EP2359382B1 - Zündvorrichtung für ARC-Quellen - Google Patents

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EP2359382B1
EP2359382B1 EP09743852.7A EP09743852A EP2359382B1 EP 2359382 B1 EP2359382 B1 EP 2359382B1 EP 09743852 A EP09743852 A EP 09743852A EP 2359382 B1 EP2359382 B1 EP 2359382B1
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EP
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target
drive
shaft
trigger finger
fingertip
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Siegfried Krassnitzer
Oliver Gstoehl
Juerg Hagmann
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Oerlikon Surface Solutions AG Pfaeffikon
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Oerlikon Trading AG Truebbach
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/08—Apparatus, e.g. for photomechanical printing surfaces
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H—ELECTRICITY
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    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32055—Arc discharge

Definitions

  • the present invention relates to an ignition device for igniting a high-current discharge of an electric arc evaporator in a vacuum coating system according to the preamble of claim 1.
  • An arc evaporator also referred to as an arc or spark source as mentioned above, is used for the treatment of workpieces in a high vacuum, in particular for plasma etching and / or for coating.
  • a device which also provides a rotation movement in the trigger finger in addition to the lifting movement. By means of the rotational movement, the trigger finger can be swiveled from a first target to at least one further target.
  • Such a device is in US6998034 disclosed.
  • a rotatable and displaceable trigger finger is disclosed for firing one or more arc sources.
  • a rotation and stroke movement of target 1 to target N is changed (in the example, up to four targets).
  • an ignition device which can be classified in the group of mechanical opening and closing of a contact, which is designed for multiple targets and / or in which the contact part used for ignition protected during the coating process from a coating is.
  • a trigger finger is provided so movable that a Movement of the fingertip is essentially only possible on a forced path, wherein the forced path of each of the target to be fired touches and / or cuts at least one point.
  • the fingertip is in this case the contact part used for ignition. According to the invention, this can be moved after the ignition along the forced path to a parking position far away from the effective area of the target, so that it is not substantially coated during the coating process. Since the fingertip is not coated, longer life can be achieved.
  • the ignition reliability is significantly increased. This is especially true for processes in which insulating layers and in particular oxide layers are coated.
  • the trigger finger is mounted on an axis of rotation and the axis of rotation is tilted between the targets so that, as the axis of rotation rotates, the fingertip moves along a circle segment, the plane of the circle segment intersecting the plane in which two targets are located.
  • the trigger finger is guided linearly along a slide.
  • the backdrop causes the lowering of the fingertip on the respective target, as well as the lifting of the finger tip from the target.
  • a third embodiment of the present invention is a combination of the first embodiment and the second embodiment.
  • the finger is in turn mounted on an axis of rotation. However, it is mounted movable relative to this axis of rotation in such a way that it can be rotated about the axis perpendicular to the axis of rotation and perpendicular to the axis of the finger. However, this rotation is again limited by a backdrop. If the rotation axis is rotated, then the fingertip moves in accordance with the specified rotation and according to the specifications by the scenery.
  • FIG. 4 shows a first embodiment of the present invention with a part of a vacuum chamber 21 on which two targets 23, 25 are provided substantially in a first plane.
  • the ignition device also includes a shaft 33 at the Trigger finger 29 is fixed.
  • the axis of the shaft 33 forms an angle not equal to zero with the normal on the first plane. such that the arc of the circle on which the fingertip 31 moves as the shaft 33 rotates lies in a plane which intersects the plane defined by the targets in the region of the targets.
  • the fingertip 31 of the trigger finger 29 can be reversibly moved by a single rotational movement of the one target surface 23 to the other target surface 25.
  • the trigger finger can make contact only by means of a rotational movement on the target surface.
  • the ignition device is symmetrical in its function, and therefore to be used for 2 juxtaposed arc sources (targets). It is particularly advantageous that the trigger finger 29 after ignition in the zenith of the circular arc in a parking position outside the target areas, can be rotated. Thus, during the coating operation of the arc sources of the trigger finger is only slightly contaminated, allowing a long life without cleaning.
  • Another advantage of this embodiment is that the trigger points, i. the points where the fingertip 31 touch the surfaces of the targets 23, 25 are automatically achieved by swinging the trigger finger. When changing the target surfaces, in particular by target erosion due to the coating process so that no adjustment of the distances or the lifting movement is necessary.
  • FIG. 5 shows a second embodiment of the present invention.
  • a trigger finger 501 is movably mounted on a rail 503 such that it can be moved along the rail.
  • the trigger finger could be rotated about the rail 503, if there were not the gate 505 which allows the trigger finger to move on a forced path when it is displaced along the rail 503.
  • Shown in the FIG. 5 3 are also support bars 507, 509, 511.
  • the slide 505 is designed in such a way that, when the trigger finger 501 is displaced along the rail 503, the path of the fingertip in each case touches the surface of the targets.
  • this embodiment can be extended to any number of targets. It is again advantageous that the trigger finger 501 can be moved to a parking position outside the target areas after ignition.
  • FIG. 6 shows a further embodiment of the present invention, which in some way represents a combination of the first and the second embodiment.
  • the scenery mentioned in the second embodiment is thereby converted into a cylindrical sleeve 602.
  • the trigger finger 603 may be rotated about an axis parallel to the cylinder axis and substantially at the cylinder center.
  • the trigger finger is guided through the backdrop of the cuff on a forced path.

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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Zündeinrichtung zum Zünden einer Hochstromentladung eines elektrischen Lichtbogenverdampfers in einer Vakuumbeschichtungsanlage gemäss dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
  • Ein wie oben erwähnter Lichtbogenverdampfer, auch Arc- oder Funkenquelle genannt, wird zur Behandlung von Werkstücken im Hochvakuum, insbesondere zum Plasmaätzen und/oder zum Beschichten verwendet.
    • Stand der Technik
  • Zündvorrichtungen von ARC - Verdampfungsquellen können im Wesentlichen in 3 Gruppen eingeteilt werden:
    • a.) mechanisches Schliessen und Öffnen eines Kontakts zwischen Kathode und Anode, wobei der Strom über einen Vorwiderstand auf typischerweise ca. 5A limitiert wird. Ein solcher Mechanismus ist in Figur 1 dargestellt. Dabei wird durch eine Hubbewegung die Fingerspitze eines Triggerfingers 7 in Berührung mit der Kathode 5 gebracht und dadurch der Stromkreis geschlossen. In der Figur 1 ist der Stromkreis gepunktelt eingezeichnet. Der Generator 3 befindet sich im Leerlauf bei einer Leerlaufspannung von typischer Weise 60 - 120V. Der Strom über den Triggerfinger 7 wird durch den Widerstand 9 auf eine Grössenordnung von ca. 5 A beschränkt. Durch das Lösen des Stromkreises mittels z.B. einer weiteren Hubbewegung, bei der die Fingerspitze von der Kathode entfernt wird, wird ein Funke an der Kathodenoberfläche erzeugt. Dies ist das Initialplasma welches durch den extrem dynamischen Generator 3 weitergetrieben wird. Der dementsprechende Stromkreis ist gestrichelt gezeichnet.
    • b.) Zünden der ARC Entladung durch einen elektrischen Überschlag
      Dies wird beispielsweise mittels einer Vorrichtung gemäss Figur 2 erreicht. Hierbei erzeugt ein mittels eines Hochspannungspulses eines Pulsgenerators 13 erzeugter elektrischer Überschlag einen Anfangsfunken auf dem Target 5. Der der durch den Pulsgenerator getriebene Stromkreis ist gepunktelt gezeichnet. Der Anfangsfunken wird durch das ARC-Power-Supply 3 weitergetrieben. Der entsprechende Stromkreis ist gestrichelt gezeichnet. Die Ausgangsstufe des ARC-Power-Supply muss in der Regel durch einen Schaltkreis 11 vor dem Hochspannungsimpuls geschützt werden.
    • c.) Zünden durch eine elektrisch leitende Brücke
      Dies wird beispielsweise mittels einer Vorrichtung gemäss Figur 3 erreicht. Während dem Betrieb der ARC -Quelle wird ein Isolator 17 welcher zwischen Anode und Kathode 5 liegt beschichtet. Im Falle der Beschichtung einer leitenden Schicht entsteht einen Widerstandsbrücke 15 von der Kathode zur Anode. Durch einen der ARC-Supply überlagerten Hochspannungspuls (bis ca. 500V) wird über diesen Widerstand ein Strom von der Kathode zur Anode geleitet, welcher die leitende Schicht 19 lokal zum Aufschmelzen bringt. Die ARC -Entladung wird dadurch gezündet. Diese leitende Schicht wird im Betrieb der Quelle immer erneuert. Bei jungfräulicher Quelle wird meist durch eine aufgepinselte Silberschicht der Vorgang initialisiert. Diese Methode funktioniert allerdings nicht beim verdampfen isolierender Schichten.
  • Bisher wurden Methoden beschrieben, die es lediglich gestatten, den Funken an einer Kathode bzw. einem Target zu Zünden. Im Stand der Technik ist eine Vorrichtung bekannt, die beim Triggerfinger zusätzlich zur Hubbewegung auch noch eine Rotationsbewegung vorsieht. Mittels der Rotationsbewegung kann der Triggerfinger von einem ersten Target auf mindestens ein weiteres Target umgeschwenkt werden.
  • Eine solche Vorrichtung ist in US6998034 offenbart. Hier wird ein drehbarer und verschiebbarer Triggerfinger zur Zündung einer oder mehrerer Arc-Quellen offenbart. Bei der dort offenbarten Anordnung wird durch eine Dreh- und Hubbewegung von Target 1 auf Target N gewechselt (im Beispiel bis zu vier Targets). Von Nachteil ist allerdings dass hierbei ein aufwändiges Antriebskonzept benötigt wird.
  • Es wäre daher wünschenswert eine für mehrere Targets verwendbare Zündvorrichtung auf der Basis von mechanischem Öffnen und Schliessen eines Kontaktes welches ohne ein aufwändiges Antriebskonzept auskommt, zur Verfügung zu haben.
  • Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist eine Zündvorrichtung anzugeben, welche in die Gruppe des mechanischen Öffnens und Schliessens eines Kontaktes eingeordnet werden kann, die für mehrere Targets ausgelegt ist und/oder bei der das zur Zündung verwendeten Kontaktteil während des Beschichtungsprozesses vor einer Beschichtung geschützt ist. Hierzu wird ein Triggerfinger derart beweglich vorgesehen, dass eine Bewegung der Fingerspitze im Wesentlichen lediglich auf einer Zwangsbahn ermöglicht ist, wobei die Zwangsbahn jedes der zu zündenden Targets an mindestens einem Punkt tangiert und/oder schneidet. Die Fingerspitze ist in diesem Fall das zur Zündung verwendete Kontaktteil. Erfindungsgemäss kann diese nach der Zündung entlang der Zwangsbahn auf eine Parkposition fernab vom Wirkungsraum des Target gefahren werden, so dass sie während dem Beschichtungsprozess im Wesentlichen nicht beschichtet wird. Da die Fingerspitze nicht beschichtet wird, können längere Standzeiten erreicht werden. Ausserdem wird die Zündzuverlässigkeit signifikant erhöht. Die trifft besonders für Prozesse bei denen isolierender Schichten und insbesondere Oxidschichten beschichtet werden.
  • In einer ersten Ausführungsform wird der Triggerfinger an einer Drehachse montiert die Drehachse zwischen den Targets geneigt angeordnet, so dass sich bei Rotation der Drehachse die Fingerspitze entlang eines Kreissegmentes bewegt, wobei die Ebene des Kreissegementes die Ebene schneidet, in der zwei Targets angeordnet sind.
  • In einer zweiten Ausführungsform wird der Triggerfinger linear entlang einer Kulisse geführt. Die Kulisse bewirkt das Absenken der Fingerspitze auf dem jeweiligen Target, sowie das Abheben der Fingersspitze vom Target.
  • Eine dritte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung stellt eine Kombination der ersten Ausführungsform und der zweiten Ausführungsform dar. D.h. der Finger ist wiederum an einer Drehachse montiert. Er ist allerdings relativ zu dieser Drehachse in der Weise beweglich montiert, dass er um die Achse senkrecht zur Drehachse und Senkrecht zur Achse des Fingers rotiert werden kann. Diese Rotation ist allerdings wiederum eingeschränkt durch eine Kulisse. Wird die Drehachse gedreht, so bewegt sich die Fingerspitze entsprechend der vorgegebenen Rotation und entsprechend der Vorgaben durch die Kulisse.
  • Die Erfindung wird nun anhand der Figuren und mit Hilfe verschiedener Ausführungsformen beispielhaft erklärt.
  • Figur 4 zeigt eine erste Ausführungsform der vorliegenden Erfindung mit einem Teil einer Vakuumkammer 21 an dem zwei Targets 23, 25 im Wesentlichen in einer ersten Ebene vorgesehen sind. Ausserdem ist eine Zündvorrichtung 27 mit Triggerfinger 29 und Fingerspitze 31. Die Zündvorrichtung umfasst ausserdem eine Welle 33 an der der Triggerfinger 29 fix angeordnet ist. Erfindungsgemäss bildet die Achse der Welle 33 mit der Normalen auf der ersten Ebene einen Winkel ungleich null. so dass der Kreisbogen, auf dem sich die Fingerspitze 31 bei Drehung der Welle 33 bewegt in einer Ebene liegt, welche die durch die Targets definierte Ebene im Bereich der Targets schneidet. Damit kann die Fingerspitze 31 des Triggerfingers 29 durch eine einzige Drehbewegung von der einen Targetoberfläche 23 zur anderen Targetoberfläche 25 reversibel bewegt werden.
  • Durch die schräggestellte Welle 33 kann also der Triggerrfinger allein durch eine Drehbewegung auf der Targetoberfläche einen Kontakt herstellen. In der gezeigten Ausführungsform ist die Zündvorrichtung in seiner Funktion symmetrisch, und daher für 2 nebeneinander angeordnete Arc-Quellen (Targets) zu verwenden. Besonders vorteilhaft ist, dass der Triggerfinger 29 nach erfolgter Zündung ins Zenit des Kreisbogens in eine Parkposition ausserhalb der Targetbereiche, gedreht werden kann. Damit wird während dem Beschichtungsbetrieb der Arc Quellen der Triggerfinger nur geringfügig verschmutzt, was eine lange Standzeit ohne Reinigung ermöglicht. Ein weiterer Vorteil dieser Ausführungsform ist, dass die Triggerpunkte, d.h. die Punkte an denen die Fingerspitze 31 die Oberflächen der Targets 23, 25 berühren automatisch durch Ausschwenken des Triggerfingers erreicht wird. Bei Veränderung der Targetoberflächen, insbesondere durch Targeterosion aufgrund des Beschichtungsprozesses ist damit keine Justage der Abstände oder der Hubbewegung notwendig ist.
  • Figur 5 zeigt eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Dabei ist ein Triggerfinger 501 an einer Schiene 503 beweglich derart montiert, dass er entlang der Schiene bewegt werden kann. Ausserdem könnte kann der Triggerfinger um die Schiene 503 rotiert werden, wäre da nicht die Kulisse 505 die den Triggerfinger sich auf einer Zwangsbahn bewegen lässt wenn er entlang der Schiene 503 verschoben wird. Gezeigt in der Figur 5 sind auch 3 Tragets 507, 509, 511. Die Kulisse 505 ist derart ausgestaltet, dass bei Verschiebung des Triggerfingers 501 entlang der Schiene 503 die Bahn der Fingerspitze jeweils die Oberfläche der Targets berührt. Dem Fachmann leuchtet ein, dass sich diese Ausführungsform auf eine beliebige Zahl von Targets erweitern lässt. Es ist wiederum vorteilhaft, dass der Triggerfinger 501 nach erfolgter Zündung in eine Parkposition ausserhalb der Targetbereiche verschoben werden kann.
  • Figur 6 zeigt eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die in gewisser Weise eine Kombination aus der ersten und der zweiten Ausführungsform darstellt. Die in der zweiten Ausführungsform erwähnte Kulisse ist dabei zu einer zylinderförmigen Manschette 602 umgeformt. Der Triggerfinger 603 kann um eine Achse parallel zur Zylinderachse und im wesentlichen im Zylindermittelpunkt rotiert werden. Der Triggerfinger wird durch die Kulisse der Manschette auf einer Zwangsbahn geführt.
  • Die Erfindung wurde anhand Beispielen mit mehreren Targets beschrieben. Es bleibt allerdings anzumerken dass der Aspekt, den Zündfinger in eine vor Beschichtung geschützte Parkposition zu fahren auch vorteilhaft eingesetzt werden kann, wenn es darum geht, mit dem Zündfinger lediglich ein Target zünden zu können.
    • Bezugszeichenliste
    • 1
    Vakuumkammer
    3
    Generator
    5
    Kathode bzw. Target
    7
    Triggerfinger
    9
    Widerstand
    11
    Schutzschaltkreis
    13
    Pulsgenerator
    15
    Widerstandsbrücke
    17
    Isolator
    19
    Leitende Schicht
    21
    Teil der Vakuumkammer
    23
    Target
    25
    Target
    27
    Zündvorrichtung
    29
    Triggerfinger
    31
    Fingerspitze
    33
    Welle
    501
    Triggerfinger
    503
    Schiene
    505
    Kulisse
    507
    Target
    509
    Target
    511
    Target
    602
    Manschette
    603
    Triggerfinger

Claims (9)

  1. ARC-Quelle mit einem ersten Target (23) und einem zweiten Target (25), wobei erstes und zweites Target im Wesentlichen in einer ersten Ebene liegen, und eine Zündvorrichtung (27) zum Zünden eines Funkens am ersten Target und am zweiten Target vorgesehen ist, wobei die Zündvorrichtung einen beweglich montierten Triggerfinger (29, 501, 603) umfasst dergestalt, dass Mittel zur Bewegung der Fingerspitze (31) des Triggerfingers zur Oberfläche des ersten Targets und zur Oberfläche des zweiten Targets vorgesehen sind, wobei die Mittel zur Ausführung der Bewegung einen Antrieb aus der Gruppe Linearantrieb oder Drehantrieb umfassen, dadurch gekennzeichnet, dass der Antrieb mit Führungsmitteln derartig zusammenwirkt, dass sich die Fingerspitze im Antriebsfall auf einer Zwangsbahn bewegt, welche beide Targets tangiert und/oder schneidet.
  2. Arc-Quelle gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet dass die Mittel zur Ausführung der Bewegung eine Welle (33) Umfassen, deren Achse gegen die Normale auf die erste Ebene verkippt ist und der Triggerfinger (29) an der Welle starr angeordnet ist und der Antrieb ein Drehantrieb ist, welcher die Welle zu drehen vermag und die Zwangsbahn in einer jeweils auf dem ersten und dem zweiten Target endenden Kreisbogen besteht.
  3. Arc-Quelle gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet dass die Mittel zur Ausführung der Bewegung eine Welle (33) umfassen und der Triggerfinger (603) an der Welle angeordnet ist dergestalt beweglich, dass die Höhe der Fingerspitze (31), definiert durch die senkrechte Projektion der Fingerspitze auf die Welle, variiabel ist und die Führungsmittel als radial von der Welle beabstandete Kulisse (602) ausgebildet sind wobei der Antrieb ein Drehantrieb ist.
  4. Arc-Quelle gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Ausführung der Bewegung eine Schiene (503) umfassen an der der Triggerfinger (501) linear verschiebbar montiert ist und die Führungsmittel als Kulisse (505) ausgebildet sind.
  5. Arc-Quelle nach Anspruch 4, dadruch gekennzeichnet, dass der Antrieb ein Linearantrieb ist.
  6. Arc-Quelle nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet dass der Antrieb ein Drehantrieb ist mit dem die Schiene gedreht werden kann.
  7. Vorrichtung zum behandeln von Werkstücken im Vakuum mit einer Arc-Quelle gemäss einem der vorangehenden Ansprüche.
  8. Vorrichtung nach Anspruch 7 die eine Beschichtungsanlage ist
  9. Vorrichtung nach Anspruch 8, die eine Plasmaätzanlage ist.
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