EP1511582A2 - Device for cleaning the surface of a component - Google Patents
Device for cleaning the surface of a componentInfo
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Abstract
The invention concerns a means for trapping particles dislodged by a laser (4) designed to attract them and prevent them from dropping down again more efficiently than with a conventional blower sweeping means. Various types of attraction forces ca be used. Means for particle destruction, such as a second high-power laser above the treated surface (3), can also be used.
Description
DISPOSITIF DE NETTOYAGE D'UNE SURFACE D'UNE PIECE DEVICE FOR CLEANING A SURFACE OF A WORKPIECE
DESCRIPTIONDESCRIPTION
Le sujet de cette invention est un dispositif de nettoyage d'une surface d'une pièce notamment optique ou électronique pour y ôter certaines particules dites contaminantes qui la rendraient inapte au service pour lequel elle est prévue. Ces particules peuvent être de nature minérale ou organique.The subject of this invention is a device for cleaning a surface of a part, in particular an optical or electronic part, in order to remove certain so-called contaminating particles which would render it unfit for the service for which it is intended. These particles can be mineral or organic in nature.
Un moyen connu pour nettoyer divers objets est le faisceau d'un laser. Cette technique a été proposée pour nettoyer des façades de monuments, des composants micro-électroniques comme des circuits intégrés des disques optiques, ou des pièces destinées à des usages optiques. L'énergie du faisceau détache les particules de la surface.One known means for cleaning various objects is the beam of a laser. This technique has been proposed for cleaning facades of monuments, micro-electronic components such as integrated circuits of optical discs, or parts intended for optical uses. The beam energy detaches the particles from the surface.
On s'est aussi préoccupé de retirer les particules détachées de la surface de la pièce pour éviter qu'elles ne retombent ensuite. Un gaz de balayage est fréquemment employé. Un autre procédé utilise la vaporisation d'un liquide préalablement déposé sur la surface à décontaminer par le laser lui- même : la vapeur soulève les particules. Une illustration de ces techniques est constituée par le brevet US 5 024 968 A.There has also been concern to remove loose particles from the workpiece surface to prevent them from falling back down. Sweeping gas is frequently used. Another method uses the vaporization of a liquid previously deposited on the surface to be decontaminated by the laser itself: the vapor lifts the particles. An illustration of these techniques is constituted by US patent 5,024,968 A.
On observe toutefois certaines insuffisances des procédés déjà proposés, certaines au moins des particules détachées retombant sur la surface nettoyée, non loin de l'endroit d'où elles proviennent.
Un moyen d'élimination perfectionné de ces particules est donc souhaité : c'est le sujet de cette invention.However, there are certain shortcomings of the methods already proposed, at least some of the loose particles falling on the cleaned surface, not far from the place from which they originate. An improved means of elimination of these particles is therefore desired: this is the subject of this invention.
Dans le brevet antérieur mentionné plus haut, on s'efforce de retirer les particules soulevées par un balayage accompli par un courant de gaz rasant la surface. Un tel balayage est insuffisant puisque les particules détachées sont transportées en survolant la pièce à peu de distance, ce qui explique qu'elles puissent facilement retomber. Le moyen d'élimination proposé avec l'invention est un moyen de capture ou de destruction des particules pouvant prendre diverses formes, mais qui est disposé devant la surface (et donc proche d'elle) pour produire soit une attraction sur les particules si le moyen est un moyen de capture, soit une élimination immédiate des particules si le moyen est un moyen de destruction.In the earlier patent mentioned above, efforts are made to remove the particles raised by a sweep carried out by a stream of gas grazing the surface. Such a sweep is insufficient since the detached particles are transported by flying over the part at a short distance, which explains why they can easily fall back. The means of elimination proposed with the invention is a means of capturing or destroying particles which can take various forms, but which is arranged in front of the surface (and therefore close to it) to produce either an attraction on the particles if the medium is a means of capture, or an immediate elimination of particles if the means is a means of destruction.
Les moyens de capture par attraction ont pour caractéristique que leur action sur les particules ne se relâche pas jusqu'à la capture contrairement à l'action des moyens de balayage. Certains de ces moyens consistent en des moyens d'aspiration ou des structures polarisées par rapport à la pièce pour produire la force d'attraction sur les particules détachées. Des moyens de destructions peuvent comprendre le faisceau d'un deuxième laser différent du précédent. La proximité du moyen de capture ou de destruction de la surface à nettoyer garantit un bon résultat du procédé.The attraction capture means have the characteristic that their action on the particles does not relax until capture, unlike the action of the scanning means. Some of these means consist of suction means or structures polarized with respect to the part to produce the force of attraction on the detached particles. Destruction means may include the beam of a second laser different from the previous one. The proximity of the means for capturing or destroying the surface to be cleaned guarantees a good result of the process.
Les divers aspects de l'invention seront à présent décrits au moyen des figures 1 à 8, qui
représentent toutes un mode particulier de sa réalisation, sans que d'autres soient exclus.The various aspects of the invention will now be described by means of Figures 1 to 8, which all represent a particular mode of its realization, without others being excluded.
On se reporte à présent aux figures. A la figure 1, une pièce à décontaminer porte la référence 1, et elle est posée sur une table 2 mobile dans un plan X-Y pour déplacer la pièce 1, et plus précisément sa face 3 supérieure à décontaminer, devant un appareillage qui comprend un laser 4 émettant un faisceau 5 dirigé vers la face 3, et un dispositif d'aspiration 6 comprenant une pompe 7 et un conduit 8 dirigé vers la face 3 et plus précisément vers le point d'arrivée du faisceau 5 ; un filtre 9 peut être ajouté dans le conduit 8 ou en aval de la pompe 7.We now refer to the figures. In FIG. 1, a part to be decontaminated bears the reference 1, and it is placed on a table 2 movable in an XY plane to move the part 1, and more precisely its upper face 3 to be decontaminated, in front of an apparatus which comprises a laser 4 emitting a beam 5 directed towards the face 3, and a suction device 6 comprising a pump 7 and a conduit 8 directed towards the face 3 and more precisely towards the point of arrival of the beam 5; a filter 9 can be added in the duct 8 or downstream of the pump 7.
Le faisceau 5 détache les particules contaminantes de la face 3, et le courant d'aspiration les attire vers le conduit 8 et les fait passer par le filtre 9 où elles sont définitivement retenues. Le procédé de décontamination complet consiste à déplacer la table 2 et la pièce 1 de conserve jusqu'à ce que toute la zone à nettoyer de la face 3 ait été balayée par le faisceau 5.The beam 5 detaches the contaminating particles from the face 3, and the suction current attracts them towards the conduit 8 and passes them through the filter 9 where they are definitively retained. The complete decontamination process consists of moving the table 2 and the piece 1 of preservation until the entire area to be cleaned of the face 3 has been scanned by the beam 5.
A la figure 2, le dispositif d'aspiration est remplacé par une pointe 10 en matière conductrice et donc apte à être polarisée par un générateur de tension 11 par rapport à la pièce 1. La direction de polarisation est choisie de façon que les particules détachées et ionisées par l'énergie du laser 4 soient attirées par la pointe 10 et se déposent sur elle. La distance entre la pointe 10 et la face 3 est de quelques centaines de micromètres, pour une différence
de potentiel de quelques dizaines de volts à quelques kilovolts .In FIG. 2, the suction device is replaced by a tip 10 made of conductive material and therefore capable of being polarized by a voltage generator 11 relative to the part 1. The direction of polarization is chosen so that the detached particles and ionized by the energy of the laser 4 are attracted to the tip 10 and deposit on it. The distance between tip 10 and face 3 is a few hundred micrometers, for a difference potential from a few tens of volts to a few kilovolts.
On notera que ce mode de réalisation est particulièrement avantageux pour des pièces en relief, et notamment à cavité, puisque le moyen d'attraction peut être façonné de façon à rester très proche du faisceau du laser 5 et à le suivre même dans des cavités étroites. Toutes les réalisations de l'invention comprenant une capture des particules comportent ainsi une pièce de polarisation en forme de pointe qui attire les particules détachées de la surface dans les meilleures conditions. La forme pointue présente l'autre avantage de renforcer le champ de polarisation où il est requis. La polarisation peut être continue ou alternative. Enfin, l'application du champ est localisée où elle est utile.It will be noted that this embodiment is particularly advantageous for parts in relief, and in particular with cavity, since the attraction means can be shaped so as to remain very close to the beam of the laser 5 and to follow it even in narrow cavities. . All the embodiments of the invention comprising a capture of the particles thus comprise a point-shaped polarization piece which attracts the detached particles from the surface under the best conditions. The pointed shape has the other advantage of strengthening the field of polarization where it is required. The polarization can be continuous or alternative. Finally, the application of the field is located where it is useful.
Tout ce qui précède vaut pour la réalisation de la figure 3, où la pointe 10 électrostatique de la réalisation précédente est remplacée par une autre pointe 12 chauffée, par exemple par une résistance électrique 13 qu'elle contient et qui est parcourue d'un courant alternatif issu d'une source 14. C'est ici le phénomène de thermophorèse qu'on exploite pour faire attirer les particules détachées par la pointe 12. L'effet peut être avantageusement renforcé en refroidissant la pièce 1, par exemple par effet Peltier ou par un courant de gaz liquifié qui peut couler dans un conduit 23 creusé dans la table 2. Les moyens d'attraction décrits jusqu'à présent ne s'excluent pas, et ceux à décrire non plus.
Il est ainsi possible de combiner l'attraction par aspiration à l'attraction par polarisation électrique ou thermique, comme le montre la figure 4. On retrouve une pompe 7 et un conduit 8, mais l'extrémité du conduit 8 comporte des plaquettes polarisées 15 (qui peuvent former le conduit ou lui être simplement adjointes) analogues à ceux de la pointe 10. Les particules détachées sont aspirées dans le conduit 8 à la fois par la force d'aspiration et par la force électrostatique, et elles peuvent se déposer sur les plaquettes 15 quand cette force-ci est suffisante. On retrouve ici aussi un générateur de tension 11 pour polariser les plaquettes 15 par rapport à la pièce 1.All the above applies to the embodiment of Figure 3, where the electrostatic tip 10 of the previous embodiment is replaced by another heated tip 12, for example by an electrical resistance 13 which it contains and which is traversed by a current alternative from a source 14. This is the thermophoresis phenomenon that is exploited to attract the detached particles by the tip 12. The effect can be advantageously reinforced by cooling the part 1, for example by Peltier effect or by a stream of liquefied gas which can flow into a conduit 23 hollowed out in the table 2. The means of attraction described so far are not excluded, and those to be described either. It is thus possible to combine the attraction by aspiration with the attraction by electrical or thermal polarization, as shown in FIG. 4. There is a pump 7 and a conduit 8, but the end of the conduit 8 comprises polarized plates 15 (which can form the duct or be simply added to it) similar to those of the tip 10. The detached particles are sucked into the duct 8 by both the suction force and the electrostatic force, and they can deposit on the plates 15 when this force is sufficient. We also find here a voltage generator 11 for polarizing the plates 15 relative to the part 1.
Un autre moyen utilisé pour empêcher la contamination comprend un deuxième laser, fournissant une énergie différente du premier et conçu pour détruire les particules détachées . Alors que le premier laser 4 peut fournir un faisceau 5 par impulsions de 0,1 nanoseconde à 100 nanosecondes à une cadence supérieure à quelques hertz et une longueur d'onde dans l'ultra-violet, le second laser sera par exemple à fonctionnement continu à plusieurs centaines de watts ou quelques kilowatts. La longueur d'onde sera choisie pour être au mieux absorbée par le corps constituant les particules. La figure 5 représente un' tel agencement, où à côté du premier laser 4, on rencontre un deuxième laser 16 qui émet un faisceau 17 en incidence rasante au-dessus de la face supérieure 3 de manière à toucher les particules détachées qui s'envolent à cette hauteur. Avantageusement, le faisceau 17 est focalisé dans une ou deux directions et
comporte un foyer 18 là où il coupe le faisceau 5 du premier laser 4, afin que l'énergie soit le plus concentrée à l'endroit où les particules se détachent et où leur destruction est donc la plus indiquée. Certaines variantes de l'invention doivent encore être mentionnées. Il n'est ainsi pas nécessaire que le laser 4 détachant les particules soit dirigé vers la face 3 contaminée : la figure 6 montre qu'il peut très bien être dirigé vers le côté opposé de cette face, à condition que la pièce 1 soit transparente au faisceau 5. Le laser 4 est alors séparé du moyen de capture ou de destruction des particules (qui peut être le même que précédemment, par exemple un second laser 16) par la pièce 1. Enfin, la figure 7 montre qu'au dispositif précédent peut être adjoint un dispositif d'observation du phénomène pouvant consister en un laser supplémentaire 18 émettant un faisceau 19 d'éclairage qui est diffusé vers un dispositif optique pouvant comprendre un miroir 20 de renvoi et une lentille 21 qui focalise ce faisceau vers une caméra 22. Ce dispositif permet en particulier de visualiser les particules puis de les détruire en suivant, à l'image, le résultat du nettoyage. Ainsi il n'est pas toujours nécessaire de balayer toute la surface mais de diriger le faisceau uniquement sur les particules quand celles- ci sont rares. Un moyen de capture ou d'élimination des particules semblable aux précédents est ajouté au dispositif, mais n'a pas été représenté ici pour des raisons de clarté. Il est à remarquer que les faisceaux
laser ne sont pas nécessairement perpendiculaires aux surfaces à nettoyer ou à observer.Another means used to prevent contamination includes a second laser, providing energy different from the first and designed to destroy loose particles. While the first laser 4 can provide a beam 5 per pulse of 0.1 nanosecond to 100 nanoseconds at a rate greater than a few hertz and a wavelength in the ultraviolet, the second laser will for example be continuous operation at several hundred watts or a few kilowatts. The wavelength will be chosen to be best absorbed by the body constituting the particles. 5 shows a 'such an arrangement, where next to the first laser 4, a second laser 16 is encountered which emits a beam 17 at grazing incidence above the upper face 3 so as to contact the loose particles that fly at this height. Advantageously, the beam 17 is focused in one or two directions and has a focus 18 where it cuts the beam 5 of the first laser 4, so that the energy is most concentrated at the place where the particles are detached and where their destruction is therefore most indicated. Certain variants of the invention must also be mentioned. It is thus not necessary that the laser 4 detaching the particles is directed towards the contaminated face 3: FIG. 6 shows that it can very well be directed towards the opposite side of this face, provided that the part 1 is transparent to the beam 5. The laser 4 is then separated from the means for capturing or destroying the particles (which may be the same as previously, for example a second laser 16) by the part 1. Finally, FIG. 7 shows that at the device previous can be added a device for observing the phenomenon which may consist of an additional laser 18 emitting a beam 19 of illumination which is diffused towards an optical device which may include a deflection mirror 20 and a lens 21 which focuses this beam towards a camera 22. This device makes it possible in particular to visualize the particles then to destroy them by following, in the image, the result of cleaning. So it is not always necessary to sweep the whole surface but to direct the beam only on the particles when these are rare. A means for capturing or eliminating particles similar to the previous ones is added to the device, but has not been shown here for reasons of clarity. It should be noted that the beams laser are not necessarily perpendicular to the surfaces to be cleaned or observed.
Les réalisations précédentes pourraient être modifiées dans le détail, et d'autres seraient possibles : c'est ainsi qu'on pourrait combiner des moyens de capture et de destruction, pour par exemple attirer les particules par un moyen d'aspiration vers leur lieu de destruction, par le laser à forte énergie ou autrement . Une réalisation particulière d'intérêt certain . est décrite à la figure 8. Elle comprend une batterie de pointes 25 polarisées électriquement ou thermiquement et analoguese aux pointes 10 ou 12. Les pointes 25 dépendent d'un support commun 26 et sont toutes dirigées parallèlement vers la surface à décontaminer de la pièce 1. Des ajustements à vis ou à frottement des pointes 25 dans des perçages du support commun 26 permettent de régler séparément l'avance de chacune des pointes 25 et donc de les placer toutes à la distance voulue de la surface de la pièce 1 même si elle est en relief, de façon à instaurer un champ suffisant sans risquer un grattage de la surface et d'après aussi la nature du champ, celle des particules et les conditions d'exécution du procédé. La source 27 du champ peut être différente pour chacune des pointes 25 ou commune. Comme précédemment, elle peut être thermique, électrique, alternative ou continue.The previous embodiments could be modified in detail, and others would be possible: this is how we could combine means of capture and destruction, for example to attract the particles by a means of aspiration to their place of destruction, by high energy laser or otherwise. A particular achievement of certain interest. is described in Figure 8. It includes a battery of tips 25 electrically or thermally polarized and analogous to tips 10 or 12. The tips 25 depend on a common support 26 and are all directed parallel to the surface to be decontaminated from the part 1 Screw or friction adjustments of the points 25 in the holes of the common support 26 make it possible to separately adjust the advance of each of the points 25 and therefore to place them all at the desired distance from the surface of the part 1 even if it is in relief, so as to establish a sufficient field without risking a scratching of the surface and also according to the nature of the field, that of the particles and the conditions of execution of the process. The source 27 of the field can be different for each of the points 25 or common. As before, it can be thermal, electric, alternative or continuous.
Cette réalisation peut être employée avec effet en micro-électronique, sur des substrats feuilletés et composés de couches gravées. Les pointesThis embodiment can be used with effect in microelectronics, on laminated substrates and composed of etched layers. Peaks
25 sont alignées perpendiculairement à une direction
des reliefs de la surface de la pièce 1, et déplacées dans cette direction.25 are aligned perpendicular to a direction reliefs of the surface of the part 1, and moved in this direction.
Quand les pointes 10, 22 ou 25 sont polluées, elles sont soit nettoyées soit remplacées.
When the tips 10, 22 or 25 are polluted, they are either cleaned or replaced.
Claims
REVENDICATIONS
1) Dispositif de nettoyage de surface (3) d'une pièce, notamment optique ou électronique, par un laser dirigé vers ladite surface, caractérisé en ce qu'il comprend, disposé devant la surface, un moyen de capture de particules détachées de la surface, qui comprend une structure polarisée par rapport à la pièce, caractérisé en ce que la structure comporte au moins une pointe dirigée vers la surface.1) device for cleaning the surface (3) of a part, in particular optical or electronic, by a laser directed towards said surface, characterized in that it comprises, arranged in front of the surface, a means for capturing particles detached from the surface, which comprises a structure polarized with respect to the part, characterized in that the structure comprises at least one point directed towards the surface.
2) Dispositif de nettoyage de surface (3) d'une pièce notamment optique ou électronique, par un laser dirigé vers ladite surface, comprenant disposé devant la surface, un moyen de destruction de particules détachées de la surface.2) Device for cleaning the surface (3) of a part, in particular an optical or electronic part, by a laser directed towards said surface, comprising, disposed in front of the surface, a means for destroying particles detached from the surface.
3) Dispositif de nettoyage de surface d'une pièce selon la revendication 1, caractérisé en ce que le moyen de capture comporte en outre un moyen d'aspiration (6) comprenant un conduit (8) orienté vers la surface (3) .3) Device for cleaning the surface of a part according to claim 1, characterized in that the capture means further comprises a suction means (6) comprising a conduit (8) oriented towards the surface (3).
4) Dispositif de nettoyage de surface d'une pièce selon la revendication 1, caractérisé en ce que la structure est polarisée thermiquement par rapport à la pièce (1) .4) Device for cleaning the surface of a part according to claim 1, characterized in that the structure is thermally polarized with respect to the part (1).
5) Dispositif de nettoyage d'une surface selon la revendication 1, caractérisé en ce que la structure est polarisée électriquement par rapport à la pièce. 6) Dispositif de nettoyage d'une surface selon la revendication 1, caractérisé en ce que le
moyen de capture de particules comprend un ensemble de plusieurs pointes polarisées par rapport à la pièce.5) Device for cleaning a surface according to claim 1, characterized in that the structure is electrically polarized with respect to the part. 6) Device for cleaning a surface according to claim 1, characterized in that the particle capture means comprises a set of several points polarized with respect to the workpiece.
7) Dispositif de nettoyage de surface d'une pièce selon l'une quelconque des revendications 4 et 5 et la revendication 3, caractérisé en ce que la structure (15) forme le conduit (8) ou est adjacente au conduit .7) Device for cleaning the surface of a part according to any one of claims 4 and 5 and claim 3, characterized in that the structure (15) forms the duct (8) or is adjacent to the duct.
8) Dispositif de nettoyage de surface d'une pièce selon la revendication 2, caractérisé en ce que le moyen de destruction est un faisceau (17) d'un deuxième laser (16) .8) Device for cleaning the surface of a part according to claim 2, characterized in that the destruction means is a beam (17) of a second laser (16).
9) Dispositif de nettoyage de surface d'une pièce selon la revendication 8, caractérisé en ce que le deuxième laser est disposé en incidence rasante devant la surface.9) Device for cleaning the surface of a part according to claim 8, characterized in that the second laser is arranged in grazing incidence in front of the surface.
10) Dispositif de nettoyage • de surface d'une pièce selon la revendication 8 ou 9, caractérisé en ce que le deuxième laser est focalisé à un endroit où il coupe le faisceau (5) du laser (4) dirigé vers la surface (3) .10) Device for cleaning the surface of a part according to claim 8 or 9, characterized in that the second laser is focused at a place where it cuts the beam (5) of the laser (4) directed towards the surface (3 ).
11) Dispositif de nettoyage de surface d'une pièce selon la revendication 2, caractérisé en ce qu'au moyen de destruction est combiné un moyen de capture des particules détachées de la surface.
11) Device for cleaning the surface of a part according to claim 2, characterized in that a means of destruction is combined with a means of capturing particles detached from the surface.
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011072992A1 (en) | 2009-12-15 | 2011-06-23 | Exxonmobil Chemical Patents Inc. | Temperature control of an oligomerisation process and reactor |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102005005709B4 (en) * | 2005-01-31 | 2009-06-10 | Technische Universität Dresden | Device for processing material surfaces |
| JP5858426B2 (en) * | 2012-05-21 | 2016-02-10 | 株式会社日本製鋼所 | Laser annealing equipment with particle collection mechanism |
| CN104475402B (en) * | 2014-11-29 | 2016-12-07 | 宁波江东思犒技术服务有限公司 | Double-sided laser for magnet steel cleans device |
| ES2636715B2 (en) * | 2017-06-07 | 2018-02-12 | Sitexco Girona, S.L. | Anilox laser roller cleaning machine and procedure for self-adjusting the laser focal point to the diameter of the anilox roller. |
| CN109092804A (en) * | 2018-10-15 | 2018-12-28 | 南京集萃激光智能制造有限公司 | A kind of electronic component laser cleaner and its cleaning method |
| RU2740533C1 (en) * | 2020-07-13 | 2021-01-15 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет геосистем и технологий" | Device for optical cleaning of solid surface from nanoparticles |
| CN113690280B (en) * | 2021-08-11 | 2023-11-28 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Array substrate repairing method and array substrate |
| CN114131211A (en) * | 2021-11-10 | 2022-03-04 | 苏州热工研究院有限公司 | Laser decontamination and cutting composite system and laser decontamination and cutting method |
| CN114904846B (en) * | 2022-05-10 | 2023-08-25 | 郑州机械研究所有限公司 | Welding wire/welding strip laser cleaning equipment and precious metal recovery module thereof |
| CN116000020A (en) * | 2022-12-05 | 2023-04-25 | 苏州天准科技股份有限公司 | Composite cleaning equipment and composite cleaning detection method for plate surfaces |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2752325B1 (en) * | 1996-08-06 | 1998-10-09 | Cogema | METHOD AND DEVICE FOR DEDUCTING NUCLEAR FUEL PELLETS USING A LASER BEAM |
| US6805751B2 (en) * | 2000-07-24 | 2004-10-19 | Alkansas State University | Method and apparatus for removal of minute particles from a surface using thermophoresis to prevent particle redeposition |
| JP2002035709A (en) * | 2000-07-25 | 2002-02-05 | Japan Steel Works Ltd:The | Apparatus and method for capturing in laser cleaning treatment |
-
2002
- 2002-06-13 FR FR0207263A patent/FR2840837B1/en not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-06-12 EP EP03760019A patent/EP1511582A2/en not_active Withdrawn
- 2003-06-12 US US10/516,277 patent/US20060154495A1/en not_active Abandoned
- 2003-06-12 WO PCT/FR2003/001768 patent/WO2003106060A2/en not_active Application Discontinuation
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| See references of WO03106060A3 * |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011072992A1 (en) | 2009-12-15 | 2011-06-23 | Exxonmobil Chemical Patents Inc. | Temperature control of an oligomerisation process and reactor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2003106060A2 (en) | 2003-12-24 |
| FR2840837A1 (en) | 2003-12-19 |
| FR2840837B1 (en) | 2004-11-26 |
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