EP2596398A1 - Vorrichtung und verfahren zur dreidimensionalen vermessung eines objektes - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur dreidimensionalen vermessung eines objektes

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EP2596398A1
EP2596398A1 EP11760756.4A EP11760756A EP2596398A1 EP 2596398 A1 EP2596398 A1 EP 2596398A1 EP 11760756 A EP11760756 A EP 11760756A EP 2596398 A1 EP2596398 A1 EP 2596398A1
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EP
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objective
stereomicroscope
denotes
tube optics
lens
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EP11760756.4A
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Rolf Wartmann
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Carl Zeiss Microscopy GmbH
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Carl Zeiss Microscopy GmbH
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    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C11/00—Photogrammetry or videogrammetry, e.g. stereogrammetry; Photographic surveying
    • G01C11/02—Picture taking arrangements specially adapted for photogrammetry or photographic surveying, e.g. controlling overlapping of pictures
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/22—Telecentric objectives or lens systems
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00—Microscopes
    • G02B21/18—Arrangements with more than one light path, e.g. for comparing two specimens
    • G02B21/20—Binocular arrangements
    • G02B21/22—Stereoscopic arrangements

Definitions

  • the present invention relates to an apparatus and a method for the three-dimensional measurement of an object.
  • the three-dimensional measurement of objects or workpieces represents an everyday task.
  • the non-contact methods because they practically preclude damage to the workpiece and allow a high clock frequency.
  • optical methods of triangulation you use two optical images of the object to be measured, which were taken from different positions. By comparing the two images, the three-dimensional shape of the object to be measured can be obtained.
  • the object is achieved by a device for three-dimensional measurement of an object, with a stereomicroscope of the telescope type, which has a common objective and a first and a second tube optics, a first image sensor, the first Tubusoptik is assigned to a second image sensor, which is associated with the second tube optics, and a control unit which determines the three-dimensional shape of the object from the images taken with two image sensors and performs a predetermined three-dimensional survey, wherein the stereomicroscope is formed so that the images be recorded at object-side telecentricity of the stereomicroscope.
  • a stereomicroscope of the telescope type is used in which a common objective is provided for both tube optics, the problem of identical objectives is essentially defused in comparison with an arrangement with two identical objectives. The same lens is used on both channels. Furthermore, in stereomicroscopes of the telescope type, the two tube optics usually meet extreme requirements in terms of alignment and equality of magnification, so that ideal conditions for three-dimensional measurement are also given from this page. Finally, the stereomicroscope is used so that the images are taken at object-side telecentricity of the stereomicroscope. This ensures that a common projection center (which lies here at infinity) is present per channel for all object points, so that despite the necessarily to be fulfilled Abbe's sine condition a successful three-dimensional reconstruction can be performed with the desired accuracy of the recorded object.
  • the tube optics and the objective can be set so that the entrance pupils of the two tube optics coincide with the rear focal point of the objective with respect to the optical axis of the objective. This ensures that the desired and necessary object-side telecentricity is present during image acquisition.
  • the tube optics and the objective can be adjusted so that the following inequality
  • s p denotes the distance of the entrance pupil of the objective along the optical axis of the objective to the front main plane of the objective
  • y denotes the height of the imaged object
  • ⁇ 'de denotes the imaging scale of the stereomicroscope with respect to the intermediate image plane
  • ⁇ ' max the maximum Mapping scale of the Stereomicroscopes referred to the intermediate image plane
  • NA 2 max denotes the numerical aperture of the largest magnification of the respective channel.
  • the respective tube optics can contain a lens or consist of exactly one lens.
  • the device according to the invention can be developed so that steps of the method according to the invention can be realized with it.
  • the method according to the invention can also be formed further in such a way that it has steps which can be carried out or carried out with the device according to the invention.
  • FIG. 1 shows a schematic view of an embodiment of the device according to the invention for the three-dimensional measurement of an object
  • Fig. 2 is a schematic view of the beam path of the left stereo channel to
  • Fig. 3 is a view corresponding to Fig. 2, with the Abbe's sine condition taken into account;
  • Fig. 4 is a view according to FIG. 2, wherein object-side telecentricity is present.
  • the tube optics 5, 6 can each also be referred to as pancrate or pancratic Nachveriererungskanal.
  • the stereomicroscope 3 includes a first and second image sensor 7, 8, wherein the first image sensor 7 of the first tube optics 5 and the second image sensor 8 of the second tube optics 6 is assigned.
  • the objective 4 the first tube optics 5 and the first image sensor 7, the object 2 can be recorded under a first viewing direction, so that an image of a first recording channel is present.
  • the object 2 can be recorded under a second viewing direction, so that an image of a second recording channel is present. From these two images, the three-dimensional shape of the object can be determined.
  • a control unit 9 is provided, which can evaluate the two images from both channels. On the basis of the thus created three-dimensional shape of the object 2, the desired three-dimensional measurement can then be performed.
  • Object-side telecentricity can be achieved when the rear focal point 10 of the objective 2 with respect to the optical axis (OA) of the objective 4 coincides with the entrance pupil 1 1 of the tube optic 5, as a comparison of the representation in Figure 4 with the representation in Figure 2 and 3 shows.
  • the stereomicroscope 3 is operated so that when receiving the object 2 object-side telecentricity is given.
  • s p denotes the distance of the entrance pupil 11 of the objective 4 to the front main plane H1 of the objective along the optical axis OA, f the lens focal length, y the height of the imaged object 2, ⁇ 'the magnification of the stereomicroscope with respect to the intermediate image plane , ß ' max the maximum magnification of the stereomicroscope with respect to the intermediate image plane and NA 2 max the numerical aperture in the largest magnification single-channel.
  • the entrance pupil 1 1 of the objective 4 results from the image of the pupil of the tube optics 5, 6 in the object space through the objective 4.

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Abstract

Es wird bereitgestellt eine Vorrichtung zur dreidimensionalen Vermessung eines Objektes (2), mit einem Stereomikroskop (3) vom Teleskoptyp, das ein gemeinsames Objektiv (4) sowie eine erste und eine zweite Tubusoptik (5, 6) aufweist, einem ersten Bildsensor (7), der der ersten Tubusoptik (5) zugeordnet ist, einem zweiten Bildsensor (8), der der zweiten Tubusoptik (6) zugeordnet ist, sowie einer Steuereinheit (9), die aus den mit beiden Bildsensoren (7, 8) aufgenommenen Bildern die dreidimensionale Gestalt des Objektes ermittelt und eine vorbestimmte dreidimensionale Vermessung durchführt, wobei das Stereomikroskop (3) so ausgebildet ist, daß die Bilder bei objektseitiger Telezentrie des Stereomikroskops (3) aufgenommen werden.

Description

Vorrichtung und Verfahren zur dreidimensionalen Vermessung eines Objektes
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung und ein Verfahren zur dreidimensionalen Vermessung eines Objektes.
Auf dem Gebiet der Qualitätssicherung stellt die dreidimensionale Vermessung von Objekten bzw. Werkstücken eine alltägliche Aufgabe da. Von besonderem Interesse sind hierbei die berührungslosen Verfahren, weil diese eine Beschädigung des Werkstückes praktisch ausschließen und eine hohe Taktfrequenz zulassen. Besonders hervorzuheben sind optische Verfahren der Triangulation. Hier benutzt man zwei optische Abbildungen des zu vermessenden Objektes, die aus unterschiedlichen Positionen aufgenommen wurden. Über einen Vergleich der beiden Bilder kann die dreidimensionale Gestalt des zu vermessenden Objektes gewonnen werden.
Diese Verfahren setzen allerdings die genaue Kenntnis der Aufnahmepositionen sowie der optischen Kanäle, mit denen die Aufnahmen gemacht wurden, voraus. Besonders vorteilhaft wäre eine Anordnung mit zwei identischen Objektiven, welche zueinander parallel ausgerichtet sind. Dies ist jedoch praktisch sehr aufwendig durchzuführen, da es aufgrund der Fertigungstoleranzen keine identischen Objektive gibt.
Ausgehend hiervon ist es Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung zur dreidimensionalen Vermessung eines Objektes bereitzustellen, mit der mit möglichst geringem Aufwand die dreidimensionale Vermessung mit der gewünschten Genauigkeit durchgeführt werden kann. Ferner soll ein entsprechendes Verfahren zur dreidimensionalen Vermessung eines Objektes bereitgestellt werden.
Die Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung zur dreidimensionalen Vermessung eines Objektes, mit einem Stereomikroskop vom Teleskoptyp, das ein gemeinsames Objektiv sowie eine erste und eine zweite Tubusoptik aufweist, einem ersten Bildsensor, der der ersten Tubusoptik zugeordnet ist, einem zweiten Bildsensor, der der zweiten Tubusoptik zugeordnet ist, sowie einer Steuereinheit, die aus den mit beiden Bildsensoren aufgenommenen Bildern die dreidimensionale Gestalt des Objektes ermittelt und eine vorbestimmte dreidimensionale Vermessung durchführt, wobei das Stereomikroskop so ausgebildet ist, daß die Bilder bei objektseitiger Telezentrie des Stereomikroskops aufgenommen werden.
Da ein Stereomikroskop vom Teleskoptyp verwendet wird, bei dem für beide Tubusoptiken ein gemeinsames Objektiv vorgesehen ist, ist die Problematik der identischen Objektive im Vergleich zu einer Anordnung mit zwei identischen Objektiven im Wesentlichen entschärft. Es werden auf beiden Kanälen das gleiche Objektiv verwendet. Des weiteren erfüllen bei Stereomikroskopen vom Teleskoptyp die beiden Tubusoptiken in der Regel extreme Anforderungen bezüglich Ausrichtung und Gleichheit der Vergrößerung, so daß auch von dieser Seite ideale Voraussetzungen zur dreidimensionalen Messung gegeben sind. Schließlich wird das Stereomikroskop so eingesetzt, daß die Bilder bei objektseitiger Telezentrie des Stereomikroskopes aufgenommen werden. Damit wird erreicht, daß pro Kanal für alle Objektpunkte ein gemeinsames Projektionszentrum (das hier im Unendlichen liegt) vorliegt, so daß trotz der notwendigerweise zu erfüllenden Abbe'schen Sinusbedingung eine erfolgreiche dreidimensionale Rekonstruktion mit der gewünschten Genauigkeit des aufgenommenen Objektes durchgeführt werden kann.
Insbesondere können zur Einstellung der objektseitigen Telezentrie bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung die Tubusoptiken und das Objektiv so eingestellt sein, daß die Eintrittspupillen der beiden Tubusoptiken bezogen auf die optische Achse des Objektives mit dem hinteren Brennpunkt des Objektives zusammenfallen. Dadurch wird sichergestellt, daß die gewünschte und notwendige objektseitige Telezentrie bei der Bildaufnahme vorliegt.
Ferner können bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Einstellung der objektseitigen Telezentrie die Tubusoptiken und das Objektiv so eingestellt sein, daß die folgende Ungleichung
erfüllt ist, wobei sp den Abstand der Eintrittspupille des Objektives entlang der optischen Achse des Objektives zur vorderen Hauptebene des Objektivs bezeichnet, y die Höhe des abgebildeten Objektes bezeichnet, ß' den Abbildungsmaßstab des Stereomikroskops bezogen auf die Zwischenbildebene bezeichnet, ß'max den maximalen Abbildungsmaßstab des Stereomikroskops bezogen auf die Zwischenbildebene bezeichnet und NA2 max die numerische Apertur der größten Vergrößerung des jeweiligen Kanals bezeichnet. Die Eintrittspupille des Objektives resultiert aus der Abbildung der Pupille der Tubusoptik in den Objektraum des Objektives.
Die jeweilige Tubusoptik kann eine Linse enthalten oder aus genau einer Linse bestehen.
Die Aufgabe wird ferner gelöst durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruches 4. Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Verfahrens sind in den abhängigen Verfahrensansprüchen angegeben.
Es versteht sich, daß die vorstehend genannten und die nachstehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in den angegebenen Kombinationen, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung einsetzbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen. Insbesondere kann die erfindungsgemäße Vorrichtung so weitergebildet werden, daß mit ihr Schritte des erfindungsgemäßen Verfahrens realisiert werden. Auch das erfindungsgemäße Verfahren kann so weiter gebildet werden, daß es Schritte aufweist, die mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung durchführbar sind oder durchgeführt werden.
Nachfolgend wird die Erfindung beispielsweise anhand der beigefügten Zeichnungen, die auch erfindungswesentliche Merkmale offenbaren, noch näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Ansicht einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur dreidimensionalen Vermessung eines Objektes;
Fig. 2 eine schematische Ansicht des Strahlenverlaufs des linken Stereokanals zur
Erläuterung des gemeinsamen Projektionszentrums;
Fig. 3 eine Ansicht entsprechend Fig. 2, wobei die Abbe'sche Sinusbedingung berücksichtigt wurde; und
Fig. 4 eine Ansicht gemäß Fig. 2, wobei objektseitige Telezentrie vorliegt.
Bei der in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform umfaßt die erfindungsgemäße Vorrichtung 1 zur dreidimensionalen Vermessung eines Objektes 2 ein Stereomikroskop 3 vom Teleskoptyp, das ein gemeinsames Objektiv 4, eine erste Tubusoptik 5 und eine zweite Tubusoptik 6 umfaßt. Die Tubusoptiken 5, 6 können jeweils auch als Pankrat oder als pankratischer Nachvergrößerungskanal bezeichnet werden. Ferner enthält das Stereomikroskop 3 einen ersten und zweiten Bildsensor 7, 8, wobei der erste Bildsensor 7 der ersten Tubusoptik 5 und der zweite Bildsensor 8 der zweiten Tubusoptik 6 zugeordnet ist. Wie aus der schematischen Darstellung von Fig. 1 ersichtlich ist, kann mittels des Objektives 4, der ersten Tubusoptik 5 und des ersten Bildsensors 7 das Objekt 2 unter einer ersten Blickrichtung aufgenommen werden, so daß ein Bild eines ersten Aufnahmekanals vorliegt. Mittels des Objektives 4, der zweiten Tubusoptik 6 und des zweiten Bildsensors 8 kann das Objekt 2 unter einer zweiten Blickrichtung aufgenommen werden, so daß ein Bild eines zweiten Aufnahmekanals vorliegt. Aus diesen beiden Bildern kann die dreidimensionale Gestalt des Objektes ermittelt werden. Dazu ist eine Steuereinheit 9 vorgesehen, die die beiden Bilder aus beiden Kanälen auswerten kann. Anhand der so erstellten dreidimensionalen Gestalt des Objektes 2 kann dann die gewünschte dreidimensionale Vermessung durchgeführt werden.
Um aus den Bildern die dreidimensionale Gestalt so ermitteln zu können, daß eine dreidimensionale Vermessung möglich ist, muß nicht nur die genaue Kenntnis der Aufnahmeposition sowie der optischen Kanäle berücksichtigt werden, sondern es muß ferner pro Kanal ein für alle Objektpunkte des aufgenommenen Objektes 2 gemeinsames Projektionszentrum P vorliegen. Ein solches gemeinsames Projektionszentrum ist jedoch im allgemeinen bei der Stereomikroskopie nicht existent.
Wie der schematischen Darstellung in Figuren 2 und 3 zu entnehmen ist, in denen nur der linke Stereokanal dargestellt ist und für das Objektiv 4 stellvertretend die beiden Hauptebenen H1 und H2 sowie für die erste Tubusoptik stellvertretend die Hauptebene H3 eingezeichnet ist, liegt ein gemeinsames Projektionszentrum P nur im idealisierten Fall (Fig. 2) vor. Bei Berücksichtigung der Abbe'schen Sinusbedingung ist im allgemeinen kein gemeinsames Projektionszentrum vorhanden (Fig. 3). In Fig. 2 und 3 ist noch die Eintrittspupille 12 des Objektivs 4 eingezeichnet.
Es gibt jedoch eine Einstellung des Stereomikroskops 3, bei der das gewünschte gemeinsame Projektionszentrum P bei der Aufnahme vorliegt. Dies ist der Fall, wenn objektseitige Telezentrie gegeben ist. Wie der entsprechenden Darstellung von Figur 4 entnommen werden kann, liegt in diesem Fall das Projektionszentrum im Unendlichen (und ist in Fig. 4 deshalb nicht dargestellt).
Objektseitige Telezentrie kann dann erreicht werden, wenn der hintere Brennpunkt 10 des Objektives 2 bezogen auf die optische Achse (OA) des Objektives 4 mit der Eintrittspupille 1 1 der Tubusoptik 5 zusammenfällt, wie ein Vergleich der Darstellung in Figur 4 mit der Darstellung in Figur 2 und 3 zeigt. Bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird daher das Stereomikroskop 3 so betrieben, daß bei Aufnahme des Objektes 2 objektseitige Telezentrie gegeben ist.
Es kann auch eine Ungleichung angegeben werden, anhand der ermittelt werden kann, ob bei den gegebenen Einstellungen des Stereomikroskops die gewünschte objektseitige Telezentrie hinreichend gegeben ist. Wenn die Ungleichung für alle Vergrößerungen des Stereomikroskopes gilt, kann uneingeschränkt stereoskopisch gemessen werden.
Bei dieser Ungleichung bezeichnet sp den Abstand der Eintrittspupille 1 1 des Objektives 4 bis zur vorderen Hauptebene H1 des Objektivs entlang der optischen Achse OA, f die Objektivbrennweite, y die Höhe des abgebildeten Objektes 2, ß' den Abbildungsmaßstab des Stereomikroskops bezogen auf die Zwischenbildebene, ß'max den maximalen Abbildungsmaßstab des Stereomikroskops bezogen auf die Zwischenbildebene sowie NA2 max die numerische Apertur in der größten Vergrößerung einkanalig. Die Eintrittspupille 1 1 des Objektives 4 resultiert aus der Abbildung der Pupille der Tubusoptik 5, 6 in den Objektraum durch das Objektiv 4.
Wenn die obige Ungleichung erfüllt ist, ist eine sinnvolle Messung innerhalb des zehnfachen Betrages der wellenoptischen Tiefenschärfe möglich. Außerhalb dieses Bereiches ist die Abbildungsqualität so schlecht, daß interessante Details sowieso nicht mehr aufgelöst werden können. Des weiteren sind Meßfehler erlaubt, die unterhalb der Abbe'schen Auflösungsgrenze liegen.

Claims

Patentansprüche
1 . Vorrichtung zur dreidimensionalen Vermessung eines Objektes (2), mit
einem Stereomikroskop (3) vom Teleskoptyp, das ein gemeinsames Objektiv (4) sowie eine erste und eine zweite Tubusoptik (5, 6) aufweist,
einem ersten Bildsensor (7), der der ersten Tubusoptik (5) zugeordnet ist,
einem zweiten Bildsensor (8), der der zweiten Tubusoptik (6) zugeordnet ist, sowie
einer Steuereinheit (9), die aus den mit beiden Bildsensoren (7, 8) aufgenommenen Bildern die dreidimensionale Gestalt des Objektes ermittelt und eine vorbestimmte dreidimensionale
Vermessung durchführt,
wobei das Stereomikroskop (3) so ausgebildet ist, daß die Bilder bei objektseitiger Telezentrie des Stereomikroskops (3) aufgenommen werden.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1 , bei der zur Einstellung der objektseitigen Telezentrie die Tubusoptiken (5, 6) und das Objektiv (4) so eingestellt sind, daß die Eintrittspupillen (1 1 ) der beiden Tubusoptiken (5, 6) bezogen auf die optische Achse des Objektives (4) mit dem hinteren Brennpunkt des Objektivs (4) zusammenfallen.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, bei der zur Einstellung der objektseitigen Telezentrie die Tubusoptiken (5, 6) und das Objektiv (3) so eingestellt sind, daß folgende Ungleichung
erfüllt ist, wobei sp den Abstand der Eintrittspupillen des Objektives (4) entlang der optischen Achse (OA) des Objektives (4) zur vorderen Hauptebene (H1 ) des Objektivs (4) bezeichnet, wobei die Eintrittspupillen durch die Abbildung der Pupillen der Tubusoptiken (5, 6) in den Objektraum mittels des Objektives (4) entstehen, y die Höhe des abgebildeten Objektes (2) bezeichnet, ß' den Abbildungsmaßstab des Stereomikroskops (3) bezogen auf die Zwischenbildebene bezeichnet, ß'max den maximalen Abbildungsmaßstab des Stereomikroskops bezogen auf die Zwischenbildebene bezeichnet und NA2 max die numerische Apertur der größten Vergrößerung des jeweiligen Kanals bezeichnet.
4. Verfahren zur dreidimensionalen Vermessung eines Objektes mit
einem Stereomikroskop vom Teleskoptyp, das ein gemeinsames Objektiv sowie eine erste und eine zweite Tubusoptik aufweist, bei dem
über die beiden Tubusoptiken Bilder des Objektes aufgenommen werden, anhand der aufgenommenen Bildern die dreidimensionale Gestalt des Objektes ermittelt und eine vorbestimmte dreidimensionale Vermessung durchgeführt wird,
wobei die Bilder bei objektseitiger Telezentrie des Stereomikroskops aufgenommen werden.
5. Verfahren nach Anspruch 4, bei dem zur Einstellung der objektseitigen Telezentrie die Tubusoptiken und das Objektiv so eingestellt werden, daß die Eintrittspupillen der beiden Tubusoptiken bezogen auf die optische Achse des Objektives mit dem hinteren Brennpunkt des Objektivs zusammenfallen.
6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, bei dem zur Einstellung der objektseitigen Telezentrie die Tubusoptik und das Objektiv so eingestellt werden, daß folgende Ungleichung
erfüllt wird, wobei sp den Abstand der Eintrittspupillen des Objektives (4) entlang der optischen Achse des Objektives zur vorderen Hauptebene (H1 ) des Objektivs (4) bezeichnet, wobei die Eintrittspupillen durch die Abbildung der Pupillen der Tubusoptiken (5, 6) in den Objektraum mittels des Objektives (4) entstehen, y die Höhe des abgebildeten Objektes bezeichnet, ß' den Abbildungsmaßstab des Stereomikroskops bezogen auf die Zwischenbildebene bezeichnet, ß'max den maximalen Abbildungsmaßstab des Stereomikroskops bezogen auf die Zwischenbildebene bezeichnet und NA2 max die numerische Apertur der größten Vergrößerung des jeweiligen Kanals bezeichnet.
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Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3481631B2 (ja) * 1995-06-07 2003-12-22 ザ トラスティース オブ コロンビア ユニヴァーシティー イン ザ シティー オブ ニューヨーク 能動型照明及びデフォーカスに起因する画像中の相対的なぼけを用いる物体の３次元形状を決定する装置及び方法
DE19647510A1 (de) * 1996-11-16 1998-05-20 Technoteam Bildverarbeitung Gm Mikromeßsystem zum optischen Messen kleiner und kleinster Strukturen
DE19651667C2 (de) * 1996-12-12 2003-07-03 Rudolf Groskopf Vorrichtung zur dreidimensionalen Untersuchung eines Objektes
DE19714383A1 (de) * 1997-03-27 1998-10-01 Omeca Messtechnik Gmbh Mikrofotogrammetrische Meßeinrichtung
US6262803B1 (en) * 1998-09-10 2001-07-17 Acuity Imaging, Llc System and method for three-dimensional inspection using patterned light projection
DE10204430A1 (de) 2002-02-04 2003-08-07 Zeiss Carl Stereo-Mikroskopieverfahren und Stereo-Mikroskopiesystem
DE50307047D1 (de) 2002-02-04 2007-05-31 Zeiss Carl Surgical Gmbh Stereo-Untersuchungssysteme und Stereo-Bilderzeugungsvorrichtung sowie Verfahren zum Betrieb einer solchen
JP2003329927A (ja) * 2002-05-16 2003-11-19 Nikon Corp 測定装置及び対物レンズ
US7539340B2 (en) * 2003-04-25 2009-05-26 Topcon Corporation Apparatus and method for three-dimensional coordinate measurement
CN100458470C (zh) 2004-10-27 2009-02-04 株式会社尼康 光学元件制造方法、光学元件、尼普科夫盘、共焦光学系统以及三维测量装置
JP4398352B2 (ja) * 2004-12-02 2010-01-13 オリンパス株式会社 医療用立体撮像装置
US20070023716A1 (en) * 2005-07-26 2007-02-01 Icos Vision Systems N.V. Apparatus for three dimensional measuring on an electronic component
DE102005040830A1 (de) 2005-08-25 2007-03-15 Carl Zeiss Jena Gmbh Optische Anordnung und Verfahren zur Abbildung tiefenstrukturierter Objekte
US7496241B1 (en) * 2005-09-08 2009-02-24 Goodrich Corporation Precision optical systems with performance characterization and uses thereof
KR20090062027A (ko) * 2007-12-12 2009-06-17 삼성전기주식회사 3차원자세측정장치 및 이를 이용한 3차원자세측정방법

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
None *
See also references of WO2012038335A1 *

Also Published As

Publication number Publication date
WO2012038335A1 (de) 2012-03-29
DE102010041382A1 (de) 2012-03-29
US20130250069A1 (en) 2013-09-26
US9279668B2 (en) 2016-03-08

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