EP1764778A2 - Verfahren zur Herstellung eines Ultraschallsensors sowie Ultraschallsensor - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines Ultraschallsensors sowie Ultraschallsensor Download PDF

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EP1764778A2
EP1764778A2 EP06014432A EP06014432A EP1764778A2 EP 1764778 A2 EP1764778 A2 EP 1764778A2 EP 06014432 A EP06014432 A EP 06014432A EP 06014432 A EP06014432 A EP 06014432A EP 1764778 A2 EP1764778 A2 EP 1764778A2
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EP
European Patent Office
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membrane
metallic coating
ultrasonic sensor
housing
decoupling
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Withdrawn
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EP06014432A
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English (en)
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Inventor
Wilhelm Korthals
Stefan-Robert Müller
Jürgen HÖNLE
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Valeo Schalter und Sensoren GmbH
Original Assignee
Valeo Schalter und Sensoren GmbH
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K9/00—Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers
    • G10K9/12—Devices in which sound is produced by vibrating a diaphragm or analogous element, e.g. fog horns, vehicle hooters or buzzers electrically operated
    • G—PHYSICS
    • G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
    • G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
    • G10K11/004—Mounting transducers, e.g. provided with mechanical moving or orienting device

Definitions

  • the invention relates to a method for producing an ultrasonic sensor, comprising a membrane and a decoupling element to be arranged on the membrane.
  • ultrasonic sensors are used, for example, in proximity detection systems of motor vehicles.
  • An initially mentioned ultrasonic sensor is for example from the DE 101 25 272 A1 known.
  • the one mentioned there Decoupling medium is used to decouple the membrane of surrounding components vibrationally.
  • decoupling of the membrane from a housing of the ultrasound sensor can take place and / or from a bumper in which the ultrasound sensor is arranged.
  • ultrasonic sensors in close-range detection systems of motor vehicles has many technical advantages. However, it is desirable for optical reasons that the ultrasonic sensors fit as inconspicuously as possible in the overall appearance of a motor vehicle.
  • the present invention has the object to provide a method for producing an ultrasonic sensor, which makes it possible to integrate an ultrasonic sensor as inconspicuous as possible in its installation environment.
  • This object is achieved in that in the assembled state of membrane and decoupling medium whose surfaces are at least partially provided with a metallic coating.
  • this has the advantage that not only the membrane itself but also the surfaces of the decoupling element visible to a viewer are optically adapted to the installation environment of the ultrasound sensor.
  • a surface portion of the decoupling medium that is color-contrasting from the membrane does not remain.
  • the number of manufacturing steps can be reduced if the order of the metallic coating in the assembled state of membrane and decoupling medium takes place.
  • the application of the metallic coating takes place when the membrane and the decoupling element are mounted in a housing of the ultrasound sensor, so that the decoupling element is arranged between the housing and the membrane.
  • This makes it possible to initially mount an ultrasonic sensor in order to then either supply it to an application in which a metallic coating is not desired or not required or to then provide it with a metallic coating.
  • surface portions of the housing can be at least partially provided with this metallic coating. This ensures on the one hand that even with larger gaps between the ultrasonic sensor and the installation environment of the ultrasonic sensor all visible surface portions are uniformly provided with the metallic coating.
  • a particularly advantageous embodiment of the invention provides that the metallic coating is applied by means of the PVD method.
  • PVD stands for Physical Vapor Deposition.
  • coating material in solid form is introduced into a vacuum coating chamber.
  • the coating material is locally evaporated so that this evaporated material can settle on a substrate to be coated.
  • an ultrasonic sensor can be produced which has an optically perfect metallic coating.
  • the PVD method has the advantage over the previously used for the chrome plating of the membrane galvanic process that even an already fully assembled ultrasonic sensor can be coated, since the PVD process is a "dry" process, which allows the use of to dispense with galvanic baths.
  • the PVD process is environmentally friendly due to the already mentioned waiver of galvanic baths.
  • the use of the sputtering method has proved to be particularly advantageous.
  • the evaporation of the coating material takes place in the vacuum chamber in that the coating material is bombarded with ions.
  • noble gas ions for example argon ions, are advantageously used for this purpose.
  • atoms disposed in the surface layers of the coating material may be dissolved out so that they can settle on the membrane and the decoupling medium.
  • a first paint layer is applied to surface portions of the membrane and / or the decoupling medium and / or the housing prior to application of the metallic coating.
  • a first lacquer layer With such a first lacquer layer, a surface can be created on which the subsequently applied metallic coating is good liable.
  • a suitable composition of the material of the first lacquer layer By means of a suitable composition of the material of the first lacquer layer, a high-gloss effect can also be achieved.
  • the lacquer layer is so thick that unevenness in the surface portions of the membrane and / or the decoupling medium and / or the housing can be compensated.
  • a planar carrier surface can be provided for the subsequent application of the metallic coating.
  • a development of the invention provides that an outer lacquer layer is applied to the metallic coating.
  • the metallic coating can be protected, in particular with regard to corrosion and wear.
  • the corrosion protection is particularly important with regard to aggressive media such as road salt of importance.
  • a wear protection is desirable especially in a front-side installation of an ultrasonic sensor in a motor vehicle in order to avoid damage by stone chipping.
  • the outer lacquer layer may at least partially contain clear lacquer, by means of which a high-gloss surface is simultaneously produced and the metallic coating is protected against mechanical influences.
  • the invention also relates to an ultrasonic sensor.
  • an ultrasonic sensor is designated overall by the reference numeral 2.
  • This has a housing 4, which has a lateral electrical connection region 6 and a cup-shaped receiving region 8.
  • a circular membrane 10 is arranged in the receiving area 8 .
  • the decoupling element 12 is made of an elastic material.
  • the decoupling element 12 has, adjacent to the membrane 10, an end-side annular body 14, to which an approximately cylindrical wall 16 connects in the direction of the receiving area 8. At this wall 16 in turn is followed by a base portion 18 which is received in the receiving area 8 of the housing 4.
  • the components described form surfaces that are visible to a viewer in the installation situation of the ultrasonic sensor 2.
  • This is, for example, a circular surface 20 of the membrane 10.
  • This is also an annular surface 22 which is associated with the front-side annular body 14 of the decoupling element 12. With a generous gap between the ultrasonic sensor and the installation environment, a part of the cylindrical wall 16 or its associated surface 24 is also visible.
  • the base region 18 of the decoupling element 12 has a surface 26 which is arranged parallel to the circular surface 20 of the membrane 10.
  • the housing 4 has a total of 28 designated surface portions. The surface portions 28 are limited at the level of the connection region 6 by uneven boundaries 30 and 32.
  • the surfaces 20, 22, 24, 26 and 28 have a layer structure which is shown in FIG.
  • the membrane 10 is exemplified as a carrier.
  • the layer structure of the decoupling element 12 or of sections of the housing 4 is identical.
  • a first lacquer layer 34 is applied to the membrane. This serves to compensate for unevenness of the carrier material, that is, for example, the membrane 10, the decoupling element 12 or the housing 4.
  • a metallic coating 36 is applied. This is applied advantageously by means of the sputtering method.
  • an outer lacquer layer 38 which contains clearcoat constituents and protects the metallic coating 36 against corrosive and mechanical influences, is arranged on the metallic coating 36.
  • This order can be subject to generous tolerances. It can thus be seen that the metallic coating 36 is unevenly delimited in the region of the connection region 6 of the housing 4 (see limitations 30 and 32). However, since this area remains invisible to a viewer in the installation situation of the ultrasonic sensor 2, it is not necessary to provide this area with the layer structure according to FIG. 2 throughout.

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Ultraschallsensors (2), mit einer Membrane (10) und mit einem an der Membrane (10) anzuordnenden Entkopplungselement (12), wobei im montierten Zustand von Membrane (10) und Entkopplungsmedium (12) deren Oberflächen (20, 22, 24, 26) zumindest abschnittsweise mit einer metallischen Beschichtung (36) versehen werden.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Ultraschallsensors, mit einer Membrane und mit einem an der Membrane anzuordnenden Entkopplungselement. Derartige Ultraschallsensoren finden beispielsweise bei Nahbereichserkennungssystemen von Kraftfahrzeugen Verwendung.
  • Ein eingangs genannter Ultraschallsensor ist beispielsweise aus der DE 101 25 272 A1 bekannt. Das dort genannte Entkopplungsmedium dient dazu, die Membrane von umliegenden Bauteilen schwingungstechnisch zu entkoppeln. So kann mit dem Entkopplungselement eine Entkopplung der Membrane von einem Gehäuse des Ultraschallsensors erfolgen und/oder von einem Stoßfänger, in dem der Ultraschallsensor angeordnet ist.
  • Der Einsatz von Ultraschallsensoren in Nahbereichserkennungssystemen von Kraftfahrzeugen hat viele technische Vorteile. Es ist jedoch aus optischen Gründen erwünscht, dass die Ultraschallsensoren sich so unauffällig wie möglich in das Gesamtbild eines Kraftfahrzeuges einpassen.
  • Hiervon ausgehend wurde vorgeschlagen, die in Einbausituation sichtbaren Oberflächen der Membrane galvanisch zu verchromen. Anschließend wird die solchermaßen verchromte Membrane in das Gehäuse eines Ultraschallsensors eingesetzt. Mit einem solchen Ultraschallsensor kann die optische Integration im Bereich einer verchromten Stoßstange eines Kraftfahrzeugs verbessert werden. Jedoch ist mit dem bekannten Ultraschallsensor eine perfekte optische Integration in die Einbauumgebung noch nicht ermöglicht.
  • Hiervon ausgehend liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung eines Ultraschallsensors bereitzustellen, das es ermöglicht, einen Ultraschallsensor möglichst unauffällig in seine Einbauumgebung integrieren zu können.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass im montierten Zustand von Membrane und Entkopplungsmedium deren Oberflächen zumindest abschnittsweise mit einer metallischen Beschichtung versehen werden. Dies hat einerseits den Vorteil, dass nicht nur die Membrane selbst, sondern auch die für einen Betrachter sichtbaren Oberflächen des Entkopplungselements optisch an die Einbauumgebung des Ultraschallsensors angepasst wird. Somit verbleibt nicht, wie bei dem aus dem Stand der Technik bekannten Sensor, ein sich farblich von der Membrane abhebender Oberflächenabschnitt des Entkopplungsmediums.
  • Dadurch, dass das Aufbringen der metallischen Beschichtung im montierten Zustand von Membrane und Entkopplungsmedium erfolgt, kann eine durchgängige metallische Beschichtung erzeugt werden, so dass für einen Betrachter der Eindruck entsteht, dass Membrane und Entkopplungsmedium miteinander einstückig ausgebildet sind.
  • Darüber hinaus kann die Anzahl von Fertigungsschritten reduziert werden, wenn der Auftrag der metallischen Beschichtung im montierten Zustand von Membrane und Entkopplungsmedium erfolgt.
  • Besonders vorteilhaft ist es, wenn der Auftrag der metallischen Beschichtung erfolgt, wenn die Membrane und das Entkopplungselement in einem Gehäuse des Ultraschallsensors montiert sind, so dass das Entkopplungselement zwischen Gehäuse und Membrane angeordnet ist. Dies erlaubt es, einen Ultraschallsensor zunächst fertig zu montieren, um ihn dann entweder einer Anwendung zuzuführen, in der eine metallische Beschichtung nicht gewünscht oder nicht erforderlich ist oder um ihn dann mit einer metallischen Beschichtung zu versehen. Dabei können auch Oberflächenabschnitte des Gehäuses zumindest abschnittsweise mit dieser metallischen Beschichtung versehen werden. Hierdurch ist einerseits gewährleistet, dass auch bei größeren Spaltmaßen zwischen dem Ultraschallsensor und der Einbauumgebung des Ultraschallsensors alle sichtbaren Oberflächenabschnitte gleichförmig mit der metallischen Beschichtung versehen sind. Dies hat auch den Vorteil, dass der Auftrag der metallischen Beschichtung nicht mit engen Toleranzen behaftet lokal nur auf die Membrane und das Entkopplungsmedium beziehungsweise deren sichtbare Oberflächen erfolgen muss. Vielmehr können auch angrenzende Gehäuseabschnitte des Ultraschallsensors ebenfalls mit der metallischen Beschichtung versehen werden, wodurch das Auftragen der metallischen Beschichtung mit großzügigen Toleranzen behaftet sein kann.
  • Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die metallische Beschichtung mit Hilfe des PVD-Verfahrens aufgetragen wird. PVD steht für Physical Vapour Deposition. Bei diesem Verfahren wird Beschichtungsmaterial in fester Form in eine unter Vakuum stehende Beschichtungskammer eingebracht. Das Beschichtungsmaterial wird lokal verdampft, so dass sich dieses verdampfte Material auf einem zu beschichtenden Substrat absetzen kann.
  • Auf diese Weise kann ein Ultraschallsensor hergestellt werden, der eine optisch perfekte metallische Beschichtung aufweist. Das PVD-Verfahren hat gegenüber dem bisher für die Verchromung der Membrane verwendeten galvanischen Verfahren den Vorteil, dass auch ein bereits vollständig montierter Ultraschallsensor beschichtet werden kann, da das PVD-Verfahren ein "trockenes" Verfahren ist, das es ermöglicht, auf den Einsatz von galvanischen Bädern verzichten zu können.
  • Weiterhin kann gezielt auf die Farbe der metallischen Beschichtung Einfluss genommen werden, indem das Beschichtungsmaterial entsprechend ausgewählt wird. Dabei ist es auch möglich, Mischungen von Metallen zu verwenden. Ferner ist das PVD-Verfahren aufgrund des bereits erwähnten Verzichts auf galvanische Bäder umweltfreundlich.
  • Als besonders vorteilhaft hat sich der Einsatz des Sputter-Verfahrens erwiesen. Bei diesem Verfahren erfolgt das Verdampfen des Beschichtungsmaterials in der Vakuumkammer dadurch, dass das Beschichtungsmaterial mit Ionen beschossen wird. Um Oxidationseffekte zu vermeiden, werden hierfür in vorteilhafter Weise Edelgasionen, beispielsweise Argonionen, eingesetzt. Beim Auftreffen der Ionen auf das Beschichtungsmaterial können Atome, die in den Oberflächenschichten des Beschichtungsmaterials angeordnet sind, herausgelöst werden, so dass diese sich auf der Membrane und dem Entkopplungsmedium absetzen können.
  • Nach einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung wird vor Auftrag der metallischen Beschichtung eine erste Lackschicht auf Oberflächenabschnitte der Membrane und/oder des Entkopplungsmediums und/oder des Gehäuses aufgetragen. Mit einer solchen ersten Lackschicht kann eine Oberfläche geschaffen werden, auf der die anschließend aufzutragende metallische Beschichtung gut haftet. Durch eine geeignete Zusammensetzung des Materials der ersten Lackschicht kann auch ein Hochglanzeffekt erreicht werden.
  • In vorteilhafter Weise ist die Lackschicht so dick, dass Unebenheiten in den Oberflächenabschnitten der Membrane und/oder des Entkopplungsmediums und/oder des Gehäuses ausgeglichen werden können. Hierdurch kann für den nachfolgenden Auftrag der metallischen Beschichtung eine ebene Trägerfläche vorgesehen sein.
  • Eine Weiterbildung der Erfindung sieht vor, dass auf die metallische Beschichtung eine äußere Lackschicht aufgetragen wird. Mit einer solchen äußeren Lackschicht kann die metallische Beschichtung geschützt werden, insbesondere im Hinblick auf Korrosion und Verschleiß. Der Korrosionsschutz ist insbesondere im Hinblick auf aggressive Medien wie Streusalz von Bedeutung. Ein Verschleißschutz ist vor allem bei einem frontseitigen Einbau eines Ultraschallsensors in ein Kraftfahrzeug wünschenswert, um Schäden durch Steinschlag zu vermeiden.
  • Die äußere Lackschicht kann zumindest anteilig Klarlack enthalten, durch den gleichzeitig eine hoch glänzende Oberfläche erzeugt wird und die metallische Beschichtung vor mechanischen Einflüssen geschützt wird.
  • Die Erfindung betrifft auch einen Ultraschallsensor.
  • Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen und Einzelheiten der Erfindung sind der folgenden Beschreibung zu entnehmen, in der die Erfindung anhand des in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher beschrieben und erläutert ist.
  • Es zeigen:
    • Figur 1
    eine perspektivische Ansicht eines in erfindungsgemäßer Weise hergestellten Ultraschallsensors; und
    Figur 2
    eine schematische Ansicht des bei dem Ultraschallsensor gemäß Figur 1 verwendeten Schichtaufbaus.
  • In Figur 1 ist ein Ultraschallsensor insgesamt mit dem Bezugszeichen 2 bezeichnet. Dieser weist ein Gehäuse 4 auf, das einen seitlichen elektrischen Anschlussbereich 6 sowie einen topfförmigen Aufnahmebereich 8 aufweist. Im Aufnahmebereich 8 ist eine kreisrunde Membrane 10 angeordnet. Zwischen dem Aufnahmebereich 8 des Gehäuses 4 und der Membrane 10 ist ein insgesamt ringförmiges Entkopplungselement 12 vorgesehen. Das Entkopplungselement 12 besteht aus einem elastischen Material. Das Entkopplungselement 12 weist, benachbart zur Membrane 10, einen stirnseitigen Ringkörper 14 auf, an den sich in Richtung auf den Aufnahmebereich 8 eine in etwa zylindrische Wandung 16 anschließt. An diese Wandung 16 wiederum schließt sich ein Sockelbereich 18 an, der in dem Aufnahmebereich 8 des Gehäuses 4 aufgenommen ist.
  • Die beschriebenen Bauteile bilden Oberflächen aus, die für einen Betrachter in Einbausituation des Ultraschallsensors 2 sichtbar sind. Dies ist zum Beispiel eine kreisförmige Oberfläche 20 der Membrane 10. Dies ist außerdem eine ringförmig Oberfläche 22, die dem stirnseitigen Ringkörper 14 des Entkopplungselements 12 zugeordnet ist. Bei einem großzügigen Spaltmaß zwischen dem Ultraschallsensor und der Einbauumgebung ist auch ein Teil der zylindrischen Wandung 16 beziehungsweise dessen zugeordnete Oberfläche 24 sichtbar.
  • Ferner weist der Sockelbereich 18 des Entkopplungselements 12 eine Oberfläche 26 auf, die parallel zur kreisförmigen Oberfläche 20 der Membrane 10 angeordnet ist. Schließlich weist das Gehäuse 4 insgesamt mit 28 bezeichnete Oberflächenabschnitte auf. Die Oberflächenabschnitte 28 sind auf Höhe des Anschlussbereichs 6 durch ungleichmäßige Begrenzungen 30 und 32 begrenzt.
  • Die Oberflächen 20, 22, 24, 26 und 28 weisen einen Schichtaufbau auf, der in Figur 2 dargestellt ist. Dort ist als Träger beispielhaft die Membrane 10 dargestellt. Der Schichtaufbau des Entkopplungselements 12 beziehungsweise von Abschnitten des Gehäuses 4 ist jedoch identisch. Gemäß Figur 2 ist auf der Membrane eine erste Lackschicht 34 aufgetragen. Diese dient zum Ausgleich von Unebenheiten des Trägermaterials, also beispielsweise der Membrane 10, des Entkopplungselements 12 oder des Gehäuses 4. Auf diese erste Lackschicht 34 ist eine metallische Beschichtung 36 aufgebracht. Diese ist in vorteilhafter Weise mit Hilfe des Sputter-Verfahrens aufgetragen.
  • Schließlich ist auf der metallischen Beschichtung 36 eine äußere Lackschicht 38 angeordnet, die Klarlackbestandteile enthält und die metallische Beschichtung 36 vor korrosiven und mechanischen Einflüssen schützt.
  • Es versteht sich, dass der in Figur 2 dargestellte Schichtaufbau nicht maßstäblich dargestellt ist. Der in Figur 1 dargestellte Ultraschallsensor 2, der das Gehäuse 4, die Membrane 10 sowie das Entkopplungselement 12 aufweist, kann in einem fertig montierten Zustand sowohl mit der ersten Lackschicht 34, als auch mit der metallischen Beschichtung 36, als auch mit der äußeren Lackschicht 38 versehen werden. Dieser Auftrag kann mit großzügigen Toleranzen behaftet sein. Hieraus kann sich ergeben, dass die metallische Beschichtung 36 im Bereich des Anschlussbereichs 6 des Gehäuses 4 ungleichmäßig begrenzt ist (vergleiche Begrenzungen 30 und 32). Da dieser Bereich in Einbausituation des Ultraschallsensors 2 jedoch für einen Betrachter unsichtbar bleibt, ist es nicht erforderlich, diesen Bereich durchgängig mit dem Schichtaufbau gemäß Figur 2 zu versehen.

Claims (10)

  1. Verfahren zur Herstellung eines Ultraschallsensors (2), mit einer Membrane (10) und mit einem an der Membrane (10) anzuordnenden Entkopplungselement (12), dadurch gekennzeichnet, dass im montierten Zustand von Membrane (10) und Entkopplungsmedium (12) deren Oberflächen (20, 22, 24, 26) zumindest abschnittsweise mit einer metallischen Beschichtung (36) versehen werden.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Auftrag der metallischen Beschichtung (36) erfolgt, wenn die Membrane (10) und das Entkopplungselement (12) in einem Gehäuse (4) des Ultraschallsensors (2) montiert sind, so dass das Entkopplungselement (12) zwischen Gehäuse (4) und Membrane (10) angeordnet ist.
  3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass Oberflächenabschnitte (28) des Gehäuses (4) zumindest abschnittsweise mit der metallischen Beschichtung (36) versehen werden.
  4. Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass die metallische Beschichtung (36) mit Hilfe des PVD- (Physical Vapour Deposition) Verfahrens aufgetragen wird.
  5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die metallische Beschichtung (36) mit Hilfe des Spütter-Verfahrens aufgetragen wird.
  6. Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass vor Auftrag der metallischen Beschichtung (36) eine erste Lackschicht (34) auf Oberflächenabschnitte (20 - 28) der Membrane (10) und/oder des Entkopplungsmediums (12) und/oder des Gehäuses (4) aufgetragen wird.
  7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Lackschicht (34) so dick ist, dass Unebenheiten in den Oberflächenabschnitten (20 - 28) der Membrane (10) und/oder des Entkopplungsmediums (12) und/oder des Gehäuses (4) ausgeglichen werden können.
  8. Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf die metallische Beschichtung (36) eine äußere Lackschicht (38) aufgetragen wird.
  9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die äußere Lackschicht (38) zumindest anteilig Klarlack enthält.
  10. Ultraschallsensor (2), mit einem Gehäuse (4), einer Membrane (10) und einem zwischen dem Gehäuse (4) und der Membrane (10) angeordneten Entkopplungselement (12), hergestellt nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
EP06014432A 2005-09-16 2006-07-12 Verfahren zur Herstellung eines Ultraschallsensors sowie Ultraschallsensor Withdrawn EP1764778A3 (de)

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