EP0795087A1 - Housing for a two-stage rotary vane vacuum pump - Google Patents

Housing for a two-stage rotary vane vacuum pump

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Publication number
EP0795087A1
EP0795087A1 EP94917666A EP94917666A EP0795087A1 EP 0795087 A1 EP0795087 A1 EP 0795087A1 EP 94917666 A EP94917666 A EP 94917666A EP 94917666 A EP94917666 A EP 94917666A EP 0795087 A1 EP0795087 A1 EP 0795087A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
housing
bearing
pump
vacuum stage
section
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
EP94917666A
Other languages
German (de)
French (fr)
Inventor
Thomas Abelen
Lutz Arndt
Peter Müller
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Original Assignee
Leybold AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Leybold AG filed Critical Leybold AG
Publication of EP0795087A1 publication Critical patent/EP0795087A1/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle

Definitions

  • the invention relates to a housing for a two-stage rotary vane vacuum pump with two scoops, each with an anchor system and with a channel connecting the outlet of the high vacuum stage to the inlet of the fore-vacuum stage and arranged in the housing.
  • a housing of this type is known from DE-A 23 54 039.
  • the manner in which the inlet of the fore-vacuum stage is connected to the outlet of the high-vacuum stage is not disclosed in more detail.
  • the present invention has for its object to provide a housing for a two-stage rotary vane vacuum pump with the features mentioned above, in which the connection between the outlet of the high vacuum stage and the inlet of the fore-vacuum stage is easy to manufacture and has the smallest possible volume.
  • an essential part of the connecting line is a channel section that extends parallel to the scoop axis makes it easy to manufacture. eg by drilling. Furthermore, there is the advantage that this channel can be viewed over its entire length during inspection work and can therefore be checked for contamination.
  • the cross holes still required, which form the connection to the two stages, can be kept very short, so that the dead space between the high vacuum stage and the fore vacuum stage, which is decisive for the pump properties, can be kept optimally small.
  • FIG. 1 is a longitudinal section through a vacuum pump according to the
  • FIGS. 2 and 3 are schematic cross sections through two different embodiments
  • FIG. 4 is a perspective view of a scoop according to the invention corresponding to the embodiment of Figures 3 and
  • the pump 1 shown essentially comprises the assemblies housing 2, rotor 3 and drive motor 4.
  • the housing 2 has essentially the shape of a pot with an outer wall 5, with the cover 6, with an inner part 7 with the scooping spaces 8, 9 and the bearing bore 11, with the end plate 12 and the bearing piece 13, which form the scooping spaces Complete ends 8, 9.
  • the axis of the bearing bore 11 is designated 14.
  • the axes 15 and 16 of the scoops 8, 9 are eccentric to this.
  • the oil chamber is located between the outer wall 5 and the inner part 7 17, which is partially filled with oil during operation of the pump. To check the oil level, two oil eyes 18, 19 (maximum, minimum oil level) are provided in the cover 6; oil filler and oil drainage connections are not shown.
  • the rotor 3 which is shown again in FIGS. 2 and 3, is located within the inner part 7. It is made in one piece and has two anchor sections 21, 22 arranged on the end face and a bearing section 23 located between the anchor sections 21, 22. Bearing section 23 and the anchor sections 21, 22 have an identical diameter.
  • the anchor sections 21, 22 are equipped with slots 25, 26 for slides 27, 28. These are each milled from the associated end face of the rotor, so that exact slot dimensions can be achieved in a simple manner.
  • the bearing section 23 lies between the armature sections 21, 22.
  • the bearing section 23 and the bearing bore 11 form the only bearing of the rotor. This bearing must be of sufficient axial length to prevent the rotor from wobbling.
  • the length of the bearing is expediently to be chosen so that when the rotor 3 is inclined as much as possible due to the bearing play in the bearing bore 11, the rotor 3 still floats, i.e. that it does not run against its two end faces at the same time.
  • the anchor section 22 and the associated scoop chamber 9 are longer than the anchor section 21 with the scoop chamber 8.
  • the anchor section 22 and the scoop chamber 9 form the high vacuum stage.
  • the inlet of the high vacuum stage 9, 22 is connected to the intake manifold 30.
  • the outlet of the high vacuum stage 9, 22 and the inlet of the fore vacuum stage 8, 21 are connected via the housing bore 31 to their axis 32, which extends parallel to the axes 15, 16 of the scooping spaces 8, 9.
  • the outlet of the fore-vacuum stage 8, 21 opens into the oil chamber 17, which comprises the oil sump 20.
  • the oily gases calm down there and leave the pump 1 through the outlet port 33.
  • the housing 2 of the pump is also expediently constructed from as few parts as possible. At least the wall sections 5, 7 comprising the two scooping spaces 8, 9 and the oil space 17 should be formed in one piece.
  • the bearing piece 13 is equipped with a bore 35 for a rotor drive. This can be directly the shaft 36 of the drive motor 4.
  • a coupling piece 37 is provided between the free end face of the drive shaft 4 and the rotor 3.
  • the coupling of the rotor 3 with the coupling piece 37 and the coupling piece 37 with the drive shaft 36 takes place in a form-fitting manner via projections and corresponding recesses.
  • the rotor 3 is equipped on its end face facing the coupling piece 37 with an elongated recess 38 which extends perpendicular to the slide slot 26 (see also FIG. 2).
  • the coupling piece 37 engages in the recess 38.
  • the projection 39 of the coupling piece 37 is in turn equipped with the recess 41 which engages around the slide 28.
  • a corresponding connection exists between the drive shaft 36 with its elongated recess 42 and the coupling piece 37 with the corresponding projection 43.
  • FIG. 3 shows a further solution in which the drive-side end face of the rotor 3 is equipped with a shoulder 44 with a reduced diameter. This creates a slot in addition to the space occupied by the slide, into which an elongated projection on the coupling piece 37 or on the shaft 36 can engage.
  • the high vacuum stage 9, 22 should have a higher pumping speed than the fore-vacuum stage.
  • the axial length of the high vacuum stage must be greater than the length of the fore vacuum stage, for example at least twice as long.
  • the arrangement of the high-vacuum stage on the drive side has the advantage that only the short forevacuum stage is overhung, while the relatively long high-vacuum stage is supported in the coupling piece 37 or - if this is not present - in the shaft 36.
  • the pump of Figure 1 is finally equipped with an oil pump. This consists of the scooping space 45 let into the bearing piece 13 from the motor side with the eccentric 46 rotating therein. The eccentric is connected to a locking slide 47 which is under the pressure of the spiral spring 48.
  • the inlet of the oil pump 45, 46 is connected to the oil sump 20 via a bore 51. All points of the pump 1 that require oil are connected to the outlet of the oil pump 45, 46.
  • a bore 51 ' is shown which opens into the bearing section 11 in the inner part 7 of the pump 1 via a transverse bore 51' 'and supplies the bearing located there with lubricating oil.
  • the eccentric 46 of the oil pump is part of the coupling piece 37. It is either fixed or positively connected - axially displaceably arranged on the projection 42 - to the coupling piece 37.
  • the solution described provides the option of dispensing with a separate pump-side mounting of the motor shaft 36.
  • the bearing piece 13 and - if present - the coupling piece 37 can take over this function.
  • the end face shown is provided with a central blind bore 49, in which the compression spring 50 is located.
  • the compression spring 50 is supported on the projection 43 of the coupling piece 37 and in the blind bore 49 and generates opposing forces on the shaft 37 (contact forces for the shaft 36 bearing, not shown) and the coupling piece 37.
  • these forces also affect the rotor 3, the fore-end of which is thus pressed against the end plate 12.
  • This force reduces the gap between the rotor end face and the end disk 12 due to the play, so that a significant improvement in the compression capacity and thus a better final pressure can be achieved.
  • This advantage of tightness in the area of the fore-vacuum stage arises independently of the existing tolerances and can therefore be achieved without a particular increase in the manufacturing effort.
  • the coupling piece 37 also forms the running surface for a sealing ring 55, which is located in an annular recess 56 in the bearing piece 13, on the side of the bearing piece 13 facing the pump chamber 9. If the rotor 3 is directly coupled to the drive shaft 36, then can the bearing piece 13 be equipped with a further recess on the motor side for a sealing ring. Finally, the bearing piece 13 also has the function of supporting the pump 1 via the foot 57 screwed onto the bearing piece 13.
  • the bearing piece 13 is equipped on its side facing the engine 4 with a circular recess 58 in which a disk 59 is located. This is held in position by the housing 61 of the drive motor 4. It is equipped with a central bore 62, which is from the shaft 36 of the drive motor 4 is penetrated.
  • the shaft 36 forms the running surface for a second shaft sealing ring 63, which is located in a recess 64 on the motor side of the disk 59.
  • the disc 59 has the task of limiting the scooping space 45 of the oil pump 45, 46.
  • the disk 59 - alone or together with the bearing piece 13 - can also form the only pump-side bearing of the motor shaft 36.
  • the outlet 75 of the high vacuum stage and the inlet 76 of the fore vacuum stage can also be seen.
  • a bore 77 (dashed line) which connects the outlet 75 to the channel section 31.
  • a corresponding bore 78 leads from the channel section 31 to the inlet 76 of the forevacuum stage, which - in relation to the direction of rotation 74 - is arranged behind the anchor system 71.
  • the bores 77, 78 run obliquely to the plane 73.
  • the embodiment according to FIG. 2 enables a connection of the high vacuum stage and the fore vacuum stage with the smallest possible volume (dead volume) in the case of concentrically located scooping spaces 8, 9 and straight channel section 31.
  • this volume is even smaller since the bores 77, 78 are significantly shorter.
  • the scoops 8, 9 are each offset and rotated by a small amount compared to the embodiment according to FIG. 2. These amounts are chosen so that the outlet 75 of the high vacuum stage, the inlet 76 of the fore vacuum stage and the bores 77, 78, which connect the outlet 75 and the inlet 76 to the channel section 31, lie axially one behind the other.
  • the anchor systems 71, 72 each lie to the side of it, in the high vacuum stage with respect to the direction of rotation 74 behind the outlet 75, in the fore vacuum stage in front of the inlet 76.
  • the axes of the pumping chambers 15, 16 lie in a plane 79 which extends perpendicular to plane 73 - formed by axes 32 and 14.
  • the axes of the bores 77, 78 also lie in the plane 73. Within this plane, they can also be arranged inclined.
  • FIGS. 5 and 6 again show simplified sections through exemplary embodiments of pumps with housings designed according to the invention.
  • the wall 5 and the cover 6 are formed in one piece and form a hood which surrounds the inner part 7, 12 and together therewith forms the oil space 17.
  • the housing part 7 (pump or anchor ring), which forms both scoops 8, 9 and the bearing bore 11, is in one piece in the embodiment according to FIG.
  • FIG. 6 shows a version in which the bearing piece 13 and the housing section 7 ', which encloses the scoop space 9 on the bearing piece, are formed in one piece.

Abstract

The invention pertains to a housing (2) for a two-stage rotary vane vacuum pump (1) with two pump chambers (8, 9) with corresponding armatures (71 and 72, respectively) and with a channel (77, 31, 78) devised in the housing (2), connecting the outlet (75) of the high vacuum stage with the inlet (76) of the forepressure stage. To simplify manufacture of the housing, the invention proposes that the channel (77, 31, 78) has one segment (31) which runs parallel to the axes (15, 16) of the pump chambers (8, 9) and which is connected via bores (77, 78) with the outlet (75) of the pump chamber (9) of the high-vacuum stage (9, 22) and with the inlet (76) of the pump chamber (8) of the forepressure stage (8, 21), respectively.

Description

Gehäuse für eine zweistufige DrehschiebervakuumpumpeHousing for a two-stage rotary vane vacuum pump
Die Erfindung betrifft ein Gehäuse für eine zweistufige Drehschiebervakuumpumpe mit zwei Schöpfräumen mit jeweils einer Ankeranlage sowie mit einem den Auslaß der Hochvaku¬ umstufe mit dem Einlaß der Vorvakuumstufe verbindenden, im Gehäuse angeordneten Kanal.The invention relates to a housing for a two-stage rotary vane vacuum pump with two scoops, each with an anchor system and with a channel connecting the outlet of the high vacuum stage to the inlet of the fore-vacuum stage and arranged in the housing.
Aus der DE-A 23 54 039 ist ein Gehäuse dieser Art bekannt. Die Art und Weise der Verbindung des Einlasses der Vorvaku¬ umstufe mit dem Auslaß der Hochvakuumstufe ist nicht genauer offenbart.A housing of this type is known from DE-A 23 54 039. The manner in which the inlet of the fore-vacuum stage is connected to the outlet of the high-vacuum stage is not disclosed in more detail.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Gehäuse für eine zweistufige Drehschiebervakuumpumpe mit den eingangs erwähnten Merkmalen zu schaffen, bei der die Verbindung zwischen dem Auslaß der Hochvakuumstufe und dem Einlaß der Vorvakuumstufe einfach herstellbar ist und ein möglichst kleines Volumen hat.The present invention has for its object to provide a housing for a two-stage rotary vane vacuum pump with the features mentioned above, in which the connection between the outlet of the high vacuum stage and the inlet of the fore-vacuum stage is easy to manufacture and has the smallest possible volume.
Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale der Patentansprüche gelöst.This object is achieved by the characterizing features of the claims.
Dadurch, daß ein wesentlicher Bestandteil der Verbindungs- leitung ein sich parallel zu den Schöpfraumachsen erstrek- kender Kanalabschnitt ist, ist dieser einfach zu fertigen. z.B. durch Bohren. Weiterhin besteht der Vorteil, daß dieser Kanal bei Inspektionsarbeiten auf seiner ganzen Länge einsehbar ist und damit auf Verschmutzungen überprüft werden kann. Die noch erforderlichen Querbohrungen, welche die Verbindung zu den beiden Stufen bilden, können sehr kurz gehalten werden, so daß der u.a. für die Pumpeigenschaften maßgebliche Totraum zwischen der Hochvakuumstufe und der Vorvakuumstufe optimal klein gehalten werden kann.The fact that an essential part of the connecting line is a channel section that extends parallel to the scoop axis makes it easy to manufacture. eg by drilling. Furthermore, there is the advantage that this channel can be viewed over its entire length during inspection work and can therefore be checked for contamination. The cross holes still required, which form the connection to the two stages, can be kept very short, so that the dead space between the high vacuum stage and the fore vacuum stage, which is decisive for the pump properties, can be kept optimally small.
Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Figuren 1 bis 6 dargestellten Ausführungs¬ beispielen erläutert werden. Es zeigenFurther advantages and details of the invention will be explained with reference to exemplary embodiments shown in FIGS. 1 to 6. Show it
- Figur 1 einen Längsschnitt durch eine Vakuumpumpe nach der- Figure 1 is a longitudinal section through a vacuum pump according to the
Erfindung,Invention,
- Figuren 2 und 3 schematische Querschnitte durch zwei verschiedene Ausführungsformen,FIGS. 2 and 3 are schematic cross sections through two different embodiments,
- Figur 4 eine perspektivische Darstellung eines Schöpf¬ raumes nach der Erfindung entsprechend der Ausfüh¬ rungsform nach Figur 3 und- Figure 4 is a perspective view of a scoop according to the invention corresponding to the embodiment of Figures 3 and
- Figuren 5 und 6 weitere, schematisch dargestellte Längs¬ schnitte.- Figures 5 and 6 further, schematically illustrated longitudinal sections.
Die dargestellte Pumpe 1 umfaßt im wesentlichen die Bau¬ gruppen Gehäuse 2, Rotor 3 und Antriebsmotor 4.The pump 1 shown essentially comprises the assemblies housing 2, rotor 3 and drive motor 4.
Das Gehäuse 2 hat im wesentlichen die Form eines Topfes mit einer äußeren Wandung 5, mit dem Deckel 6, mit einem Innen¬ teil 7 mit den Schöpfräumen 8,9 sowie der Lagerbohrung 11, mit der Endscheibe 12 und dem Lagerstück 13, welche die Schöpfräume 8, 9 stirnseitig abschließen. Die Achse der Lagerbohrung 11 ist mit 14 bezeichnet. Exzentrisch dazu liegen die Achsen 15 und 16 der Schöpfräume 8, 9. Zwischen äußerer Wandung 5 und Innenteil 7 befindet sich der ölraum 17, der während des Betriebs der Pumpe teilweise mit öl gefüllt ist. Zur Kontrolle des ölstandes sind im Deckel 6 zwei ölaugen 18, 19 (maximaler, minimaler ölstand) vorgese¬ hen, öleinfüll- und ölablaßstutzen sind nicht dargestellt.The housing 2 has essentially the shape of a pot with an outer wall 5, with the cover 6, with an inner part 7 with the scooping spaces 8, 9 and the bearing bore 11, with the end plate 12 and the bearing piece 13, which form the scooping spaces Complete ends 8, 9. The axis of the bearing bore 11 is designated 14. The axes 15 and 16 of the scoops 8, 9 are eccentric to this. The oil chamber is located between the outer wall 5 and the inner part 7 17, which is partially filled with oil during operation of the pump. To check the oil level, two oil eyes 18, 19 (maximum, minimum oil level) are provided in the cover 6; oil filler and oil drainage connections are not shown.
Innerhalb des Innenteils 7 befindet sich der Rotor 3, der in den Figuren 2 und 3 nochmals dargestellt ist. Er ist ein¬ teilig ausgebildet und weist zwei stirnseitig angeordnete Ankerabschnitte 21, 22 und einen zwischen den Ankerab¬ schnitten 21, 22 befindlichen Lagerabschnitt 23 auf. Lager¬ abschnitt 23 und die Ankerabschnitte 21, 22 haben einen identischen Durchmesser. Die Ankerabschnitte 21, 22 sind mit Schlitzen 25, 26 für Schieber 27, 28 ausgerüstet. Diese sind jeweils von der zugehörigen Stirnseite des Rotors her eingefräst, so daß in einfacher Weise exakte Schlitzabmes¬ sungen erreicht werden können. Der Lagerabschnitt 23 liegt zwischen den Ankerabschnitten 21, 22. Lagerabschnitt 23 und Lagerbohrung 11 bilden die einzige Lagerung des Rotors. Diese Lagerung muß eine ausreichende axiale Länge haben, damit ein Taumeln des Rotors vermieden wird. Die Länge der Lagerung ist zweckmäßig so zu wählen, daß bei maximal möglicher Schrägstellung des Rotors 3 aufgrund des Lager¬ spiels in der Lagerbohrung 11 der Rotor 3 immer noch schwimmt, d.h., daß er nicht gleichzeitig an seinen beiden Stirnseiten anläuft.The rotor 3, which is shown again in FIGS. 2 and 3, is located within the inner part 7. It is made in one piece and has two anchor sections 21, 22 arranged on the end face and a bearing section 23 located between the anchor sections 21, 22. Bearing section 23 and the anchor sections 21, 22 have an identical diameter. The anchor sections 21, 22 are equipped with slots 25, 26 for slides 27, 28. These are each milled from the associated end face of the rotor, so that exact slot dimensions can be achieved in a simple manner. The bearing section 23 lies between the armature sections 21, 22. The bearing section 23 and the bearing bore 11 form the only bearing of the rotor. This bearing must be of sufficient axial length to prevent the rotor from wobbling. The length of the bearing is expediently to be chosen so that when the rotor 3 is inclined as much as possible due to the bearing play in the bearing bore 11, the rotor 3 still floats, i.e. that it does not run against its two end faces at the same time.
Der Ankerabschnitt 22 und der zugehörige Schöpfraum 9 sind länger ausgebildet als der Ankerabschnitt 21 mit dem Schöpf¬ raum 8. Ankerabschnitt 22 und Schöpfräum 9 bilden die Hochvakuumstufe. Während des Betriebs steht der Einlaß der Hochvakuumstufe 9, 22 mit dem Ansaugstutzen 30 in Verbin¬ dung. Der Auslaß der Hochvakuumstufe 9, 22 und der Einlaß der Vorvakuumstufe 8, 21 stehen über die Gehäusebohrung 31 mit ihrer Achse 32 in Verbindung, die sich parallel zu den Achsen 15, 16 der Schöpfräume 8,9 erstreckt. Der Auslaß der Vorvakuumstufe 8, 21 mündet in den ölrau 17, der den ölsumpf 20 umfaßt. Dort beruhigen sich die ölhaltigen Gase und verlassen die Pumpe 1 durch den Auslaßstutzen 33. Aus Gründen der Übersichtlichkeit sind die Einlaß- und Ausla߬ öffnungen der beiden Pumpenstufen in Fig. 1 nicht darge¬ stellt. Das Gehäuse 2 der Pumpe ist zweckmäßig ebenfalls aus möglichst wenig Teilen aufgebaut. Zumindest die die beiden Schöpfräume 8, 9 und den ölraum 17 umfassenden Wandungsab¬ schnitte 5, 7 sollten einstückig ausgebildet sein.The anchor section 22 and the associated scoop chamber 9 are longer than the anchor section 21 with the scoop chamber 8. The anchor section 22 and the scoop chamber 9 form the high vacuum stage. During operation, the inlet of the high vacuum stage 9, 22 is connected to the intake manifold 30. The outlet of the high vacuum stage 9, 22 and the inlet of the fore vacuum stage 8, 21 are connected via the housing bore 31 to their axis 32, which extends parallel to the axes 15, 16 of the scooping spaces 8, 9. The outlet of the fore-vacuum stage 8, 21 opens into the oil chamber 17, which comprises the oil sump 20. The oily gases calm down there and leave the pump 1 through the outlet port 33. For reasons of clarity, the inlet and outlet openings of the two pump stages are not shown in FIG. 1. The housing 2 of the pump is also expediently constructed from as few parts as possible. At least the wall sections 5, 7 comprising the two scooping spaces 8, 9 and the oil space 17 should be formed in one piece.
Koaxial mit der Achse 14 der Lagerbohrung 11 ist das Lager¬ stück 13 mit einer Bohrung 35 für einen Rotorantrieb ausge¬ rüstet. Dieses kann unmittelbar die Welle 36 des Antriebs¬ motors 4 sein. Bei dem in Figur 1 dargestellten Ausführungs¬ beispiel ist zwischen der freien Stirnseite der Antriebs¬ welle 4 und dem Rotor 3 ein Kupplungsstück 37 vorgesehen. Die Kupplung des Rotors 3 mit dem Kupplungsstück 37 sowie des KupplungsStückes 37 mit der Antriebswelle 36 erfolgt formschlüssig über Vorsprünge und korrespondierende Ausspa¬ rungen. Beim dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Rotor 3 auf seiner dem Kupplungsstück 37 zugewandten Stirnseite mit einer länglichen Aussparung 38 ausgerüstet, die sich senkrecht zum Schieberschlitz 26 erstreckt (siehe auch Fig. 2). Mit einem länglichen Vorsprung 39 greift das Kupplungs¬ stück 37 in die Aussparung 38 ein. Der Vorsprung 39 des Kupplungsstückes 37 ist seinerseits mit der Aussparung 41 ausgerüstet, welche den Schieber 28 umgreift. Eine entspre¬ chende Verbindung besteht zwischen der Antriebswelle 36 mit ihrer länglichen Aussparung 42 und dem Kupplungsstück 37 mit dem korrespondierenden Vorsprung 43.Coaxial with the axis 14 of the bearing bore 11, the bearing piece 13 is equipped with a bore 35 for a rotor drive. This can be directly the shaft 36 of the drive motor 4. In the embodiment shown in FIG. 1, a coupling piece 37 is provided between the free end face of the drive shaft 4 and the rotor 3. The coupling of the rotor 3 with the coupling piece 37 and the coupling piece 37 with the drive shaft 36 takes place in a form-fitting manner via projections and corresponding recesses. In the exemplary embodiment shown, the rotor 3 is equipped on its end face facing the coupling piece 37 with an elongated recess 38 which extends perpendicular to the slide slot 26 (see also FIG. 2). With an elongated projection 39, the coupling piece 37 engages in the recess 38. The projection 39 of the coupling piece 37 is in turn equipped with the recess 41 which engages around the slide 28. A corresponding connection exists between the drive shaft 36 with its elongated recess 42 and the coupling piece 37 with the corresponding projection 43.
Die Aussparungen 38, 42 und die Vorsprünge 39, 43 können auch vertauscht sein. Figur 3 zeigt eine weitere Lösung, bei der die antriebsseitige Stirnseite des Rotors 3 mit einem im Durchmesser reduzierten Ansatz 44 ausgerüstet ist. Dadurch entsteht neben dem vom Schieber eingenommenen Raum ein Schlitz, in den ein länglicher Vorsprung am Kupplungsstück 37 oder an der Welle 36 eingreifen kann. Bei vielen, insbesondere größeren zweistufigen Vakuumpumpen soll die Hochvakuumstufe 9, 22 ein größeres Saugvermögen als die Vorvakuumstufe haben. Um dieses bei identischem Durch¬ messer der Ankerabschnitte erreichen zu können, ist muß die axiale Länge der Hochvakuumstufe größer als die Länge der Vorvakuumstufe sein, z.B. mindestens doppelt so groß. Durch die antriebsseitige Anordnung der Hochvakuumstufe ergibt sich der Vorteil, daß nur die kurze Vorvakuumstufe fliegend gelagert ist, während sind die relativ lange Hochvakuumstufe im Kupplungsstück 37 bzw. - wenn dieses nicht vorhanden ist - in der Welle 36 abstützt.The recesses 38, 42 and the projections 39, 43 can also be interchanged. FIG. 3 shows a further solution in which the drive-side end face of the rotor 3 is equipped with a shoulder 44 with a reduced diameter. This creates a slot in addition to the space occupied by the slide, into which an elongated projection on the coupling piece 37 or on the shaft 36 can engage. In many, in particular larger, two-stage vacuum pumps, the high vacuum stage 9, 22 should have a higher pumping speed than the fore-vacuum stage. In order to be able to achieve this with an identical diameter of the armature sections, the axial length of the high vacuum stage must be greater than the length of the fore vacuum stage, for example at least twice as long. The arrangement of the high-vacuum stage on the drive side has the advantage that only the short forevacuum stage is overhung, while the relatively long high-vacuum stage is supported in the coupling piece 37 or - if this is not present - in the shaft 36.
Die Pumpe nach Figur 1 ist schließlich noch mit einer ölpumpe ausgerüstet. Diese besteht aus dem in das Lagerstück 13 von der Motorseite her eingelassenen Schöpfraum 45 mit dem darin rotierenden Exzenter 46. Dem Exzenter liegt ein Sperrschieber 47 an, der unter dem Druck der Spiralfeder 48 steht.The pump of Figure 1 is finally equipped with an oil pump. This consists of the scooping space 45 let into the bearing piece 13 from the motor side with the eccentric 46 rotating therein. The eccentric is connected to a locking slide 47 which is under the pressure of the spiral spring 48.
Über eine Bohrung 51 steht der Einlaß der ölpumpe 45, 46 mit dem ölsumpf 20 in Verbindung. Alle Stellen der Pumpe 1, die öl benötigen, stehen mit dem Auslaß der ölpumpe 45, 46 in Verbindung. Als Beispiel ist eine Bohrung 51' dargestellt, die über eine Querbohrung 51'' in den Lagerabschnitt 11 im Innenteil 7 der Pumpe 1 mündet und die dort befindliche Lagerung mit Schmieröl versorgt.The inlet of the oil pump 45, 46 is connected to the oil sump 20 via a bore 51. All points of the pump 1 that require oil are connected to the outlet of the oil pump 45, 46. As an example, a bore 51 'is shown which opens into the bearing section 11 in the inner part 7 of the pump 1 via a transverse bore 51' 'and supplies the bearing located there with lubricating oil.
Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 1 ist der Exzenter 46 der ölpumpe Bestandteil des KupplungsStückes 37. Er ist entweder fest oder formschlüssig - axial verschieblich auf dem Vorsprung 42 angeordnet - mit dem Kupplungsstück 37 verbunden. Insgesamt bildet die beschriebene Lösung die Möglichkeit auf eine separate pumpenseitige Lagerung der Motorwelle 36 zu verzichten. Das Lagerstück 13 und - falls vorhanden - das Kupplungsstück 37 können diese Funktion übernehmen. Darüberhinaus besteht die Möglichkeit, im Bereich der dargestellten Stirnseite der Welle 36 Lageranstellkräfte für das im Bereich der nicht dargestell¬ ten Stirnseite der Welle 36 vorhandene Lager zu erzeugen. Dazu ist die dargestellte Stirnseite mit einer zentralen Sackbohrung 49 versehen, in der sich die Druckfeder 50 befindet. Die Druckfeder 50 stützt sich auf dem Vorsprung 43 des KupplungsStückes 37 sowie in der Sackbohrung 49 ab und erzeugt einander entgegengerichtete Kräfte auf die Welle 37 (Anstellkräfte für das nicht dargestellte Lager der Welle 36) und das Kupplungsstück 37. Insbesondere bei axial verschieblichem Exzenter 46 wirken sich diese Kräfte auch auf den Rotor 3 aus, dessen vorvakuumseitige Stirnseite damit gegen die Endscheibe 12 gedrückt wird. Diese Kraft reduziert den aufgrund des Spiels vorhandenen Spalt zwischen Rotorstirnseite und Endscheibe 12, so daß eine maßgebliche Verbesserung des Kompressionsvermögens und damit ein bes¬ serer Enddruck erzielt werden können. Dieser Vorteil der Dichtheit im Bereich der Vorvakuumstufe ergibt sich unab¬ hängig von den vorhandenen Toleranzen und kann deshalb ohne besondere Erhöhung des Fertigungsaufwandes erzielt werden.In the exemplary embodiment according to FIG. 1, the eccentric 46 of the oil pump is part of the coupling piece 37. It is either fixed or positively connected - axially displaceably arranged on the projection 42 - to the coupling piece 37. Overall, the solution described provides the option of dispensing with a separate pump-side mounting of the motor shaft 36. The bearing piece 13 and - if present - the coupling piece 37 can take over this function. In addition, there is the possibility, in the region of the end face of the shaft 36 shown To generate bearing contact forces for the bearing present in the region of the end face of the shaft 36 (not shown). For this purpose, the end face shown is provided with a central blind bore 49, in which the compression spring 50 is located. The compression spring 50 is supported on the projection 43 of the coupling piece 37 and in the blind bore 49 and generates opposing forces on the shaft 37 (contact forces for the shaft 36 bearing, not shown) and the coupling piece 37. In particular with an axially displaceable eccentric 46 act these forces also affect the rotor 3, the fore-end of which is thus pressed against the end plate 12. This force reduces the gap between the rotor end face and the end disk 12 due to the play, so that a significant improvement in the compression capacity and thus a better final pressure can be achieved. This advantage of tightness in the area of the fore-vacuum stage arises independently of the existing tolerances and can therefore be achieved without a particular increase in the manufacturing effort.
Das Kupplungsstück 37 bildet außerdem noch die Lauffläche für einen Dichtring 55, der sich in einer ringförmigen Aussparung 56 im Lagerstück 13 befindet, und zwar auf der dem Schöpfräum 9 zugewandten Seite des Lagerstücks 13. Ist der Rotor 3 unmittelbar mit der Antriebswelle 36 gekoppelt, dann kann das Lagerstück 13 mit einer weiteren - motorseiti- gen - Aussparung für einen Dichtring ausgerüstet sein. Schließlich hat das Lagerstück 13 noch die Funktion, die Pumpe 1 über den am Lagerstück 13 angeschraubten Fuß 57 abzustützen.The coupling piece 37 also forms the running surface for a sealing ring 55, which is located in an annular recess 56 in the bearing piece 13, on the side of the bearing piece 13 facing the pump chamber 9. If the rotor 3 is directly coupled to the drive shaft 36, then can the bearing piece 13 be equipped with a further recess on the motor side for a sealing ring. Finally, the bearing piece 13 also has the function of supporting the pump 1 via the foot 57 screwed onto the bearing piece 13.
Beim dargestellten Ausführungsbeispiel mit der ölpumpe 45, 46 ist das Lagerstück 13 auf seiner dem Motor 4 zugewandten Seite mit einer kreisförmigen Aussparung 58 ausgerüstet, in der sich eine Scheibe 59 befindet. Diese wird vom Gehäuse 61 des Antriebsmotors 4 in ihrer Position gehalten. Sie ist mit einer zentralen Bohrung 62 ausgerüstet, die von der Welle 36 des Antriebsmotors 4 durchsetzt ist. Die Welle 36 bildet die Lauffläche für einen zweiten Wellendichtring 63, der sich in einer motorseitigen Aussparung 64 der Scheibe 59 befindet. Außerdem hat die Scheibe 59 die Aufgabe, den Schöpfräum 45 der ölpumpe 45, 46 zu begrenzen. Schließlich kann die Scheibe 59 - allein oder zusammen mit dem Lagerstück 13 - ebenfalls die einzige pumpenseitige Lagerung der Motorwelle 36 bilden.In the illustrated embodiment with the oil pump 45, 46, the bearing piece 13 is equipped on its side facing the engine 4 with a circular recess 58 in which a disk 59 is located. This is held in position by the housing 61 of the drive motor 4. It is equipped with a central bore 62, which is from the shaft 36 of the drive motor 4 is penetrated. The shaft 36 forms the running surface for a second shaft sealing ring 63, which is located in a recess 64 on the motor side of the disk 59. In addition, the disc 59 has the task of limiting the scooping space 45 of the oil pump 45, 46. Finally, the disk 59 - alone or together with the bearing piece 13 - can also form the only pump-side bearing of the motor shaft 36.
In Figur 2 sind außerdem der Auslaß 75 der Hochvakuumstufe und der Einlaß 76 der Vorvakuumstufe erkennbar. An den in Drehrichtung 74 vor der Ankeranlage 72 gelegenen Auslaß 75 schließt sich eine Bohrung 77 (gestrichelt) an, die den Auslaß 75 mit dem Kanalabschnitt 31 verbindet. Eine ent¬ sprechende Bohrung 78 führt vom Kanalabschnitt 31 zum Einlaß 76 der Vorvakuumstufe, die - in Bezug auf die Drehrichtung 74 - hinter der Ankeranlage 71 angeordnet ist. Die Bohrungen 77, 78 verlaufen schräg zur Ebene 73.In Figure 2, the outlet 75 of the high vacuum stage and the inlet 76 of the fore vacuum stage can also be seen. At the outlet 75 located in the direction of rotation 74 in front of the anchor system 72 there is a bore 77 (dashed line) which connects the outlet 75 to the channel section 31. A corresponding bore 78 leads from the channel section 31 to the inlet 76 of the forevacuum stage, which - in relation to the direction of rotation 74 - is arranged behind the anchor system 71. The bores 77, 78 run obliquely to the plane 73.
Die Ausführungsform nach Figur 2 ermöglicht bei konzentrisch gelegenen Schöpfräumen 8, 9 und geradem Kanalabschnitt 31 eine Verbindung von Hochvakuumstufe und Vorvakuumstufe mit möglichst kleinen Volumen (Totvolumen).The embodiment according to FIG. 2 enables a connection of the high vacuum stage and the fore vacuum stage with the smallest possible volume (dead volume) in the case of concentrically located scooping spaces 8, 9 and straight channel section 31.
Bei der Ausführungsform nach den Figuren 3 und 4 ist dieses Volumen noch kleiner, da die Bohrungen 77, 78 wesentlich kürzer sind. Bei dieser Ausführungsform sind die Schöpfräume 8, 9 gegenüber der Ausführungsform nach Figur 2 jeweils um einen kleinen Betrag versetzt und verdreht. Diese Beträge sind so gewählt, daß der Auslaß 75 der Hochvakuumstufe, der Einlaß 76 der Vorvakuumstufe und die Bohrungen 77, 78, die den Auslaß 75 bzw. den Einlaß 76 mit dem Kanalabschnitt 31 verbinden, axial hintereinander liegen. Die Ankeranlagen 71, 72 liegen jeweils seitlich davon, bei der Hochvakuumstufe in Bezug auf die Drehrichtung 74 hinter dem Auslaß 75, bei der Vorvakuumstufe vor dem Einlaß 76. Bei dieser Ausführungsform liegen die Achsen der Schöpfräume 15, 16 in einer Ebene 79, die sich senkrecht zur Ebene 73 - gebildet durch die Achsen 32 und 14 - erstreckt. Auch die Achsen der Bohrungen 77, 78 liegen in der Ebene 73. Innerhalb dieser Ebene können sie auch geneigt angeordnet sein.In the embodiment according to FIGS. 3 and 4, this volume is even smaller since the bores 77, 78 are significantly shorter. In this embodiment, the scoops 8, 9 are each offset and rotated by a small amount compared to the embodiment according to FIG. 2. These amounts are chosen so that the outlet 75 of the high vacuum stage, the inlet 76 of the fore vacuum stage and the bores 77, 78, which connect the outlet 75 and the inlet 76 to the channel section 31, lie axially one behind the other. The anchor systems 71, 72 each lie to the side of it, in the high vacuum stage with respect to the direction of rotation 74 behind the outlet 75, in the fore vacuum stage in front of the inlet 76. In this embodiment, the axes of the pumping chambers 15, 16 lie in a plane 79 which extends perpendicular to plane 73 - formed by axes 32 and 14. The axes of the bores 77, 78 also lie in the plane 73. Within this plane, they can also be arranged inclined.
Die Vorteile der Ausführungsform nach den Figuren 3 und 4 liegen nicht nur in dem sehr kleinen Totvolumen zwischen den beiden Pumpstufen; wegen des Versatzes der Schöpfräume 8, 9 entfallen komplizierte Gußkanäle, so daß sich insgesamt eine fertigungstechnische Vereinfachung ergibt.The advantages of the embodiment according to FIGS. 3 and 4 lie not only in the very small dead volume between the two pump stages; Because of the offset of the scoops 8, 9, there are no complicated cast channels, so that there is an overall simplification of the manufacturing process.
Die Figuren 5 und 6 zeigen nochmals vereinfacht Schnitte durch Ausführungsbeispiele von Pumpen mit erfindungsgemäß gestalteten Gehäusen. Bei beiden Pumpen sind die Wandung 5 und der Deckel 6 einstückig ausgebildet und bilden eine Haube, die das Innenteil 7, 12 umschließt und gemeinsam damit den ölraum 17 bildet. Das Gehäuseteil 7 (Pumpen- bzw. Ankerring) , das beide Schöpfräume 8, 9 und die Lagerbohrung 11 bildet, ist beim Ausführungsbeispiel nach Figur 5 ein¬ stückig. Figur 6 zeigt eine Version, bei der das Lagerstück 13 und der Gehäuseabschnitt 7', der den lagerstückseitigen Schöpfräum 9 umschließt, einstückig ausgebildet sind. FIGS. 5 and 6 again show simplified sections through exemplary embodiments of pumps with housings designed according to the invention. In both pumps, the wall 5 and the cover 6 are formed in one piece and form a hood which surrounds the inner part 7, 12 and together therewith forms the oil space 17. The housing part 7 (pump or anchor ring), which forms both scoops 8, 9 and the bearing bore 11, is in one piece in the embodiment according to FIG. FIG. 6 shows a version in which the bearing piece 13 and the housing section 7 ', which encloses the scoop space 9 on the bearing piece, are formed in one piece.

Claims

PATENTANSPRÜCHE PATENT CLAIMS
1. Gehäuse (2) für eine zweistufige Drehschiebervakuum¬ pumpe (1) mit zwei Schöpfräumen (8, 9) mit jeweils einer Ankeranlage (71 bzw. 72) sowie mit einem den Auslaß (75) der Hochvakuumstufe mit dem Einlaß (76) der Vorvakuumstufe verbindenden, im Gehäuse (2) angeord¬ neten Kanal (77,31, 78), dadurch gekennzeichnet, daß Bestandteil des Kanales (77, 31, 78) ein sich parallel zu den Achsen (15, 16) der Schöpfräume (8, 9) erstrek- kender Kanalabschnitt (31) ist, der über Bohrungen (77, 78) mit dem Auslaß (75) des Schöpfraumes (9) der Hochvakuumstufe (9, 22) bzw. mit dem Einlaß (76) des Schöpfraumes (8) der Vorvakuumstufe (8, 21) verbunden ist.1. Housing (2) for a two-stage rotary vane vacuum pump (1) with two scoops (8, 9), each with an anchor system (71 or 72) and with an outlet (75) of the high vacuum stage with the inlet (76) of the Fore-vacuum stage connecting channel (77, 31, 78) arranged in the housing (2), characterized in that part of the channel (77, 31, 78) is a parallel to the axes (15, 16) of the scoops (8, 9) is an extending channel section (31) which, via bores (77, 78), with the outlet (75) of the pump chamber (9) of the high vacuum stage (9, 22) or with the inlet (76) of the pump chamber (8) the forevacuum stage (8, 21) is connected.
2. Gehäuse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich zwischen den Schöpfräumen (8, 9) eine die Krümmung der Ankeranlagen (71, 72) bestimmende Lagerbohrung (11) befindet.2. Housing according to claim 1, characterized in that between the scoops (8, 9) is a curvature of the anchor systems (71, 72) determining the bearing bore (11).
3. Gehäuse nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Lagerbohrung (11) die einzige Lagerbohrung im Gehäuse (2) ist.3. Housing according to claim 2, characterized in that the bearing bore (11) is the only bearing bore in the housing (2).
4. Gehäuse nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Schöpfräume (8, 9) konzentrisch zueinander und die Ankeranlagen (71, 72) axial hintereinander in unmittelbarer Nähe des Kanalabschnittes (31) derart angeordnet sind, daß die Achse (32) des Kanalabschnit¬ tes (31) und die Achse (14) der Lagerbohrung (11) eine Ebene (73) bilden, in der auch die Achsen (15, 16) der Schöpfräume (8, 9) liegen.4. Housing according to claim 2 or 3, characterized in that the scoops (8, 9) concentric with each other and the anchor systems (71, 72) are arranged axially one behind the other in the immediate vicinity of the channel section (31) such that the axis (32) of the channel section (31) and the axis (14) of the bearing bore (11) have a plane (73) form, in which the axes (15, 16) of the scoops (8, 9) lie.
5. Gehäuse nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Bohrungen (77, 78) schräg zur Ebene (73) erstrecken und in den jeweils seitlich neben der jeweiligen Ankeranlage (71 bzw. 72) gelegenen Auslaß (75) der Hochvakuum- bzw. Einlaß (76) der Vorvakuum¬ stufe münden.5. Housing according to claim 4, characterized in that the bores (77, 78) extend obliquely to the plane (73) and in the respective side next to the respective anchor system (71 or 72) located outlet (75) of the high vacuum or Inlet (76) of the fore-vacuum stage opens out.
6. Gehäuse nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Schöpfräume (8, 9) gegenüber einer konzentri¬ schen Anordnung jeweils um einen solchen Betrag ver¬ dreht und versetzt sind, daß die Bohrungen (77, 78) in der durch die Achse (32) des Kanalabschnittes (31) und die Achse (14) der Lagerbohrung (11) bestimmten Ebene (73) liegen.6. Housing according to claim 1 or 3, characterized in that the scoops (8, 9) relative to a concentric arrangement are rotated and offset by such an amount that the bores (77, 78) in the through Axis (32) of the channel section (31) and the axis (14) of the bearing bore (11) certain plane (73).
7. Gehäuse nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Ankeranlagen (71, 72) jeweils seitlich vom Auslaß (75) der Hochvakuumstufe bzw. Einlaß (76) der Vorvakuumstufe befinden.7. Housing according to claim 6, characterized in that the anchor systems (71, 72) are located laterally from the outlet (75) of the high vacuum stage or inlet (76) of the fore vacuum stage.
8. Gehäuse nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Achsen (15, 16) der Schöpfräume (8, 9) eine Ebene (79) bilden, die senkrecht zur Ebene (73) liegt, bestimmt durch die Achse (14) der Lagerbohrung (11) und der Achse (32) des Kanalabschnittes (31).8. Housing according to claim 6 or 7, characterized in that the axes (15, 16) of the scoops (8, 9) form a plane (79) which is perpendicular to the plane (73), determined by the axis (14) the bearing bore (11) and the axis (32) of the channel section (31).
9. Gehäuse nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Gehäuseteil (7) , in dem sich die Schöpfräume (8, 9) befinden, einstückig ausgebildet ist. 9. Housing according to one of the preceding claims, characterized in that the housing part (7), in which the scooping spaces (8, 9) are located, is integrally formed.
10. Gehäuse nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuseteil (7) zusammen mit einem äußeren, einen ölraum (17) umfassenden Gehäuseteil (7) zusammen einstückig ausgebildet ist.10. Housing according to claim 9, characterized in that the housing part (7) together with an outer, an oil space (17) comprising housing part (7) is integrally formed.
11. Gehäuse nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein antriebsseitiges Lagerstück (13) vorgesehen ist und daß dieses mit dem Gehäuseab¬ schnitt (7') einstückig ausgebildet ist, das den lagerstückseitigen Schöpfräum (9) umschließt.11. Housing according to one of claims 1 to 8, characterized in that a drive-side bearing piece (13) is provided and that this is formed in one piece with the housing section (7 '), which encloses the bearing-side scoop space (9).
12. Gehäuse nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeich¬ net, daß das äußere Gehäuseteil (5, 7) als Haube gestaltet ist.12. Housing according to claim 10 or 11, characterized gekennzeich¬ net that the outer housing part (5, 7) is designed as a hood.
13. Pumpe mit Rotor (3) und einem Gehäuse (2) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Rotor (3) einstückig ausgebildet ist.13. Pump with rotor (3) and a housing (2) according to one of the preceding claims, characterized in that the rotor (3) is integrally formed.
14. Pumpe nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß beide Ankerabschnitte (21, 22) des Rotors (3) stirnsei¬ tig angeordnet sind, daß der zwischen den Ankerabschnit¬ ten (21, 22) befindliche Lagerabschnitt (11) der einzige Lagerabschnitt ist und daß beide Schieber¬ schlitze (25, 26) von ihrer jeweiligen Stirnseite her offen sind.14. Pump according to claim 11, characterized in that both armature sections (21, 22) of the rotor (3) are arranged on the end face, that the bearing section (11) located between the armature sections (21, 22) is the only bearing section and that both slider slots (25, 26) are open from their respective end faces.
15. Pumpe nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Ankerabschnitt (22) der Hochvakuumstufe (9, 22) minde¬ stens doppelt so lang ist wie der Ankerabschnitt (21) der vorvakuumstufe (8, 21).15. Pump according to claim 12, characterized in that the armature section (22) of the high vacuum stage (9, 22) is at least twice as long as the armature section (21) of the fore-vacuum stage (8, 21).
16. Pumpe nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Länge des Lagerabschnittes (11) mindestens 10%, vorzugsweise mindestens 25%, der Länge des Rotors (3) beträgt. 16. Pump according to claim 12 or 13, characterized in that the length of the bearing section (11) is at least 10%, preferably at least 25%, of the length of the rotor (3).
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