EP1502132A1 - Verfahren zur herstellung eines optischen elementes aus quarzsubstrat - Google Patents

Verfahren zur herstellung eines optischen elementes aus quarzsubstrat

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Publication number
EP1502132A1
EP1502132A1 EP03725056A EP03725056A EP1502132A1 EP 1502132 A1 EP1502132 A1 EP 1502132A1 EP 03725056 A EP03725056 A EP 03725056A EP 03725056 A EP03725056 A EP 03725056A EP 1502132 A1 EP1502132 A1 EP 1502132A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
quartz substrate
optical element
support body
quartz
carrier
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP03725056A
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Nils Dieckmann
Kirstin Antoni
Dieter Bader
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss SMT GmbH
Original Assignee
Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Carl Zeiss SMT GmbH filed Critical Carl Zeiss SMT GmbH
Publication of EP1502132A1 publication Critical patent/EP1502132A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70058—Mask illumination systems
    • G03F7/70075—Homogenization of illumination intensity in the mask plane by using an integrator, e.g. fly's eye lens, facet mirror or glass rod, by using a diffusing optical element or by beam deflection
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
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    • G02B5/1838—Diffraction gratings for use with ultraviolet radiation or X-rays
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/18—Diffraction gratings
    • G02B5/1847—Manufacturing methods
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    • G03F7/70058—Mask illumination systems
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    • G—PHYSICS
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    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/7095—Materials, e.g. materials for housing, stage or other support having particular properties, e.g. weight, strength, conductivity, thermal expansion coefficient
    • G03F7/70958—Optical materials or coatings, e.g. with particular transmittance, reflectance or anti-reflection properties

Definitions

  • the invention relates to a method for producing an optical element made of quartz substrate for lighting systems with lighting sources that emit very short-wave rays, in particular of a wavelength of 157 nm or shorter.
  • the invention also relates to a projection exposure system with an illumination system for microlithography for the production of semiconductor elements.
  • DOE diffractive optical elements
  • diffusing disks are also used for homogenizing the pupil, which also consist of quartz substrate.
  • the present invention is therefore based on the object of providing a method for producing an optical element, in particular a diffractive optical element or a diffusing screen for use with light sources with very short-wave radiation, which can be produced without a complex production process.
  • this object is achieved by a method for producing an optical element from quartz substrate for lighting systems with light sources which emit rays of a very short wavelength, in particular of 157 nm wavelength or shorter, the quartz substrate being connected to a support body on at least one side and is then reduced to a target value with a thickness in the ⁇ range.
  • a diffractive optical element into which a surface structure is introduced In the production of a diffractive optical element into which a surface structure is introduced, this is provided with a support body in a first method step on the side of the diffractive optical element into which the surface structure is introduced.
  • the diffractive optical element which consists of quartz substrate, is then removed down to the desired setpoint, which e.g. can be done by lapping and polishing.
  • a carrier is applied to the thinly ground quartz substrate, e.g. sprinkled, after which the support body is detached from the quartz substrate.
  • a quartz substrate is applied to both sides of the support body, which is then ground down to the desired setpoint.
  • the profiles are etched into the surfaces to form a diffusing screen.
  • the support body also serves as a support for the later use of the unit created in this way as a diffuser, it is necessary that it be made of a material which is different from the wavelength used, e.g. of 157 nm or shorter, resistant and transparent.
  • Figure 1 is a schematic representation of a projection exposure system with an illumination system
  • Figure 2 to Figure 5 shows the manufacture of a diffractive optical element
  • Figure 6 and Figure 7 shows the manufacture of a diffuser.
  • FIG. 1 shows a projection exposure system 1 for microlithography. This is used to expose structures to a substrate coated with photosensitive materials, which generally consists predominantly of silicon and is referred to as wafer 2, for the production of semiconductor components, such as e.g. Computer chips.
  • photosensitive materials which generally consists predominantly of silicon and is referred to as wafer 2
  • semiconductor components such as e.g. Computer chips.
  • the projection exposure system 1 essentially consists of an illumination device 3 with a light source 3a (not shown in more detail), a device 4 for recording and exact positioning of a mask provided with a lattice-like structure, a so-called reticle 5, through which the later structures on the wafer 2, a device 6 for holding, moving and exact positioning of this wafer 2 and an imaging device, namely a projection lens 7.
  • the basic functional principle provides that the structures introduced into the reticle 5 are exposed on the wafer 2, in particular by reducing the structures to a third or less of the original size.
  • the requirements with regard to the resolutions to be imposed on the projection exposure system 1, in particular on the projection objective 7, are in the range of a few nanometers.
  • the wafer 2 is moved on, so that a large number of individual fields, each with the structure specified by the reticle 5, are exposed on the same wafer 2.
  • a plurality of chemical treatment steps generally an etching removal of material. If necessary, several of these exposure and treatment steps are carried out in succession until a large number of computer chips have arisen on the wafer 2. Due to the gradual feed movement of the wafer 2 in the projection exposure system 1, this is often also referred to as a stepper.
  • the illumination device 3 provides a projection beam 8, for example light or a similar electromagnetic radiation, required for imaging the reticle 5 on the wafer 2.
  • a laser or the like can be used as the light source 3a for this radiation.
  • the radiation is shaped in the illumination device 3 via optical elements so that the projection beam 8 has the desired properties with regard to diameter, polarization, shape of the wavefront and the like when it hits the reticle 5.
  • the projection lens 7 consists of a large number of individual refractive and / or diffractive optical elements, such as, for example, lenses, mirrors, prisms, end plates and the like.
  • FIGS. 2 to 7 show the production of optical elements that can be parts of such a projection exposure system 1.
  • the light source 3a which emits rays with a wavelength of 157 nm or shorter
  • diffractive optical elements and diffusing screens are arranged in a known manner.
  • FIGS. 1-10 The production of a diffractive optical element from quartz substrate 9 is shown in FIGS.
  • quartz substrate 9 is applied to a support body 11 in a thickness of several millimeters via an adhesive layer 10. Quartz substrate 9 can also be used as support body 11 for the subsequent removal process.
  • the adhesive layer 10 is applied to the side of the quartz substrate 9 in which the surface structure 9a has already been introduced.
  • the removal process for the quartz substrate 9 can be carried out in a first step by lapping and in a second step by polishing to the setpoint in the ⁇ range.
  • the setpoint thickness e.g. 5 to 10 ⁇ .
  • the removal process for the quartz substrate 9 can of course also be carried out for any other process by which the thickness of the quartz substrate 9 is reduced.
  • FIG. 3 shows the quartz substrate 9 with the desired setpoint after the removal process. For technical reasons, the thickness of the quartz substrate 9 has been exaggerated.
  • a carrier 12 is applied to the removed side of the quartz substrate 9. This can be done, for example, by starting with corresponding optically highly precise surfaces.
  • the Carrier 12, which must be resistant to rays of 157 nm wavelength and transparent, can consist of calcium fluoride. Such a firing method is known for example from DE 197 04 936 AI and US 4,810,318.
  • the support body 11 with the adhesive layer 10 is detached from the side of the quartz substrate 9 with the surface structure 9a, so that a finished diffractive optical element made of a quartz substrate with a thickness of a few ⁇ is present.
  • the carrier 12 serves for the necessary stability and for the connection to a fixed structure of the lighting system 3. a warm putty such as Canada balm can be used. The putty itself can have a light wedge.
  • the back of the support body 11 is set exactly parallel to the side of the quartz substrate 9 to be processed in the removal process.
  • the removal process by lapping can be up to a thickness of approx. 15 to 20 ⁇ larger than the target thickness.
  • the removal to the desired target thickness is then carried out by polishing in an iterative process in combination with thickness measurements.
  • the adhesive connection to the support body 11 can then be released by appropriate heating after the removal process and the wringing of the carrier 12, the glue residues then also being completely removed from the surface structure 9a of the diffractive optical element.
  • FIGS. 6 and 7 show the production of a diffusing screen
  • a quartz substrate 9 of conventional thickness for example a few millimeters, is applied to the support body 11 on both sides. Then the two quartz substrates 9 each removed to the desired setpoint. The finished thickness can be seen from FIG. 7, the thickness of the two quartz substrates 9 also being shown much larger here for drawing reasons.
  • the support body 11 in this case also serves as a carrier for the future diffusing screen, it must consist of a material which is resistant to the rays of the light source 3a, e.g. of 157 nm wavelength or shorter, resistant and transparent.
  • calcium fluoride is used for this.
  • the entire unit comprising the supporting body 11 or carrier and the two quartz substrates 9 is provided with a seal 13 on the circumference. In this way, the support body or support 11 is appropriately protected in an etching bath.

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Abstract

Bei einem Verfahren zur Herstellung eines optischen Elementes aus Quarzsubstrat für Beleuchtungssysteme mit Beleuchtungsquellen, die Strahlen von 157 nm Wellenlänge oder kürzer emittieren, wird Quarzsubstrat (9) auf wenigstens einer Seite mit einem Stützkörper (11) verbunden. Anschliessend wird das Quarzsubstrat (9) auf einen Sollwert mit einer Dicke im µ-Bereich abgetragen. Das optische Element kann ein diffraktives optisches Element oder eine Streuscheibe sein.

Description

Verfahren zur Herstellung eines optischen Elementes aus
Quarzsubstrat
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Elementes aus Quarzsubstrat für Beleuchtungssysteme mit Beleuchtungsguellen, die sehr kurzwellige Strahlen, insbesondere von 157 nm Wellenlänge oder kürzer, emittieren.
Die Erfindung betrifft auch eine Projektionsbelichtungsanlage mit einem Beleuchtungssystem für die Mikrolithographie zur Herstellung von Halbleiterelementen.
In Beleuchtungssystemen für den photolithographischen Strukturprozeß von Halbleiterbauelementen ist es bekannt, die Aus- leuchtung in der Beleuchtungspupille mittels diffraktiver optischer Elemente (DOE) einzustellen. Diese werden hierzu in dem Beleuchtungssystem der Projektionsbelichtungsanlage an entsprechenden Stellen eingebaut. Für die diffraktiven optischen Elemente ist bekannt, in Beleuchtungssystemen, die im tiefen UV-Bereich arbeiten, diese Elemente aus Quarzglas bzw. Quarzsubstrat zu fertigen, in denen eine entsprechende Oberflächenstruktur eingebracht ist.
In Beleuchtungssystemen der vorstehend genannten Art werden darüber hinaus auch zur Homogenisierung der Pupille Streuscheiben- eingesetzt, die ebenfalls aus Quarzsubstrat bestehen.
Durch die Verwendung .von Lichtquellen mit immer kürzeren Wel- lenlängen ergibt sich jedoch beim Einsatz von Quarzsubstrat ein Problem. Insbesondere bei einer Bestrahlung mit Licht von 157 nm Wellenlänge oder kürzer ist Quarzsubsträt nicht mehr ausreichend stabil. Aus diesem Grunde müssen bei derart kurzen Wellenlängen diffraktive optische Elemente oder Streu- Scheiben aus einem Material hergestellt werden, welches zum einen transparent ist und zum anderen gegenüber diesen kurzen Wellenlängen widerstandsfähig ist. Hierfür ist unter anderem Kalziumfluorid (CaF2) bekannt. Nachteilig dabei ist jedoch, daß die Herstellung eines diffraktiven optischen Elementes oder einer Streuscheibe aus Kalziumfluorid sehr aufwendig und teuer ist.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Elementes, insbesondere eines diffraktiven optischen Elementes oder einer Streuscheibe zur Verwendung bei Lichtquellen mit sehr kurzwelliger Strahlung zu schaffen, welches ohne aufwendiges Herstellungsverfahren hergestellt werden kann.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Elementes aus Quarzsubstrat für Beleuchtungssysteme mit Lichtquellen geschaffen, die Strahlen von sehr kurzer Wellenlänge, insbesondere von 157 nm Wellenlänge oder kürzer, emittieren, wobei das Quarzsubstrat auf wenigstens einer Seite mit einem Stützkörper verbunden wird und anschließend auf einen Sollwert mit einer Dicke im μ- Bereich abgetragen wird.
In überraschender Weise haben die Erfinder festgestellt, daß man trotz der an sich nicht ausreichenden Stabilität von ' Quarzsubstrat (Quarzglas) dieses auch dann bei 157 nm Wellenlänge oder kürzer einsetzen kann, wenn man es entsprechend in der erfindungsgemäßen Weise sehr dünn herstellt. In diesem Fall treten keine Probleme mit der Stabilität auf und die ansonsten bei- einer Verwendung von Quarzsubstrat auftretenden 'Strahlungs erluste sind bei dieser Dicke ebenfalls vernachlässigbar.
Bei einer gewünschten Dicke der Quarzsubstratschicht im μ- Bereich kann jedoch kein selbsttragendes optisches Element, z..B. ein diffraktives optisches Element oder eine Streuscheibe, hergestellt werden. In erfindungsgemäßer Weise wird des- halb ein Träger für das dünne Quarzsubstrat geschaffen, der selbstverständlich gegenüber dem vorgesehenen Wellenlängenbereich widerstandsfähig und transparent sein muß, wenn er an dem optischen Element verbleiben soll. Hierfür wurde Kalzium- fluorid als Substrat vorgesehen, das in einer Ausgestaltung der Erfindung an das Quarzsubstrat angesprengt sein kann.
Bei der Herstellung eines diffraktiven optischen Elementes, in das eine Oberflächenstruktur eingebracht ist, wird man dieses in einem ersten Verfahrensschritt auf der Seite des diffraktiven optischen Elementes, in das die Oberflächenstruktur eingebracht ist, mit einem Stützkörper versehen. Anschließend wird das diffraktive optische Element, das ja aus Quarzsubstrat besteht, bis auf den gewünschten Sollwert abge- tragen, was z.B. durch Läppen und Polieren erfolgen kann. Abschließend wird auf das dünn geschliffene Quarzsubstrat ein Träger aufgebracht, z.B. angesprengt, wonach der Stützkörper von dem Quarzsubstrat gelöst wird.
Bei der Herstellung einer Streuscheibe wird auf beiden Seiten des Stützkörpers ein Quarzsubstrat aufgebracht, das anschließend jeweils bis ' auf den gewünschten Sollwert abgeschliffen wird. In die beiden auf diese Weise geschaffenen sehr dünnen Quarzschichten werden dann in deren Oberflächen die Profilie- rungen zur Bildung einer Streuscheibe eingeätzt. Da in diesem Falle der Stützkörper gleichzeitig als Träger für den späteren Einsatz der auf diese Weise geschaffenen Einheit als Streuscheibe dient, ist es erforderlich, daß er aus einem Material besteht, das gegenüber der verwendeten Wellenlänge, z.B. von 157 nm oder kürzer, widerstandsfähig und transparent ist.
Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den übrigen ünteransprüchen und aus den nachfolgend anhand der Zeichnung prinzipmäßig beschriebenen Ausführungsbeispielen. Es zeigt:
Figur 1 eine schematische Darstellung einer Projektionsbelichtungsanlage mit einem Beleuchtungssystem;
Figur 2 bis Figur 5 die Herstellung eines diffraktiven optischen Elementes;
Figur 6 und Figur 7 die Herstellung einer Streuscheibe.
In Figur 1 ist eine Projektionsbelichtungsanlage 1 für die Mikrolithographie dargestellt. Diese dient zur Belichtung von Strukturen auf ein mit photosensitiven Materialien beschichtetes Substrat, welches im allgemeinen überwiegend aus Sili- zium besteht und als Wafer 2 bezeichnet wird, zur Herstellung von Halbleiterbauelementen, wie z.B. Computerchips.
Die Projektionsbelichtungsanlage 1 besteht dabei im wesentlichen aus einer Beleuchtungseinrichtung 3 mit einer nicht nä- her dargestellten Lichtquelle 3a, einer Einrichtung 4 zur Aufnahme und exakten Positionierung einer mit einer gitterartigen Struktur versehenen Maske, einem sogenannten Reticle 5, durch welches die späteren Strukturen auf dem Wafer 2 bestimmt werden, einer Einrichtung 6 zur Halterung, Bewegung und exakten Positionierung eben dieses Wafers 2 und einer Ab- bildungseinrichtung nämlich einem Projektionsobjektiv 7.
Das grundsätzliche Funktionsprinzip sieht dabei vor, daß die in das Reticle 5 eingebrachten Strukturen auf den Wafer 2 be- lichtet werden, insbesondere mit einer Verkleinerung der Strukturen auf ein Drittel oder weniger der ursprünglichen Größe. Die an die Projektionsbelichtungsanlage 1, insbesondere an das Projektionsobjektiv 7, zu stellenden Anforderungen hinsichtlich der Auflösungen liegen dabei im Bereich von we- nigen Nanometern. Nach einer erfolgten Belichtung wird der Wafer 2 weiterbewegt, so daß auf demselben Wafer 2 eine Vielzahl von einzelnen Feldern, jeweils mit der durch das Reticle 5 vorgegebenen Struktur, belichtet wird. Wenn die gesamte Fläche des Wafers 2 belichtet ist, wird dieser aus der Projektionsbelichtungsanlage 1 entnommen und einer Mehrzahl chemischer Behandlungsschritte, im allgemeinen einem ätzenden Abtragen von Material, unterzogen. Gegebenenfalls werden mehrere dieser Belich- tungs- und Behandlungsschritte nacheinander durchlaufen, bis auf dem Wafer 2 eine Vielzahl von Computerchips entstanden sind. Aufgrund der schrittweisen Vorschubbewegung des Wafers 2 in der Projektionsbelichtungsanlage 1 wird diese häufig auch als Stepper bezeichnet.
Die Beleuchtungseinrichtung 3 stellt einen für die Abbildung des Reticles 5 auf dem Wafer 2 benötigten Projektionsstrahl 8, beispielsweise Licht oder eine ähnliche elektromagnetische Strahlung, bereit. Als Lichtquelle 3a für diese Strahlung kann ein Laser oder dergleichen Verwendung finden. Die Strah- lung wird in der Beleuchtungseinrichtung 3 über optische Elemente so geformt, daß der Projektionsstrahl 8 beim Auftreffen auf das Reticle 5 die gewünschten Eigenschaften hinsichtlich Durchmesser, Polarisation, Form der Wellenfront und dergleichen aufweist.
Über den Projektionsstrahl 8 wird ein Bild des 'Reticles 5 erzeugt und von dem Projektionsobjektiv 7 entsprechend verkleinert auf den Wafer 2 übertragen, wie bereits vorstehend erläutert wurde. Das Projektionsobjektiv 7 besteht dabei aus einer Vielzahl von einzelnen refraktiven und/oder diffraktiven optischen Elementen, wie z.B. Linsen, Spiegeln, Prismen, Abschlußplatten und dergleichen.
Die Figuren 2 bis 7 zeigen die Herstellung von optischen Ele- menten, die Teile einer solchen Projektionsbelichtungsanlage 1 sein können. In dem Beleuchtungssystem 3, in welchem die Lichtquelle 3a angeordnet ist, die- Strahlen mit einer Wellenlänge von 157 nm oder kürzer emittiert, sind in bekannter Weise diffraktive optische Elemente und Streuscheiben angeordnet.
In den Figuren 2 bis 5 ist die Herstellung eines diffraktiven optischen Elementes aus Quarzsubstrat 9 aufgezeigt.
Gemäß Figur 2 wird Quarzsubstrat 9 in einer Dicke von mehre- ren Millimetern über eine Klebeschicht 10 auf einen Stützkörper 11 aufgebracht. Als Stützkörper 11 für das nachfolgende Abtragungsverfahren kann ebenfalls Quarzsubstrat 9 verwendet werden. Die Klebeschicht 10 wird auf die Seite des Quarzsubstrates 9 aufgebracht, in der bereits die Oberflächenstruktur 9a eingebracht ist.
Das Abtragsverfahren für das Quarzsubstrat 9 kann in einem ersten Schritt durch Läppen und in einem zweiten Schritt durch Polieren bis auf den Sollwert im μ-Bereich erfolgen. Bei einer Verwendung als DOE kann die Sollwertdicke, z.B. 5 bis 10 μ betragen.
Das Abtragsverfahren für das Quarzsubstrat 9 kann selbstverständlich auch für jedes andere Verfahren vorgenommen werden, durch das eine Reduzierung der Dicke des Quarzsubstrates 9 erfolgt.
In Figur 3 ist das Quarzsubstrat 9 mit dem gewünschten Sollwert nach dem Abtragsverfahren dargestellt. Aus zeichnungs- technischen Gründen wurde die Dicke des Quarzsubstrates 9 jedoch übertrieben stark dargestellt.
In einem nächsten Schritt, der in der Figur 4 dargestellt ist, wird auf die abgetragene Seite des Quarzsubstrates 9 ein Träger 12 aufgebracht. Dies kann z.B. durch ein Ansprengen mit entsprechend optisch hochgenauen Flächen erfolgen. Der Träger 12, welcher gegenüber Strahlen von 157 nm Wellenlänge widerstandsfähig und transparent sein muß, kann aus Kalzium- fluorid bestehen. Ein derartiges Ansprengverfahren ist z.B. aus der DE 197 04 936 AI und der US 4,810,318 bekannt.
Nach dem Ansprengen des Trägers 12 an das Quarzsubstrat 9 wird der Stützkörper 11 mit der Klebeschicht 10 von der Seite des Quarzsubstrates 9 mit der Oberflächenstruktur 9a abgelöst, womit ein fertiges diffraktives optisches Element aus einem Quarzsubstrat mit einer Dicke von einigen μ vorhanden ist. Für die notwendige Stabilität und für die Verbindung mit einer festen Struktur des Beleuchtungssystems 3 dient der Träger 12. Als lösbaren Kleber 10 kann z.B. ein Warmkitt, wie Kanadabalsam, verwendet werden. Der Kitt selbst kann einen leichten Keil aufweisen.
Damit bei dem Abtragsverfahren des Quarzsubstrates 9 eine gleichmäßige Schichtdicke eingehalten werden kann, ist dafür zu sorgen, daß bei dem Abtragsverfahren der Stützkörper 11 mit seiner Rückseite exakt parallel eingestellt zu der zu bearbeitenden Seite des Quarzsubstrates 9 ist. Das Abtragsverfahren durch Läppen kann bis auf eine Dicke von ca. 15 bis 20 μ größer als die Solldicke erfolgen. Das Abtragen auf die gewünschte Solldicke erfolgt anschließend durch ein Polieren in einem iterativen Prozeß in Kombination mit Dickenmessungen. Bei Verwendung eines Warmklebers kann dann durch ein entsprechendes Erwärmen nach dem Abtragsverfahren und dem Ansprengen des Trägers 12 die Klebeverbindung zu dem Stützkörper 11 gelöst werden, wobei man dann auch die Klebereste vollständig von der Oberflächenstruktur 9a des diffraktiven optischen E- lementes entfernt.
In den Figuren 6 und 7 ist die Herstellung einer Streuscheibe
14 dargestellt. Gemäß Figur 6 wird auf den Stützkörper 11 auf beiden Seiten ein Quarzsubstrat 9 von üblicher Dicke, z.B. einigen Millimetern, aufgebracht. Anschließend werden die beiden Quarzsubstrate 9 jeweils auf den gewünschten Sollwert abgetragen. Die fertige Stärke ist aus der Figur 7 ersichtlich, wobei auch hier aus zeichnungstechnischen Gründen die Dicke der beiden Quarzsubstrate 9 wesentlich größer darge- stellt ist.
Da der Stützkörper 11 in diesem Falle gleichzeitig als Träger für die spätere Streuscheibe dient, muß er aus einem Material bestehen, welches gegenüber den Strahlen der Lichtquelle 3a, z.B. von 157 nm Wellenlänge oder kürzer, widerstandsfähig und transparent ist. Bei -dem Ausführungsbeispiel wird hierfür • Kalziumfluorid verwendet. Nach dem Abtragen der beiden Quarzsubstrate 9 auf die gewünschten Sollwerte, welche bei einer Verwendung als Streuscheibe zwischen 40 bis 70 μ, vorzugswei- se ca. 50 μ, betragen kann, erfolgt in bekannter Weise durch ein Ätzverfahren, die gewünschte Oberflächenprofilierung zur Bildung einer Streuscheibe. In einfacher Weise kann dies - wie bekannt - durch ein Ätzbad erfolgen. Da der Träger 11 aus Kalziumfluorid jedoch durch das Ätzbad in negativer Weise verändert werden würde, wird vorher die gesamte Einheit aus Stützkörper 11 bzw. Träger und den beiden Quarzsubstraten 9 am Umfang mit einer Versiegelung 13 versehen. Auf diese Weise ist der Stützkörper bzw. Träger 11 bei einem Ätzbad entsprechend geschützt.

Claims

Patentansprüche :
1. Verfahren zur Herstellung eines optischen Elementes aus Quarzsubstrat für Beleuchtungssysteme mit Lichtquellen, die Strahlen einer sehr kurzen Wellenlänge, insbesondere von 157 nm Wellenlänge oder kürzer, emittieren, wobei das Quarzsubstrat (9) auf wenigstens einer Seite mit einem Stützkörper (11) verbunden wird, und anschließend auf einen Sollwert mit einer Dicke im μ-Bereich abgetragen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1 zur Herstellung eines diffraktiven optischen Elementes aus einem Quarzsubstrat, in das eine Oberflächenstruktur (9a) eingebracht ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Stützkörper (11) auf der Seite des diffraktiven optischen Elementes (9), in das die 0- berflächenstruktur (9a) eingebracht ist, mit dem Quarzsubstrat (9) verbunden wird, daß anschließend das auf einen Sollwert abgetragene Quarzsubstrat (9) auf einen Trä- ger (12) aufgebracht wird, der gegenüber einer Strahlung von 157 nm Wellenlänge oder kürzer widerstandsfähig und transparent ist, und daß abschließend das Quarzsubstrat (9) von dem Stützkörper (11) gelöst wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Stützkörper (11) über eine lösbare Klebeschicht (10) mit dem Quarzsubstrat (9) verbunden wird.
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß, als Stützkörper (11) Quarzglas verwendet wird.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Seite des Stützkörpers (11) auf der von dem Quarzsubstrat (9) abgewandten Seite zu der zu- be- arbeitenden Fläche des Quarzsubstrates (9) parallel gehalten wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Abtrag des Quarzsubstrates (9) in einem ersten Schritt durch Läppen und in einem zweiten Schritt durch Polieren bis auf den Sollwert erfolgt.
7. ■ Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Träger (12) Kalziumfluorid verwendet wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1 zur Herstellung einer Streuscheibe, dadurch gekennzeichnet, daß der Stützkörper (11) auf beiden Seiten mit Quarzsubstrat (9) verbunden wird, wobei der Stützkörper (11) , der nach dem Abtragen der beiden Quarzsubstrate (9) auf deren Sollwert als Träger wirkt, der gegenüber einer Strahlung der Lichtquelle (3a) widerstandsfähig und transparent ist.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß als Stützkörper (11) Kalziumfluorid verwendet wird.
10. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Stützkörper (11) auf beiden Seiten an Quarzsubstrat
(9) angesprengt ist.
11. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Stützkörper als Träger (11) mit dem auf seinen beiden Seiten angebrachten Quarzsubstrat (9) am Umfang mit einer Versiegelung (13) versehen wird.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die äüs dem Stützkörper (11) und den beiden Quarzsubstraten (9) gebildete Einheit- zur Bildung der Streuscheibe .geätzt wird.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Ätzung in einem Ätzbad erfolgt.
14. Optisches Element aus einem Quarzsubstrat (9), das nach eine Verfahren gemäß den Ansprüchen 1-13 hergestellt ist.
15. Optisches Element, das aus Quarzsubstrat (9) von wenigen 10 μ Dicke besteht und das auf einem Träger (11,12) angeordnet ist, der gegenüber sehr kurzwelligen Strahlen, insbesondere von 157 nm Wellenlänge oder kürzer, widerstandsfähig und transparent ist.
16. Optisches Element nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Element ein diffraktives optisches Element ist, in das eine Oberflächenstruktur (9a) eingebracht ist.
17. Optisches Element nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Element eine Streuscheibe (14) ist.
18. Projektionsbelichtungsanlage mit einem Beleuchtungssystem für die Mikrolithographie zur Herstellung von Halbleiterelementen, mit einem oder mehreren optischen Elementen, die Quarzsubstrat (9) aufweisen, die in einer Dicke im μ- Bereich jeweils auf einen Träger (11,12) aufgebracht sind, welcher gegenüber Strahlen einer Lichtquelle der Anlage widerstandsfähig und transparent ist.
19. Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß das optische .Element ein diffraktives optisches Element ist, in das eine Oberflächenstruktur (9a) eingebracht ist.
20. Projektionsbelichtungsanlage nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß das optische Element eine Streuschei- be ist.
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