EP1714328A2 - Piezoaktor und ein verfahren zu dessen herstellung - Google Patents

Piezoaktor und ein verfahren zu dessen herstellung

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EP1714328A2
EP1714328A2 EP04802790A EP04802790A EP1714328A2 EP 1714328 A2 EP1714328 A2 EP 1714328A2 EP 04802790 A EP04802790 A EP 04802790A EP 04802790 A EP04802790 A EP 04802790A EP 1714328 A2 EP1714328 A2 EP 1714328A2
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EP
European Patent Office
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individual wires
molded part
piezo actuator
electrodes
contacted
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Withdrawn
Application number
EP04802790A
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English (en)
French (fr)
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Axel Endriss
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Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
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Publication date
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Withdrawn legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/87—Electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/872—Interconnections, e.g. connection electrodes of multilayer piezoelectric or electrostrictive devices
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01—Manufacture or treatment
    • H10N30/06—Forming electrodes or interconnections, e.g. leads or terminals
    • H10N30/063—Forming interconnections, e.g. connection electrodes of multilayered piezoelectric or electrostrictive parts

Definitions

  • the invention relates to a piezo actuator and a method for its production, for example for actuating a mechanical component such as a valve or the like, according to the generic features of the main claim.
  • a piezo element can be constructed from a material with a suitable crystal structure.
  • an external electrical voltage is applied, there is a mechanical reaction of the piezo element which, depending on the crystal structure and the contact areas of the electrical voltage, represents a push or pull in a predeterminable direction.
  • Piezo actuators of this type can be provided, for example, for driving switching valves in fuel injection systems in motor vehicles.
  • This known piezo actuator is constructed here in several layers (multilayer actuator). Roden, via which the electrical voltage is applied, are each arranged between the layers and alternately emerge at different locations, mostly opposite, where they are electrically connected to one another by an external contact. In addition to the conductive connection to the inner electrodes, this contacting layer serves as the outer electrode for the actual electrical contact to the outside, in the simplest case, for example, for soldering a connecting wire.
  • the inner electrodes contacted on one side are generally integrated into the layer structure in the manner of a comb, the inner electrodes which follow one another in the direction of the layer structure must, as mentioned, be contacted alternately on opposite sides.
  • the piezo actuator is actuated, i.e.
  • an electrical voltage is applied between the inner electrodes lying opposite one another in the layer structure, different mechanical forces occur in the area of the inner electrodes and in the area of the contacts on the outer electrodes, which lead to mechanical stresses and thus to cracks in the outer electrodes and thus can interrupt the electrical connection.
  • the outer electrodes must therefore in turn be provided with additional electrodes in order to achieve the required expansion tolerance, which usually also have to withstand mechanical stresses.
  • a so-called basic metallization consisting of a baking paste containing metal and glass frit, is often used as the contacting variant for the external electrodes.
  • Such pastes are notable for good adhesion to piezoceramics on the one hand, and for good electrical conductivity on the other.
  • the required elongation tolerance is achieved with them alone - However, this is generally not achieved, which is why safe continuous operation is not possible, especially in the case of dynamic operation.
  • an additional layer that is as tolerant to stretch as possible is applied. This should also bridge electrically conductive if the base metallization layer underneath is interrupted by cracks, ie it must act to bridge the cracks.
  • Variants with which this can be accomplished are e.g. several soldered individual wires, a soldered sieve, a metal mesh, a metal foam, a wire helix or another strain-tolerant electrically conductive construction.
  • the mechanically strong and electrically conductive connection can also be produced by gluing, for example with an electrically conductive polymer or conductive adhesive, or by welding, for example resistance welding on the base metallization.
  • a disadvantage of the variants mentioned is often a high manufacturing effort, e.g. individually soldered individual wires or an inadequate reliability, such as soldered wavy metal strips.
  • the electrical connection is the problem. Either an element that can be contacted subsequently, for example a metal mesh inserted therein, must also be inserted, or the contact must be connected to the polymer before it cures.
  • the piezo actuator described at the outset with a multilayer structure of piezo layers and internal electrodes arranged between them and a mutual lateral contacting of the internal electrodes via external electrodes, via which can be supplied with an electrical voltage, is advantageously designed such that the outer electrodes each consist of a molded part and individual wires.
  • the individual wires running parallel to the layers are contacted with the respective internal electrodes and the individual wires between the contact and the molded part and / or regions of the molded part form a zone that can be subjected to strain.
  • the molded part is a screen fabric, in which the extensions of the fabric parts running in the layer direction represent the individual wires.
  • the molded part can also be a metal surface to which the individual wires are attached.
  • the molded part and the individual wires are punched out in strip form from a metal strip and this strip is first wound up.
  • the individual wires are positioned over the inner electrodes to be contacted and contacted with them by soldering or welding.
  • an electrically conductive polymer can be applied to the areas of the internal electrodes to be contacted by means of a screen printing process and the individual wires can then be pressed in here.
  • the strip is cut off using a suitable punching tool.
  • the molded part can be folded down onto the contacted side of the piezo actuator in a simple manner, and the electrical contact can then be made with the outer electrode on the folded-down molded part. It is also possible for contact pins to be applied to the molded part before the tape with the pre-punched molded parts is introduced into the production device.
  • FIG. 1 shows a view of a piezo actuator with a multilayer structure of layers made of piezoceramic and internal electrodes as well as contacting with individual wires and an attached molded part made of a sieve fabric
  • FIG. 2 shows a view of the piezo actuator according to FIG. 1 with a molded part folded down
  • FIG. 3 shows an exemplary embodiment 4 shows another exemplary embodiment of an outer electrode prefabricated in tape form with a molded part made of a sieve fabric
  • FIG. 4 shows another exemplary embodiment of an outer electrode prefabricated in tape form with a molded part made of a metal sheet
  • a piezo actuator 1 is shown, which is constructed in a manner known per se as a layer structure from piezo foils of a ceramic material with a suitable crystal structure, so that using the so-called piezo effect when an external electrical voltage is applied to internal electrodes 2 and 3, each via a here visible outer electrode 4 for the inner electrodes 2 and an invisible outer electrode for contacting the inner electrodes 3, a mechanical reaction of the piezo actuator 1 takes place in the direction of the layer structure.
  • the outer electrode 4 shown by way of example here consists of a metallic fabric strip with a periodically strongly fluctuating mesh size, so that a molded part 5 is formed and only individual wires 6 come to lie on the piezo actuator 1. According to this view, the internal electrodes 2 are thus contacted only by individual individual wires 6 running parallel to the layers of the internal electrodes 2.
  • the electrically conductive connection of the individual wires 6 to the inner electrodes 2 of the piezo actuator 1 is preferably carried out by soldering, for example by ironing or thermode soldering, with the aid of a soldering foil or baking paste 7 or alternatively via a conductive polymer 7 into which the individual wires 6 can be pressed ,
  • soldering for example by ironing or thermode soldering
  • a soldering foil or baking paste 7 or alternatively via a conductive polymer 7 into which the individual wires 6 can be pressed
  • FIGS. 3 to 5 Possible production methods for the piezo actuator according to the invention are to be explained with reference to FIGS. 3 to 5.
  • the material for the production of the molded part 5 and the individual wires 6 can be wound out in a strip shape and punched out on a strip 10.
  • FIG. 3 shows a continuous screen fabric with different mesh sizes
  • FIG. 4 shows an embodiment with a flat molded part 5 made of metal, to which contact pins 13 are already attached.
  • the band 10 is unwound in a manufacturing device according to FIG. 5 and positioned tensioned on or above the piezo actuator 1.
  • a solder foil 7 can then be fed in automatically and the individual wires 6 can be held down as a wire harp, for example by means of a thermode tool 11, and soldered to the internal electrodes 2.
  • Softbeam soldering or resistance welding is also possible here.
  • the surface of the piezo actuator 1 can also be galvanically metallized.
  • the individual wires 6 can be made of Invar (FeNi36), for example.
  • the individual wires 6 are then cut, for example by means of a cutter 12 integrated into the thermode tool 11 according to FIG. 5, and a new piezo actuator can then be contacted.
  • the protruding molded part 5 is now folded over and folded over onto the piezo actuator 1, but this is not the case here illustrated folding tool is ideally integrated with the manufacturing device.
  • the final contacting of the outer electrode 4 thus formed then takes place on the folded-over molded part, for example by resistance welding.

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

Es wird ein Piezoaktor (1) mit einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen und dazwischen angeordneten Innenelektroden (2,3) und einer wechselseitigen seitlichen Kontaktierung der Innenelektroden (2,3) über Aussenelektroden (4), über die eine elektrische Spannung zuführbar ist, vorgeschlagen, bei dem die Aussenelektroden (4) zumindest punktweise mit den jeweiligen Innenelektroden (2,3) kontaktiert sind und zwischen den Kontaktierungen ein dehnbarer Bereich zu liegen kommt. Die Aussenelektroden (4) bestehen jeweils aus einem Formteil (5) und Einzeldrähten (6), wobei die Einzeldrähte (6) parallel verlaufend zu den Schichten mit den jeweiligen Innenelektroden (2,3) kontaktiert sind und die Einzeldrähte (6) zwischen der Kontaktierung und dem Formteil (5) und/oder Bereiche des Formteils (5) eine dehnungsbeanspruchbare Zone sind.

Description

Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung
Stand der Technik
Die Erfindung betrifft einen Piezoaktor und ein Verfahren zu dessen Herstellung, beispielsweise zur Betätigung eines mechanischen Bauteils wie ein Ventil oder dergleichen, nach den gattungsgemäßen Merkmalen des Hauptanspruchs .
Es ist beispielsweise aus der DE 100 26 005 AI bekannt, dass unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts ein Piezoelement aus einem Material mit einer geeigneten Kristallstruktur aufgebaut werden kann. Bei Anlage einer äußeren elektrischen Spannung erfolgt eine mechanische Reaktion des Piezoelements, die in Abhängigkeit von der Kristallstruktur und der Anlagebereiche der elektrischen Spannung einen Druck oder Zug in eine vorgebbare Richtung darstellt. Solche Piezoaktoren können beispielsweise für den Antrieb von Schaltventilen bei Kraftstoffeinspritz- systemen in Kraftfahrzeugen vorgesehen werden.
Der Aufbau dieses bekannten Piezoaktors erfolgt hier in mehreren Schichten (Multilayer-Aktor) , wobei Innenelekt- roden, über die die elektrische Spannung aufgebracht wird, jeweils zwischen den Schichten angeordnet werden und alternierend an verschiedenen Stellen, zumeist gegenüberliegend, nach außen treten, wo sie durch eine äußere Kontaktierung miteinander elektrisch verbunden sind. Außer zur leitenden Verbindung zu den Innenelektroden dient diese Kontaktierungsschicht als Außenelektrode auch dem eigentlichen elektrischen Kontakt nach außen, im einfachsten Falle also zum Beispiel zum Anlöten eines Anschlussdrahts .
Da die jeweils an einer Seite kontaktierten Innenelektroden in der Regel kammartig in den Lagenaufbau integriert sind, müssen die in Richtung des Lagenaufbaus aufeinanderfolgenden Innenelektroden, wie erwähnt, jeweils abwechselnd an gegenüberliegen Seiten kontaktiert werden. Bei einer Betätigung des Piezoaktors, d.h. bei Anlage einer elektrischen Spannung zwischen den im Lagenaufbau gegenüberliegenden Innenelektroden treten unterschiedliche mechanische Kräfte im Bereich der Innenelektroden sowie im Bereich der Kontaktierungen an den Außenelektroden auf, die zu mechanischen Spannungen und dadurch zu Rissen in den Außenelektroden führen und damit die elektrische Verbindung unterbrechen können. Die Außenelektroden müssen daher wiederum zur Erreichung der erforderlichen Dehnungstoleranz mit zusätzlichen Elektroden versehen werden, die in der Regel auch mechanischen Spannungen standhalten müssen.
Als Kontaktierungsvariante für die Außenelektroden wird häufig eine sogenannte Grundmetallisierung, bestehend aus einer Metall- und Glasfritte enthaltenden Einbrennpaste, eingesetzt. Solche Pasten zeichnen sich durch eine gute Haftung auf Piezokeramiken einerseits, als auch durch eine gute elektrische Leitfähigkeit andererseits aus. Die geforderte Dehnungstoleranz wird mit ihnen allein aller- dings im allgemeinen nicht erreicht, weshalb damit kein sicherer Dauerbetrieb, insbesondere für den Fall des dynamischen Betriebs, möglich ist. Um dies zu ermöglichen wird eine zusätzliche, möglichst dehnungstolerante Schicht aufgebracht. Diese soll auch dann elektrisch leitend überbrücken wenn die Grundmetallisierungsschicht darunter durch Risse unterbrochen ist, d.h. sie muss rissüberbrückend wirken.
Varianten mit denen dies bewerkstelligt werden kann sind z.B. mehrere angelötete Einzeldrahte, ein aufgelötetes Sieb, ein Metallge lecht, ein Metallschaum, eine Drahtwendel oder eine andere dehnungstolerante elektrisch leitende Konstruktion. Außer durch Löten kann die mechanisch feste und elektrisch leitende Verbindung auch durch Kleben, beispielsweise mit einem elektrisch leitenden Polymer oder Leitkleber oder durch Schweißen, zum Beispiel Widerstandsschweißen auf der Grundmetallisierung, hergestellt werden.
Nachteilig an den genannten Varianten ist vielfach ein hoher Fertigungsaufwand, z.B. einzeln angelötete Einzeldrahte oder eine nur unzureichende Zuverlässigkeit, wie zum Beispiel bei aufgelöteten welligen Blechstreifen. Im Falle einer elektrisch leitenden Polymerschicht ist der elektrische Anschluss das Problem. Entweder es muss ein nachträglich kontaktierbares Element, etwa ein darin eingelegtes Metallgewebe, mit eingelegt werden, oder es muss der Kontakt noch vor dem Aushärten des Polymers mit diesem in Verbindung gebracht werden.
Vorteile der Erfindung
Der eingangs beschriebene Piezoaktor mit einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen und dazwischen angeordneten Innenelektroden und einer wechselseitigen seitlichen Kontaktierung der Innenelektroden über Außenelektroden, über die eine elektrische Spannung zuführbar ist, ist in vorteilhafter Weise so ausgebildet, dass die Außenelektroden jeweils aus einem Formteil und Einzeldrähten bestehen. Die parallel zu den Schichten verlaufenden Einzeldrahte sind mit den jeweiligen Innenelektroden kontaktiert und die Einzeldrahte zwischen der Kontaktierung und dem Formteil und/oder Bereiche des Formteils bilden eine deh- nungsbeanspruchbare Zone.
Besonders vorteilhaft ist es, wenn das Formteil ein Siebgewebe ist, bei dem die Verlängerungen der in Schichtrichtung verlaufenden Gewebeteile die Einzeldrahte darstellen. Alternativ kann das Formteil auch eine Metallfläche sein, an die die Einzeldrahte angefügt sind.
Mit der Erfindung ist auf einfache Weise erreicht, dass eine sichere elektrisch leitende Kontaktierung des Piezo- aktors nach innen und außen gewährleistet ist und auch ein guter mechanischer Kontakt durch eine einfache Herstellungsmethode zu bewerkstelligen ist. Damit wird eine möglichst große Dehnungstoleranz bei der Kontaktierung erreicht ohne dabei den fertigungstechnischen Aufwand gegenüber den bekannten Anordnungen zu erhöhen.
Vorteilhaft ist es insbesondere, wenn bei einem erfindungsgemäßen Verfahren zur Herstellung eines solchen Pie- zoaktors das Formteil und die Einzeldrahte streifenförmig aus einem Metallband ausgestanzt und dieses Band zunächst aufgewickelt wird. In einer Herstellungsvorrichtung werden die Einzeldrahte über den zu kontaktierenden Innenelektroden positioniert und mit diesen durch Löten oder Schweißen kontaktiert. Alternativ kann mittels eines Siebdruckverfahrens ein elektrisch leitendes Polymer auf die zu kontaktierenden Bereiche der Innenelektroden aufgebracht und die Einzeldrahte hier dann eingedrückt werden. An einem Ende der Außenelektrode hinter den Einzeldrähten und eventuell am anderen Ende hinter dem Formteil erfolgt mit einem geeigneten Stanzwerkzeug eine Abtrennung aus dem Band. Weiterhin kann auf einfache Weise das Formteil auf die kontaktierte Seite des Piezoaktors heruntergefaltet werden und am heruntergeklappten Formteil kann dann die elektrische Kontaktierung der Außenelektrode vorgenommen werden. Es ist auch möglich, dass vor der Einbringung des Bandes mit den vorgestanzten Formteilen in die Herstellungsvorrichtung Kontaktierungspins auf das Formteil aufgebracht werden.
Zeichnung
Ausführungsbeispiele des erfindungsgemäßen Piezoaktors werden anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigen: Figur 1 eine Ansicht eines Piezoaktors mit einem Mehrschichtaufbau von Lagen aus Piezokeramik und Innenelektroden sowie einer Kontaktierung mit Einzeldrähten und einem angehängten Formteil aus einem Siebgewebe, Figur 2 eine Ansicht des Piezoaktors nach der Figur 1 mit einem heruntergeklappten Formteil, Figur 3 ein Ausführungsbeispiel einer in Bandform vorgefertigten Außenelektrode mit einem Formteil aus einem Siebgewebe, Figur 4 ein anderes Ausführungsbeispiel einer in Bandform vorgefertigten Außenelektrode mit einem Formteil aus einem Metallblech und Figur 5 eine Prinzipansicht einer Herstellungsvorrichtung zum Kontaktieren des Piezoaktors mit der Außenelektrode in Bandform. Beschreibung der Ausführungsbeispiele
In Figur 1 ist ein Piezoaktor 1 gezeigt, der in an sich bekannter Weise als Schichtaufbau aus Piezofolien eines Keramikmaterials mit einer geeigneten Kristallstruktur aufgebaut ist, so dass unter Ausnutzung des sogenannten Piezoeffekts bei Anlage einer äußeren elektrischen Spannung an Innenelektroden 2 und 3 jeweils über eine hier sichtbare Außenelektrode 4 für die Innenelektroden 2 und eine nicht sichtbare Außenelektrode für die Kontaktierung der Innenelektroden 3 eine mechanische Reaktion des Piezoaktors 1 in Richtung des Schichtaufbaus erfolgt.
Die beispielhaft gezeigte Außenelektrode 4 besteht hier aus einem metallisches Gewebeband mit periodisch stark schwankender Maschenweite, so dass ein Formteil 5 entsteht und auf dem Piezoaktor 1 nur Einzeldrahte 6 zu liegen kommen. Die Innenelektroden 2 werden gemäß dieser Ansicht damit nur durch einzelne, parallel zu den Schichten der Innenelektroden 2 verlaufende Einzeldrahte 6 kontaktiert.
Die elektrisch leitende Verbindung der Einzeldrahte 6 zu den Innenelektroden 2 des Piezoaktors 1 erfolgt dabei vorzugsweise durch Auflöten, zum Beispiel durch Bügeloder Thermodenlöten, unter Zuhilfenahme einer Lötfolie bzw. Einbrennpaste 7 oder alternativ über eine Leitpolymer 7, in das die Einzeldr hte 6 eingedrückt werden können. Hierdurch ist es möglich eine nur in einer Dimension ausgedehnte Kontaktierung, senkrecht zur Dehnungsrichtung, herzustellen, wodurch eine besonders dehnungstolerante Struktur der Kontaktierung der Außenelektrode 4 verwirklicht wird. Aus Figur 2 ist zu entnehmen, dass das Siebgewebeformteil 5 auf die Seite des Piezoaktors 1 heruntergeklappt ist.
Anhand von Figuren 3 bis 5 sollen mögliche Herstellungsverfahren für den erfindungsgemaßen Piezoaktor erläutert werden. Zur einfachen Montage kann das Material für die Herstellung des Formteils 5 und der Einzeldrahte 6 strei- fenformig ausgestanzt auf ein Band 10 gewickelt werden. Aus der Figur 3 ist ein durchgehendes Siebgewebe mit unterschiedlicher Maschenweite und aus der Figur 4 ist ein Ausführungsbeispiel mit einem flachigen Formteil 5 aus Metall zu entnehmen, an dem bereits Kontaktierungspins 13 angebracht sind.
Zur Kontaktierung wird das Band 10 in einer Herstellungsvorrichtung nach der Figur 5 abgewickelt und gespannt auf oder über dem Piezoaktor 1 positioniert. Eine Lotfolie 7 kann anschließend automatisiert zugeführt und die Einzeldrahte 6 können als Drahtharfe zum Beispiel mittels eines Thermodenwerkzeugs 11 niedergehalten und an die Innenelektroden 2 angelotet werden. Möglich ist hier auch Softbeamloten oder Widerstandsschweißen. Anstatt durch eine aufgedruckte elektrisch leitende Einbrennpaste kann die Oberflache des Piezoaktors 1 auch galvanisch metallisiert sein. Um eine gute Temperaturwechselbestandigkeit zu erreichen, können die Einzeldrahte 6 beispielsweise aus Invar (FeNi36) gefertigt sein.
Nachfolgend werden dann die Einzeldrahte 6 zum Beispiel mittels eines in das Thermodenwerkzeug 11 nach der Figur 5 integrierten Cuters 12 gekappt und ein neuer Piezoaktor kann danach kontaktiert werden. In einem weiteren Schritt wird nun das noch überstehende Formteil 5 umgeklappt und auf den Piezoaktor 1 umgefaltet, wobei das hier nicht dargestellte Faltwerkzeug dabei idealerweise gleich mit in die Herstellungsvorrichtung integriert ist.
Die abschließende Kontaktierung der so gebildeten Außenelektrode 4 erfolgt im Anschluss dann auf dem umgeklappten Formteil, zum Beispiel durch Widerstandsschweißen.

Claims

Patentansprüche
1) Piezoaktor, mit
- einem Mehrschichtaufbau von Piezolagen und dazwischen angeordneten Innenelektroden (2,3),
- einer wechselseitigen seitlichen Kontaktierung der Innenelektroden (2,3) über Außenelektroden (4), über die eine elektrische Spannung zuführbar ist, wobei
- die Außenelektroden (4) zumindest punktweise mit den jeweiligen Innenelektroden (2,3) kontaktiert sind und zwischen den Kontaktierungen ein dehnbarer Bereich zu liegen kommt, dadurch gekennzeichnet, dass
- die Außenelektroden (4) jeweils aus einem Formteil (5) und Einzeldrähten (6) bestehen, wobei die Einzeldrahte (6) parallel zu den Schichten verlaufend die Innenelektroden (2,3) kontaktieren und die Einzeldrahte (6) zwischen der Kontaktierung und dem Formteil (5) und/oder Bereiche des Formteils (5) eine dehnungs- beanspruchbare Zone sind.
2) Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
- das Formteil (5) ein Siebgewebe ist, bei dem die Verlängerungen der in Schichtrichtung verlaufenden Gewebeteile die Einzeldrahte (6) darstellen. 3) Piezoaktor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
- das Formteil (5) eine Metallfläche ist, an die die Einzeldrahte (6) angefügt sind.
4) Piezoaktor nach ein der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
- das Formteil (5) und die Einzeldrahte (6) zusammenhängend aus einem Metallband (10) herausgestanzt sind.
5) Piezoaktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
- das Formteil (5) nach der Kontaktierung der Einzeldrahte (6) auf die Außenfläche des Piezoaktors (1) heruntergeklappt ist und die elektrischen Anschlusskontakte (13) für die Zuführung der elektrischen Spannung für die Innenelektroden (2,3) trägt.
6) Piezoaktor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
- zumindest die Einzeldrahte (6) aus Invar hergestellt sind.
7) Verfahren zur Herstellung eines Piezoaktors nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass
- das Formteil (5) und die Einzeldrahte (6) streifenför- mig aus einem Metallband (10) ausgestanzt und dieses Band (10) aufgewickelt wird, dass - in einer Herstellungsvorrichtung die Einzeldrahte (6) über den zu kontaktierenden Innenelektroden (2) positioniert und mit diesen kontaktiert werden, dass
- an einem Ende der Außenelektrode (4) hinter den Einzeldrähten (6) aus dem Band (10) erfolgt und dass
- das Formteil (5) auf die kontaktierte Seite des Piezoaktors (1) heruntergefaltet wird, dass
- am heruntergeklappten Formteil (5) die elektrische Kontaktierung (13) der Außenelektrode (4) vorgenommen wird.
8) Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass
- die Einzeldrahte (6) durch Löten oder Schweißen an den Innenelektroden (2,3) kontaktiert werden.
9) Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass
- mittels eines Siebdruckverfahrens ein elektrisch leitendes Polymer (7) auf die zu kontaktierenden Bereiche der Innenelektroden (2,3) aufgebracht wird und die Einzeldrahte (6) hier eingedrückt werden.
10) Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass
- vor der Einbringung des Bandes (10) mit den vorgestanzten Formteilen (5) in die Herstellungsvorrichtung Kontaktierungspins (14) auf das Formteil (5) aufgebracht worden sind.
EP04802790A 2004-01-30 2004-11-22 Piezoaktor und ein verfahren zu dessen herstellung Withdrawn EP1714328A2 (de)

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