EP1312111A1 - Metallischer hohlkörper und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents

Metallischer hohlkörper und verfahren zu seiner herstellung

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EP1312111A1
EP1312111A1 EP01944724A EP01944724A EP1312111A1 EP 1312111 A1 EP1312111 A1 EP 1312111A1 EP 01944724 A EP01944724 A EP 01944724A EP 01944724 A EP01944724 A EP 01944724A EP 1312111 A1 EP1312111 A1 EP 1312111A1
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EP
European Patent Office
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hollow body
inserts
supports
column
boundary walls
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP01944724A
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English (en)
French (fr)
Inventor
Martha Maly-Schreiber
Christoph Hagg
Egon Preissner
Laszlo KÜPPERS
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Wibag Beteiligungs- und Dienstleistung GmbH
Original Assignee
COOL STRUCTURES PRODUCTION AND
Cool Structures Production and Sales GmbH
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Filing date
Publication date
Application filed by COOL STRUCTURES PRODUCTION AND, Cool Structures Production and Sales GmbH filed Critical COOL STRUCTURES PRODUCTION AND
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Withdrawn legal-status Critical Current

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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
    • F28F21/00—Constructions of heat-exchange apparatus characterised by the selection of particular materials
    • F28F21/08—Constructions of heat-exchange apparatus characterised by the selection of particular materials of metal
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
    • F28F3/00—Plate-like or laminated elements; Assemblies of plate-like or laminated elements
    • F28F3/12—Elements constructed in the shape of a hollow panel, e.g. with channels
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
    • F28F—DETAILS OF HEAT-EXCHANGE AND HEAT-TRANSFER APPARATUS, OF GENERAL APPLICATION
    • F28F2260/00—Heat exchangers or heat exchange elements having special size, e.g. microstructures
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Definitions

  • the invention relates to a method for producing a metallic hollow body, in particular a micro-heat exchanger through which heat transfer medium can flow through inlets and outlets, with spaced-apart boundary walls, between which a number of spaced-apart, column-like supports extend at least in regions, one in place of the columnar supports with continuous recesses, the hollow body, electrically poorly conductive molded body, this is electrochemically coated with wall material and then the molded body is removed destructively from the cavity.
  • the invention also relates to a metallic hollow body itself, in particular a micro-heat exchanger through which heat transfer medium can flow through inlet and outlet openings, with spaced-apart boundary walls, between which a number of spaced-apart, column-like supports extend at least in regions.
  • Hollow bodies of the type mentioned and the aforementioned method for their production are known, for example, from US Pat. No. 3,308,879 or from EP 0 728 229 A1.
  • the columnar supports of the spaced boundary walls of the hollow body give it the required mechanical stability on the one hand and on the other hand at least partially also have functional functions - for example as flow openings or flow directors or swirlers, or can also be used to provide larger sealed openings e.g. serve to attach the hollow body.
  • the resulting column-like supports are either hollow or solid on the inside.
  • the materials used for the production of the shaped bodies which are of course very small, in particular for the micro-heat exchangers mentioned, have to meet and come from a wide variety of requirements, such as, for example, easy formability and workability, dimensional stability and dimensional stability, easy and complete removability from the cavity, and the like mostly from the group: plastic, wax, resin or the like. Since these materials mostly have no electrical conductivity, a starting layer must be applied to the shaped body in a suitable manner (for example graphite, carbon black or else) before the actual electrochemical wall coating metal layers applied with chemical methods), this starting layer only offering low electrical conductivity, so that electrical contacting is of increasing importance for the actual electrochemical wall coating.
  • a starting layer must be applied to the shaped body in a suitable manner (for example graphite, carbon black or else) before the actual electrochemical wall coating metal layers applied with chemical methods), this starting layer only offering low electrical conductivity, so that electrical contacting is of increasing importance for the actual electrochemical wall coating.
  • the object of the present invention is to improve a method for producing a metallic hollow body of the type mentioned at the outset and also the metallic hollow body itself in such a way that the disadvantages mentioned of the known methods and hollow bodies are avoided and that contacting or contacting is particularly simple and expedient Power supply for the electrochemical coating is possible. Furthermore, the possible problems mentioned at the transitions between the columnar supports and the boundary walls of the hollow body should also be avoided.
  • this object is achieved in a method of the type mentioned at the outset in that, before the electrochemical coating of the shaped body, massive conductive inserts are introduced into the recesses as column-like supports and are used at least partially in the electrochemical coating for electrical contacting. Due to these previously introduced massive conductive inserts, electrical contacting can take place directly and at any number of arbitrarily spaced locations of the hollow body in the electrochemical coating, so that there is corresponding potential from the outset at least several individual points without too much via the poorly conductive starting layer disabling waste would be feared.
  • tubes or similar partial hollow bodies can also be provided as solid conductive inserts if the use at the respective location e.g. requires a through opening.
  • the electrochemical coating originates from the point of the potential supply, in this case from at least a part of the inserted massive inserts at the transition from these inserts to the surrounding wall material, solid and tight connections in any case. Furthermore, since the column-like supports - as mentioned at the beginning - are available anyway for functional reasons, the fact that the electrochemical coatability makes it possible to insert the solid conductive inserts in a much better and more uniform manner has no influence whatsoever on the basic construction and design of the hollow body, the overall solid and is also easier to manufacture tightly.
  • the metallic hollow body itself is characterized according to the invention in that the columnar supports are formed by massive inserts and are connected to the boundary walls when the hollow body is being assembled. This connection takes place, as mentioned, in the electrolytic coating or in the manufacture of the boundary walls itself, in that the massive conductive inserts connect successively to the correspondingly deposited wall material.
  • the solid inserts are allowed to protrude on at least one side to such an extent that surface areas protrude after the electrochemical coating, which are preferably revised together to adapt to a contact surface upstream of the other surface.
  • independent isolated contact areas can be provided independently of or at a certain distance from the spaced boundary walls of the hollow body, which e.g. in the mentioned embodiment of the hollow body as a micro-heat exchanger, advantageously reduce or avoid contact thermal stresses between the boundary walls of the heat exchanger and the component to be temperature-controlled.
  • the hollow body itself is further developed according to the invention in such a way that at least some of the solid inserts protrude above the surface of the hollow body on at least one side of the hollow body.
  • a further embodiment of the invention provides that the same material, preferably copper or a copper alloy, is used for the wall material and the massive inserts, which simplifies the electrochemical coating and ensures better connections between the wall material and conductive inserts.
  • FIGS. 1 to 3 show an example of a shaped body for producing a micro-heat exchanger according to the invention in a first manufacturing step in plan view, front view and oblique view
  • FIGS. 4 to 6 show corresponding representations of the same shaped body in a further manufacturing step
  • FIG. 7 to 9 show a corresponding, partially sectioned representation with 1 to 6 manufactured micro-heat exchanger
  • FIG. 10 shows a further schematic representation of the micro-heat exchanger according to FIGS. 7 to 9 attached to a component to be tempered.
  • the molded body according to FIGS. 1 to 6 usually consists of poorly conductive, but easily machinable and easily removable material after the electrochemical coating from the resulting hollow body, for example from polymers such as PMMA. 4 to 6, holes or continuous recesses 2 are drilled in the U-shaped, trough-like shaped body 1 in a grid-like pattern (here cylindrical - but deviating from this, for example, triangular, hexagonal or elongated recesses could also be used with melting processes or the like be attached). Before the electrochemical coating of the molded body 1, suitable, massive conductive inserts 3 are introduced into the recesses 2 as column-like supports 4 (see FIGS. 7 to 10) and are used at least partially in the electrochemical coating for electrical contacting.
  • the solid inserts 3 arranged on the lower base surface 5 protrude from the molded body 1 according to FIGS. 5, 8 and 10 to such an extent that surface areas 6 protruding after the electrochemical coating remain, which preferably together to adapt to a contact surface upstream of the other surface (according to 10, the surface 7 of the component 8) to be temperature-controlled are revised.
  • This processing can be carried out, for example, by grinding all the above surface areas 6 (see FIG. 8) and ensures that the micro-heat exchanger produced in this way does not lie on the entire surface of the component 8 to be temperature-controlled, but only in the area of the individual contact surfaces which arise, which results in superficial thermal stresses between the two Reduced components or excludes their adverse effects.
  • the entire assembly is provided on the surface with a conductive starting layer (for example graphite or carbon black), the inserts 3 only on the exposed ones Places are coated. At least some of the inserts 3 are then used (possibly on correspondingly outwardly projecting extensions) for the subsequent electrochemical coating for electrical contacting, for which purpose strategically located inserts 3 are used, which preferably also fix the assembly in a holder. If a metallic starting layer is also possible (through chemical metallization), the initial conductivity is sufficient so that only a few uses (e.g. only one on each side) are sufficient to be able to carry out a subsequent chemical surface coating (e.g.
  • the distance between two contacted solid inserts 3 is selected to be smaller, if necessary, since the maximum two-dimensional propagation speed of the electrochemical coating must be taken into account so that it does not there are too great differences in the density of the coating material.
  • this hollow body 9 can be provided on both sides with attached connections 11 for inlets and outlets of a heat transfer medium and can be fastened (e.g. glued) to a component 8 to be temperature-controlled in a manner not shown here.
  • the connections 11 can, for example, be soldered onto corresponding openings or at least partly also formed during the production of the hollow body as described.
  • inserts 3 or the supports 4 obtained therewith could also have other suitable shapes which are arbitrary within wide limits. If, for example, tubular inserts 3 are used, closed through holes are created through the hollow body - flow-guiding surfaces in the interior of the hollow body could be realized by means of inserts 3 extended in a sheet-like manner.

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Abstract

Zu Herstellung eines metallischen Hohlkörpers (9) mit beabstandeten Begrenzungswänden (10), zwischen denen im Inneren zumindest bereichsweise eine Anzahl von beabstandeten, säulenartigen Abstützungen (4) verläuft, wird ein an der Stelle der säulenartigen Abstützungen (4) mit durchgehenden Ausnehmungen (2) versehender, den Hohlraum darstellender, elektrisch schlecht leitender Formkörper (1) hergestellt, dieser elektrochemisch mit Wandmaterial beschichtet und sodann der Formkörper (1) zerstörend aus dem Hohlraum entfernt. Zur Vereinfachung und Verbessung der Herstellung werden vor der elektrochemischen Beschichtung des Formkörpers (1) massive leitende Einsätze (3) als säulenartige Abstützungen (4) in die Ausnehmungen (2) eingebracht und zumindest teilweise bei der elektrochemischen Beschichtung zur elektrischen Kontaktierung verwendet.

Description

Metallischer Hohlkörper und Verfahren zu seiner Herstellung
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines metallischen Hohlkörpers, insbesonders eines über Ein- und Auslässe mit Wärmeübertragungsmedium durchströmbaren Mikro-Wärmetauschers, mit beabstandeten Begrenzungswänden, zwischen denen im Inneren zumindest bereichsweise eine Anzahl von beabstandeten, säulenartigen Abstützungen verläuft, wobei ein an der Stelle der säulenartigen Abstützungen mit durchgehenden Ausnehmungen versehener, den Hohlraum darstellender, elektrisch schlecht leitender Formkörper hergestellt, dieser elektrochemisch mit Wandmaterial beschichtet und sodann der Formkörper zerstörend aus dem Hohlraum entfernt wird. Weiters betrifft die Erfindung auch einen metallischen Hohlkörper selbst, insbesonders einen über Ein- und Auslassöffnungen mit Wärmeübertragungsmedium durchströmbaren Mikro-Wärmetauscher, mit beabstandeten Begrenzungswänden, zwischen denen im Inneren zumindest bereichsweise eine Anzahl von beabstandeten, säulenartigen Abstützungen verläuft.
Hohlkörper der genannten Art sowie das erwähnte Verfahren zu ihrer Herstellung sind beispielsweise aus der US-PS 3.308.879 oder aus EP 0 728 229 A1 bekannt. Die säulenartigen Abstützungen der beabstandeten Begrenzungswände des Hohlkörpers geben diesem einerseits die erforderliche mechanische Stabilität und haben andererseits zumindest teilweise auch funktionelle Aufgaben - beispielsweise als Durchströmöffnungen oder Strömungslenker bzw. -verwirbler, oder können auch zur Bereitstellung größerer abgedichteter Öffnungen z.B. zur Befestigung des Hohlkörpers dienen. Je nach Durchmesser der an der Stelle der säulenartigen Abstützungen im Formkörper vorgesehenen durchgehenden Ausnehmungen und abhängig von der Dicke der endgültigen elektrochemischen Beschichtung sind die entstehenden säulenartigen Abstützungen im Inneren entweder hohl oder massiv. An den durch die elektrochemische Beschichtung des Formkörpers erst entstehenden säulenartigen Abstützungen bzw. insbesonders an den Übergängen dieser Abstützungen zum Wandmaterial der Begrenzungswände des Hohlkörpers können aber Probleme bei der elektrochemischen Beschichtung entstehen, die zu mechanischen Fehlern bzw. Undichtheiten führen können.
Die verwendeten Materialien für die Herstellung der speziell für die erwähnten Mikro-Wärmetauscher naturgemäß sehr kleinen Formkörper müssen verschiedenste Anforderungen, wie beispielsweise leichte Form- und Bearbeitbarkeit, Form- und Maßhaltigkeit, leichte und restlose Entfernbarkeit aus dem Hohlraum, und dergleichen, erfüllen und stammen deshalb zumeist aus der Gruppe: Kunststoff, Wachs, Harz oder dergleichen. Nachdem diese Materialien zumeist keine elektrische Leitfähigkeit aufweisen, muss vor der eigentlichen elektrochemischen Wandbeschichtung auf geeignete Weise eine Startschicht auf den Formkörper aufgebracht werden (beispielsweise Graphit, Ruß oder auch mit chemischen Methoden aufgebrachte Metallschichten), wobei diese Startschicht nur geringe elektrische Leitfähigkeit bietet, sodass der elektrischen Kontaktierung für die eigentliche elektrochemische Wandbeschichtung erhöhte Bedeutung zukommt.
Aus GB 2.332.209 A ist im letztgenannten Zusammenhang bekannt, ein im wesentlichen elektrisch nicht leitendes Substrat vorerst gemeinsam in Kontakt mit einem draht- oder netzähnlichen, elektrisch gut leitenden Element mit der Startschicht zu versehen, wobei dann das zur elektrochemischen Beschichtung angelegte elektrische Potential über dieses gut leitfähige Element relativ verlustfrei über die gesamte Oberfläche des zu beschichtenden Substrats aufgeteilt wird. Durch dieses zusätzliche Potentialverteilungselement sind aber natürlich nur gewisse Formen des endgültig beschichteten Körpers realisierbar bzw. bestehen auch Probleme im Hinblick auf die Anbringung und Verbindung dieser Potentialverteilungselemente am zu beschichtenden Substrat.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung eines metallischen Hohlkörpers der eingangs genannten Art sowie auch den metallischen Hohlkörper selbst so zu verbessern, dass die angesprochenen Nachteile der bekannten Verfahren und Hohlkörper vermieden werden und dass insbesonders auf einfache und zweckmäßige Weise eine Kontaktierung bzw. Stromzuführung für die elektrochemische Beschichtung möglich wird. Weiters sollen auch die angesprochenen möglichen Probleme an den Übergängen zwischen den säulenartigen Abstützungen und den Begrenzungswänden des Hohlkörpers vermieden werden.
Diese Aufgabe wird gemäß der vorliegenden Erfindung bei einem Verfahren der eingangs genannten Art dadurch gelöst, dass vor der elektrochemischen Beschichtung des Formkörpers massive leitende Einsätze als säulenartige Abstützungen in die Ausnehmungen eingebracht und zumindest teilweise bei der elektrochemischen Beschichtung zur elektrischen Kontaktierung verwendet werden. Durch diese vorher eingebrachten massiven leitenden Einsätze kann also unmittelbar und an beliebig vielen, beliebig beabstandeten Stellen des Hohlkörpers bei der elektrochemischen Beschichtung die elektrische Kontaktierung erfolgen, sodass also von vornherein an zumindest mehreren einzelnen Punkten entsprechendes Potential vorliegt ohne dass über die schlecht leitende Startschicht allzu sehr behindernde Abfälle zu befürchten wären. Abgesehen von mit beliebigem Querschnitt realisierbaren Drähten, Stangen, Stiften und dergleichen können als massive leitende Einsätze auch Röhrchen oder ähnliche teilweise Hohlkörper vorgesehen werden, wenn die Verwendung an der jeweiligen Stelle z.B. eine Durchgangsöffnung erfordert.
Da die elektrochemische Beschichtung von der Stelle der Potentialzuführung, hier also von zumindest einem Teil der eingesteckten massiven Einsätze, ausgeht, entstehen am Übergang von diesen Einsätzen zum umgebenden Wandmaterial auf alle Fälle feste und dichte Verbindungen. Da weiters die säulenartigen Abstützungen - wie eingangs erwähnt - ohnedies aus funktioneilen Gründen vorhanden sind, wird durch das die elektrochemische Beschichtbarkeit wesentlich besser und gleichmäßiger ermöglichende Einstecken der massiven leitenden Einsätze überhaupt kein Einfluss auf die grundsätzliche Konstruktion und Ausbildung des Hohlkörpers genommen, der insgesamt massiver und auch leichter dicht herstellbar ist.
Der metallische Hohlkörper selbst ist gemäß der Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass die säulenartigen Abstützungen von massiven Einsätzen gebildet und mit den Begrenzungswänden beim Zusammenbau des Hohlkörpers verbunden sind. Diese Verbindung erfolgt wie erwähnt bei der elektrolytischen Beschichtung bzw. bei der damit erfolgenden Herstellung der Begrenzungswände selbst, indem die massiven leitenden Einsätze mit dem entsprechend angelagerten Wandmaterial sich sukzessive verbinden.
In besonders bevorzugter Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist vorgesehen, dass zumindest einzelne der massiven Einsätze auf zumindest einer Seite soweit vorstehen gelassen werden, dass nach der elektrochemischen Beschichtung vorstehende Oberflächenbereiche verbleiben, welche vorzugsweise gemeinsam zur Anpassung an eine der übrigen Oberfläche vorgelagerte Kontaktfläche überarbeitet werden. Auf diese Weise können unabhängig von bzw. in gewissem Abstand zu den beabstandeten Begrenzungswänden des Hohlkörpers vorgelagerte einzelne isolierte Kontaktbereiche bereitgestellt werden, welche z.B. bei der erwähnten Ausgestaltung des Hohlkörpers als Mikro-Wärmetauscher in vorteilhafter Weise Kontakt-Wärmespannungen zwischen den Begrenzungswänden des Wärmetauschers und des zu temperierenden Bauteils verringern bzw. vermeiden. Der Hohlkörper selbst ist dazu gemäß der Erfindung so weitergebildet, dass zumindest einzelne der massiven Einsätze auf zumindest einer Seite des Hohlkörpers über die Oberfläche desselben vorstehen.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass für das Wandmaterial und die massiven Einsätze der gleiche Werkstoff, vorzugsweise Kupfer oder eine Kupferlegierung, verwendet wird, was die elektrochemische Beschichtung vereinfacht und bessere Verbindungen zwischen Wandmaterial und leitenden Einsätzen sicherstellt.
Die Erfindung wird im folgenden noch anhand der teilweise schematischen Zeichnungen näher erläutert. Fig. 1 bis 3 zeigen dabei ein Beispiel für einen Formkörper zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Mikro-Wärmetauschers in einem ersten Herstellungsschritt in Draufsicht, Vorderansicht und Schrägansicht, Fig. 4 bis 6 zeigen entsprechende Darstellungen des gleichen Formkörpers in einem weiteren Herstellungsschritt, die Fig. 7 bis 9 zeigen in teilweise geschnittener Darstellung einen entsprechenden, mit einem Formkörper gemäß Fig. 1 bis 6 hergestellten Mikro-Wärmetauscher und Fig. 10 zeigt eine weitere schematische Darstellung des Mikro- Wärmetauschers gemäß den Fig. 7 bis 9 angebracht auf einem zu temperierenden Bauteil.
Der Formkörper gemäß den Fig. 1 bis 6 besteht üblicherweise aus schlechtleitendem, aber gut bearbeitbarem und gut nach der elektrochemischen Beschichtung aus dem entstehenden Hohlkörper entfernbarem Material, beispielsweise aus Polymeren wie etwa PMMA. Gemäß den Fig. 4 bis 6 werden in den U-förmigen, trogähnlichen Formkörper 1 in einem rasterartigen Muster Löcher bzw. durchgehende Ausnehmungen 2 gebohrt (hier zylindrisch - davon abweichend könnten aber beispielsweise mit Schmelzverfahren oder dergleichen auch im Querschnitt dreieckige, sechseckige oder längliche Ausnehmungen angebracht werden). Vor der elektrochemischen Beschichtung des Formkörpers 1 werden passende, massive leitende Einsätze 3 als säulenartige Abstützungen 4 (siehe Fig. 7 bis 10) in die Ausnehmungen 2 eingebracht und zumindest teilweise bei der elektrochemischen Beschichtung zur elektrischen Kontaktierung verwendet.
Die auf der unteren Basisfläche 5 angeordneten massiven Einsätze 3 stehen gemäß Fig. 5, 8 und 10 soweit aus dem Formkörper 1 vor, dass nach der elektrochemischen Beschichtung vorstehende Oberflächenbereiche 6 verbleiben, welche vorzugsweise gemeinsam zur Anpassung an eine der übrigen Oberfläche vorgelagerten Kontaktfläche (gemäß Fig. 10 die Oberfläche 7 des zu temperierenden Bauteils 8) überarbeitet werden. Diese Bearbeitung kann beispielsweise durch Überschleifen aller vorstehenden Oberflächenbereiche 6 (siehe Fig. 8) erfolgen und sichert, dass der so hergestellte MikroWärmetauscher nicht gesamtflächig auf der Oberfläche des zu temperierenden Bauteils 8 aufliegt sondern nur im Bereich der entstehenden Einzelkontaktflächen, was oberflächliche Wärmespannungen zwischen den beiden Bauteilen verringert bzw. deren nachteilige Auswirkungen ausschließt.
Nachdem die massiven Einsätze 3 gemäß Fig. 4 bis 6 in den mit den durchgehenden Ausnehmungen 2 versehenen Formkörper 1 eingesteckt sind, wird die gesamte Baugruppe oberflächlich mit einer leitfähigen Startschicht (beispielsweise Graphit oder Ruß) versehen, wobei die Einsätze 3 aber nur an den exponierten Stellen beschichtet werden. Zumindest einzelne der Einsätze 3 werden (gegebenenfalls an entsprechend nach außen ragenden Verlängerungen) dann bei der nachfolgenden elektrochemischen Beschichtung zur elektrischen Kontaktierung verwendet, wobei dafür strategisch günstig liegende Einsätze 3 verwendet werden, die vorzugsweise auch die Fixierung der Baugruppe in einer Halterung übernehmen. Im Falle der ebenfalls möglichen Verwendung einer metallischen Startschicht (durch chemische Metallisierung) ist die Anfangsleitfähig- keit ausreichend, sodass nur einige wenige Einsätze (beispielsweise auf jeder Seite nur einer) ausreichen, um eine nachfolgende chemische Oberflächenbeschichtung (beispielsweise Galvanisierung) gleichmäßig durchführen zu können. Falls wie erwähnt leitfähige Kohlenstoffschichten bzw. andere Beschichtungen als Startschicht benutzt werden, die relativ geringe Grundleitfähigkeit haben, wird der Abstand zwischen zwei kontaktierten massiven Einsätzen 3 bedarfsweise kleiner gewählt, da die maximale zweidimen- sional Ausbreitungsgeschwindigkeit der elektrochemischen Beschichtung berücksichtigt werden muss, damit es nicht zu allzu großen Unterschieden in der Dichte des Beschich- tungsmaterials kommt.
Nach entsprechender (gegebenenfalls mehrstufiger) elektrochemischer Beschichtung der Baugruppe gemäß Fig. 4 bis 6 wird ein metallischer Hohlkörper gemäß Fig. 7 bis 9 erhalten, der beabstandete Begrenzungswände 10 aufweist, zwischen denen im Inneren zumindest bereichsweise eine Anzahl von beabstandeten, säulenartigen Abstützungen 4 verläuft, welche von den massiven Einsätzen 3 gebildet und mit den Begrenzungswänden 10 verbunden sind. Dieser Hohlkörper 9 kann gemäß Fig. 10 an beiden Seiten mit aufgesetzten Anschlüssen 11 für Ein- und Auslässe eines Wärmeübertragungsmediums versehen und auf einem zu temperierenden Bauteil 8 auf hier nicht weiter dargestellte Weise befestigt (z.B. aufgeklebt) werden. Die Anschlüsse 11 können beispielsweise auf entsprechende Öffnungen aufgelötet oder zumindest zum Teil auch bei der beschriebenen Herstellung des Hohlkörpers mitgeformt sein.
Abgesehen von der dargestellten Ausführung und Anordnung der Einsätze 3 bzw. der damit erhaltenen Abstützungen 4 könnten diese auch andere geeignete und in weiten Grenzen beliebige Form aufweisen. Soferne beispielsweise rohrförmige Einsätze 3 verwendet werden, entstehen abgeschlossene Durchgangslöcher durch den Hohlkörper - mittels blättchenartig ausgedehnter Einsätze 3 könnten Strömungsleitflächen im Inneren des Hohlkörpers realisiert werden.
Patentansprüche:

Claims

Patentansprüche:
1. Verfahren zur Herstellung eines metallischen Hohlkörpers (9), insbesonders eines über Ein- und Auslässe (11) mit Wärmeübertragungsmedium durchströmbaren Mikro- Wärmetauschers, mit beabstandeten Begrenzungswänden (10), zwischen denen im Inneren zumindest bereichsweise eine Anzahl von beabstandeten, säulenartigen Abstützungen (4) verläuft, wobei ein an der Stelle der säulenartigen Abstützungen (4) mit durchgehenden Ausnehmungen (2) versehener, den Hohlraum darstellender, elektrisch schlecht leitender Formkörper (1) hergestellt, dieser elektrochemisch mit Wandmaterial beschichtet und sodann der Formkörper (1) zerstörend aus dem Hohlraum entfernt wird, d a d u rch g e ke n nze i ch n et , dass vor der elektrochemischen Beschichtung des Formkörpers (1) massive leitende Einsätze (3) als säulenartige Abstützungen (4) in die Ausnehmungen (2) eingebracht und zumindest teilweise bei der elektrochemischen Beschichtung zur elektrischen Kontaktierung verwendet werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einzelne der massiven Einsätze (3) auf zumindest einer Seite (5) aus dem Formkörper (1) soweit vorstehen gelassen werden, dass nach der elektrochemischen Beschichtung vorstehende Oberflächenbereiche (6) verbleiben, welche vorzugsweise gemeinsam zur Anpassung an eine der übrigen Oberfläche vorgelagerte Kontaktfläche überarbeitet werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass für das Wandmaterial und die massiven Einsätze (3) der gleiche Werkstoff, vorzugsweise Kupfer oder eine Kupferlegierung, verwendet wird.
4. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Formkörper (1) aus elektrisch vorerst nicht leitendem Material hergestellt und nach dem Bestücken mit den massiven Einsätzen (3) und vor der elektrochemischen Aufbringung des Wandmaterials oberflächlich mit einer zumindest geringfügig elektrisch leitenden Startschicht versehen wird.
5. Metallischer Hohlkörper (9), insbesonders über Ein- und Auslassöffnungen (11) mit Wärmeübertragungsmedium durchströmbarer Mikro-Wärmetauscher, mit beabstandeten Begrenzungswänden (10), zwischen denen im Inneren zumindest bereichsweise eine Anzahl von beabstandeten, säulenartigen Abstützungen (4) verläuft, d a d u rch g e ke n n ze i c h n et , dass die s ulenartigen Abstützungen (4) von massiven Einsätzen (3) gebildet und mit den Begrenzungswänden (10) beim Zusammenbau des Hohlkörpers (9) verbunden sind.
6. Hohlkörper nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest einzelne der massiven Einsätze (3) auf zumindest einer Seite (5) des Hohlkörpers (9) über die Oberfläche desselben vorstehen.
7. Hohlkörper nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Begrenzungswände aus dem gleichen Material wie die massiven Einsätze (3) bestehen, vorzugsweise Kupfer oder einer Kupferlegierung, und mit den massiven Einsätzen (3) bei der Herstellung des Hohlkörpers (9) durch elektrochemische Beschichtung eines die durchgesteckten Einsätze (3) aufweisenden Formkörpers (1) verbunden sind.
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