EP2751834A1 - Device and system for processing flat substrates - Google Patents

Device and system for processing flat substrates

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Publication number
EP2751834A1
EP2751834A1 EP12758806.9A EP12758806A EP2751834A1 EP 2751834 A1 EP2751834 A1 EP 2751834A1 EP 12758806 A EP12758806 A EP 12758806A EP 2751834 A1 EP2751834 A1 EP 2751834A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
container
wetting
fluid
wetting roller
gutter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP12758806.9A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Jörg LAMPPRECHT
Matthias Reiser
Kai WEISSER
Helge Haverkamp
Niethammer MICHAEL
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Gebrueder Schmid GmbH and Co
Original Assignee
Gebrueder Schmid GmbH and Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Gebrueder Schmid GmbH and Co filed Critical Gebrueder Schmid GmbH and Co
Publication of EP2751834A1 publication Critical patent/EP2751834A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C1/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating
    • B05C1/04—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length
    • B05C1/08—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length using a roller or other rotating member which contacts the work along a generating line
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C1/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating
    • B05C1/04—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length
    • B05C1/08—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length using a roller or other rotating member which contacts the work along a generating line
    • B05C1/0813—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length using a roller or other rotating member which contacts the work along a generating line characterised by means for supplying liquid or other fluent material to the roller
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C1/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating
    • B05C1/04—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length
    • B05C1/08—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length using a roller or other rotating member which contacts the work along a generating line
    • B05C1/0821—Apparatus in which liquid or other fluent material is applied to the surface of the work by contact with a member carrying the liquid or other fluent material, e.g. a porous member loaded with a liquid to be applied as a coating for applying liquid or other fluent material to work of indefinite length using a roller or other rotating member which contacts the work along a generating line characterised by driving means for rollers or work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C11/00—Component parts, details or accessories not specifically provided for in groups B05C1/00 - B05C9/00
    • B05C11/10—Storage, supply or control of liquid or other fluent material; Recovery of excess liquid or other fluent material
    • B05C11/1039—Recovery of excess liquid or other fluent material; Controlling means therefor
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715—Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/6776—Continuous loading and unloading into and out of a processing chamber, e.g. transporting belts within processing chambers

Definitions

  • the invention relates to a device for wetting flat substrates, wherein a substrate underside is wetted with a fluid during the passage of the substrates along a transport path in a transport plane. Furthermore, the invention relates to a system for treating flat substrates with a transport path in a transport plane, along which transport path a plurality of aforementioned devices are arranged.
  • the invention is based on the object to provide a device mentioned above and an aforementioned plant with several such devices, with which problems of the prior art can be solved nik and in particular both a good wetting of the substrate undersides can be achieved as well as a efficient use of the required fluid is possible.
  • This object is achieved by a device having the features of claim 1 and a system having the features of claim 13.
  • Advantageous and preferred embodiments of the invention are the subject of further claims and are explained in more detail below. Some of the features described below are only mentioned for the device or only for the system. However, they should be able to apply independently for both the device and the system independently. The wording of the claims is incorporated herein by express reference.
  • the device has a wetting roller, in particular a single wetting roller.
  • This wetting roller extends transversely to the transport direction, ranging from below to just before the transport plane. It is at least partially submerged in an underlying supply of fluid, for example, up to one-half or even more.
  • the device is an independently operable and advantageously essentially closed structural unit together with, on the one hand, the wetting roller and, on the other hand, a container for the fluid supply.
  • This container is elongated in the manner of a closed channel or trough with a längli- chen opening upwards, which is substantially filled by the wetting roller.
  • the wetting roller extends substantially within the container so that it is advantageously only slightly longer and wider than the wetting roller.
  • the container In its lower region, in particular on or in the bottom, the container has drainage openings downwards. These drain holes go into a gutter located below the container to remove fluid from the container.
  • a supply of fluid is provided, in particular fresh fluid. This will be explained in more detail below.
  • the device is closed to the outside except for the elongated opening upwards.
  • the arrangement of the gutter at the bottom of the container is closed or the gutter can be a pipe or hose, so no open gutter odgl .
  • the wetting roller, the elongated opening in width up to a few mm fill in laterally this can advantageously be only about 1 mm.
  • the wetting roller is immersed in the fluid approximately halfway, and thus with its greatest width, and thus there is no substantial, overlying and possibly outgassing region of fluid.
  • the device can thus be substantially closed upwards except for the elongate opening, in particular only the elongate opening upwards.
  • a supernatant of the wetting roller up over the container or over a container edge is advantageously in the range of a few mm. Even so, an outgassing of the fluid can be reduced.
  • the wetting roller is slightly shorter than the container or its elongated opening.
  • the wetting roller projects laterally out of the container only with axle ends or axle stubs.
  • the storage of these axle ends is provided outside of the container to an abovementioned system for treating the substrates, for example to suitably suitable bearing carriers.
  • bearing carriers may also comprise drive means for the wetting rollers, for example gears which interact with gears on at least one axle end.
  • Storage of the wetting rollers can also be adjustable here, in particular of all the wetting rollers of the installation simultaneously and identically.
  • axle ends are arranged to be displaceable relative to a container wall penetrated by them on the end face of the container and thereby sealed.
  • Displaceability may be vertical and / or horizontal such that the bearing function of the wetting rollers is withdrawn from the device but the sealing action of the wetting roller within the container is substantially maintained.
  • a passage of the axle ends of the wetting roller through the container end walls has adjustable seals within a passage opening.
  • an outer container outer end wall is advantageously provided as a type of double end wall. It has a larger clearance on the passage of the axle ends, which allows the said vertical and / or horizontal displaceability of the axle ends and not hindered.
  • a collecting channel is provided below this free cut, which leads into the aforementioned drainage channel or into a drainage channel drain.
  • an inlet to the fluid reservoir is provided, and advantageously through the drainage channel, ie from below into the fluid reservoir.
  • This can preferably centrally into the container into it.
  • an elongated distribution line is provided in the fluid reservoir and just below the wetting roller. It can have approximately the length of the wetting roller or be somewhat shorter.
  • the distributor line has upwardly directed outlet openings for the fluid. For example, these may come relatively close to the wetting roller. It can also be provided that the height of the fluid supply in which the wetting roller runs is only insignificantly higher than this distribution line.
  • said gutter extends obliquely to the horizontal and has a drain at a lower end.
  • a fluid connection to the device or the container by means of a single line as an inlet and a single line as a drain can be achieved in a simple manner. Due to the oblique course of the outlet channel, it is ensured here that the fluid is also moved towards the outlet, and without elaborate aids.
  • the container bottom located above the fluid supply runs parallel to the gutter. This has the advantage that thereby a simple configuration or connection of the gutter to the fluid reservoir or its container is possible.
  • the aforementioned drain holes are adjustable from the fluid reservoir into the gutter in its cross section.
  • they are adjustable together.
  • a slide may be provided which covers a plurality of drainage openings and, for this purpose, has slide openings which correspond to the drainage openings.
  • the passage cross section thus changes.
  • an overflow can be provided within the container, which is adjustable in height and thus allows a more direct and precise adjustment of the level height.
  • an overflow may, for example, comprise a slide within a rigid container outer wall, which is vertically adjustable and is sealed to the container. Inside it can have channels that extend down into the gutter, so that in the event that the height of the fluid reaches the top of the slider and thus the channels, the fluid drains into the gutter and thus a maximum level height is specified.
  • transport rollers are provided, which are themselves formed without treatment or wetting function. Although they come into contact with the underside of the substrate and thus with the fluid thereon, they are correspondingly insensitive and advantageously very narrow, so that they do not adversely affect the wetting or do not adversely affect it.
  • a drip pan is provided below the transport path in the system, which is at least so large that all the aforementioned devices are arranged above it, and so outflowing fluid can be collected.
  • gas extraction openings are provided on the collecting trough, advantageously on its underside, so that even the small amounts of outgassing that arise can be collected from the fluid and removed.
  • a negative effect of this gas on the substrate tops which may not be desired, can be avoided.
  • leakage of harmful gases into the environment of the system can be avoided.
  • the advantage of the arrangement of the gas suction opening clearly below the devices or the wetting rollers is that the gas, which is often heavier than air, can be better and more completely exhausted on the one hand and on the other hand sucked off in a direction away from the substrate tops can be.
  • the Gasabsaugö Anlagen Maschinenen can advantageously lead to a common gas extraction. However, this is known per se.
  • gas suction openings can be adjustable in their opening cross section. This can be done in the manner of Schiebegit- tern with corresponding openings that are adjustable against each other. Thus, an adjustment of all Gasabsaugö réelleen can be done in one step by the coupled sliding grid.
  • FIG. 1 shows a simplified side view of a system according to the invention with a transport path for flat substrates and a plurality of coating modules
  • Fig. 2 shows an inventive coating module in oblique
  • Fig. 3 is a greatly enlarged view of the lead out of a
  • FIG. 4 the coating module of FIG. 2 in a sectional view
  • FIG. 5 is a side view in section similar to FIG. 3,
  • FIG. 6 the right portion of the illustration of FIG. 5 in high magnification and 7 shows a top view of the right end of the coating module according to FIG. 6 from above, showing an overflow as a slide.
  • a whole system 1 1 is shown in a highly schematic, can be treated with the flat substrates 13.
  • the substrates 13 run with their tops 14 facing upward and the bottoms 15 pointing down on a transport path 17 from left to right.
  • the transport path 17 is on the one hand formed by transport rollers 18, as they are commonly known to those skilled in the art and may be simple narrow rollers, which have only transport function for the substrates 13.
  • the transport path 17 has at least three coating modules 20, which are provided running at the same distance from one another and transversely to the transport path.
  • Their concrete structure and function will be explained in more detail later. However, they work in principle as described in the aforementioned DE 10 2005 062 528 A1.
  • the system 1 1 has a suction trough 22, for example as a flat trough, which essentially has the length and width of the transport path 17.
  • the suction trough 22 has as access openings 24 upwards, over which perforated grids 23 are slidably disposed, as indicated by the arrow.
  • the holes in the perforated grid 23 basically correspond to the openings 24, and by moving the perforated grid 23, opening or closing with adjustable suction cross sections can be achieved.
  • opening or closing with adjustable suction cross sections can be achieved.
  • This suction serves the purpose mentioned in the aforementioned DE 10 2005 062 527 A1, but, as has been explained at the beginning, can be considerably lower because a considerably lower outgassing takes place during the treatment of the substrates 13. Furthermore, dripping residues of fluid can also be collected by the suction trough 22 in addition to gaseous constituents and likewise removed.
  • a coating module 20 is enlarged in an oblique view from above to see.
  • the coating module 20 has an elongate wetting roller 26 which has a short axle end 27a towards the rear and a short axle end 27b towards the front.
  • a gear 29 is provided for driving.
  • the wetting roller 26 is arranged in a container 31 of the coating module 20 and just projects laterally with the axle ends 27a and 27b. As the comparison with FIGS. 5 and 6 shows, the wetting roller 26 only projects slightly above the edge of the container 31, for example a few mm or 2 mm to 5 mm.
  • the container 31 has two container longitudinal walls 32a and 32b, which extend over the entire container height. Although the container longitudinal wall 32a has a stepped course in the lower region, this is not functionally important here for the invention. Furthermore, the container 31 has two inner end walls 33a and 33b, which define the volume around the wetting roller 26 together with the container longitudinal walls 32a and 32b.
  • sealing inserts 34a and 34b are provided in the inner end walls 33a and 33b for sealing the axle ends 27a and 27b.
  • These sealing inserts 34a and 34b can be seen in Fig. 3 in high magnification. They are constructed in several parts and arranged in a larger opening than for the axle 27th actually necessary. They overlap the inner end wall 31 a and 31 b respectively inwardly and outwardly, but are formed smaller than the corresponding openings. Thus, they can be moved horizontally and vertically in the plane of the inner end walls 33a and 33b, but at the same time, they do not completely seal, but they largely do away with it. In addition to a sealing function, it is essentially a matter of a relatively easy movability of the wetting roller 26 or its axle ends 27a and 27b with respect to the container 31 with low rotational friction.
  • an outer end wall 36a and 36b is set. This, as shown in FIG. 3 later, runs even further down than the inner end walls 33a and 33b.
  • Inner end wall 33a and 33b and outer end wall 36a and 36b, as shown in FIG. 6 clearly shows in side section, in the central region at a distance from each other, so that here a collecting channel 38b is formed.
  • fluid emerging from the sealing inserts 34a and 34b is collected in the collecting channels 38a and 38b and directed downwards, which will be explained in more detail below. In any case, fluid does not pass over the outer end walls 36a and 36b.
  • the inner structure of a coating module 20 or of the container 31 can be seen from FIGS. 4, 5 and 6 with the sectional view. Between the inner end walls 33a and 33b extends an inner bottom 40 of the container 31, the side of the container longitudinal walls 32a and 32b is applied, that forms a separate volume within the container 31. This is also the aforementioned volume in which the wetting roller 26 is located, or a fluid supply in which the wetting roller 26 is immersed. It can be seen that the inner bottom 40 extends obliquely to the horizontal and to the wetting roller 26 and that falls toward the axle end 27b with the gear 29 out.
  • an underlying outer bottom 42 which extends between the outer end walls 36a and 36b and rests on the inner side of the container longitudinal walls 32a and 32b, as well as the inner bottom 40 forms a previously mentioned gutter 43 and a rightmost drain 44th having.
  • the drain 44 is connected to a drain line, not shown, for discharging the fluid from the coating module 20.
  • the gutter 43 extends obliquely to the horizontal and thus also the outer bottom 42. Thus, it can be ensured that all running fluid reaches the drain 44 as a single point, without having to be led there.
  • the inner bottom 40 which separates the fluid supply for the wetting roller 26 and the gutter 43, has drainage openings 46, as shown in FIG. 4 in an approximately equidistant row.
  • the drainage openings 46 are covered by sliders 48a and 48b resting on the upper side of the inner bottom 40, which in turn have slide holes 49.
  • the arrangement of the slide holes 49 corresponds to the drainage openings 46, so that easily recognizable by moving the slide 48 a and 48 b on the inner bottom 40 of the drain cross section from the fluid reservoir into the gutter 43 is adjustable. It is therefore clear, in particular from FIGS. 4 to 6, that the container 31 is double-walled at its end walls and at the bottom and that fluid emerging within the double wall can be collected and discharged in a controlled manner.
  • the distribution line 53 has a central fluid supply 45 on.
  • the supplied fluid then flows from outlet openings 56 of the distribution line 53 into the fluid supply, along the entire length, that is to say also along the entire length of the wetting roller 26.
  • the fresh supplied fluid essentially reaches from the wetting roller 26 the undersides 15 of the substrates 13 is brought to their wetting or treatment, as has been previously described and emerges from the aforementioned DE 10 2005 062 528 A1.
  • the undersides 15 are wetted with as fresh as possible and possibly treated fluid, while already in the fluid reservoir 51 fluid is displaced from the fresher supplied and runs down through the drain holes 46 into the gutter 43 and is discharged , in particular for reprocessing.
  • a gap 58 between wetting roller 26 and the inside of the container longitudinal walls 32a and 32b is relatively narrow. It can be a few mm with roll diameters of a few cm, whereby it can be achieved that there are very few ways in which the fluid in the fluid reservoir 51 can outgas from the container 31 or the coating module 20 out. Furthermore, it can be achieved in such a way that the wetting roller 26 moves in a very small area of the fluid supply, namely according to FIG. 5 above the distributor line 53, so that it is easily possible to always provide fresh fluid and that drain old fluid.
  • FIG. 7 the construction of the sealing insert 34b can be seen very well as well as the arrangement of the inner end wall 33b and outer end wall 36b with the collecting channel 38b in between.
  • an overflow 59 can also be seen from FIG. 7. This is on the inside of the container 32a in a wide, slot-like recess 61 used as overflow slide 62.
  • the overflow slide 62 is sealingly guided on the inside of the container longitudinal wall 32a and height adjustable by means of screws 65.
  • the spill valve 62 has an overflow opening 63, which is channel-shaped and extends into the fluid reservoir 51 below the manifold 53 or even into the gutter 43, wherein the spill valve 62 is of course just as long.
  • the height of the overflow slide 62 or its overflow opening 63 in the vertical direction by means of the screws 65 can be adjusted, how high the level of the fluid reservoir 51 reaches. If more fluid were supplied, it flows through the wide overflow opening 63 immediately.
  • the maximum immersion depth of the wetting roller 26 can be set very precisely and considerably simpler than by regulating the fluid supply 54 or drainage openings 46 by means of the slides 48a and 48b. Namely, this immersion depth of the wetting roller 26 into the fluid of the fluid reservoir 51 easily determines the amount of fluid brought to the bottoms 15 of the substrates 13.

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Abstract

The invention relates to a device for wetting flat substrates with a fluid on the underside of the substrates while the substrates pass along a transport path, said device comprising a wetting roller perpendicular to the transport direction, wherein the wetting roller extends to just before the transport plane from below and is immersed in a supply of fluid located therebelow. The device is an independently operable assembly together with the wetting roller and an elongated container for the fluid supply, which has an elongated design in the manner of a closed trough having an elongated opening at the top, which is substantially filled by the wetting roller. The wetting roller extends substantially within the container, wherein in a lower area, the container has drain openings at the bottom into a drain trough arranged below the container.

Description

Beschreibung  description
Vorrichtung und Anlage zum Bearbeiten von flachen Substraten Anwendungsgebiet und Stand der Technik  Device and system for processing flat substrates Field of application and state of the art
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Benetzen von flachen Substraten, wobei dabei eine Substratunterseite mit einem Fluid beim Durchlauf der Substrate entlang einer Transportbahn in einer Transportebene benetzt wird. Des Weiteren betrifft die Erfindung eine Anlage zum Behandeln von flachen Substraten mit einer Transportbahn in einer Transportebene, wobei entlang dieser Transportbahn mehrere vorgenannte Vorrichtungen angeordnet sind. The invention relates to a device for wetting flat substrates, wherein a substrate underside is wetted with a fluid during the passage of the substrates along a transport path in a transport plane. Furthermore, the invention relates to a system for treating flat substrates with a transport path in a transport plane, along which transport path a plurality of aforementioned devices are arranged.
Aus der DE 10 2005 062 527 A1 und der DE 10 2005 062 528 A1 ist es bekannt, auf grundsätzlich entsprechende Art und Weise Substrate dadurch zu behandeln, dass sie auf Benetzungswalzen laufen, die mit ihrem unteren Bereich in ein großes Becken mit Fluid eingetaucht sind. Dadurch kann eine vollflächige oder auch nur eine bereichsweise Benetzung der Substratunterseiten erreicht werden. Gleichzeitig wird je- doch einerseits eine große Menge an Fluid benötigt und andererseits bestehen gewichtige Probleme mit der Entstehung von Gasen aus dem Fluid. Diese sollen durch eine in der DE 10 2005 062 527 A1 beschriebene Gasabsaugung reduziert und vermieden werden. Aufgabe und Lösung It is known from DE 10 2005 062 527 A1 and DE 10 2005 062 528 A1 to treat substrates in a basically corresponding manner by running on wetting rollers which are immersed with their lower region in a large basin with fluid , As a result, it is possible to achieve a full-area or only a partial wetting of the substrate undersides. At the same time, however, a large amount of fluid is needed on the one hand, and on the other hand, there are serious problems with the formation of gases from the fluid. These should be reduced by a gas extraction described in DE 10 2005 062 527 A1 and avoided. Task and solution
Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, eine eingangs genannte Vorrichtung sowie eine eingangs genannte Anlage mit mehreren solcher Vorrichtungen zu schaffen, mit denen Probleme des Standes der Tech- nik gelöst werden können und insbesondere sowohl eine gute Benetzung der Substratunterseiten erreicht werden kann als auch eine effiziente Nutzung des benötigen Fluids möglich ist. Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 sowie eine Anlage mit den Merkmalen des Anspruchs 13. Vorteilhafte sowie bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der weiteren Ansprüche und werden im Folgenden näher erläutert. Dabei werden manche der nachfolgend beschriebenen Merkmale nur für die Vorrichtung oder nur für die Anlage genannt. Sie sollen jedoch unabhängig davon sowohl für die Vorrichtung als auch für die Anlage eigenständig gelten können. Der Wortlaut der Ansprüche wird durch ausdrückliche Bezugnahme zum Inhalt der Beschreibung gemacht. The invention is based on the object to provide a device mentioned above and an aforementioned plant with several such devices, with which problems of the prior art can be solved nik and in particular both a good wetting of the substrate undersides can be achieved as well as a efficient use of the required fluid is possible. This object is achieved by a device having the features of claim 1 and a system having the features of claim 13. Advantageous and preferred embodiments of the invention are the subject of further claims and are explained in more detail below. Some of the features described below are only mentioned for the device or only for the system. However, they should be able to apply independently for both the device and the system independently. The wording of the claims is incorporated herein by express reference.
Es ist vorgesehen, dass die Vorrichtung eine Benetzungswalze aufweist, insbesondere eine einzige Benetzungswalze. Diese Benetzungswalze verläuft quer zur Transportrichtung, wobei sie von unten bis kurz vor die Transportebene reicht. Sie ist zumindest teilweise in einem darunter befindlichen Vorrat an Fluid eingetaucht, beispielsweise bis zur Hälfte oder sogar mehr. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Vorrichtung eine eigenständig handhabbare und vorteilhaft im Wesentlichen geschlossene Baueinheit ist zusammen mit einerseits der Benetzungswalze und andererseits einem Behälter für den Fluidvorrat. Dieser Behälter ist länglich ausgebildet nach Art einer geschlossenen Rinne oder Wanne mit einer längli- chen Öffnung nach oben, die im Wesentlichen durch die Benetzungswalze ausgefüllt ist. Die Benetzungswalze verläuft im Wesentlichen innerhalb des Behälters, sodass dieser vorteilhaft nur wenig länger und breiter ist als die Benetzungswalze. In seinem unteren Bereich, insbesondere am oder im Boden, weist der Behälter Ablauföffnungen nach unten auf. Diese Ablauföffnungen gehen in eine unterhalb des Behälters angeordnete Ablaufrinne, um Fluid aus dem Behälter abzuführen. Vor- teilhaft ist auch eine Zuführung von Fluid vorgesehen, insbesondere frischem Fluid. Diese wird nachfolgend noch näher erläutert. It is envisaged that the device has a wetting roller, in particular a single wetting roller. This wetting roller extends transversely to the transport direction, ranging from below to just before the transport plane. It is at least partially submerged in an underlying supply of fluid, for example, up to one-half or even more. According to the invention, it is provided that the device is an independently operable and advantageously essentially closed structural unit together with, on the one hand, the wetting roller and, on the other hand, a container for the fluid supply. This container is elongated in the manner of a closed channel or trough with a längli- chen opening upwards, which is substantially filled by the wetting roller. The wetting roller extends substantially within the container so that it is advantageously only slightly longer and wider than the wetting roller. In its lower region, in particular on or in the bottom, the container has drainage openings downwards. These drain holes go into a gutter located below the container to remove fluid from the container. In front- In part, a supply of fluid is provided, in particular fresh fluid. This will be explained in more detail below.
Dadurch ist es möglich, dass einerseits keine sehr große Menge bzw. Wanne an Fluid notwendig ist und gefüllt werden muss, sondern auch in dem Fall eine erhebliche geringere Gesamtmenge an Fluid nötig ist, dass eine gesamte Anlage vorteilhaft mehrere solcher Vorrichtungen und somit mehrere Benetzungswalzen aufweist, die dann vorzugsweise einen gewissen Abstand zueinander entlang der Transportbahn auf- weisen. Des Weiteren wird vor allem dadurch die Ausgasung aus dem Fluid erheblich reduziert, dass der Behälter keine besonders große Öffnung zum Ausgasen des Fluids aufweist, sondern eben die Öffnung nach oben im Wesentlichen durch die Benetzungswalze geschlossen ist. Dies ermöglicht es vorteilhaft, Abluftprobleme mit schädlichen Inhaltstof- fen in der Abluft bei einer in der Anlage vorhandenen Gasabsaugung zu reduzieren, was eine verbesserte Ökobilanz und geringere Kosten ergibt. Des Weiteren ist auch der Verbrauch an leicht ausgasenden Inhaltsstoffen des Fluids erheblich reduziert, was bei leicht flüchtigen Bestandteilen wie beispielsweise HF zum Ätzen von Solarzellenwafern als Substrate auch eine deutliche Kostenersparnis bringt. This makes it possible that, on the one hand, a very large amount or trough of fluid is not necessary and must be filled, but also in the case a considerably smaller total amount of fluid is necessary, that an entire system advantageously has several such devices and thus several wetting rollers , which then preferably have a certain distance from each other along the transport path. Furthermore, the outgassing from the fluid is significantly reduced, in particular because the container has no particularly large opening for outgassing of the fluid, but just the opening is closed upwards substantially through the wetting roller. This advantageously makes it possible to reduce exhaust air problems with harmful constituents in the exhaust air in the case of a gas extraction present in the system, resulting in an improved LCA and lower costs. Furthermore, the consumption of slightly outgassing ingredients of the fluid is significantly reduced, which also brings a significant cost savings for volatile components such as HF for etching solar cell wafers as substrates.
In vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung ist die Vorrichtung nach außen hin geschlossen bis auf die längliche Öffnung nach oben. Es gibt also vorteilhaft auch keine seitlichen Öffnungen odgl., durch die ein Aus- gasen aus dem Fluid erfolgen kann. Besonders vorteilhaft ist auch die Anordnung der Ablaufrinne an der Unterseite des Behälters geschlossen bzw. die Ablaufrinne kann ein Rohr oder Schlauch sein, also keine offene Ablaufrinne odgl.. In vorteilhafter Ausgestaltung der Erfindung kann die Benetzungswalze die längliche Öffnung in ihrer Breite bis auf wenige mm seitlich ausfüllen, vorteilhaft kann dies etwa nur 1 mm sein. So ist es beispielsweise mög- lieh, dass die Benetzungswalze ungefähr zur Hälfte und damit mit ihrer größten Breite in das Fluid eingetaucht ist, und somit kein wesentlicher, darüber liegender und möglicherweise ausgasender Bereich an Fluid gegeben ist. Des Weiteren ist es möglich, nach oben hin zusätzlich eine Art Blende vorzusehen, durch deren Blendenschlitz die Benetzungswalze nach oben übersteht zur Anlage an den Substratunterseiten, wobei gleichzeitig die Blende von der Seite her so nahe an die Benetzungswalze herangezogen ist, dass sich nur ein schmaler offener Schlitz ergibt. Auch so kann eine Ausgasung verringert werden. In weiterer Aus- gestaltung der Erfindung kann die Vorrichtung also nach oben bis auf die längliche Öffnung im Wesentlichen geschlossen sein, insbesondere nur die längliche Öffnung nach oben aufweisen. In an advantageous embodiment of the invention, the device is closed to the outside except for the elongated opening upwards. Thus, there are advantageously no lateral openings or the like, through which an outgassing can take place from the fluid. Particularly advantageously, the arrangement of the gutter at the bottom of the container is closed or the gutter can be a pipe or hose, so no open gutter odgl .. In an advantageous embodiment of the invention, the wetting roller, the elongated opening in width up to a few mm fill in laterally, this can advantageously be only about 1 mm. For example, it is possible lent that the wetting roller is immersed in the fluid approximately halfway, and thus with its greatest width, and thus there is no substantial, overlying and possibly outgassing region of fluid. Furthermore, it is possible, in addition to provide a kind of aperture at the top, through the aperture slot the wetting roller protrudes upward to rest on the substrate undersides, at the same time the aperture is used from the side so close to the wetting roller that only a narrower open slot results. Even so, an outgassing can be reduced. In a further embodiment of the invention, the device can thus be substantially closed upwards except for the elongate opening, in particular only the elongate opening upwards.
Ein Überstand der Benetzungswalze nach oben über den Behälter bzw. über einen Behälterrand liegt vorteilhaft im Bereich weniger mm. Auch so kann eine Ausgasung des Fluids reduziert werden. A supernatant of the wetting roller up over the container or over a container edge is advantageously in the range of a few mm. Even so, an outgassing of the fluid can be reduced.
Vorteilhaft ist die Benetzungswalze etwas kürzer als der Behälter bzw. seine längliche Öffnung. Besonders vorteilhaft steht die Benetzungswal- ze nur mit Achsenden oder Achsstummeln seitlich aus dem Behälter heraus. Die Lagerung dieser Achsenden ist außerhalb des Behälters an einer vorgenannten Anlage zum Behandeln der Substrate vorgesehen, beispielsweise an entsprechend geeigneten Lagerträgern. Diese Lagerträger können auch Antriebsmittel für die Benetzungswalzen aufweisen, beispielsweise Zahnräder, die mit Zahnrädern an mindestens einem Achsende zusammen wirken. So kann die eigentliche Lagerung und somit das Tragen des Gewichts der Benetzungswalzen an der Anlage bzw. den genannten Lagerträgern erfolgen. Eine Lagerung der Benetzungswalzen kann auch hier verstellbar sein, insbesondere aller Benetzungs- walzen der Anlage gleichzeitig und gleichartig. In Erweiterung der Erfindung ist es somit möglich, dass die Achsenden gegenüber einer von ihnen durchtretenen Behälterwand an der Stirnseite des Behälters verschiebbar sowie dabei abgedichtet angeordnet sind. Eine Verschiebbarkeit kann vertikal und/oder horizontal sein, sodass die Lagerfunktion der Benetzungswalzen aus der Vorrichtung herausgezogen ist, die Dichtungswirkung der Benetzungswalze innerhalb des Behälters jedoch im Wesentlichen erhalten bleibt. Wenn also einmal bei der Anlage für alle Vorrichtungen die Relativposition zwischen Benetzungswalze und Behälter und somit auch die Eintauchtiefe in den Behäl- ter der Vorrichtung eingestellt ist, so können die Benetzungswalzen gemeinsam, beispielsweise mittels des vorgenannten Lagerträgers, verstellt werden bei feststehenden Behältern. Somit ändert sich auch eine Eintauchtiefe in das Fluid bei allen Benetzungswalzen gleichmäßig. Des Weiteren weist eine Durchführung der Achsenden der Benetzungswalze durch die Behälterstirnwände innerhalb einer Durchführungsöffnung verstellbare Dichtungen auf. Dadurch kann die vorgenannte vertikale bzw. horizontale Verschiebbarkeit bei erhaltener Dichtfunktion gewahrt bleiben. Seitlich außerhalb der Dichtungen ist vorteilhaft eine äu- ßere Behälter-Außenstirnwand vorgesehen als eine Art doppelte Stirnwand. Sie weist einen größeren Freischnitt auf zum Durchtritt der Achsenden, der die genannte vertikale und/oder horizontale Verschiebbarkeit der Achsenden ermöglicht und nicht behindert. Unterhalb dieses Freischnitts ist eine Auffangrinne vorgesehen, die in die vorgenannte Ablauf- rinne bzw. in einen Ablauf der Ablaufrinne führt. Somit kann Fluid, das aus dem Behälter an der Durchführung der Achsenden wegen der verstellbaren Dichtungen austritt, in der Auffangrinne aufgefangen und abgeführt werden. In vorteilhafter Weiterbildung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass ein Zulauf zu dem Fluidvorrat vorgesehen ist, und zwar vorteilhaft durch die Ablaufrinne hindurch, also von unten in den Fluidvorrat. Dies kann bevorzugt zentral in den Behälter hinein erfolgen. Besonders bevorzugt ist dazu in dem Fluidvorrat und knapp unterhalb der Benetzungswalze eine längliche Verteilerleitung vorgesehen. Sie kann in etwa die Länge der Benetzungswalze aufweisen bzw. etwas kürzer sein. Um möglichst frisches zugeführtes Fluid an die Benetzungswalze und somit an die Substratunterseite zu bringen, kann vorgesehen sein, dass die Verteilerleitung nach oben gerichtete Austrittsöffnungen für das Fluid aufweist. Diese können beispielsweise relativ nahe an die Benetzungswalze heranreichen. Dabei kann auch vorgesehen sein, dass die Höhe des Fluid- Vorrats, in der die Benetzungswalze läuft, nur unwesentlich höher ist als diese Verteilerleitung. So ist die Gesamtmenge an Fluid in der Vorrichtung bzw. dem Behälter begrenzt mit den eingangs dazu genannten Vorteilen. Es ist möglich, dass die genannte Ablaufrinne schräg zur Horizontalen verläuft und an einem tieferen Ende einen Ablauf aufweist. So kann ein Fluidanschluss an die Vorrichtung bzw. den Behälter mittels einer einzigen Leitung als Zulauf und einer einzigen Leitung als Ablauf auf einfache Art und Weise erreicht werden. Durch den schrägen Verlauf der Ab- laufrinne ist hier sichergestellt, dass das Fluid auch zum Ablauf hin bewegt wird, und zwar ohne aufwendige Hilfsmittel. Advantageously, the wetting roller is slightly shorter than the container or its elongated opening. Particularly advantageously, the wetting roller projects laterally out of the container only with axle ends or axle stubs. The storage of these axle ends is provided outside of the container to an abovementioned system for treating the substrates, for example to suitably suitable bearing carriers. These bearing carriers may also comprise drive means for the wetting rollers, for example gears which interact with gears on at least one axle end. Thus, the actual storage and thus the carrying of the weight of the wetting rollers on the plant or said bearing supports can be done. Storage of the wetting rollers can also be adjustable here, in particular of all the wetting rollers of the installation simultaneously and identically. In extension of the invention, it is thus possible that the axle ends are arranged to be displaceable relative to a container wall penetrated by them on the end face of the container and thereby sealed. Displaceability may be vertical and / or horizontal such that the bearing function of the wetting rollers is withdrawn from the device but the sealing action of the wetting roller within the container is substantially maintained. Thus, once the relative position between the wetting roller and the container and thus also the immersion depth in the container of the device is set in the system for all devices, the wetting rollers can be adjusted together, for example by means of the abovementioned bearing carrier, with fixed containers. Thus, an immersion depth in the fluid changes uniformly in all wetting rolls. Furthermore, a passage of the axle ends of the wetting roller through the container end walls has adjustable seals within a passage opening. As a result, the aforementioned vertical or horizontal displaceability can be maintained while maintaining the sealing function. On the side outside the seals, an outer container outer end wall is advantageously provided as a type of double end wall. It has a larger clearance on the passage of the axle ends, which allows the said vertical and / or horizontal displaceability of the axle ends and not hindered. Below this free cut, a collecting channel is provided, which leads into the aforementioned drainage channel or into a drainage channel drain. Thus, fluid exiting the container at the location of the axle ends due to the adjustable seals may be collected and removed in the gutter. In an advantageous embodiment of the invention can be provided that an inlet to the fluid reservoir is provided, and advantageously through the drainage channel, ie from below into the fluid reservoir. This can preferably centrally into the container into it. Particularly preferred for this purpose in the fluid reservoir and just below the wetting roller an elongated distribution line is provided. It can have approximately the length of the wetting roller or be somewhat shorter. In order to bring as fresh as possible supplied fluid to the wetting roller and thus to the underside of the substrate, it can be provided that the distributor line has upwardly directed outlet openings for the fluid. For example, these may come relatively close to the wetting roller. It can also be provided that the height of the fluid supply in which the wetting roller runs is only insignificantly higher than this distribution line. Thus, the total amount of fluid in the device or the container is limited with the advantages mentioned above. It is possible that said gutter extends obliquely to the horizontal and has a drain at a lower end. Thus, a fluid connection to the device or the container by means of a single line as an inlet and a single line as a drain can be achieved in a simple manner. Due to the oblique course of the outlet channel, it is ensured here that the fluid is also moved towards the outlet, and without elaborate aids.
Dabei kann vorgesehen sein, dass der darüber befindliche Behälterboden des Fluidvorrats parallel zur Ablaufrinne verläuft. Dies weist den Vorteil auf, dass dadurch eine einfache Ausgestaltung bzw. Anbindung der Ablaufrinne an den Fluidvorrat bzw. dessen Behälter möglich ist. It can be provided that the container bottom located above the fluid supply runs parallel to the gutter. This has the advantage that thereby a simple configuration or connection of the gutter to the fluid reservoir or its container is possible.
In Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, dass die vorgenannten Ablauföffnungen aus dem Fluidvorrat in die Ablaufrinne hinein in ihrem Querschnitt verstellbar sind. Vorteilhaft sind sie gemeinsam verstellbar. Dadurch kann, insbesondere in Zusammenwirkung mit einer Einstellung der Menge an zugeführtem Fluid, der Austausch im Fluidvor- rat bzw. im Behälter geregelt werden. Für eine solche Verstellbarkeit kann ein Schieber vorgesehen sein, der mehrere Ablauföffnungen überdeckt und dazu Schieberöffnungen aufweist, die zu den Ablauföffnungen korrespondieren. Je nach Grad der Überlappung oder Verschiebung zu- einander ändert sich somit der Durchlassquerschnitt. Insgesamt können beispielsweise zwei Schieber vorgesehen sein, je einer auf einer Seite eines zentralen Zulaufs in den Fluidvorrat bzw. in die vorgenannte Verteilerleitung. Neben einer Einstellung des Austausche an Fluid in dem Behälter ist es vorteilhaft, wenn der Füllstand des Fluids in dem Behälter direkt eingestellt werden kann. Dazu kann ein Überlauf innerhalb des Behälters vorgesehen sein, der in seiner Höhe einstellbar ist und somit eine direktere und präzisiere Einstellung der Füllstandshöhe ermöglicht. Ein solcher Überlauf kann beispielsweise einen Schieber innerhalb einer starren Behälteraußenwand aufweisen, der vertikal verstellbar ist und dicht mit dem Behälter verbunden ist. In seinem Inneren kann er Kanäle aufweisen, die nach unten in die Ablaufrinne reichen, sodass in dem Fall, dass die Höhe des Fluids die Oberseite des Schiebers und somit die Kanäle erreicht, das Fluid in die Ablaufrinne abläuft und damit eine maximale Füllstandshöhe vorgegeben wird. In an embodiment of the invention can be provided that the aforementioned drain holes are adjustable from the fluid reservoir into the gutter in its cross section. Advantageously, they are adjustable together. As a result, in particular in conjunction with an adjustment of the amount of supplied fluid, the replacement in the fluid supply rat or in the container. For such adjustability, a slide may be provided which covers a plurality of drainage openings and, for this purpose, has slide openings which correspond to the drainage openings. Depending on the degree of overlap or displacement relative to one another, the passage cross section thus changes. Altogether, for example, two slides can be provided, one on each side of a central inlet into the fluid supply or into the aforementioned distribution line. In addition to an adjustment of the exchange of fluid in the container, it is advantageous if the level of the fluid in the container can be adjusted directly. For this purpose, an overflow can be provided within the container, which is adjustable in height and thus allows a more direct and precise adjustment of the level height. Such an overflow may, for example, comprise a slide within a rigid container outer wall, which is vertically adjustable and is sealed to the container. Inside it can have channels that extend down into the gutter, so that in the event that the height of the fluid reaches the top of the slider and thus the channels, the fluid drains into the gutter and thus a maximum level height is specified.
Bei der erfindungsgemäßen Anlage sind mehrere der vorbeschriebenen Vorrichtungen, insbesondere in identischer Ausführung, vorgesehen, die in Querrichtung zur Transportbahn und mit gewissem Abstand zueinander vorgesehen sind. Um den Abstand zwischen den Vorrichtungen zum Transport der Substrate zu überbrücken sind Transportrollen vorgesehen, die selbst jedoch ohne Behandlungs- oder Benetzungsfunktion ausgebildet sind. Zwar kommen sie mit der Substratunterseite und somit mit dem daran befindlichen Fluid in Berührung, sind aber dementsprechend unempfindlich ausgebildet und vorteilhaft sehr schmal, sodass sie die Benetzung nicht bzw. nicht negativ beeinträchtigen. Des Weiteren ist unterhalb der Transportbahn in der Anlage eine Auffangwanne vorgesehen, die zumindest so groß ist, dass sämtliche vorgenannten Vorrichtungen darüber angeordnet sind, und so herauslau- fendes Fluid aufgefangen werden kann. In the system according to the invention several of the above-described devices, in particular in an identical embodiment, are provided which are provided in the transverse direction to the transport path and with a certain distance from each other. In order to bridge the distance between the devices for transporting the substrates transport rollers are provided, which are themselves formed without treatment or wetting function. Although they come into contact with the underside of the substrate and thus with the fluid thereon, they are correspondingly insensitive and advantageously very narrow, so that they do not adversely affect the wetting or do not adversely affect it. Furthermore, a drip pan is provided below the transport path in the system, which is at least so large that all the aforementioned devices are arranged above it, and so outflowing fluid can be collected.
Des Weiteren sind an der Auffangwanne Gasabsaugöffnungen vorgesehen, vorteilhaft an ihrer Unterseite, sodass auch noch die geringen entstehenden Mengen an Ausgasungen aus dem Fluid aufgefangen und entfernt werden können. Somit kann zum Einen eine negative Einwirkung dieses Gases auf die Substratoberseiten, welche unter Umständen nicht gewünscht ist, vermieden werden. Zum Anderen kann ein Austreten von schädlichen Gasen in die Umgebung der Anlage vermieden werden. Der Vorteil der Anordnung der Gasabsaugöffnung deutlich unter- halb der Vorrichtungen bzw. der Benetzungswalzen liegt darin, dass das Gas, welches häufig auch schwerer ist als Luft, zum Einen besser und vollständiger abgesaugt werden kann und zum Anderen in einer Richtung weg von den Substratoberseiten abgesaugt werden kann. Die Gasabsaugöffnungen können vorteilhaft zu einer gemeinsamen Gasabsaugung führen. Dies ist an sich jedoch bekannt. Furthermore, gas extraction openings are provided on the collecting trough, advantageously on its underside, so that even the small amounts of outgassing that arise can be collected from the fluid and removed. Thus, on the one hand, a negative effect of this gas on the substrate tops, which may not be desired, can be avoided. On the other hand, leakage of harmful gases into the environment of the system can be avoided. The advantage of the arrangement of the gas suction opening clearly below the devices or the wetting rollers is that the gas, which is often heavier than air, can be better and more completely exhausted on the one hand and on the other hand sucked off in a direction away from the substrate tops can be. The Gasabsaugöffnungen can advantageously lead to a common gas extraction. However, this is known per se.
Des Weiteren ist es möglich, dass die Gasabsaugöffnungen in ihrem Öffnungsquerschnitt verstellbar sind. Dies kann nach Art von Schiebegit- tern erfolgen mit korrespondierenden Öffnungen, die gegeneinander verstellbar sind. So kann auch ein Verstellen sämtlicher Gasabsaugöffnungen in einem Schritt erfolgen durch die gekoppelten Schiebegitter. Furthermore, it is possible for the gas suction openings to be adjustable in their opening cross section. This can be done in the manner of Schiebegit- tern with corresponding openings that are adjustable against each other. Thus, an adjustment of all Gasabsaugöffnungen can be done in one step by the coupled sliding grid.
Es ist vorteilhaft bei einer Anlage vorgesehen, dass zwischen zwei vor- beschriebenen Vorrichtungen zwei bis vier Reihen von Transportrollen vorgesehen sind. Dies hängt auch davon ab, wie häufig nacheinander die Substratunterseiten mit frischem Fluid benetzt werden müssen bzw. wie empfindlich die zu transportierenden Substrate sind. It is advantageously provided in a system that two to four rows of transport rollers are provided between two devices described above. This also depends on how often one after the other the substrate undersides must be wetted with fresh fluid or how sensitive the substrates to be transported are.
Diese und weitere Merkmale gehen außer aus den Ansprüchen auch aus der Beschreibung und den Zeichnungen hervor, wobei die einzelnen Merkmale jeweils für sich allein oder zu mehreren in Form von Unterkombination bei einer Ausführungsform der Erfindung und auf anderen Gebieten verwirklicht sein und vorteilhafte sowie für sich schutzfähige Ausführungen darstellen können, für die hier Schutz beansprucht wird. Die Unterteilung der Anmeldung in einzelne Abschnitte sowie Zwischenüberschriften beschränken die unter diesen gemachten Aussagen nicht in ihrer Allgemeingültigkeit. These and other features will become apparent from the claims but also from the description and drawings, wherein the individual features each alone or more in the form of sub-combination in one embodiment of the invention and in other areas be realized and advantageous and protectable Represent embodiments for which protection is claimed here. The subdivision of the application into individual sections and subheadings does not limit the statements made thereunder in their generality.
Kurzbeschreibung der Zeichnungen Brief description of the drawings
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in den Zeichnungen Schema tisch dargestellt und wird im folgenden näher erläutert. In den Zeichnun gen zeigen: Fig. 1 eine vereinfachte Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Anlage mit Transportbahn für flache Substrate und mehreren Beschichtungsmodulen, An embodiment of the invention is illustrated in the drawings scheme table and will be explained in more detail below. 1 shows a simplified side view of a system according to the invention with a transport path for flat substrates and a plurality of coating modules, FIG.
Fig. 2 ein erfindungsgemäßes Beschichtungsmodul in schräger Fig. 2 shows an inventive coating module in oblique
Draufsicht von oben,  Top view from above,
Fig. 3 eine stark vergrößerte Ansicht der Herausführung eines Fig. 3 is a greatly enlarged view of the lead out of a
Achsendes aus dem Behälter mit verschiebbarer Dichtung, Fig. 4 das Beschichtungsmodul aus Fig. 2 in geschnittener Darstellung,  Achsendes from the container with sliding seal, Fig. 4, the coating module of FIG. 2 in a sectional view,
Fig. 5 eine Seitendarstellung im Schnitt ähnlich Fig. 3,  5 is a side view in section similar to FIG. 3,
Fig. 6 der rechte Bereich der Darstellung aus Fig. 5 in starker Vergrößerung und Fig. 7 eine Draufsicht auf das rechte Ende des Beschichtungsmo- duls entsprechend Fig. 6 von oben mit Darstellung eines Überlaufs als Schieber. Detaillierte Beschreibung der Ausführungsbeispiele Fig. 6, the right portion of the illustration of FIG. 5 in high magnification and 7 shows a top view of the right end of the coating module according to FIG. 6 from above, showing an overflow as a slide. Detailed description of the embodiments
In Fig. 1 ist stark schematisiert eine gesamte Anlage 1 1 dargestellt, mit der flache Substrate 13 behandelt werden können. Die Substrate 13 laufen mit ihren Oberseiten 14 nach oben weisend und den Unterseiten 15 nach unten weisend auf einer Transportbahn 17 von links nach rechts. Die Transportbahn 17 wird einerseits von Transportrollen 18 gebildet, wie sie dem Fachmann üblicherweise bekannt sind und einfache schmale Rollen sein können, welche nur Transportfunktion für die Substrate 13 aufweisen. In Fig. 1, a whole system 1 1 is shown in a highly schematic, can be treated with the flat substrates 13. The substrates 13 run with their tops 14 facing upward and the bottoms 15 pointing down on a transport path 17 from left to right. The transport path 17 is on the one hand formed by transport rollers 18, as they are commonly known to those skilled in the art and may be simple narrow rollers, which have only transport function for the substrates 13.
Des Weiteren weist die Transportbahn 17 mindestens drei Beschich- tungsmodule 20 auf, die mit gleichem Abstand zueinander und quer zur Transportbahn verlaufend vorgesehen sind. Deren konkreter Aufbau und Funktion werden nachläuternd noch näher erläutert. Sie arbeiten jedoch grundsätzlich so, wie es die eingangs genannte DE 10 2005 062 528 A1 beschreibt. Furthermore, the transport path 17 has at least three coating modules 20, which are provided running at the same distance from one another and transversely to the transport path. Their concrete structure and function will be explained in more detail later. However, they work in principle as described in the aforementioned DE 10 2005 062 528 A1.
Unterhalb der Transportbahn 17 weist die Anlage 1 1 eine Absaugwanne 22 auf, beispielsweise als flache Wanne, die im Wesentlichen Länge und Breite der Transportbahn 17 aufweist. Die Absaugwanne 22 weist als Zugang Öffnungen 24 nach oben hin auf, über denen Lochgitter 23 verschiebbar angeordnet sind, wie es der Pfeil andeutet. Die Löcher im Lochgitter 23 korrespondieren grundsätzlich mit den Öffnungen 24, und durch Verschieben des Lochgitters 23 kann ein Öffnen oder Verschlie- ßen mit verstellbaren Absaugquerschnitten erreicht werden. Dadurch kann zusätzlich die Absaugung an der Anlage 1 1 variiert werden, welche von der Absaugwanne 22 nach rechts geführt ist. Diese Absaugung dient dem in der eingangs genannten DE 10 2005 062 527 A1 genannten Zweck, kann jedoch, wie eingangs erläutert worden ist, erheblich geringer sein, weil eine erheblich geringere Ausgasung bei der Behandlung der Substrate 13 erfolgt. Des Weiteren können von der Absaugwanne 22 neben gasförmigen Bestandteilen auch herabtropfende Reste von Fluid aufgefangen und ebenfalls entfernt werden. Below the transport path 17, the system 1 1 has a suction trough 22, for example as a flat trough, which essentially has the length and width of the transport path 17. The suction trough 22 has as access openings 24 upwards, over which perforated grids 23 are slidably disposed, as indicated by the arrow. The holes in the perforated grid 23 basically correspond to the openings 24, and by moving the perforated grid 23, opening or closing with adjustable suction cross sections can be achieved. As a result, in addition to the suction can be varied at the plant 1 1, which is guided by the suction trough 22 to the right. This suction serves the purpose mentioned in the aforementioned DE 10 2005 062 527 A1, but, as has been explained at the beginning, can be considerably lower because a considerably lower outgassing takes place during the treatment of the substrates 13. Furthermore, dripping residues of fluid can also be collected by the suction trough 22 in addition to gaseous constituents and likewise removed.
In Fig. 2 ist ein Beschichtungsmodul 20 vergrößert in Schrägdarstellung von oben zu sehen. Das Beschichtungsmodul 20 weist eine längliche Benetzungswalze 26 auf, die nach hinten ein kurzes Achsende 27a und nach vorne ein kurzes Achsende 27b aufweist. Am Achsende 27b ist ein Zahnrad 29 zum Antrieb vorgesehen. In Fig. 2, a coating module 20 is enlarged in an oblique view from above to see. The coating module 20 has an elongate wetting roller 26 which has a short axle end 27a towards the rear and a short axle end 27b towards the front. At the axle end 27b, a gear 29 is provided for driving.
Die Benetzungswalze 26 ist in einem Behälter 31 des Beschichtungsmo- duls 20 angeordnet und steht eben mit den Achsenden 27a und 27b seitlich über. Wie der Vergleich mit den Fig. 5 und 6 zeigt, ragt die Benetzungswalze 26 nur knapp über den Rand des Behälters 31 nach oben über, beispielsweise wenige mm bzw. 2mm bis 5mm. Der Behälter 31 weist zwei Behälterlängswände 32a und 32b auf, die sich über die gesamte Behälterhöhe erstrecken. Die Behälterlängswand 32a weist zwar im unteren Bereich einen gestuften Verlauf auf, dies ist hier jedoch funktional für die Erfindung nicht von Bedeutung. Des Weiteren weist der Behälter 31 zwei Innenstirnwände 33a und 33b auf, welche das Volumen um die Benetzungswalze 26 herum zusammen mit den Behälterlängswänden 32a und 32b definieren bzw. begrenzen. The wetting roller 26 is arranged in a container 31 of the coating module 20 and just projects laterally with the axle ends 27a and 27b. As the comparison with FIGS. 5 and 6 shows, the wetting roller 26 only projects slightly above the edge of the container 31, for example a few mm or 2 mm to 5 mm. The container 31 has two container longitudinal walls 32a and 32b, which extend over the entire container height. Although the container longitudinal wall 32a has a stepped course in the lower region, this is not functionally important here for the invention. Furthermore, the container 31 has two inner end walls 33a and 33b, which define the volume around the wetting roller 26 together with the container longitudinal walls 32a and 32b.
Wie die Fig. 3 in Vergrößerung zeigt, sind zur Abdichtung der Achsenden 27a und 27b in den Innenstirnwänden 33a und 33b Dichteinschübe 34a und 34b vorgesehen. Diese Dichteinschübe 34a und 34b sind in Fig. 3 in starker Vergrößerung zu erkennen. Sie sind mehrteilig aufgebaut und in einer größeren Öffnung angeordnet als für das Achsende 27 eigentlich notwendig wäre. Sie überlappen die Innenstirnwand 31 a und 31 b jeweils nach innen und nach außen, sind aber kleiner als die entsprechenden Öffnungen ausgebildet. So können sie horizontal und vertikal in der Ebene der Innenstirnwände 33a und 33b bewegt werden, dich- ten diese jedoch gleichzeitig zwar nicht vollständig, aber doch großteils ab. Neben einer Dichtfunktion kommt es hier im Wesentlichen auch auf eine relativ leichte Bewegbarkeit der Benetzungswalze 26 bzw. ihrer Achsenden 27a und 27b gegenüber dem Behälter 31 bei geringer Rotationsreibung an. As FIG. 3 shows in enlargement, sealing inserts 34a and 34b are provided in the inner end walls 33a and 33b for sealing the axle ends 27a and 27b. These sealing inserts 34a and 34b can be seen in Fig. 3 in high magnification. They are constructed in several parts and arranged in a larger opening than for the axle 27th actually necessary. They overlap the inner end wall 31 a and 31 b respectively inwardly and outwardly, but are formed smaller than the corresponding openings. Thus, they can be moved horizontally and vertically in the plane of the inner end walls 33a and 33b, but at the same time, they do not completely seal, but they largely do away with it. In addition to a sealing function, it is essentially a matter of a relatively easy movability of the wetting roller 26 or its axle ends 27a and 27b with respect to the container 31 with low rotational friction.
Da aus den Dichteinschüben 34a und 34b, die unterhalb des Fluidni- veaus innerhalb des Behälters 31 liegen können und sollen, mit gewisser Wahrscheinlichkeit noch Fluid austritt, ist außen vor jede Innenstirnwand 33a und 33b noch eine Außenstirnwand 36a und 36b gesetzt. Die- se läuft, wie Fig. 3 nachher zeigt, sogar noch weiter nach unten als die Innenstirnwand 33a und 33b. Innenstirnwand 33a und 33b und Außenstirnwand 36a und 36b weisen, wie Fig. 6 im Seitenschnitt deutlich zeigt, im mittleren Bereich einen Abstand zueinander auf, sodass hier ein Auffangkanal 38b gebildet wird. Hier wird aus den Dichteinschüben 34a und 34b austretendes Fluid in den Auffangkanälen 38a und 38b gesammelt und nach unten geleitet, was nachfolgend noch näher erläutert wird. Jedenfalls tritt über die Außenstirnwände 36a und 36b kein Fluid über. Since fluid can still escape from the sealing inserts 34a and 34b, which can and should lie below the level of fluid within the container 31, outside, in front of each inner end wall 33a and 33b, an outer end wall 36a and 36b is set. This, as shown in FIG. 3 later, runs even further down than the inner end walls 33a and 33b. Inner end wall 33a and 33b and outer end wall 36a and 36b, as shown in FIG. 6 clearly shows in side section, in the central region at a distance from each other, so that here a collecting channel 38b is formed. Here, fluid emerging from the sealing inserts 34a and 34b is collected in the collecting channels 38a and 38b and directed downwards, which will be explained in more detail below. In any case, fluid does not pass over the outer end walls 36a and 36b.
An den Außenstirnwänden 36a und 36b sind Schraubbefestigungen 37a und 37b vorgesehen. Damit können die Behälter 31 bzw. die Beschich- tungsmodule 20 in der Anlage 1 1 an eingangs genannten Trägern odgl. an Seitenwänden festgeschraubt werden. At the outer end walls 36a and 36b screw fasteners 37a and 37b are provided. In this way, the containers 31 or the coating modules 20 in the system 1 1 or the like can be attached to the carriers mentioned at the outset. be bolted to side walls.
Aus den Figuren 4, 5 und 6 mit der Schnittdarstellung ist der Innenauf- bau eines Beschichtungsmoduls 20 bzw. des Behälters 31 zu erkennen. Zwischen den Innenstirnwänden 33a und 33b verläuft ein Innenboden 40 des Behälters 31 , der seitlich an den Behälterlängswänden 32a und 32b anliegt, also innerhalb des Behälters 31 ein eigenes Volumen bildet. Dieses ist auch das vorgenannte Volumen, in dem sich die Benetzungswalze 26 befindet, bzw. ein Fluidvorrat, in den die Benetzungswalze 26 eingetaucht ist. Es ist zu erkennen, dass der Innenboden 40 schräg zur Horizontalen und zur Benetzungswalze 26 verläuft und zwar zum Achsende 27b mit dem Zahnrad 29 hin abfällt. Der Grund hierfür liegt darin, dass ein darunter befindlicher Außenboden 42, der zwischen den Außenstirnwänden 36a und 36b verläuft und innen an den Behälterlängswänden 32a und 32b anliegt, wie auch der Innenboden 40 eine vorge- nannte Ablaufrinne 43 bildet und einen ganz rechts angeordneten Ablauf 44 aufweist. Der Ablauf 44 ist mit einer nicht dargestellten Ablaufleitung zum Abführen des Fluids aus dem Beschichtungsmodul 20 verbunden. The inner structure of a coating module 20 or of the container 31 can be seen from FIGS. 4, 5 and 6 with the sectional view. Between the inner end walls 33a and 33b extends an inner bottom 40 of the container 31, the side of the container longitudinal walls 32a and 32b is applied, that forms a separate volume within the container 31. This is also the aforementioned volume in which the wetting roller 26 is located, or a fluid supply in which the wetting roller 26 is immersed. It can be seen that the inner bottom 40 extends obliquely to the horizontal and to the wetting roller 26 and that falls toward the axle end 27b with the gear 29 out. The reason for this is that an underlying outer bottom 42, which extends between the outer end walls 36a and 36b and rests on the inner side of the container longitudinal walls 32a and 32b, as well as the inner bottom 40 forms a previously mentioned gutter 43 and a rightmost drain 44th having. The drain 44 is connected to a drain line, not shown, for discharging the fluid from the coating module 20.
Es ist vor allem wichtig, dass die Ablaufrinne 43 schräg zur Horizontalen verläuft und somit auch der Außenboden 42. So kann sichergestellt werden, dass sämtliches ablaufendes Fluid zum Ablauf 44 als einzige Stelle gelangt, ohne groß dorthin geführt werden zu müssen. It is especially important that the gutter 43 extends obliquely to the horizontal and thus also the outer bottom 42. Thus, it can be ensured that all running fluid reaches the drain 44 as a single point, without having to be led there.
Der Innenboden 40, der den Fluidvorrat für die Benetzungswalze 26 und die Ablaufrinne 43 trennt, weist Ablauföffnungen 46 auf, und zwar entsprechend der Fig. 4 in einer Reihe mit etwa gleichem Abstand. Die Ablauföffnungen 46 werden von auf der Oberseite des Innenbodens 40 aufliegenden Schiebern 48a und 48b überdeckt, welche ihrerseits wiederum Schieberlöcher 49 aufweisen. Die Anordnung der Schieberlöcher 49 korrespondiert zu den Ablauföffnungen 46, sodass leicht erkennbar durch Verschieben der Schieber 48a und 48b auf dem Innenboden 40 der Ablaufquerschnitt aus dem Fluidvorrat in die Ablaufrinne 43 hinein einstellbar ist. Es ist also, insbesondere aus den Fig. 4 bis 6, gut zu ersehen, dass der Behälter 31 an seinen Stirnwänden und am Boden doppelwandig ausgebildet ist und innerhalb der Doppelwandung austretendes Fluid gesammelt und kontrolliert abgeleitet werden kann. Im Fluidvorrat 51 oberhalb des Innenbodens 40 verläuft eine längliche Verteilerleitung 53. Die Verteilerleitung 53 weist eine zentrale Fluidzu- führung 45 auf. Das zugeführte Fluid strömt dann aus Auslassöffnungen 56 der Verteilerleitung 53 in den Fluidvorrat, und zwar entlang der ge- samten Länge, also auch entlang der gesamten Länge der Benetzungswalze 26. Dadurch wird erreicht, dass das frische zugeführte Fluid im wesentlichen von der Benetzungswalze 26 an die Unterseiten 15 der Substrate 13 herangeführt wird zu deren Benetzung bzw. Behandlung, wie es ja zuvor beschrieben worden ist und aus der eingangs genannten DE 10 2005 062 528 A1 hervorgeht. Damit kann also erreicht werden, dass die Unterseiten 15 mit möglichst frischem und eventuell aufbereitetem Fluid benetzt werden, während schon länger in dem Fluidvorrat 51 befindliches Fluid von dem frischeren Zugeführten verdrängt wird und nach unten über die Ablauföffnungen 46 in die Ablaufrinne 43 abläuft und abgeführt wird, insbesondere zu einer Wiederaufbereitung. The inner bottom 40, which separates the fluid supply for the wetting roller 26 and the gutter 43, has drainage openings 46, as shown in FIG. 4 in an approximately equidistant row. The drainage openings 46 are covered by sliders 48a and 48b resting on the upper side of the inner bottom 40, which in turn have slide holes 49. The arrangement of the slide holes 49 corresponds to the drainage openings 46, so that easily recognizable by moving the slide 48 a and 48 b on the inner bottom 40 of the drain cross section from the fluid reservoir into the gutter 43 is adjustable. It is therefore clear, in particular from FIGS. 4 to 6, that the container 31 is double-walled at its end walls and at the bottom and that fluid emerging within the double wall can be collected and discharged in a controlled manner. In the fluid reservoir 51 above the inner bottom 40 extends an elongated distribution line 53. The distribution line 53 has a central fluid supply 45 on. The supplied fluid then flows from outlet openings 56 of the distribution line 53 into the fluid supply, along the entire length, that is to say also along the entire length of the wetting roller 26. As a result, the fresh supplied fluid essentially reaches from the wetting roller 26 the undersides 15 of the substrates 13 is brought to their wetting or treatment, as has been previously described and emerges from the aforementioned DE 10 2005 062 528 A1. Thus, it can be achieved that the undersides 15 are wetted with as fresh as possible and possibly treated fluid, while already in the fluid reservoir 51 fluid is displaced from the fresher supplied and runs down through the drain holes 46 into the gutter 43 and is discharged , in particular for reprocessing.
In der Draufsicht aus Fig. 7 ist zu erkennen, dass ein Spalt 58 zwischen Benetzungswalze 26 und Innenseite der Behälterlängswände 32a und 32b relativ schmal ist. Er kann bei Walzendurchmessern von wenigen cm wenige mm betragen, wodurch erreicht werden kann, dass es sehr wenige Möglichkeiten gibt, wie das Fluid in dem Fluidvorrat 51 aus dem Behälter 31 bzw. dem Beschichtungsmodul 20 heraus ausgasen kann. Des Weiteren kann so erreicht werden, dass sich die Benetzungswalze 26 in einem sehr kleinen Bereich des Fluidvorrats, nämlich entspre- chend Fig. 5 oberhalb der Verteilerleitung 53, bewegt, sodass es hier leicht möglich ist, stets möglich frisches Fluid bereit zu stellen und das alte Fluid ablaufen zu lassen. In the plan view of Fig. 7 it can be seen that a gap 58 between wetting roller 26 and the inside of the container longitudinal walls 32a and 32b is relatively narrow. It can be a few mm with roll diameters of a few cm, whereby it can be achieved that there are very few ways in which the fluid in the fluid reservoir 51 can outgas from the container 31 or the coating module 20 out. Furthermore, it can be achieved in such a way that the wetting roller 26 moves in a very small area of the fluid supply, namely according to FIG. 5 above the distributor line 53, so that it is easily possible to always provide fresh fluid and that drain old fluid.
In Fig. 7 ist sehr gut der Aufbau des Dichteinschubs 34b zu erkennen sowie die Anordnung von Innenstirnwand 33b und Außenstirnwand 36b mit dem Auffangkanal 38b dazwischen. Des Weiteren ist aus Fig. 7 auch noch ein Überlauf 59 zu erkennen. Dieser ist an der Innenseite der Behälter 32a in eine breite, schlitzartige Vertiefung 61 eingesetzt als Überlaufschieber 62. Der Überlaufschieber 62 ist dichtend an der Innenseite der Behälterlängswand 32a geführt und mittels Schrauben 65 höhenverstellbar. Des Weiteren weist der Überlaufschieber 62 eine Überlauföffnung 63 auf, welche kanalartig ausgebildet ist und sich in den Fluidvorrat 51 unterhalb der Verteilerleitung 53 oder sogar in die Ablaufrinne 43 erstreckt, wobei der Überlaufschieber 62 natürlich genauso lang ist. Durch Verstellen der Höhe des Über- laufschiebers 62 bzw. seiner Überlauföffnung 63 in vertikaler Richtung mittels der Schrauben 65 kann eingestellt werden, wie hoch der Pegel des Fluidvorrats 51 reicht. Würde mehr Fluid zugeführt werden, so fließt es durch die breite Überlauföffnung 63 sofort ab. Dadurch kann also die maximale Eintauchtiefe der Benetzungswalze 26 sehr genau eingestellt werden und erheblich einfacher als durch Regulierung der Fluidzufüh- rung 54 oder Ablauföffnungen 46 mittels der Schieber 48a und 48b. Diese Eintauchtiefe der Benetzungswalze 26 in das Fluid des Fluidvorrats 51 bestimmt nämlich leicht nachvollziehbar die Menge an Fluid, das an die Unterseiten 15 der Substrate 13 gebracht wird. In Fig. 7, the construction of the sealing insert 34b can be seen very well as well as the arrangement of the inner end wall 33b and outer end wall 36b with the collecting channel 38b in between. Furthermore, an overflow 59 can also be seen from FIG. 7. This is on the inside of the container 32a in a wide, slot-like recess 61 used as overflow slide 62. The overflow slide 62 is sealingly guided on the inside of the container longitudinal wall 32a and height adjustable by means of screws 65. Furthermore, the spill valve 62 has an overflow opening 63, which is channel-shaped and extends into the fluid reservoir 51 below the manifold 53 or even into the gutter 43, wherein the spill valve 62 is of course just as long. By adjusting the height of the overflow slide 62 or its overflow opening 63 in the vertical direction by means of the screws 65 can be adjusted, how high the level of the fluid reservoir 51 reaches. If more fluid were supplied, it flows through the wide overflow opening 63 immediately. As a result, the maximum immersion depth of the wetting roller 26 can be set very precisely and considerably simpler than by regulating the fluid supply 54 or drainage openings 46 by means of the slides 48a and 48b. Namely, this immersion depth of the wetting roller 26 into the fluid of the fluid reservoir 51 easily determines the amount of fluid brought to the bottoms 15 of the substrates 13.

Claims

Patentansprüche claims
1. Vorrichtung zum Benetzen von flachen Substraten durch Benetzung einer Substratunterseite mit einem Fluid beim Durchlauf der Substrate entlang einer Transportbahn in einer Transportebene, wobei die Vorrichtung eine Benetzungswalze aufweist quer zur Transportrichtung, wobei die Benetzungswalze von unten bis an oder bis kurz vor die Transportebene reicht und zumindest teilweise in einen darunter befindlichen Vorrat an Fluid eingetaucht ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung eine eigenständig handhabbare Baueinheit ist zusammen mit der Benetzungswalze und einem Behälter für den Fluidvorrat, wobei der Behälter länglich ausgebildet ist nach Art einer geschlossenen Rinne mit einer länglichen Öffnung nach oben, die im Wesentlichen durch die Benetzungswalze ausgefüllt ist, wobei die Benetzungswalze im Wesentlichen innerhalb des Behälters verläuft, wobei der Behälter in einem unteren Bereich Ablauföffnungen nach unten aufweist in eine unterhalb des Behälters angeordnete Ablaufrinne. 1. Apparatus for wetting flat substrates by wetting a substrate underside with a fluid during the passage of the substrates along a transport path in a transport plane, wherein the device has a wetting roller transversely to the transport direction, wherein the wetting roller extends from bottom to or just before the transport plane and at least partially submerged in an underlying supply of fluid, characterized in that the device is a self-contained assembly together with the wetting roller and a reservoir for the fluid supply, wherein the container is elongated in the manner of a closed channel with an elongated opening upward, which is substantially filled by the wetting roller, wherein the wetting roller extends substantially within the container, wherein the container has in a lower region downflow openings in a below the container e gutter.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung nach außen hin geschlossen ist bis auf die längliche Öffnung nach oben, wobei insbesondere auch die Anordnung der Ablaufrinne an der Unterseite des Behälters geschlossen ist. 2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the device is closed to the outside except for the elongated opening upwards, wherein in particular the arrangement of the gutter is closed at the bottom of the container.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Benetzungswalze die längliche Öffnung in ihrer Breite bis auf wenige mm seitlich ausfüllt, insbesondere etwa 1 mm. 3. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the wetting roller fills the elongated opening in its width to a few mm laterally, in particular about 1 mm.
4. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung, insbesondere der Behälter samt Ablaufrinne und Ablauf, im Wesentlichen bis auf die längli- che Öffnung nach oben geschlossen ausgebildet ist für eine geschlossene Handhabung und Leitung des Fluids. 4. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the device, in particular the container including drainage channel and drainage, substantially to the lengthened The upper opening is formed closed up for a closed handling and management of the fluid.
5. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Benetzungswalze wenige mm über den Behälter bzw. einen Behälterrand nach oben übersteht. 5. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the wetting roller protrudes a few mm above the container or a container edge upwards.
6. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Benetzungswalze etwas kürzer ist als die Länge des Behälters bzw. der länglichen Öffnung und vorzugsweise nur mit Achsenden seitlich aus dem Behälter heraussteht, wobei insbesondere eine Lagerung der Achsenden außerhalb des Behälters an einer Anlage zum Behandeln der Substrate vorgesehen ist. 6. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the wetting roller is slightly shorter than the length of the container or the elongated opening and preferably protrudes laterally only with axle ends out of the container, in particular a bearing of the axle ends outside of the container at a Plant is provided for treating the substrates.
7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Achsenden gegenüber einer von ihnen durchtretenen Behälterwand an der Stirnseite des Behälters vertikal und/oder horizontal verschiebbar sowie abgedichtet angeordnet sind. 7. The device according to claim 6, characterized in that the axle ends are arranged vertically and / or horizontally displaceable and sealed relative to a container wall penetrated by them on the end face of the container.
8. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass eine Durchführung der Achsenden der Benetzungswalze durch die Behälterstirnwände innerhalb einer Durchführungsöffnung verstellbare Dichtungen aufweist, wobei seitlich außerhalb davon eine äußere Behälter-Außenstirnwand vorgesehen ist mit größerem Freischnitt zum Durchtritt der Achsenden und einer Auffangrinne unterhalb davon, die in die Ablaufrinne bzw. zu deren Ablauf führt. 8. Device according to one of the preceding claims, characterized in that a passage of the axle ends of the wetting roller through the container end walls within a passage opening adjustable seals, wherein laterally outside thereof an outer container outer end wall is provided with a larger cutout for the passage of the axle ends and a gutter below it, which leads into the gutter or to its expiration.
9. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen Zulauf zu dem Fluidvorrat durch die Ablaufrinne hindurch, insbesondere von außen zentral in den Behäl- ter hinein, wobei vorzugsweise in dem Fluidvorrat knapp unterhalb der Benetzungswalze eine längliche Verteilerleitung vorgesehen ist, die in etwa die Länge der Benetzungswalze aufweist und vorzugsweise nach oben gerichtete Austrittsöffnungen für das zentral in den Fluidvorrat zugeführte Fluid aufweist. 9. Device according to one of the preceding claims, characterized by an inlet to the fluid supply through the drainage channel, in particular from the outside centrally in the container in which preferably in the fluid supply just below the wetting roll an elongated distribution line is provided, which has approximately the length of the wetting roller and preferably upwardly directed outlet openings for the centrally supplied to the fluid reservoir fluid.
10. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Ablaufrinne schräg zur Horizontalen verläuft mit einem Ablauf an dem tieferen Ende, wobei der Behälterboden des Fluidvorrats darüber parallel zur Ablaufrinne verläuft. 10. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the gutter extends obliquely to the horizontal with a drain at the lower end, wherein the container bottom of the fluid supply runs parallel to the gutter.
1 1. Vorrichtung nach einer der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Ablauföffnungen aus dem Fluidvorrat in die Ablaufrinne in ihrem Querschnitt verstellbar sind, insbesondere gemeinsam verstellbar sind, vorzugsweise durch mindestens einen mehrere Ablauföffnungen überdeckenden Schieber mit zu den Ablauföffnungen korrespondierenden und dazu verstellbaren Schieberöffnungen. 1 1. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the drainage openings from the fluid reservoir in the gutter in its cross section are adjustable, in particular jointly adjustable, preferably by at least one plurality of drain holes covering slide with the drain holes corresponding and adjustable slide openings ,
12. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Fluidvorrat innerhalb des Behälters einen in der Höhe verstellbaren Überlauf aufweist zur Einstellung der Höhe des Fluidvorrats bzw. Eintauchtiefe der Benetzungswalze, wobei vorzugsweise ein Schieber innerhalb einer starren Behälteraußenwand angeordnet ist und dichtend mit dem Behälter verbunden ist und in seinem Inneren nach unten in die Ablaufrinne reichende Kanäle aufweist. 12. Device according to one of the preceding claims, characterized in that the fluid supply within the container has a height-adjustable overflow for adjusting the height of the fluid supply or immersion depth of the wetting roller, wherein preferably a slider is disposed within a rigid container outer wall and sealed with the container is connected and has in its interior down into the gutter reaching channels.
13. Anlage zum Behandeln von flachen Substraten mit einer Transportbahn in einer Transportebene, wobei entlang der Transportbahn mehrere Vorrichtungen nach einem der vorhergehenden Ansprüche in Querrichtung dazu und mit Abstand zueinander vorge- sehen sind, wobei zwischen den Vorrichtungen Transportrollen zur Bildung der Transportbahn vorgesehen sind und die Transportrollen ohne Behandlungsfunktion oder Benetzungsfunktion ausgebildet sind und wobei unterhalb der Transportbahn eine Auffangwanne der Anlage vorgesehen ist mit Gasabsaugöffnungen, vorzugsweise an der Unterseite. 13. System for treating flat substrates with a transport path in a transport plane, wherein along the transport path a plurality of devices according to one of the preceding claims in the transverse direction thereto and at a distance from each other vorge- see, between the devices transport rollers are provided for forming the transport path and the transport rollers are formed without treatment function or wetting function and wherein below the transport path a sump of the system is provided with Gasabsaugöffnungen, preferably at the bottom.
14. Anlage nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Gasabsaugöffnungen zu einer gemeinsamen Gasabsaugung führen. 14. Plant according to claim 13, characterized in that the Gasabsaugöffnungen lead to a common gas extraction.
15. Anlage nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Gasabsaugöffnungen in ihrem Öffnungsquerschnitt verstellbar sind, insbesondere nach Art von Schiebegittern mit korrespondierenden Öffnungen, die gegeneinander verstellbar sind. 15. Plant according to claim 13 or 14, characterized in that the Gasabsaugöffnungen are adjustable in their opening cross section, in particular in the manner of sliding grids with corresponding openings which are adjustable against each other.
16. Anlage nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, dass zwei bis vier Reihen von Transportrollen zwischen zwei Vorrichtungen nach einem der Ansprüche 1 bis 12 vorgesehen sind. 16. Installation according to one of claims 13 to 15, characterized in that two to four rows of transport rollers between two devices according to one of claims 1 to 12 are provided.
17. Anlage nach einem der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass entlang der Transportbahn an deren Außenseiten Lagerträger zur Lagerung der Benetzungswalzen vorgesehen sind, wobei vorzugsweise an den Lagerträgern Antriebsmittel, insbesondere Zahnräder, für die Benetzungswalzen zu deren Antrieb vorgesehen sind. 17. Installation according to one of claims 13 to 16, characterized in that along the transport path on the outer sides bearing support for supporting the wetting rollers are provided, wherein preferably on the bearing supports drive means, in particular gears, are provided for the wetting rollers to the drive.
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