EP3317917A1 - Power combiner having a symmetrically arranged cooling body and power combiner arrangement - Google Patents

Power combiner having a symmetrically arranged cooling body and power combiner arrangement

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Publication number
EP3317917A1
EP3317917A1 EP16740973.9A EP16740973A EP3317917A1 EP 3317917 A1 EP3317917 A1 EP 3317917A1 EP 16740973 A EP16740973 A EP 16740973A EP 3317917 A1 EP3317917 A1 EP 3317917A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
electrical conductor
power combiner
conductor
input
electrical
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
EP16740973.9A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
André Grede
Alexander Alt
Daniel Gruner
Anton Labanc
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Trumpf Huettinger GmbH and Co KG
Original Assignee
Trumpf Huettinger GmbH and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Trumpf Huettinger GmbH and Co KG filed Critical Trumpf Huettinger GmbH and Co KG
Publication of EP3317917A1 publication Critical patent/EP3317917A1/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P5/00—Coupling devices of the waveguide type
    • H01P5/12—Coupling devices having more than two ports
    • H01P5/16—Conjugate devices, i.e. devices having at least one port decoupled from one other port
    • H01P5/18—Conjugate devices, i.e. devices having at least one port decoupled from one other port consisting of two coupled guides, e.g. directional couplers
    • H01P5/184—Conjugate devices, i.e. devices having at least one port decoupled from one other port consisting of two coupled guides, e.g. directional couplers the guides being strip lines or microstrips
    • H01P5/187—Broadside coupled lines
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P5/00—Coupling devices of the waveguide type
    • H01P5/12—Coupling devices having more than two ports
    • H01P5/16—Conjugate devices, i.e. devices having at least one port decoupled from one other port
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P1/00—Auxiliary devices
    • H01P1/18—Phase-shifters
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01P—WAVEGUIDES; RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE
    • H01P5/00—Coupling devices of the waveguide type
    • H01P5/12—Coupling devices having more than two ports
    • H01P5/16—Conjugate devices, i.e. devices having at least one port decoupled from one other port
    • H01P5/19—Conjugate devices, i.e. devices having at least one port decoupled from one other port of the junction type
    • H01P5/22—Hybrid ring junctions
    • H01P5/227—90° branch line couplers

Definitions

  • the invention relates to a power combiner for coupling and / or dividing (splitting) high-frequency signals having a frequency of more than 1 MHz to an output power of more than 100 W.
  • the invention further relates to a power combiner arrangement with such a power combiner.
  • a crucombiner which has a second electrical conductor spaced from a first electrical conductor.
  • the first electrical conductor is capacitively and inductively coupled to the second electrical conductor.
  • Both the first electrical conductor and the second electrical conductor can for Increasing the inductive coupling between the two conductors according to EP 1 699 107 AI have multiple turns.
  • a power combiner needs to be sufficiently cooled.
  • An effective cooling can be achieved by a heat sink.
  • Heat sink should be located close to the electrical conductors to allow good heat dissipation.
  • Capacity is the behavior of the power combiner changed in an unfavorable manner.
  • Object of the present invention is therefore to provide a tripod and a tripodan emblem, both effective cooling by a heat sink and a minimal unfavorable electrical influence of the heat sink on the
  • High-frequency signals having a frequency of more than 1 MHz to an output power of more than 100 W
  • the power combiner comprising:
  • the object of the invention is thus achieved by a symmetrical arrangement of the electrical conductors with respect to the heat sink.
  • parasitic capacitances are distributed symmetrically on the two conductors, so that a total of significantly more favorable influence on the performance characteristics of the power combiner takes place.
  • the total area of the first electrical conductor is preferably more than 75%, in particular more than 80%, particularly preferably more 90% equidistant from the heat sink as the total area of the second electrical conductor.
  • the power combiner according to the invention is preferably designed in the form of a 90 ° hybrid coupler. More preferred is the
  • the power combiner is designed as a power splitter for the output of powers of over 100 W.
  • the power combiner is preferred for coupling
  • High frequency signals formed between 1 MHz and 200 MHz.
  • the power combiner for outputting
  • the power combiner is designed for a transmission loss of less than 0.5 dB, in particular of less than 0.3 dB, more preferably of less than 0.1 dB, when operating at a frequency of ⁇ 10% of the fundamental frequency ,
  • To the output of the power combiner is preferably a
  • the compensation terminal is preferably connectable to a ground, in particular via a terminating resistor.
  • the termination resistor preferably has a reference impedance that may be 25 ⁇ or 50 ⁇ .
  • the reference impedance is the impedance for which the power combiner is designed at its inputs and outputs.
  • the heat sink is preferably in the form of a cooling plate.
  • the cooling plate can fluid-flow lines, in particular
  • the first electrical conductor and the second electrical conductor preferably each have a number of turns n> 1.
  • An inner turn of the first electrical conductor and / or the second electrical conductor may have a path that is not parallel to an outer turn to provide a phase balance between the inner turn and the outer turn.
  • the capacitive and inductive coupling of the power combiner is further improved and the arrangement is even more symmetrical if the total area of the first electrical conductor exceeds 60%.
  • the total area of the first electrical conductor is preferably more than 70%, in particular more than 80%, particularly preferably more than 90% of the total area of the second electrical conductor
  • the reference impedance can be reduced to values below 50 ⁇ . Then, the inductance of the first and second electrical conductors is reduced, and thus the structure can be made on a smaller area.
  • the reference impedance at a frequency greater than 1 MHz at the first and second inputs is 25 ⁇ .
  • the reference impedance at a frequency of more than 3 MHz, 10 MHz, 40 MHz, 100 MHz or 200 MHz at the first and second input each less than 50 ⁇ , in particular less than 25 ⁇ .
  • the first electrical conductor may comprise a first first conductor piece and a second first conductor piece and the second electrical conductor has a first second conductor piece and a second second conductor piece, wherein the second second conductor piece is more than 70% coplanar and congruent offset to the first Warleiter schizophrenia runs and the second Warleiter conducted to more than 70% coplanar and congruent to the first second conductor piece runs.
  • the second second conductor piece thus preferably runs at least partially below the first first conductor piece and the second one
  • the second second conductor piece is preferably more than 80%, in particular more than 90%, coplanar and congruent offset to the first Warleiter schizophrenia and the second Warleiter schizophrenia preferably extends to more than 80%, in particular more than 90%, coplanar and congruent with the first second conductor piece. More preferably, the first Warleiterleiter Swiss extends to more than 70%, in particular more than 80%, more preferably more than 90%, parallel to the first second conductor piece and the second second conductor piece is preferably more than 70%, in particular more than 80% , more preferably more than 90%, parallel to the second
  • the heat sink may be arranged between the first second conductor piece and the second conductor piece. As a result, a particularly symmetrical design of the power combiner is achieved.
  • the power combiner can switch between the first and second
  • the power combiner between the planar surface electrode of the first electrical conductor and the planar surface electrode of the second electrical conductor has a dielectric, in particular an electrical one
  • the dielectric in particular the electrically insulating substrate, protects against flashovers between the electrical conductors.
  • planar surface electrode of the first electrical conductor and the planar surface electrode of the second electrical conductor can be arranged directly on a dielectric, in particular an electrically insulating substrate.
  • planar surface electrode of the first electrical conductor can at least partially, in particular completely, at a first
  • Dielectric in particular an electrically insulating substrate
  • the planar surface electrode of the second electrical conductor is at least partially, in particular completely, arranged on a second dielectric, in particular an electrically insulating substrate, of the power combiner.
  • Substrate wherein a first second conductor piece of the second surface electrode on the second main side of the first dielectric, in particular electrically insulating substrate, and a second
  • first planar area electrode and the second planar area electrode may comprise sections which are alternately arranged on a first planar main side of a dielectric, in particular electrically insulating substrate, and on a second planar main side of a dielectric, in particular an electrically insulating substrate, opposite the first planar main side , run.
  • the aforementioned first main page and the aforementioned second main page are preferably main sides of a single dielectric, in particular electrically insulating substrate.
  • the power combiner may comprise a multilayer printed circuit board, wherein the multilayer printed circuit board is the planar surface electrode of the first electrical conductor and the planar surface electrode of the second
  • At least one dielectric, in particular electrically insulating substrate, of the multilayer printed circuit board can be printed circuit board material
  • Epoxy resin fabric have.
  • Another layer of multilayer printed circuit board may be polytetrafluoroethylene or a polyimide-containing
  • the multilayer card preferably has side dimensions in the
  • ⁇ refers to a frequency at the first and second input of more than 1 MHz, in particular more than 3 MHz, 10 MHz, 40 MHz, 100 MHz or 200 MHz.
  • the power combiner can be designed as a 90 ° hybrid.
  • the first and second electrical conductors may each have the same inductance L K. Between the first and the second
  • electrical conductor can set a capacitance C K by the dimensions of the coupler.
  • the inductance L K and the capacitance C K can be designed as follows:
  • the object of the invention is further achieved by a
  • a power combiner wherein the power combiner arrangement comprises a first radio frequency signal source connected to the first input and a second radio frequency signal source connected to the second input, and in particular a load connected to the output.
  • High-frequency signal source are preferably in the form of RF transistor amplifiers, in particular in the form of frequency-agile RF transistor amplifiers. Particularly preferably, the two high-frequency signal sources are identical.
  • the consumer is preferably designed in the form of a plasma system.
  • the heat sink is connected to the compensation terminal and / or a ground, in particular via a compensation resistor.
  • Fig. 1 is a plan view of a first hocombiner
  • Fig. 2 is a perspective view of another
  • 3a is a plan view of a hocombineran Mr. 3a.
  • Fig. 3b is a partial sectional view of the power combiner
  • the power combiner 10 has a first input 12a for a first high-frequency signal and a second input 32 for a second high frequency signal.
  • the first input 12a is connected to a first electrical conductor 14.
  • the second input 32 is connected to a second electrical conductor 16.
  • the electrical conductors 14, 16 are mutually inductive and capacitive coupled. Between the electrical conductors 14, 16, a dielectric, in particular electrically insulating substrate 18, is arranged.
  • the power combiner 10 in the present case is formed of a printed circuit board which contains the dielectric, in particular
  • a first electrically conductive layer 20 is disposed and on a second major planar side of the dielectric, in particular
  • a second electrically conductive layer 22 is arranged, which extends parallel to the first electrically conductive layer.
  • the first electrical conductor 14 and the second electrical conductor 16 are each formed in sections and alternately in the first electrically conductive layer 20 and the second electrically conductive layer 22. In Fig. 1, only the portions of the electrical conductors 14, 16 are visible, which are formed in the first electrically conductive layer 20.
  • the second electrically conductive layer 22 is covered in FIG. 1 by the dielectric, in particular electrically insulating substrate 18 and the first electrically conductive layer 22.
  • the first electrical conductor 14 and the second electrical conductor 16 are mostly formed in the form of surface electrodes.
  • Surface electrodes each have sections which alternately above and below the dielectric, in particular electrically insulating substrate 18, run.
  • Pieces 24a, 24c of the first electrical conductor 14 extend in the first electrically conductive layer 20 visible in FIG. 1.
  • Pieces 24b, 24d of the first electrical conductor 14 extend in the second electrically conductive layer 22.
  • portions 26a, 26c extend electrically in the second
  • Pieces 24a-d of the first electrical conductor 14 each congruent and coplanar with the sections 26a-d of the second electrical
  • the change from the first electrically conductive layer 20 to the second electrically conductive layer 22 is effected by bridges 28a-f.
  • the bridges 28a-c lead the first electrical conductor 14 and
  • the first electrical conductor 14 ends at its, the first input 12a opposite end at an output 30.
  • the second electrical conductor 16 terminates at its, the second input 32 opposite end to a balancing port 12b.
  • Power combiner 10 arranged. Because of the dielectric, in particular electrically insulating substrate 18, symmetrical
  • first and second electrical conductors 14, 16 is thereby a very symmetrical parasitic capacitance between the first electrical conductor 14 and the heat sink or between the second electrical Ladder 16 and the heat sink formed.
  • the electrical transmission characteristics of the power combiner 10 are thereby only minimally affected.
  • Fig. 2 shows another hocombiner 10.
  • Power combiner 10 has a multi-layer printed circuit board 34, which is composed of a plurality of printed circuit boards 36a-d.
  • a first printed circuit board 36a has a first dielectric, in particular electrically insulating
  • Substrate 38a a second printed circuit board 36b, a second dielectric, in particular electrically insulating substrate 38b, a third printed circuit board 36c, a third dielectric, in particular electrically insulating
  • the power combiner 10 has a first input 12a and a second input 32.
  • the first input 12a is connected via a first electrical conductor 14 to an output 30.
  • the second input 32 is connected via a second electrical conductor 16 with a
  • both the first electrical conductor 14 and the second electrical conductor 16 are in two
  • the first electrical conductor 14 has a first Warleiter schizophrenia 14a and a second Warleit concerning 14b
  • the second electrical conductor 16 has a first second conductor piece 16a and a second second conductor piece 16b.
  • the power combiner 10 has a heat sink 40, which is symmetrical with respect to the electrical conductors 14, 16.
  • the second Clearleit laminate 14b is close to the heat sink 40 and the first Warleit securities 14 a more distant from the heat sink 40, while the first second conductor piece 16 a close to the heat sink 40 and the second
  • Second conductor piece 16 b are arranged more distant from the heat sink 40.
  • the heat sink 40 is connected to a ground 42.
  • FIG. 3a shows a power combiner arrangement 44 with a further power combiner 10. To a first input 12a of the
  • Power combiner 10 is a first high frequency signal source 46a, to a second input 32 of power combiner 10 is connected a second high frequency signal source 46b.
  • the first input 12a is connected via a first electrical conductor 14 to an output 30
  • the second input 32 is connected via a second electrical conductor 16 with a
  • Equalizing terminal 12 b is connected, which is connected via the terminating resistor 31 to ground potential.
  • the power combiner 10 has a dielectric, in particular an electrically insulating substrate 18.
  • the first electrical conductor 14 is branched into the first first conductor piece 14a and a second first conductor piece 14b.
  • the second electrical conductor 16 is branched into a first second conductor piece 16a and a second second conductor piece 16b.
  • the first first conductor piece 14a and the first second conductor piece 16a are guided on a first main side of the dielectric, in particular insulating substrate 18.
  • the second first conductor piece 14b and the second second conductor piece 16b are guided on a second main side of the dielectric, in particular electrically insulating substrate 18.
  • the first electrical conductor 14 and the second electrical conductor 16 describe inner and outer windings.
  • the inner coil has a path 50, which does not run parallel to the outer coil, so that a phase compensation is created between the inner turns and the outer turns.
  • Second conductor piece 16a with the second second conductor piece 16b in the region of the output 30 and the compensation terminal 12b is analogous to the previous separation in the region of reference numerals 14b, 16b and is not shown in Fig. 3a.
  • Fig. 3b shows a schematic partial section of
  • the dielectric in particular electrically insulating substrate 18, is arranged.
  • the second first conductor piece 14b and the second second conductor piece 16b are in contact with a dielectric, which may be formed in particular as a thermally conductive plate 52.
  • the thermally conductive plate 52 may be formed in particular as a thermally conductive plate 52.
  • Plate 52 is placed on a heat sink 40. From Fig. 3b, the total equidistant spacing of the electrical conductors 14, 16 to the heat sink 40 can be seen.
  • Such a dielectric especially as a thermally conductive
  • Plate 52 may be formed, in general, so also in the
  • a heat sink 40 and the heat sink facing conductor tracks or conductor track sections be arranged. It can fulfill several functions. First, it serves the electrical insulation of the conductor tracks or conductor track sections with respect to the potential of the heat sink 40, which is usually connected to ground (ground). In addition, with the thickness and the dielectric properties of the dielectric, a defined capacitance between the conductor tracks or conductor track sections can be set. This can be used to combat high-frequency unwanted vibrations. In addition, with the material properties, in particular with the loss factors of the dielectric, electrical losses of the
  • Power combiners 10 are set. In principle, the first assumption could be that the lowest possible losses should be optimal.
  • the dielectric has the advantage that the power combiner 10 without forced air flow solely by the thermal contact with the heat sink 40th
  • the power combiner 10 may be built together with other components of amplifiers on a common circuit board. This can significantly reduce the cost of such amplifier-power combiner assemblies while significantly reducing the noise interference from external noise fields.
  • the power combiner 10 may be used alone or in conjunction with other components of amplifiers in a metallic housing be housed. This can further reduce interference coupling due to external interference fields.
  • the invention relates to a power combiner 10 with a
  • the power combiner 10 has at least a first electrical conductor 14 and a second electrical conductor 16. Overall, the first electrical conductor 14 and the second electrical conductor 16 are largely equidistant from the heat sink 40
  • first electrical conductor 14 and the second electrical conductor 16 may be arranged alternately near or far from the heat sink 40.
  • the heat sink 40 may be disposed between the first electrical conductor 14 and the second electrical conductor 16.
  • Heatsink 40 are spaced.

Abstract

The invention relates to a power combiner (10) comprising a cooling body (40). The power combiner (10) hast at least one first electrical conductor (14) and one second electrical conductor (16). The first electrical conductor (14) and the second electrical conductor (16) are generally mostly arranged equidistant from the cooling body (40). In addition, the first electrical conductor (14) and the second electrical conductor (16) can be arranged alternatingly near or at a distance from the cooling body (40). Alternatively or in addition, the cooling body (40) can be arranged between the first electrical conductor (14) and the second electrical conductor (16). Alternatively or in addition, the first electrical conductor (14) and the second electrical conductor (16) can be divided mostly into parallel conductor parts (14a, 14b, 16a, 16b), wherein the conductor parts (14a, 14b, 16a, 16b) are distanced from the cooling body (40) in such a way that the first electrical conductor (14) and the second electrical conductor (16) are generally mostly at equal distance from the cooling body (40).

Description

Leistungscombiner mit symmetrisch angeordnetem Kühlkörper und Leistungscombineranordnung  Power combiner with symmetrically arranged heat sink and power combiner arrangement
Die Erfindung betrifft einen Leistungscombiner zur Kopplung und/oder zum Aufteilen (Splitten) von Hochfrequenzsignalen mit einer Frequenz von mehr als 1 MHz zu einer Ausgangsleistung von mehr als 100 W. Die Erfindung betrifft weiterhin eine Leistungscombineranordnung mit einem solchen Leistungscombiner. The invention relates to a power combiner for coupling and / or dividing (splitting) high-frequency signals having a frequency of more than 1 MHz to an output power of more than 100 W. The invention further relates to a power combiner arrangement with such a power combiner.
Es ist bekannt, Leistungscombiner mit elektrischen Leitern zum It is known to have power combiners with electrical conductors for
Zusammenführen mehrerer Hochfrequenzsignalquellen und/oder zum Aufteilen (Splitten) eines Hochfrequenzsignals einzusetzen. Merging multiple high-frequency signal sources and / or for splitting (splitting) a high-frequency signal use.
Aus der EP 1 699 107 AI ist ein Leistungscombiner bekannt geworden, der einen von einem ersten elektrischen Leiter beabstandeten zweiten elektrischen Leiter aufweist. Der erste elektrische Leiter ist kapazitiv und induktiv mit dem zweiten elektrischen Leiter gekoppelt. Sowohl der erste elektrische Leiter als auch der zweite elektrische Leiter können zur Erhöhung der induktiven Kopplung zwischen den beiden Leitern gemäß der EP 1 699 107 AI mehrere Windungen aufweisen. From EP 1 699 107 AI a Leistungscombiner has become known which has a second electrical conductor spaced from a first electrical conductor. The first electrical conductor is capacitively and inductively coupled to the second electrical conductor. Both the first electrical conductor and the second electrical conductor can for Increasing the inductive coupling between the two conductors according to EP 1 699 107 AI have multiple turns.
Andere Leistungscombiner sind beispielsweise aus den folgenden Schriften bekannt: US 8 044 749 Bl, DE 103 42 611 AI, US2014/0085019 AI . Other power combiners are known, for example, from the following documents: US Pat. No. 8,044,749 B1, DE 103 42 611 A1, US2014 / 0085019 A1.
Ein Leistungscombiner muss ausreichend gekühlt werden. Eine effektive Kühlung kann dabei durch einen Kühlkörper erreicht werden. Der A power combiner needs to be sufficiently cooled. An effective cooling can be achieved by a heat sink. Of the
Kühlkörper sollte nahe an den elektrischen Leitern angeordnet sein, um eine gute Wärmeabfuhr zu ermöglichen. Heat sink should be located close to the electrical conductors to allow good heat dissipation.
Aufgrund der Nähe der elektrischen Leiter zu dem Kühlkörper kommt es jedoch zu einer parasitären Kapazität zwischen dem Kühlkörper und den elektrischen Leitern : Je näher sich die elektrischen Leiter an dem Due to the proximity of the electrical conductors to the heat sink, however, there is a parasitic capacitance between the heat sink and the electrical conductors: the closer the electrical conductors to the
Kühlkörper befinden, umso effektiver ist zwar die Kühlung, aber umso größer wird auch die parasitäre Kapazität. In Folge der parasitären Heat sinks are, the more effective is the cooling, but the greater the parasitic capacitance. As a result of the parasitic
Kapazität wird das Verhalten des Leistungscombiners in ungünstiger Art und Weise verändert. Capacity is the behavior of the power combiner changed in an unfavorable manner.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, einen Leistungscombiner und eine Leistungscombineranordnung zu schaffen, die sowohl eine effektive Kühlung durch einen Kühlkörper als auch einen minimal ungünstigen elektrischen Einfluss des Kühlkörpers auf die Object of the present invention is therefore to provide a Leistungscombiner and a Leistungscombineranordnung, both effective cooling by a heat sink and a minimal unfavorable electrical influence of the heat sink on the
Leistungscharakteristik des Leistungscombiners aufweisen. Have performance of the power combiner.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Leistungscombiner mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 und eine This object is achieved by a Leistungscombiner with the features of claim 1 and a
Leistungscombineranordnung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 10 gelöst. Die Unteransprüche geben zweckmäßige Weiterbildungen an. Die erfindungsgemäße Aufgabe wird somit gelöst durch einen Leistungscombiner zur Kopplung und/oder zum Aufteilen von Leistungscombineranordnung with the features of claim 10 solved. The dependent claims indicate expedient developments. The object of the invention is thus achieved by a power combiner for coupling and / or for splitting
Hochfrequenzsignalen mit einer Frequenz von mehr als 1 MHz zu einer Ausgangsleistung von mehr als 100 W, wobei der Leistungscombiner Folgendes aufweist: High-frequency signals having a frequency of more than 1 MHz to an output power of more than 100 W, the power combiner comprising:
a) einen ersten Eingang für ein erstes Hochfrequenzsignal;  a) a first input for a first high frequency signal;
b) einen zweiten Eingang für ein zweites Hochfrequenzsignal;  b) a second input for a second radio frequency signal;
c) einen Ausgang;  c) an output;
d) einen Ausgleichsanschluss;  d) a balancing port;
e) einen ersten elektrischen Leiter zwischen dem ersten Eingang und dem Ausgang, wobei der erste elektrische Leiter größtenteils in Form einer planaren Flächenelektrode ausgebildet ist;  e) a first electrical conductor between the first input and the output, wherein the first electrical conductor is formed largely in the form of a planar surface electrode;
f) einen zweiten elektrischen Leiter zwischen dem zweiten Eingang und dem Ausgleichsanschluss, wobei der zweite elektrische Leiter größtenteils in Form einer planaren Flächenelektrode ausgebildet ist und wobei der zweite elektrische Leiter kapazitiv und induktiv mit dem ersten elektrischen Leiter gekoppelt ist;  f) a second electrical conductor between the second input and the equalizing terminal, wherein the second electrical conductor is formed largely in the form of a planar surface electrode and wherein the second electrical conductor is capacitively and inductively coupled to the first electrical conductor;
g) einen Kühlkörper, wobei die Gesamtfläche des ersten elektrischen Leiters zu mehr als 70% gleich weit von dem Kühlkörper  g) a heat sink, wherein the total area of the first electrical conductor to more than 70% equidistant from the heat sink
beabstandet ist wie die Gesamtfläche des zweiten elektrischen Leiters.  is spaced as the total area of the second electrical conductor.
Die erfindungsgemäße Aufgabe wird somit durch eine symmetrische Anordnung der elektrischen Leiter bezüglich des Kühlkörpers gelöst. The object of the invention is thus achieved by a symmetrical arrangement of the electrical conductors with respect to the heat sink.
Hierdurch werden parasitäre Kapazitäten symmetrisch auf die beiden Leiter verteilt, sodass ein insgesamt signifikant günstigerer Einfluss auf die Leistungscharakteristik des Leistungscombiners erfolgt. As a result, parasitic capacitances are distributed symmetrically on the two conductors, so that a total of significantly more favorable influence on the performance characteristics of the power combiner takes place.
Die Gesamtfläche des ersten elektrischen Leiters ist vorzugsweise zu mehr als 75%, insbesondere zu mehr als 80%, besonders bevorzugt zu mehr als 90% gleich weit von dem Kühlkörper beabstandet wie die Gesamtfläche des zweiten elektrischen Leiters. The total area of the first electrical conductor is preferably more than 75%, in particular more than 80%, particularly preferably more 90% equidistant from the heat sink as the total area of the second electrical conductor.
Der erfindungsgemäße Leistungscombiner ist vorzugsweise in Form eines 90°-Hybridkopplers ausgebildet. Weiter bevorzugt ist der The power combiner according to the invention is preferably designed in the form of a 90 ° hybrid coupler. More preferred is the
Leistungscombiner in Form eines Leistungssplitters betreibbar. Besonders bevorzugt ist der Leistungscombiner als Leistungssplitter zur Ausgabe von Leistungen von über 100 W ausgebildet. Leistungscombiner operable in the form of a Leistungssplitters. Particularly preferably, the power combiner is designed as a power splitter for the output of powers of over 100 W.
Der Leistungscombiner ist bevorzugt zur Kopplung von The power combiner is preferred for coupling
Hochfrequenzsignalen zwischen 1 MHz und 200 MHz ausgebildet. High frequency signals formed between 1 MHz and 200 MHz.
Besonders bevorzugt ist der Leistungscombiner zur Ausgabe von Particularly preferred is the power combiner for outputting
Leistungen über 2 kW ausgebildet. Power over 2 kW trained.
In besonders bevorzugter Ausgestaltung des Leistungscombiners ist der Leistungscombiner zu einer Durchgangsdämpfung von weniger als 0,5 dB, insbesondere von weniger als 0,3 dB, weiter bevorzugt von weniger als 0,1 dB beim Betrieb bei einer Frequenz von ±10% der Grundfrequenz ausgebildet. In a particularly preferred embodiment of the power combiner, the power combiner is designed for a transmission loss of less than 0.5 dB, in particular of less than 0.3 dB, more preferably of less than 0.1 dB, when operating at a frequency of ± 10% of the fundamental frequency ,
An den Ausgang des Leistungscombiners ist vorzugsweise ein To the output of the power combiner is preferably a
Verbraucher, insbesondere in Form einer Plasmaanlage, anschließbar. Der Ausgleichsanschluss ist vorzugsweise mit einer Erdung, insbesondere über einen Abschlusswiderstand, verbindbar. Der Abschlusswiderstand weist vorzugsweise eine Bezugsimpedanz auf, die einen Betrag von 25 Ω oder 50 Ω aufweisen kann. Die Bezugsimpedanz ist die Impedanz, für die der Leistungscombiner an seinen Eingängen bzw. Ausgängen ausgelegt ist. Der Kühlkörper ist vorzugsweise in Form einer Kühlplatte ausgebildet. Die Kühlplatte kann fluiddurchströmte Leitungen, insbesondere Consumer, in particular in the form of a plasma system, connectable. The compensation terminal is preferably connectable to a ground, in particular via a terminating resistor. The termination resistor preferably has a reference impedance that may be 25Ω or 50Ω. The reference impedance is the impedance for which the power combiner is designed at its inputs and outputs. The heat sink is preferably in the form of a cooling plate. The cooling plate can fluid-flow lines, in particular
Wasserleitungen, aufweisen. Water pipes, exhibit.
Zur effektiven induktiven Kopplung des ersten Leiters zum zweiten Leiter weisen der erste elektrische Leiter und der zweite elektrische Leiter vorzugsweise jeweils eine Windungszahl n > 1 auf. For effective inductive coupling of the first conductor to the second conductor, the first electrical conductor and the second electrical conductor preferably each have a number of turns n> 1.
Die Windungszahl des ersten elektrischen Leiters und des zweiten elektrischen Leiters ist vorzugsweise n > 2, insbesondere n = 3, weiter bevorzugt n > 3. The number of turns of the first electrical conductor and the second electrical conductor is preferably n> 2, in particular n = 3, more preferably n> 3.
Eine Innenwindung des ersten elektrischen Leiters und/oder des zweiten elektrischen Leiters kann ein Wegstück aufweisen, das nicht parallel zu einer Außenwindung verläuft, um einen Phasenausgleich zwischen der Innenwindung und der Außenwindung zu schaffen. An inner turn of the first electrical conductor and / or the second electrical conductor may have a path that is not parallel to an outer turn to provide a phase balance between the inner turn and the outer turn.
Die kapazitive und induktive Kopplung des Leistungscombiners wird weiter verbessert und die Anordnung noch symmetrischer ausgebildet, wenn die Gesamtfläche des ersten elektrischen Leiters zu mehr als 60% The capacitive and inductive coupling of the power combiner is further improved and the arrangement is even more symmetrical if the total area of the first electrical conductor exceeds 60%.
deckungsgleich, und insbesondere koplanar, der Gesamtfläche des zweiten elektrischen Leiters gegenübersteht. congruent, and in particular coplanar, facing the total area of the second electrical conductor.
Die Gesamtfläche des ersten elektrischen Leiters steht vorzugsweise zu mehr als 70%, insbesondere zu mehr als 80%, besonders bevorzugt zu mehr als 90% der Gesamtfläche des zweiten elektrischen Leiters The total area of the first electrical conductor is preferably more than 70%, in particular more than 80%, particularly preferably more than 90% of the total area of the second electrical conductor
deckungsgleich, und insbesondere koplanar, gegenüber. Die Bezugsimpedanz kann auf werte kleiner 50 Ω reduziert werden. Dann reduziert sich die Induktivität des ersten und zweiten elektrischen Leiters und damit kann der Aufbau auf einer kleineren Fläche erfolgen. congruent, and in particular coplanar, opposite. The reference impedance can be reduced to values below 50 Ω. Then, the inductance of the first and second electrical conductors is reduced, and thus the structure can be made on a smaller area.
Vorzugsweise beträgt die Bezugsimpedanz bei einer Frequenz von mehr als 1 MHz am ersten und am zweiten Eingang 25 Ω. Preferably, the reference impedance at a frequency greater than 1 MHz at the first and second inputs is 25 Ω.
Weiter bevorzugt beträgt die Bezugsimpedanz bei einer Frequenz von mehr als 3 MHz, 10 MHz, 40 MHz, 100 MHz oder 200 MHz am ersten und zweiten Eingang jeweils weniger als 50 Ω, insbesondere jeweils weniger als 25 Ω. More preferably, the reference impedance at a frequency of more than 3 MHz, 10 MHz, 40 MHz, 100 MHz or 200 MHz at the first and second input each less than 50 Ω, in particular less than 25 Ω.
In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung kann der erste elektrische Leiter ein erstes Erstleiterstück und ein zweites Erstleiterstück aufweisen und der zweite elektrische Leiter ein erstes Zweitleiterstück und ein zweites Zweitleiterstück aufweisen, wobei das zweite Zweitleiterstück zu mehr als 70% koplanar und deckungsgleich versetzt zu dem ersten Erstleiterstück verläuft und das zweite Erstleiterstück zu mehr als 70% koplanar und deckungsgleich zu dem ersten Zweitleiterstück verläuft. In a preferred embodiment of the invention, the first electrical conductor may comprise a first first conductor piece and a second first conductor piece and the second electrical conductor has a first second conductor piece and a second second conductor piece, wherein the second second conductor piece is more than 70% coplanar and congruent offset to the first Erstleiterstück runs and the second Erstleiterstück to more than 70% coplanar and congruent to the first second conductor piece runs.
Das zweite Zweitleiterstück verläuft somit vorzugsweise zumindest teilweise unterhalb des ersten Erstleiterstücks und das zweite The second second conductor piece thus preferably runs at least partially below the first first conductor piece and the second one
Erstleiterstück verläuft vorzugsweise zumindest teilweise unterhalb des ersten Zweitleiterstücks. Erstleiterstück preferably extends at least partially below the first second conductor piece.
Das zweite Zweitleiterstück verläuft vorzugsweise zu mehr als 80%, insbesondere zu mehr als 90%, koplanar und deckungsgleich versetzt zu dem ersten Erstleiterstück und das zweite Erstleiterstück verläuft vorzugsweise zu mehr als 80%, insbesondere zu mehr als 90%, koplanar und deckungsgleich zu dem ersten Zweitleiterstück. Weiter bevorzugt verläuft das erste Erstleiterleiterstück zu mehr als 70%, insbesondere zu mehr als 80%, besonders bevorzugt zu mehr als 90%, parallel zu dem ersten Zweitleiterstück und das zweite Zweitleiterstück verläuft vorzugsweise zu mehr als 70%, insbesondere zu mehr als 80%, besonders bevorzugt zu mehr als 90%, parallel zu dem zweiten The second second conductor piece is preferably more than 80%, in particular more than 90%, coplanar and congruent offset to the first Erstleiterstück and the second Erstleiterstück preferably extends to more than 80%, in particular more than 90%, coplanar and congruent with the first second conductor piece. More preferably, the first Erstleiterleiterstück extends to more than 70%, in particular more than 80%, more preferably more than 90%, parallel to the first second conductor piece and the second second conductor piece is preferably more than 70%, in particular more than 80% , more preferably more than 90%, parallel to the second
Erstleiterstück. Erstleiterstück.
Der Kühlkörper kann zwischen dem ersten Zweitleiterstück und dem zweiten Erstleiterstück angeordnet sein. Hierdurch wird eine besonders symmetrische Ausbildung des Leistungscombiners erzielt. The heat sink may be arranged between the first second conductor piece and the second conductor piece. As a result, a particularly symmetrical design of the power combiner is achieved.
Der Leistungscombiner kann zwischen dem ersten und zweiten The power combiner can switch between the first and second
elektrischen Leiter einen Luftspalt aufweisen. Vorzugsweise weist jedoch der Leistungscombiner zwischen der planaren Flächenelektrode des ersten elektrischen Leiters und der planaren Flächenelektrode des zweiten elektrischen Leiters ein Dielektrikum, insbesondere ein elektrisch electrical conductor have an air gap. Preferably, however, the power combiner between the planar surface electrode of the first electrical conductor and the planar surface electrode of the second electrical conductor has a dielectric, in particular an electrical one
isolierendes Substrat, auf. Hierdurch kann der Leistungscombiner besonders kompakt und kostengünstig gefertigt werden. Weiterhin schützt das Dielektrikum, insbesondere das elektrisch isolierende Substrat, vor Überschlägen zwischen den elektrischen Leitern. insulating substrate, on. This makes the power combiner particularly compact and inexpensive to manufacture. Furthermore, the dielectric, in particular the electrically insulating substrate, protects against flashovers between the electrical conductors.
Die planare Flächenelektrode des ersten elektrischen Leiters und die planare Flächenelektrode des zweiten elektrischen Leiters können unmittelbar an einem Dielektrikum, insbesondere einem elektrisch isolierenden Substrat, angeordnet sein. The planar surface electrode of the first electrical conductor and the planar surface electrode of the second electrical conductor can be arranged directly on a dielectric, in particular an electrically insulating substrate.
Die planare Flächenelektrode des ersten elektrischen Leiters kann zumindest teilweise, insbesondere vollständig, an einem ersten The planar surface electrode of the first electrical conductor can at least partially, in particular completely, at a first
Dielektrikum, insbesondere einem elektrisch isolierenden Substrat, und die planare Flächenelektrode des zweiten elektrischen Leiters zumindest teilweise, insbesondere vollständig, an einem zweiten Dielektrikum, insbesondere elektrisch isolierendem Substrat, des Leistungscombiners angeordnet sein. Dielectric, in particular an electrically insulating substrate, and the planar surface electrode of the second electrical conductor is at least partially, in particular completely, arranged on a second dielectric, in particular an electrically insulating substrate, of the power combiner.
In weiterer Ausgestaltung dieser Ausführungsform kann ein erstes In a further embodiment of this embodiment, a first
Erstleiterstück der ersten Flächenelektrode an der ersten Hauptseite des ersten Dielektrikums, insbesondere isolierenden Substrats, und ein zweites Erstleiterstück der ersten Flächenelektrode an der ersten First conductor piece of the first surface electrode on the first main side of the first dielectric, in particular insulating substrate, and a second first conductor piece of the first surface electrode on the first
Hauptseite des zweiten Dielektrikums, insbesondere isolierenden Main side of the second dielectric, in particular insulating
Substrats, angeordnet sein, wobei ein erstes Zweitleiterstück der zweiten Flächenelektrode an der zweiten Hauptseite des ersten Dielektrikums, insbesondere elektrisch isolierenden Substrats, und ein zweites Substrate, wherein a first second conductor piece of the second surface electrode on the second main side of the first dielectric, in particular electrically insulating substrate, and a second
Zweitleiterstück der zweiten Flächenelektrode an der zweiten Hauptseite des zweiten Dielektrikums, insbesondere isolierenden Substrats, Second conductor piece of the second surface electrode on the second main side of the second dielectric, in particular insulating substrate,
angeordnet sind. are arranged.
Alternativ oder zusätzlich dazu kann die erste planare Flächenelektrode und die zweite planare Flächenelektrode Teilstücke aufweisen, die wechselweise auf einer ersten planen Hauptseite eines Dielektrikums, insbesondere elektrisch isolierenden Substrats, und auf einer der ersten planen Hauptseite gegenüberliegenden zweiten planen Hauptseite eines Dielektrikums, insbesondere elektrisch isolierenden Substrats, verlaufen. Die vorgenannte erste Hauptseite und die vorgenannte zweite Hauptseite sind vorzugsweise Hauptseiten eines einzigen Dielektrikums, insbesondere elektrisch isolierenden Substrats. Alternatively or additionally, the first planar area electrode and the second planar area electrode may comprise sections which are alternately arranged on a first planar main side of a dielectric, in particular electrically insulating substrate, and on a second planar main side of a dielectric, in particular an electrically insulating substrate, opposite the first planar main side , run. The aforementioned first main page and the aforementioned second main page are preferably main sides of a single dielectric, in particular electrically insulating substrate.
Der Leistungscombiner kann eine Mehrlagenleiterkarte aufweisen, wobei die Mehrlagenleiterkarte die planare Flächenelektrode des ersten elektrischen Leiters und die planare Flächenelektrode des zweiten The power combiner may comprise a multilayer printed circuit board, wherein the multilayer printed circuit board is the planar surface electrode of the first electrical conductor and the planar surface electrode of the second
elektrischen Leiters aufweist. having electrical conductor.
Zumindest ein Dielektrikum, insbesondere elektrisch isolierendes Substrat, der Mehrlagenleiterkarte kann Leiterplattenmaterial aus At least one dielectric, in particular electrically insulating substrate, of the multilayer printed circuit board can be printed circuit board material
Epoxydharzgewebe aufweisen. Eine weitere Lage der Mehrlagenleiterkarte kann Polytetrafluorethylen oder ein polyimidhaltiges Epoxy resin fabric have. Another layer of multilayer printed circuit board may be polytetrafluoroethylene or a polyimide-containing
Leiterbahnträgermaterial aufweisen. Hierdurch wird die elektrische Have conductor carrier material. As a result, the electric
Durchbruchfestigkeit bei gleichzeitig geringen Fertigungskosten Breakthrough resistance combined with low manufacturing costs
maßgeblich erhöht. significantly increased.
Die Mehrlagenleiterkarte weist vorzugsweise Seitenmaße in der The multilayer card preferably has side dimensions in the
Hauptebene der Mehrlagenleiterkarte, in der sich die Flächenelektroden der ersten und zweiten Leiter erstrecken, von weniger als λ/100, Main plane of the multilayer printed circuit board, in which the surface electrodes of the first and second conductors extend, of less than λ / 100,
insbesondere von weniger als λ/200, auf, wobei sich λ auf eine Frequenz am ersten und zweiten Eingang von mehr als 1 MHz, insbesondere von mehr als 3 MHz, 10 MHz, 40 MHz, 100 MHz oder 200 MHz, bezieht. in particular of less than λ / 200, wherein λ refers to a frequency at the first and second input of more than 1 MHz, in particular more than 3 MHz, 10 MHz, 40 MHz, 100 MHz or 200 MHz.
Der Leistungscombiner kann als 90° Hybrid ausgestaltet sein. The power combiner can be designed as a 90 ° hybrid.
Wird der 90° Hybrid zur Kopplung von Hochfrequenzsignalen eingesetzt, so werden die Signale an den zwei Eingängen an einen Ausgang If the 90 ° hybrid is used for coupling high-frequency signals, the signals at the two inputs become an output
zusammengekoppelt, wenn die Signale an den Eingängen um 90° phasenverschoben sind. coupled together when the signals at the inputs are phase shifted by 90 °.
Wird der 90° Hybrid zum Aufteilen (Splitten) von Hochfrequenzsignalen eingesetzt, so wird ein an einen Eingang angelegtes Signal an zwei If the 90 ° hybrid is used to split (split) high-frequency signals, a signal applied to one input will be sent to two
Ausgänge gleichmäßig aufgeteilt, wobei die zwei aufgeteilten Signale um 90° phasenverschoben sind. Der erste und der zweite elektrische Leiter können jeweils die gleiche Induktivität LK aufweisen. Zwischen dem ersten und dem zweiten Outputs equally divided, with the two divided signals are phase-shifted by 90 °. The first and second electrical conductors may each have the same inductance L K. Between the first and the second
elektrischen Leiter kann sich durch die Abmessungen des Kopplers eine Kapazität CK einstellen. electrical conductor can set a capacitance C K by the dimensions of the coupler.
Für einen 90° Hybrid kann die Induktivität LK und die Kapazität CK wie folgt ausgelegt werden : For a 90 ° hybrid, the inductance L K and the capacitance C K can be designed as follows:
LK = Z0 / (2 π f) L K = Z 0 / (2πf)
CK = 1/ (2 π ί Ζ0) C K = 1 / (2 π ί Ζ 0 )
Wobei Zo die Bezugsimpedanz ist und f die Frequenz, für die der Where Zo is the reference impedance and f is the frequency for which the
90° Hybrid ausgelegt ist. 90 ° hybrid is designed.
Die erfindungsgemäße Aufgabe wird weiterhin gelöst durch eine The object of the invention is further achieved by a
Leistungscombineranordnung mit einem zuvor beschriebenen Leistungscombineranordnung with a previously described
Leistungscombiner, wobei die Leistungscombineranordnung eine erste Hochfrequenzsignalquelle, die an den ersten Eingang angeschlossen ist und eine zweite Hochfrequenzsignalquelle, die an den zweiten Eingang angeschlossen ist, sowie insbesondere einen Verbraucher aufweist, der an den Ausgang angeschlossen ist. A power combiner wherein the power combiner arrangement comprises a first radio frequency signal source connected to the first input and a second radio frequency signal source connected to the second input, and in particular a load connected to the output.
Die erste Hochfrequenzsignalquelle und die zweite The first high frequency signal source and the second
Hochfrequenzsignalquelle sind vorzugsweise in Form von HF- Transistorverstärkern, insbesondere in Form frequenzagiler HF- Transistorverstärker, ausgebildet. Besonders bevorzugt sind die beiden Hochfrequenzsignalquellen identisch ausgebildet. High-frequency signal source are preferably in the form of RF transistor amplifiers, in particular in the form of frequency-agile RF transistor amplifiers. Particularly preferably, the two high-frequency signal sources are identical.
Der Verbraucher ist vorzugsweise in Form einer Plasmaanlage ausgebildet. In weiter bevorzugter Ausgestaltung der Erfindung ist der Kühlkörper mit dem Ausgleichsanschluss und/oder einer Erdung, insbesondere über einen Ausgleichswiderstand, verbunden. The consumer is preferably designed in the form of a plasma system. In a further preferred embodiment of the invention, the heat sink is connected to the compensation terminal and / or a ground, in particular via a compensation resistor.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden detaillierten Beschreibung mehrerer Ausführungsbeispiele der Erfindung, aus den Patentansprüchen sowie anhand der Figuren der Zeichnung, die erfindungswesentliche Einzelheiten zeigt. Further features and advantages of the invention will become apparent from the following detailed description of several embodiments of the invention, from the claims and with reference to the figures of the drawing showing essential to the invention details.
Die in der Zeichnung gezeigten Merkmale sind derart dargestellt, dass die erfindungsgemäßen Besonderheiten deutlich sichtbar gemacht werden können. Die verschiedenen Merkmale können je einzeln für sich oder zu mehreren in beliebigen Kombinationen bei Varianten der Erfindung verwirklicht sein. The features shown in the drawing are shown such that the features of the invention can be made clearly visible. The various features may be implemented individually for themselves or for a plurality of combinations in variants of the invention.
Es zeigen : Show it :
Fig. 1 eine Draufsicht auf einen ersten Leistungscombiner; Fig. 1 is a plan view of a first Leistungscombiner;
Fig. 2 eine perspektivische Ansicht eines weiteren Fig. 2 is a perspective view of another
Leistungscombiners;  Power combiner;
Fig. 3a eine Draufsicht auf eine Leistungscombineranordnung mit einem weiteren Leistungscombiner; und 3a is a plan view of a Leistungscombineranordnung with another Leistungscombiner; and
Fig. 3b eine teilweise Schnittansicht des Leistungscombiners aus Fig. 3b is a partial sectional view of the power combiner
Fig. 3a.  Fig. 3a.
Fig. 1 zeigt einen Leistungscombiner 10. Der Leistungscombiner 10 weist einen ersten Eingang 12a für ein erstes Hochfrequenzsignal und einen zweiten Eingang 32 für ein zweites Hochfrequenzsignal auf. Der erste Eingang 12a ist mit einem ersten elektrischen Leiter 14 verbunden. Der zweite Eingang 32 ist mit einem zweiten elektrischen Leiter 16 verbunden. Die elektrischen Leiter 14, 16 sind zueinander induktiv und kapazitiv gekoppelt. Zwischen den elektrischen Leitern 14, 16 ist ein Dielektrikum, insbesondere elektrisch isolierendes Substrat 18, angeordnet. 1 shows a power combiner 10. The power combiner 10 has a first input 12a for a first high-frequency signal and a second input 32 for a second high frequency signal. The first input 12a is connected to a first electrical conductor 14. The second input 32 is connected to a second electrical conductor 16. The electrical conductors 14, 16 are mutually inductive and capacitive coupled. Between the electrical conductors 14, 16, a dielectric, in particular electrically insulating substrate 18, is arranged.
Genauer gesagt ist der Leistungscombiner 10 im vorliegenden Fall aus einer Leiterplatte ausgebildet, die das Dielektrikum, insbesondere More specifically, the power combiner 10 in the present case is formed of a printed circuit board which contains the dielectric, in particular
isolierende Substrat 18, aufweist, wobei auf einer ersten planen insulating substrate 18, having to plan on a first
Hauptseite des Dielektrikums, insbesondere elektrisch isolierenden Main side of the dielectric, in particular electrically insulating
Substrats, eine erste elektrisch leitfähige Lage 20 angeordnet ist und an einer zweiten planen Hauptseite des Dielektrikums, insbesondere Substrate, a first electrically conductive layer 20 is disposed and on a second major planar side of the dielectric, in particular
elektrisch isolierenden Substrats 18, eine zweite elektrisch leitfähige Lage 22 angeordnet ist, die parallel zur ersten elektrisch leitfähigen Lage verläuft. electrically insulating substrate 18, a second electrically conductive layer 22 is arranged, which extends parallel to the first electrically conductive layer.
Der erste elektrische Leiter 14 und der zweite elektrische Leiter 16 sind jeweils abschnitts- und wechselweise in der ersten elektrisch leitfähigen Lage 20 und der zweiten elektrisch leitfähigen Lage 22 ausgebildet. In Fig. 1 sind nur die Abschnitte der elektrischen Leiter 14, 16 sichtbar, die in der ersten elektrisch leitfähigen Lage 20 ausgebildet sind. Die zweite elektrisch leitfähige Lage 22 wird in Fig. 1 durch das Dielektrikum, insbesondere elektrisch isolierende Substrat 18 und die erste elektrisch leitfähige Lage 22 verdeckt. The first electrical conductor 14 and the second electrical conductor 16 are each formed in sections and alternately in the first electrically conductive layer 20 and the second electrically conductive layer 22. In Fig. 1, only the portions of the electrical conductors 14, 16 are visible, which are formed in the first electrically conductive layer 20. The second electrically conductive layer 22 is covered in FIG. 1 by the dielectric, in particular electrically insulating substrate 18 and the first electrically conductive layer 22.
Der erste elektrische Leiter 14 und der zweite elektrische Leiter 16 sind größtenteils jeweils in Form von Flächenelektroden ausgebildet. Die The first electrical conductor 14 and the second electrical conductor 16 are mostly formed in the form of surface electrodes. The
Flächenelektroden weisen jeweils Teilstücke auf, die wechselweise oberhalb und unterhalb des Dielektrikums, insbesondere elektrisch isolierenden Substrats 18, verlaufen. Teilstücke 24a, 24c des ersten elektrischen Leiters 14 verlaufen in der in Fig. 1 sichtbaren ersten elektrisch leitfähigen Lage 20. Teilstücke 24b, 24d des ersten elektrischen Leiters 14 verlaufen in der zweiten elektrisch leitfähigen Lage 22. Surface electrodes each have sections which alternately above and below the dielectric, in particular electrically insulating substrate 18, run. Pieces 24a, 24c of the first electrical conductor 14 extend in the first electrically conductive layer 20 visible in FIG. 1. Pieces 24b, 24d of the first electrical conductor 14 extend in the second electrically conductive layer 22.
Weiterhin verlaufen Teilstücke 26a, 26c in der zweiten elektrisch Furthermore, portions 26a, 26c extend electrically in the second
leitfähigen Lage 22 und Teilstücke 26b, 26d in der ersten elektrisch leitfähigen Lage 20. Dabei verlaufen die Flächenelektroden der conductive layer 22 and portions 26b, 26d in the first electrically conductive layer 20. In this case, the surface electrodes of the
Teilstücke 24a-d des ersten elektrischen Leiters 14 jeweils deckungsgleich und koplanar zu den Teilstücken 26a-d des zweiten elektrischen Pieces 24a-d of the first electrical conductor 14 each congruent and coplanar with the sections 26a-d of the second electrical
Leiters 16. Ladder 16.
Der Wechsel von der ersten elektrisch leitfähigen Lage 20 zu der zweiten elektrisch leitfähigen Lage 22 erfolgt dabei durch Brücken 28a-f. Die Brücken 28a-c führen dabei den ersten elektrischen Leiter 14 und The change from the first electrically conductive layer 20 to the second electrically conductive layer 22 is effected by bridges 28a-f. The bridges 28a-c lead the first electrical conductor 14 and
Brücken 28d-f den zweiten elektrischen Leiter 16 zwischen den elektrisch leitfähigen Lagen 20, 22. Bridges 28d-f the second electrical conductor 16 between the electrically conductive layers 20, 22nd
Der erste elektrische Leiter 14 endet an seinem, dem ersten Eingang 12a gegenüberliegenden Ende an einem Ausgang 30. Der zweite elektrische Leiter 16 endet an seinem, dem zweiten Eingang 32 gegenüberliegenden Ende an einem Ausgleichsanschluss 12b. The first electrical conductor 14 ends at its, the first input 12a opposite end at an output 30. The second electrical conductor 16 terminates at its, the second input 32 opposite end to a balancing port 12b.
Die in Fig. 1 dargestellte Leiterplatte aus den elektrisch leitfähigen The printed circuit board shown in Fig. 1 of the electrically conductive
Lagen 20, 22 und dem Dielektrikum, insbesondere elektrisch isolierenden Substrat 18, wird an einem Kühlkörper (nicht gezeigt) des Layers 20, 22 and the dielectric, in particular electrically insulating substrate 18, on a heat sink (not shown) of the
Leistungscombiners 10 angeordnet. Aufgrund der zu dem Dielektrikum, insbesondere elektrisch isolierenden Substrat 18, symmetrisch Power combiner 10 arranged. Because of the dielectric, in particular electrically insulating substrate 18, symmetrical
verlaufenden ersten und zweiten elektrischen Leiter 14, 16 wird dabei eine sehr symmetrische parasitäre Kapazität zwischen dem ersten elektrischen Leiter 14 und dem Kühlkörper bzw. zwischen dem zweiten elektrischen Leiter 16 und dem Kühlkörper ausgebildet. Die elektrischen Übertragungseigenschaften des Leistungscombiners 10 werden dadurch nur minimal beeinflusst. extending first and second electrical conductors 14, 16 is thereby a very symmetrical parasitic capacitance between the first electrical conductor 14 and the heat sink or between the second electrical Ladder 16 and the heat sink formed. The electrical transmission characteristics of the power combiner 10 are thereby only minimally affected.
Fig. 2 zeigt einen weiteren Leistungscombiner 10. Der Fig. 2 shows another Leistungscombiner 10. The
Leistungscombiner 10 weist eine Mehrlagenleiterkarte 34 auf, die sich aus mehreren Leiterkarten 36a-d zusammensetzt. Eine erste Leiterkarte 36a weist ein erstes Dielektrikum, insbesondere elektrisch isolierendes Power combiner 10 has a multi-layer printed circuit board 34, which is composed of a plurality of printed circuit boards 36a-d. A first printed circuit board 36a has a first dielectric, in particular electrically insulating
Substrat 38a, eine zweite Leiterkarte 36b ein zweites Dielektrikum, insbesondere elektrisch isolierendes Substrat 38b, eine dritte Leiterkarte 36c ein drittes Dielektrikum, insbesondere elektrisch isolierendes Substrate 38a, a second printed circuit board 36b, a second dielectric, in particular electrically insulating substrate 38b, a third printed circuit board 36c, a third dielectric, in particular electrically insulating
Substrat 38c, und eine vierte Leiterkarte 36d ein viertes Dielektrikum, insbesondere elektrisch isolierendes Substrat 38d, auf. Substrate 38c, and a fourth printed circuit board 36d, a fourth dielectric, in particular electrically insulating substrate 38d on.
Der Leistungscombiner 10 weist einen ersten Eingang 12a und einen zweiten Eingang 32 auf. Der erste Eingang 12a ist über einen ersten elektrischen Leiter 14 mit einem Ausgang 30 verbunden. Der zweite Eingang 32 ist über einen zweiten elektrischen Leiter 16 mit einem The power combiner 10 has a first input 12a and a second input 32. The first input 12a is connected via a first electrical conductor 14 to an output 30. The second input 32 is connected via a second electrical conductor 16 with a
Ausgleichsanschluss 12b verbunden. Compensation port 12b connected.
Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind sowohl der erste elektrische Leiter 14 als auch der zweite elektrische Leiter 16 in jeweils zwei In the present embodiment, both the first electrical conductor 14 and the second electrical conductor 16 are in two
Leitungen aufgespalten: Der erste elektrische Leiter 14 weist ein erstes Erstleiterstück 14a und ein zweites Erstleiterstück 14b auf, der zweite elektrische Leiter 16 weist ein erstes Zweitleiterstück 16a und ein zweites Zweitleiterstück 16b auf. Lines split: The first electrical conductor 14 has a first Erstleiterstück 14a and a second Erstleitstück 14b, the second electrical conductor 16 has a first second conductor piece 16a and a second second conductor piece 16b.
Der Leistungscombiner 10 weist einen Kühlkörper 40 auf, der symmetrisch zu den elektrischen Leitern 14, 16 beabstandet ist. Im vorliegenden Fall ist dabei das zweite Erstleiterstück 14b nahe am Kühlkörper 40 und das erste Erstleiterstück 14a entfernter vom Kühlkörper 40, während das erste Zweitleiterstück 16a nahe am Kühlkörper 40 und das zweite The power combiner 10 has a heat sink 40, which is symmetrical with respect to the electrical conductors 14, 16. In the present case, the second Erstleitstück 14b is close to the heat sink 40 and the first Erstleitstück 14 a more distant from the heat sink 40, while the first second conductor piece 16 a close to the heat sink 40 and the second
Zweitleiterstück 16b entfernter vom Kühlkörper 40 angeordnet sind. Der Kühlkörper 40 ist mit einer Erdung 42 verbunden. Second conductor piece 16 b are arranged more distant from the heat sink 40. The heat sink 40 is connected to a ground 42.
Fig. 3a zeigt eine Leistungscombineranordnung 44 mit einem weiteren Leistungscombiner 10. An einen ersten Eingang 12a des FIG. 3a shows a power combiner arrangement 44 with a further power combiner 10. To a first input 12a of the
Leistungscombiners 10 ist eine erste Hochfrequenzsignalquelle 46a, an einen zweiten Eingang 32 des Leistungscombiners 10 ist eine zweite Hochfrequenzsignalquelle 46b angeschlossen. Der erste Eingang 12a ist über einen ersten elektrischen Leiter 14 mit einem Ausgang 30 Power combiner 10 is a first high frequency signal source 46a, to a second input 32 of power combiner 10 is connected a second high frequency signal source 46b. The first input 12a is connected via a first electrical conductor 14 to an output 30
verbunden, an den ein Verbraucher 48 angeschlossen ist. Der zweite Eingang 32 ist über einen zweiten elektrischen Leiter 16 mit einem connected to a consumer 48 is connected. The second input 32 is connected via a second electrical conductor 16 with a
Ausgleichsanschluss 12b verbunden, der über den Abschlusswiderstand 31 an Erdpotential angeschlossen ist. Equalizing terminal 12 b is connected, which is connected via the terminating resistor 31 to ground potential.
Der Leistungscombiner 10 weist ein Dielektrikum, insbesondere elektrisch isolierendes Substrat 18 auf. Der erste elektrische Leiter 14 wird in erstes Erstleiterstück 14a und ein zweites Erstleiterstück 14b aufgezweigt. Der zweite elektrische Leiter 16 wird in ein erstes Zweitleiterstück 16a und ein zweites Zweitleiterstück 16b aufgezweigt. Das erste Erstleiterstück 14a und das erste Zweitleiterstück 16a werden auf einer ersten Hauptseite des Dielektrikums, insbesondere isolierenden Substrats 18, geführt. Das zweite Erstleiterstück 14b und das zweite Zweitleiterstück 16b werden auf einer zweiten Hauptseite des Dielektrikum, insbesondere elektrisch isolierenden Substrats 18, geführt. The power combiner 10 has a dielectric, in particular an electrically insulating substrate 18. The first electrical conductor 14 is branched into the first first conductor piece 14a and a second first conductor piece 14b. The second electrical conductor 16 is branched into a first second conductor piece 16a and a second second conductor piece 16b. The first first conductor piece 14a and the first second conductor piece 16a are guided on a first main side of the dielectric, in particular insulating substrate 18. The second first conductor piece 14b and the second second conductor piece 16b are guided on a second main side of the dielectric, in particular electrically insulating substrate 18.
Der erste elektrische Leiter 14 und der zweite elektrische Leiter 16 beschreiben Innen- bzw. Außenwindungen. Die Innenwindung weist dabei ein Wegstück 50 auf, das nicht parallel zur Außenwindung verläuft, sodass zwischen den Innenwindungen und den Außenwindungen ein Phasenausgleich geschaffen wird. The first electrical conductor 14 and the second electrical conductor 16 describe inner and outer windings. The inner coil has a path 50, which does not run parallel to the outer coil, so that a phase compensation is created between the inner turns and the outer turns.
Die Zusammenführung des ersten Erstleiterstücks 14a mit dem zweiten Erstleiterstück 14b und die Zusammenführung des ersten The merging of the first Erstleitstücks 14a with the second Erstleitstück 14b and the merger of the first
Zweitleiterstücks 16a mit dem zweiten Zweitleiterstück 16b im Bereich des Ausgangs 30 bzw. des Ausgleichsanschlusses 12b verläuft analog zur vorherigen Auftrennung im Bereich der Bezugszeichen 14b, 16b und ist in Fig. 3a nicht gezeigt. Second conductor piece 16a with the second second conductor piece 16b in the region of the output 30 and the compensation terminal 12b is analogous to the previous separation in the region of reference numerals 14b, 16b and is not shown in Fig. 3a.
Fig. 3b zeigt einen schematischen Teilschnitt der Fig. 3b shows a schematic partial section of
Leistungscombineranordnung 44 gemäß Fig. 3a. Aus Fig. 3b ist ersichtlich, dass das zweite Erstleiterstück 14b weitestgehend deckungsgleich zu dem ersten Zweitleiterstück 16a und das zweite Zweitleiterstück 16b  Power combiner arrangement 44 according to FIG. 3a. From Fig. 3b it can be seen that the second Erstleitstück 14b largely coincident to the first second conductor piece 16a and the second second conductor piece 16b
weitestgehend deckungsgleich zu dem ersten Erstleiterstück 14a verläuft. Zwischen den Leiterstücken 14a, 16a und den Leiterstücken 14b, 16b ist das Dielektrikum, insbesondere elektrisch isolierende Substrat 18, angeordnet. Largely congruent with the first Erstleiterstück 14a runs. Between the conductor pieces 14a, 16a and the conductor pieces 14b, 16b, the dielectric, in particular electrically insulating substrate 18, is arranged.
Das zweite Erstleiterstück 14b und das zweite Zweitleiterstück 16b stehen in Kontakt mit einem Dielektrikum, das insbesondere als thermisch leitfähige Platte 52 ausgebildet sein kann. Die thermisch leitfähige The second first conductor piece 14b and the second second conductor piece 16b are in contact with a dielectric, which may be formed in particular as a thermally conductive plate 52. The thermally conductive
Platte 52 ist auf einen Kühlkörper 40 aufgesetzt. Aus Fig. 3b ist die insgesamt äquidistante Beabstandung der elektrischen Leiter 14, 16 zu dem Kühlkörper 40 ersichtlich. Plate 52 is placed on a heat sink 40. From Fig. 3b, the total equidistant spacing of the electrical conductors 14, 16 to the heat sink 40 can be seen.
Ein solches Dielektrikum, das insbesondere als thermisch leitfähige Such a dielectric, especially as a thermally conductive
Platte 52 ausgebildet sein kann, kann allgemein, also auch bei der Plate 52 may be formed, in general, so also in the
Anordnung gemäß Fig. 1 oder Fig. 2, zwischen einem Kühlkörper 40 und der dem Kühlkörper zugewandten Leiterbahnen bzw. Leiterbahnteilstücken angeordnet sein. Es kann mehrere Funktionen erfüllen. Zunächst dient es der elektrischen Isolierung der Leiterbahnen bzw. Leiterbahnteilstücke gegenüber dem Potential des Kühlkörpers 40, der üblicherweise mit Erdung (Masse) verbunden ist. Zudem kann mit der Dicke und den dielektrischen Eigenschaften des Dielektrikums eine definierte Kapazität zwischen den Leiterbahnen bzw. Leiterbahnteilstücken eingestellt werden. Damit können hochfrequente unerwünschte Schwingungen bekämpft werden. Zudem kann mit den Materialeigenschaften, insbesondere mit den Verlustfaktoren des Dielektrikums, elektrische Verluste des Arrangement according to Fig. 1 or Fig. 2, between a heat sink 40 and the heat sink facing conductor tracks or conductor track sections be arranged. It can fulfill several functions. First, it serves the electrical insulation of the conductor tracks or conductor track sections with respect to the potential of the heat sink 40, which is usually connected to ground (ground). In addition, with the thickness and the dielectric properties of the dielectric, a defined capacitance between the conductor tracks or conductor track sections can be set. This can be used to combat high-frequency unwanted vibrations. In addition, with the material properties, in particular with the loss factors of the dielectric, electrical losses of the
Leistungscombiners 10 eingestellt werden. Grundsätzlich könnte die erste Annahme sein, dass möglichst geringe Verluste optimal sein sollten. Power combiners 10 are set. In principle, the first assumption could be that the lowest possible losses should be optimal.
Tatsächlich ist es in den vorliegenden Anordnungen, insbesondere bei Verbrauchern in Form einer Plasmaanlage, vorteilhaft, wenn der In fact, it is advantageous in the present arrangements, in particular for consumers in the form of a plasma system, when the
Leistungscombiner 10 vorgegebene Verluste aufweist, um ein Leistungscombiner 10 has given losses to a
Aufschwingen bei Rejektionen hoher Frequenzen zu unterbinden. Diese vorgegebenen Verluste sollten kleiner als 10% der Leistung sein, die der Leistungscombiner 10 koppelt bzw. aufteilt. Zudem hat das Dielektrikum den Vorteil, dass der Leistungscombiner 10 ohne forcierte Luftströmung einzig durch den thermischen Kontakt mit dem Kühlkörper 40 Avoid swinging up when rejecting high frequencies. These predetermined losses should be less than 10% of the power that the power combiner 10 couples. In addition, the dielectric has the advantage that the power combiner 10 without forced air flow solely by the thermal contact with the heat sink 40th
ausreichend gekühlt werden kann. can be cooled sufficiently.
Der Leistungscombiner 10 kann zusammen mit anderen Komponenten von Verstärkern auf einer gemeinsamen Leiterkarte aufgebaut sein. Das kann die Kosten solcher Verstärker-Leistungscombiner-Baugruppen deutlich senken und zugleich die Störungseinkopplung durch externe Störfelder signifikant verringern. The power combiner 10 may be built together with other components of amplifiers on a common circuit board. This can significantly reduce the cost of such amplifier-power combiner assemblies while significantly reducing the noise interference from external noise fields.
Der Leistungscombiner 10 kann alleine oder zusammen mit anderen Komponenten von Verstärkern in einem metallischen Gehäuse untergebracht sein. Das kann die Störungseinkopplung durch externe Störfelder weiter verringern. The power combiner 10 may be used alone or in conjunction with other components of amplifiers in a metallic housing be housed. This can further reduce interference coupling due to external interference fields.
Unter Vornahme einer Zusammenschau aller Figuren der Zeichnung betrifft die Erfindung einen Leistungscombiner 10 mit einem Taking a synopsis of all the figures of the drawing, the invention relates to a power combiner 10 with a
Kühlkörper 40. Der Leistungscombiner 10 weist zumindest einen ersten elektrischen Leiter 14 und einen zweiten elektrischen Leiter 16 auf. Der erste elektrische Leiter 14 und der zweite elektrische Leiter 16 sind insgesamt weitestgehend äquidistant von dem Kühlkörper 40 Heat sink 40. The power combiner 10 has at least a first electrical conductor 14 and a second electrical conductor 16. Overall, the first electrical conductor 14 and the second electrical conductor 16 are largely equidistant from the heat sink 40
beabstandet. Hierzu können der erste elektrische Leiter 14 und der zweite elektrische Leiter 16 abwechselnd nah bzw. fern zum Kühlkörper 40 angeordnet sein. Alternativ oder zusätzlich dazu kann der Kühlkörper 40 zwischen dem ersten elektrischen Leiter 14 und dem zweiten elektrischen Leiter 16 angeordnet sein. Alternativ oder zusätzlich dazu können der erste elektrische Leiter 14 und der zweite elektrische Leiter 16 spaced. For this purpose, the first electrical conductor 14 and the second electrical conductor 16 may be arranged alternately near or far from the heat sink 40. Alternatively or additionally, the heat sink 40 may be disposed between the first electrical conductor 14 and the second electrical conductor 16. Alternatively or additionally, the first electrical conductor 14 and the second electrical conductor 16
weitestgehend in parallele Leiterstücke 14a, 14b, 16a, 16b aufgeteilt sein, wobei die Leiterstücke 14a, 14b, 16a, 16b so von dem Kühlkörper 40 beabstandet sind, dass der erste elektrische Leiter 14 und der zweite elektrische Leiter 16 insgesamt weitestgehend gleich weit vom be largely divided into parallel conductor pieces 14a, 14b, 16a, 16b, wherein the conductor pieces 14a, 14b, 16a, 16b are spaced from the heat sink 40, that the first electrical conductor 14 and the second electrical conductor 16 as far as possible equidistant from
Kühlkörper 40 beabstandet sind. Heatsink 40 are spaced.

Claims

Patentansprüche claims
1. Leistungscombiner (10) zur Kopplung und/oder zum Aufteilen von Hochfrequenzsignalen mit einer Frequenz von mehr als 1 MHz zu einer Ausgangsleistung von mehr als 100 W, wobei der A power combiner (10) for coupling and / or splitting high frequency signals having a frequency of more than 1 MHz to an output power of more than 100 W, wherein the
Leistungscombiner (10) Folgendes aufweist:  Performance Combiner (10) has the following:
a) einen ersten Eingang (12a) für ein erstes Hochfrequenzsignal; b) einen zweiten Eingang (32) für ein zweites Hochfrequenzsignal; c) einen Ausgang (30);  a) a first input (12a) for a first high-frequency signal; b) a second input (32) for a second radio frequency signal; c) an output (30);
d) einen Ausgleichsanschluss (12b);  d) a balancing port (12b);
e) einen ersten elektrischen Leiter (14) zwischen dem ersten  e) a first electrical conductor (14) between the first
Eingang (12a) und dem Ausgang (30), wobei der erste  Input (12a) and the output (30), wherein the first
elektrische Leiter (14) größtenteils in Form einer planaren  electrical conductors (14) mostly in the form of a planar
Flächenelektrode ausgebildet ist;  Surface electrode is formed;
f) einen zweiten elektrischen Leiter (16) zwischen dem zweiten Eingang (32) und dem Ausgleichsanschluss (12b), wobei der zweite elektrische Leiter (16) größtenteils in Form einer planaren Flächenelektrode ausgebildet ist und wobei der zweite elektrische Leiter (16) kapazitiv und induktiv mit dem ersten elektrischen Leiter (14) gekoppelt ist;  f) a second electrical conductor (16) between the second input (32) and the equalizing terminal (12b), wherein the second electrical conductor (16) is formed largely in the form of a planar surface electrode and wherein the second electrical conductor (16) capacitively and inductively coupled to the first electrical conductor (14);
g) einen Kühlkörper (40), wobei die Gesamtfläche des ersten  g) a heat sink (40), wherein the total area of the first
elektrischen Leiters (14) zu mehr als 70% gleich weit von dem Kühlkörper (40) beabstandet ist wie die Gesamtfläche des zweiten elektrischen Leiters (16).  electrical conductor (14) to more than 70% equidistant from the heat sink (40) is spaced as the total area of the second electrical conductor (16).
2. Leistungscombiner nach Anspruch 1, bei dem der erste und zweite elektrische Leiter (14,16) bezüglich des Kühlkörpers (40) derart symmetrisch angeordnet sind, dass parasitäre Kapazitäten 2. Leistungscombiner according to claim 1, wherein the first and second electrical conductors (14,16) with respect to the heat sink (40) are arranged symmetrically such that parasitic capacitances
symmetrisch auf die beiden Leiter (14, 16) verteilt sind. symmetrically distributed on the two conductors (14, 16).
3. Leistungscombiner nach Anspruch 2, bei dem eine Innenwindung des ersten elektrischen Leiters (14) und/oder des zweiten 3. Leistungscombiner according to claim 2, wherein an inner winding of the first electrical conductor (14) and / or the second
elektrischen Leiters (16) ein Wegstück (50) aufweist, das nicht parallel zu einer Außenwindung verläuft, um einen Phasenausgleich zwischen der Innenwindung und der Außenwindung zu schaffen.  electrical conductor (16) has a path (50) that is not parallel to an outer winding to provide a phase balance between the inner coil and the outer coil.
4. Leistungscombiner nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Gesamtfläche des ersten elektrischen Leiters (14) zu mehr als 60% deckungsgleich und insbesondere koplanar der 4. Leistungscombiner according to any one of the preceding claims, wherein the total area of the first electrical conductor (14) to more than 60% congruent and in particular coplanar the
Gesamtfläche des zweiten elektrischen Leiters (16) gegenübersteht.  Total area of the second electrical conductor (16) facing.
5. Leistungscombiner nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die bei einer Frequenz von mehr als 1 MHz am ersten A power combiner according to any one of the preceding claims, wherein at a frequency greater than 1 MHz at the first
Eingang (12a) und am zweiten Eingang (32) weniger als 50 Ω, insbesondere 25 Ω, beträgt.  Input (12a) and the second input (32) is less than 50 Ω, in particular 25 Ω.
6. Leistungscombiner nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem der erste elektrische Leiter (14) ein erstes Erstleiterstück (14a) und ein zweites Erstleiterstück (14b) aufweist und der zweite elektrische Leiter (16) ein erstes Zweitleiterstück (16a) und ein zweites Zweitleiterstück (16b) aufweist, wobei das zweite A power combiner according to any one of the preceding claims, wherein the first electrical conductor (14) comprises a first first conductor piece (14a) and a second first conductor piece (14b) and the second electrical conductor (16) comprises a first second conductor piece (16a) and a second second conductor piece (16b), wherein the second
Zweitleiterstück (16b) zu mehr als 70% koplanar und  Secondary conductor piece (16b) to more than 70% coplanar and
deckungsgleich versetzt zu dem ersten Erstleiterstück (14a) verläuft und das zweite Erstleiterstück (14b) zu mehr als 70% koplanar und deckungsgleich zu dem ersten Zweitleiterstück (16a) verläuft.  is congruent offset to the first Erstleiterstück (14a) extends and the second Erstleiterstück (14b) to more than 70% coplanar and congruent with the first second conductor piece (16a) extends.
7. Leistungscombiner nach Anspruch 6, bei dem der Kühlkörper (40) zwischen dem ersten Zweitleiterstück (16a) und dem zweiten 7. power combiner according to claim 6, wherein the heat sink (40) between the first second conductor piece (16 a) and the second
Erstleiterstück (14b) angeordnet ist. Erstleiterstück (14b) is arranged.
8. Leistungscombiner nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem der Leistungscombiner (10) zwischen der planaren A power combiner according to any one of the preceding claims, wherein the power combiner (10) interposes the planar power supply
Flächenelektrode des ersten elektrischen Leiters (14) und der planaren Flächenelektrode des zweiten elektrischen Leiters (16) ein Dielektrikum, insbesondere elektrisch isolierendes Substrat (18), aufweist.  Surface electrode of the first electrical conductor (14) and the planar surface electrode of the second electrical conductor (16) comprises a dielectric, in particular electrically insulating substrate (18).
9. Leistungscombiner nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die erste planare Flächenelektrode und die zweite planare Flächenelektrode Teilstücke (24a-d, 26a-d) aufweisen, die A power combiner according to any one of the preceding claims, wherein the first planar area electrode and the second planar area electrode comprise sections (24a-d, 26a-d) which
wechselweise auf einer ersten planen Hauptseite eines  alternatively on a first main planning page
Dielektrikums, insbesondere elektrisch isolierenden Substrats (18), und auf einer der ersten planen Hauptseite gegenüberliegenden zweiten planen Hauptseite eines Dielektrikums, insbesondere elektrisch isolierenden Substrats (18), verlaufen.  Dielectric, in particular electrically insulating substrate (18), and on one of the first planar main side opposite the second planar main side of a dielectric, in particular electrically insulating substrate (18) run.
10. Leistungscombiner nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem der erste elektrische Leiter (14) und der zweite elektrische Leiter (16) jeweils eine Windungszahl n > 1 aufweisen. 10. Leistungscombiner according to any one of the preceding claims, wherein the first electrical conductor (14) and the second electrical conductor (16) each have a number of turns n> 1.
11. Leistungscombiner nach einem der vorhergehenden Ansprüche, der zur Kopplung von Hochfrequenzsignalen zwischen 1 MHz und 200 MHz ausgebildet ist. 11. Leistungscombiner according to any one of the preceding claims, which is designed for the coupling of high-frequency signals between 1 MHz and 200 MHz.
12. Leistungscombiner nach einem der vorhergehenden Ansprüche, derzur Ausgabe von Leistungen über 2 kW ausgebildet ist. 12. A power combiner according to one of the preceding claims, which is designed to output power above 2 kW.
13. Leistungscombiner nach einem der vorhergehenden Ansprüche, der in Form eines 90°-Hybridkopplers ausgebildet ist. 13. Leistungscombiner according to any one of the preceding claims, which is in the form of a 90 ° hybrid coupler.
14. Leistungscombineranordnung (44) mit einem 14. Power combiner arrangement (44) with one
Leistungscombiner (10) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Leistungscombineranordnung (44) eine erste  A power combiner (10) according to any one of the preceding claims, wherein the power combiner arrangement (44) comprises a first
Hochfrequenzsignalquelle (46a), die an den ersten Eingang (12a) angeschlossen ist und eine zweite Hochfrequenzsignalquelle (46b), die an den zweiten Eingang (32) angeschlossen ist, sowie  A radio frequency signal source (46a) connected to the first input (12a) and a second radio frequency signal source (46b) connected to the second input (32) and
insbesondere einen Verbraucher (48) aufweist, der an den  in particular a consumer (48) to the
Ausgang (30) angeschlossen ist.  Output (30) is connected.
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