VORRICHTUNG ZUR MESSUNG VON RICHTUNG UND/ODER STÄRKE EINES MAGNETFELDES
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Messung von Richtung und/oder Stärke eines Magnetfeldes, enthaltend einen ersten Sensor zur Erfassung einer ersten Komponente des Magnetfeldes in einer ersten Raumrichtung, einen zweiten Sensor zur Erfassung einer zweiten Komponente des Magnetfeldes in einer zweiten Raumrichtung und einen dritten Sensor zur Erfassung einer dritten Komponente des Magnetfeldes in einer dritten Raumrichtung.
Vorrichtungen der eingangs genannten Art können beispielsweise dazu verwendet werden, die Richtung und Stärke des ErdMagnetfeldes zu messen. Die gemessene Richtung des ErdMagnetfeldes kann beispielsweise dem Benutzer in Form eines digitalen Kompasses visualisiert werden. Weiterhin können die gemessenen Werte von einem Navigationssystem oder einem Autopilot zur Steuerung eines Fahrzeuges, eines Flugzeuges oder eines Bootes verwendet werden.
Zur dreidimensionalen Erfassung der Richtung eines Magnetfeldes, beispielsweise dem Erdmagnetfeld, müssen alle drei Raumrichtungen erfasst werden. Im Stand der Technik ist hierzu beispielsweise vorgesehen, einen Hallsensor einzusetzen. Nachteilig an dieser Lösung ist jedoch die Tatsache, dass lediglich eine Feldkomponente senkrecht zur Sensorebene mit ausreichender Genauigkeit bestimmt werden kann. Die Messung der zwei Feldkomponenten in der Sensorebene ist hingegen nicht mit ausreichender Genauigkeit möglich. Die Erfassung aller drei Raumrichtungen eines Magnetfeldes erfordert somit eine Mehrzahl von Hallsensoren, welche jeweils orthogonal zu einander angeordnet sind.
Dadurch wird die Herstellung einer Vorrichtung zur dreidimensionalen Messung von Richtung und/oder Stärke eines Magnetfeldes aufwändig in der Herstellung. Weiterhin benötigt eine solche Vorrichtung gemäß dem Stand der Technik einen vergleichsweise großen Bauraum.
Ausgehend von diesem Stand der Technik liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur dreidimensionalen Messung von Richtung und/oder Stärke eines Magnetfeldes bereitzustellen, welche eine geringe Baugröße aufweist und einfach und kostengünstig herstellbar ist.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Vorrichtung zur Messung von Richtung und/oder Stärke eines Magnetfeldes, enthaltend einen ersten Sensor zur Erfassung einer ersten Komponente des Magnetfeldes in einer ersten Raumrichtung, einen zweiten Sensor zur Erfassung einer zweiten Komponente des Magnetfeldes in einer zweiten Raumrichtung und einen dritten Sensor zur Erfassung einer dritten Komponente des Magnetfeldes in einer dritten Raumrichtung, wobei der erste Sensor zumindest einen HaIl- sensor enthält und der zweite und/oder der dritte zumindest einen Fluxgatesensor enthalten.
Erfindungemäß wird vorgeschlagen, zumindest einen Hallsensor mit zumindest einem Fluxgatesensor zu kombinieren. Der Hallsensor erfasst dabei eine Magnetfeldkomponente senkrecht zur Sensorfläche mit maximaler Empfindlichkeit. Ein Fluxgatesensor hingegen ist dazu eingerichtet, eine Magnetfeldkomponente innerhalb der Sensorebene zu erfassen. Somit kann zumindest ein Hallsensor und zumindest ein Fluxgatesensor platzsparend in einer Ebene angeordnet werden, beispielsweise auf einem einzigen Halbleitersubstrat. Sofern zumindest zwei Fluxgatesensoren vorgesehen sind, welche etwa einen rechten Winkel einschließen, kann ein Magnetfeld in allen drei Raumrichtungen erfasst werden, ohne dass ein zweites Halbleitersubstrat im rechten Winkel zum ersten Halbleiter-
Substrat benötigt wird. Der erfindungsgemäß vorgeschlagene Sensor spart somit Bauhöhe ein und ist einfacher zu fertigen.
In einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung kann das Halbleitersubstrat, welches den Hallsensor und die Fluxgate- sensoren enthält, zumindest ein weiteres Bauelement umfassen. Mittels solcher zusätzlicher Bauelemente kann beispielsweise eine Stromversorgung der Sensoren oder eine Messwerterfassung erfolgen. Weiterhin können die Bauelemente dazu eingesetzt werden, die Ausgangswerte der Sensoren einer Plausibilisierung, einer Verstärkung, einer Diskriminierung oder einer Digitalisierung zu unterziehen.
Eine weitere bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung kann vorsehen, für jede Raumrichtung mehrere Sensoren vorzusehen, um auf diese Weise durch redundante Messung die Zuverlässigkeit der Vorrichtung zu erhöhen.
In einer Weiterbildung der Erfindung wird vorgeschlagen, zumindest einen Fluxgatesensor auf dem Halbleitersubstrat in Planarspulen- oder 3D-Mikrospulentechnologie zu erzeugen. Dabei kann der Fluxgatesensor z.B. in einer oder in zwei metallischen Ebenen angeordnet sein. Auf diese Weise kann der Fluxgatesensor zusammen mit dem Hallsensor und weiteren elektronischen Bauelementen in einem Arbeitsgang auf dem Halbleitersubstrat erzeugt werden.
Die erfindungsgemäß vorgeschlagene Vorrichtung kann insbesondere zur Messung von Richtung und/oder Stärke des
Erdmagnetfeldes eingesetzt werden. Insbesondere eignet sich die Vorrichtung für Consumer-Elektronik wie beispielsweise Mobiltelefone, PDAs oder Navigationsgeräte.
Nachfolgend soll die Erfindung ohne Beschränkung des allgemeinen Erfindungsgedankens anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert werden. Dabei zeigt
Figur 1 die Anordnung der Komponenten auf einem Substrat.
Die Vorrichtung gemäß Figur 1 ist auf einem Substrat 10 angeordnet. Das Substrat 10 umfasst dabei beispielsweise ein Halbleitersubstrat, insbesondere ein Siliziumsubstrat. Zur Einstellung einer vorgebbaren Leitfähigkeit kann das Halbleitersubstrat 10 mit einem Dotierstoff versehen sein. Um einen elektrischen Kurzschluss zwischen dem Substrat 10 und den auf seiner Oberfläche angeordneten Bauelementen zu verhindern, kann die Oberfläche des Substrates 10 mit einem Isolator beschichtet sein. Der Isolator kann dabei insbesondere Siliziumnitrid, Siliziumoxid oder Siliziumoxinitrid enthalten.
Auf der Oberfläche des Substrates 10 ist ein Hallsensor 12 angeordnet. Der Hallsensor 12 umfasst dabei einen räumlich umgrenzten Bereich, welcher ein Halbleitermaterial mit hoher Ladungsträgerbeweglichkeit enthält. Entlang einer Richtung des Hallsensors 12 wird bei Betrieb des Sensors ein elektrisches Feld angelegt, welches einen elektrischen Stromfluss durch den Sensor bewirkt. Bei Anwesenheit eines Magnetfeldes, welches in einer Richtung senkrecht zur Oberfläche des Substrates 10 wirkt, kann am Hallsensor 12 in einer zum elektrischen Stromfluss orthogonalen Richtung eine elektrische Spannung gemessen werden, welche mit der Feldstärke des Magnetfeldes ansteigt. Der Hallsensor 12 dient damit der Messung der Feldkomponente des Magnetfeldes, welche senkrecht auf der Oberfläche des Halbleitersubstrates 10 steht.
Auch der Hallsensor 12 kann in an sich bekannter Weise durch Strukturieren des Halbleitersubstrates 10 hergestellt werden. In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung kann auf die Oberfläche des Halbleitersubstrates das Material des Hallsensors 12 aus der Gasphase abgeschieden und nachfolgend strukturiert und mit metallischen Anschlusskontakten versehen werden .
Da der Hallsensor 12 dazu vorgesehen ist, ein Magnetfeld, bzw. eine Magnetfeldkomponente z nachzuweisen, welche im
Wesentlichen senkrecht zur Oberfläche des Substrates 10 wirkt, sind zwei Fluxgatesensoren 13 und 14 vorgesehen, um ein Magnetfeld bzw. eine Magnetfeldkomponente in der x-y- Ebene des Substrates 10 nachzuweisen. Hierzu sind der erste Fluxgatesensor 13 und der zweite Fluxgatesensor 14 in etwa orthogonal zueinander angeordnet. Zusammen mit dem Hallsensor 12 können somit drei Komponenten eines Magnetfeldes in allen drei Raumrichtungen bestimmt werden. Dadurch wird die Bestimmung der Orientierung des Magnetfeldes im Raum möglich.
Jeder Fluxgatesensor 13 und 14 umfasst zumindest einen
Spulenkern, welcher bevorzugt aus einem weichmagnetischen Material besteht. Um den Spulenkern sind jeweils Erreger- und Detektionsspulen angeordnet. Durch zyklisches Induzieren eines Magnetfeldes im Spulenkern mittels der Erregerspule und phasenrichtiges Abtasten des Induktionssignales in der
Detektionsspule kann somit mittels des Fluxgatesensors 13 ein Magnetfeld bzw. eine Magnetfeldkomponente in Richtung x bestimmt werden. In gleicher Weise dient der Fluxgatesensor 14 dazu, ein Magnetfeld bzw. eine Magnetfeldkomponente in Richtung y zu bestimmen.
Die Fluxgatesensoren 13 und 14 können beispielsweise als mikromechanische Bauelemente hergestellt und nachfolgend durch Kleben, Schweißen oder Bonden auf der Oberfläche des Substrates 10 befestigt werden. In dieser Ausführungsform kann das Substrat beispielsweise aus Keramik oder aus einer Leiterplatte gebildet sein.
In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung können die Spulenwicklungen und die Spulenkerne der Fluxgatesensoren 13 und 14 aus der Gasphase auf die Oberfläche des Halbleitersubstrates 10 abgeschieden und nachfolgend strukturiert werden. Die Abscheidung kann beispielsweise durch Aufdampfen, Sputtern, Chemical Vapor Deposition oder Physical Vapor Deposition erfolgen. Die Strukturierung kann beispielsweise einen Ätzschritt umfassen, wobei Teilbereiche der Substratoberfläche durch Photolacke oder Hartmasken vor
dem Ätzangriff geschützt sind. Zwischen den Spulenkernen und den Spulenwicklungen können fallweise isolierende Schichten angeordnet sein. Auch diese Schichten werden bevorzugt in einem Gasphasenprozess abgeschieden und nachfolgend strukturiert. Auf diese Weise kann die Vorrichtung zur
Messung von Richtung und/oder Stärke eines Magnetfeldes mit den bekannten CMOS-Prozessschritten in einfacher Weise hergestellt werden.
Weiterhin umfasst die Oberfläche des Halbleitersubstrates 10 einen Bereich 15, welcher elektronische Bauelemente zur
Ansteuerung und Datenerfassung der drei Magnetfeldsensoren 12, 13 und 14 enthält. Der Bereich 15 umfasst dabei beispielsweise eine Stromregelung, mit welcher ein vorgebbarer Längsstrom durch den Hallsensor 12 erzeugt werden kann. Weiterhin kann der Bereich 15 Wechselspannungsquellen umfassen, welche einen Spulenstrom zur Erzeugung eines magnetischen Wechselfeldes in den Kernen der Fluxgatesensoren 13 und 14 bereitstellen. Schließlich kann der Bereich 15 Auswerteschaltungen 16 als elektrische Bauelemente umfassen, welche die Hallspannung des Hallsensors 12 und die in den Messspulen Fluxgatesensoren 13 und 14 induzierten Signalspannungen auslesen.
Fallweise kann der Bereich 15 darüber hinaus weitere Schaltkreise umfassen, beispielsweise zur Digitalisierung der Signale, zur Verstärkung, zur Diskriminierung oder zur
Plausiblisierung . Fallweise können auch Schaltkreise für einen Sensorselbsttest vorgesehen sein. Schließlich umfasst der Bereich 15 des Halbleitersubstrates 10 Bondpads, mittels welchen eine Betriebsspannung an die Sensorelemente angelegt werden kann, sowie weitere Bondpads, über welche die Messwerte ausgelesen werden können.
Im Ergebnis zeigt die Erfindung einen Magnetfeldsensor für drei Raumrichtungen, bei welchem alle Sensoren für alle Raumrichtungen in einer Ebene auf der Oberfläche eines Substrates 10 angeordnet sind. Dadurch weist der erfindungs-
gemäß vorgeschlagene Sensor eine niedrigere Bauhöhe auf. Weiterhin kann der vorgeschlagene Sensor einfacher produziert werden, da zur Messung von Magnetfeldern in mehreren, zu einander orthogonalen Richtungen nicht mehr mehrere HaIl- sensoren 12 auf mehreren Substraten in unterschiedlichen, orthogonalen Richtungen angeordnet werden müssen.
Dem Fachmann ist selbstverständlich geläufig, dass die Erfindung nicht auf das dargestellte Ausführungsbeispiel beschränkt ist. Vielmehr können bei der Umsetzung der Erfindung Modifikationen und Änderungen vorgenommen werden, ohne die Erfindung an sich wesentlich zu verändern. Die vorstehende Beschreibung ist daher nicht als beschränkend, sondern als erläuternd anzusehen.