EP1242322B1 - Verfahren und vorrichtung zum durchtrennen von flachen werkstücken aus sprödbrüchigem material - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum durchtrennen von flachen werkstücken aus sprödbrüchigem material Download PDF

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EP1242322B1
EP1242322B1 EP00981346A EP00981346A EP1242322B1 EP 1242322 B1 EP1242322 B1 EP 1242322B1 EP 00981346 A EP00981346 A EP 00981346A EP 00981346 A EP00981346 A EP 00981346A EP 1242322 B1 EP1242322 B1 EP 1242322B1
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EP
European Patent Office
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focal spot
contour
dividing line
linear
linear focal
Prior art date
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EP00981346A
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English (en)
French (fr)
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EP1242322A2 (de
Inventor
Dirk Hauer
Berndt Hoetzel
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Schott AG
Original Assignee
Carl Zeiss AG
Schott Glaswerke AG
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Publication date
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Application granted granted Critical
Publication of EP1242322B1 publication Critical patent/EP1242322B1/de
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/09—Severing cooled glass by thermal shock
    • C03B33/091—Severing cooled glass by thermal shock using at least one focussed radiation beam, e.g. laser beam
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • C03B33/04—Cutting or splitting in curves, especially for making spectacle lenses
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T225/00—Severing by tearing or breaking
    • Y10T225/10—Methods
    • Y10T225/12—With preliminary weakening
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T225/00—Severing by tearing or breaking
    • Y10T225/30—Breaking or tearing apparatus
    • Y10T225/304—Including means to apply thermal shock to work

Definitions

  • the invention relates to a method for cutting flat Workpieces made of brittle material, in particular glass or ceramic, in which a laser beam with a linear focal spot generated by scanning trailing cooling spot along a dividing line with a predetermined contour is moved.
  • a preferred application is the cutting of Flat glass.
  • the invention further relates to a device for cutting of such a workpiece by means of a laser beam in the form of a linear beam profile with trailing cooling spot.
  • One approach to splinters as well as shells and micro cracks avoid, consists in separating glass on the basis of thermally generated mechanical tension. This will create a heat source on the glass is directed, moved at a fixed speed relative to the glass and so such a high thermomechanical stress that the glass cracks forms.
  • the necessary property of the heat source, the thermal energy locally, d. H. with an accuracy better than a millimeter, which is typical Cutting accuracy corresponds to being able to position is sufficient Infrared heaters, special gas burners and especially lasers. Have lasers themselves because of their good focusability, good controllability of performance and the possibility of beam shaping and thus the intensity distribution Tried and tested on glass.
  • the aforementioned laser beam separation processes differ in particular by configuring the focal spot. This is how the process according to DE 693 04 194 T 2 uses a laser beam with an elliptical cross section trailing cooling spot.
  • EP 0 872 303 A 2 describes a laser beam separation process, the one focal spot with a U- or V-shaped contour provides that opens in the separation direction. Also modified from it Contours such as X-shaped focal spots are described.
  • the laser beam focal spots have a two-dimensional structure that has proven itself well when performing straight cuts. In the Execution of free-form cuts would have the contour of the dividing line adjusted, curved two-dimensional focal spots and the contour along with the subsequent cooling. This would in particular a coupling of the respective two-dimensional focal spot generating scanner device and the cooling spot device with a Require path control, their implementation due to the large data volumes to be exchanged on the one hand and the required Cutting speeds on the other hand is very problematic.
  • a laser beam separation method is known from DE 43 05 107 C 2 in which the laser beam is shaped so that its beam cross section has a linear shape on the surface of the workpiece, in which the ratio of length and width of the beam cross section is adjustable by means of an aperture in the laser beam path.
  • This too Procedure is severely limited in its usability. Can't Freeform cuts are made, and, since the cooling only after the complete heating of the dividing line, e.g. by blowing with cold Compressed air to be applied, the known method is suitable practically also only for the described cutting of the press edge from Hollow glasses, in which the hollow glass rotates in the fixed laser beam, whereby first the periphery is heated by the laser beam and then is assisted cooling by inflating the gas.
  • the object of the invention is the method described at the outset to guide or to design the associated device so that on relative free form cuts with the laser beam cutting process are feasible.
  • the solution is successful Task procedurally in that for performing Free-form cuts with a linear focal spot on the workpiece significant increases in intensity at both ends is generated in the at least 60% of the beam power at the ends of the linear Focal spot is concentrated, and which is moved along the dividing line that even with a curved dividing line both ends lie on the dividing line and the length of which depends on the curvature of the contour of the dividing line is set.
  • the method can be described in to carry out advantageously relatively easily if the linear Focal spot is generated by scanning the laser beam.
  • the method achieves the object in that an optical Arrangement with a laser beam scanner and a focusing device for generating a linear focal spot with significant Intensity increases at both ends, in which at least 60% of the beam power is concentrated, which is provided over a Profile control is coupled with a numerical path control such that even with curved dividing lines, both ends of the linear focal spot are positioned on the dividing line of the free-form cut and the length of the Focal spot depending on the curvature of the contour of the dividing line is set.
  • the optical arrangement can be relative can be carried out easily and common path controls for moving the ends of the focal spot on the dividing line and the Adjustment of the length of the focal spot to the contour of the dividing line used become.
  • the Invention further axes coupled to the path control for positioning of the cooling spot in relation to the linear focal spot and that Workpiece are provided.
  • the device can be constructed particularly simply if the optical arrangement is one Has scanner with an oscillating mirror. To change the length of the line-shaped focal spot then only needs the amplitude of the Vibration mirror to be changed, so that the profile control and the Path control can be designed relatively easily.
  • FIGS. 1 and 2 The principle of severing according to the invention is shown in FIGS. 1 and 2 a flat workpiece made of brittle material, especially of Flat glass, represented by means of the laser beam separation process, with FIG. 1 the basic structure of the control of the motion sequences along a predetermined contour and Fig. 2, the focal spot geometry of the laser beam with the trailing cooling spot and the assignment of the movement axes too the contour control of Fig. 1 shows.
  • the separation principle according to the invention is based on a linear one Focal spot 1, at the two ends 1 a and 1 b of which the intensity maxima in the corresponding laser beam profile.
  • Intensity increases at the end of the line are, for example, approx. 80% of the total heat energy of the laser beam, which is used for Generation of the thermomechanical stress field is used, i.e. just approx. 20% of the energy is located next to the contour to be cut, the Dividing line 2.
  • A is preferably used to generate the linear focal spot 1 known laser beam scanner, e.g. 5 of the above-cited EP 0 872 303 A 2, used, however, one of the two deflecting mirrors can be omitted, since only one axis has to be scanned. Because for the creation of a line, a deflection axis is sufficient, which is an advantage a reduced technical effort is indicated.
  • Scanning can also be done using a rotating mirror with simple, flat surfaces Mirror surfaces corresponding to FIG. 6 of the aforementioned EP document and one corresponding, preferably sinusoidal speed curve (polygon wheel) Find application.
  • a rotating mirror with simple, flat surfaces Mirror surfaces corresponding to FIG. 6 of the aforementioned EP document and one corresponding, preferably sinusoidal speed curve (polygon wheel) Find application.
  • the laser beam By scanning the laser beam with oscillating mirrors or polygon wheels with a sinusoidal speed curve, the laser beam remains in the Reversal points of the scanner movement longer on the one to be separated Workpiece than in the area in between, i.e. when generating the linear focal spot 1 by scanning is typically a Increase in intensity at the end points of line 1.
  • the vibration amplitude of the Oscillating mirror determines the line length S in Fig. 1.
  • the control of the Scanners are carried out by a profile controller 3 in FIG. 1.
  • This controller receives the setpoint for the at the respective position from an NC control the dividing line 2 required length S of the focal spot 1.
  • the profile control now controls an oscillator motor 3 a of the oscillating mirror so that it for the required length S of the profile carries out corresponding vibration.
  • the Profile control 3 generates an analog voltage oscillation as Setpoint that goes directly from the oscillator motor to an oscillating motion is implemented.
  • the setpoint which from the NC control 4 to the Profile control 3 is given, either in the form of an analog constant voltage signal, e.g. 0 - 10 V, the length S is proportional to the amount of voltage, or in the form of a digital value with a resolution of at least 8 bit.
  • the actual value feedback shown the measuring system of the oscillator motor 3 a can be omitted if for Oscillator motor a calibration curve in the profile control 3 or the NC control 4 is filed.
  • the NC controller 4 controls the NC axes 8 (X, Y and C) and Profile length S via the setpoint specification to the profile controller 3 after a known NC program 5 and corresponding in the NC control stored interpolation algorithms.
  • the NC control is able to endpoints 1 a and 1 b of the focal line 1 so to lead them with a maximum deviation of typically follow the dividing line less than 0.2 mm.
  • the width of the focal line 1 is determined by the diameter of the focused one Laser beam specified on the workpiece surface.
  • the diameter on the workpiece surface is typically between 0.3 mm and several Millimeters.
  • Optical elements are used to focus the laser beam used. When choosing the optical elements and the laser, the aim is to the intensity distribution along the line between the end points 1 a and 1 b as evenly as possible without local intensity peaks, and the to keep the maximum intensity in the endpoints as low as possible. To this Most of the laser energy can be coupled into the workpiece, without the glass softening temperature being exceeded. To this end long focal length focusing elements from approx. 300 mm, top hat lenses, Axicons or lasers used with a ring mode or multimode become.
  • the width of the line depends on the need Laser power, cooling, material type, material thickness and Feed speed.
  • cooling in the form of a cooling spot 6 at a defined distance on the contour 2 to be cut behind the laser profile, i.e. focal line 1, tracked.
  • This cooling spot 6 is, for example, by inflating cold air or gas / liquid mixtures generated by a nozzle.
  • the advantage of cutting is that there is no subsequent breaking is necessary and thus a manufacturing step is saved.
  • Scribing is that at much higher speeds (up to 1000 mm / s) the material is separated almost splinter-free even after breaking was and due to missing micro cracks and mussels a significantly higher edge strength is achieved.
  • cooling i.e. the cooling spot 6, very precise in its position relative to the focal line 1.
  • the axes A and B also interpolate the axes X, Y, C and the axis specified by the oscillator motor 3 a.
  • axes A and B The task of axes A and B is to distance the cooling spot 6 to To keep the starting point 1 b of the focal line 1 constant.
  • Profile control 3 can be designed so that the lowest voltage value of the Vibration voltage for the oscillator of the oscillating mirror is always constant remains. In this way, point 1 b is stationary relative to the cooling spot.
  • the axes 7 A and B therefore only have to perform short strokes.
  • Axes in the sense of the invention are not only intended to be geometrical Axes, but also the associated axes that specify them Movement elements such as actuators and the like can be understood.

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Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Durchtrennen von flachen Werkstücken aus sprödbrüchigem Material, insbesondere Glas oder Keramik, bei dem ein Laserstrahl mit einem durch Scannen erzeugten linienförmigen Brennfleck mit nachlaufendem Kühlfleck entlang einer Trennlinie mit vorgegebener Kontur bewegt wird. Eine bevorzugte Anwendung ist dabei das Schneiden von Flachglas.
Die Erfindung bezieht sich ferner auf eine Vorrichtung zum Durchtrennen eines derartigen Werkstückes mittels eines Laserstrahles in Form eines linienförmigen Strahlprofils mit nachlaufendem Kühlspot.
Konventionelle Trennverfahren für Flachglas basieren darauf, mittels eines Diamanten oder eines Schneidrädchens zunächst eine Ritzspur im Glas zu generieren, um das Glas anschließend durch eine äußere mechanische Kraft entlang der so erzeugten Schwachstelle zu brechen (Ritz-Brech-Methode). Nachteilig ist bei diesem Verfahren, daß durch die Ritzspur Partikel (Splitter) aus der Oberfläche gelöst werden, die sich auf dem Glas ablagern können und dort beispielsweise zu Kratzern führen können. Ebenfalls können sogenannte Ausmuschelungen an der Schnittkante entstehen, die zu einem unebenen Glasrand führen. Weiterhin führen die beim Ritzen entstehenden Mikrorisse in der Schnittkante zu einer verringerten mechanischen Beanspruchbarkeit, d. h. zu einer erhöhten Bruchgefahr.
Ein Ansatz, sowohl Splitter als auch Ausmuschelungen und Mikrorisse zu vermeiden, besteht im Trennen von Glas auf der Basis thermisch generierter mechanischer Spannung. Hierbei wird eine Wärmequelle, die auf das Glas gerichtet ist, mit fester Geschwindigkeit relativ zu dem Glas bewegt und so eine derart hohe thermomechanische Spannung erzeugt, daß das Glas Risse bildet. Der notwendigen Eigenschaft der Wärmequelle, die thermische Energie lokal, d. h. mit einer Genauigkeit besser einen Millimeter, was den typischen Schnittgenauigkeiten entspricht, positionieren zu können, genügen Infrarotstrahler, spezielle Gasbrenner und insbesondere Laser. Laser haben sich wegen ihrer guten Fokussierbarkeit, guten Steuerbarkeit der Leistung sowie der Möglichkeit der Strahlformung und damit der Intensitätsverteilung auf Glas bewährt und durchgesetzt. Dabei ist es sowohl möglich, das Glas durch den Laserstrahl zunächst zu ritzen, um es anschließend mechanisch zu brechen, als auch das Glas direkt mit dem Strahl in Verbindung mit einem mechanisch aufgebrachten Startriß zu durchtrennen, d.h. zu schneiden. Sowohl das "Ritzen-Brechen" als auch das "Schneiden" soll von dem Begriff "Trennen" bzw. "Durchtrennen" umfaßt werden.
Dieses Laserstrahl-Trennverfahren, das durch eine lokale Erwärmung durch den fokussierten Laserstrahl in Verbindung mit einer Kühlung von außen eine thermomechanische Spannung bis über die Bruchfestigkeit des Werkstoffes induziert, ist durch mehrere Schriften bekannt geworden, beispielsweise durch die EP 0 872 303 A 2.
Die vorgenannten Laserstrahl-Trennverfahren unterscheiden sich insbesondere durch die Konfiguration des Brennfleckes. So nutzt das Verfahren nach der DE 693 04 194 T 2 einen Laserstrahl mit elliptischem Querschnitt mit nachlaufendem Kühlspot.
Die bereits zitierte EP 0 872 303 A 2 beschreibt ein Laserstrahl-Trennverfahren, das einen Brennfleck mit einer U- bzw. V-förmigen Kontur vorsieht, die sich in der Trennrichtung öffnet. Auch davon abgewandelte Konturen, wie X-förmige Brennflecke, werden beschrieben. In beiden Fällen haben die Laserstrahl-Brennflecke eine zweidimensionale Struktur, die sich bei der Ausführung von geraden Schnitten gut bewährt hat. Bei der Ausführung von Freiformschnitten müßten der Kontur der Trennlinie angepaßte, gekrümmte zweidimensionale Brennflecke erzeugt und der Kontur samt der nachfolgenden Kühlung nachgefahren werden. Dies würde insbesondere eine Kopplung der den jeweiligen zweidimensionalen Brennfleck erzeugenden Scannereinrichtung und der Kühlspoteinrichtung mit einer Bahnsteuerung erfordern, deren Realisierung infolge der großen auszutauschenden Datenmengen einerseits und der geforderten Schnittgeschwindigkeiten andererseits sehr problematisch ist.
Durch die DE 43 05 107 C 2 ist ein Laserstrahl-Trennverfahren bekannt geworden, bei dem der Laserstrahl so geformt ist, daß sein Strahlquerschnitt auf der Oberfläche des Werkstückes eine linienförmige Form aufweist, bei dem das Verhältnis von Länge und Breite des auftreffenden Strahlquerschnittes mittels einer Blende im Laserstrahlengang einstellbar ist. Auch dieses Verfahren ist in seiner Einsatzfähigkeit stark eingeschränkt. Es können keine Freiformschnitte durchgeführt werden, und, da die Kühlung erst nach dem vollständigen Erwärmen der Trennlinie, z.B. durch Anblasen mittels kalter Druckluft, aufgebracht werden soll, eignet sich das bekannte Verfahren praktisch ebenfalls nur für das beschriebene Abschneiden des Preßrandes von Hohlgläsern, bei dem sich das Hohlglas im ortsfesten Laserstrahl dreht, wobei zunächst umfänglich der Rand durch den Laserstrahl erwärmt und anschließend durch Aufblasen des Gases unterstützend gekühlt wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, das eingangs bezeichnete Verfahren so zu führen bzw. die zugehörige Vorrichtung so auszubilden, daß auf relativ einfache Weise Freiformschnitte mit dem Laserstrahl-Trennverfähren durchführbar sind.
Ausgehend von dem Verfahren zum Durchtrennen von flachen Werkstücken aus sprödbrüchigem Material, bei dem ein Laserstrahl mit einem linienförmigen Strahlprofil mit nachlaufendem Kühlfleck entlang einer Trennlinie mit vorgegebener Kontur bewegt wird, gelingt die Lösung der Aufgabe verfahrensmäßig dadurch, daß zum Durchführen von Freiformschnitten auf dem Werkstück ein linienförmiger Brennfleck mit signifikanten Intensitätserhöhungen an beiden Enden erzeugt wird, bei dem mindestens 60 % der Strahlleistung an den Enden des linienförmigen Brennfleckes konzentriert ist, und der so entlang der Trennlinie bewegt wird, daß auch bei gekrümmter Trennlinie beide Enden auf der Trennlinie liegen und dessen Länge dabei abhängig von der Krümmung der Kontur der Trennlinie eingestellt wird.
Durch diese Maßnahmen ist es möglich, mit einem relativ einfachen Verfahren Freiformschnitte mit beliebiger Kontur zu erzeugen, da die überwiegende Energie in den Brennfleck-Enden konzentriert ist und diese auf der Trennlinie gehalten werden, unter Anpassung der Länge des Brennfleckes an die Krümmung der Kontur, damit bei kleinen Krümmungsradien die Brennflecklänge entsprechend kurz und bei großen Radien entsprechend lang ist, um den notwendigen Energieeintrag auf der Trennlinie zu gewährleisten.
Um ein Aufschmelzen des Materials des Werkstückes zu vermeiden, wird das Verfahren nach einer Ausgestaltung der Erfindung so geführt, daß die Laserleistung abhängig von der Länge des linienförmigen Brennfleckes eingestellt wird.
Das Verfahren läßt sich gemäß einer anderen Ausgestaltung der Erfindung in vorteilhafter Weise relativ einfach durchführen, wenn der linienförmige Brennfleck durch Scannen des Laserstrahles erzeugt wird.
Hinsichtlich der Vorrichtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens gelingt die Lösung der Aufgabe dadurch, daß eine optische Anordnung mit einem Laserstrahlescanner und einer Fokussiereinrichtung zur Erzeugung eines linienförmigen Brennfleckes mit signifikanten Intensitätserhöhungen an beiden Enden, in denen mindestens 60 % der Strahlleistung konzentriert ist, vorgesehen ist, die über eine Profilsteuerung derart mit einer numerischen Bahnsteuerung gekoppelt ist, daß auch bei gekrümmten Trennlinien beide Enden des linienförmigen Brennfleckes auf der Trennlinie des Freiformschnittes positioniert sind und die Länge des Brennfleckes abhängig von der Krümmung der Kontur der Trennlinie eingestellt ist.
Wegen des linienförmigen Brennfleckes kann die optische Anordnung relativ einfach ausgeführt werden und es können auch übliche Bahnsteuerungen für das Bewegen der Enden des Brennfleckes auf der Trennlinie und der Anpassung der Länge des Brennfleckes an die Kontur der Trennlinie verwendet werden.
Ein optimales Trennen ist gewährleistet, wenn gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung weitere mit der Bahnsteuerung gekoppelte Achsen zum Positionieren des Kühlfleckes in Bezug auf den linienförmigen Brennfleck und das Werkstück vorgesehen sind.
Die Vorrichtung kann gemäß einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung besonders einfach aufgebaut werden, wenn die optische Anordnung einen Scanner mit einem Schwingspiegel aufweist. Zur Veränderung der Länge des linienförmigen Brennfleckes braucht dann lediglich die Schwingweite des Schwingspiegels verändert zu werden, so daß die Profilsteuerung und die Bahnsteuerung relativ einfach gestaltet werden können.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich anhand der Beschreibung eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles.
Es zeigen:
Fig. 1
in einer schematischen Blockschaltbild-Darstellung den prinzipiellen Aufbau der Kontur-Steuerung der erfindungsgemäßen Vorrichtung, und
Fig. 2
in einer schematischen, diagrammartigen Darstellung die Form des Brennfleckes und des Kühlfleckes sowie die zugehörigen Bewegungsachsen, die von der Kontursteuerung zu verarbeiten sind.
In den Figuren 1 und 2 ist das erfindungsgemäße Prinzip der Durchtrennung eines flachen Werkstückes aus sprödbrüchigem Material, insbesondere von Flachglas, mittels des Laserstrahl-Trennverfahrens dargestellt, wobei die Fig. 1 den prinzipiellen Aufbau der Steuerung der Bewegungsabläufe entlang einer vorgegebenen Kontur und die Fig. 2 die Brennfleckgeometrie des Laserstrahles mit dem nachlaufenden Kühlfleck und die Zuordnung der Bewegungsachsen zu der Kontursteuerung nach Fig. 1 zeigt.
Das erfindungsgemäße Trennprinzip beruht auf einem linienförmigen Brennfleck 1, an dessen beiden Enden 1 a und 1 b sich die Intensitätsmaxima im entsprechenden Laserstrahlprofil befinden. Durch diese Intensitätserhöhungen am Ende der Linie befindet sich dort beispielsweise ca. 80 % der gesamten eingebrachten Wärmeenergie des Laserstrahles, die zur Erzeugung des thermomechanischen Spannungsfeldes genutzt wird, d.h. nur ca. 20 % der Energie befinden sich neben der zu durchtrennenden Kontur, der Trennlinie 2.
Dadurch ist es möglich, bei gekrümmten Trennlinien den linienförmigen Brennfleck 1 als Linie beizubehalten, wenn die Endpunkte der Linie 1 unter Anpassung der Linienlänge S an den Krümmungsradius auf der Trennlinie 2 geführt werden, so daß der Haupt-Energieeintrag auf der Trennlinie erfolgt und ein sauberes Durchtrennen entlang der Trennlinie ermöglicht wird. Ist die Trennlinie linear, kann die Linie relativ lang sein. Je kleiner der Krümmungsradius ist, umso kürzer muß die Linie 1 sein, damit der Hauptenergie-Eintrag auf der Trennlinie erfolgt. Die Linienlänge variiert hierbei zwischen 10 mm und 100 mm. Parallel zur Änderung der Linienlänge wird zweckmäßig die Laserleistung bei kurzen Linien heruntergeregelt und bei langen Linien heraufgeregelt.
Zur Erzeugung des linienförmigen Brennfleckes 1 wird vorzugsweise ein bekannter Laserstrahl-Scanner, z.B. entsprechend Fig. 5 der eingangs zitierten EP 0 872 303 A 2, verwendet, wobei jedoch einer der beiden Ablenkspiegel entfallen kann, da nur in einer Achsrichtung gescannt werden muß. Denn für die Erzeugung einer Linie ist eine Ablenkachse ausreichend, was mit Vorteil einen reduzierten technischen Aufwand indiziert.
Auch kann ein Scannen mittels eines Drehspiegels mit einfachen, ebenen Spiegelflächen entsprechend Fig. 6 der vorgenannten EP-Schrift und einen entsprechenden, vorzugsweise sinusförmigen Drehzahlverlauf (Polygonrad) Anwendung finden.
Durch das Scannen des Laserstrahles mit Schwingspiegeln oder Polygonrädern mit sinusförmigem Drehzahlverlauf verbleibt der Laserstrahl in den Umkehrpunkten der Scannerbewegung länger auf dem zu trennenden Werkstück als im Bereich dazwischen, d.h. bei einer Erzeugung des linienförmigen Brennfleckes 1 durch Scannen stellt sich typischerweise eine Intensitätserhöhung an den Endpunkten der Linie 1 ein.
Beim typischen Scannen mit Schwingspiegeln weisen diese eine Schwingfrequenz von 400 Hz und höher auf, wobei die Schwingweite der Schwingspiegel die Linienlänge S in Fig. 1 bestimmt. Die Steuerung des Scanners erfolgt durch eine Profilsteuerung 3 in Fig. 1. Diese Steuerung empfängt von einer NC-Steuerung den Sollwert für die an der jeweiligen Stelle der Trennlinie 2 erforderliche Länge S des Brennflecks 1. Die Profilsteuerung steuert nun einen Oszillatormotor 3 a des Schwingspiegels so an, daß er die für die geforderte Länge S des Profils entsprechende Schwingung ausführt. Die Profilsteuerung 3 erzeugt hierbei eine analoge Spannungsschwingung als Sollwert, der direkt von dem Oszillatormotor zu einer oszillierenden Bewegung umgesetzt wird. Der Sollwert, welcher von der NC-Steuerung 4 an die Profilsteuerung 3 gegeben wird, wird entweder in Form eines analogen konstanten Spannungssignals, z.B. 0 - 10 V, übergeben, wobei die Länge S proportional zur Höhe der Spannung ist, oder in Form eines digitalen Wertes mit einer Auflösung von mindestens 8 bit. Die dargestellte Istwertrückmeldung des Meßsystems des Oszillatormotors 3 a kann entfallen, wenn für den Oszillatormotor eine Kalibrierkurve in der Profilsteuerung 3 oder der NC-Steuerung 4 abgelegt ist.
Damit die Endpunkte der Brennlinie 1 auf der gewünschten Trennlinie 2 liegen, steuert die NC-Steuerung 4 die NC-Achsen 8 (X, Y und C) und die Profillänge S über die Sollwertvorgabe an die Profilsteuerung 3 nach einem bekannten NC-Programm 5 und entsprechenden in der NC-Steuerung abgelegten Interpolationsalgorithmen. Mit den Informationen über die Profillänge S, die Position bzw. die Geschwindigkeiten der Achsen X, Y und C und der durch ein NC-Programm 5 beschriebenen Form der Trennlinie 2, ist die NC-Steuerung in der Lage, die Endpunkte 1 a und 1 b der Brennlinie 1 so zu führen, daß sie mit einer maximalen Abweichung von typischerweise weniger als 0,2 mm die Trennlinie verfolgen. Die Verfolgung der Trennlinie ist umso genauer, je schneller die NC-Steuerung in der Lage ist, neue Sollwerte für die Achsen 8 und die Profilsteuerung 3 zu generieren und je schneller diese von den Achsen 8 und dem Oszillatormotor 3 a umgesetzt werden können. Typische Werte für die Anwendung werden nach heutigem Stand der Steuerungstechnik bei ca. 3 ms liegen.
Die Breite der Brennlinie 1 wird durch den Durchmesser des fokussierten Laserstrahles auf der Werkstückoberfläche vorgegeben. Der Durchmesser auf der Werkstückoberfläche liegt typischerweise zwischen 0,3 mm und mehreren Millimetern. Zur Fokussierung des Laserstrahles werden optische Elemente verwendet. Bei der Auswahl der optischen Elemente und des Lasers ist es Ziel, die Intensitätsverteilung entlang der Linie zwischen den Endpunkten 1 a und 1 b möglichst gleichmäßig ohne lokale Intensitätspeaks zu gestalten, sowie die maximale Intensität in den Endpunkten möglichst gering zu halten. Auf diese Weise kann die meiste Laserenergie in das Werkstück eingekoppelt werden, ohne daß die Glaserweichungstemperatur überschritten wird. Zu diesem Zweck können langbrennweitige fokussierende Elemente ab ca. 300 mm, Top-Hat-Linsen, Axikons oder Laser mit einem Ringmode oder Multimode eingesetzt werden. Die Breite der Linie ist dabei abhängig von der benötigen Laserleistung, Kühlung, Materialart, Materialdicke und Vorschubgeschwindigkeit.
Zur Erhöhung der thermomechanischen Spannung wird in bekannter Weise eine Kühlung in Form eines Kühlflecks 6 in einem definierten Abstand auf der durchzutrennenden Kontur 2 hinter dem Laserprofil, d.h. der Brennlinie 1, nachgeführt. Dieser Kühlfleck 6 wird beispielsweise durch Aufblasen von kalter Luft oder Gas/Flüssigkeitsgemische durch eine Düse erzeugt.
Durch die hohe Temperatur im Werkstück, die durch den Laserstrahl erzeugt wird, wird eine hohe thermomechanische Spannung entlang der zu trennenden Kontur im Werkstück erzeugt. Bei nachfolgender Kühlung und vorheriger Schwächung des Glases am Startpunkt des Schnittes/Risses, reißt das Glas entlang der durch die Kühldüse und die "Strahllinie" beschriebene Kontur.
Wegen der gezielten Erwärmung des Werkstücks entlang der durchzutrennenden Kontur und der an der Kontur in einem definierenden Abstand zwischen ca. 2 mm und 15 mm nachgeführten Kühlung, folgt der Schnitt sehr präzise jeder beliebigen Freiform. Auf diese Weise können beispielsweise bei Dünnglas (ca. 50 µm), aber auch bei dickem Glas (mehrere Millimeter) jede beliebige Geometrie durchschnitten oder bis zu einer Tiefe von mehreren Zehntel Millimetern geritzt werden.
Der Vorteil des Schneidens besteht darin, daß kein anschließendes Brechen notwendig ist und somit ein Fertigungsschritt eingespart wird. Der Vorteil des Ritzens besteht darin, daß mit wesentlich höheren Geschwindigkeiten (bis zu 1000 mm/s) der Werkstoff auch nach dem Brechen nahezu splitterfrei getrennt wurde und aufgrund von fehlenden Mikrorissen und Ausmuschelungen eine deutlich höhere Kantenfestigkeit erreicht wird. Um dies zu erreichen, muß auch die Kühlung, d.h. der Kühlfleck 6, sehr präzise in seiner Position relativ zu der Brennlinie 1 eingestellt werden.
Die in Fig. 1 dargestellten Achsen 7 (A und B), welche für die Nachführung der Kühldüse auf der Trennlinie 2 verantwortlich sind, sind ebenfalls mit der NC-Steuerung 4 verbunden. Die Achsen A und B interpolieren ebenfalls mit den Achsen X, Y, C und der vom Oszillatormotor 3 a vorgegebenen Achse.
Die Aufgabe der Achsen A und B ist es, den Abstand des Kühlflecks 6 zum Anfangspunkt 1 b der Brennlinie 1 konstant zu halten. Die Profilsteuerung 3 kann hierbei so gestaltet werden, daß der niedrigste Spannungswert der Schwingspannung für den Oszillator des Schwingspiegels immer konstant bleibt. Auf diese Weise ist der Punkt 1 b relativ zum Kühlfleck ortsfest. Die Achsen 7 A und B müssen somit nur kurze Hübe ausführen.
Unter Achsen im Sinne der Erfindung sollen nicht nur die geometrischen Achsen, sondern auch die zugehörigen, die Achsen vorgebenden Bewegungselemente, wie Aktuatoren und dergleichen verstanden werden.

Claims (6)

  1. Verfahren zum Durchtrennen von flachen Werkstücken aus sprödbrüchigem Material, bei dem ein Laserstrahl mit einem durch Scannen erzeugten linienförmigen Brennfleck mit nachlaufendem Kühlfleck entlang einer Trennlinie mit vorgegebener Kontur auf dem Werkstück bewegt wird, dadurch gekennzeichnet, daß zum Durchführen von Freiformschnitten auf dem Werkstück ein linienförmiger Brennfleck mit signifikanten Intensitätserhöhungen an beiden Enden erzeugt wird, bei dem mindestens 60 % der Strahlleistung an den Enden des linienförmigen Brennfleckes konzentriert ist, und der so entlang der Trennlinie bewegt wird, daß auch bei gekrümmter Trennlinie beide Enden auf der Trennlinie liegen und dessen Länge dabei abhängig von der Krümmung der Kontur der Trennlinie eingestellt wird.
  2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß 80 % der Strahlleistung an den Enden des linienförmigen Brennfleckes konzentriert ist.
  3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlleistung abhängig von der Länge des linienförmigen Brennfleckes eingestellt wird.
  4. Vorrichtung zum Durchführen des Verfahrens nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine optische Anordnung mit einem Laserstrahlscanner und einer Fokussionseinrichtung zur Erzeugung eines linienförmigen Brennfleckes (1) mit signifikanten Intensitätserhöhungen an beiden Enden (1 a, 1 b), in denen mindestens 60 % der Strahlleistung konzentriert ist, vorgesehen ist, die über eine Profilsteuerung (3) derart mit einer numerischen Bahnsteuerung (4) mit Achsen zum Positionieren des Brennfleckes (1) gekoppelt ist, daß auch bei gekrümmten Trennlinien beide Enden des linienförmigen Brennfleckes (1) auf der Trennlinie (2) des Freiformschnittes positioniert sind und die Länge des Brennfleckes abhängig von der Krümmung der Kontur der Trennlinie (2) eingestellt ist.
  5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß weitere mit der Bahnsteuerung (4) gekoppelte Achsen (7, 8) zum Positionieren des Kühlfleckes (6) in Bezug auf den linienförmigen Brennfleck (1) und das Werkstück vorgesehen sind.
  6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Anordnung einen Scanner mit einem Schwingspiegel aufweist.
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19963939B4 (de) * 1999-12-31 2004-11-04 Schott Spezialglas Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Durchtrennen von flachen Werkstücken aus sprödbrüchigem Material
DE10016628A1 (de) 2000-04-04 2001-10-18 Schott Glas Verfahren zum Herstellen von kleinen Dünnglasscheiben und größere Dünnglasscheibe als Halbfabrikat für dieses Herstellen
AU2003220835A1 (en) 2002-03-12 2003-09-22 Mitsuboshi Diamond Industrial Co., Ltd. Method and system for machining fragile material
US6919531B2 (en) 2002-03-25 2005-07-19 Agilent Technologies, Inc. Methods for producing glass substrates for use in biopolymeric microarrays
DE102004012402B3 (de) * 2004-03-13 2005-08-25 Schott Ag Verfahren zum Freiformschneiden von gewölbten Substraten aus sprödbrüchigem Material
WO2006017510A2 (en) * 2004-08-02 2006-02-16 J.P. Sercel Associates, Inc. System and method for laser machining
US8350187B2 (en) * 2009-03-28 2013-01-08 Electro Scientific Industries, Inc. Method and apparatus for laser machining
US8171753B2 (en) * 2009-11-18 2012-05-08 Corning Incorporated Method for cutting a brittle material
CN106458693B (zh) * 2014-02-20 2020-06-16 康宁股份有限公司 用于在柔性薄玻璃中切割多个半径的方法和设备

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5120926A (en) * 1990-11-26 1992-06-09 General Motors Corporation Method and apparatus for high speed laser cutting
RU2024441C1 (ru) 1992-04-02 1994-12-15 Владимир Степанович Кондратенко Способ резки неметаллических материалов
DE4305107C2 (de) * 1993-02-19 1995-02-23 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren und Vorrichtung zum Schneiden eines spröden Körpers mit Laserstrahlung
US5776220A (en) * 1994-09-19 1998-07-07 Corning Incorporated Method and apparatus for breaking brittle materials
MY120533A (en) * 1997-04-14 2005-11-30 Schott Ag Method and apparatus for cutting through a flat workpiece made of brittle material, especially glass.
KR100283415B1 (ko) * 1998-07-29 2001-06-01 구자홍 레이저를이용한투명매질의가공방법및장치
DE19915000C2 (de) * 1999-04-01 2002-05-08 Microlas Lasersystem Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Steuern der Intensitätsverteilung eines Laserstrahls

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