EP1400150A1 - Improvements made to the structure of a graphite resistance furnace - Google Patents

Improvements made to the structure of a graphite resistance furnace

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Publication number
EP1400150A1
EP1400150A1 EP20020745542 EP02745542A EP1400150A1 EP 1400150 A1 EP1400150 A1 EP 1400150A1 EP 20020745542 EP20020745542 EP 20020745542 EP 02745542 A EP02745542 A EP 02745542A EP 1400150 A1 EP1400150 A1 EP 1400150A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
strips
thin strips
graphite
elements
connection
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP20020745542
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
André LEYCURAS
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Original Assignee
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Centre National de la Recherche Scientifique CNRS filed Critical Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Publication of EP1400150A1 publication Critical patent/EP1400150A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/62—Heating elements specially adapted for furnaces
    • H05B3/64—Heating elements specially adapted for furnaces using ribbon, rod, or wire heater
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61K—PREPARATIONS FOR MEDICAL, DENTAL OR TOILETRY PURPOSES
    • A61K33/00—Medicinal preparations containing inorganic active ingredients
    • A61K33/02—Ammonia; Compounds thereof
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/62—Heating elements specially adapted for furnaces
    • H05B3/66—Supports or mountings for heaters on or in the wall or roof
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61K—PREPARATIONS FOR MEDICAL, DENTAL OR TOILETRY PURPOSES
    • A61K31/00—Medicinal preparations containing organic active ingredients
    • A61K31/075—Ethers or acetals
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61K—PREPARATIONS FOR MEDICAL, DENTAL OR TOILETRY PURPOSES
    • A61K31/00—Medicinal preparations containing organic active ingredients
    • A61K31/075—Ethers or acetals
    • A61K31/08—Ethers or acetals acyclic, e.g. paraformaldehyde
    • A—HUMAN NECESSITIES
    • A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61K—PREPARATIONS FOR MEDICAL, DENTAL OR TOILETRY PURPOSES
    • A61K31/00—Medicinal preparations containing organic active ingredients
    • A61K31/095—Sulfur, selenium, or tellurium compounds, e.g. thiols

Definitions

  • the invention relates to ovens with high performance in terms of temperature and lifetime.
  • Such ovens are consumable accessories.
  • their very high operating temperature leads to the consumption of graphite, either because of the presence of traces of oxygen in the atmosphere of the ovens although this is controlled, or because of the sublimation of graphite at these temperatures. extremes.
  • the fine machining of the resistance of the furnace on the surface of the graphite block makes it possible to obtain the dimensional characteristics capable of providing the desired temperature profile inside the furnace.
  • a zigzag is cut on the surface of a block according to generatrices of the block, generally in the form of a tube. The cut retains the maximum rigidity of the block.
  • the graphite block Before machining, the graphite block must be purified by a treatment at very high temperature. The purification is carried out for a time all the longer as the volume of the block is important.
  • the graphite is then impregnated by diffusion of carbon in the gas phase in order to reduce its porosity.
  • impregnation is only possible over a limited depth.
  • the heating element being in a single block - or in three blocks possibly for an oven supplied with three-phase - the rupture, even of a single branch, makes it entirely unusable. In this case, we lose a lot of raw material - purified and treated graphite is expensive - but also the entire cost of machining the block.
  • the invention proposes to overcome these drawbacks.
  • the object of the invention is to simplify the production of ovens and to save the very expensive material of which they are made.
  • a material is used which can only be obtained for small parts, for physical or economic reasons. However, this material must be able to withstand the extreme temperature conditions of oven applications.
  • the invention consists in connecting the heating parts by conductive elements, also made of refractory material, but also having other physical properties, in particular satisfactory machinability and suitable resistivity to obtain a maximum joule effect.
  • the invention provides a device according to claim 1.
  • It has at least one thin strip of iridium, or tungsten, or tantalum, or niobium purified and annealed;
  • At least one thin strip of high density purified graphite is covered with vitreous carbon; - It comprises at least one thin strip of uniform or profiled thickness;
  • conductive connecting element made of niobium, or tungsten, or tantalum
  • - It comprises a conductive connection element made of iridium, the thin strips then being made of iridium; - It comprises a plurality of thin strips, of equal or unequal lengths, these being connected to each other by their ends by means of conductive connection elements, at least two of said elements being able to be connected to airnenées current ;
  • the plurality of thin strips are joined to each other by the connecting elements to form a continuous zigzag capable of forming a sheet in a plane or according to any regulated surface;
  • the shape of the connecting elements is capable of giving the sheet a cylindrical or parallelepiped shape
  • each connection element is able to cooperate with clamping and / or fixing means comprising screws, and / or nuts, and / or washers and or plates thermochemically compatible at high temperatures with the materials of the strips and connecting elements as well as with the furnace atmosphere so that two strips elementary extend between said connecting piece and said clamping or fixing means;
  • each graphite connection element is bonded to its strips by a graphite bond which is then purified and densified;
  • - It comprises at the right of the connection elements a sheet of thermochemically compatible conductive material, at high temperatures, with the material of the thin strips and that of the connection elements as well as with the atmosphere of the furnace, this sheet extending between the connection elements and thin strips;
  • the connection elements are substantially in the form of an inverted T, the thin strips extending in line with the horizontal part of the inverted T, the vertical part comprising means suitable for serving as electrical connection means and for fixing the resistance on an insulating support;
  • the inverted T's have a fold in the middle along its vertical axis, the two horizontal parts making an angle relative to their position when the connection element is not folded equal to 360 ° divided by the number of thin strips s 'extending in resistance;
  • the two horizontal parts of the inverted T are bevelled in a substantially triangular shape, the vertices of which extend along the vertical axis of the T have an angle at the apex equal to 360 ° divided by the number of thin strips extending in the resistance, the two bevels being offset radially along a plane normal to the plane of the inverted T and in line with their apex of a drop capable of avoiding an electrical breakdown between two thin strips mounted on a connection element and of allowing an apparent radial overlap two thin strips mounted on a connecting element;
  • connection elements are reduced to the single horizontal part of the T, and in that the connection elements are made integral with their neighbors by electrical insulating plates;
  • - insulating parts are used both to hold the connecting elements in position and to also maintain heat shields suitable distance from each other and suitable distance from thin strips.
  • the invention also relates to a method of manufacturing a device according to claim 1.
  • FIG. 1 shows an overview of a resistor according to a preferred embodiment of the invention
  • FIG. 2 shows an overview of a connecting piece according to an embodiment of the invention
  • FIG. 3 shows an overview of a connecting piece according to a second embodiment of the invention
  • FIG. 4 shows an overview of a connecting piece according to a third embodiment of the invention.
  • FIG. 5 shows an overview of an embodiment of a part for connecting together connecting pieces.
  • Figure 1 shows a preferred embodiment of a resistor 1 of a graphite furnace.
  • the power supply considered in the following developments is single phase.
  • Resistor 1 comprises a strip or a plurality of elementary thin strips 2 of elongated shape and connected one after the other by their ends by means of connection pieces 3.
  • the strips 2 can be aligned in the direction of their length, the strips 2 being arranged end to end.
  • the strips 2 can be of different length.
  • the embodiment shown in FIG. 1 shows that the series of elementary bands 2 folds back on itself so as to extend in the form of a continuous zigzag.
  • the zigzag of the elementary bands 2 is able to form a sheet.
  • the sheet can be curved so as to substantially form a cylinder of revolution, the lengths of the bands 2 thus forming the generatrices of the cylinder of revolution.
  • the junction between the elementary strips 2 is made by a conductive connecting piece 3.
  • the number N of bands 2 can be chosen at will equal to one oirplus.
  • the connecting pieces 3 will have substantially the shape of arcs of a circle whose radius is the radius of the furnace.
  • the graphite strips 2 can be thin enough to be curved on a cylinder of revolution of fairly small radius.
  • the curve can be carried out according to the length or the width of the strips, but preferably it is carried out according to the width of each strip 2.
  • the elementary bands 2 are preferably composed of purified, densified graphite.
  • They can also be made of tungsten, tantalum, niobium or molybdenum, purified and annealed.
  • They can be cut to the desired width calculated to obtain the resistance adapted to the power supply for the desired thermal power.
  • the cutting is carried out for example with a diamond wire saw in a thick profiled graphite plate.
  • the thickness profile of the plate was defined before a final glassy carbon covering treatment.
  • the profile along a longitudinal axis of the thickness of the graphite plate from which the strips are cut can be chosen so as to reinforce the power available at the ends of the furnace, if one wishes a more uniform profile in the axis of the oven for example.
  • the graphite of the plate is treated to have:
  • the increase in the density of graphite is obtained by diffusion of carbon in the gas phase.
  • the plate can be covered on the surface with a glassy carbon deposit in order to seal the surface and increase the resistance to oxidation.
  • the strips may for example have a rectilinear structure. Their oblong section is then rectangular. As shown in FIG. 1, the surface of the edges 4 of the elementary bands 2 is much smaller than that of the faces 5. However, the edges 4 of the bands 2 are subjected to the same atmosphere during the operation of the oven. One can either neglect their influence or advantageously coat them with vitreous carbon in order to attenuate the latter.
  • the elementary bands 2 can be cut to the dimension before the operation of covering the entire band 2 with vitreous carbon, which ensures the protection of the wafers 4. Since the diamond cutting wire preferably has a small diameter of 0.15 mm, the loss of material is extremely low. This avoids the problems of breakage or chip removal.
  • the fine adjustment of the width of the strips 2 and the finishing (elimination of burrs) of each strip 2 can be done by abrasion on abrasive paper.
  • the width of the strips 2 is the same for all the strips, for example for a cylindrical oven which must have a constant temperature along each cross section.
  • the width of the bands 2 will be different in the case of another geometry, where it is desired to compensate for the edge effects by an additional contribution of thermal power at precise locations.
  • FIG. 1 there is shown an oven structure comprising twenty-eight elementary heating bands 2 of graphite.
  • the elementary bands 2 are mounted in two parallel tracks each comprising fourteen heating bands.
  • Each channel consists of a sector of the cylinder of revolution representing 180 °.
  • the two sectors of the cylinder of revolution are opposite one another.
  • connection pieces 21 and 22 diametrically opposite and on the same end of the cylinder of revolution serve to separate the channels and connect to the current leads.
  • each strip 2 can be pierced with at least one hole 20 at each end to ensure the passage of at least one fixing screw 6.
  • connection pieces 3 are preferably made of molybdenum.
  • connection pieces can be made of graphite with inert and refractory insulating plates which insulate the graphite from the tungsten screws and nuts which tighten the assembly in order to avoid carburetor reaction of tungsten.
  • the parts 3 are plates preferably having threaded holes 30 for fixing the graphite strips 2 in the correct position. During mounting, the strips 2 are not necessarily parallel since the risk of electrical breakdown is zero at the connection piece 3 but maximum at their other end. The filling rate of the emitting surface can therefore be higher than the rate obtained with conventional machining of a graphite block furnace.
  • all kinds of geometries can be produced according to any surface, adjusted or not, the elementary strips 2 being able to be very curved if they are thin. It is also possible to produce a continuous apparent surface by accepting a slight visual overlap of the strips without contact with each other.
  • the connecting pieces 3 are all identical except possibly those which are connected to the current leads 21 and 22. They are all easily machinable in series and reusable.
  • the contact surface between the graphite of an elementary strip 2 and a connecting piece 3 on the hot side must be at least equal to that of the section of the elementary strip 2 in its thickest part, in order to avoid too high a current density locally.
  • the electrical conductivity of molybdenum being a hundred times higher than that of graphite, generally the thickness of the connecting pieces 3 must first meet the requirements of mechanical strength and ease of machining.
  • the contact surfaces between a connecting piece 3 and an elementary strip 2 of graphite must be as flat and polished as possible, in order to avoid their sticking in hot spots. This makes it easier to change the elementary bands 2 during maintenance operations.
  • the elementary bands 2 are fixed to the connection pieces 3 by tightening screws 6, a washer (not shown in the figures) in polished molybdenum then being located between a nut 8 and the graphite of the elementary bands 2.
  • the washer can be replaced by a molybdenum plate 7, preferably rectangular, polished and pierced with smooth holes 70 with the same dimensions as the tapped holes 30 of the connecting pieces 3.
  • the plates 7 are identical for two elementary strips 2 of graphite united on the same connection element 3.
  • connection pieces 3 can be extended towards the outside of the oven, which gives them a T shape. They are then able to be fixed in an electrical insulator that is chemically and thermally compatible with the environment of the oven.
  • the insulating material may for example be made of alumina or boron nitride.
  • the connection pieces can be held together by hafnium oxide plates 41 (FIG. 4 described later), or others compatible insulators, connecting a connecting piece 3 to its neighbor and fixed by the same screws as in Figure 4.
  • the material coming from the vertical bar of the T also ensures the maintenance of the geometry of the assembly.
  • Heat shields (not shown in the figures) extending between the connection pieces 3 and the environment of the furnace can be fixed to the connection pieces 3 by the insulating pieces 42 of FIG. 5 replacing the pieces 41. They are advantageously in molybdenum in tantalum or graphite foam. They make it possible to minimize energy losses by radiation. This reduces energy consumption, while increasing the life of the oven components.
  • the connecting part 3 is produced by folding a machined part in a flat sheet in the shape of an inverted T.
  • the central element of the T is capable of ensuring the fixing of the device to a support, in particular an insulator.
  • the fixing could in particular be carried out thanks to the hole 31.
  • the horizontal part of the inverted T is able to support two adjacent strips.
  • the part 3 is preferably made of molybdenum.
  • the material of the bands for its resistivity, the geometry of the bands and the assembly of the bands in pure series or in parallel series.
  • the inputs and outputs 21 and 22 are on the same side or on the opposite side.
  • the elementary bands 2 are preferably made of purified, densified graphite and covered with vitreous carbon.
  • the elementary bands 2 extend between the parts 3 and 7.
  • the screws 6 passing through the non-tapped holes of the parts 2, 3 and 7 tighten the assembly by cooperating with the nuts 8.
  • the order of parts 3 and 7. can be reversed to tighten the elementary bands 2 on the external face of the part 3. This avoids the possible discomfort of an excessive radius of curvature of the part 3 in line with the axis of the fold.
  • the parts 7 may constitute a single folded plate. Their holes can also be tapped. We can do without nuts 8.
  • a sheet of graphite paper can be inserted on each side of the elementary strips 2 in line with the contacts with the connection pieces 3 to improve the electrical contact. It also facilitates the subsequent disassembly of the elementary bands 2 during maintenance operations.
  • the sheet can also be made of molybdenum.
  • the width of the horizontal bar of the inverted T is equal to the sum of the widths of the elementary bands 2, to which is added the spacing space of the elementary bands 2 necessary to avoid the formation of an electric discharge between said bands 2.
  • the vertical part of the inverted T can be very long. It is able to fix the position of the elementary strips 2 in an insulating part (not shown in the figure). A threaded hole 31 extending in the upper part of the vertical part allows this fixing. A narrowing 32 of the vertical bar makes it possible to reduce the energy losses by thermal conduction.
  • parts 3, 2 and 7 must be flat and polished to ensure low contact resistance.
  • the thicknesses of parts 3 and 7 are not necessarily equal. They can even be very fine.
  • the thickness of the piece 3 must however be sufficient to ensure its mechanical role of fixing the strips 2 and not to introduce too high ohmic resistance.
  • the connecting piece 3 always has a substantially inverted T shape.
  • the central part of the T is able to secure the connection pieces to a support, which is for example an insulator.
  • the horizontal part externally supports two adjacent parallel strips.
  • the horizontal part has two parts defining integral corners or dihedrons.
  • the outer faces of the corners are coplanar, their inner faces being neither coplanar nor parallel.
  • the angle between the two internal faces of the corners is referenced by ⁇ .
  • the angle between the internal face and the external face is referenced by ⁇ .
  • the angle ⁇ - angle at the top of the corners - is equal to 360 ° divided by the number of thin strips 2 extending in the resistor.
  • a radial offset 35 is arranged in line with the tops of the corners, at the level of the central part of the inverted T.
  • the strips (not shown in Figure 3) are mounted on the inner face of the central part. They are clamped between the internal face of the central part and the plates 7.
  • the radial offset 35 is greater than the thickness of a strip, then an apparent overlap of the strips is possible. There is therefore a filling of the oven surface of 100% by the heating surface. Such recovery is very advantageous. In all cases, the difference in thickness 35 at the top must be sufficient to avoid an electrical discharge, in the radial direction of the resistor 1, between two strips 2.
  • the connecting piece 3 is produced by machining in molybdenum or solid graphite. Solid parts advantageously find application for large ovens intended for very high temperatures.
  • FIG. 4 shows a third possible embodiment of the connection pieces 3.
  • connection pieces 3 are reduced in this third embodiment to the horizontal part of the connection piece 3 of the first embodiment of FIG. 2.
  • the connection between the resistance bands 2 is made by the conductive piece 3.
  • the parts 2 and 3 are kept in good electrical contact by the screws 6 and the nuts 8.
  • Electric insulating refractory plates 41 are interposed between the screws 6 and the connecting piece 3.
  • Electric insulating refractory plates 7 are interposed between the strips 2 and the nuts 8.
  • the plates 41 and 7 have no thermochemical reactions either with graphite or with the material of the screws 6 or nuts 8 under the operating conditions of the furnace.
  • the dimensions of the parts 41 - in particular their horizontal extension and the position of the holes 410 - are capable of ensuring the correct spacing of adjacent and successive bands 2.
  • the dimensions of connecting pieces 3 are capable of ensuring such a spacing.
  • the horizontal extension of each connecting piece 3 can be shortened. This increases the insulating path along the parts 41 between two adjacent connecting pieces 3. Short circuits along the parts 41 are also avoided.
  • the angle at the top of the parts 3 can be equal to 360 ° divided by the number of pairs of strips 2.
  • FIG. 5 shows that the plates 41 can also be composed of two brackets 42 joined. This promotes the maintenance of thermal screens - not shown in the figures -, these screens surrounding the oven. They can for example be maintained thanks to the holes 420.
  • resistive strips 2 of graphite and connecting pieces 3 of graphite their assembly can advantageously be carried out by bonding with purified and densified graphite glue.
  • the superior quality of the graphite ensures that the elementary bands 2 have a very long service life under equivalent working conditions.
  • the maximum oven temperature is only limited by the thermochemical properties of the material constituting the connection elements.
  • the connecting pieces 3 are infinitely reusable. Even after temperature rises up to 2300 ° C, the connection elements 3 are removable from the elementary bands 2. It is easy to change a single elementary band 2 to graphite from the furnace. It will be understood the economic advantage of the oven according to the invention compared to the conventional machining of an all graphite oven from a single block.
  • the filling rate can reach very high levels. This minimizes power per unit area and extends the life of the oven, all other things being equal.
  • An oven according to the invention can be used in any position thanks to the rigidity of the graphite which is even reinforced at high temperature. It is advantageously used in a horizontal position.
  • the example of graphite ovens has been chosen to illustrate the advantages of the invention.
  • the thin heating strips can for example also be made of tungsten, tantalum, niobium or molybdenum purified and annealed.
  • the only conditions for choosing the materials of the connecting piece - electrical and mechanical connections - and elementary bands are their thermochemical compatibility with each other and with the atmosphere in which they are immersed.
  • the sheet is advantageously composed of molybdenum.
  • connection piece can be of the same material as the heating element - elementary strip 2.
  • the previous developments relate to a single-phase power supply.
  • the invention can also be used in the case of two-phase or three-phase power supplies.
  • the respective sectors corresponding to each electrical phase can be inserted, for example by interposing and staggering the legs of the zigzags superimposed in the direction of the height, so that the distribution of heat be as uniform as possible.

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Abstract

The invention relates to a high-temperature heating device (1) comprising at least one heating element (2) and electrical leads (20, 21) which are used to power the heating element(s) (2). The invention is characterised in that the device can operate in any position and in that the heating elements comprise at least one thin graphite band (2) the ends of which are connected to the electrical leads by means of conductive refractory connection elements (3) made from molybdenum.

Description

PERFECTIONNEMENTS A LA STRUCTURE D'UN FOUR À RESISTANCE GRAPHITE. IMPROVEMENTS IN THE STRUCTURE OF A GRAPHITE RESISTANCE OVEN.
DOMAINE TECHNIQUE GENERAL.GENERAL TECHNICAL AREA.
L'invention concerne les fours de hautes performances en température et en durée de vie.The invention relates to ovens with high performance in terms of temperature and lifetime.
Plus particulièrement, elle concerne un perfectionnement dans la structure des fours à résistance à haute température, notamment en graphite.More particularly, it relates to an improvement in the structure of high temperature resistance ovens, in particular in graphite.
ETAT DE L'ART.STATE OF THE ART.
Généralement, pour des applications demandant de très hautes températures avec des précisions fortes - par exemple pour des applications de croissance cristalline pour des cristaux de grande pureté - , on utilise des fours dont les résistances sont usinées dans un bloc de graphite.Generally, for applications requiring very high temperatures with high precision - for example for crystal growth applications for crystals of high purity - use is made of ovens whose resistances are machined from a block of graphite.
De tels fours sont des accessoires consommables. En effet, leur température de fonctionnement très élevée entraîne la consommation du graphite, soit à cause de la présence de traces d'oxygène dans l'atmosphère des fours bien que celle ci soit contrôlée, soit à cause de la sublimation du graphite à ces températures extrêmes.Such ovens are consumable accessories. In fact, their very high operating temperature leads to the consumption of graphite, either because of the presence of traces of oxygen in the atmosphere of the ovens although this is controlled, or because of the sublimation of graphite at these temperatures. extremes.
L'usinage fin de la résistance du four à la surface du bloc de graphite permet d'obtenir les caractéristiques dimensionnelles aptes à fournir le profil de température désiré à l'intérieur du four.The fine machining of the resistance of the furnace on the surface of the graphite block makes it possible to obtain the dimensional characteristics capable of providing the desired temperature profile inside the furnace.
Il permet d'obtenir la résistance ohmique voulue pour optimiser la puissance thermique en fonction de l'alimentation électrique disponible. On découpe à la surface d'un bloc un zigzag selon des génératrices du bloc, généralement en forme de tube. La découpe conserve au maximum la rigidité du bloc. Avant son usinage, le bloc de graphite doit être purifié par un traitement à très haute température. La purification s'effectue pendant un temps d'autant plus long que le volume du bloc est important.It provides the desired ohmic resistance to optimize the thermal power depending on the available power supply. A zigzag is cut on the surface of a block according to generatrices of the block, generally in the form of a tube. The cut retains the maximum rigidity of the block. Before machining, the graphite block must be purified by a treatment at very high temperature. The purification is carried out for a time all the longer as the volume of the block is important.
Préférentiellement, le graphite est ensuite imprégné par diffusion de carbone en phase gazeuse afin de diminuer sa porosité. Cependant, l'imprégnation n'est possible que sur une profondeur limitée.Preferably, the graphite is then impregnated by diffusion of carbon in the gas phase in order to reduce its porosity. However, impregnation is only possible over a limited depth.
Les techniques précédentes présentent cependant des inconvénients. L'usinage fin du profil d'épaisseur de la surface est très difficile sur un bloc. Pour des raisons de tenue mécanique, il est difficile de diminuerl'épaisseur du bloc. Par conséquent, il faut diminuer la largeur de chaque partie résistive formant le zigzag et s'étendant sur les génératrices du bloc. On diminue alors la surface rayonnant vers l'intérieur du four. Il faut donc augmenter la température de cette surface pour une même température utile du four. On évapore ainsi plus vite l'élément chauffant et on diminue la durée de vie du four.The foregoing techniques have drawbacks, however. Fine machining of the surface thickness profile is very difficult on a block. For reasons of mechanical strength, it is difficult to reduce the thickness of the block. Consequently, the width of each resistive part forming the zigzag and extending over the generatrices of the block must be reduced. The surface radiating towards the interior of the oven is then reduced. It is therefore necessary to increase the temperature of this surface for the same useful oven temperature. The heating element is thus evaporated more quickly and the life of the oven is shortened.
L'élément chauffant étant en un seul bloc - ou en trois blocs éventuellement pour un four alimenté en triphasé - , la rupture, même d'une seule branche, le rend entièrement inutilisable. On perd dans ce cas beaucoup de matière première - le graphite purifié et traité est cher - , mais aussi tout le coût de l'usinage du bloc.The heating element being in a single block - or in three blocks possibly for an oven supplied with three-phase - the rupture, even of a single branch, makes it entirely unusable. In this case, we lose a lot of raw material - purified and treated graphite is expensive - but also the entire cost of machining the block.
PRESENTATION DE L'INVENTION.PRESENTATION OF THE INVENTION.
L'invention propose de pallier ces inconvénients. L'invention a pour objet de simplifier la réalisation des fours et d'économiser la matière très onéreuse dont ils sont constitués.The invention proposes to overcome these drawbacks. The object of the invention is to simplify the production of ovens and to save the very expensive material of which they are made.
Selon l'invention, on utilise un matériau qui ne peut être obtenu que pour des pièces de petites dimensions, pour des raisons physiques ou économiques. Ce matériau doit cependant pouvoir résister aux conditions de températures extrêmes des applications du four.According to the invention, a material is used which can only be obtained for small parts, for physical or economic reasons. However, this material must be able to withstand the extreme temperature conditions of oven applications.
L'invention consiste à relier les pièces chauffantes par des éléments conducteurs, en matériau réfractaire également, mais présentant en outre d'autres propriétés physiques, notamment une usinabilité satisfaisante et une résistivité convenable pour obtenir un effet joule maximal.The invention consists in connecting the heating parts by conductive elements, also made of refractory material, but also having other physical properties, in particular satisfactory machinability and suitable resistivity to obtain a maximum joule effect.
A cet effet, l'invention propose un dispositif selon la revendication 1.To this end, the invention provides a device according to claim 1.
L'invention est avantageusement complétée par les caractéristiques suivantes, prises seules ou en une quelconque de leur combinaison techniquement possible :The invention is advantageously supplemented by the following characteristics, taken alone or in any of their technically possible combinations:
- il comporte au moins une bande mince en graphite purifié et de grande densité ;- It includes at least one thin strip of high density purified graphite;
- il comporte au moins une bande mince en iridium, ou en tungstène, ou en tantal, ou en niobium purifiés et recuits ;- It has at least one thin strip of iridium, or tungsten, or tantalum, or niobium purified and annealed;
- au moins une bande mince en graphite purifié et de grande densité est recouverte de carbone vitreux ; - il comporte au moins une bande mince d'épaisseur uniforme ou profilée ;- At least one thin strip of high density purified graphite is covered with vitreous carbon; - It comprises at least one thin strip of uniform or profiled thickness;
- il comporte un élément de raccordement conducteur en niobium, ou en tungstène, ou en tantal ;- It includes a conductive connecting element made of niobium, or tungsten, or tantalum;
- il comporte un élément de raccordement conducteur en iridium, les bandes minces étant alors en iridium ; - il comporte une pluralité de bandes minces, de longueurs égales ou non, celles-ci étant reliées les unes aux autres par leurs extrémités par l'intermédiaire d'éléments de raccordement conducteurs, au moins deux desdits éléments étant aptes à être connectés aux airnenées de courant ;- It comprises a conductive connection element made of iridium, the thin strips then being made of iridium; - It comprises a plurality of thin strips, of equal or unequal lengths, these being connected to each other by their ends by means of conductive connection elements, at least two of said elements being able to be connected to airnenées current ;
- la pluralité de bandes minces sont assemblées les unes aux autres par les éléments de raccordement pour former un zigzag continu apte à former une nappe dans un plan ou selon une surface réglée quelconque ;- The plurality of thin strips are joined to each other by the connecting elements to form a continuous zigzag capable of forming a sheet in a plane or according to any regulated surface;
- la forme des éléments de raccordement est apte à donner à la nappe une forme cylindrique ou parallélépipédique ;- The shape of the connecting elements is capable of giving the sheet a cylindrical or parallelepiped shape;
- chaque élément de raccordement est apte à coopérer avec des moyens de serrage, et/ou de fixation comportant des vis, et/ou des écrous, et/ou des rondelles et ou des plaques thermochimiquement compatibles aux hautes températures avec les matériaux des bandes et des éléments de raccordement ainsi qu'avec l'atmosphère du four afin que deux bandes élémentaires s'étendent entre ladite pièce de raccordement et lesdits moyens de serrage ou de fixation ;each connection element is able to cooperate with clamping and / or fixing means comprising screws, and / or nuts, and / or washers and or plates thermochemically compatible at high temperatures with the materials of the strips and connecting elements as well as with the furnace atmosphere so that two strips elementary extend between said connecting piece and said clamping or fixing means;
- chaque élément de raccordement en graphite est collé à ses bandes par un collage graphite qui est ensuite purifié et densifié ; - il comporte au droit des éléments de raccordement une feuille de matériau conducteur thermochimiquement compatible, aux hautes températures, avec le matériau des bandes minces et celui des éléments de raccordement ainsi qu'avec l'atmosphère du four, cette feuille s'étendant entre les éléments de raccordement et les bandes minces ; - les éléments de raccordement sont sensiblement en forme de T inversé, les bandes minces s'étendant au droit de la partie horizontale du T inversé, la partie verticale comportant des moyens aptes à servir de moyens de connexion électriques et de moyens de fixation de la résistance sur un support isolant ; - les T inversés comportent une pliure en leur milieu selon son axe vertical, les deux parties horizontales faisant un angle par rapport à leur position lorsque l'élément de raccordement n'est pas plié égal à 360° divisés par le nombre de bandes minces s'étendant dans la résistance ;- each graphite connection element is bonded to its strips by a graphite bond which is then purified and densified; - It comprises at the right of the connection elements a sheet of thermochemically compatible conductive material, at high temperatures, with the material of the thin strips and that of the connection elements as well as with the atmosphere of the furnace, this sheet extending between the connection elements and thin strips; the connection elements are substantially in the form of an inverted T, the thin strips extending in line with the horizontal part of the inverted T, the vertical part comprising means suitable for serving as electrical connection means and for fixing the resistance on an insulating support; - the inverted T's have a fold in the middle along its vertical axis, the two horizontal parts making an angle relative to their position when the connection element is not folded equal to 360 ° divided by the number of thin strips s 'extending in resistance;
- les deux parties horizontales du T inversé sont biseautées selon une forme sensiblement triangulaire dont les sommets qui s'étendent selon l'axe vertical du T ont un angle au sommet égal à 360° divisés par le nombre de bandes minces s'étendant dans la résistance, les deux biseaux étant décalés radialement selon un plan normal au plan du T inversé et au droit de leur sommet d'une dénivellation apte à éviter un claquage électrique entre deux bandes minces montées sur un élément de raccordement et à permettre un recouvrement radial apparent de deux bandes minces montées sur un élément de raccordement ;the two horizontal parts of the inverted T are bevelled in a substantially triangular shape, the vertices of which extend along the vertical axis of the T have an angle at the apex equal to 360 ° divided by the number of thin strips extending in the resistance, the two bevels being offset radially along a plane normal to the plane of the inverted T and in line with their apex of a drop capable of avoiding an electrical breakdown between two thin strips mounted on a connection element and of allowing an apparent radial overlap two thin strips mounted on a connecting element;
- les éléments de raccordement sont réduits à la seule partie horizontale du T, et en ce que les éléments de raccordement sont rendues solidaires de leurs voisins par des plaques isolantes électriques ;- The connection elements are reduced to the single horizontal part of the T, and in that the connection elements are made integral with their neighbors by electrical insulating plates;
- des pièces isolantes servent à la fois à maintenir en positions les éléments de raccordement entre eux et à maintenir en outre des écrans thermiques à distance convenable les uns des autres et à distance convenable des bandes minces.- insulating parts are used both to hold the connecting elements in position and to also maintain heat shields suitable distance from each other and suitable distance from thin strips.
L'invention concerne également un procédé de fabrication d'un dispositif selon la revendication 1.The invention also relates to a method of manufacturing a device according to claim 1.
PRESENTATION DES FIGURES.PRESENTATION OF THE FIGURES.
D'autres caractéristiques et avantages de l'invention ressortiront de la description qui suit qui est purement illustrative et non limitative et qui doit être lue en regard des dessins annexés sur lesquels :Other characteristics and advantages of the invention will emerge from the description which follows which is purely illustrative and not limiting and which must be read with reference to the appended drawings in which:
- la figure 1 représente une vue d'ensemble d'une résistance selon un mode préféré de l'invention ;- Figure 1 shows an overview of a resistor according to a preferred embodiment of the invention;
- la figure 2 représente une vue d'ensemble d'une pièce de raccordement selon un mode de réalisation de l'invention ; - la figure 3 représente une vue d'ensemble d'une pièce de raccordement selon un deuxième mode de réalisation de l'invention ;- Figure 2 shows an overview of a connecting piece according to an embodiment of the invention; - Figure 3 shows an overview of a connecting piece according to a second embodiment of the invention;
- la figure 4 représente une vue d'ensemble d'une pièce de raccordement selon un troisième mode de réalisation de l'invention ; et- Figure 4 shows an overview of a connecting piece according to a third embodiment of the invention; and
- la figure 5 représente une vue d'ensemble d'un mode de réalisation d'une pièce permettant de relier entre elles des pièces de raccordement.- Figure 5 shows an overview of an embodiment of a part for connecting together connecting pieces.
DESCRIPTION D'UN MODE DE REALISATION PREFERENTIEL. La figure 1 montre un mode de réalisation préférentiel d'une résistance 1 d'un four en graphite. L'alimentation électrique considérée dans les développements suivants est monophasée.DESCRIPTION OF A PREFERENTIAL EMBODIMENT. Figure 1 shows a preferred embodiment of a resistor 1 of a graphite furnace. The power supply considered in the following developments is single phase.
La résistance 1 comporte une bande ou une pluralité de bandes minces élémentaires 2 de forme allongée et connectées les unes à la suite des autres par leurs extrémités grâce à des pièces de raccordement 3. L'alignement des bandes 2 peut être effectué dans le sens de leur longueur, les bandes 2 étant disposées bout à bout. Les bandes 2 peuvent être de longueur différentes. Cependant, le mode de réalisation représenté à la figure 1 montre que la suite de bandes élémentaires 2 se replie sur elle-même de manière à s'étendre en forme de zigzag continu.Resistor 1 comprises a strip or a plurality of elementary thin strips 2 of elongated shape and connected one after the other by their ends by means of connection pieces 3. The strips 2 can be aligned in the direction of their length, the strips 2 being arranged end to end. The strips 2 can be of different length. However, the embodiment shown in FIG. 1 shows that the series of elementary bands 2 folds back on itself so as to extend in the form of a continuous zigzag.
Le zigzag des bandes élémentaires 2 est apte à former une nappe. La nappe peut se galber de façon à former sensiblement un cylindre de révolution, les longueurs des bandes 2 formant ainsi les génératrices du cylindre de révolution.The zigzag of the elementary bands 2 is able to form a sheet. The sheet can be curved so as to substantially form a cylinder of revolution, the lengths of the bands 2 thus forming the generatrices of the cylinder of revolution.
La jonction entre les bandes élémentaires 2 est faite par une pièce de raccordement 3 conductrice. Le nombre N de bandes 2 peut être choisi à volonté égal à un oirplus.The junction between the elementary strips 2 is made by a conductive connecting piece 3. The number N of bands 2 can be chosen at will equal to one oirplus.
Si N est petit, les pièces de raccordement 3 auront sensiblement une forme d'arcs de cercle dont le rayon est le rayon du four. Les bandes 2 de graphite peuvent être suffisamment fines pour être galbées sur un cylindre de révolution de rayon assez petit. Le galbe peut être effectué selon la longueur ou la largeur des bandes, mais preferentiellement il est effectué selon la largeur de chaque bande 2.If N is small, the connecting pieces 3 will have substantially the shape of arcs of a circle whose radius is the radius of the furnace. The graphite strips 2 can be thin enough to be curved on a cylinder of revolution of fairly small radius. The curve can be carried out according to the length or the width of the strips, but preferably it is carried out according to the width of each strip 2.
On aligne et assemble plusieurs bandes 2 dans le sens longitudinal quand on désire une structure d'une plus grande hauteur ou longueur.Several strips 2 are aligned and assembled in the longitudinal direction when a structure of greater height or length is desired.
On utilise pour fixer les bandes 2 des pièces de raccordement 3, en molybdène par exemple, adaptées à la géométrie souhaitée.Is used to fix the bands 2 of the connecting pieces 3, molybdenum for example, adapted to the desired geometry.
Les bandes élémentaires 2 sont preferentiellement composées de graphite purifié, densifié.The elementary bands 2 are preferably composed of purified, densified graphite.
Elles peuvent également être en tungstène, en tantal, en niobium ou en molybdène purifiés et recuits.They can also be made of tungsten, tantalum, niobium or molybdenum, purified and annealed.
Elles peuvent être découpées à la largeur désirée calculée pour obtenir la résistance adaptée à l'alimentation électrique pour la puissance thermique désirée.They can be cut to the desired width calculated to obtain the resistance adapted to the power supply for the desired thermal power.
La découpe s'effectue par exemple avec une scie à fil diamanté dans une plaque de graphite profilée en épaisseur. Le profil en épaisseur de la plaque a été défini avant un traitement final de recouvrement de carbone vitreux. Le profil selon un axe longitudinal de l'épaisseur de la plaque de graphite dans laquelle sont découpées les bandes peut être choisi de manière à renforcer la puissance disponible aux extrémités du four, si l'on désire un profil plus uniforme dans l'axe du four par exemple.The cutting is carried out for example with a diamond wire saw in a thick profiled graphite plate. The thickness profile of the plate was defined before a final glassy carbon covering treatment. The profile along a longitudinal axis of the thickness of the graphite plate from which the strips are cut can be chosen so as to reinforce the power available at the ends of the furnace, if one wishes a more uniform profile in the axis of the oven for example.
Avantageusement, le graphite de la plaque est traité pour avoir:Advantageously, the graphite of the plate is treated to have:
- une pureté maximale quand cela est nécessaire, par exemple dans un four de cristallogénèse,- maximum purity when necessary, for example in a crystallogenesis oven,
- une porosité minimale, pour éviter un dégazage et/ou l'apparition de points chauds qui de proche en proche vont finir par couper l'élément chauffant.- a minimum porosity, to avoid degassing and / or the appearance of hot spots which will gradually cut the heating element.
L'augmentation de la densité du graphite s'obtient par diffusion de carbone en phase gazeuse. Au final, la plaque peut être recouverte en surface d'un dépôt de carbone vitreux afin d'étanchéifier la surface et augmenter la résistance à l'oxydation.The increase in the density of graphite is obtained by diffusion of carbon in the gas phase. Finally, the plate can be covered on the surface with a glassy carbon deposit in order to seal the surface and increase the resistance to oxidation.
Tous ces traitements augmentent sensiblement la durée de vie des éléments chauffants 2.All these treatments significantly increase the life of the heating elements 2.
Les bandes peuvent par exemple présenter une structure rectiligne. Leur section oblongue est alors rectangulaire. Comme le montre le figure 1 , la surface des tranches 4 des bandes élémentaires 2 est beaucoup plus petite que celle des faces 5. Cependant, les tranches 4 des bandes 2 sont soumises à la même atmosphère lors du fonctionnement du four. On peut, soit négliger leur influence, soit avantageusement les enrober de carbone vitreux afin d'atténuer cette dernière. Avantageusement encore, les bandes élémentaires 2 peuvent être découpées à la cote avant l'opération de recouvrement de l'ensemble de la bande 2 par du carbone vitreux, ce qui assure la protection des tranches 4. Le fil diamanté de coupe ayant preferentiellement un petit diamètre de 0.15 mm, la perte de matière est extrêmement faible. On évite ainsi les problèmes de rupture ou d'enlèvement d'éclats.The strips may for example have a rectilinear structure. Their oblong section is then rectangular. As shown in FIG. 1, the surface of the edges 4 of the elementary bands 2 is much smaller than that of the faces 5. However, the edges 4 of the bands 2 are subjected to the same atmosphere during the operation of the oven. One can either neglect their influence or advantageously coat them with vitreous carbon in order to attenuate the latter. Advantageously also, the elementary bands 2 can be cut to the dimension before the operation of covering the entire band 2 with vitreous carbon, which ensures the protection of the wafers 4. Since the diamond cutting wire preferably has a small diameter of 0.15 mm, the loss of material is extremely low. This avoids the problems of breakage or chip removal.
L'ajustement fin de la largeur des bandes 2 et la finition (élimination des bavures) de chaque bande 2 peuvent être faits par abrasion sur papier abrasif.The fine adjustment of the width of the strips 2 and the finishing (elimination of burrs) of each strip 2 can be done by abrasion on abrasive paper.
La largeur des bandes 2 est la même pour toutes les bandes, par exemple pour un four cylindrique qui doit avoir une température constante suivant chaque section droite.The width of the strips 2 is the same for all the strips, for example for a cylindrical oven which must have a constant temperature along each cross section.
Par contre, la largeur des bandes 2 sera différente dans le cas d'une autre géométrie, où l'on souhaite compenser les effets de bord par un apport supplémentaire de puissance thermique à des endroits précis.On the other hand, the width of the bands 2 will be different in the case of another geometry, where it is desired to compensate for the edge effects by an additional contribution of thermal power at precise locations.
Sur la figure 1, on a représenté une structure de four comportant vingt-huit bandes élémentaires 2 chauffantes de graphite.In Figure 1, there is shown an oven structure comprising twenty-eight elementary heating bands 2 of graphite.
Les bandes élémentaires 2 sont montées en deux voies parallèles comportant chacune quatorze bandes chauffantes. Chaque voie est constituée d'un secteur du cylindre de révolution représentant 180°. Les deux secteurs du cylindre de révolution sont en regard l'un de l'autre.The elementary bands 2 are mounted in two parallel tracks each comprising fourteen heating bands. Each channel consists of a sector of the cylinder of revolution representing 180 °. The two sectors of the cylinder of revolution are opposite one another.
Des pièces de raccordement rallongées 21 et 22 diamétralement opposées et sur la même extrémité du cylindre de révolution servent de séparation des voies et de connexion aux amenées de courant. ,<Elongated connection pieces 21 and 22 diametrically opposite and on the same end of the cylinder of revolution serve to separate the channels and connect to the current leads. <
Comme le montre la figure 2, chaque bande 2 peut être percée d'au moins un trou 20 à chaque extrémité pour assurer le passage d'au moins une vis de fixation 6.As shown in FIG. 2, each strip 2 can be pierced with at least one hole 20 at each end to ensure the passage of at least one fixing screw 6.
Les bandes 2 peuvent également ne pas être percées et montées serrées dans les pièces de raccordement 3. Les pièces de raccordement 3 sont preferentiellement en molybdène.The bands 2 may also not be drilled and mounted tight in the connection pieces 3. The connection pieces 3 are preferably made of molybdenum.
Plusieurs raisons justifient le choix de ce matériau :Several reasons justify the choice of this material:
- il est réfractaire,- it is refractory,
- il est usinable, - il ne forme pas facilement de carbure,- it is machinable, - it does not easily form carbide,
- il possède une faible tension de vapeur, et- it has a low vapor pressure, and
- il possède une forte stabilité chimique dans les environnements et les atmosphères compatibles avec le graphite. Si la tension de vapeur du molybdène est trop élevée pour une application particulière, les pièces de raccordement peuvent être en graphite avec des plaques isolantes inertes et réfractaires qui isolent le graphite des vis et écrous de tungstène qui serrent l'ensemble afin d'éviter une réaction de carburation du tungstène. Les pièces 3 sont des plaques comportant de préférence des trous filetés 30 pour fixer les bandes 2 de graphite en bonne position. Lors du montage, les bandes 2 ne sont pas nécessairement parallèles puisque le risque de claquage électrique est nul au niveau de la pièce de raccordement 3 mais maximum à leur autre extrémité. Le taux de remplissage de la surface émettrice peut donc être supérieur au taux obtenu avec un usinage classique d'un four en bloc de graphite. Selon la forme des pièces de raccordement 3, on peut réaliser toutes sortes de géométries selon n'importe quelle surface réglée ou non, les bandes élémentaires 2 pouvant être très courbées si elles sont minces. On peut également réaliser une surface apparente continue en acceptant un léger chevauchement visuel des bandes sans contact entre elles. Les pièces de raccordement 3 sont toutes identiques sauf éventuellement celles qui sont connectées aux amenées de courant 21 et 22. Elles sont toutes facilement usinables en série et réutilisables. La surface de contact entre le graphite d'une bande élémentaire 2 et d'une pièce de raccordement 3 du côté chaud doit être au moins égale à celle de la section de la bande élémentaire 2 dans sa partie la plus épaisse, afin d'éviter une densité de courant trop grande localement. La conductivité électrique du molybdène étant une centaine de fois plus élevée que celle du graphite, généralement l'épaisseur des pièces de raccordement 3 doit répondre en premier lieu à des impératifs de résistance mécanique et de facilité d'usinage. Les surfaces de contact entre une pièce de raccordement 3 et une bande élémentaire 2 de graphite doivent être aussi planes et polies que possible, afin d'éviter leur collage en des points chauds. On facilite ainsi le changement des bandes élémentaires 2 lors des opérations de maintenance.- it has high chemical stability in environments and atmospheres compatible with graphite. If the molybdenum vapor pressure is too high for a particular application, the connection pieces can be made of graphite with inert and refractory insulating plates which insulate the graphite from the tungsten screws and nuts which tighten the assembly in order to avoid carburetor reaction of tungsten. The parts 3 are plates preferably having threaded holes 30 for fixing the graphite strips 2 in the correct position. During mounting, the strips 2 are not necessarily parallel since the risk of electrical breakdown is zero at the connection piece 3 but maximum at their other end. The filling rate of the emitting surface can therefore be higher than the rate obtained with conventional machining of a graphite block furnace. Depending on the shape of the connecting pieces 3, all kinds of geometries can be produced according to any surface, adjusted or not, the elementary strips 2 being able to be very curved if they are thin. It is also possible to produce a continuous apparent surface by accepting a slight visual overlap of the strips without contact with each other. The connecting pieces 3 are all identical except possibly those which are connected to the current leads 21 and 22. They are all easily machinable in series and reusable. The contact surface between the graphite of an elementary strip 2 and a connecting piece 3 on the hot side must be at least equal to that of the section of the elementary strip 2 in its thickest part, in order to avoid too high a current density locally. The electrical conductivity of molybdenum being a hundred times higher than that of graphite, generally the thickness of the connecting pieces 3 must first meet the requirements of mechanical strength and ease of machining. The contact surfaces between a connecting piece 3 and an elementary strip 2 of graphite must be as flat and polished as possible, in order to avoid their sticking in hot spots. This makes it easier to change the elementary bands 2 during maintenance operations.
Les bandes élémentaires 2 sont fixées sur les pièces de raccordement 3 par des vis 6 de serrage, une rondelle (non représentée sur les figures) en molybdène polie étant alors située entre un écrou 8 et le graphite des bandes élémentaires 2.The elementary bands 2 are fixed to the connection pieces 3 by tightening screws 6, a washer (not shown in the figures) in polished molybdenum then being located between a nut 8 and the graphite of the elementary bands 2.
Avantageusement, la rondelle peut être remplacée par une plaque 7 en molybdène, preferentiellement rectangulaire, polie et percée de trous 70 lisses aux mêmes dimensions que les trous taraudés 30 des pièces de raccordement 3. Les plaques 7 sont identiques pour deux bandes élémentaires 2 de graphite réunies sur un même élément de raccordement 3.Advantageously, the washer can be replaced by a molybdenum plate 7, preferably rectangular, polished and pierced with smooth holes 70 with the same dimensions as the tapped holes 30 of the connecting pieces 3. The plates 7 are identical for two elementary strips 2 of graphite united on the same connection element 3.
Les pièces de raccordement 3 peuvent être prolongées vers l'extérieur du four ce qui leur donne une forme de T. Elles sont alors aptes à être fixées dans un isolant électrique compatible chimiquement et thermiquement avec l'environnement du four. Le matériau isolant peut par exemple être en alumine ou en nitrure de bore. Pour les plus hautes températures et/ou pour des dimensions supérieures à celles des matériaux disponibles, le maintien des pièces de raccordement entre elles peut être assuré par des plaques d'oxyde d'hafnium 41 (figure 4 décrite ultérieurement), ou d'autres isolants compatibles, reliant une pièce de raccordement 3 à sa voisine et fixée par les mêmes vis comme dans la figure 4. La venue de matière de la barre verticale du T assure également le maintien de la géométrie de l'ensemble.The connection pieces 3 can be extended towards the outside of the oven, which gives them a T shape. They are then able to be fixed in an electrical insulator that is chemically and thermally compatible with the environment of the oven. The insulating material may for example be made of alumina or boron nitride. For the highest temperatures and / or for dimensions greater than those of the available materials, the connection pieces can be held together by hafnium oxide plates 41 (FIG. 4 described later), or others compatible insulators, connecting a connecting piece 3 to its neighbor and fixed by the same screws as in Figure 4. The material coming from the vertical bar of the T also ensures the maintenance of the geometry of the assembly.
Des écrans thermiques (non représentés sur les figures) s'étendant entre les pièces de raccordement 3 et l'environnement du four peuvent être fixés aux pièces de raccordement 3 par les pièces isolantes 42 de la figure 5 remplaçant les pièces 41. Ils sont avantageusement en molybdène en tantale ou en mousse de graphite. Ils permettent de minimiser les pertes énergétiques par rayonnement. On diminue ainsi la consommation d'énergie, tout en augmentant la durée de vie des composants du four.Heat shields (not shown in the figures) extending between the connection pieces 3 and the environment of the furnace can be fixed to the connection pieces 3 by the insulating pieces 42 of FIG. 5 replacing the pieces 41. They are advantageously in molybdenum in tantalum or graphite foam. They make it possible to minimize energy losses by radiation. This reduces energy consumption, while increasing the life of the oven components.
PREMIER MODE DE REALISATION POSSIBLE DES PIECES DEFIRST POSSIBLE EMBODIMENT OF THE PARTS OF
RACCORDEMENT.CONNECTION.
On va maintenant décrire plus en détail un premier mode possible d'assemblage des éléments au droit des pièces de raccordement 3.We will now describe in more detail a first possible method of assembling the elements in line with the connection pieces 3.
Sur la figure 2, la pièce de raccordement 3 est réalisée par pliage d'une pièce usinée dans une tôle plate en forme de T inversé.In FIG. 2, the connecting part 3 is produced by folding a machined part in a flat sheet in the shape of an inverted T.
L'élément central du T est apte à assurer la fixation du dispositif à un support, notamment un isolant. La fixation pourra notamment être effectuée grâce au trou 31.The central element of the T is capable of ensuring the fixing of the device to a support, in particular an insulator. The fixing could in particular be carried out thanks to the hole 31.
La partie horizontale du T inversé est apte à supporter deux bandes adjacentes.The horizontal part of the inverted T is able to support two adjacent strips.
La pièce 3 est preferentiellement en molybdène.The part 3 is preferably made of molybdenum.
L'angle a entre les plans 9 et 10 est représenté à la figure 2. Il est égal àThe angle a between planes 9 and 10 is shown in Figure 2. It is equal to
360° divisés par le nombre de bandes élémentaires 2 que l'on dispose dans la résistance 1. Par exemple, il est égal à zéro si l'on veut réaliser une unique plaque chauffante.360 ° divided by the number of elementary bands 2 that are available in the resistance 1. For example, it is equal to zero if we want to make a single heating plate.
Pour adapter la résistance du four à la puissance du générateur, on dispose du choix du matériau des bandes pour sa résistivité, de la géométrie des bandes et de l'assemblage des bandes en pure série ou en série parallèle. Suivant la parité du nombre de bandes, les entrées et sorties 21 et 22 sont du même côté ou du côté opposé.To adapt the resistance of the oven to the power of the generator, we have the choice of the material of the bands for its resistivity, the geometry of the bands and the assembly of the bands in pure series or in parallel series. Depending on the parity of the number of bands, the inputs and outputs 21 and 22 are on the same side or on the opposite side.
Les bandes élémentaires 2 sont de préférence en graphite purifié, densifié et recouvert de carbone vitreux.The elementary bands 2 are preferably made of purified, densified graphite and covered with vitreous carbon.
Les bandes élémentaires 2 s'étendent entre les pièces 3 et 7. Les vis 6 passant dans les trous non taraudés des pièces 2, 3 et 7 serrent l'ensemble en coopérant avec les écrous 8. L'ordre des pièces 3 et 7. peut être inversé pour serrer les bandes élémentaires 2 sur la face externe de la pièce 3. On évite ainsi la gêne éventuelle d'un trop grand rayon de courbure de la pièce 3 au droit de l'axe de la pliure.The elementary bands 2 extend between the parts 3 and 7. The screws 6 passing through the non-tapped holes of the parts 2, 3 and 7 tighten the assembly by cooperating with the nuts 8. The order of parts 3 and 7. can be reversed to tighten the elementary bands 2 on the external face of the part 3. This avoids the possible discomfort of an excessive radius of curvature of the part 3 in line with the axis of the fold.
Dans le montage représenté à la figure 2, on évite ce problème en écartant les bandes 2 de la zone courbée. On diminue cependant le taux de remplissage de la surface chauffante.In the assembly shown in Figure 2, this problem is avoided by moving the strips 2 away from the curved area. However, the filling rate of the heating surface is reduced.
En variante, les pièces 7 peuvent constituer une seule plaque pliée. Leurs trous peuvent également être taraudés. On peut ainsi se passer d'écrous 8.Alternatively, the parts 7 may constitute a single folded plate. Their holes can also be tapped. We can do without nuts 8.
Une feuille de papier graphite peut être intercalée de chaque côté des bandes élémentaires 2 au droit des contacts avec les pièces de raccordement 3 pour améliorer le contact électrique. On facilite également le démontage subséquent des bandes élémentaires 2 lors des opérations de maintenance. La feuille peut également être en molybdène.A sheet of graphite paper can be inserted on each side of the elementary strips 2 in line with the contacts with the connection pieces 3 to improve the electrical contact. It also facilitates the subsequent disassembly of the elementary bands 2 during maintenance operations. The sheet can also be made of molybdenum.
La largeur de la barre horizontale du T inversé est égale à la somme des largeurs des bandes élémentaires 2, auxquelles on additionne l'espace d'écartement des bandes élémentaires 2 nécessaire pour éviter la formation d'une décharge électrique entre lesdites bandes 2.The width of the horizontal bar of the inverted T is equal to the sum of the widths of the elementary bands 2, to which is added the spacing space of the elementary bands 2 necessary to avoid the formation of an electric discharge between said bands 2.
La partie verticale du T inversé peut être très longue. Elle est apte à fixer la position des bandes élémentaires 2 dans une pièce isolante (non représentée sur la figure). Un trou fileté 31 s'étendant dans la partie haute de la partie verticale permet cette fixation. Un rétrécissement 32 de la barre verticale permet de diminuer les pertes énergétiques par conduction thermique.The vertical part of the inverted T can be very long. It is able to fix the position of the elementary strips 2 in an insulating part (not shown in the figure). A threaded hole 31 extending in the upper part of the vertical part allows this fixing. A narrowing 32 of the vertical bar makes it possible to reduce the energy losses by thermal conduction.
Les faces des pièces 3, 2 et 7 doivent être planes et polies pour assurer une faible résistance de contact. Les épaisseurs des pièces 3 et 7 ne sont pas nécessairement égales. Elles peuvent même être très fines.The faces of parts 3, 2 and 7 must be flat and polished to ensure low contact resistance. The thicknesses of parts 3 and 7 are not necessarily equal. They can even be very fine.
L'épaisseur de la pièce 3 doit cependant être suffisante pour assurer son rôle mécanique de fixation des bandes 2 et pour ne pas introduire une résistance ohmique trop élevée.The thickness of the piece 3 must however be sufficient to ensure its mechanical role of fixing the strips 2 and not to introduce too high ohmic resistance.
DEUXIEME MODE DE REALISATION POSSIBLE DES PIECES DESECOND POSSIBLE EMBODIMENT OF THE PARTS OF
RACCORDEMENT.CONNECTION.
On va maintenant décrire un deuxième mode possible d'assemblage des éléments au droit des pièces de raccordement 3.We will now describe a second possible method of assembling the elements in line with the connection pieces 3.
Sur la figure 3 la pièce de raccordement 3 possède toujours une forme sensiblement de T inversé.In Figure 3 the connecting piece 3 always has a substantially inverted T shape.
Encore une fois, la partie centrale du T est apte à assurer la fixation des pièces de raccordement à un support, qui est par exemple un isolant. La partie horizontale supporte extérieurement deux bandes adjacentes parallèles. La partie horizontale comporte deux parties définissant des coins ou des dièdres solidaires. Les faces extérieures des coins sont coplanaires, leurs faces internes étant non coplanaires ni parallèles. L'angle entre les deux faces internes des coins est référencé par γ. L'angle entre la face interne et la face externe est référencé par β. L'angle β - angle au sommet des coins - est égal à 360° divisés par le nombre de bandes minces 2 s'étendant dans la résistance.Again, the central part of the T is able to secure the connection pieces to a support, which is for example an insulator. The horizontal part externally supports two adjacent parallel strips. The horizontal part has two parts defining integral corners or dihedrons. The outer faces of the corners are coplanar, their inner faces being neither coplanar nor parallel. The angle between the two internal faces of the corners is referenced by γ. The angle between the internal face and the external face is referenced by β. The angle β - angle at the top of the corners - is equal to 360 ° divided by the number of thin strips 2 extending in the resistor.
Un décalage radial 35 est agencé au droit des sommets des coins, au niveau de la partie centrale du T inversé. Les bandes (non représentées sur la figure 3) sont montées sur la face interne de la partie centrale. Elles sont serrées entre la face interne de la partie centrale et les plaques 7. Lorsque le décalage radial 35 est supérieur à l'épaisseur d'une bande, alors un recouvrement apparent des bandes est possible. On a donc un remplissage de la surface du four de 100% par la surface chauffante. Un tel recouvrement est très avantageux. Dans tous les cas, la différence d'épaisseur 35 au sommet doit être suffisante pour éviter une décharge électrique, dans le sens radial de la résistance 1 , entre deux bandes 2.A radial offset 35 is arranged in line with the tops of the corners, at the level of the central part of the inverted T. The strips (not shown in Figure 3) are mounted on the inner face of the central part. They are clamped between the internal face of the central part and the plates 7. When the radial offset 35 is greater than the thickness of a strip, then an apparent overlap of the strips is possible. There is therefore a filling of the oven surface of 100% by the heating surface. Such recovery is very advantageous. In all cases, the difference in thickness 35 at the top must be sufficient to avoid an electrical discharge, in the radial direction of the resistor 1, between two strips 2.
La pièce de raccordement 3 est réalisée par usinage dans du molybdène ou du graphite massif. Les pièces massives trouvent avantageusement application pour des fours de grandes dimensions destinés aux températures très élevées.The connecting piece 3 is produced by machining in molybdenum or solid graphite. Solid parts advantageously find application for large ovens intended for very high temperatures.
L'usinage dans la masse offre la possibilité de faire des pièces de raccordement 3 plus élaborées que celles obtenues par le pliage-du premier mode de réalisation.Machining in the mass offers the possibility of making connecting pieces 3 more elaborate than those obtained by folding-of the first embodiment.
TROISIEME MODE DE REALISATION POSSIBLE DES PIECES DE RACCORDEMENT. La figure 4 montre un troisième mode de réalisation possible des pièces de raccordement 3.THIRD POSSIBLE MANUFACTURING MODE OF THE CONNECTING COMPONENTS. FIG. 4 shows a third possible embodiment of the connection pieces 3.
Les pièces de raccordement 3 se réduisent dans ce troisième mode de réalisation à la partie horizontale de la pièce de raccordement 3 du premier mode de réalisation de la figure 2. La liaison entre les bandes de résistance 2 se fait par la pièce conductrice 3. Les pièces 2 et 3 sont maintenues en bon contact électrique par les vis 6 et les écrous 8. Des plaques réfractaires isolantes électriques 41 sont intercalées entre les vis 6 et la pièce de raccordement 3. Des plaques réfractaires isolantes électriques 7 sont intercalées entre les bandes 2 et les écrous 8. Les plaques 41 et 7 n'ont pas de réactions thermochimiques ni avec le graphite ni avec le matériau des vis 6 ou écrous 8 dans les conditions de fonctionnement du four.The connection pieces 3 are reduced in this third embodiment to the horizontal part of the connection piece 3 of the first embodiment of FIG. 2. The connection between the resistance bands 2 is made by the conductive piece 3. The parts 2 and 3 are kept in good electrical contact by the screws 6 and the nuts 8. Electric insulating refractory plates 41 are interposed between the screws 6 and the connecting piece 3. Electric insulating refractory plates 7 are interposed between the strips 2 and the nuts 8. The plates 41 and 7 have no thermochemical reactions either with graphite or with the material of the screws 6 or nuts 8 under the operating conditions of the furnace.
Les dimensions des pièces 41 - notamment leur extension horizontale et la position des trous 410 - sont aptes à assurer le bon écartement de bandes 2 voisines et successives. De même, les dimensions de pièces de raccordement 3 sont aptes à assurer un tel écartement. De même l'extension horizontale de chaque pièce de raccordement 3 peut être raccourcie. On augmente ainsi le chemin isolant le long des pièces 41 entre deux pièces de raccordement 3 voisines. On évite également les courts circuits le long des pièces 41.The dimensions of the parts 41 - in particular their horizontal extension and the position of the holes 410 - are capable of ensuring the correct spacing of adjacent and successive bands 2. Likewise, the dimensions of connecting pieces 3 are capable of ensuring such a spacing. Likewise, the horizontal extension of each connecting piece 3 can be shortened. This increases the insulating path along the parts 41 between two adjacent connecting pieces 3. Short circuits along the parts 41 are also avoided.
Pour simplifier l'usinage des pièces 41 , l'angle au sommet des pièces 3 peut être égal à 360° divisé par le nombre de paires de bandes 2.To simplify the machining of the parts 41, the angle at the top of the parts 3 can be equal to 360 ° divided by the number of pairs of strips 2.
La figure 5 montre que les plaques 41 peuvent être également composées de deux équerres 42 accolées. On favorise ainsi le maintien d'écrans thermiques - non représentés sur les figures - , ces écrans entourant le four. Ils pourront par exemple être maintenus grâce aux trous 420.Figure 5 shows that the plates 41 can also be composed of two brackets 42 joined. This promotes the maintenance of thermal screens - not shown in the figures -, these screens surrounding the oven. They can for example be maintained thanks to the holes 420.
Des pièces de raccordement 3 spéciales, non représentées sur les figures 2 à 5, sont prolongées pour faciliter les connexions avec les amenées de courant. Elles sont référencées par 21 et 22 sur la figure 1.Special connection pieces 3, not shown in FIGS. 2 to 5, are extended to facilitate connections with the current leads. They are referenced by 21 and 22 in FIG. 1.
Selon ce mode de réalisation, il est facile de réaliser un volume chauffé sur toute sa surface extérieure en fermant les extrémités d'un cylindre - de révolution par exemple - chauffant réalisé selon l'invention par des nappes chauffantes réalisées également selon l'invention. Les pièces de raccordement ont été représentées identiques et symétriques pour simplifier la description mais on peut leur donner les formes nécessaires pour adapter la forme de la nappe chauffante à n'importe quelle surface réglée et de contour quelconque. .1 a ' According to this embodiment, it is easy to produce a heated volume over its entire external surface by closing the ends of a heating cylinder - of revolution for example - produced according to the invention by heating sheets also produced according to the invention. The connecting pieces have been shown to be identical and symmetrical in order to simplify the description, but they can be given the shapes necessary to adapt the shape of the heating sheet to any regulated surface and any contour. . 1 a '
Dans le cas de bandes résistives 2 en graphite et de pièces de raccordement 3 en graphite leur assemblage peut être avantageusement réalisé par un collage à la colle graphite purifiée et densifiée.In the case of resistive strips 2 of graphite and connecting pieces 3 of graphite, their assembly can advantageously be carried out by bonding with purified and densified graphite glue.
Bien entendu, la présente invention n'est pas limitée aux modes de réalisation particuliers qui viennent d'être décrits, mais s'étend à toute variante conforme à son esprit. AVANTAGES DE L'INVENTION.Of course, the present invention is not limited to the particular embodiments which have just been described, but extends to any variant in accordance with its spirit. ADVANTAGES OF THE INVENTION.
La précision obtenue lors de l'usinage de ces bandes élémentaires 2 chauffantes est beaucoup plus grande que celle obtenue pour un four monobloc de l'état de l'art. De plus l'usinage est grandement simplifié par rapport à un usinage de bloc selon l'état de l'art. Le risque de casse des pièces lors de l'usinage est beaucoup moins grand. Quand bien même une pièce viendrait à casser lors d'un usinage, les conséquences en termes de perte de matière sont beaucoup moins graves. Avec des pièces de raccordement adaptées, il est facile de faire des fours ayant toutes les formes de surfaces chauffantes, et d'obtenir des taux de remplissage importants. On obtient ainsi une meilleure uniformité de la température pour une température d'éléments chauffants minimale. On obtient donc une plus grande durée de vie du four. Le graphite utilisé pour les bandes peut avoir une qualité très supérieure à celle utilisé dans un four monobloc. La qualité supérieure du graphite assure aux bandes élémentaires 2 une durée de vie très supérieure à conditions de travail équivalentes. La température maximale du four n'est limitée que par les propriétés thermochimiques du matériau constituant les éléments de raccordement. Au surplus, les pièces de raccordement 3 sont indéfiniment réutilisables. Même après des montées en température jusqu'à 2300°C, les éléments de raccordement 3 sont démontables des bandes élémentaires 2. Il est facile de changer une seule bande élémentaire 2 en graphite du four. On comprendra l'intérêt économique du four selon l'invention par rapport à l'usinage classique d'un four tout graphite à partir d'un seul bloc. Le taux de remplissage peut atteindre des niveaux très élevés. On minimise ainsi la puissance par unité de surface et on prolonge la durée de vie du four, toutes choses étant égales par ailleurs. Un four selon l'invention peut être utilisé dans n'importe quelle position grâce à la rigidité du graphite qui est même renforcée à haute température. Il est avantageusement utilisé dans une position horizontale. L'exemple des fours en graphite a été choisi pour illustrer les avantages de l'invention.The precision obtained during the machining of these elementary heating strips 2 is much greater than that obtained for a monobloc oven of the state of the art. In addition, machining is greatly simplified compared to block machining according to the state of the art. The risk of parts breaking during machining is much less. Even if a part breaks during machining, the consequences in terms of material loss are much less serious. With suitable connection pieces, it is easy to make ovens with all forms of heating surfaces, and to obtain high filling rates. This gives better temperature uniformity for a minimum heating element temperature. This results in a longer oven life. The graphite used for the bands can have a much higher quality than that used in a monobloc oven. The superior quality of the graphite ensures that the elementary bands 2 have a very long service life under equivalent working conditions. The maximum oven temperature is only limited by the thermochemical properties of the material constituting the connection elements. In addition, the connecting pieces 3 are infinitely reusable. Even after temperature rises up to 2300 ° C, the connection elements 3 are removable from the elementary bands 2. It is easy to change a single elementary band 2 to graphite from the furnace. It will be understood the economic advantage of the oven according to the invention compared to the conventional machining of an all graphite oven from a single block. The filling rate can reach very high levels. This minimizes power per unit area and extends the life of the oven, all other things being equal. An oven according to the invention can be used in any position thanks to the rigidity of the graphite which is even reinforced at high temperature. It is advantageously used in a horizontal position. The example of graphite ovens has been chosen to illustrate the advantages of the invention.
Cependant, l'invention s'applique à d'autres matériaux, pour d'autres conditions d'atmosphère. Les bandes minces chauffantes peuvent par exemple également être en tungstène, en tantale, en niobium ou en molybdène purifiés et recuits. Les seules conditions de choix des matériaux de la pièce de raccordement - raccordements électrique et mécanique - et des bandes élémentaires sont leur compatibilité thermochimique entre elles et avec l'atmosphère dans laquelle elles sont plongées.However, the invention applies to other materials, for other atmospheric conditions. The thin heating strips can for example also be made of tungsten, tantalum, niobium or molybdenum purified and annealed. The only conditions for choosing the materials of the connecting piece - electrical and mechanical connections - and elementary bands are their thermochemical compatibility with each other and with the atmosphere in which they are immersed.
Ils ne doivent pas créer d'eutectique à point de fusion trop bas. Il faut également éviter la recristallisation des matériaux à hautes températures car elle les fragilise. On pourra par exemple assembler des pièces de raccordement d'une part en niobium, en tungstène, en tantale ou en graphite pour des fours à atmosphère réductrice ou neutre, ou d'autre part en iridium avec des bandes élémentaires en iridium pour des atmosphères oxydantes. En cas d'incompatibilité entre le graphite des bandes élémentaires 2 et le matériau conducteur de la pièce de raccordement 3, matériau conducteur qui par ailleurs aurait toutes les qualités requises, alors une feuille de matériau conducteur - par exemple un métal - compatible peut avantageusement être intercalée entre le graphite et le matériau conducteur incompatible de la pièce de raccordement. ,?They should not create eutectics with too low a melting point. It is also necessary to avoid recrystallization of materials at high temperatures because it weakens them. We can for example assemble connecting pieces on the one hand niobium, tungsten, tantalum or graphite for furnaces with reducing or neutral atmosphere, or on the other hand in iridium with elementary bands in iridium for oxidizing atmospheres . In the event of incompatibility between the graphite of the elementary bands 2 and the conductive material of the connecting piece 3, conductive material which, moreover, would have all the qualities required, then a sheet of compatible conductive material - for example a metal - can advantageously be interposed between graphite and incompatible conductive material of the connection piece. ,?
La feuille est avantageusement composée de molybdène. On peut avantageusement combiner un élément de raccordement en molybdène, une feuille intercalaire avantageusement en molybdène, une bande en graphite, une autre feuille intercalaire avantageusement en molybdène, afin que la bande en graphite soit interposée entre les deux feuilles intercalaires, et le tout étant maintenu en place par une vis et un écrou en molybdène.The sheet is advantageously composed of molybdenum. One can advantageously combine a molybdenum connecting element, an intermediate sheet advantageously of molybdenum, a strip of graphite, another intermediate sheet advantageously of molybdenum, so that the strip of graphite is interposed between the two intermediate sheets, and the whole being maintained in place with a molybdenum screw and nut.
La pièce de raccordement peut être du même matériau que l'élément chauffant - bande élémentaire 2. Les développements précédents concernent une alimentation électrique monophasée. L'invention peut également être utilisée dans le cas d'alimentations biphasées ou triphasées. Dans ces cas d'alimentation particuliers, on peut intercaler les secteurs respectifs correspondant à chaque phase électrique, par exemple en intercalant et disposant en quinconce les jambages des zigzags superposés dans le sens de la hauteur, de façon à ce que la répartition de la chaleur soit la plus uniforme possible. The connection piece can be of the same material as the heating element - elementary strip 2. The previous developments relate to a single-phase power supply. The invention can also be used in the case of two-phase or three-phase power supplies. In these particular supply cases, the respective sectors corresponding to each electrical phase can be inserted, for example by interposing and staggering the legs of the zigzags superimposed in the direction of the height, so that the distribution of heat be as uniform as possible.

Claims

REVENDICATIONS. CLAIMS.
1. Dispositif (1) chauffant à haute température comportant au moins un élément chauffant (2), des amenées (20, 21 ) de courant pour l'alimentation du ou des éléments chauffants (2), caractérisé en ce que le dispositif fonctionne dans une position quelconque, et en ce que les éléments chauffants comportent au moins une bande mince en graphite (2) reliée à ses extrémités aux amenées de courant par l'intermédiaire d'éléments (3) de raccordement conducteurs réfractaires en molybdène.1. High temperature heating device (1) comprising at least one heating element (2), current leads (20, 21) for supplying the heating element or elements (2), characterized in that the device operates in any position, and in that the heating elements comprise at least one thin strip of graphite (2) connected at its ends to the current leads by means of elements (3) for connecting refractory conductive molybdenum.
2. Dispositif selon la revendication 1 , caractérisé en ce qu'il comporte au moins une bande mince (2) en graphite purifié et de grande densité.2. Device according to claim 1, characterized in that it comprises at least one thin strip (2) of purified graphite and of high density.
3. Dispositif selon l'une des revendications 1 ou 2, caractérisé en ce qu'il comporte au moins une bande mince (2) en iridium, ou en tungstène, ou en tantal, ou en niobium purifiés et recuits.3. Device according to one of claims 1 or 2, characterized in that it comprises at least one thin strip (2) of iridium, or tungsten, or tantalum, or niobium purified and annealed.
4. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que au moins une bande mince (2) en graphite purifié et de grande densité est recouverte de carbone vitreux.4. Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that at least one thin strip (2) of purified graphite and of high density is covered with vitreous carbon.
5. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 4, caractérisé en ce qu'il comporte au moins une bande mince (2) d'épaisseur uniforme ou profilée.5. Device according to one of claims 1 to 4, characterized in that it comprises at least one thin strip (2) of uniform or profiled thickness.
6. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'il comporte un élément (3) de raccordement conducteur en niobium, ou en tungstène, ou en tantal. 6. Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that it comprises a conductive connection element (3) made of niobium, or tungsten, or tantalum.
7. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 5, caractérisé en ce qu'il comporte un élément (3) de raccordement conducteur en iridium, les bandes minces étant alors en iridium.7. Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that it comprises an element (3) of conductive connection in iridium, the thin strips then being in iridium.
8. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 7, caractérisé en ce qu'il comporte une pluralité de bandes minces (2), de longueurs égales ou non, celles-ci étant reliées les unes aux autres par leurs extrémités par l'intermédiaire d'éléments de raccordement (3) conducteurs, au moins deux desdits éléments (3) étant aptes à être connectés aux amenées de courant (21 , 22).8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that it comprises a plurality of thin strips (2), of equal length or not, these being connected to each other by their ends by the intermediate connecting elements (3) conductors, at least two of said elements (3) being adapted to be connected to the current leads (21, 22).
9. Dispositif selon la revendication 8, caractérisé en ce que la pluralité de bandes minces (2) sont assemblées les unes aux autres par les éléments de raccordement (3) pour former un zigzag continu apte à former une nappe dans un plan ou selon une surface réglée quelconque.9. Device according to claim 8, characterized in that the plurality of thin strips (2) are joined to each other by the connecting elements (3) to form a continuous zigzag capable of forming a sheet in a plane or according to a any set area.
10. Dispositif selon la revendication 9, caractérisé en ce que la forme des éléments de raccordement (3) est apte à donner à la nappe une forme cylindrique ou parallélépipédique.10. Device according to claim 9, characterized in that the shape of the connecting elements (3) is capable of giving the sheet a cylindrical or parallelepiped shape.
11. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 10, caractérisé en ce que chaque élément de raccordement (3) esj apte à coopérer avec des moyens de serrage, et/ou de fixation comportant des vis (6), et/ou des écrous (8), et/ou des rondelles et/ou des plaques (7, 41) thermochimiquement compatibles aux hautes températures avec les matériaux des bandes (2) et des éléments de raccordement (3) ainsi qu'avec l'atmosphère du four afin que deux bandes élémentaires (2) s'étendent entre ladite pièce de raccordement (3) et lesdits moyens de serrage ou de fixation. 11. Device according to one of claims 1 to 10, characterized in that each connection element (3) is able to cooperate with clamping means, and / or fixing means comprising screws (6), and / or nuts (8), and / or washers and / or plates (7, 41) thermochemically compatible at high temperatures with the materials of the bands (2) and connection elements (3) as well as with the atmosphere of the furnace so that two elementary bands (2) extend between said connecting piece (3) and said clamping or fixing means.
12. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 11 , caractérisé en ce que chaque élément de raccordement (3) en graphite est collé à ses bandes (2) par un collage graphite qui est ensuite purifié et densifié.12. Device according to one of claims 1 to 11, characterized in that each graphite connection element (3) is bonded to its strips (2) by a graphite bond which is then purified and densified.
13. Dispositif selon l'une. des revendications 1 à 12, caractérisé en ce qu'il comporte au droit des éléments de raccordement (3) une feuille de matériau conducteur thermochimiquement compatible, aux hautes températures, avec le matériau des bandes minces (2) et celui des éléments de raccordement (3) ainsi qu'avec l'atmosphère du four, cette feuille s'étendant entre les éléments de raccordement et les bandes minces.13. Device according to one. Claims 1 to 12, characterized in that it comprises, at the level of the connection elements (3), a sheet of thermochemically compatible conductive material, at high temperatures, with the material of the thin strips (2) and that of the connection elements ( 3) as well as with the atmosphere of the furnace, this sheet extending between the connection elements and the thin strips.
14. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 13, caractérisé en ce que les éléments de raccordement (3) sont sensiblement en forme de T inversé, les bandes minces s'étendant au droit de la partie horizontale du T inversé, la partie verticale comportant des moyens (31) aptes à servir de moyens de connexion électriques et de moyens de fixation de la résistance sur un support isolant.14. Device according to one of claims 1 to 13, characterized in that the connection elements (3) are substantially in the shape of an inverted T, the thin strips extending in line with the horizontal part of the inverted T, the part vertical comprising means (31) able to serve as electrical connection means and means for fixing the resistance on an insulating support.
15. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que les T inversés comportent une pliure en leur milieu selon son axe vertical, les deux parties horizontales faisant un angle par rapport à leur position lorsque l'élément de raccordement n'est pas plié égal à 360° divisés par le nombre de bandes minces (2) s'étendant dans la résistance.15. Device according to one of claims 1 to 14, characterized in that the inverted T have a fold in their middle along its vertical axis, the two horizontal parts forming an angle relative to their position when the connecting element n 'is not folded equal to 360 ° divided by the number of thin strips (2) extending in the resistor.
16. Dispositif selon l'une des revendications 1 à 14, caractérisé en ce que les deux parties horizontales du T inversé sont biseautées selon une forme sensiblement triangulaire dont les sommets qui s'étendent selon l'axe vertical du T ont un angle au sommet égal à 360° divisés par le nombre de bandes minces (2) s'étendant dans la résistance (1), les deux biseaux étant décalés radialement selon un plan normal au plan du T inversé et au droit de leur sommet d'une dénivellation (35) apte à éviter un claquage électrique entre deux bandes minces (2) montées sur un élément de raccordement (3) et à permettre un recouvrement radial apparent de deux bandes minces (2) montées sur un élément de raccordement (3).16. Device according to one of claims 1 to 14, characterized in that the two horizontal parts of the inverted T are bevelled in a substantially triangular shape whose vertices which extend along the vertical axis of the T have an angle at the apex equal to 360 ° divided by the number of thin strips (2) extending in the resistor (1), the two bevels being offset radially in a plane normal to the plane of the inverted T and in line with their apex of a drop (35) able to avoid an electrical breakdown between two thin strips (2) mounted on a connection element (3) and to allow an apparent radial overlap of two thin strips (2) mounted on a connection element (3).
17. Dispositif selon l'une des revendications 15 ou 16, caractérisé en ce que les éléments de raccordement (3) sont réduits à la seule partie horizontale du T, et en ce que les éléments de raccordement (3) sont rendues solidaires de leurs voisins par des plaques isolantes électriques (41).17. Device according to one of claims 15 or 16, characterized in that the connection elements (3) are reduced to the single horizontal part of the T, and in that the connection elements (3) are made integral with their neighbors by electrical insulating plates (41).
18. Dispositif selon la revendication 17, caractérisé en ce que des pièces isolantes (42) servent à la fois à maintenir en positions les éléments de raccordement (3) entre eux et à maintenir en outre des écrans thermiques à distance convenable les uns des autres et à distance convenable des bandes minces (2).18. Device according to claim 17, characterized in that insulating parts (42) serve both to maintain in position the connecting elements (3) between them and to further maintain heat shields at a suitable distance from each other and at a suitable distance from the thin strips (2).
19. Procédé de fabrication d'une résistance selon les revendications 1 à 18, caractérisé en ce que : - on découpe des bandes minces dans un matériau réfractaire ;19. A method of manufacturing a resistor according to claims 1 to 18, characterized in that: - thin strips are cut from a refractory material;
- on assemble une ou plusieurs bandes les bandes minces en les alignant bout à bout, cet alignement étant effectué mécaniquement ou par collage, grâce à un ou plusieurs élément(s) de raccordement en matériau conducteur réfractaire compatible thermochimiquement aux hautes températures avec le matériau réfractaire de chaque bande mince et avec l'atmosphère du four.- one or more strips of thin strips are assembled by aligning them end to end, this alignment being carried out mechanically or by bonding, by means of one or more connection element (s) of refractory conductive material thermochemically compatible at high temperatures with the refractory material of each thin strip and with the atmosphere of the oven.
20. Procédé selon la revendication 19, caractérisé en ce qu'on replie sur lui-même l'assemblage de bandes minces en zigzag continu pour former une nappe dans un plan ou une surface réglée quelconque. 20. The method of claim 19, characterized in that it folds over itself the assembly of thin strips in a continuous zigzag to form a web in any plane or any regulated surface.
21. Procédé selon l'une des revendications 19 ou 20, caractérisé en ce qu'on forme la géométrie du four en donnant une forme adéquate aux éléments de raccordement (3) formant les bords de la nappe.21. Method according to one of claims 19 or 20, characterized in that the geometry of the furnace is formed by giving an adequate shape to the connection elements (3) forming the edges of the sheet.
22. Procédé selon l'une des revendications 19 à 21, caractérisé en ce que :22. Method according to one of claims 19 to 21, characterized in that:
- on découpe les bandes minces à l'aide d'un fil diamanté de coupe ayant un petit diamètre de 0.15 mm ;- the thin strips are cut using a diamond cutting wire having a small diameter of 0.15 mm;
- on densifie le matériau des bandes minces par diffusion de carbone en phase gazeuse.- The material of the thin strips is densified by diffusion of carbon in the gas phase.
23. Procédé selon l'une des revendications 19 à 22, caractérisé en ce qu'on recouvre les bandes minces découpées par du carbone vitreux. 23. Method according to one of claims 19 to 22, characterized in that covers the thin strips cut with glassy carbon.
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