EP1579464A1 - Method for adjusting the electrical resistance of a resistance path - Google Patents

Method for adjusting the electrical resistance of a resistance path

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EP1579464A1
EP1579464A1 EP03779696A EP03779696A EP1579464A1 EP 1579464 A1 EP1579464 A1 EP 1579464A1 EP 03779696 A EP03779696 A EP 03779696A EP 03779696 A EP03779696 A EP 03779696A EP 1579464 A1 EP1579464 A1 EP 1579464A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
burning
resistance
track
conductor tracks
path
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP03779696A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Harald Guenschel
Roland Guenschel
Bernd Schumann
Lothar Diehl
Dirk Rady
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Publication of EP1579464A1 publication Critical patent/EP1579464A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01C—RESISTORS
    • H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
    • H01C17/22—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming
    • H01C17/26—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by converting resistive material
    • H01C17/265—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by converting resistive material by chemical or thermal treatment, e.g. oxydation, reduction, annealing
    • H01C17/267—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by converting resistive material by chemical or thermal treatment, e.g. oxydation, reduction, annealing by passage of voltage pulses or electric current
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01C—RESISTORS
    • H01C17/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors
    • H01C17/22—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming
    • H01C17/24—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material
    • H01C17/2408—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing resistors adapted for trimming by removing or adding resistive material by pulsed voltage erosion, e.g. spark erosion

Definitions

  • the invention is based on a method for adjusting the electrical resistance of a resistance track arranged between two layers and running in meandering turns to a default value according to the preamble of claim 1.
  • Laminates with an embedded resistance track are used in various applications, such as in temperature sensors, e.g. for measuring the exhaust gas temperature in internal combustion engines, as are known from DE 37 33 192 Cl, or in heating devices for increasing the measuring accuracy of lambda sensors for measuring the
  • Oxygen concentration in the exhaust gas of an internal combustion engine as are known for example from DE 198 38 466 AI or DE 199 41 051 AI.
  • PTC resistance of the resistive track which is embedded between ceramic foils made of aluminum oxide or a solid electrolyte, such as zirconium oxide, lies in an extremely small tolerance range due to the manufacturing process in order to ensure the most accurate possible temperature measurement in the series.
  • For heaters for lambda sensors requires one Sufficient measuring accuracy is a regulation of the heating device in order to keep the operating temperature of the lambda probe constant.
  • the resistance of the resistance track which is usually low-resistance, moves within a narrow tolerance range in order to avoid over- or under-control of the heating device.
  • a recess is left open in one of the layers covering the resistance track, through which the treatment of the resistance track for adjusting its internal resistance is made is made.
  • the resistance track has branches and / or closed areas, so-called burning paths, in the area of the cutout, and the adjustment is carried out in that the branches and / or closed areas are separated, for example by means of a laser, which increases the resistance of the resistance track elevated. This continues until the desired default value is reached.
  • the resistance is continuously via a circuit arrangement connected to the resistance track . measured..For "heating devices.,.-bei. which one. -The electrical resistance track is still surrounded by insulation before it is covered with the layers of the layer composite, either the recess through the insulation down to the level of the resistance track passed or designed the insulation so that the laser can penetrate the insulation.
  • the recess is closed with a filler after laser adjustment in order to protect the resistance path from mechanical or chemical influences.
  • a glass ceramic is preferably used as the filler, which after filling is glazed by thermal action of the laser.
  • the inventive method with the features of claim 1 has the advantage that for separating the focal lengths for the purpose of adjusting or trimming
  • Resistance path manufactured firing distances so that with a suitable gradation of the resistance of the meandering windings or loops, for example a binary gradation, the resistance value of the resistance path can be increased step by step with each opening of a further firing distance.
  • the energy control reliably precludes the burning of the resistance track itself.
  • conductor tracks are led directly to the connection points of the firing sections with the meandering windings, and in order to separate a selected firing section, the current pulse is applied to the two conductor tracks leading to the selected firing section.
  • the conductor tracks are advantageously arranged between the two connecting conductor tracks leading to the resistance track and, like the latter, guided into the so-called cold region of the sensor element, which is not exposed to the measurement gas or exhaust gas. By contacting the conductor tracks in this area, the current pulses can be applied to the selected burn paths. Due to the high-resistance insulation of the conductor tracks for guiding the
  • the material selection for the conductor tracks can be optimized with regard to high specific conductivity, low temperature coefficient and the associated high current carrying capacity, low costs and adaptation to the sintering temperature and sintering atmosphere .. of the .Se.ns.orelement.
  • constant current pulses whose pulse duration is controlled are used as current pulses.
  • the energy required for separating a burning section can be measured with high precision adjust so that the meandering winding connected in parallel to the burning section is not damaged or even burned.
  • the pulse duration is controlled by monitoring the voltage drop across the selected burning section and switching off the current pulse when a disproportionate voltage rise is detected.
  • the firing section is designed in a waisted manner, which ensures that the greatest power conversion of the firing pulse takes place precisely at the thinnest point of the firing section and causes the material to melt there. Since the meandering winding connected in parallel with the firing section has a higher resistance and has better heat coupling due to the double-sided embedding in electrical insulation, the meandering resistance is not melted by the high-energy current pulse when the firing section is burned on. According to an advantageous embodiment of the invention, the melted material of the firing section is received in a cavity which is formed in one of the two layers covering the resistance tracks. The cavity is made more carbon-containing during the manufacture of the sensor element by overprinting the burning sections
  • one of the focal lengths one .. of .. two .. _. _. ,
  • connection conductor tracks connected to the end of the resistance track To burn a selected burning path, the selected burning path is heated and the current pulse is applied to the connecting conductor tracks of the resistance track. Due to the local warming of the selected firing distance from the outside, which is preferably carried out by means of a laser pulse at 200 ° C., the specific resistance of the firing distance is increased, for example by a factor of two. At the warmed point, additional energy is introduced at the narrowest point of the firing section due to the current pulse flowing in part of the resistance track and in the firing section, which further increases the local warming, whereby further heating is started, which leads to the melting of the selected firing section , The lack of local heating prevents the melting of other burning sections by the current pulse.
  • This embodiment of the method has the advantage that there is no need to attach additional conductor tracks to the individual focal lengths, which lowers the manufacturing costs.
  • At least one first firing path is connected to one of two connecting conductor tracks which are led to the two ends of the resistance track, and at least one last firing path is connected to an additional conductor track which is led out.
  • To open a selected burning path it is heated and the current pulse between the connecting conductor track and the additional conductor track brought out is applied.
  • the provision of an additional conductor for the I pulse line from the firing path to the outside has the advantage that the voltage required to maintain the constant current pulse is significantly reduced.
  • Fig. 1 shows a temperature sensor for measuring the
  • Fig. 2 is a plan view of the measuring resistor in
  • FIG. 3 is an enlarged view of section III in Fig. 2,
  • Fig. 4 shows a detail of a top view of the temperature sensor in Fig. 1 with removed
  • Fig. 6 is an exploded view of a
  • Temperature sensor in connection with a device for adjusting the measuring resistance
  • Fig. 7 is a plan view of the measuring resistor in
  • the 5 in Fig. 1 exploded view temperature sensor or temperature sensor for measuring the exhaust gas temperature of internal combustion engines as
  • An exemplary embodiment of a general gas sensor has a carrier 10 which is made, for example, of a ceramic film based on solid electrolyte, for example of zirconium oxide (Zr0 2 ).
  • a measuring resistor in the form of a resistance track 12 made of PCT resistance material is arranged between the carrier 10 and the cover layer 11 and has a meandering structure with a large number of
  • connection conductor 14 is connected.
  • the contact surfaces 15,. 16 serve to supply the measuring current during operation of the temperature sensor.
  • the resistance track 12 including the two connecting conductor tracks 13, 14 are embedded in electrical insulation, for example from A1 2 0 3 , for which purpose the
  • the resistance track 12 with the connecting conductor tracks 13, 14 are on the lower insulating layer 17, for example in Screen printing process, printed.
  • Carrier 10 and cover layer 11 lie on top of one another and are laminated together.
  • the geometry of the resistance track 12 is designed such that the measured one
  • the resistance track 19 is shown enlarged in plan view in FIG. 2. It has a large number of meandering windings 121 which are connected in series between the connecting conductor tracks 13, 14. A part of the meandering turns 121 on the left and right side of the layout of the resistance track 12 shown in FIG. 2, in
  • Embodiment a total of eight meandering windings 121 are each bridged with a burning section 18 so that the entire meandering winding 121 of the burning section 18 is connected in parallel.
  • the meandering turns 121 lying next to one another, each bridged by a firing section 18, have a resistance value, e.g. binary, graded, so that when a selected burning path 18 is burned on, the resistance of the resistance track 12 is increased in a defined manner by a certain resistance value, namely that of the meandering winding 121 now connected in series.
  • the burning section 18 is burned on for the purpose of trimming, trimming or calibrating the resistance track 12 by energy-controlled current pulses which are sent through selected burning sections 18.
  • the current pulses are constant current pulses, the pulse duration of which is controlled.
  • conductor tracks 19 are led to the connection points of meandering winding 121 and burning sections 18, which reach into the cold area of the sensor element and can be contacted there.
  • a total of eight conductor tracks 19 are required, which run between the two connecting conductor tracks 13, 14 for the resistor track 12.
  • the two connecting tracks 13, 14 are used.
  • a cutout 20 is provided in the "cold" area of the sensor element in the cover layer 11 and the upper insulating layer underneath, which may be closed after the adjustment process has been completed.
  • contacting areas 21 are arranged in the area of the conductor tracks 19 which is cleared from the recess 20, one of which is connected to a conductor track 19.
  • the focal lengths 18, which are made from the same material as the resistance track 12, for example from platinum, are made with a much smaller width than the resistance track 12.
  • the width of a meandering turn 121 is 30 - 40 ⁇ m and the width of a firing section 18 is 15 - 20 ⁇ m. Due to the much longer length of a meandering winding 121, it is much more resistive than the firing section 18.
  • the firing sections 18 are waisted, so that they are slightly thinner, are ...
  • the ... conductor tracks 19 are made much wider than the focal lengths 18, in the exemplary embodiment, for example, with about 60 microns.
  • the electrical resistance of the resistance track 12 of the sensor element thus prepared, finished and sintered is adjusted to the higher default value in a trimming or trimming process following the manufacturing process as follows:
  • the resistance value of the cold resistance track 12 is measured and, based on the difference in resistance to the preset value, those focal lengths 18 are determined which have to be separated in order to achieve the required resistance value. Since the stepped resistance values of the meandering windings 121 in the layout of the meandering resistance track 12 are known, the required focal lengths 18 can be determined without problems. The defined focal lengths 18 are successively
  • adjustment electronics 22 are provided, which - as is not shown further here - have a constant current source, a switching tyristor and control electronics for switching the switching tyristor on and off.
  • the two conductor tracks 19 leading to the selected burning path 18 are contacted through the cutout 20 and connected to the adjustment electronics 22.
  • the switching thyristor is turned on, the constant current source is connected to the burning path 18.
  • the switching thyristor brings about an immediate separation of the constant current source from the conductor tracks. during, .closing..closing ... _ ... _. ".
  • Switching thyristor and after the reopening of the switching thyristor current and voltage curve on the burning path 18 is shown in the diagram of Fig. 8, the solid line the current curve I (t) and the dashed line the voltage curve U (t) over time t represents.
  • the control of the pulse duration of the constant current pulse is carried out in such a way that the voltage U falling across the burning path 18 is monitored when the switching thyristor begins to turn on.
  • the voltage at the 5 burn path 18 first increases linearly and then exponentially as the burn path 18 burns due to the load change, which is used to block the switching thyristor.
  • the switching thyristor which has a very high switch-off sensitivity, e.g. 1, 5V / 100nsec. , has separates
  • the current pulse has only such energy that is sufficient to melt the tailored firing section 18, but not the meandering winding 121 connected in parallel
  • Melting section 18 melted material is received in a cavity not visible here in the cover layer 11 or in the insulation layer printed thereon.
  • the cavity is created by the sensor element during manufacture
  • the adjustment process described can be carried out either at a known room temperature or a known high temperature or in a liquid medium, since the entire region of the resistance track 12 is hermetically sealed. To achieve a higher thermal shock resistance as well
  • each conductor track 19 is in turn connected to a contact area 21.
  • the sensor element has been trimmed, that is to say the electrical resistance of the resistance track 12 has been adjusted to the required default value
  • the area of the carrier 10 that is not covered by the cover layer 11, including the conductor track ends and contacting areas 21, is separated.
  • a modification of the Abreted.ens described eliminates the need to run a conductor track 19 to all focal lengths 18. From the firing sections 18 attached to the resistance track 12 during the manufacture of the sensor element and bridging the corresponding meandering turns 121, the first two firing sections 18, which are connected to the left and right of the meander in each case one meandering turn 121 (FIG. 7), each with one of the connecting conductor tracks 13 , 14 connected to the resistance track 12. In the adjustment process, the adjustment electronics 22 are now connected to the two contact surfaces -15-. -16 - der.-AnInstitutlei-terbahnen..13, 14 connected, as shown in Fig. 6.
  • the corresponding focal lengths 18, which have to be separated in order to achieve the preset value of the resistance track 12 are defined a constant current pulse as described above is applied to the two connecting conductor tracks 13, 14 by the adjustment electronics 22.
  • the burning path 18 that is to be separated 5 is locally heated by means of a laser pulse.
  • the laser pulse is generated by a laser 23 in the infrared range with a wavelength ⁇ ⁇ 2.5 ⁇ m.
  • the laser pulse is transmitted through the carrier 10 and through the lower insulating layer 17 onto the selected focal path
  • Burning path 18 power input from the current pulse by e.g. is a factor of two greater than that of the other burning sections 18. As a result, further heating starts, which leads to the melting of the heated burning section 18.
  • 25 burning sections 18 are dimensioned in length, width and height in such a way that an approximately 50% higher energy conversion takes place than in the meandering winding 121 connected in series or in parallel with the burning section 18. Since the resistance track 12 is at a high resistance to
  • the additional conductor tracks 24, 25 are contacted in the same manner as has been described for the conductor tracks 19 with reference to FIGS. 4 and 5.
  • the current pulse is sent via the connecting line 13 or 14, through part of the resistance track 12 and via the additional conductor track 24 or 25, and the heated burning section 18 is separated. Since the total resistance of the connected in the exemplary embodiment four parallel or in series meander 121 is substantially smaller than the total resistance of the resistance path 12, a substantially lower 'tuning voltage upon application of the current pulses is required.
  • a single additional conductor 24 is sufficient if the focal paths 18 are arranged such that the last of all focal paths 18 is connected to the single additional conductor 24.
  • the two additional conductor tracks 24, 25 are advantageous in the symmetrical layout of the resistance track 12 shown in FIG. 7.
  • the adjustment methods described are not based on the example. Adjustment described. of the measuring resistance of a temperature sensor is limited. It can equally well be used to adjust the electrical resistance heater of a probe to determine the concentration of a gas component in a measurement gas, for example the oxygen or nitrogen oxide concentration in the exhaust gas of internal combustion engines, in which a meandering resistance track is designed with low resistance.
  • the method can also be used in multilayer hybrid circuits, since here, too, matching resistors are arranged between the layers.

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Abstract

Disclosed is a method for adjusting, to a predefined value, the electrical resistance of an electrical resistance path (12) which extends in meandering windings (121) and which is arranged between two layers (10,11), wherein the resistance path (12) is manufactured with shunting burn lines (18) of a lower resistance than the predefined value with meandering windings (121), and said adjustment is carried out by separating selected burn lines (18). In order to provide a simple method of adjustment, constant current pulses having a controlled pulse duration are sent through the burn lines (18) for the separation of the burn line (18).

Description

Verfahren zum Abgleichen des elektrischen Widerstands einer WiderStandsbahnMethod for adjusting the electrical resistance of a resistance track
Stand der TechnikState of the art
Die Erfindung geht aus von einem Verfahren zum Abgleichen des elektrischen Widerstands einer zwischen zwei Schichten angeordneten- in Mäanderwindungen verlaufenden Widerstandsbahn auf einen Vorgabewert nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.The invention is based on a method for adjusting the electrical resistance of a resistance track arranged between two layers and running in meandering turns to a default value according to the preamble of claim 1.
Schichtverbunde mit eingebetteter Widerstandsbahn werden in verschiedenen Applikationen eingesetzt, so in Temperaturfühlern, z.B. zur Messung der Abgastemperatur in Brennkraftmaschinen, wie sie aus der DE 37 33 192 Cl bekannt sind, oder in Heizeinrichtungen zur Erhöhung der Meßgenauigkeit von Lambdasonden für die Messung derLaminates with an embedded resistance track are used in various applications, such as in temperature sensors, e.g. for measuring the exhaust gas temperature in internal combustion engines, as are known from DE 37 33 192 Cl, or in heating devices for increasing the measuring accuracy of lambda sensors for measuring the
Sauerstoffkonzentration im Abgas einer Brennkraftmaschine, wie sie z.B. aus der DE 198 38 466 AI oder DE 199 41 051 AI bekannt sind. Bei solchen Temperaturfühlern ist es erforderlich, daß der meist hochohmige PTC-Widerstand der Widerstandsbahn, .die zwischen Keramikfolien aus Aluminiumoxid oder einem Festelektrolyt, wie Zirkoniumoxid, eingebettet ist, fertigungsbedingt in einem extrem kleinen Toleranzbereich liegt, um in der Serie immer eine möglichst genaue Temperaturmessung sicherzustellen. Bei Heizeinrichtungen für Lambdasonden erfordert eine ausreichende Meßgenauigkeit eine Regelung der Heizeinrichtung, um die Betriebstemperatur der Lambdasonde konstant zu halten. Auch hierfür ist es notwendig, daß der meist niederohmige Widerstand der Widerstandsbahn sich fertigungsbedingt in einem engen Toleranzbereich bewegt, um eine Über- bzw. Untersteuerung der Heizeinrichtung zu vermeiden.Oxygen concentration in the exhaust gas of an internal combustion engine, as are known for example from DE 198 38 466 AI or DE 199 41 051 AI. In such temperature sensors, it is necessary that the most high-resistance PTC resistance of the resistive track. which is embedded between ceramic foils made of aluminum oxide or a solid electrolyte, such as zirconium oxide, lies in an extremely small tolerance range due to the manufacturing process in order to ensure the most accurate possible temperature measurement in the series. For heaters for lambda sensors requires one Sufficient measuring accuracy is a regulation of the heating device in order to keep the operating temperature of the lambda probe constant. For this, too, it is necessary that the resistance of the resistance track, which is usually low-resistance, moves within a narrow tolerance range in order to avoid over- or under-control of the heating device.
In beiden Fällen ist daher ein nachträglicher Abgleich des Widerstandswerts der Widerstandsbahn, also ein Abgleichen, Trimmen oder Kalibrieren nach Fertigstellung des Schichtverbundes mit einliegender Widerstandsbahn, durch geeignete Maßnahmen erforderlich.In both cases, a subsequent adjustment of the resistance value of the resistance track, that is, an adjustment, trimming or calibration after completion of the layer composite with an inserted resistance track, is necessary by means of suitable measures.
Bei einem bekannten Verfahren zum Abgleichen des Widerstands einer in einem Schichtverbund eines Meßfühlers eingebetteten Widerstandsbahn auf einen Vorgabewert (DE 198 51 966 AI) wird in einer der die Widerstandsbahn überziehenden Schichten eine Aussparung freigelassen, durch die hindurch die Behandlung der Widerstandsbahn zum Abgleich von deren Innenwiderstand vorgenommen wird. Die Widerstandsbahn weist im Bereich der Aussparung Verzweigungen und/oder geschlossene Flächen, sog. Brennstrecken, auf, und der Abgleich wird dadurch vorgenommen, daß die Verzweigungen und/oder geschlossenen Flächen, z.B. mittels eines Lasers, aufgetrennt werden, wodurch sich der Widerstand der Widerstandsbahn erhöht. Dies wird solange fortgesetzt, bis der gewünschte Vorgabewert erreicht ist. Der Widerstand wird über eine an die Widerstandsbahn angeschlossene Schaltungsanordnung fortlaufend, .gemessen..Bei „Heizeinr.ichtungen., .-bei. welcher. -die elektrische Widerstandsbahn noch von einer Isolierung umgeben wird, bevor sie mit den Schichten des Schichtverbundes belegt wird, wird entweder die Aussparung durch die Isolierung hindurch bis auf die Ebene der Widerstandsbahn hindurchgeführt oder aber die Isolierung so ausgestaltet, daß der Laser die Isolierung durchdringen kann.In a known method for adjusting the resistance of a resistance track embedded in a layer composite of a sensor to a preset value (DE 198 51 966 AI), a recess is left open in one of the layers covering the resistance track, through which the treatment of the resistance track for adjusting its internal resistance is made is made. The resistance track has branches and / or closed areas, so-called burning paths, in the area of the cutout, and the adjustment is carried out in that the branches and / or closed areas are separated, for example by means of a laser, which increases the resistance of the resistance track elevated. This continues until the desired default value is reached. The resistance is continuously via a circuit arrangement connected to the resistance track . measured..For "heating devices.,.-bei. which one. -The electrical resistance track is still surrounded by insulation before it is covered with the layers of the layer composite, either the recess through the insulation down to the level of the resistance track passed or designed the insulation so that the laser can penetrate the insulation.
In beiden Fällen wird nach dem Laserabgleich die Aussparung durch einen Füllstoff verschlossen, um die Widerstandsbahn vor mechanischen oder chemischen Einflüssen zu schützen. Als Füllstoff wird vorzugsweise eine Glaskeramik verwendet, die nach dem Füllen durch thermische Einwirkung des Lasers verglast wird.In both cases, the recess is closed with a filler after laser adjustment in order to protect the resistance path from mechanical or chemical influences. A glass ceramic is preferably used as the filler, which after filling is glazed by thermal action of the laser.
Vorteile der ErfindungAdvantages of the invention
Das erfindungsgemäße Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 hat den Vorteil, daß zum Auftrennen der Brennstrecken zwecks Abgleichen oder Trimmen derThe inventive method with the features of claim 1 has the advantage that for separating the focal lengths for the purpose of adjusting or trimming
Widerstandsbahn keine Öffnung in eine der die Widerstandsbahn abdeckenden Schichten erforderlich ist. Dies macht den zusätzlichen Prozeßschritt zum Verschließen der Öffnung entbehrlich und vermeidet alle mit dem Verschließen zusammenhängende Nachteile beim Einsatz des Meßfühlers im Abgas von Brennkraftmaschinen infolge chemischer oder thermischer Degradation des Verschlußmaterials; denn chemische Degradation kann infolge steigender elektrischer Leitfähigkeit des Verschlußmaterials zu parasitären Leckströmen und damit zu einer Abflachung der Kennlinie des Sensorelements und thermische Degradation kann zum Ausfall des Sensorelements durch Zerrüttung des Verschlußmaterials führen. Das Auftrennen der Brennstrecke erfolgt durch energiekontrollierte Stromimpulse, die ein elektrisches Verdampfen der. aus dem gleichen Material wie die.Resistance path no opening in one of the layers covering the resistance path is required. This makes the additional process step for closing the opening unnecessary and avoids all the disadvantages associated with the closing when using the sensor in the exhaust gas of internal combustion engines due to chemical or thermal degradation of the closing material; because chemical degradation can lead to parasitic leakage currents as a result of increasing electrical conductivity of the closure material and thus to a flattening of the characteristic curve of the sensor element and thermal degradation can lead to failure of the sensor element due to disruption of the closure material. The burning section is separated by energy-controlled current pulses that cause electrical vaporization of the. from the same material as that.
Widerstandsbahn gefertigten Brennstrecken bewirken, so daß bei geeigneter Abstufung der Widerstände der Mäanderwindungen oder -schleifen, z.B. einer binären Abstufung, der Widerstandswert der Widerstandsbahn schrittweise mit jedem Auftrennen einer weiteren Brennstrecken erhöht werden kann. Durch die Energiekontrolle wird dabei das Aufbrennen der Widerstandsbahn selbst zuverlässig ausgeschlossen.Resistance path manufactured firing distances, so that with a suitable gradation of the resistance of the meandering windings or loops, for example a binary gradation, the resistance value of the resistance path can be increased step by step with each opening of a further firing distance. The energy control reliably precludes the burning of the resistance track itself.
Durch die in den weiteren Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen des im Anspruch 1 angegeben Verfahrens möglich.Advantageous further developments and improvements of the method specified in claim 1 are possible through the measures listed in the further claims.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung werden direkt an die Verbindungsstellen der Brennstrecken mit den Mäanderwindungen Leiterbahnen geführt, und zum Auftrennen einer ausgewählten Brennstrecke wird der Stromimpuls auf die an die ausgewählte Brennstrecke führenden beiden Leiterbahnen aufgeschaltet . Vorteilhaft werden die Leiterbahnen zwischen den beiden zu der Widerstandsbahn führenden Anschlußleiterbahnen angeordnet und wie letztere in den sog. kalten Bereich des Sensorelements, der nicht dem Meßgas oder Abgas ausgesetzt ist, geführt. Durch Kontaktierung der Leiterbahnen in diesem Bereich können die Stromimpulse an die ausgewählten Brennstrecken angelegt werden. Aufgrund der hochohmigen Isolation der Leiterbahnen zur Führung derAccording to a preferred embodiment of the invention, conductor tracks are led directly to the connection points of the firing sections with the meandering windings, and in order to separate a selected firing section, the current pulse is applied to the two conductor tracks leading to the selected firing section. The conductor tracks are advantageously arranged between the two connecting conductor tracks leading to the resistance track and, like the latter, guided into the so-called cold region of the sensor element, which is not exposed to the measurement gas or exhaust gas. By contacting the conductor tracks in this area, the current pulses can be applied to the selected burn paths. Due to the high-resistance insulation of the conductor tracks for guiding the
Stromimpulse bleibt die Beeinflussung der abzugleichenden, niederohmigen Widerstandsbahn durch parasitäre Leckströme auch bei hohen Temperaturen gering, so daß die Leiterbahnen keinen die Kennlinie des Sensorelements negativ beeinflussenden Effekt haben. Aus diesem Grund kann die Werkstoffauswahl für die Leiterbahnen hinsichtlich hoher spezifischer Leitfähigkeit, kleinem Temperaturkoeffizienten und der damit verbundenen hohen Strombelastbarkeit, niedriger Kosten und Anpassung an die Sintertemperatur und Sinteratmophäre..des .Se.ns.orelements optimiert, werden..Current impulses, the influence of the low-resistance resistor track to be calibrated by parasitic leakage currents remains low even at high temperatures, so that the conductor tracks have no effect negatively influencing the characteristic curve of the sensor element. For this reason, the material selection for the conductor tracks can be optimized with regard to high specific conductivity, low temperature coefficient and the associated high current carrying capacity, low costs and adaptation to the sintering temperature and sintering atmosphere .. of the .Se.ns.orelement.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung werden als Stromimpulse Konstantstromimpulse verwendet, deren Impulsdauer gesteuert wird. Dadurch läßt sich die für das Auftrennen einer Brennstrecke erforderliche Energie hochgenau einstellen, so daß die der Brennstrecke parallelgeschaltete Mäanderwicklung nicht beschädigt oder gar aufgebrannt wird.According to a preferred embodiment of the invention, constant current pulses whose pulse duration is controlled are used as current pulses. As a result, the energy required for separating a burning section can be measured with high precision adjust so that the meandering winding connected in parallel to the burning section is not damaged or even burned.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung wird die Impulsdauer dadurch gesteuert, daß die an der ausgewählten Brennstrecke abfallende Spannung überwacht und bei Detektion eines überproportionalen Spannungsanstiegs der Stromimpuls abgeschaltet wird.According to an advantageous embodiment of the invention, the pulse duration is controlled by monitoring the voltage drop across the selected burning section and switching off the current pulse when a disproportionate voltage rise is detected.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung wird die Brennstrecke tailliert ausgeführt, wodurch erreicht wird, daß die größte Leistungsumsetzung des Brennimpulses genau an der dünnsten Stelle der Brennstrecke erfolgt und dort das Material zum Aufschmelzen bringt. Da die der Brennstrecke parallelgeschaltete Mäanderwindung hochohmiger ist und durch die beidseitige Einbettung in eine elektrische Isolation eine bessere Wärmekopplung besitzt, wird bei dem Aufbrennen der Brennstrecke der Mäanderwiderstand durch den energiereichen Stromimpuls nicht angeschmolzen. Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung wird das aufgeschmolzene Material der Brennstrecke in einem Hohlraum aufgenommen, der in einer der die Widerstandsbahnen überdeckenden beiden Schichten ausgebildet ist. Der Hohlraum wird bei der Herstellung des Sensorelements durch das Überdrucken der Brennstrecken mit kohlenstoffhaltigerAccording to an advantageous embodiment of the invention, the firing section is designed in a waisted manner, which ensures that the greatest power conversion of the firing pulse takes place precisely at the thinnest point of the firing section and causes the material to melt there. Since the meandering winding connected in parallel with the firing section has a higher resistance and has better heat coupling due to the double-sided embedding in electrical insulation, the meandering resistance is not melted by the high-energy current pulse when the firing section is burned on. According to an advantageous embodiment of the invention, the melted material of the firing section is received in a cavity which is formed in one of the two layers covering the resistance tracks. The cavity is made more carbon-containing during the manufacture of the sensor element by overprinting the burning sections
Siebdruckpaste, die beim Sintern vollständig oxidiert und in die Gasphase übergeht, hergestellt.Screen printing paste, which is completely oxidized during sintering and passes into the gas phase.
Gemäß einer alternativen Ausführungsform der Erfindung wird eine der Brennstrecken .mit. einer..von.. zwei.. _ . _ . .According to an alternative embodiment of the invention, one of the focal lengths. one .. of .. two .. _. _. ,
Anschlußleiterbahnen verbunden, die an das Ende der Widerstandsbahn geführt sind. Zum Aufbrennen einer ausgewählten Brennstrecke wird die ausgewählte Brennstrecke erwärmt und der Stromimpuls auf die Anschlußleiterbahnen der Widerstandsbahn aufgeschaltet . Durch die lokale Erwärmung der ausgewählten Brennstrecke von außen, was vorzugsweise mittels eines Laserimpulses um 200 °C vorgenommen wird, wird der spezifische Widerstand der Brennstrecke, z.B. um den Faktor zwei, erhöht. Im erwärmten Punkt wird an der schmälsten Stelle der Brennstrecke durch den in einem Teil der Widerstandsbahn und in der Brennstrecke fließenden Stromimpuls zusätzlich Energie eingebracht, die die lokale Erwärmung weiter verstärkt, wodurch eine weitere Erwärmung in Gang gesetzt wird, die zum Aufschmelzen der ausgewählten Brennstrecke führt. Das Aufschmelzen anderer Brennstrecken durch den Stromimpuls ist durch die fehlende lokale Erwärmung verhindert. Diese Ausgestaltung des Verfahrens hat den Vorteil, daß auf das Anbringen von zusätzlichen Leiterbahnen zu den einzelnen Brennstrecken verzichtet werden kann, was die Fertigungskosten senkt.Connection conductor tracks connected to the end of the resistance track. To burn a selected burning path, the selected burning path is heated and the current pulse is applied to the connecting conductor tracks of the resistance track. Due to the local warming of the selected firing distance from the outside, which is preferably carried out by means of a laser pulse at 200 ° C., the specific resistance of the firing distance is increased, for example by a factor of two. At the warmed point, additional energy is introduced at the narrowest point of the firing section due to the current pulse flowing in part of the resistance track and in the firing section, which further increases the local warming, whereby further heating is started, which leads to the melting of the selected firing section , The lack of local heating prevents the melting of other burning sections by the current pulse. This embodiment of the method has the advantage that there is no need to attach additional conductor tracks to the individual focal lengths, which lowers the manufacturing costs.
Gemäß einer abgewandelten Ausführungsform der Erfindung wird mindestens eine erste Brennstrecke mit einer von zwei Anschlußleiterbahnen verbunden, die an die beiden Enden der Widerstandsbahn geführt sind, und mindestens eine letzte Brennstrecke mit einer herausgeführten Zusatz-Leiterbahn verbunden. Zum Auftrennen einer ausgewählten Brennstrecke wird diese erwärmt und der Stromimpuls zwischen Anschlußleiterbahn und herausgeführter Zusatz-Leiterbahn aufgeschaltet . Das Vorsehen einer zusätzlichen Leiterbahn für die I pulsleitung von der Brennstrecke nach außen hat den Vorteil, daß die Spannung, die zur Aufrechterhaltung des Konstantstromimpulses erforderlich ist, deutlich abgesenkt wird.According to a modified embodiment of the invention, at least one first firing path is connected to one of two connecting conductor tracks which are led to the two ends of the resistance track, and at least one last firing path is connected to an additional conductor track which is led out. To open a selected burning path, it is heated and the current pulse between the connecting conductor track and the additional conductor track brought out is applied. The provision of an additional conductor for the I pulse line from the firing path to the outside has the advantage that the voltage required to maintain the constant current pulse is significantly reduced.
Zeichnungdrawing
Die Erfindung ist anhand von in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispielen in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigen in schematischer Darstellung: Fig. 1 einen Temperatursensor zum Messen derThe invention is explained in more detail in the following description with reference to exemplary embodiments shown in the drawing. In a schematic representation: Fig. 1 shows a temperature sensor for measuring the
Abgastemperatur in Explosionsdarstellung in Verbindung mit einer Vorrichtung zum Abgleichen des Meßwiderstands,Exhaust gas temperature in an exploded view in connection with a device for adjusting the measuring resistance,
Fig. 2 eine Draufsicht des Meßwiderstands imFig. 2 is a plan view of the measuring resistor in
Temperatursensor gemäß Fig. 1 vergrößert dargestellt,1 shown enlarged,
Fig. 3 eine vergrößerte Darstellung des Ausschnitts III in Fig. 2,3 is an enlarged view of section III in Fig. 2,
Fig. 4 ausschnittweise eine Draufsicht des Temperatursensors in Fig. 1 bei entfernterFig. 4 shows a detail of a top view of the temperature sensor in Fig. 1 with removed
Deckschicht,overcoat
Fig. 5 eine gleiche Darstellung wie in Fig. 4 mit einer Modifizierung des Temperatursensors,5 shows the same representation as in FIG. 4 with a modification of the temperature sensor,
Fig. 6 eine Explosionsdarstellung einesFig. 6 is an exploded view of a
Temperatursensors gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel in Verbindung mit einer Vorrichtung zum Abgleichen des Meßwiderstands,Temperature sensor according to a further embodiment in connection with a device for adjusting the measuring resistance,
Fig. 7 eine Draufsicht des Meßwiderstands imFig. 7 is a plan view of the measuring resistor in
Temperatursensor gemäß Fig. 6, vergrößert dargestellt,6, shown enlarged,
Fig.. __.8__ . .der z.eitli.che. Verlauf, von. Strom, und..Spannung an einer Brennstrecke beim Abgleichen des Meßwiderstands in Fig. 1 bzw. 6. Beschreibung der AusführungsbeispieleFig. __. 8__. . of the z.eitli.che. Course of. Current and voltage on a burning path when comparing the measuring resistance in FIGS. 1 and 6. Description of the embodiments
Der in Fig. 1 in Explosionsdarstellung skizzierte 5 Temperatursensor oder Temperaturmeßfühler zur Messung der Abgastemperatur von Brennkraftmaschinen alsThe 5 in Fig. 1 exploded view temperature sensor or temperature sensor for measuring the exhaust gas temperature of internal combustion engines as
Ausführungsbeispiel für einen allgemeinen Gasmeßfühler weist einen Träger 10, der z.B. aus einer Keramikfolie auf Festelektrolytbasis, beispielsweise aus Zirkoniumoxid (Zr02)An exemplary embodiment of a general gas sensor has a carrier 10 which is made, for example, of a ceramic film based on solid electrolyte, for example of zirconium oxide (Zr0 2 ).
10 bestehen kann, und eine Deckschicht 11 auf, die ebenfalls eine Keramikfolie auf Festelektrolytbasis sein kann. Zwischen Träger 10 und Deckschicht 11 ist ein Meßwiderstand in Form einer Widerstandsbahn 12 aus PCT-Widerstandsmaterial angeordnet, der eine Mäanderstruktur mit einer Vielzahl von10 can exist, and a cover layer 11, which can also be a ceramic film based on solid electrolyte. A measuring resistor in the form of a resistance track 12 made of PCT resistance material is arranged between the carrier 10 and the cover layer 11 and has a meandering structure with a large number of
15 'Mäanderschleifen oder Mäanderwindungen 121 (Fig. 2) aufweist und im sog. "heißen", dem Abgas ausgesetzten Bereich des Sensorelements liegt. Von den beiden Enden der Widerstandsbahn 12 erstrecken sich zwei parallele Anschlußleiterbahnen 13, 14 bis in den "kalten", nicht dem15 'has meandering loops or meandering windings 121 (FIG. 2) and lies in the so-called "hot" area of the sensor element which is exposed to the exhaust gas. From the two ends of the resistance track 12, two parallel connection tracks 13, 14 extend into the "cold", not that
20 Abgas ausgesetzten Bereich des Sensorelements. Dort sind auf die Unterseite des Trägers 10 zwei elektrische Kontaktflächen 15, 16 aufgedruckt, von denen die Kontaktfläche 15 durch den Träger 10 hindurch mit der Anschlußleiterbahn 13 und die Kontaktfläche durch den Träger 10 hindurch mit der20 area of the sensor element exposed to exhaust gas. There, two electrical contact surfaces 15, 16 are printed on the underside of the carrier 10, of which the contact surface 15 through the carrier 10 with the connecting conductor 13 and the contact surface through the carrier 10 with the
25 Anschlußleiterbahn 14 verbunden ist. Die Kontaktflächen 15, . 16 dienen im Betrieb des Temperaturmeßfühlers zur Zuführung des Meßstroms. Die Widerstandsbahn 12 einschließlich der beiden Anschlußleiterbahnen 13, 14 sind in eine elektrischen Isolierung, z.B. aus A1203, eingebettet, wozu auf die25 connecting conductor 14 is connected. The contact surfaces 15,. 16 serve to supply the measuring current during operation of the temperature sensor. The resistance track 12 including the two connecting conductor tracks 13, 14 are embedded in electrical insulation, for example from A1 2 0 3 , for which purpose the
30. Obers.eite..des .Tr.ä.g.exs 10.eine „untere..Isolierschicht.1.7..und auf die Unterseite der Deckschicht 11 eine obere Isolierschicht, die in Fig. 1 nicht zu sehen ist, aufgedruckt ist. Die Widerstandsbahn 12 mit den Anschlußleiterbahnen 13, 14 sind auf die untere Isolierschicht 17, z.B. im Siebdruckverfahren, aufgedruckt. Träger 10 und Deckschicht 11 liegen aufeinander und sind zusammenlaminiert.30. Top side of the T. a.g.ex. 10. a “lower..insulating layer.1.7..and an upper insulating layer, which cannot be seen in FIG. 1, printed on the underside of the covering layer 11 is. The resistance track 12 with the connecting conductor tracks 13, 14 are on the lower insulating layer 17, for example in Screen printing process, printed. Carrier 10 and cover layer 11 lie on top of one another and are laminated together.
Bei der Fertigung des Sensorelements wird die Geometrie der Widerstandsbahn 12 so gestaltet, daß der gemesseneWhen manufacturing the sensor element, the geometry of the resistance track 12 is designed such that the measured one
Kaltwiderstand kleiner ist als ein geforderter Vorgabewert des elektrischen Widerstands. In einem Abgleichprozeß wird nunmehr der elektrische Widerstand der Widerstandsbahn 19 so vergrößert, daß er in extrem engen Toleranzgrenzen dem Vorgabewert entspricht.Cold resistance is less than a required value of the electrical resistance. In an adjustment process, the electrical resistance of the resistance track 19 is now increased so that it corresponds to the specified value within extremely narrow tolerance limits.
Die Widerstandsbahn 19 ist in Fig. 2 in Draufsicht vergrößert dargestellt. Sie besitzt eine Vielzahl von Mäanderwindungen 121, die zwischen den Anschlußleiterbahnen 13, 14 hintereinander geschaltet sind. Ein Teil der Mäanderwindungen 121 auf der linken und rechten Seite des in Fig. 2 zu sehenden Layout der Widerstandsbahn 12, imThe resistance track 19 is shown enlarged in plan view in FIG. 2. It has a large number of meandering windings 121 which are connected in series between the connecting conductor tracks 13, 14. A part of the meandering turns 121 on the left and right side of the layout of the resistance track 12 shown in FIG. 2, in
Ausführungsbeispiel insgesamt acht Mäanderwindungen 121, sind jeweils mit einer Brennstrecke 18 so überbrückt, daß die gesamte Mäanderwindung 121 der Brennstrecke 18 parallelgeschaltet ist. Die nebeneinanderliegenden, jeweils von einer Brennstrecke 18 überbrückten Mäanderwindungen 121 sind in ihrem Widerstandswert, z.B. binär, abgestuft, so daß bei Aufbrennen einer ausgewählten Brennstrecke 18 der Widerstand der Widerstandsbahn 12 um einen bestimmten Widerstandswert, nämlich den der nunmehr in Reihe geschalteten Mäanderwindung 121, definiert vergrößert wird.Embodiment a total of eight meandering windings 121 are each bridged with a burning section 18 so that the entire meandering winding 121 of the burning section 18 is connected in parallel. The meandering turns 121 lying next to one another, each bridged by a firing section 18, have a resistance value, e.g. binary, graded, so that when a selected burning path 18 is burned on, the resistance of the resistance track 12 is increased in a defined manner by a certain resistance value, namely that of the meandering winding 121 now connected in series.
Das Aufbrennen der Brennstrecke 18 zum Abgleich, Trimmen oder Kalibrieren der Widerstandsbahn .12 erfolgt, durch energiekontrollierte Stromimpulse, die durch ausgewählte Brennstrecken 18 hindurchgeschickt werden. Die Stromimpulse sind Konstantstromimpulse, deren Impulsdauer gesteuert wird. Um die Stromimpulse an die Brennstrecken 18 führen zu können, werden bei der Fertigung des Sensorelements an die Verbindungsstellen von Mäanderwindung 121 und Brennstrecken 18 Leiterbahnen 19 geführt, die bis in den Kaltbereich des Sensorelements reichen und dort kontaktiert werden können. In dem in Fig. 2 vergrößert dargestellten Ausführungsbeispiel der Widerstandsbahn 12 mit insgesamt acht Brennstrecken 18 sind insgesamt acht Leiterbahnen 19 erforderlich, die zwischen den beiden Anschlußleiterbahnen 13, 14 für die Widerstandsbahn 12 verlaufen. Zum Aufschalten einesThe burning section 18 is burned on for the purpose of trimming, trimming or calibrating the resistance track 12 by energy-controlled current pulses which are sent through selected burning sections 18. The current pulses are constant current pulses, the pulse duration of which is controlled. In order to be able to conduct the current impulses to the burning sections 18, during the manufacture of the sensor element, conductor tracks 19 are led to the connection points of meandering winding 121 and burning sections 18, which reach into the cold area of the sensor element and can be contacted there. In the embodiment of the resistor track 12 with a total of eight focal paths 18 shown enlarged in FIG. 2, a total of eight conductor tracks 19 are required, which run between the two connecting conductor tracks 13, 14 for the resistor track 12. To activate one
Stromimpulses auf die beiden äußersten Brennstrecken 18 werden auch die beiden Anschlußleiterbahnen 13, 14 herangezogen. Für die Kontaktierung der Leiterbahnen 19 ist in dem "kalten" Bereich des Sensorelements eine Aussparung 20 in der Deckschicht 11 und der darunterliegenden oberen Isolierschicht vorgesehen, die nach Abschluß des Abgleichprozesses ggf. verschlossen wird. Wie Fig. 4 zeigt sind in dem von der Aussparung 20 freigegebenen Bereich der Leiterbahnen 19 Kontaktierungsflächen 21 angeordnete, von denen jeweils eine mit einer Leiterbahn 19 verbunden ist. Wie am deutlichsten in Fig. 3 zu erkennen ist, sind die Brennstrecken 18, die aus dem gleichen Material wie die Widerstandsbahn 12 gefertigt sind, z.B. aus Platin, mit einer sehr viel kleineren Breite gegenüber der Widerstandsbahn 12 ausgeführt. Beispielsweise beträgt die Breite einer Mäanderwindung 121 30 - 40μm und die Breite einer Brennstrecke 18 15 - 20μm. Durch die wesentlich größere Länge einer Mäanderwindung 121 ist diese sehr viel hochohmiger als die Brennstrecke 18. Außerdem sind die Brennstrecken 18 tailliert,..so._daß_ sie mi.t.tig wesentlich dünner, .sind...Die ... Leiterbahnen 19 sind wesentlich breiter ausgeführt als die Brennstrecken 18, im Ausführungsbeispiel beispielsweise mit ca. 60μm. Der elektrische Widerstand der Widerstandsbahn 12 des so vorbereiteten, endgefertigten und gesinterten Sensorelements wird in einem dem Fertigungsprozeß nachgeschalteten Abgleichoder Trimmprozeß wie folgt an den höheren Vorgabewert angeglichen:Current pulse on the two outermost focal lengths 18, the two connecting tracks 13, 14 are used. For the contacting of the conductor tracks 19, a cutout 20 is provided in the "cold" area of the sensor element in the cover layer 11 and the upper insulating layer underneath, which may be closed after the adjustment process has been completed. As FIG. 4 shows, contacting areas 21 are arranged in the area of the conductor tracks 19 which is cleared from the recess 20, one of which is connected to a conductor track 19. As can be seen most clearly in FIG. 3, the focal lengths 18, which are made from the same material as the resistance track 12, for example from platinum, are made with a much smaller width than the resistance track 12. For example, the width of a meandering turn 121 is 30 - 40 μm and the width of a firing section 18 is 15 - 20 μm. Due to the much longer length of a meandering winding 121, it is much more resistive than the firing section 18. In addition, the firing sections 18 are waisted, so that they are slightly thinner, are ... The ... conductor tracks 19 are made much wider than the focal lengths 18, in the exemplary embodiment, for example, with about 60 microns. The electrical resistance of the resistance track 12 of the sensor element thus prepared, finished and sintered is adjusted to the higher default value in a trimming or trimming process following the manufacturing process as follows:
Der Widerstandswert der kalten Widerstandsbahn 12 wird gemessen und anhand der Widerstandsdifferenz zu dem Vorgabewert diejenigen Brennstrecken 18 festgelegt, die aufgetrennt werden müssen, um den geforderten Widerstandswert zu erreichen. Da die gestuften Widerstandswerte der Mäanderwindungen 121 im Layout der mäanderförmigen Widerstandsbahn 12 bekannt sind, können die erforderlichen Brennstrecken 18 problemlos festgestellt werden. Die festgelegten Brennstrecken 18 werden nacheinander durchThe resistance value of the cold resistance track 12 is measured and, based on the difference in resistance to the preset value, those focal lengths 18 are determined which have to be separated in order to achieve the required resistance value. Since the stepped resistance values of the meandering windings 121 in the layout of the meandering resistance track 12 are known, the required focal lengths 18 can be determined without problems. The defined focal lengths 18 are successively
Anlegen eines Konstantstromimpulses aufgebrannt. Hierzu ist eine Abgleichelektronik 22 vorgesehen, die - wie hier nicht weiter dargestellt ist - eine Konstantstromquelle, einen Schalttyristor und eine Steuerelektronik zum Ein- und Abschalten des Schalttyristors aufweist. Zur Erzeugung des die ausgewählte Brennstrecke 18 aufbrennenden Konstantstromimpulses werden die beiden zu der ausgewählten Brennstrecke 18 führenden Leiterbahnen 19 durch die Aussparung 20 hindurch kontaktiert und an die Abgleichelektronik 22 angeschlossen. Mit Aufsteuern des Schaltthyristors wird die Konstantstromquelle an die Brennstrecke 18 angeschlossen. Sobald die Brennstrecke 18 aufgeschmolzen ist, bewirkt der Schaltthyristor eine sofortige Trennung der Konstantstromquelle von den Leiterbahnen .19... Der. während, .des...Schließens..des .... _.. . _.„. Schaltthyristors und nach dem Wiederöffnen des Schaltthyristors auftretende Strom- und Spannungsverlauf an der Brennstrecke 18 ist im Diagram der Fig. 8 dargestellt, wobei die durchgezogene Linie den Stromverlauf I (t) und die gestrichelte Linie den Spannungsverlauf U(t) über der Zeit t darstellt. Die Steuerung der Impulsdauer des Konstantstromimpulses erfolgt derart, daß die an der Brennstrecke 18 abfallende Spannung U mit Beginn des Durchsteuern des Schaltthyristors überwacht wird. An der 5 Brennstrecke 18 steigt die Spannung zunächst linear und dann beim Aufbrennen der Brennstrecke 18 infolge des Lastwechsels exponentiell an, was dazu genutzt wird, den Schaltthyristor zu sperren. Der Schaltthyristor, der eine sehr hohe Abschaltempfindlichkeit, z.B. 1, 5V/100nsek. , aufweist trenntApplying a constant current pulse burned. For this purpose, adjustment electronics 22 are provided, which - as is not shown further here - have a constant current source, a switching tyristor and control electronics for switching the switching tyristor on and off. To generate the constant current pulse burning up the selected burning path 18, the two conductor tracks 19 leading to the selected burning path 18 are contacted through the cutout 20 and connected to the adjustment electronics 22. When the switching thyristor is turned on, the constant current source is connected to the burning path 18. As soon as the burning path 18 has melted, the switching thyristor brings about an immediate separation of the constant current source from the conductor tracks. during, .closing..closing ... _ ... _. ". Switching thyristor and after the reopening of the switching thyristor current and voltage curve on the burning path 18 is shown in the diagram of Fig. 8, the solid line the current curve I (t) and the dashed line the voltage curve U (t) over time t represents. The control of the pulse duration of the constant current pulse is carried out in such a way that the voltage U falling across the burning path 18 is monitored when the switching thyristor begins to turn on. The voltage at the 5 burn path 18 first increases linearly and then exponentially as the burn path 18 burns due to the load change, which is used to block the switching thyristor. The switching thyristor, which has a very high switch-off sensitivity, e.g. 1, 5V / 100nsec. , has separates
10 die Konstantstromquelle von den Leiterbahnen 19, so daß der Stromimpuls auf Null abfällt. Durch diese Steuerung der Impulsdauer hat der Stromimpuls nur eine solche Energie, die zum Aufschmelzen der taillierten Brennstrecke 18 ausreicht, nicht aber die parallelgeschaltete Mäanderwindung 12110 the constant current source from the conductor tracks 19, so that the current pulse drops to zero. As a result of this control of the pulse duration, the current pulse has only such energy that is sufficient to melt the tailored firing section 18, but not the meandering winding 121 connected in parallel
15 beschädigt oder deren Widerstand verändert. Das aus der15 damaged or their resistance changed. That from the
Brennstrecke 18 ausgeschmolzene Material wird in einem hier nicht zu sehenden Hohlraum in der Deckschicht 11 bzw. in der auf diese aufgedruckte Isolationsschicht aufgenommen. Der Hohlraum wird bei der Fertigung des Sensorelement durch dasMelting section 18 melted material is received in a cavity not visible here in the cover layer 11 or in the insulation layer printed thereon. The cavity is created by the sensor element during manufacture
20 Überdrucken der Brennstrecke 18 mit kohlenstoffhaltiger20 overprinting the burning section 18 with carbonaceous
Siebdruckpaste hergestellt, die dann durch das Sintern des Sensorelements vollständig oxidiert und in die Gasphase übergeht.Screen printing paste produced, which is then completely oxidized by the sintering of the sensor element and passes into the gas phase.
25 Der beschriebene Abgleichvorgang läßt sich sowohl bei bekannter Raumtemperatur als auch bekannter Hochtemperatur oder in einem flüssigen Medium durchführen, da der gesamte Bereich der Widerstandsbahn 12 hermetisch dicht ist. Zur Erzielung einer höheren Thermoschockresistenz sowie25 The adjustment process described can be carried out either at a known room temperature or a known high temperature or in a liquid medium, since the entire region of the resistance track 12 is hermetically sealed. To achieve a higher thermal shock resistance as well
30. geringeren.„Stromdichten _bei hochohmigeren ..Brenns.trecken.- 18 . . ist es vorteilhaft, das Abgleichen der Widerstandsbahn 12 bei höheren Temperaturen durch Eigen- oder Fremdbeheizung vorzunehmen. Will man die Aussparung 20 in der Deckschicht 11 für die Kontaktierung der Leiterbahnen 19 vermeiden, die zur Verhinderung von die Kennlinie des Sensorelements beeinflussenden Ablagerungen auf den Kontaktierungsflachen 21 (z.B. elektrisch leitfähigem Ruß) mit isolierendem, gasdurchlässigem Material verschlossen wird, so werden - wie dies in Fig. 5 skizziert .ist - bei der Fertigung des Sensorelements die Leiterbahnen 19 bis in einen hinter dem Ende der Anschlußleiterbahnen 13, 14 liegenden Bereich des Trägers 10 geführt, der nicht von der Deckschicht 11 überdeckt ist. In diesem Bereich ist wiederum jede Leiterbahn 19 mit einer Kontaktierungsflache 21 verbunden. Nach dem Trimmen des Sensorelements, also dem Abgleich des elektrischen Widerstands der Widerstandsbahn 12 auf den erforderlichen Vorgabewert, wird der nicht von der Deckschicht 11 überdeckte Bereich des Trägers 10 einschließlich der Leiterbahnenden und Kontaktierungsflachen 21 abgetrennt.30. Lower. "Current densities _ with higher-resistance .. fuel lines. - 18. , it is advantageous to carry out the adjustment of the resistance track 12 at higher temperatures by means of internal or external heating. If you want to avoid the cutout 20 in the cover layer 11 for contacting the conductor tracks 19, which are sealed with insulating, gas-permeable material to prevent deposits on the contacting surfaces 21 (for example electrically conductive carbon black) influencing the characteristic curve of the sensor element, then - like this is sketched in FIG. 5 - during the manufacture of the sensor element, the conductor tracks 19 are guided into an area of the carrier 10 which is behind the end of the connecting conductor tracks 13, 14 and which is not covered by the cover layer 11. In this area, each conductor track 19 is in turn connected to a contact area 21. After the sensor element has been trimmed, that is to say the electrical resistance of the resistance track 12 has been adjusted to the required default value, the area of the carrier 10 that is not covered by the cover layer 11, including the conductor track ends and contacting areas 21, is separated.
Eine Abwandlung des beschriebenen Abgleichverfahr.ens läßt die Notwendigkeit, an alle Brennstrecken 18 eine Leiterbahn 19 zu führen, entfallen. Von den bei der Fertigung des Sensorelements an die Widerstandsbahn 12 angebrachten, die entsprechenden Mäanderwindungen 121 überbrückenden Brennstrecken 18 werden die beiden ersten Brennstrecken 18, die links und rechts des Mäanders je einer Mäanderwindung 121 parallelgeschaltet sind (Fig. 7) mit je einer der Anschlußleiterbahnen 13, 14 der Widerstandsbahn 12 verbunden. Im Abgleichprozeß wird nunmehr die Abgleichelektronik 22 an die -beiden- Kontaktflächen- -15-,. -16--der.-Anschlußlei-terbahnen..13, 14 angeschlossen, wie dies in Fig. 6 dargestellt ist. Sind nach Messen des Widerstandswerts der Widerstandsbahn 12 des endgefertigten Sensorelements die entsprechenden Brennstrecken 18 festgelegt, die aufgetrennt werden müssen, um den Vorgabewert der Widerstandsbahn 12 zu erreichen, so wird von der Abgleichelektronik 22 ein wie vorstehend beschriebener Konstantstromimpuls auf die beiden Anschlußleiterbahnen 13, 14 aufgeschaltet . Vor AufSchaltung des Stromimpulses wird aber diejenige Brennstrecke 18, die 5 aufgetrennt werden soll, mittels eines Laserimpulses lokal erwärmt. Der Laserimpuls wird von einem Laser 23 im Infrarotbereich mit einer Wellenlänge λ < 2,5μm erzeugt. Der Laserimpuls wird durch den Träger 10 und durch die untere Isolierschicht 17 hindurch auf die ausgewählte BrennstreckeA modification of the Abgleichverfahr.ens described eliminates the need to run a conductor track 19 to all focal lengths 18. From the firing sections 18 attached to the resistance track 12 during the manufacture of the sensor element and bridging the corresponding meandering turns 121, the first two firing sections 18, which are connected to the left and right of the meander in each case one meandering turn 121 (FIG. 7), each with one of the connecting conductor tracks 13 , 14 connected to the resistance track 12. In the adjustment process, the adjustment electronics 22 are now connected to the two contact surfaces -15-. -16 - der.-Anschlusslei-terbahnen..13, 14 connected, as shown in Fig. 6. Once the resistance value of the resistance track 12 of the finished sensor element has been measured, the corresponding focal lengths 18, which have to be separated in order to achieve the preset value of the resistance track 12, are defined a constant current pulse as described above is applied to the two connecting conductor tracks 13, 14 by the adjustment electronics 22. Before the current pulse is applied, however, the burning path 18 that is to be separated 5 is locally heated by means of a laser pulse. The laser pulse is generated by a laser 23 in the infrared range with a wavelength λ <2.5 μm. The laser pulse is transmitted through the carrier 10 and through the lower insulating layer 17 onto the selected focal path
10 18 gerichtet, damit eine gute Ankopplung an der Isolierschicht 17 vorliegt. Eine Einbringung des Laserimpulses durch die Deckschicht 11 hindurch ist unvorteilhaft, da hier der über den Brennstrecken 18 eingebrachte Hohlraum in der Deckschicht 11 und der10 18 directed so that there is a good coupling to the insulating layer 17. Introducing the laser pulse through the cover layer 11 is disadvantageous, since here the cavity in the cover layer 11 and the cavity introduced over the focal lengths 18
15 darunterliegenden Isolierschicht vorhanden ist. Aufgrund der Laser-Erwärmung erhöht sich der spezifische Widerstand der Brennstrecke 18 gegenüber den anderen Brennstrecken 18, z.B. um dem Faktor zwei. Der nunmehr durch die Widerstandsbahn 12 geschickte Konstantstromimpuls verstärkt mit seiner Energie15 underlying insulation layer is present. Due to the laser heating, the specific resistance of the burning section 18 increases compared to the other burning sections 18, e.g. by a factor of two. The constant current pulse now sent through the resistance path 12 amplifies with its energy
20 die lokale Erwärmung, so daß die in die bestrahlte20 local warming, so that in the irradiated
Brennstrecke 18 vom Stromimpuls eingetragene Leistung um z.B. den Faktor zwei größer ist als bei den übrigen Brennstrecken 18. Dadurch kommt eine weitere Erwärmung in Gang, die bis zum Aufschmelzen der erwärmten Brennstrecke 18 führt. DieBurning path 18 power input from the current pulse by e.g. is a factor of two greater than that of the other burning sections 18. As a result, further heating starts, which leads to the melting of the heated burning section 18. The
25 Brennstrecken 18 werden in Länge, Breite und Höhe so dimensioniert, daß ein um ca. 50% höherer Energieumsatz stattfindet als in der zur Brennstrecke 18 in Reihe bzw. parallelgeschalteten Mäanderwindung 121. Da bei einem hohen Widerstand der Widerstandsbahn 12 zur25 burning sections 18 are dimensioned in length, width and height in such a way that an approximately 50% higher energy conversion takes place than in the meandering winding 121 connected in series or in parallel with the burning section 18. Since the resistance track 12 is at a high resistance to
3.0_ . Aufre.chterhaltung. des-.Konstants-tromimpulses -e-ine---recht- - hohe ■ -- Abgleichspannung von der Abgleichelektronik 22 aufzubringen ist, werden ein oder zwei zusätzliche Leiterbahnen 24, 25 an die Brennstrecken 18 geführt, wie dies in Fig. 7 dargestellt ist. Von den insgesamt vier Mäanderwindungen 121, die im Außenbereich auf der linken und rechten Seite der Widerstandsbahn 12 mittels einer Brennstrecke 18 überbrückt sind, ist die erste Brennstrecke 18 nach wie vor mit der Anschlußleiterbahn 13 bzw. 14 verbunden. An die letzte der hintereinanderliegenden Brennstrecken 18 ist die Zusatz- Leiterbahn 24 bzw. 25 geführt. Die Abgleichelektronik 22 wird nunmehr an die Anschlußleiterbahn 13 bzw. 14 und an die Zusatz-Leiterbahn 24 bzw. 25 angeschlossen. Die Zusatz- Leiterbahnen 24, 25 werden in gleicher Weise kontaktiert, wie dies mit Bezug auf Fig. 4 und 5 für die Leiterbahnen 19 beschrieben worden ist. Nach lokaler Erwärmung der ausgewählten Brennstrecke 18 wird der Stromimpuls über die Anschlußleitung 13 bzw. 14, durch einen Teil der Widerstandsbahn 12 und über die Zusatz-Leiterbahn 24 bzw. 25 geschickt und die erwärmte Brennstrecke 18 wird aufgetrennt. Da der Gesamtwiderstand der im Ausführungsbeispiel vier parallel bzw. in Reihe geschalteten Mäanderwindungen 121 wesentlich kleiner ist als der Gesamtwiderstand der Widerstandsbahn 12 ist eine deutlich geringere ' Abgleichspannung beim Anlegen der Stromimpulse erforderlich.3.0_. Aufre.chterhaltung. of the. constant current pulse -e-ine --- right- - high ■ - trimming voltage from the trimming electronics 22, one or two additional conductor tracks 24, 25 are routed to the firing paths 18, as shown in FIG. 7 is. Of the total of four meandering turns 121, which are in the If the outer area on the left and right side of the resistance track 12 is bridged by means of a burning path 18, the first burning path 18 is still connected to the connecting conductor track 13 and 14, respectively. The additional conductor track 24 or 25 is guided to the last of the focal lengths 18 lying one behind the other. The adjustment electronics 22 are now connected to the connecting conductor track 13 or 14 and to the additional conductor track 24 or 25. The additional conductor tracks 24, 25 are contacted in the same manner as has been described for the conductor tracks 19 with reference to FIGS. 4 and 5. After local heating of the selected burning section 18, the current pulse is sent via the connecting line 13 or 14, through part of the resistance track 12 and via the additional conductor track 24 or 25, and the heated burning section 18 is separated. Since the total resistance of the connected in the exemplary embodiment four parallel or in series meander 121 is substantially smaller than the total resistance of the resistance path 12, a substantially lower 'tuning voltage upon application of the current pulses is required.
Grundsätzlich ist eine einzige Zusatz-Leiterbahn 24 ausreichend, wenn die Brennstrecken 18 so angeordnet werden, daß die letzte aller Brennstrecken 18 an die einzige Zusatz- Leiterbahn 24 angeschlossen ist. Die beiden zusätzlichen Leiterbahnen 24, 25 sind bei dem in Fig. 7 gezeigten symmetrischen Layout der Widerstandsbahn 12 von Vorteil.Basically, a single additional conductor 24 is sufficient if the focal paths 18 are arranged such that the last of all focal paths 18 is connected to the single additional conductor 24. The two additional conductor tracks 24, 25 are advantageous in the symmetrical layout of the resistance track 12 shown in FIG. 7.
Die beschriebenen Abgleichverfahren sind nicht auf das beispielhaft., beschriebene..Abgleichen . des ..Meßwiderstands eines Temperaturmeßfühlers beschränkt. Es kann ebensogut zum Abgleich des elektrischen Widerstandsheizers einer Sonde zur Bestimmung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Meßgas, z.B. der Sauerstoff- oder Stickoxidkonzentration im Abgas von Brennkraftmaschinen, herangezogen werden, bei denen eine mäanderförmige Widerstandsbahn niederohmig ausgelegt ist. Darüber hinaus kann das Verfahren auch bei Multilayer- Hybridschaltungen eingesetzt werden, da auch hier Abgleichwiderstände zwischen den Schichten angeordnet sind. The adjustment methods described are not based on the example. Adjustment described. of the measuring resistance of a temperature sensor is limited. It can equally well be used to adjust the electrical resistance heater of a probe to determine the concentration of a gas component in a measurement gas, for example the oxygen or nitrogen oxide concentration in the exhaust gas of internal combustion engines, in which a meandering resistance track is designed with low resistance. In addition, the method can also be used in multilayer hybrid circuits, since here, too, matching resistors are arranged between the layers.

Claims

Ansprüche Expectations
1. Verfahren zum Abgleichen des elektrischen Widerstands einer zwischen zwei Schichten (10, 11) angeordneten, in1. Method for adjusting the electrical resistance of a layer arranged between two layers (10, 11).
Mäanderwindungen (121) verlaufenden Widerstandsbahn (12) auf einen Vorgabewert, bei dem die Widerstandsbahn (12) mit einem auf den Vorgabewert bezogen kleineren Widerstand und mit Mäanderwindungen (121) überbrückenden Brennstrecken (18) gefertigt und das Abgleichen durch Auftrennen ausgewählter Brennstrecken (18) vorgenommen wird, dadurch gekennzeichnet, daß zum Auftrennen der Brennstrecken (18) energiekontrollierte Stromimpulse durch die Brennstrecken (18) geschickt werden.Meandering turns (121) to a default value, in which the resistance track (12) is manufactured with a smaller resistance relative to the default value and with meandering turns (121) bridging burning distances (18) and the adjustment by separating selected burning distances (18). is carried out, characterized in that to separate the burning sections (18), energy-controlled current pulses are sent through the burning sections (18).
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Brennstrecken (18) so angeordnet werden, daß zumindest bei einem Teil der Mäanderwindungen (121) jeder Mäanderwindung (121) eine Brennstrecke (18) parallelgeschaltet ist.2. The method according to claim 1, characterized in that the burning sections (18) are arranged such that a burning section (18) is connected in parallel for at least some of the meander turns (121) of each meander turn (121).
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine der Brennstrecken (18) mit einer von zwei an die beiden Enden der Widerstandsbahn (12) geführten . Anschlußleiterbahnen.. (13, 1.4). _ verbunden wird.. nd „daß. zum Auftrennen einer ausgewählten Brennstrecke (18) die ausgewählte Brennstrecke (18) erwärmt und der Stromimpuls auf die Anschlußleiterbahnen (13, 14) der Widerstandsbahn (12) aufgeschaltet wird. 3. The method according to claim 2, characterized in that one of the burning sections (18) with one of two guided to the two ends of the resistance track (12). Connection traces... (13, 1.4). _ is connected.. nd “that. to separate a selected burning section (18), the selected burning section (18) is heated and the current pulse is applied to the connecting conductor tracks (13, 14) of the resistance track (12).
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine erste Brennstrecke (18) mit einer von zwei an die beiden Enden der Widerstandsbahn (12) geführten Anschlußleiterbahnen (13, 14) und mindestens4. The method according to claim 2, characterized in that at least a first burning section (18) with one of two connecting conductor tracks (13, 14) guided to the two ends of the resistance track (12) and at least
5 eine letzte Brennstrecke (18) mit einer Zusatz- Leiterbahn (24, 25) verbunden wird und daß zum Auftrennen der ausgewählten Brennstrecke (18) diese erwärmt und der Stromimpuls zwischen Anschlußleiterbahn (13, 14) und Zusatz-Leiterbahn (24, 25) aufgeschaltet 10 wird.5 a last burning path (18) is connected to an additional conductor track (24, 25) and that in order to separate the selected burning path (18), it is heated and the current pulse between the connecting conductor track (13, 14) and the additional conductor track (24, 25) switched on 10.
5. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Erwärmung der Brennstrecke (18) mit einem Laserimpuls durch eine der die Widerstandsbahn5. The method according to claim 3 or 4, characterized in that the heating of the burning section (18) with a laser pulse through one of the resistance paths
15 (12) abdeckenden Schichten (10) hindurch vorgenommen wird.15 (12) covering layers (10) is carried out.
6. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß an die Verbindungsstellen der Brennstrecken (18) mit den6. The method according to claim 2, characterized in that at the connection points of the combustion sections (18) with the
20 Mäanderwindungen (121) Leiterbahnen (19) geführt werden und daß zum Auftrennen einer Brennstrecke (18) der Stromimpuls auf die an die ausgewählte Brennstrecke (18) führenden beiden Leiterbahnen (19) aufgeschaltet wird.20 meander turns (121) of conductor tracks (19) are guided and that in order to separate a burning path (18), the current pulse is applied to the two conductor tracks (19) leading to the selected burning path (18).
25 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 - 6, dadurch gekennzeichnet, daß als Stromimpulse Konstantstromimpulse verwendet werden und daß deren Impulsdauer gesteuert wird. 25 7. Method according to one of claims 1 - 6, characterized in that constant current pulses are used as current pulses and that their pulse duration is controlled.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß8. The method according to claim 7, characterized in that
3.0. .. .. die an der „ausgewählten„.Brennsixe„cke_ .(.18) ..abfallende Spannung überwacht und bei Detektion eines überproportionalen Spannungsanstiegs der Stromimpuls abgeschaltet wird. 3.0. .. .. the voltage falling at the “selected” firing six corner (.18) .. is monitored and the current pulse is switched off if a disproportionate increase in voltage is detected.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 3 - 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Aufschaltung eines Stromimpulses mittels eines elektronischen Schalters vorgenommen wird, der eine Konstantstromquelle für die Impulsdauer an die9. The method according to any one of claims 3 - 8, characterized in that the connection of a current pulse is carried out by means of an electronic switch which connects a constant current source for the pulse duration
5 Leiterbahnen (19; 24, 25) und/oder Anschlußleiterbahnen (13, 14) anschließt.5 conductor tracks (19; 24, 25) and/or connecting conductor tracks (13, 14) are connected.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 - 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktierung der Leiterbahnen10. The method according to any one of claims 4 - 9, characterized in that the contacting of the conductor tracks
10 (19) durch eine Aussparung (20) hindurch vorgenommen wird, die in eine der die Widerstandsbahn (12) abdeckenden Schichten (11) eingearbeitet ist.10 (19) is made through a recess (20) which is incorporated into one of the layers (11) covering the resistance track (12).
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 - 9, dadurch 15 gekennzeichnet, daß die Leiterbahnen (19) mit ihren11. The method according to any one of claims 4 - 9, characterized in that the conductor tracks (19) with their
Bahnenden bis in einen hinter dem Ende der Anschlußleiterbahnen (13, 14) liegenden Bereich geführt werden, in dem sie nur einseitig von einer Schicht (10) abgedeckt sind, und daß dieser Bereich nach dem 20 Abgleichen der Widerstandsbahn (12) abgetrennt wird.The ends of the tracks are guided into an area behind the end of the connecting conductor tracks (13, 14), in which they are only covered on one side by a layer (10), and that this area is separated after the resistance track (12) has been adjusted.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 - 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Brennstrecken (18) wesentlich schmaler als die Mäanderwindungen (121) der12. The method according to any one of claims 1 - 11, characterized in that the burning paths (18) are significantly narrower than the meander turns (121).
25 Widerstandsbahn (12) und als die Leiterbahnen (19; 24, 25) ausgeführt werden.25 resistance track (12) and as the conductor tracks (19; 24, 25) are executed.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 - 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Brennstrecken (18) tailliert ausgeführt werden.13. The method according to any one of claims 1 - 12, characterized in that the burning sections (18) are designed to be tailored.
30..30..
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 - 13, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereich der Brennstrecken (18) in einer der die Widerstandsbahn (12) abdeckenden Schichten (11) ein Hohlraum ausgebildet wird. 14. The method according to any one of claims 1 - 13, characterized in that in the area of the burning sections (18) a cavity is formed in one of the layers (11) covering the resistance track (12).
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