EP2193362A2 - RUßLADUNGSSENSOR - Google Patents

RUßLADUNGSSENSOR

Info

Publication number
EP2193362A2
EP2193362A2 EP08804980A EP08804980A EP2193362A2 EP 2193362 A2 EP2193362 A2 EP 2193362A2 EP 08804980 A EP08804980 A EP 08804980A EP 08804980 A EP08804980 A EP 08804980A EP 2193362 A2 EP2193362 A2 EP 2193362A2
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
temperature
sensor device
hot wire
measuring
particles
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP08804980A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Gerald Hauser
Günther HAUSER
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hauser Andreas
Original Assignee
Hauser Andreas
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hauser Andreas filed Critical Hauser Andreas
Priority to EP10160088A priority Critical patent/EP2500719A1/de
Publication of EP2193362A2 publication Critical patent/EP2193362A2/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
    • G01N15/06—Investigating concentration of particle suspensions
    • G01N15/0656—Investigating concentration of particle suspensions using electric, e.g. electrostatic methods or magnetic methods

Definitions

  • the invention relates to a sensor device for determining electrically conductive and / or electrically charged particles contained in a gas stream, in particular soot particles in the exhaust gas stream of a diesel engine, comprising at least two electrodes to be arranged in the gas stream.
  • Another aspect of the invention relates to a sensor device for determining a mass flow of a medium comprising a heatable temperature sensor, preferably a hot wire, which is arranged so that it can be placed in the mass flow, a control or control unit, which is formed, the heatable temperature sensor preferably to heat the hot wire in a first measurement phase to a certain temperature above the temperature of the mass flow and to determine the mass flow, preferably by measuring a voltage which is required to maintain this particular temperature of the hot wire.
  • a heatable temperature sensor preferably a hot wire, which is arranged so that it can be placed in the mass flow
  • a control or control unit which is formed
  • the heatable temperature sensor preferably to heat the hot wire in a first measurement phase to a certain temperature above the temperature of the mass flow and to determine the mass flow, preferably by measuring a voltage which is required to maintain this particular temperature of the hot wire.
  • Soot charge sensors are known in various structural configurations.
  • a method for measuring particles contained in a gas stream usually provides in the prior art that the particles between see two electrodes deposit. From a certain amount of deposited particles, resistance bridges between the electrodes cause a resistance change. This change in resistance between the electrodes is measured.
  • DE 195 36 705 A1 shows a method and a device for the quantitative determination of soot particles in an exhaust gas stream with a measuring capacitor of a shell and an inner electrode. Between the electrodes, an electric field is established, which, when it is flowed through by a gas stream with electrically conductive or charged particles, is influenced. The voltage between the two electrodes is kept constant by a suitable control device, so that a charging current must flow between the electrodes and the voltage source. About this charging current is closed to the amount of particles contained in the gas stream.
  • DE 198 17 402 C1 shows a sensor arrangement which functions according to a similar principle and which provides heating of the sensor in order to thermally destroy particle deposits.
  • DE 10 2004 039 647 A1 shows a soot charge sensor with a measurement capacitor through which an exhaust gas flow flows, in which the measurement signal is processed by a charge amplifier with DC coupling. Furthermore, this soot charge sensor provides a third electrode, which charges the particles as a corona electrode.
  • DE 10 2005 016 395 A1 shows a soot sensor which determines the particle charge via a measuring resistor which is not insulated on its surface.
  • the particles deposited on the surface of the measuring resistor cause a resistance change according to the deposition amount.
  • DE 10 2004 043 121 A1 shows a sensor element for gas sensors for determining the concentration of particles in gas mixtures, which has at least one first and one second measuring electrode to which a voltage is applied.
  • the first measuring electrode is at least partially covered by a porous material which is permeable to the particles to be determined.
  • DE 103 19 664 A1 discloses a sensor for detecting particles in a gas stream, comprising two measuring electrodes arranged on a substrate made of an insulating material However, the measurement accuracy of these sensors is not sufficient for a number of applications and thus to be further improved
  • DE 27 18 474 C3 and DE 31 03 051 A1 show thermal or electro-cal flow meters with a PTC thermistor-powered probe and with a device for measuring and compensating the fluid temperature.
  • a quotient is formed from a The signal proportional to the current in the PTC thermistor and a signal which is proportional to the difference between the fluid temperature and a fixed temperature above the reference temperature of the PTC thermistor probe
  • two values are supplied to the inputs of a divider.
  • Another disadvantage of known solutions is high wear, inter alia, due to corrosion, in particular of the electrodes, and impairment of the resistance measurement by ash constituents, which permanently deposit on the sensor surfaces during particle combustion.
  • the existing solutions have the disadvantage that they measure the amount of particles.
  • an externally determined gas velocity is included.
  • this object is achieved by a sensor device for determining electrically conductive and / or electrically charged particles of the type mentioned above, in which at least one of the electrodes is completely embedded in a non-conductive material in the region to be arranged in the gas flow.
  • the non-conductive material may be, for example, a non-conductive potting compound, such as glass.
  • a complete embedding can be achieved by coating the at least one electrode or immediately surrounding it on all sides by the non-conductive material.
  • the complete embedding can be designed so that the at least one electrode is electrically insulated from its surroundings.
  • the at least one electrode can also be embedded in a casting process in a hardening, non-conductive material.
  • the embedding can be designed such that the electrode does not come into contact with deposits or is exposed to other wear-inducing influences, so that the life of the at least one electrode is extended and quality losses due to wear and corrosion and ash deposition are prevented or mitigated ,
  • the at least one electrode can be designed, for example, as a comb electrode, bifilar winding, electrode grid or bridge resistor. Furthermore, the electrode can be arranged on a support, for example of ceramic, which is embedded together with the at least one electrode in the non-conductive material. An optionally provided heater may be embedded together with the at least one electrode in the non-conductive material.
  • the sensor device comprises a measuring unit which is electrically coupled to the at least two electrodes and which forms the particles completely in a non-conductive state by measuring the change of a capacitive resistance by depositing particles on the at least one.
  • conductive material embedded electrode by means of alternating current, in particular higher-frequency alternating current to determine.
  • alternating current in particular higher-frequency alternating current
  • the frequency of the higher-frequency alternating current is preferably at least 200 kHz and can be increased up to approximately 30 MHz in order to further increase the measuring sensitivity.
  • this higher frequency is required because the capacitance changes are very small and can occur, for example, depending on the electrode area, in the order of 5 to 50 pF.
  • a certain capacitive resistance of the measuring arrangement can be determined. If soot particles deposit on the insulated surface of the at least one electrode, they form an electrically conductive coating which generates an additional capacitance in interaction with the electrodes located below the insulating layer. By measuring this change in capacitance, the amount of particles can be determined. The measurement of the amount of soot particles is therefore based on the measurement of the capacitive resistance. A measurement based on the ohmic resistance is eliminated by the complete isolation of the electrodes according to the invention.
  • a further aspect of the invention relates to a sensor device for determining electrically conductive and / or electrically charged particles of the type mentioned above, which is characterized in that at least one of the electrodes is coil-shaped and the measuring unit is formed, the particles over to determine a measurement of the change in an inductive resistance by flowing the at least one electrode of the particle-containing gas stream.
  • the at least one electrode may be formed as a cylindrical, cantilevered induction coil, in which the particles contained in the gas stream preferably flow through the coil axially and influence the inductance due to their permeable properties.
  • the coil may, for example, have a circular or quadratic cross-sectional shape. The axial flow through the coil is preferred because the inductive resistance changes very little when the particles flow past the outside of the coil, because then only the stray field of the coil is affected.
  • the coil is integrated in a high-frequency oscillating circuit with a certain resonant frequency. As soot particles pass through the coil shaped electrode, the inductance is detuned and a different resonant frequency occurs depending on the amount of soot.
  • the measurement of the amount of soot in g / h can be determined for example by means of a frequency count.
  • the coil may be superficially conductive or - for example, for corrosion protection - be embedded in a non-conductive material.
  • a conductive surface of the coil has a metrological effect only if the windings of the coil are so close to each other that can form soot bridges by deposition of particles. With sufficient spacing of the coil turns from each other, preferably a distance of about 2 mm or more, no metrologically relevant deposition occurs because particles are blown away by the exhaust gas flow.
  • the at least one electrode completely embedded in a nonconductive material has the form of a coil and the measuring unit is configured to completely divide the particles by depositing particles on the at least one non-conductive material by measuring the change in an inductive resistance to determine embedded electrode.
  • the electrode is designed in the form of a coil, which is integrated in a high-frequency resonant circuit with a specific resonant frequency. As soot particles deposit on the isolated surface of the electrode, the inductance is detuned and a lower resonant frequency occurs depending on the soot build-up. The measurement of soot deposition in g / h can be determined, for example, by means of a frequency count.
  • the invention can be further developed in that the measuring unit is designed to measure the change in the capacitive or inductive resistance via an interconnection in at least one measuring bridge, in particular a Wheatstone half or full bridge.
  • the resistance measured in the state without particle deposition can be compensated in a bridge circuit by an external, adjustable resistor. If soot particles deposit on the insulated surface of the sensor or flow through the coil-shaped electrode, they change the capacitance or inductance, which leads to an immediate detuning of the measuring bridge.
  • the invention can be further developed by a heating control unit, which is electrically or thermally coupled to the at least two electrodes and designed to at least partially eliminate the deposition of particles by heating the sensor device, in particular to a thermally destructive temperature.
  • the heating to a thermally destructive temperature of the particles is preferably carried out by a constant temperature control of the heater, since the exhaust gas stream usually has lower temperatures and cools the heater.
  • the burning temperature of preferably at least 650 ° C can be maintained. Depending on the gas temperature and gas speed, this may require, for example, a heat output of up to 150 watts.
  • the sensor device comprises a heating control unit, the sensor device can be cleaned automatically, without an external access to the sensor device is needed, which would require, for example, the removal of a sensor.
  • the electrode When forming the electrode as a cylindrical coil through which the gas stream flows, burn-out by burning is possible, but not necessarily required, since the particles are transported away from the gas flow with sufficient spacing of the coil windings and no deposition relevant to measurement forms on the coil.
  • the heating control unit is designed to initiate the heating upon reaching a predetermined value of the deposition quantity, the operating time or the measured particles.
  • the limit may be the amount of accumulated particle deposits.
  • the heating can be initiated even after a certain duration or operating time of the sensor.
  • the particles measured over the transit time can be used to determine a limit value and its achievement, for example via the integration of the measured particles over the runtime.
  • This limit is preferably determined by calibration. For example, with a constant soot emission, the course of the capacitive resistance is observed over time. First, the change of resistance is almost linear. With stronger deposition, the resistance change less and the slope of the curve is flatter. Preferably, the end of the linear range is set as a limit.
  • the invention can be developed by virtue of the fact that at least one of the electrodes electrically or thermally coupled to the heating control unit is designed to heat the sensor device and / or the sensor device comprises a resistance heater which is electrically coupled to the heating control unit and in particular meander-shaped resistance heater. to heat the sensor device.
  • the heating control unit cooperates with at least one of the electrodes, so that the electrode serves as a heating element for the sensor device.
  • the electrode consists of resistance material with a temperature-dependent resistance coefficient in order to be used as an electrical heater and to realize a temperature-related control.
  • the resistance heater it is advantageous to couple a separate resistance heater with the heating control unit.
  • it is advantageous to form the resistance heater meandering since a meandering arrangement of the resistance heating has no inductance, which could see the measurement result of the inductive resistance vertig-, but has only a capacity which is not hindering for the measurement ,
  • the invention can be developed by the fact that the sensor device is designed to determine the particles via a measurement of the change in an ohmic resistance by deposition of particles on at least one not completely embedded in a non-conductive material electrode.
  • This training combines the measurement of particles via the change of a capacitive and / or inductive resistance with the measurement of the Change of ohmic resistance.
  • the combination of different measurement techniques can contribute to increasing the measurement accuracy and reducing the probability of failure of a sensor device.
  • particles can deposit on at least one non-insulated part of at least one electrode.
  • the sensor device mentioned at the outset is characterized in that at least one of the electrodes is formed at least partially as a grating, in particular as a surface grating.
  • the measurement sensitivity can be increased significantly by the replacement of a measuring electrode, for example made of sheet metal, by an electrode grid and the setting time or the time constant can be significantly reduced.
  • the grid can be significantly increased field strength.
  • the measurement signal can be considerably amplified by this arrangement.
  • the measurement quality and measurement accuracy of the sensor can be significantly improved.
  • the grid is formed from at least one wire, in particular at least one tungsten wire.
  • the surface grid according to the invention may, for example, be a point-welded grid of thin tungsten wire, for example with a diameter of 50 ⁇ m.
  • the grid is formed as a fabric or braid.
  • a plurality of individual wires or a continuous wire can be arranged so that a plurality of wires or wire sections, which are aligned in different directions, are located within a certain surface section.
  • the grid is aligned in the longitudinal or transverse direction to the flow direction of the gas flow.
  • the sensor device for determining a mass flow of a medium of the aforementioned type is characterized by a measuring device for determining the temperature of the medium in a second measuring phase, preferably via a measurement of the resistance of a hot wire, in particular of the hot wire, a control unit.
  • the invention provides a temperature-controlled mass flow sensor.
  • a hot wire is heated by a quiescent current to a higher temperature than that of the mass flow. This higher temperature is kept constant. Depending on the gas velocity, heat is removed from the wire. Since the temperature of the hot wire is kept constant, the current through the wire increases. This current is calibrated, for example, in kg Ga masse / h and thus serves as a measure of the mass flow.
  • the control unit for heating the hot wire in a first measurement phase to a certain temperature above the temperature of the mass flow and for determining the mass flow by measuring a voltage, the is required to maintain this particular hot wire temperature may be identical to the control unit for controlling the hot wire in the first measurement phase to a temperature that is dependent on the temperature of the medium determined in the second measurement phase.
  • Decisive for the measurement of the mass flow is the constant temperature difference between medium and hot wire temperature.
  • the invention provides for determining the temperature of the medium in a second measuring phase, preferably via a measurement of the resistance of a hot wire, in particular of the hot wire, in the first measuring phase for determination the mass flow is used.
  • the measuring device for determining the temperature of the medium in the second measuring phase can be designed as any temperature sensor suitable for the field of application and is not limited to the determination of the temperature via a measurement of the resistance of a hot wire.
  • the correction unit can be designed to correct the mass flow determined from the voltage measured in the first measuring phase by a value dependent on the temperature determined in the second measuring phase.
  • a control unit controls the temperature to which the hot wire is to be heated in the first measurement phase.
  • the heating of the hot wire in the first measurement phase for determining the mass flow is carried out at a temperature dependent on the temperature of the gas flow measured in the second measurement phase.
  • the invention makes it possible to apply the principle of hot wire-based mass flow measurement in a wide temperature range by heating the hot wire to a temperature which is controlled as a function of the respective mass flow temperature, and in which the result corresponds to one of the respective gas flow temperature Value is corrected.
  • the invention offers the advantage of determining the mass flow required for indicating a particle concentration. This advantage is also evident in particular in combination with the mass flow sensor with a particle sensor, since in this combination no measured values have to be interrogated via other, external sources.
  • the invention offers the further advantage of being able to react very quickly to temperature changes and thus further improving the quality of the measurement result.
  • the measurement according to the invention of the mass flow at strongly fluctuating temperatures of the medium advantageously also permits a map-related exhaust gas recirculation required for the control of NO x emission, as provided for in the exhaust gas standard EURO VI.
  • the present invention provides the instantaneous mass flow and the temperature of the exhaust gas, from which the return rate required for the map-related exhaust gas recirculation can be determined.
  • the invention can preferably be developed in that the control unit is designed to perform the first measurement phase and the second measurement phase alternately.
  • the hot wire is heated to a certain temperature above the temperature of the mass flow alternately first in the first measurement phase and determines the mass flow via a measurement of the voltage required to maintain this particular temperature of the hot wire.
  • the temperature of the medium is determined, which is passed on to a control unit.
  • the control unit controls the heating of the hot wire to a certain temperature above the temperature of the medium determined in the preceding second measurement phase.
  • the temperature of the mass flow actually obtained in the second measuring phase is used in the first measuring phase in each case.
  • the output of the determined mass flow in the first measurement phase is corrected by a value that depends on the temperature of the mass flow determined in the second measurement phase.
  • the sensor device can be developed in that the sensor device comprises a heatable temperature sensor, in particular a first hot wire, for the first measurement phase and a temperature sensor, in particular a second hot wire, for the second measurement phase and the control unit is designed, the first measurement phase and the second Perform measuring phase continuously in parallel.
  • a heatable temperature sensor in particular a first hot wire
  • a temperature sensor in particular a second hot wire
  • the control unit is designed, the first measurement phase and the second Perform measuring phase continuously in parallel.
  • a separate sensor for the first measurement phase, a heatable temperature sensor, preferably a first hot wire, and for the second measurement phase any, suitable for the application temperature sensor, preferably a second hot wire
  • a separate sensor for the first measurement phase, a heatable temperature sensor, preferably a first hot wire, and for the second measurement phase any, suitable for the application temperature sensor, preferably a second hot wire
  • the invention may preferably be characterized be trained that the hot wire for determining the temperature is driven with a constant current. Furthermore, it can be achieved that the measuring sensitivity remains essentially the same over the entire temperature range.
  • the first and the second hot wire are controlled differently. While the first hot wire for the first measurement phase for determining the mass flow is controlled to a constant, above the temperature of the mass flow temperature and the voltage required to maintain this particular temperature of the hot wire is determined, the control is carried out in the second hot wire for the second Measuring phase for determining the temperature of the medium with a constant current according to the principle of a resistance thermometer.
  • the hot wire for determining the temperature with such a small constant current, in particular a current of 5-10 mA, is controlled such that the temperature of the hot wire is below the temperature of the mass flow.
  • the control takes place at the temperature heating wire with a very low, constant current, which produces as little as possible or only a very small heating effect. This is necessary in order that the change in the temperature of the hot wire depends as far as possible on the temperature of the medium surrounding the hot wire.
  • the current applied to drive the temperature heating wire is about 5-10 mA, while, for example, the quiescent current of the mass flow heating wire, depending on the medium temperature, can vary between 600 and 1600 mA.
  • the invention is preferably developed by the sensor device comprising means designed to control the temperature of the heatable temperature sensor, preferably of the hot wire, to determine the mass flow to a predetermined, in particular constant, difference from the temperature of the medium.
  • Decisive for the measurement of the mass flow is a constant temperature difference between medium and hot wire temperature.
  • the temperature of the hot wire is controlled so that it rises or falls with the temperature of the medium, so that the temperature difference between the hot wire and the medium always remains the same. If this temperature difference, for example, 100 0 C, this remains constant, even if the gas temperature z B from 400 0 C to 800 0 C increases.
  • the hot-wire temperature is thus controlled to a temperature of 500 0 C (at a gas temperature of 400 ° C) or 900 ° C (at a gas temperature of 800 0 C).
  • the temperature-controlled quiescent current of the hot wire is kept constant by a control circuit at each medium temperature, so that the heat dissipation by the mass flow, depending on the medium velocity, is the same at each temperature level.
  • the invention can be further developed by virtue of the fact that at least one hot wire consists of a material with the resistance temperature coefficient as constant as possible
  • Hot wires are preferably made of platinum. It is essential that the metallic material has a resistance temperature coefficient which is as constant as possible. If this is not the case, as for example in the case of tungsten, a linear linearization of the non-linear behavior must be performed and integrated into the sensor device.
  • the invention can be further developed in that at least one hot wire consists of a material with the highest possible mechanical strength.
  • a high mechanical strength increases the longevity of the sensor design. Since the hot wire typically has a very small diameter and at the same time, for example, must withstand the exhaust gas pulsations in the exhaust pipe of a diesel engine, the mechanical strength is of great importance for preventing hot wire failure, for example by tearing or breaking. This is of particular importance when the sensor device is used, for example, in the exhaust system of vehicles, where an expansion or a repair of the sensor device would be associated with a high outlay. For example, tungsten has a very high mechanical strength, but also a disadvantageous nonlinear resistance temperature behavior.
  • the sensor device comprises means which are designed to heat up at least one hot wire, at least for a short time, to a temperature at which particles deposited on the hot wire are thermally destroyed.
  • a hot wire has a temperature lower than the combustion temperature of the particles, particles can deposit on the hot wire. This deposit degrades the heat transfer from the medium to the wire. It is therefore advantageous to heat the wire prior to a measurement by brief increase in current to a particle thermally destructive temperature, so that any deposits burn to clean the hot wire.
  • a circuit for controlling a sensor device for determining a mass flow of a medium wherein a first circuit arrangement comprises a variable resistor and at the temperature measuring point of the temperature change of the variable resistance corresponding voltage change is applied, via a line branch to a second circuit arrangement and a third circuit arrangement is guided; the second circuit arrangement comprises a further variable resistor which is controlled to a temperature dependent on the voltage change resulting from the supply line from the first circuit arrangement, and the third circuit arrangement comprises a measuring resistor and the voltage or voltage change applied to the measuring resistor is amplified, around the change in temperature of the variable chen resistance corresponding voltage change is corrected from the first circuit arrangement and output at a measuring point.
  • This circuit can be preferably developed by a first circuit arrangement comprises a variable resistor which is grounded and connected via the resistors to a positive voltage source and an operational amplifier, which picks up the voltage between the variable resistor and the resistor with its non-inverting input and with its inverting input connected to the resistor, and the operational amplifier at the temperature measuring point outputs a voltage change corresponding to the temperature change of the variable resistor, which is conducted via a line branch to a second circuit arrangement and the inverting input of an operational amplifier in a third circuit arrangement;
  • the second circuit arrangement comprises a further variable resistor which is connected to a positive voltage source via a resistor and a controlled switching element (pnp transistor) and is controlled via an operational amplifier and a resistor to the temperature obtained from the feeder branch of the first circuit arrangement the resistor between the feeder branch from the positive voltage source via the controlled switching element to the resistor and the connection between a measuring resistor in the third circuit arrangement is grounded, and the third circuit arrangement a measuring resistor which is grounded and connected to the variable
  • FIG. 1 shows a schematic cross section of an embodiment of a second aspect of the present invention
  • FIG. 2 shows a schematic plan view of a further embodiment of a second aspect of the present invention
  • FIG. 3 shows a schematic plan view of a further embodiment of a second aspect of the present invention
  • FIG. 4 is a schematic plan view of a further embodiment of a second aspect of the present invention.
  • FIG. 5 is a schematic view of a first embodiment of a first aspect of the present invention
  • FIG. 6 shows a schematic functional diagram of an embodiment of a third aspect of the present invention
  • Figure 7 a circuit of a third aspect of the present invention.
  • FIG. 1 shows a schematic cross section of an embodiment of a second aspect of the present invention with comb electrodes 301 which are mounted on a ceramic carrier 304. Below the ceramic carrier 304, an electric heater 305 is arranged. Comb electrodes 301, ceramic carriers 304 and heater 305 are molded into a nonconductive potting compound 302, e.g. Glass, embedded and completely electrically isolated.
  • a nonconductive potting compound 302 e.g. Glass
  • particles 303 deposit during operation of the sensor. These form an electrically conductive coating on the surface 306 of the non-conductive potting compound 302 and thus influence the capacitance of the comb electrodes 301.
  • the assembly 300 By heating the assembly 300 by the heater 305 to a thermally destructive temperature the particles 303, the assembly 300 is "burned", ie the assembly 300 is heated by the heater 305 until at least on the surface 306 of the non-conductive Potting compound 302 sets a temperature at which burn the deposited on the surface 306 of the non-conductive potting compound 302 particles 303. This temperature is maintained until the surface 306 of the non-conductive potting compound 302 deposited particles 303 are substantially burned and essentially no deposited particles 303 are more on the surface 306 of the non-conductive potting compound 302.
  • FIG. 2 shows a schematic plan view of one embodiment of the second aspect of the present invention according to FIG. 2.
  • the comb electrodes 401 which are arranged on a ceramic carrier 402, can be seen.
  • the arranged below the ceramic support 402 electric heater is not shown in this plan view.
  • Comb electrodes 401, ceramic carrier 402 and the Heater are embedded in a non-conductive potting compound 402, eg, glass, and completely electrically insulated
  • FIG. 3 shows a schematic plan view of a further embodiment of a further aspect of the present invention. It can be seen that the electrode 501 has a meandering shape and is arranged on a ceramic carrier 502. The electrode 501 may be formed as a high-resistance thin-film resistor.
  • FIG. 4 shows a schematic plan view of a further embodiment of a second aspect of the present invention.
  • the electrode 601 is arranged in the form of an induction coil on a ceramic carrier 603.
  • the electrode 601 and the ceramic carrier 603 and a meandering heater (not shown) optionally arranged on the underside of the ceramic carrier are embedded in a nonconductive potting compound 602 and completely electrically insulated.
  • the coil-shaped arrangement of the electrode 601 is incorporated in a resonant circuit (not shown) as an inductance.
  • a resonant circuit (not shown)
  • the inductance of the electrode 601 is detuned.
  • the assembly 600 can be cleaned as described analogously in Figure 1 of particle deposits.
  • FIG. 5 shows a schematic view of an embodiment of a first aspect of the present invention with an electrode holder 201 and an electrode 202 designed as a surface grid.
  • the surface grid is composed of several composed of individual wires 203, which are spot-welded at several points 204
  • This grid shape of the electrode allows a much higher field strength, which leads to a significant increase in the measurement sensitivity and an amplification of the measurement signal and at the same time reduces the response time or time constant.
  • FIG. 6 is a schematic functional diagram of an embodiment of a third aspect of the present invention.
  • a first hot wire 1 serves as a mass flow sensor and is regulated to a constant temperature in a first measurement phase.
  • a second hot wire 3 serves as a temperature sensor and is regulated to a constant current in a second measurement phase.
  • the temperature of the medium flowing through the sensor device is measured in the second measuring phase 5.
  • the mass flow is determined by the current required to maintain the constant temperature. 7.
  • First and second measuring phases run continuously and in parallel.
  • the temperature 5 measured in the second measuring phase via the temperature heating wire 3 is forwarded to the control 2 6. Since the regulation to constant temperature 2 thus depends on the current medium temperature, the determined mass flow 7 must also be corrected by a corresponding temperature correction value 8 so that the correct mass flow is output at the output mass flow 9. At the output temperature 19, the current medium temperature is output.
  • FIG. 7 shows a circuit of a third aspect of the present invention.
  • a first circuit arrangement 97 comprises a variable resistor 102 which is grounded and has a positive resistance across resistors 113-115 Voltage source 113 is connected.
  • An operational amplifier 104 picks up the voltage between the variable resistor 102 and the resistor 114 with its non-inverting input and is connected to the resistor 15 at its inverting input.
  • the operational amplifier 104 outputs at the temperature measuring point 110 a voltage change corresponding to the temperature change of the variable resistor 102, which is conducted via a line branch to a second circuit arrangement 98 and the inverting input of an operational amplifier 107 in a third circuit arrangement 99.
  • the second circuit arrangement 98 comprises a further variable resistor 103 which is connected via a resistor 111 and a controlled switching element 1 10 (pnp transistor) to a positive voltage source 109, and via an operational amplifier 105 and a resistor 112 to that of the feeder branch of the first circuit arrangement 97 temperature is controlled.
  • the resistor 112 is connected between the feeder branch from the positive voltage source 109 via the controlled switching element 1 10 to the resistor 11 1 and the connection between a measuring resistor 101 in the third circuit arrangement 99 to ground.
  • the third circuit arrangement 99 comprises a measuring resistor 101, which is grounded and connected to the variable resistor 103 of the second circuit arrangement.
  • a first operational amplifier 106 picks up the voltage between the measuring resistor 101 and the variable resistor 103 at its non-inverting input and represents a zero point 16 at its inverting input of the operational amplifier 106.
  • a second operational amplifier 107 corrects the amplified voltage applied to the non-inverting input of the measuring resistor 101 by the voltage change of the temperature measurement 110 applied to the inverting input, so that a temperature-corrected mass flow is output at a measuring point 108.

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Abstract

Die Erfindung betrifft eine Sensorvorrichtung zur Bestimmung von in einem Gasstrom enthaltenen elektrisch leitenden und/oder elektrisch geladenen Partikeln, insbesondere Rußpartikeln im Abgasstrom eines Dieselmotors, umfassend zumindest zwei in dem Gasstrom anzuordnende Elektroden, bei der zumindest eine der Elektroden in dem im Gasstrom anzuordnenden Bereich vollständig in einen nicht-leitenden Werkstoff eingebettet ist. Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft eine Sensorvorrichtung zur Bestimmung eines Massenstroms eines Mediums, umfassend einen Hitzdraht, der so angeordnet ist, dass er in dem Massenstrom platzierbar ist, eine Regel- oder Steuereinheit, welche ausgebildet ist, den Hitzdraht in einer ersten Messphase auf eine bestimmte Temperatur oberhalb der Temperatur des Massenstroms zu erhitzen und den Massenstrom über Messung einer Spannung zu ermitteln, die zur Aufrechterhaltung dieser bestimmten Temperatur des Hitzdrahts erforderlich ist, gekennzeichnet durch eine Messvorrichtung zum Ermitteln der Temperatur des Mediums in einer zweiten Messphase über eine Messung des Widerstands eines Hitzdrahts insbesondere des Hitzdrahts, eine Steuereinheit, die ausgebildet ist, den Hitzdraht in der ersten Messphase auf eine Temperatur zu steuern, die von der in der zweiten Messphase bestimmten Temperatur des Mediums abhängig ist, und eine Korrektureinheit, die ausgebildet ist, den aus der in der ersten Messphase gemessenen Spannung ermittelten Massenstrom um einen von der aus dem in der zweiten Messphase gemessenen Widerstand des Hitzdrahts ermittelten temperaturabhängigen Wert zu korrigieren.

Description

Rußladungssensor
Die Erfindung betrifft eine Sensorvorrichtung zur Bestimmung von in einem Gasstrom enthaltenen elektrisch leitenden und/oder elektrisch geladenen Partikeln, insbesondere Rußpartikeln im Abgasstrom eines Dieselmotors, umfassend zumindest zwei in dem Gasstrom anzuordnende Elektroden.
Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft eine Sensorvorrichtung zur Bestimmung eines Massenstroms eines Mediums, umfassend einen beheizbaren Temperatursensor, vorzugsweise einen Hitzdraht, der so angeordnet ist, dass er in dem Massenstrom platzierbar ist, eine Regel- oder Steuereinheit, welche ausgebildet ist, den beheizbaren Temperatursensor, vorzugsweise den Hitzdraht in einer ersten Messphase auf eine bestimmte Temperatur oberhalb der Temperatur des Massenstroms zu erhitzen und den Massenstrom zu ermitteln, vorzugsweise über Messung einer Spannung, die zur Aufrechterhaltung dieser bestimmten Temperatur des Hitzdrahts erforderlich ist.
Rußladungssensoren sind in verschiedenen konstruktiven Ausgestaltungen bekannt. Eine Methode zur Messung von in einem Gasstrom enthaltenen Partikeln sieht im Stand der Technik üblicherweise vor, dass sich die Partikel zwi- sehen zwei Elektroden ablagern. Ab einer bestimmten Menge abgelagerter Partikel entstehen Widerstandsbrücken zwischen den Elektroden, die eine Widerstandsänderung verursachen. Diese Widerstandsänderung zwischen den Elektroden wird gemessen.
Die DE 195 36 705 A1 zeigt ein Verfahren und eine Vorrichtung zur quantitativen Bestimmung von Rußpartikeln in einem Abgasstrom mit einem Messkondensator aus einer Mantel- und einer Innenelektrode. Zwischen den Elektroden wird ein elektrisches Feld aufgebaut, das, wenn es von einem Gasstrom mit elektrisch leitenden oder geladenen Partikeln durchströmt wird, beeinflusst wird. Die Span- nung zwischen den beiden Elektroden wird durch eine geeignete Regelvorrichtung konstant gehalten, so dass ein Ladestrom zwischen den Elektroden und der Spannungsquelle fließen muss. Über diesen Ladestrom wird auf die Menge der im Gasstrom enthaltenen Partikel geschlossen.
Die DE 198 17 402 C1 zeigt eine nach einem ähnlichen Prinzip funktionierende Sensoranordnung, die eine Heizung des Sensors vorsieht, um Partikelablagerungen thermisch zu zerstören.
Die DE 10 2004 039 647 A1 zeigt einen Rußladungssensor mit einem von einem Abgasstrom durchströmten Messkondensator, bei dem das Messsignal durch einen Ladungsverstärker mit Gleichspannungskopplung verarbeitet wird. Weiter- hin sieht dieser Rußladungssensor eine dritte Elektrode vor, die als Corona- Elektrode die Partikel auflädt.
Die DE 10 2005 016 395 A1 zeigt einen Rußsensor, der die Partikelladung über einen an seiner Oberfläche nicht isolierten Messwiderstand ermittelt. Die an der Oberfläche des Messwiderstands abgelagerten Partikel bewirken eine Wider- Standsänderung entsprechend der Ablagerungsmenge.
Die DE 10 2004 043 121 A1 zeigt ein Sensorelement für Gassensoren zur Bestimmung der Konzentration von Partikeln in Gasgemischen, das mindestens eine erste und eine zweite Messelektrode aufweist, an die eine Spannung anleg- bar ist Die erste Messelektrode ist von einem porösen, für die zu bestimmenden Partikel diffusionsoffenen Material zumindest teilweise bedeckt DE 103 19 664 A1 offenbart einen Sensor zur Detektion von Teilchen in einem Gasstrom, mit zwei Messelektroden, die auf einem Substrat aus einem isolierenden Werkstoff angeordnet und von einer Schutzschicht überzogen sind Die Messgenauigkeit dieser Sensoren ist jedoch für eine Reihe von Anwendungen nicht ausreichend und somit weiter zu verbessern
DE 27 18 474 C3 und DE 31 03 051 A1 zeigen thermische bzw elektrokaloπsche Durchflussmesser mit einer von einer Spannungsquelle gespeisten Kaltleiter- heizsonde und mit einer Einrichtung zur Messung und Kompensation der Fluid- temperatur In der DE 27 18 474 C3 wird ein Quotient gebildet aus einem dem Strom im Kaltleiter proportionalen Signal und aus einem Signal, das proportional ist der Differenz aus der Fluidtemperatur und aus einer festen über der Bezugstemperatur der Kaltleiterheizsonde liegenden Temperatur Auch in der DE 31 03 051 A1 werden zwei Werte an die Eingange eines Dividierers zugeführt Erstens ein Signal, das der Differenz zwischen Strom der Kaltleiterheizsonde und Strom eines zusätzlichen Kaltleiters entspricht, der aus der gleichen Spannungsquelle gespeist wird wie die Kaltleiterheizsonde, und der in einem nicht stromenden Bereich des Fluids angeordnet ist, und zweitens ein dem zusatzlichen Kaltleiter entsprechendes Signal Insbesondere in Anwendungen mit großen Temperaturschwankungen ist die Messgenauigkeit dieser Sensoren jedoch nicht ausreichend und somit weiter zu verbessern
Die DE 10 2005 057 687 A1 zeigt ein thermisches Massedurchflussmessgerat mit Diagnosefunktion, bei dem zwei Temperatursensoren alternierend als passi- ver, nicht beheizter Temperatursensor und als aktiver, beheizter Temperatursensor ansteuerbar sind Weiterhin ist eine Regel-/Auswerteeιnheιt vorgesehen die eine Meldung ausgibt und/oder eine Korrektur des ermittelten Massedurchflusses vornimmt, wenn die wahrend des ersten und zweiten Messintervalls bereitgestellten korrespondierenden Messwerte der beiden Temperatursensoren voneinander abweichen Dieses Messgerat dient dazu, neben dem eigentlichen Messwert Informationen über eine Fehlfunktion bereitzustellen Nachteilig daran ist jedoch, dass keine Verbesserung des Messergebnisses erzielt wird, insbesondere bei hohen Temperaturschwankungen. Die Messgenauigkeit der genannten Lösungen ist daher weiter zu verbessern.
Ein weiterer Nachteil bekannter Lösungen ist ein hoher Verschleiß, unter ande- rem durch Korrosion, insbesondere der Elektroden, und die Beeinträchtigung der Widerstandsmessung durch Aschebestandteile, die sich bei einer Partikelverbrennung auf den Sensoroberflächen dauerhaft ablagern. Darüber hinaus weisen die existierenden Lösungen den Nachteil auf, dass sie die Partikelmenge messen. Zur Angabe der Partikelkonzentration eines Gasstroms wird eine extern ermittelte Gasgeschwindigkeit mit einbezogen.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen oder mehrere der Nachteile zu reduzieren oder zu beseitigen.
Insbesondere ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, den Verschleiß der Sensorvorrichtung, insbesondere der Elektroden, zu vermindern.
Es ist weiterhin Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die Messgenauigkeit bzw. Messempfindlichkeit und/oder die Messgeschwindigkeit der Sensorvorrichtung zu verbessern.
Es ist weiterhin Aufgabe der vorliegenden Erfindung, weitere Parameter, die außer der Partikelmenge zur Angabe der Partikelkonzentration notwendig sind, zumindest zum Teil zu ermitteln.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Sensorvorrichtung zur Bestimmung von in einem Gasstrom enthaltenen elektrisch leitenden und/oder elektrisch geladenen Partikeln der eingangs genannten Art gelöst, bei der zumindest eine der Elektroden in dem im Gasstrom anzuordnenden Bereich vollständig in einen nicht-leitenden Werkstoff eingebettet ist. Dadurch wird die Elektrode bzw. werden die Elektroden vor Verschleiß und Korrosion geschützt. Der nicht-leitende Werkstoff kann beispielsweise eine nichtleitende Vergussmasse, wie Glas, sein.
Eine vollständige Einbettung kann dadurch erzielt werden, dass die zumindest eine Elektrode beschichtet wird oder unmittelbar von dem nicht-leitenden Werkstoff allseitig umgeben ist. Die vollständige Einbettung kann so ausgebildet sein, dass die zumindest eine Elektrode gegenüber ihrer Umgebung elektrisch isoliert ist. Die zumindest eine Elektrode kann auch in einem Gießprozess in einen aushärtenden, nicht-leitenden Werkstoff eingebettet werden.
Die Einbettung kann ausgebildet sein, so dass die Elektrode nicht mit Ablagerungen in Kontakt kommt oder sonstigen Verschleiß induzierenden Einflüssen ausgesetzt ist, so dass sich die Lebensdauer der zumindest einen Elektrode verlängert und Qualitätseinbußen aufgrund von Verschleiß und Korrosion sowie A- scheablagerung verhindert bzw. abgemildert werden.
Die zumindest eine Elektrode kann dabei beispielsweise als Kammelektrode, bifilare Wicklung, Elektrodengitter oder Brückenwiderstand ausgebildet sein. Des weiteren kann die Elektrode auf einem Träger angeordnet sein, beispielsweise aus Keramik, der zusammen mit der zumindest einen Elektrode in den nichtleitenden Werkstoff eingebettet ist. Auch eine optional vorgesehen Heizung kann zusammen mit der zumindest einen Elektrode in den nicht-leitenden Werkstoff eingebettet sein.
Eine bevorzugte Fortbildung der Erfindung sieht vor, dass die Sensorvorrichtung eine Messeinheit umfasst, die elektrisch mit den zumindest zwei Elektroden gekoppelt und ausgebildet ist, die Partikel über eine Messung der Veränderung eines kapazitiven Widerstands durch Ablagerung von Partikeln auf der zumindest einen vollständig in einen nicht-leitenden Werkstoff eingebetteten Elektrode mittels Wechselstrom, insbesondere höherfrequentem Wechselstrom, zu bestimmen. Beim Einsatz von Wechselstrom, insbesondere höherfrequentem Wechselstrom, ist es möglich, zumindest eine vollständig in einen nicht-leitenden Werkstoff eingebettete Elektrode für die Ermittlung der Veränderung eines kapazitiven Widerstands durch Ablagerung von Partikeln auf der isolierten Oberfläche zu verwenden.
Die Frequenz des höherfrequenten Wechselstroms beträgt vorzugsweise mindestens 200 kHz und kann bis auf ca. 30 MHz erhöht werden, um die Messempfindlichkeit weiter zu erhöhen. Zur Messung einer verwertbaren, kapazitiven Widerstandsänderung ist diese höhere Frequenz erforderlich, da die Kapazitäts- änderungen sehr klein sind und beispielsweise, je nach Elektrodenfläche, in der Größenordnung von 5 bis 50 pF auftreten können.
In dem Zustand, wenn sich keine Ablagerung von Partikeln auf der isolierten Oberfläche der zumindest einen Elektrode befindet, kann ein bestimmter kapazitiver Widerstand der Messanordnung bestimmt werden. Wenn sich dann Rußpar- tikel auf der isolierten Oberfläche der zumindest einen Elektrode ablagern, bilden diese eine elektrisch leitende Beschichtung aus, die in Wechselwirkung mit den unterhalb der Isolationsschicht liegenden Elektroden eine zusätzliche Kapazität erzeugt. Durch die Messung dieser Veränderung der Kapazität lässt sich die Menge der Partikel bestimmen. Die Messung der Rußpartikelmenge basiert daher auf der Messung des kapazitiven Widerstands. Eine Messung basierend auf dem Ohm'schen Widerstand entfällt durch die erfindungsgemäße vollständige Isolierung der Elektroden.
Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft eine Sensorvorrichtung zur Bestimmung von in einem Gasstrom enthaltenen elektrisch leitenden und/oder elektrisch geladenen Partikeln der eingangs genannten Art, die dadurch gekennzeichnet ist, dass zumindest eine der Elektroden spulenförmig ausgebildet ist und die Messeinheit ausgebildet ist, die Partikel über eine Messung der Veränderung eines induktiven Widerstands durch Durchströmen der zumindest einen Elektrode von dem Partikel enthaltenden Gasstrom zu bestimmen. Die zumindest eine Elektrode kann als zylindrische, freitragende Induktionsspule ausgebildet sein, bei der die im Gasstrom enthaltenen Partikel die Spule bevorzugt axial durchströmen und aufgrund ihrer permeablen Eigenschaften die Induktivität beeinflussen. Die Spule kann beispielsweise eine kreisförmige oder quad- ratische Querschnittsform aufweisen. Die axiale Durchströmung der Spule ist bevorzugt, da sich der induktive Widerstand äußerst wenig ändert, wenn die Partikel außen an der Spule vorbeiströmen, weil dann nur das Streufeld der Spule beeinflusst wird.
Die Spule ist in einen hochfrequenten Schwingkreis mit einer bestimmten Reso- nanzfrequenz eingebunden. Wenn Rußpartikel durch die spulenförmige Elektrode hindurchströmen, wird die Induktivität verstimmt, und es stellt sich, in Abhängigkeit von der Rußmenge, eine andere Resonanzfrequenz ein. Die Messung der Rußmenge in g/h kann beispielsweise mittels einer Frequenzzählung ermittelt werden.
Die Spule kann oberflächlich leitend sein oder - beispielsweise zum Korrosionsschutz - in einen nicht-leitenden Werkstoff eingebettet sein. Eine leitende Oberfläche der Spule hat nur dann eine messtechnische Wirkung, wenn die Windungen der Spule derart dicht nebeneinander liegen, dass durch Ablagerung von Partikeln Rußbrücken entstehen können. Bei ausreichendem Abstand der Spu- lenwindungen von einander, vorzugsweise einem Abstand von etwa 2 mm oder mehr, tritt keine messtechnisch relevante Ablagerung auf, da Partikel durch den Abgasstrom weggeblasen werden.
In einer weiteren bevorzugten Fortbildung ist die zumindest eine vollständig in einen nicht-leitenden Werkstoff eingebettete Elektrode spulenförmig ausgebildet und die Messeinheit ausgebildet, die Partikel über eine Messung der Veränderung eines induktiven Widerstands durch Ablagerung von Partikeln auf der zumindest einen vollständig in einen nicht-leitenden Werkstoff eingebetteten Elektrode zu bestimmen. In dieser Fortbildungsform ist die Elektrode in Form einer Spule ausgebildet, die in einen hochfrequenten Schwingkreis mit einer bestimmten Resonanzfrequenz eingebunden ist. Wenn sich Rußpartikel auf der isolierten Oberfläche der Elektrode ablagern, wird die Induktivität verstimmt, und es stellt sich, in Abhängigkeit von der Rußablagerung, eine niedrigere Resonanzfrequenz ein. Die Messung der Rußablagerung in g/h kann beispielsweise mittels einer Frequenzzählung ermittelt werden.
Die Erfindung kann dadurch fortgebildet werden, dass die Messeinheit ausgebildet ist, die Veränderung des kapazitiven bzw. induktiven Widerstands über eine Verschaltung in zumindest einer Messbrücke, insbesondere einer Wheatsto- ne'schen Halb- oder Vollbrücke zu messen. Der im Zustand ohne Partikelablagerung gemessene Widerstand kann in einer Brückenschaltung durch einen externen, einstellbaren Widerstand kompensiert werden. Wenn sich Rußpartikel auf der isolierten Oberfläche des Sensors ablagern bzw. durch die spulenförmige Elektrode strömen, verändern diese die Kapazität bzw. Induktivität, so dass dies zu einer unmittelbaren Verstimmung der Messbrücke führt.
Die Erfindung kann weiterhin durch eine Heizregelungseinheit fortgebildet werden, die elektrisch oder thermisch mit den zumindest zwei Elektroden gekoppelt und ausgebildet ist, die Ablagerung von Partikeln durch Aufheizen der Sensorvor- richtung, insbesondere auf eine die Partikel thermisch zerstörende Temperatur, zumindest teilweise zu beseitigen.
Das Aufheizen auf eine die Partikel thermisch zerstörende Temperatur erfolgt vorzugsweise durch eine Konstanttemperaturregelung der Heizung, da der Abgasstrom meistens niedrigere Temperaturen aufweist und die Heizung abkühlt. Mit der Regelung kann die Abbrenntemperatur von vorzugsweise mindestens 650 °C aufrecht erhalten werden. Dies kann je nach Gastemperatur und Gasgeschwindigkeit beispielsweise eine Heizleistung von bis zu 150 Watt erfordern.
Durch das Freibrennen des Sensors kann der Sensor, zumindest nahezu, in seinen Ausgangszustand ohne Ablagerungen zurückversetzt werden. Dies ist insbesondere vorteilhaft, wenn durch eine zunehmende Ablagerung von Partikeln, insbesondere wenn diese einen kritischen Grenzwert überschritten hat, die Funktionsfähigkeit oder das Messergebnis durch die Partikelablagerung beeinträchtigt werden. Indem die Sensorvorrichtung eine Heizregelungseinheit um- fasst, kann die Sensorvorrichtung selbsttätig gereinigt werden, ohne dass ein externer Zugriff auf die Sensorvorrichtung nötig ist, was beispielsweise den Ausbau eines Sensors erfordern würde.
Bei der Ausbildung der Elektrode als zylinderförmige, vom Gasstrom durchströmte Spule ist das Freibrennen durch Aufheizen zwar möglich, aber nicht notwendi- gerweise erforderlich, da die Partikel - wie oben dargestellt - bei ausreichendem Abstand der Spulenwicklungen vom Gasstrom abtransportiert werden und sich keine messtechnisch relevante Ablagerung auf der Spule bildet.
In einer weiteren bevorzugten Fortbildung der Sensorvorrichtung ist die Heizregelungseinheit ausgebildet, das Aufheizen bei Erreichen eines vorgegebenen Wer- tes der Ablagerungsmenge, der Betriebsdauer oder der gemessenen Partikel zu initiieren.
Diese Fortbildung ist insbesondere vorteilhaft, um das Abbrennen der Partikelablagerungen in Abhängigkeit eines Grenzwerts zu automatisieren. Als Grenzwert kann beispielsweise die Menge der kumulierten Partikelablagerungen herange- zogen werden. Alternativ kann auch nach einer bestimmten Laufzeit bzw. Betriebsdauer des Sensors das Aufheizen initiiert werden. Weiterhin kann die über die Laufzeit gemessenen Partikel zur Bestimmung eines Grenzwertes und dessen Erreichung herangezogen werden, beispielsweise über die Integration der gemessenen Partikel über die Laufzeit.
Dieser Grenzwert wird vorzugsweise durch eine Kalibrierung bestimmt. Beispielsweise wird bei einer konstanten Rußemission der Verlauf des kapazitiven Widerstands über die Zeit beobachtet. Zunächst erfolgt die Änderung des Widerstandes nahezu linear. Bei stärkerer Ablagerung wird die Widerstandsänderung geringer und die Steigung der Kurve verläuft flacher. Vorzugsweise wird das Ende des linearen Bereiches als Grenzwert festgelegt.
Die Erfindung kann dadurch fortgebildet werden, dass zumindest eine der mit der Heizregelungseinheit elektrisch oder thermisch gekoppelten Elektroden ausgebil- det ist, die Sensorvorrichtung aufzuheizen und/oder die Sensorvorrichtung eine mit der Heizregelungseinheit elektrisch gekoppelte, insbesondere mäanderförmi- ge Widerstandsheizung umfasst, die ausgebildet ist, die Sensorvorrichtung aufzuheizen.
Vorzugsweise wirkt die Heizregelungseinheit mit zumindest einer der Elektroden zusammen, so dass die Elektrode als Heizelement für die Sensorvorrichtung dient. Dazu ist es vorteilhaft, wenn die Elektrode aus Widerstandsmaterial mit einem temperaturabhängigen Widerstandskoeffizienten besteht, um als elektrische Heizung verwendet zu werden und eine temperaturbezogene Regelung zu verwirklichen.
Alternativ oder zusätzlich ist es vorteilhaft, eine separate Widerstandsheizung mit der Heizregelungseinheit zu koppeln. Insbesondere für eine Messung des induktiven Widerstands ist es vorteilhaft, die Widerstandsheizung mäanderförmig auszubilden, da eine mäanderförmige Anordnung der Widerstandsheizung keine Induktivität aufweist, die das Messergebnis des induktiven Widerstands verfäl- sehen könnte, sondern nur eine Kapazität aufweist, welche für die Messung nicht hinderlich ist.
Weiterhin kann die Erfindung dadurch fortgebildet werden, dass die Sensorvorrichtung ausgebildet ist, die Partikel auch über eine Messung der Veränderung eines Ohm'schen Widerstands durch Ablagerung von Partikeln auf zumindest einer nicht vollständig in einen nicht-leitenden Werkstoff eingebetteten Elektrode zu bestimmen.
Diese Fortbildungsform kombiniert die Messung von Partikeln über die Veränderung eines kapazitiven und/oder induktiven Widerstands mit der Messung der Veränderung eines Ohm'schen Widerstands. Die Kombination verschiedener Messtechniken kann zur Erhöhung der Messgenauigkeit und zur Reduzierung der Ausfallwahrscheinlichkeit einer Sensorvorrichtung beitragen. Zur Messung der Veränderung eines Ohm'schen Widerstands ist es bevorzugt, dass sich Partikel auf zumindest einem nicht-isolierten Teil zumindest einer Elektrode ablagern können.
Alternativ kann es auch vorteilhaft sein, getrennte Elektroden für die Messung der Veränderung des kapazitiven und/oder induktiven Widerstands und für die Messung des Ohm'schen Widerstands vorzusehen.
Gemäß eines weiteren Aspekts der Erfindung ist die eingangs erwähnte Sensorvorrichtung dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine der Elektroden zumindest teilweise als Gitter, insbesondere als Flächengitter ausgebildet ist.
Es hat sich bei verschiedenen Sensorausführungen überraschend herausgestellt, dass durch den Austausch einer beispielsweise aus Blech ausgeführten Mess- elektrode durch ein Elektrodengitter die Messempfindlichkeit deutlich erhöht werden kann und die Einstellzeit bzw. die Zeitkonstante deutlich reduziert werden kann. Durch das Gitter lässt sich die Feldstärke erheblich steigern. Das Messsignal kann durch diese Anordnung erheblich verstärkt werden. Damit kann die Messqualität und Messgenauigkeit des Sensors deutlich verbessert werden.
In einer vorteilhaften Fortbildung ist das Gitter aus zumindest einem Draht, insbesondere zumindest einem Wolframdraht, ausgebildet. Das erfindungsgemäße Flächengitter kann beispielsweise ein punktgeschweißtes Gitter aus dünnem Wolframdraht, mit beispielsweise einem Durchmesser von 50μm, sein.
Weiterhin bevorzugt ist es, dass das Gitter als Gewebe oder Geflecht ausgebildet ist. Dazu können mehrere Einzeldrähte oder ein durchgehender Draht so angeordnet sein, dass sich eine Vielzahl von Drähten bzw. Drahtabschnitten, die in verschiedenen Richtungen ausgerichtet sind, innerhalb eines bestimmten Flächenausschnitts befinden. Weiterhin ist bevorzugt, dass das Gitter in Längs- oder Querrichtung zur Stromungsrichtung des Gasstroms ausgerichtet ist. Die Varianten dieser Fortbildungsform unterscheiden sich darin, wie der Gasstrom und die dann befindlichen Partikel das Gitter durch- bzw. umströmen.
Gemäß eines weiteren Aspekts der Erfindung ist die Sensorvorrichtung zur Bestimmung eines Massenstroms eines Mediums der eingangs genannten Art gekennzeichnet durch eine Messvorrichtung zum Ermitteln der Temperatur des Mediums in einer zweiten Messphase, vorzugsweise über eine Messung des Widerstands eines Hitzdrahts, insbesondere des Hitzdrahts, eine Steuereinheit, die ausgebildet ist, den beheizbaren Temperatursensor, vorzugsweise den Hitzdraht, in der ersten Messphase auf eine Temperatur zu steuern, die von der in der zweiten Messphase bestimmten Temperatur des Mediums abhangig ist, und eine Korrektureinheit, die ausgebildet ist, den in der ersten Messphase ermittelten Massenstrom, vorzugsweise den aus der in der ersten Messphase gemesse- nen Spannung ermittelten Massenstrom, um einen von der in der zweiten Messphase ermittelten Temperatur, vorzugsweise von der aus dem in der zweiten Messphase gemessenen Widerstand des Hitzdrahts ermittelten Temperatur, abhangigen Wert zu korrigieren.
Zur Ermittlung der Partikelladung eines Gasstroms ist die Messung der Gasge- schwindigkeit erforderlich Die Erfindung sieht einen temperaturgeführten Mas- senstromsensor vor. Dazu wird in einer ersten Phase vorzugsweise ein Hitzdraht durch einen Ruhestrom auf eine höhere Temperatur als die des Massenstroms aufgeheizt. Diese höhere Temperatur wird konstant gehalten. In Abhängigkeit von der Gasgeschwindigkeit wird dem Draht Wärme entzogen. Da die Tempera- tur des Hitzdrahts konstant gehalten wird, steigt der Strom durch den Draht an Dieser Strom wird beispielsweise in kgGasmasse /h kalibriert und dient somit als Messgröße für den Massenstrom.
Die Regel- oder Steuereinheit zur Erhitzung des Hitzdrahts in einer ersten Messphase auf eine bestimmte Temperatur oberhalb der Temperatur des Massen- Stroms und zur Ermittlung des Massenstroms über Messung einer Spannung, die zur Aufrechterhaltung dieser bestimmten Temperatur des Hitzdrahts erforderlich ist, kann mit der Steuereinheit zur Steuerung des Hitzdrahts in der ersten Messphase auf eine Temperatur, die von der in der zweiten Messphase bestimmten Temperatur des Mediums abhängig ist, identisch sein.
Entscheidend für die Messung des Massenstroms ist die konstante Temperaturdifferenz zwischen Medium und Hitzdrahttemperatur. Da die Gastemperatur beispielsweise im Abgasstrom eines Dieselmotors jedoch stark schwanken kann, sieht die Erfindung vor, in einer zweiten Messphase die Temperatur des Mediums zu ermitteln, vorzugsweise über eine Messung des Widerstands eines Hitz- drahts, insbesondere des Hitzdrahts der in der ersten Messphase zur Bestimmung des Massenstroms dient.
Die Messvorrichtung zum Ermitteln der Temperatur des Mediums in der zweiten Messphase kann als beliebiger, für den Anwendungsbereich geeigneter Temperatursensor ausgebildet sein und ist nicht auf die Ermittlung der Temperatur über eine Messung des Widerstands eines Hitzdrahts beschränkt. Die Korrektureinheit kann ausgebildet sein, den aus der in der ersten Messphase gemessenen Spannung ermittelten Massenstrom um einen von der in der zweiten Messphase ermittelten Temperatur abhängigen Wert zu korrigieren.
In Abhängigkeit von dieser Temperatur steuert eine Steuereinheit die Tempera- tur, auf den der Hitzdraht in der ersten Messphase aufzuheizen ist. Damit erfolgt die Aufheizung des Hitzdrahts in der ersten Messphase zur Ermittlung des Massenstroms auf eine von der in der zweiten Messphase gemessenen Temperatur des Gasstroms abhängigen Temperatur.
Verändert sich die Temperatur, auf die der Hitzdraht in der ersten Messphase aufgeheizt wird, in Abhängigkeit von der sich verändernden Temperatur des Mediums, die in der zweiten Messphase gemessen wird, so verändert sich zwangsläufig auch der Ruhestrom in dem Hitzdraht und damit das Messergebnis für den Massenstrom. Das Messergebnis des Massenstroms muss daher um einen dieser Stromveränderung entsprechenden Korrekturwert kompensiert werden. Diese Korrektur erfolgt durch eine Korrektureinheit, die aus der in der zweiten Messphase ermittelten Temperatur des Gasstroms einen Korrekturwert ermittelt.
Die Erfindung ermöglicht es, das Prinzip der hitzdraht-basierten Massenstromer- mittlung in einem breiten Temperaturbereich anzuwenden, indem der Hitzdraht auf eine Temperatur aufgeheizt wird, die in Abhängigkeit von der jeweiligen Massenstromtemperatur gesteuert wird, und in dem das Ergebnis um einen der jeweiligen Gasstromtemperatur entsprechenden Wert korrigiert wird.
Die Erfindung bietet den Vorteil, den zur Angabe einer Partikelkonzentration erforderlichen Massenstrom zu ermitteln. Dieser Vorteil wird auch insbesondere in Kombination des Massenstromsensors mit einem Partikelsensor deutlich, da in dieser Kombination keine Messwerte mehr über anderweitige, externe Quellen abgefragt werden müssen.
Die Erfindung bietet den weiteren Vorteil, sehr schnell auf Temperaturänderun- gen reagieren zu können und somit die Qualität des Messergebnisses weiter zu verbessern.
Die erfindungsgemäße Messung des Massenstroms bei stark schwankenden Temperaturen des Mediums ermöglicht vorteilhafterweise auch eine zur Steuerung von NOx- Emission erforderliche kennfeldbezogene Abgasrückführung, wie in der Abgasnorm EURO VI vorgesehen. Die vorliegende Erfindung liefert den momentanen Massenstrom und die Temperatur des Abgases, woraus die für die kennfeldbezogene Abgasrückführung erforderliche Rückführungsquote bestimmt werden kann.
Die Erfindung kann bevorzugt dadurch fortgebildet werden, dass die Steuerein- heit ausgebildet ist, die erste Messphase und die zweite Messphase alternierend durchzuführen. Dabei wird abwechselnd zunächst in der ersten Messphase der Hitzdraht auf eine bestimmte Temperatur oberhalb der Temperatur des Massenstroms aufgeheizt und der Massenstrom über eine Messung der Spannung ermittelt, die zur Aufrechterhaltung dieser bestimmten Temperatur des Hitzdrahts erforderlich ist. Anschließend wird in einer zweiten Phase die Temperatur des Mediums bestimmt, die an eine Steuereinheit weitergegeben wird. Bei der nächsten Durchführung der ersten Messphase steuert die Steuereinheit das Aufheizen des Hitzdrahts auf eine bestimmte Temperatur oberhalb der in der vorangehenden zweiten Messphase ermittelten Temperatur des Mediums. Durch diese alternierende Durchführung der beiden Messphasen wird in der ersten Messphase jeweils die in der zweiten Messphase aktuell gewonnene Temperatur des Massenstroms zugrunde gelegt. Weiterhin wird die Ausgabe des ermittelten Massenstroms in der ersten Messphase durch einen Wert korrigiert, der von der in der zweiten Messphase ermittelten Temperatur des Massenstroms abhängig ist.
Alternativ kann die Sensorvorrichtung dadurch fortgebildet werden, dass die Sensorvorrichtung einen beheizbaren Temperatursensor, insbesondere einen ersten Hitzdraht, für die erste Messphase und einen Temperatursensor, insbesondere einen zweiten Hitzdraht, für die zweite Messphase umfasst und die Steuereinheit ausgebildet ist, die erste Messphase und die zweite Messphase kontinuierlich parallel durchzuführen. Soweit auf Fortbildungen und Vorzüge des ersten bzw. zweiten Hitzdrahts Bezug genommen wird, gelten diese für den beheizbaren Temperatursensor bzw. den Temperatursensor entsprechend.
Indem für die erste Messphase und die zweite Messphase jeweils ein eigener Sensor (für die erste Messphase ein beheizbarer Temperatursensor, vorzugs- weise ein erster Hitzdraht, und für die zweite Messphase ein beliebiger, für den Anwendungsbereich geeigneter Temperatursensor, vorzugsweise ein zweiter Hitzdraht) zur Verfügung steht, ist es möglich, die beiden Messphasen kontinuierlich und nebenläufig durchzuführen. Dies ermöglicht auch eine konstante Steuerung der Temperatur der ersten Messphase in Abhängigkeit von der in der zwei- ten Messphase ermittelten Temperatur. Dies kann die Messgenauigkeit und die Messgeschwindigkeit weiter erhöhen. Die Erfindung kann bevorzugt dadurch fortgebildet werden, dass der Hitzdraht zur Ermittlung der Temperatur mit einem konstanten Strom angesteuert wird. Ferner kann dadurch erreicht werden, dass die Messempfindlichkeit über den gesamten Temperaturbereich im wesentlichen gleich bleibt.
Der erste und der zweite Hitzdraht werden unterschiedlich angesteuert. Während der erste Hitzdraht für die erste Messphase zur Ermittlung des Massenstroms auf eine konstante, oberhalb der Temperatur des Massenstroms liegende, Temperatur gesteuert ist und die zur Aufrechterhaltung dieser bestimmten Temperatur des Hitzdrahts erforderliche Spannung ermittelt wird, erfolgt die Ansteuerung bei dem zweiten Hitzdraht für die zweite Messphase zur Ermittlung der Temperatur des Mediums mit einem konstanten Strom nach dem Prinzip eines Widerstandsthermometers.
Es ist weiter bevorzugt, dass der Hitzdraht zur Ermittlung der Temperatur mit einem so geringen konstanten Strom, insbesondere einem Strom von 5-10 mA, angesteuert wird, dass die Temperatur des Hitzdrahts unter der Temperatur des Massenstroms liegt.
Die Ansteuerung erfolgt bei dem Temperaturhitzdraht mit einem sehr geringen, konstanten Strom, der möglichst keine bzw. nur eine sehr geringe Aufheizwirkung erzeugt. Dies ist erforderlich, damit die Änderung der Temperatur des Hitz- drahts möglichst ausschließlich von der Temperatur des den Hitzdraht umgebenden Mediums abhängt. Beispielsweise liegt der zur Ansteuerung des Temperaturhitzdrahts angelegte Strom bei etwa 5-10 mA, während beispielsweise der Ruhestrom des Massenstromhitzdrahts, je nach Mediumstemperatur, zwischen 600 und 1600 mA schwanken kann.
Die Erfindung wird bevorzugt dadurch fortgebildet, dass die Sensorvorrichtung Mittel umfasst, die ausgebildet sind, die Temperatur des beheizbaren Temperatursensors, vorzugsweise des Hitzdrahts, zur Ermittlung des Massenstroms auf eine vorgegebene, insbesondere konstante, Differenz zu der Temperatur des Mediums zu steuern. Entscheidend für die Messung des Massenstroms ist eine konstante Temperaturdifferenz zwischen Mediums- und Hitzdrahttemperatur. Erfindungsgemäß wird daher die Temperatur des Hitzdrahts so gesteuert, dass sie mit der Temperatur des Mediums steigt oder fällt, so dass die Temperaturdifferenz zwischen Hitz- draht und Medium immer gleich bleibt. Wenn diese Temperaturdifferenz z B. 1000C beträgt, bleibt diese konstant, auch wenn die Gastemperatur z B von 4000C auf 8000C ansteigt. Die Hitzdrahttemperatur wird demzufolge auf eine Temperatur von 5000C (bei einer Gastemperatur von 400°C) bzw. 900° C (bei einer Gastemperatur von 8000C) gesteuert.
Der temperaturgefuhrte Ruhestrom des Hitzdrahts wird durch einen Regelkreis bei jeder Mediumstemperatur konstant gehalten, so dass die Wärmeabfuhr durch den Massenstrom, in Abhängigkeit von der Mediumsgeschwindigkeit, bei jedem Temperaturniveau gleich ist.
Weiterhin kann die Erfindung dadurch fortgebildet werden, dass zumindest ein Hitzdraht aus einem Material mit möglichst konstantem Widerstandstemperaturkoeffizienten besteht
Hitzdrahte bestehen vorzugsweise aus Platin. Wesentlich ist, dass der metallische Werkstoff einen möglichst konstanten Widerstandstemperaturkoeffizienten aufweist. Sollte dies nicht der Fall sein, wie beispielsweise bei Wolfram, muss eine tabellarische Linearisierung des nicht linearen Verhaltens vorgenommen und in die Sensorvorrichtung integriert werden.
Die Erfindung kann dadurch fortgebildet werden, dass zumindest ein Hitzdraht aus einem Material mit möglichst hoher mechanischer Festigkeit besteht.
Eine hohe mechanische Festigkeit erhöht die Langlebigkeit der Sensorvornch- tung Da der Hitzdraht typischerweise einen sehr geringen Durchmesser hat und gleichzeitig beispielsweise im Abgasrohr eines Dieselmotors den Abgaspulsationen widerstehen muss, ist die mechanische Festigkeit von hoher Bedeutung für das Verhindern eines Versagens des Hitzdrahts beispielsweise durch Reißen oder Brechen. Dies ist insbesondere von Bedeutung, wenn die Sensorvorrichtung beispielsweise in der Abgasanlage von Fahrzeugen zum Einsatz kommt, wo ein Ausbau bzw. eine Reparatur der Sensorvorrichtung mit einem hohen Aufwand verbunden wäre. Beispielsweise besitzt Wolfram eine sehr hohe mechanische Festigkeit, allerdings auch ein nachteilig nichtlineares Widerstandstemperaturverhalten.
Weiter ist es bevorzugt, dass die Sensorvorrichtung Mittel umfasst, die ausgebildet sind, zumindest einen Hitzdraht zumindest kurzzeitig auf eine Temperatur, durch welche am Hitzdraht abgelagerte Partikel thermisch zerstört werden, auf- zuheizen.
Wenn ein Hitzdraht eine Temperatur aufweist, die niedriger als die Verbrennungstemperatur der Partikel ist, können sich Partikel am Hitzdraht ablagern. Diese Ablagerung verschlechtert den Wärmeübergang von dem Medium an den Draht. Es ist daher vorteilhaft, den Draht vor einer Messung durch kurzzeitige Stromerhöhung auf eine die Partikel thermisch zerstörende Temperatur aufzuheizen, damit eventuelle Ablagerungen verbrennen, um den Hitzdraht zu reinigen.
Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft eine Schaltung zur Steuerung einer Sensorvorrichtung zur Bestimmung eines Massenstroms eines Mediums, wobei eine erste Schaltkreisanordnung einen veränderlichen Widerstand umfasst und am Temperaturmesspunkt eine der Temperaturänderung des veränderlichen Widerstands entsprechende Spannungsänderung anliegt, die über einen Leitungszweig an eine zweite Schaltkreisordnung und eine dritte Schaltkreisanordnung geführt wird; die zweite Schaltkreisanordnung einen weiteren veränderli- chen Widerstand umfasst, der auf eine von der vom Zuleitungszweig aus der ersten Schaltkreisanordnung erhaltenen Spannungsänderung abhängige Temperatur gesteuert wird, sowie die dritte Schaltkreisanordnung einen Messwiderstand umfasst und die an dem Messwiderstand anliegende Spannung bzw. die Spannungsänderung verstärkt wird, um die der Temperaturänderung des veränderli- chen Widerstands entsprechende Spannungsänderung aus der ersten Schaltkreisanordnung korrigiert und an einem Messpunkt ausgegeben wird.
Diese Schaltung kann bevorzugt fortgebildet werden, indem eine erste Schaltkreisanordnung einen veränderlichen Widerstand, der an Masse liegt und über die Widerstände mit einer positiven Spannungsquelle verbunden ist und einen Operationsverstärker, der mit seinem nicht invertierenden Eingang die Spannung zwischen dem veränderlichen Widerstand und dem Widerstand abgreift und mit seinem invertierenden Eingang mit dem Widerstand verbunden ist, umfasst und der Operationsverstärker am Temperaturmesspunkt eine der Temperaturände- rung des veränderlichen Widerstands entsprechende Spannungsänderung ausgibt, die über einen Leitungszweig an eine zweite Schaltkreisordnung und den invertierenden Eingang eines Operationsverstärkers in einer dritten Schaltkreisanordnung geführt wird; die zweite Schaltkreisanordnung einen weiteren veränderlichen Widerstand umfasst, der über einen Widerstand und ein gesteuertes Schaltelement (pnp-Transistor) mit einer positiven Spannungsquelle verbunden ist, und über einen Operationsverstärker und einen Widerstand auf die vom Zuleitungszweig aus der ersten Schaltkreisanordnung erhaltene Temperatur gesteuert wird, wobei der Widerstand zwischen den Zuleitungszweig von der positiven Spannungsquelle über das gesteuerte Schaltelement zum Widerstand und die Verbindung zwischen einen Messwiderstand in der dritten Schaltkreisanordnung mit Masse geschaltet ist, sowie die dritte Schaltkreisanordnung einen Messwiderstand, der an Masse liegt und mit dem veränderlichen Widerstand der zweiten Schaltkreisanordnung verbunden ist, und einen ersten Operationsverstärker, der an seinem nicht invertierenden Eingang die Spannung zwischen dem Messwiderstand und dem veränderlichen Widerstand abgreift und an seinem invertierende Eingang des Operationsverstärkers einen Nullpunkt darstellt, sowie einen zweiten Operationsverstärker umfasst, der die am nicht invertierenden Eingang anliegende verstärkte Spannung des Messwiderstands um die am invertierenden Eingang anliegende Spannungsänderung der Temperaturmessung korrigiert, so dass an einem Messpunkt ein temperaturkorrigierter Massenstrom ausgegeben wird. Weitere Aspekte der Erfindung betreffen Sensorvorrichtungen nach den Ansprüchen 25 und 26, die Verwendung einer Sensorvorrichtung nach Anspruch 27, Verfahren zur Bestimmung von in einem Gasstrom enthaltenen elektrisch leitenden und/oder elektrisch geladenen Partikeln nach den Ansprüchen 28, 30 und 37, die nach den Ansprüchen 29, 31 bis 36 bzw. 38 bis 40 fortgebildet werden können, ein Verfahren zur Bestimmung eines Massenstroms eines Mediums nach Anspruch 41 , das nach den Ansprüchen 42 bis 49 fortgebildet werden kann, sowie ein Verfahren nach Anspruch 50.
Zu den Vorteilen, Ausführungsvarianten und Ausführungsdetails dieser weiteren Aspekte der Erfindung und ihrer Fortbildungen wird auf die zuvor beschriebenen Aspekte derjenigen Produktformen und Fortbildungen verwiesen, die für die entsprechenden weiteren Aspekte der Erfindung relevant sind.
Im Folgenden werden bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung beispielhaft anhand der beiliegenden Figuren beschrieben. Es zeigen:
Figur 1 : einen schematischen Querschnitt einer Ausführungsform eines zweiten Aspekts der vorliegenden Erfindung,
Figur 2: eine schematische Draufsicht einer weiteren Ausführungsform eines zweiten Aspekts der vorliegenden Erfindung,
Figur 3: eine schematische Draufsicht einer weiteren Ausführungsform eines zweiten Aspekts der vorliegenden Erfindung,
Figur 4: schematische Draufsicht einer weiteren Ausführungsform eines zweiten Aspekts der vorliegenden Erfindung,
Figur 5: eine schematische Ansicht einer ersten Ausführungsform eines ersten Aspekts der vorliegenden Erfindung, Figur 6: ein schematisches Funktionsdiagramm einer Ausführungsform eines dritten Aspekts der vorliegenden Erfindung, und
Figur 7: eine Schaltung eines dritten Aspekts der vorliegenden Erfindung.
Figur 1 zeigt einen schematischen Querschnitt einer Ausführungsform eines zweiten Aspekts der vorliegenden Erfindung mit Kammelektroden 301 , die auf einem Keramikträger 304 gelagert sind. Unterhalb des Keramikträgers 304 ist eine elektrische Heizung 305 angeordnet. Kammelektroden 301 , Keramikträger 304 und Heizung 305 sind in eine nicht-leitende Vergussmasse 302, z.B. Glas, eingebettet und vollständig elektrisch isoliert.
Auf der Oberfläche 306 der nicht-leitende Vergussmasse 302 lagern sich im Betrieb des Sensors Partikel 303 ab. Diese bilden eine elektrisch leitende Be- schichtung auf der Oberfläche 306 der nicht-leitende Vergussmasse 302 aus und beeinflussen so den kapazitiven Widerstand der Kammelektroden 301.
Durch ein Aufheizen der Anordnung 300 durch die Heizung 305 auf eine die Partikel 303 thermisch zerstörende Temperatur, wird die Anordnung 300 „freigebrannt", d.h. die Anordnung 300 wird durch die Heizung 305 solange aufgeheizt, bis sich zumindest an der Oberfläche 306 der nicht-leitende Vergussmasse 302 eine Temperatur einstellt, bei der die auf der Oberfläche 306 der nicht-leitende Vergussmasse 302 abgelagerten Partikel 303 verbrennen. Diese Temperatur wird so lange beibehalten, bis die Oberfläche 306 der nicht-leitende Vergussmasse 302 abgelagerten Partikel 303 im wesentlichen verbrannt sind und sich im wesentlichen keine abgelagerten Partikel 303 mehr auf der Oberfläche 306 der nicht-leitende Vergussmasse 302 befinden.
Figur 2 zeigt eine schematische Draufsicht einer der Ausführungsform der zwei- ten Aspekts der vorliegenden Erfindung gemäß Figur 2. Zu erkennen sind die Kammelektroden 401 , die auf einem Keramikträger 402 angeordnet sind. Die unter dem Keramikträger 402 angeordnete elektrische Heizung ist in dieser Draufsicht nicht dargestellt. Kammelektroden 401 , Keramikträger 402 und die Heizung sind in eine nicht-leitende Vergussmasse 402, z.B. Glas, eingebettet und vollständig elektrisch isoliert
Figur 3 zeigt eine schematische Draufsicht einer weiteren Ausführungsform eines weiteren Aspekts der vorliegenden Erfindung. Dabei ist zu erkennen, dass die Elektrode 501 mäanderförmig ausgebildet und auf einem Keramikträger 502 angeordnet ist. Die Elektrode 501 kann als hochohmiger Dünnschichtwiderstand ausgebildet sein.
Figur 4 zeigt schematische Draufsicht einer weiteren Ausführungsform eines zweiten Aspekts der vorliegenden Erfindung. Hier ist zu erkennen, dass die Elekt- rode 601 in Form einer Induktionsspule auf einem Keramikträger 603 angeordnet ist. Die Elektrode 601 und der Keramikträger 603 sowie eine optional auf der Unterseite des Keramikträgers angeordnete mäanderförmige Heizung (nicht dargestellt) sind in eine nicht-leitende Vergussmasse 602 eingebettet und vollständig elektrisch isoliert.
Die spulenförmige Anordnung der Elektrode 601 ist in einen Schwingkreis (nicht dargestellt) als Induktivität eingebunden. Durch auf der Oberfläche der nichtleitende Vergussmasse 602 abgelagerte Partikel (nicht dargestellt), die eine elektrische leitende Schicht ausbilden, wird die Induktivität der Elektrode 601 verstimmt.
Durch „Freibrennen" mittels einer optional auf der Unterseite des Keramikträgers angeordnete mäanderförmige Heizung (nicht dargestellt) oder mittels der Elektrode selbst, die dafür aus Widerstandsmaterial hergestellt sein muss, kann die Anordnung 600 wie analog bei Figur 1 beschrieben von Partikelablagerungen gereinigt werden.
Figur 5 zeigt eine schematische Ansicht einer Ausführungsform eines ersten Aspekts der vorliegenden Erfindung mit einer Elektrodenhalterung 201 und einer als Flächengitter ausgebildeten Elektrode 202. Das Flächengitter ist aus mehre- ren Einzeldrahten 203 zusammengesetzt, die an mehreren Stellen 204 punktverschweißt sind
Diese Gitterform der Elektrode ermöglicht eine wesentlich höhere Feldstarke, was zu einer deutlichen Erhöhung des Messempfindlichkeit und einer Verstar- kung des Messsignals führt und gleichzeitig die Einstellzeit bzw Zeitkonstante reduziert.
Figur 6 zeigt ein schematisches Funktionsdiagramm einer Ausführungsform eines dritten Aspekts der vorliegenden Erfindung. Ein erster Hitzdraht 1 dient als Massenstromsensor und wird in einer ersten Messphase auf konstante Tempera- tur geregelt 2 Ein zweiter Hitzdraht 3 dient als Temperatursensor und wird in einer zweiten Messphase auf konstanten Strom geregelt 4. Dadurch wird die Temperatur des durch die Sensorvorrichtung strömenden Mediums in der zweiten Messphase gemessen 5. Parallel dazu wird in der ersten Messphase über den zur Beibehaltung der konstanten Temperatur erforderlichen Strom der Mas- senstrom ermittelt 7. Erste und zweite Messphase laufen kontinuierlich und parallel.
Damit die Regelung auf konstante Temperatur 2 des Massenstromhitzdrahts 1 den Massenstromhitzdraht auf eine Temperatur erhitzen kann, die eine bestimmte, konstante Differenz zu der aktuellen Mediumstemperatur des Gasstroms aufweist, wird die in der zweiten Messphase über den Temperaturhitzdraht 3 gemessene Temperatur 5 an die Regelung 2 weitergegeben 6. Da die Regelung auf konstante Temperatur 2 damit von der aktuellen Mediumstemperatur abhängig ist, muss auch der ermittelte Massenstrom 7 um einen entsprechenden Tem- peraturkorrekturwert 8 berichtigt werden, damit am Ausgang Massenstrom 9 der korrekte Massenstrom ausgegeben wird. Am Ausgang Temperatur 19 wird die aktuelle Mediumstemperatur ausgegeben.
Figur 7 zeigt eine Schaltung eines dritten Aspekts der vorliegenden Erfindung Eine erste Schaltkreisanordnung 97 umfasst einen veränderlichen Widerstand 102, der an Masse liegt und über die Widerstände 113 bis 115 mit einer positiven Spannungsquelle 113 verbunden ist. Ein Operationsverstärker 104 greift mit seinem nicht invertierenden Eingang die Spannung zwischen dem veränderlichen Widerstand 102 und dem Widerstand 114 ab und ist mit seinem invertierenden Eingang mit dem Widerstand 1 15 verbunden. Der Operationsverstärker 104 gibt am Temperaturmesspunkt 110 eine der Temperaturänderung des veränderlichen Widerstands 102 entsprechende Spannungsänderung aus, die über einen Leitungszweig an eine zweite Schaltkreisordnung 98 und den invertierenden Eingang eines Operationsverstärkers 107 in einer dritten Schaltkreisanordnung 99 geführt wird.
Die zweite Schaltkreisanordnung 98 umfasst einen weiteren veränderlichen Widerstand 103, der über einen Widerstand 111 und ein gesteuertes Schaltelement 1 10 (pnp-Transistor) mit einer positiven Spannungsquelle 109 verbunden ist, und über einen Operationsverstärker 105 und einen Widerstand 112 auf die vom Zuleitungszweig aus der ersten Schaltkreisanordnung 97 erhaltene Tempe- ratur gesteuert wird. Der Widerstand 112 ist zwischen den Zuleitungszweig von der positiven Spannungsquelle 109 über das gesteuerte Schaltelement 1 10 zum Widerstand 11 1 und die Verbindung zwischen einen Messwiderstand 101 in der dritten Schaltkreisanordnung 99 mit Masse geschaltet.
Die dritte Schaltkreisanordnung 99 umfasst einen Messwiderstand 101 , der an Masse liegt und mit dem veränderlichen Widerstand 103 der zweiten Schaltkreisanordnung verbunden ist. Ein erster Operationsverstärker 106 greift an seinem nicht invertierenden Eingang die Spannung zwischen dem Messwiderstand 101 und dem veränderlichen Widerstand 103 ab und stellt an seinem invertierende Eingang des Operationsverstärkers 106 einen Nullpunkt 1 16 dar. Ein zweiter Operationsverstärker 107 korrigiert die am nicht invertierenden Eingang anliegende verstärkte Spannung des Messwiderstands 101 um die am invertierenden Eingang anliegende Spannungsänderung der Temperaturmessung 110, so dass an einem Messpunkt 108 ein temperaturkorrigierter Massenstrom ausgegeben wird.

Claims

ANSPRÜCHE
1. Sensorvorrichtung zur Bestimmung von in einem Gasstrom enthaltenen elektrisch leitenden und/oder elektrisch geladenen Partikeln, insbesondere Rußpartikeln im Abgasstrom eines Dieselmotors, umfassend zumindest zwei in dem Gasstrom anzuordnende Elektroden, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine der Elektroden (301 , 401 , 601 ) in dem im Gasstrom anzuordnenden Bereich vollständig in einen nichtleitenden Werkstoff (302, 402, 602) eingebettet ist.
2. Sensorvorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorvorrichtung eine Messeinheit um- fasst, die elektrisch mit den zumindest zwei Elektroden gekoppelt und ausgebildet ist, die Partikel über eine Messung der Veränderung eines kapaziti- ven Widerstands durch Ablagerung von Partikeln (303) auf der zumindest einen vollständig in einen nicht-leitenden Werkstoff (302, 402, 602) eingebetteten Elektrode (301 , 401 , 601 ) mittels Wechselstrom, insbesondere hö- herfrequentem Wechselstrom, zu bestimmen.
3. Sensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche oder dem Oberbegriff von Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine der Elektroden spulenförmig ausgebildet ist und die Messeinheit ausgebildet ist, die Partikel über eine Messung der Veränderung eines induktiven Widerstands durch Durchströ- men der zumindest einen Elektrode von dem Partikel enthaltenden Gasstrom zu bestimmen.
4. Sensorvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die zumindest eine vollständig in einen nicht- leitenden Werkstoff (602) eingebettete Elektrode (601 ) spulenförmig ausgebildet ist und die Messeinheit ausgebildet ist, die Partikel über eine Messung der Veränderung eines induktiven Widerstands durch Ablagerung von Parti- kein auf der zumindest einen vollständig in einen nicht-leitenden Werkstoff (602) eingebetteten Elektrode (601 ) zu bestimmen.
5. Sensorvorrichtung nach einem der drei vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Messeinheit ausgebildet ist, die Veränderung des kapazitiven bzw. induktiven Widerstands über eine Verschaltung in zumindest einer Messbrücke, insbesondere einer Wheatstone'schen Halboder Vollbrücke zu messen.
6. Sensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Heizregelungseinheit, die elektrisch oder thermisch mit den zumindest zwei Elektroden gekoppelt und ausgebildet ist, die Ablagerung von Partikeln (303) durch Aufheizen der Sensorvorrichtung, insbesondere auf eine die Partikel (303) thermisch zerstörende Temperatur, zumindest teilweise zu beseitigen.
7. Sensorvorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Heizregelungseinheit ausgebildet ist, das Aufheizen bei Erreichen eines vorgegebenen Wertes der Ablagerungsmen- ge, der Betriebsdauer oder der gemessenen Partikel zu initiieren.
8. Sensorvorrichtung nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine der mit der Heizregelungseinheit elektrisch oder thermisch gekoppelten Elektroden ausgebildet ist, um die Sensorvorrichtung aufzuheizen und/oder die Sensorvorrichtung eine mit der Heizregelungseinheit elektrisch gekoppelte, insbesondere mäanderför- mige, Widerstandsheizung (305) umfasst, die ausgebildet ist, die Sensorvorrichtung aufzuheizen.
9. Sensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorvorrichtung ausgebildet ist, die Partikel auch über eine Messung der Veränderung eines Ohm'schen Wider- Stands durch Ablagerung von Partikeln auf zumindest einer nicht vollständig in einen nicht-leitenden Werkstoff eingebetteten Elektrode zu bestimmen.
10. Sensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche oder dem Oberbegriff von Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass zumindest eine der Elektroden zumindest teilweise als Gitter (202), insbesondere als Flächengitter, ausgebildet ist.
11. Sensorvorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass das Gitter (202) aus zumindest einem Draht
(203), insbesondere zumindest einem Wolframdraht, ausgebildet ist.
12. Sensorvorrichtung nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Gitter (202) als Gewebe oder Geflecht ausgebildet ist.
13. Sensorvorrichtung nach einem der drei vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Gitter (202) in Längs- oder Querrichtung zur Strömungsrichtung des Gasstroms ausgerichtet ist.
14. Sensorvorrichtung zur Bestimmung eines Massenstroms eines Mediums, umfassend einen beheizbaren Temperatursensor, vorzugsweise einen Hitzdraht, der so angeordnet ist, dass er in dem Massenstrom platzierbar ist, - eine Regel- oder Steuereinheit, welche ausgebildet ist, den beheizbaren Temperatursensor, vorzugsweise den Hitzdraht, in einer ersten Messphase auf eine bestimmte Temperatur oberhalb der Temperatur des Massenstroms zu erhitzen und den Massenstrom zu ermitteln, vorzugsweise über Messung einer Spannung, die zur Aufrechterhaltung dieser bestimmten Temperatur des Hitzdrahts erforderlich ist, gekennzeichnet durch eine Messvorrichtung zum Ermitteln der Temperatur des Mediums in einer zweiten Messphase, vorzugsweise über eine Messung des Widerstands eines Hitzdrahts, insbesondere des Hitzdrahts, eine Steuereinheit, die ausgebildet ist, den beheizbaren Temperatur- sensor, vorzugsweise den Hitzdraht, in der ersten Messphase auf eine
Temperatur zu steuern, die von der in der zweiten Messphase bestimmten Temperatur des Mediums abhängig ist, und eine Korrektureinheit, die ausgebildet ist, den in der ersten Messphase ermittelten Massenstrom, vorzugsweise den aus der in der ersten Messphase gemessenen Spannung ermittelten Massenstrom, um einen von der in der zweiten Messphase ermittelten Temperatur, vorzugsweise von der aus dem in der zweiten Messphase gemessenen Widerstand des Hitzdrahts ermittelten Temperatur, abhangigen Wert zu korrigieren.
Sensorvorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuereinheit ausgebildet ist, die erste Messphase und die zweite Messphase alternierend durchzuführen
Sensorvorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorvorrichtung einen beheizbaren Temperatursensor, insbesondere einen ersten Hitzdraht (1 ), für die erste Messphase und einen Temperatursensor, insbesondere einen zweiten Hitzdraht (3), für die zweite Messphase umfasst und die Steuereinheit ausgebil- det ist, die erste Messphase und die zweite Messphase kontinuierlich parallel durchzufuhren
Sensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 14 bis 16, dadurch gekennzeichnet, dass der Hitzdraht zur Ermittlung der Temperatur mit einem konstanten Strom angesteuert wird (4).
Sensorvorrichtung nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der Hitzdraht zur Ermittlung der Temperatur mit einem so geringen konstanten Strom, insbesondere einem Strom von 5 bis 10 mA, angesteuert wird, dass die Temperatur des Hitzdrahts unter der Temperatur des Massenstroms liegt.
19. Sensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 14 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorvorrichtung Mittel (6) umfasst, die ausgebildet sind, die Temperatur des beheizbaren Temperatursensors, vorzugsweise des Hitzdrahts, zur Ermittlung des Massenstroms auf eine vorge- gebene, insbesondere konstante, Differenz zu der Temperatur des Mediums zu steuern.
20. Sensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 14 bis 19, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Hitzdraht aus einem Material mit möglichst konstantem Widerstandstemperaturkoeffizienten besteht.
21. Sensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 14 bis 20, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Hitzdraht aus einem Material mit möglichst hoher mechanischer Festigkeit besteht.
22. Sensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 14 bis 21 , dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorvorrichtung Mittel umfasst, die ausgebildet sind, zumindest einen Hitzdraht zumindest kurzzeitig auf eine Temperatur, durch welche am Hitzdraht abgelagerte Partikel thermisch zer- stört werden, aufzuheizen.
23. Schaltung zu Steuerung einer Sensorvorrichtung zur Bestimmung eines Massenstroms eines Mediums, wobei eine erste Schaltkreisanordnung (97) einen veränderlichen Widerstand (102) umfasst und am Temperaturmesspunkt (110) eine der Temperaturänderung des veränderlichen Widerstands (102) entsprechende Spannungsänderung anliegt, die über einen Leitungszweig an eine zweite Schaltkreisordnung (98) und eine dritte Schaltkreisanordnung (99) gefuhrt wird, die zweite Schaltkreisanordnung (98) einen weiteren veränderlichen Widerstand (103) umfasst, der auf eine von der vom Zuleitungszweig aus der ersten Schaltkreisanordnung (97) erhaltenen Spannungsande- rung abhangige Temperatur gesteuert wird, sowie die dritte Schaltkreisanordnung (99) einen Messwiderstand (101 ) umfasst und die an dem Messwiderstand (101 ) anliegende Spannung bzw die Spannungsanderung verstärkt wird, um die der Temperatur- anderung des veränderlichen Widerstands (102) entsprechende Spannungsanderung aus der ersten Schaltkreisanordnung (97) korrigiert und an einem Messpunkt (108) ausgegeben wird
Schaltung nach dem vorhergehenden Anspruch, wobei eine erste Schaltkreisanordnung (97) einen veränderlichen Widerstand
(102), der an Masse liegt und über die Widerstände (1 13) bis (1 15) mit einer positiven Spannungsquelle (1 13) verbunden ist und einen Operationsverstärker (104), der mit seinem nicht invertierenden Eingang die Spannung zwischen dem veränderlichen Widerstand (102) und dem Widerstand (1 14) abgreift und mit seinem invertierenden Eingang mit dem Widerstand (1 15) verbunden ist, umfasst und der Operationsverstärker (104) am Temperaturmesspunkt (1 10) eine der Temperaturan- derung des veränderlichen Widerstands (102) entsprechende Spannungsanderung ausgibt, die über einen Leitungszweig an eine zweite Schaltkreisordnung (98) und den invertierenden Eingang eines Operationsverstärkers (107) in einer dritten Schaltkreisanordnung (99) gefuhrt wird, die zweite Schaltkreisanordnung (98) einen weiteren veränderlichen Widerstand (103) umfasst, der über einen Widerstand (1 1 1 ) und ein gesteuertes Schaltelement (1 10) (pnp-Transistor) mit einer positiven
Spannungsquelle (109) verbunden ist, und über einen Operationsverstärker (105) und einen Widerstand (1 12) auf die vom Zuleitungszweig aus der ersten Schaltkreisanordnung (97) erhaltene Temperatur ge- steuert wird, wobei der Widerstand (112) zwischen den Zuleitungszweig von der positiven Spannungsquelle (109) über das gesteuerte Schaltelement (110) zum Widerstand (111 ) und die Verbindung zwischen einen Messwiderstand (101 ) in der dritten Schaltkreisanordnung (99) mit Masse geschaltet ist, sowie die dritte Schaltkreisanordnung (99) einen Messwiderstand (101 ), der an Masse liegt und mit dem veränderlichen Widerstand (103) der zweiten Schaltkreisanordnung verbunden ist, und einen ersten Operationsverstärker (106), der an seinem nicht invertierenden Eingang die Spannung zwischen dem Messwiderstand (101 ) und dem veränderlichen Widerstand (103) abgreift und an seinem invertierende Eingang des Operationsverstärkers (106) einen Nullpunkt (1 16) darstellt, sowie einen zweiten Operationsverstärker (107) umfasst, der die am nicht invertierenden Eingang anliegende verstärkte Spannung des Messwi- derstands (101 ) um die am invertierenden Eingang anliegende Spannungsänderung der Temperaturmessung (110) korrigiert, so dass an einem Messpunkt (108) ein temperaturkorrigierter Massenstrom ausgegeben wird.
25. Sensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 14 bis 22, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorvorrichtung eine Schaltung nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche umfasst.
26. Sensorvorrichtung zur Bestimmung von in einem Gasstrom enthaltenen elektrisch leitenden und/oder elektrisch geladenen Partikeln, insbesondere
Rußpartikeln im Abgasstrom eines Dieselmotors, insbesondere eine Sensorvorrichtung nach den vorhergehenden Ansprüchen 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Sensorvorrichtung eine weitere Sensorvorrichtung zur Bestimmung des Massenstroms des Gasstroms nach einem der vorhergehenden Ansprüche 14 bis 22, 25 umfasst.
27. Verwendung einer Sensorvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche 14 bis 22, 25 in Kombination mit einer weiteren Sensorvorrichtung zur Bestimmung von in einem Gasstrom enthaltenen elektrisch leitenden und/oder elektrisch geladenen Partikeln, insbesondere einer Sensorvor- richtung nach zumindest einem der Ansprüche 1 bis 13.
28. Verfahren zur Bestimmung von in einem Gasstrom enthaltenen elektrisch leitenden und/oder elektrisch geladenen Partikeln, insbesondere Rußpartikeln im Abgasstrom eines Dieselmotors, umfassend die Schritte: - Bereitstellen von zumindest zwei in dem Gasstrom anzuordnende E- lektroden,
- Bereitstellen einer elektrisch mit den zumindest zwei Elektroden gekoppelten Messeinheit, gekennzeichnet durch den Schritt: - Vollständiges Einbetten zumindest einer der Elektroden in dem im Gasstrom anzuordnenden Bereich in einen nicht-leitenden Werkstoff.
29. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, gekennzeichnet durch den Schritt: - Bestimmen der Partikel über eine Messung der Veränderung eines kapazitiven Widerstands durch Ablagerung von Partikeln auf der zumindest einen vollständig in einen nicht-leitenden Werkstoff eingebetteten Elektrode mittels Wechselstrom, insbesondere höherfrequentem Wechselstrom.
30. Verfahren nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche oder dem Oberbegriff von Anspruch 28, gekennzeichnet durch die Schritte:
- Spulenförmiges Ausbilden zumindest einer Elektrode, - Bestimmen der Partikel über eine Messung der Veränderung eines induktiven Widerstands durch Durchströmen der zumindest einen Elektrode von dem Partikel enthaltenden Gasstrom.
31. Verfahren nach Anspruch 29, gekennzeichnet durch die Schritte:
- Spulenförmiges Ausbilden der zumindest einen vollständig in einen nicht-leitenden Werkstoff eingebetteten Elektrode, - Bestimmen der Partikel über eine Messung der Veränderung eines induktiven Widerstands durch Ablagerung von Partikeln auf der zumindest einen vollständig in einen nicht-leitenden Werkstoff eingebetteten Elektrode.
32. Verfahren nach einem der drei vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch den Schritt:
- Messen der Veränderung des kapazitiven bzw. induktiven Widerstands über eine Verschaltung in zumindest einer Messbrücke, insbesondere einer Wheatstone'schen Halb- oder Vollbrücke.
33. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 28 bis 32, gekennzeichnet durch den Schritt:
- Bereitstellen einer Heizregelungseinheit, die elektrisch oder thermisch mit den zumindest zwei Elektroden gekoppelt ist, - Zumindest teilweises Beseitigen der Ablagerung von Partikeln durch
Aufheizen der Sensorvorrichtung, insbesondere auf eine die Partikel thermisch zerstörende Temperatur.
34. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, gekennzeichnet durch den Schritt:
- Aufheizen der Sensorvorrichtung bei Erreichen eines vorgegebenen Wertes der Ablagerungsmenge, der Betriebsdauer oder der gemessenen Partikel.
35. Verfahren nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch den Schritt: - Aufheizen der Sensorvorrichtung mittels zumindest einer der mit der
Heizregelungseinheit elektrisch oder thermisch gekoppelten Elektroden und/oder
- Bereitstellen einer mit der Heizregelungseinheit elektrisch gekoppelten, insbesondere mäanderförmigen, Widerstandsheizung und Aufheizen der Sensorvorrichtung mittels der Widerstandsheizung.
36. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 28 bis 35, gekennzeichnet durch den Schritt: - Bestimmen der Partikel auch über eine Messung der Veränderung eines
Ohm'schen Widerstands durch Ablagerung von Partikeln auf zumindest einer nicht vollständig in einen nicht-leitenden Werkstoff eingebetteten Elektrode.
37. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 28 bis 36 oder dem Oberbegriff von Anspruch 28, gekennzeichnet durch den Schritt:
Ausbilden zumindest einer der Elektroden zumindest teilweise als Gitter, insbesondere als Flächengitter.
38. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, gekennzeichnet durch den Schritt:
- Ausbilden des Gitters aus zumindest einem feinen Draht, insbesondere zumindest einem Wolframdraht.
39. Verfahren nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch den Schritt:
- Ausbilden des Gitters als Gewebe oder Geflecht.
40. Verfahren nach einem der drei vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch den Schritt:
- Ausrichten des Gitters in Längs- oder Querrichtung zum Gasstrom.
1 . Verfahren zur Bestimmung eines Massenstroms eines Mediums, umfassend die Schritte:
Bereitstellen eines beheizbaren Temperatursensors, vorzugsweise eines Hitzdrahts, der in dem Massenstrom platzierbar ist, - Erhitzen des beheizbaren Temperatursensors, vorzugsweise des Hitzdrahts, in einer ersten Messphase auf eine bestimmte Temperatur o- berhalb der Temperatur des Massenstroms und Ermitteln des Massenstroms mittels einer Regel- oder Steuereinheit, vorzugsweise über Messen einer Spannung, die zur Aufrechterhaltung dieser bestimmten Temperatur des Hitzdrahts erforderlich ist, , gekennzeichnet durch die Schritte:
Ermitteln der Temperatur des Mediums in einer zweiten Messphase mittels einer Messvorrichtung, vorzugsweise über Bestimmen des Widerstands eines Hitzdrahts, insbesondere des Hitzdrahts, - Steuern des beheizbaren Temperatursensors, vorzugsweise des Hitzdrahts in der ersten Messphase auf eine Temperatur, die von der in der zweiten Messphase ermittelten Temperatur des Mediums abhängig ist, mittels einer Steuereinheit, und Korrigieren des in der ersten Messphase ermittelten Massenstroms, vorzugsweise des der in der ersten Messphase gemessenen Spannung ermittelten Massenstroms, um einen von der in der zweiten Messphase ermittelten Temperatur des Mediums, insbesondere von der aus dem in der zweiten Messphase gemessenen Widerstand des Hitzdrahts ermittelten Temperatur des Mediums, abhängigen Wert mit- tels einer Korrektureinheit.
42. Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, gekennzeichnet durch den Schritt:
Alternierendes Durchführen der ersten Messphase und der zweiten Messphase mittels der Steuereinheit.
43. Verfahren nach Anspruch 41 , gekennzeichnet durch die Schritte: Bereitstellen eines beheizbaren Temperatursensors, vorzugsweise eines ersten Hitzdrahts, für die erste Messphase und eines Temperatursensors, vorzugsweise eines zweiten Hitzdrahts, für die zweite Messphase, - Durchführen der ersten Messphase und der zweiten Messphase kontinuierlich parallel mittels der Steuereinheit.
44 Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche 41 bis 43, gekennzeichnet durch den Schritt' - Ansteuern des Hitzdrahts zur Ermittlung der Temperatur mit einem konstanten Strom.
45 Verfahren nach dem vorhergehenden Anspruch, gekennzeichnet durch den Schritt: - Ansteuern des Hitzdrahts zur Ermittlung der Temperatur mit einem so geringen konstanten Strom, insbesondere einem Strom von 5 bis 10 mA, dass die Temperatur des Hitzdrahts unter der Temperatur des Massenstroms liegt.
46 Verfahren nach einem der Ansprüche 41 bis 45, gekennzeichnet durch den Schritt.
Steuern der Temperatur des Temperatursensors, vorzugsweise des Hitzdrahts, zur Bestimmung des Massenstroms auf eine vorgegebene, insbesondere konstante, Differenz zu der Temperatur des Mediums
47. Verfahren nach einem der Ansprüche 41 bis 46, gekennzeichnet durch den Schritt:
Bereitstellen zumindest eines Hitzdrahts aus einem Material mit möglichst konstantem Widerstandstemperaturkoeffizienten
48 Verfahren nach einem der Ansprüche 41 bis 47, gekennzeichnet durch den Schritt: Bereitstellen zumindest eines Hitzdrahts aus einem Material mit möglichst hoher mechanischer Festigkeit.
49. Verfahren nach einem der Ansprüche 41 bis 48, gekennzeichnet durch den Schritt: zumindest kurzzeitiges Aufheizen zumindest eines Hitzdrahts auf eine Temperatur, durch welche am Hitzdraht abgelagerte Partikel thermisch zerstört werden.
50. Verfahren zur Bestimmung von in einem Gasstrom enthaltenen elektrisch leitenden und/oder elektrisch geladenen Partikeln, insbesondere ein Verfahren nach einem der Ansprüche 28 bis 40, dadurch gekennzeichnet, dass das Verfahren die Schritte nach einem der Ansprüche 41 bis 49 umfasst.
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