooperation surfaces 84 are aligned with one another in such a way that the tool 82 is designed to be self-locking. A torque occurring in a screw rotor 28, 30 therefore does not lead to a displacement of the tool 82 and to a deviation from the aligned position. Instead be Torques in the rotors 28, 30 are automatically recorded by the tool 82.

Das Werkzeug 82 ist in Fig. 9 einzeln gezeigt. Es ist zweiteilig ausgebildet und umfasst einen Ausrichtabschnitt 86 und einen Halteabschnitt 88. Der Ausrichtabschnitt 86 ist präzise mittels eines Fräsverfahrens hergestellt. Der Halteabschnitt 88 ist als gebogenes Blechteil ausgebildet und lässt sich somit sehr kostengünstig herstellen. Der Ausrichtabschnitt 86 ist mit dem Halteabschnitt 88 verschraubt. Es ist ersichtlich, dass das Werkzeug 82 relativ klein und flach ist. Es ist sehr handlich und insgesamt relativ kostengünstig herstellbar.Tool 82 is in Fig. 9 shown individually. It is formed in two parts and comprises an alignment section 86 and a holding section 88. The alignment section 86 is produced precisely by means of a milling process. The holding section 88 is designed as a bent sheet metal part and can therefore be produced very inexpensively. The alignment section 86 is screwed to the holding section 88. It can be seen that the tool 82 is relatively small and flat. It is very handy and can be manufactured relatively inexpensively overall.

BezugszeichenlisteReference list

1010th: SchraubenvakuumpumpeScrew vacuum pump
1212th: Motorengine
1414: GetriebekastenGear box
1616: Gehäusecasing
1818th: LagerschildEnd shield
2020th: Deckelcover
2222: Einlassinlet
2424th: AuslassOutlet
2626: KühlleitungCooling pipe
2828: SchraubenrotorScrew rotor
3030th: SchraubenrotorScrew rotor
3232: NutGroove
3434: TauchkühlerImmersion cooler
3636: TaillierungWaist
3838: SchraubenprofilScrew profile
4040: SchraubenprofilScrew profile
4242: SynchronisierungsgetriebeSynchronization gear
4343: Zahnradgear
4444: Gehäusecasing
4646: Statorstator
4848: MagnetträgerMagnetic carrier
5050: VergusskörperPotting body
5252: Platinecircuit board
5454: SpritzscheibeWasher
5656: Lagercamp
5858: DeflektorDeflector
6060: KolbenringträgerPiston ring carrier
6262: erster Abschnittfirst section
6363: SchraubenachseScrew axis
6464: zweiter Abschnittsecond part
6666: dritter Abschnittthird section
6767: AnsaugbereichSuction area
6868: Lagercamp
7070: LagerschildEnd shield
7272: KühlleitungCooling pipe
7474: KühlkörperHeatsink
7676: Flanschflange
7777: AbschlussflächeFinishing area
7878: AusrichtflächeAlignment surface
7979: Wandwall
8080: AusgleichsflächeCompensation area
8282: WerkzeugTool
8484: KooperationsflächeCooperation area
8686: AusrichtabschnittAlignment section
8888: HalteabschnittHolding section

Claims

A method of manufacturing a rotary displacement vacuum pump, in particular a screw vacuum pump (10),
comprising the steps:
providing a housing (16); and

providing two pump-active rotors (28, 30) for arrangement in the housing (16),

characterized by:
a provision of a respective one alignment surface (78) at the rotors (28, 30) such that the alignment surfaces (78) are in a predetermined orientation relative to one another in an aligned state of the rotors (28, 30); and

by an alignment of the rotors (28, 30) using the alignment surfaces (78) by means of a tool (82) adapted to the alignment surfaces (78) in the predetermined orientation.
A method in accordance with claim 1,
characterized in that
at least one of the alignment surfaces (78) is formed as a flattened portion.
A method in accordance with claim 1 or claim 2,
characterized in that
the alignment surfaces (78) are arranged in at least substantially the same axial position at the rotors (28, 30).
A method in accordance with at least one of the preceding claims,
characterized in that
at least one of the alignment surfaces (78) is provided at the rotor (28, 30) during a workstep in which a pump section (38, 40) of the rotor (28, 30) is formed.
A method in accordance with at least one of the preceding claims,
characterized in that
the alignment surfaces (78) are each provided at a position at the rotor (28, 30) which is located in a pumping space (67), in particular in an expulsion space, in an assembled state of the pump (10).
A method in accordance with at least one of the preceding claims,
characterized in that
the tool (82) for aligning the rotors (28, 30) is inserted into the housing through an inlet (22) or an outlet of the pump.
A method in accordance with at least one of the preceding claims,
characterized in that
the alignment surfaces (78) are each arranged symmetrically with respect to a rotor cross-section in the aligned state of the rotors (28, 30).
A method in accordance with at least one of the preceding claims,
characterized in that
at least one of the alignment surfaces (78) is provided in the axial direction at a side of a pump-active region of the rotor (28, 30) at which a torque transmission element (43) is also provided at the rotor (28, 30).
A method in accordance with at least one of the preceding claims,
characterized in that
the tool (82) has a respective one cooperation surface (84) for contact with the alignment surfaces (78) of the rotors (28, 30) in the aligned state, with the cooperation surfaces (84) forming a wedge shape.
A method in accordance with claim 9,
characterized in that
the wedge shape is self-locking.
A method in accordance with at least one of the preceding claims,
characterized in that
the tool (82) has a respective one cooperation surface (84) for contact with the alignment surfaces (78) of the rotors (28, 30) in the aligned state, with the rotors (28, 30) being aligned by bringing the cooperation surfaces (84) into contact with the alignment surfaces (78).
A method of aligning rotors (28, 30) of a rotary displacement vacuum pump, in particular of a screw vacuum pump (10),
wherein the rotors (28, 30) are aligned using alignment surfaces (78) provided at the rotors (28, 30) by means of a tool (82) adapted to the alignment surfaces (78).
A rotary displacement vacuum pump, in particular a screw vacuum pump (10), in particular manufactured by a method in accordance with any one of the claims 1 to 11, comprising
a housing (16) and two pump-active rotors (28, 30) arranged in the housing (16),
characterized in that
the rotors (28, 30) each have an alignment surface (78) for aligning the rotors (28, 30).
A tool (82) for aligning rotors (28, 30) of a rotary displacement vacuum pump (10), wherein the tool (82) has two cooperation surfaces (84), in each case for contact with an alignment surface (78) of a respective rotor (28, 30) of the rotary displacement vacuum pump (10).
A system comprising a rotary displacement vacuum pump in accordance with claim 13; and a tool in accordance with claim 14.