EP1168895B1 - Dispositif à impulsions avec un système de production de rayonnement et procédé de production de rayonnement - Google Patents

Dispositif à impulsions avec un système de production de rayonnement et procédé de production de rayonnement Download PDF

Info

Publication number
EP1168895B1
EP1168895B1 EP00113560A EP00113560A EP1168895B1 EP 1168895 B1 EP1168895 B1 EP 1168895B1 EP 00113560 A EP00113560 A EP 00113560A EP 00113560 A EP00113560 A EP 00113560A EP 1168895 B1 EP1168895 B1 EP 1168895B1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
discharge
switch
assembly
electrode
radiation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
EP00113560A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
EP1168895B9 (fr
EP1168895A1 (fr
Inventor
Norbert Dr. Böwering
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TuiLaser AG
Original Assignee
TuiLaser AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TuiLaser AG filed Critical TuiLaser AG
Priority to DE50006337T priority Critical patent/DE50006337D1/de
Priority to EP20000113560 priority patent/EP1168895B9/fr
Priority to PCT/EP2001/007344 priority patent/WO2002001926A1/fr
Publication of EP1168895A1 publication Critical patent/EP1168895A1/fr
Publication of EP1168895B1 publication Critical patent/EP1168895B1/fr
Application granted granted Critical
Publication of EP1168895B9 publication Critical patent/EP1168895B9/fr
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05G—X-RAY TECHNIQUE
    • H05G2/00—Apparatus or processes specially adapted for producing X-rays, not involving X-ray tubes, e.g. involving generation of a plasma
    • H05G2/001—Production of X-ray radiation generated from plasma
    • H05G2/003—Production of X-ray radiation generated from plasma the plasma being generated from a material in a liquid or gas state

Definitions

  • the arrangement and the are particularly advantageous Switch designed as a Z-pinch. This results in a very low ablation and erosion not only on the discharge involved electrodes, but also on the between the electrodes arranged isolators. Notwithstanding this particular However, the principle of the invention is also advantageously applicable to Gas-Puff-Z-Pinch, capillary discharge, plasma focus discharge, Pseudo spark discharge and transient cavity discharge as well further pinched discharges. Is included in the invention the combination of different magnetically compressed electrical gas discharges for switches and arrangement.
  • the embodiment comprises at least one Trigger electrode for generating the trigger discharge, at least a switching discharge electrode for generating the switching discharge of the switch, at least one main discharge electrode to generate the main discharge of the arrangement, as well as a near-mass Electrode.
  • the pinch electrode After charging the capacitor banks C1, C2, the pinch electrode is located 10 quasi to ground potential. Will now go to the Trigger electrode 16 applied a negative low high voltage NHV, this creates a discharge from the electrode 16 to the first Pinch electrode 10. This causes charge carriers on the left side End of the discharge space 22 provided. These carriers act as pre-ionization for the switch pinch, which includes the pinch electrodes 10 and 12. This forms there is a sliding discharge between the pinch electrode 10 and the pinch electrode 12, which due to the low inductance large current flows quickly. Between the pinch electrode 12 and pinch electrode 14 there is no sliding discharge, because these two electrodes are at the same potential. The sliding discharge between pinch electrode 10 and pinch electrode 12 leads to short-circuiting the capacitor bank C1 and results in a recharge of the pinch electrode 12.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • X-Ray Techniques (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)

Claims (16)

  1. Dispositif à impulsions avec un système à deux électrodes (12, 14) permettant la génération d'un rayonnement à partir d'une décharge gazeuse électrique comprimée par voie magnétique et un commutateur prévu pour déclencher la génération du rayonnement du système,
    caractérisé en ce que
    le commutateur (10, 12) comporte une première et une deuxième électrode de décharge par commutation (10; 12) disposées à intervalle prédéterminé le long d'un axe (18) de manière à permettre la génération en tant que décharge de commutation d'une décharge gazeuse électrique auto-comprimée par voie magnétique en un trajet du courant sur l'axe (18).
  2. Dispositif selon la revendication 1,
    caractérisé en ce que
    le système est réalisé comme striction Z ou striction Z "gas puff" ou comme décharge capillaire ou décharge focale par plasma ou pseudo-décharge à étincelles ou décharge transitoire de cavité.
  3. Dispositif selon la revendication 1 ou 2,
    caractérisé en ce que
    le commutateur est réalisé sous forme de striction Z ou de striction Z "gas puff" ou de décharge capillaire ou de décharge focale par plasma ou de pseudo-décharge à étincelles ou de décharge transitoire de cavité.
  4. Dispositif selon l'une des revendications précédentes,
    caractérisé en ce que
    le système et le commutateur présentent un axe de symétrie commun (18), le rayonnement émis par le système et le commutateur pouvant être émis vers la même zone spatiale.
  5. Dispositif selon l'une des revendications précédentes,
    caractérisé en ce que
    le commutateur peut être amorcé ou préionisé par une décharge par déclenchement.
  6. Dispositif selon l'une des revendications précédentes,
    caractérisé en ce que
    les porteurs de charge générés par le commutateur après son amorçage peuvent être utilisés pour préioniser le système.
  7. Dispositif selon l'une des revendications précédentes,
    caractérisé en ce que
    le dispositif comporte au moins un banc de condensateurs (C1, C2), l'énergie nécessaire au rayonnement émis par le commutateur et/ou le système pouvant être mise à disposition par l'au moins un banc de condensateurs.
  8. Dispositif selon l'une des revendications 5 à 7,
    caractérisé en ce que
    le système comprend par ailleurs
    au moins une électrode de déclenchement (16) destinée à produire la décharge par déclenchement;
    au moins une électrode de décharge principale (12, 14) destinée à générer la décharge principale du système; et
    une électrode proche du potentiel de la masse.
  9. Dispositif selon la revendication 8,
    caractérisé en ce que
    (les)l'électrode(s) de déclenchement (16), (les)l'électrode(s) de décharge par commutation (10, 12) et (les)l'électrode(s) de décharge principale (12, 14) sont réalisées sous forme de disques ou de cylindres creux ou de cylindres creux munis de diaphragmes en alignement.
  10. Dispositif selon la revendication 9,
    caractérisé en ce que
    (les)l'électrode(s) de déclenchement (16), (les)l'électrode(s) de décharge par commutation (10, 12) et (les)l'électrode(s) de décharge principale (12, 14) sont disposées selon un axe de symétrie commun (16) de manière à assurer l'alignement des ouvertures des disques et/ou des cylindres creux.
  11. Dispositif selon la revendication 9 ou 10,
    caractérisé en ce que
    les disques et/ou cylindres creux sont disposés de manière électriquement isolée les uns des autres, notamment grâce à des disques et/ou cylindres creux (5a, 5b, 5c, 5d) disposés entre les disques et/ou cylindres creux et réalisés en un matériau électriquement isolant, notamment dans des matériaux céramiques.
  12. Dispositif selon l'une des revendications 8 à 11,
    caractérisé en ce que
    le système comprend un dispositif de refroidissement (20), réalisé notamment sous forme de refroidissement par diffusion à micro-canaux et permettant de refroidir le système composé de l'électrode de déclenchement (16), de l'électrode de décharge par commutation (10, 12) et de l'électrode de décharge principale (12, 14), sur le côté opposé à celui de la décharge.
  13. Dispositif selon l'une des revendications 4 à 12,
    caractérisé en ce que
    le dispositif comporte un agencement semi-transparent, notamment un agencement capillaire à courbure sphérique (24), notamment un agencement capillaire multi-canaux à l'aide du lequel le commutateur et le système peuvent être séparés d'une installation de génération de vide d'un utilisateur du rayonnement généré.
  14. Dispositif selon l'une des revendications précédentes,
    caractérisé en ce que
    le rayonnement généré présente une longueur d'onde inférieure à 50 nm, notamment un rayonnement EUV et/ou un rayonnement X doux.
  15. Procédé de génération de rayonnement comprenant les étapes suivantes:
    a) Déclenchement d'une décharge par commutation suite à une décharge gazeuse électrique auto-comprimée par voie magnétique en un trajet du courant sur un axe (18) dans un commutateur (10, 12) comportant une première et une deuxième électrode de commutation (10; 12) disposées à intervalle prédéterminé le long de l'axe (18);
    b) Mise en ceuvre de la décharge gazeuse électrique auto-comprimée par voie magnétique du commutateur pour déclencher une décharge gazeuse électrique comprimée par voie magnétique dans un système (12, 14) destiné à la génération d'un rayonnement.
  16. Procédé selon la revendication 15,
    caractérisé en ce que
    dans l'étape a), la décharge gazeuse du commutateur est amorcée et/ou préionisée par une décharge de déclenchement.
EP20000113560 2000-06-27 2000-06-27 Dispositif à impulsions avec un système de production de rayonnement et procédé de production de rayonnement Expired - Lifetime EP1168895B9 (fr)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE50006337T DE50006337D1 (de) 2000-06-27 2000-06-27 Pulsbare Vorrichtung mit einer Anordnung zur Erzeugung von Strahlung sowie Verfahren zur Erzeugung von Strahlung
EP20000113560 EP1168895B9 (fr) 2000-06-27 2000-06-27 Dispositif à impulsions avec un système de production de rayonnement et procédé de production de rayonnement
PCT/EP2001/007344 WO2002001926A1 (fr) 2000-06-27 2001-06-27 Dispositif pulsable comportant un systeme pour produire un rayonnement et procede pour produire un rayonnement

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP20000113560 EP1168895B9 (fr) 2000-06-27 2000-06-27 Dispositif à impulsions avec un système de production de rayonnement et procédé de production de rayonnement

Publications (3)

Publication Number Publication Date
EP1168895A1 EP1168895A1 (fr) 2002-01-02
EP1168895B1 true EP1168895B1 (fr) 2004-05-06
EP1168895B9 EP1168895B9 (fr) 2004-07-14

Family

ID=8169078

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
EP20000113560 Expired - Lifetime EP1168895B9 (fr) 2000-06-27 2000-06-27 Dispositif à impulsions avec un système de production de rayonnement et procédé de production de rayonnement

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP1168895B9 (fr)
DE (1) DE50006337D1 (fr)
WO (1) WO2002001926A1 (fr)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102523675B (zh) * 2011-12-13 2014-08-06 西安交通大学 一种用于引燃长空气火花间隙的等离子体喷射装置及其电路

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4509176A (en) * 1981-06-17 1985-04-02 Selenia Industrie Elettroniche Associate S.P.A. Longitudinal-discharge-pulse laser with preionization obtained by corona effect

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1239486A (fr) * 1985-10-03 1988-07-19 Rajendra P. Gupta Source de rayons x a plasma annulaire comprime engendre par une decharge dans un gaz

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4509176A (en) * 1981-06-17 1985-04-02 Selenia Industrie Elettroniche Associate S.P.A. Longitudinal-discharge-pulse laser with preionization obtained by corona effect

Also Published As

Publication number Publication date
DE50006337D1 (de) 2004-06-09
EP1168895B9 (fr) 2004-07-14
EP1168895A1 (fr) 2002-01-02
WO2002001926A1 (fr) 2002-01-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4108474C2 (fr)
EP0140005B1 (fr) Appareil pour produire un plasma avec un rayonnement plus intense dans la region des rayons X
DE10151080C1 (de) Einrichtung und Verfahren zum Erzeugen von extrem ultravioletter (EUV-)Strahlung auf Basis einer Gasentladung
DE4113241C2 (de) Gepulster Gasentladungslaser
DE102005025624B4 (de) Anordnung zur Erzeugung von intensiver kurzwelliger Strahlung auf Basis eines Gasentladungsplasmas
DE4108472C2 (de) Vorrichtung zum Vorionisieren von Gas in einem gepulsten Gaslaser
EP1036488B1 (fr) Procede et dispositif pour produire des rayons ultraviolets extremes et des rayonnements x mous a partir d'une decharge gazeuse
WO1989000354A1 (fr) Commutateur a gaz electronique (commutateur a pseudo-etincelle)
EP1769569B1 (fr) Interrupteur haute tension et utilisation de cet interrupteur dans un generateur de micro-ondes
DE19962160C2 (de) Vorrichtungen zur Erzeugung von Extrem-Ultraviolett- und weicher Röntgenstrahlung aus einer Gasentladung
DE1298175B (de) Schaltfunkenstrecke von geringer Eigeninduktivitaet
DE10256663B3 (de) Gasentladungslampe für EUV-Strahlung
EP0398995B1 (fr) Tube a rayons x plasmique, en particulier pour la preionisation par rayons x de lasers a gaz, et usage en tant que canon electronique
EP1384394B1 (fr) Procede de production de rayonnement ultraviolet extreme/rayonnement x mou
WO2013185824A1 (fr) Eclateur
EP1168895B9 (fr) Dispositif à impulsions avec un système de production de rayonnement et procédé de production de rayonnement
EP1532848B1 (fr) Lampe a decharge gazeuse
EP0979548B1 (fr) Procede d'amor age d'un eclateur de commutation isole par gaz et dispositif permettant de mettre ledit procede en oeuvre
DE2819111A1 (de) Gasentladungs-schaltroehre mit gekreuzten feldern und verfahren zum einschalten einer solchen schaltroehre
AT394469B (de) Gasentladungsroehre
DE102013001940B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung von EUV-und/oder weicher Röntgenstrahlung
DE2712829C3 (de) Ionenquelle
WO2008074443A2 (fr) Procédés et dispositifs de production de rayons x
DE10051986A1 (de) Verfahren zum Strippen von Ionen in einer aus einem Gasentladungsplasma bestehenden Umladestrecke und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE2258273A1 (de) Gasentladungsschalteinrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
PUAI Public reference made under article 153(3) epc to a published international application that has entered the european phase

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009012

17P Request for examination filed

Effective date: 20010619

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE

Kind code of ref document: A1

Designated state(s): AT

AX Request for extension of the european patent

Free format text: AL;LT;LV;MK;RO;SI

AKX Designation fees paid

Free format text: AT

RBV Designated contracting states (corrected)

Designated state(s): DE

REG Reference to a national code

Ref country code: DE

Ref legal event code: 8566

GRAP Despatch of communication of intention to grant a patent

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR1

GRAS Grant fee paid

Free format text: ORIGINAL CODE: EPIDOSNIGR3

GRAA (expected) grant

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009210

AK Designated contracting states

Kind code of ref document: B1

Designated state(s): DE

REF Corresponds to:

Ref document number: 50006337

Country of ref document: DE

Date of ref document: 20040609

Kind code of ref document: P

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FG4D

Free format text: GERMAN

PGFP Annual fee paid to national office [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Payment date: 20040831

Year of fee payment: 5

REG Reference to a national code

Ref country code: IE

Ref legal event code: FD4D

PLBE No opposition filed within time limit

Free format text: ORIGINAL CODE: 0009261

STAA Information on the status of an ep patent application or granted ep patent

Free format text: STATUS: NO OPPOSITION FILED WITHIN TIME LIMIT

26N No opposition filed

Effective date: 20050208

PG25 Lapsed in a contracting state [announced via postgrant information from national office to epo]

Ref country code: DE

Free format text: LAPSE BECAUSE OF NON-PAYMENT OF DUE FEES

Effective date: 20060103