EP0611482A1 - Ion-optical system for gas discharge ion source. - Google Patents

Ion-optical system for gas discharge ion source.

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EP0611482A1
EP0611482A1 EP93919396A EP93919396A EP0611482A1 EP 0611482 A1 EP0611482 A1 EP 0611482A1 EP 93919396 A EP93919396 A EP 93919396A EP 93919396 A EP93919396 A EP 93919396A EP 0611482 A1 EP0611482 A1 EP 0611482A1
Authority
EP
European Patent Office
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wires
grid
optical system
frames
rollers
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EP93919396A
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German (de)
French (fr)
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EP0611482B1 (en
Inventor
Vladimir Grantovich Grigoryan
Valeriy Ivanovich Minakov
Vladimir Alexeevich Obukhov
Petr Petrovich Ogadjanov
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Societe Europeenne de Propulsion SEP SA
Original Assignee
Societe Europeenne de Propulsion SEP SA
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J27/00—Ion beam tubes
    • H01J27/02—Ion sources; Ion guns
    • H01J27/022—Details
    • H01J27/024—Extraction optics, e.g. grids

Definitions

  • the present invention relates to the field of ion discharge sources in gases and, more specifically, relates to an ion optical system for ion discharge source in a gas and can be used in beam forming systems. intense ionic.
  • Ionics systems are known for sources of ion to discharge in a gas comprising two or more electrodes formed by flanges and grids in the form of flat discs with holes (Kaufman H.R. and Robinson,
  • a known remedy applied for space ion sources consists in using curved grids (spherical) much less sensitive to thermal deformations and to the destabilizing influence of electrostatic forces.
  • An increase in transparency allows more efficient use of the surface which is the: source of ions; the density of the current through the ion optical system decreasing with the increase in diameter (d) of orifice, it is desirable to produce grids in the form of discs with small orifices and with high transparency.
  • the thickness of the bridge 1 between the orifices is at least 0.5 mm, which is not technologically easy.
  • the maximum transparency that can be obtained for the screen grid is of the order of 0.67.
  • the use of hexagonal holes allows this maximum value to be increased to 0.7.
  • an ion optical system for a source of gas discharge ions comprising an accelerating grid and a screen grid formed by parallel wires fixed to frames by leaf springs and constituting outlet slots, as well as insulator groups on which the frames are installed (SU-A-472396). Thanks to such electrodes constituted by wire frames, it is possible to use in this system orifices of small diameters, which ensures a high transparency of the ion optical system, greater than 0.7.
  • the objective of the invention is to provide an ion optical system for a source of ions discharging into a gas, the structure of which allows the spatial position of the electrode wires to be established and kept constant. during the operation of the ion source, and to improve the operating stability of the system with preservation of a high transparency.
  • an ion optical system for a gas discharge ion source comprising screen and accelerator grids constituted by frames and a system of parallel wires fixed to the frames by means of springs, the grid frames being assembled by groups of insulators to which they are fixed, is provided according to the invention with a displacement device for adjusting the wires in each grid, comprising rollers arranged transversely with respect to the wires in each of the grids and offering guide elements where the wires are arranged, the rollers being installed on the frames of the grids with the possibility of turning around their axis and of changing position in space together with the wires.
  • Each roller of the movement device for adjusting the threads can be mounted by a shaft end in the frame in an articulated manner and, by an opposite shaft end, in an eccentric sleeve mounted in the frame with the possibility of turning around of its axis.
  • each roller is installed by two opposite ends of the shaft in eccentric sleeves arranged in the frames with the possibility of turning around their axis, one of the ends of shaft of each roller being articulated to the eccentric sleeve.
  • the displacement device for adjusting the wires allows, in this system, to arrange the wires, if necessary, in each grid with a precise pitch and to fix them with a given clearance between the grids, which makes it possible to modify the geometry of the slits and the trajectory of the movement of the charged particles.
  • the rollers receiving the wires in their guide elements allow, during the movement of the rollers around their axes, to effect a simultaneous displacement of the wires until their axes become parallel in the two grids. This allows a fine adjustment of the play between grids.
  • the guide elements of the rollers in the form of a thread whose pitch is equal to or less than the pitch of the wires in an entire ratio, which guarantees a more secure adjustment of the position of the wires in each grid.
  • the diameter of the wires of the accelerating grid is greater than that of the wires of the screen grid, this makes it possible to reduce the probability passage of neutral particles through the ion optics system and increase the pervéance of the ion optics.
  • the particles, after interaction with the accelerating grid return to the gas discharge, which generally increases the gas efficiency of the ion source.
  • the rolls of the screen grid may have a profile, in sections equal to the pitch of the wires of the accelerating grid, such that the distance between the strings of the screen grid and the layout plane of the wires of the accelerating grid in each section increases edges towards the center of it.
  • the wires of the grids can be produced in two coaxial parts, the external part of which is made in the form of a removable tube installed with adjustment with gentle friction on the ⁇ internal part.
  • the inner part of each wire preferably has a diameter equal to that of the wires of the screen grid. This makes it possible to increase the life of the wire grids, thanks to an increase in the volume of the material which can be sprayed by recharging ions before the grid is put out of use.
  • the design of the wires comprising two coaxial parts makes it possible to carry out the fixing and the tensioning only on the internal part of the wires, which however offer the desired total thickness. This simplifies the wire fixing assembly, reduces its mass and size and widens the range of usable grid materials. It is interesting to replace each wire of the screen grid by three or more wires arranged in a determined geometric pattern.
  • the springs are arranged on each frame of the grid in several rows, the springs of the rows adjacent being mutually offset by a multiple of the pitch of the threads of the rollers. All this makes it possible to arrange the wires with a minimum pitch given without limitation due to the size of the springs.
  • the ion optics system proposed above ensures reliable operation of the gas discharge ion source with parameters that are stable over time and improves the lifetime of the grids and of the whole system in general, as well as the source yield.
  • FIG. 1 shows in cross section an ion optical system with two grids according to the invention
  • Figure 2 shows the object of Figure 1 along arrow A;
  • FIG. 3 shows an alternative embodiment of the grids where the springs are arranged in two rows
  • FIG. 4 represents a detail of the embodiment of the roller where the grooves of the roller are replaced by a thread
  • FIG. 5 represents an assembly of the roller by a simple yoke
  • FIG. 6 represents, with the associated blocking devices, an assembly of the roller in an eccentric
  • FIG. 7 shows a variant of fixing the rollers in a grid frame
  • - Figure 8 shows a screen grid-accelerator grid assembly provided with tubes mounted on the wires
  • - Figure 9 represents an accelerator grid where each elementary wire is replaced by at least 3 wires
  • FIG. 10 is a cross section X-X applicable to FIG. 8 and / or to FIG. 9.
  • the ion optics system for a source of ions to discharge in the proposed gas comprises (FIG. 1): a screen grid 1 and an accelerating grid 2, constituted respectively by frames 3 and 4 and systems of parallel wires 5 and 6 and insulators 7 provided with metal ends 8 on which the frames 3 and 4 of the grids 1 and 2 are fixed respectively.
  • the ions are extracted through the screen grid of the plasma 129 produced by the ionization chamber 128.
  • the device 9 for the adjustment movement of the wires 5 and 6 of the electrodes 1 and 2 respectively comprises rollers 11, arranged in pairs for example, in each grid 1, 2 transversely to the wires 5 and 6, as shown in the figure 2, guide elements 12, for example grooves, (FIG. 1) being provided on the external surface of the rollers 11.
  • the wires 5, 6 of the grids 1, 2 pass through the guide elements 12, produced in the form of grooves circular 13 ( Figure 3) or a thread 14 ( Figure 4) whose pitch h is equal to the pitch h ⁇ of the wires or less than this pitch in an entire ratio, which allows, if necessary, to arrange the wires of each grid 1 or 2 with a specified pitch.
  • each device 9 The rollers 11 (FIG. 2) of each device 9 are installed in the frame 3, 4 of each grid 1, 2 so that they can rotate around their axis OO and change their position in space together with the wires.
  • Each roller is mounted by a shaft end hinged at 15 in the framework of a respective grid 1 or 2 (FIG. 5) and by an opposite shaft end in an eccentric sleeve 16 (FIG.
  • rollers 11 disposed in the framework 3 or 4 with the possibility of turning around its axis O j _-O ⁇ -
  • the rotation of the rollers 11 around their axis OO and that of sleeves around their axis O ⁇ -Oi can be carried out by any means, for example at using a screwdriver as shown in dotted lines; for this purpose, grooves 18 are provided in the center of the sleeve 16 and at the end 17 of the roller 11.
  • the eccentric sleeve 16 and the roller 11 are immobilized after their rotation is carried out for example using a wedge 19 inserted between the frame 3, 4 and the sleeve 16, and a wedge 20 introduced between the sleeve 16 and the end 17 of the roller 11, slides being produced in the body of the frame and of the sleeve to arrange the corners 19 and 20.
  • each of its rollers 11 (FIG. 7) is installed by its shaft ends 17 in excen ⁇ tric sleeves 16 disposed in the frames 3, 4 with the possibility of rotation around their axis, one of the ends (in this case the end 17) of each roller 11 being coupled to the eccentric sleeve 16 by a pivoting means 15.
  • This makes it possible to move the rollers 11 in space (see the movement of the rollers on the pivoting surface) and in particular to adjust separately the average distance 10 and the lack of parallelism between grids.
  • the fixing in position of the rollers 11 after their rotation around the axis and after that of the eccentric sleeve 16 takes place as described for the embodiment of FIG. 6, for example with corners (which are not shown in FIG. 7).
  • the wires 5 of the screen grid 1 are arranged in a pitch h2 equal to the pitch I13 of the wires 6 of the accelerating grid 2 (FIG. 8) or in a pitch I14 smaller than the pitch I15 of the wires 6 of the accelerating grid 2 (FIG. 9) in a whole ratio, the latter fact having the result that the same slot in the accelerating grid 2 is permeable to the ion beams formed by several slots of the screen grid 1 (3 in the example of FIG. 9).
  • the wires 6 of the accelerating grid 2 have a diameter D greater than the diameter D ⁇ of the wires 5 of the screen grid 1, so that the transparency of the latter is greater than the transparency of the former, which is translates into a better efficiency of the gas system, the transparency of the ion ion optical system being determined in this case by the transparency of the screen grid 1 and the transparency in atoms, by the transparency of the accelerating grid 2.
  • the rollers 11 of the device 9 located in the screen grid 1 have a variable diameter (see FIG. 9) over a section equal to the pitch I15 of wires 6 of the accelerating grid 2, the distance 1 ⁇ between the wire 5 of the screen grid 1 and the plane NN which contains the wires 6 of the accelerating grid 2 increases to I4 when passing from the edge to the middle of the section.
  • the wires 5 and 6 of the grids 1 and 2 are fixed to springs 21 (FIGS. 1 and 2) aligned parallel to the rollers 11 of the device and placed in the same row 22 along each of the opposite sides of the frames 3, 4 of the grids 1, 2; as shown in FIG. 3, the springs in adjacent rows are offset with respect to each other by a distance ⁇ multiple of the pitch hg of the guide elements 12 of the rollers 11.
  • Each spring 21 is produced under the form of a leaf spring 24, fixed at one end to the frame 3, 4 with lateral grooves 25 for the passage of the wires, the width of a spring 24 being multiple of the pitch of the guide elements 12.
  • Such configuration makes it possible to arrange the wires with a given pitch, for example less than 1 mm, and to make the wires of grids 1 and 2 in continuous wire.
  • the grids are produced in two coaxial parts 26 and 27 (FIGS. 8 to 10), the external part 26 of which forms a tube 28 (FIG. 10) and is installed with a soft friction adjustment on the internal part 27.
  • the internal part 27 of such wires has an equal diameter to that of the wires 5 of the grid 1.
  • This embodiment of the wires of the grids (especially of the accelerating grid) creates the possibility of quickly replacing the worn and reduced part 26 due to the erosion of its material during the operation of the source, which makes it possible to increase the lifetime of the grids by increasing their thickness.
  • the proposed ion optics system is put into service in a traditional way: a potential corresponding to the energy of the ions in the beam, for example +2 kV, is applied to the screen grid 1 ( Figure 1 ) and a potential of -0.2 to -2 kV is applied to the accelerating grid 2, which is necessary to create a difference in extraction potential.
  • the outlet grid (not shown) is normally produced in the form of an annular grid or in a frame and is grounded. In the discharge chamber of the source, it is necessary to put the plasma material 129 in the slots of the screen grid 1 where the accelerated ions take their departure in the ionic optics system.
  • each grid can be achieved by rotation of eccentric sleeves 16 (Figure 2) during which the wires move in the direction perpendicular to the plane of the frame.
  • the eccentric sleeves 16 are fixed in a new position with the corners 19.
  • the coincidence of the slots in the screen 1 and accelerator 2 grids is obtained by rotation of the rollers 11, when the latter are provided with a threaded groove, around their axes during which the wires move in the plane of each grid.
  • the rollers are fixed in their new position using the corners 20.
  • the use, for example, of a Km 6 cathetometer guarantees the geometric precision of the parameters of the ion optical system to within ⁇ 0.01 mm.
  • the ion optics with wire grids according to the invention are applicable to extended ion sources using the ionization of a gas by one of the following processes:
  • radiofrequency field ion sources RIT type (Radiofrequency Ionization Thrusters), or
  • ion optics with wires have two essential advantages:

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Abstract

La présente invention concerne un système optique ionique pour source d'ions à décharge dans les gaz comportant une grille écran (1) et une grille accélératrice (2) constituées par des cadres (3, 4) respectifs et un système de fils parallèles (5, 6) fixés sur les cadres au moyen de ressorts (21), les cadres des grilles étant assemblés par des isolateurs (7) auxquels ils sont fixés, ce système étant doté d'un dispositif de déplacement (9) pour le réglage des fils dans chaque grille, qui comprend des rouleaux (11) disposés transversalement par rapport aux fils dans chaque grille et offrant des éléments de guidage (12) où sont placés les fils, les rouleaux étant installés sur les cadres des grilles avec la possibilité de tourner autour de leur axe et de changer de position dans l'espace conjointement avec les fils. De préférence, selon un premier mode de réalisation, chaque rouleau est monté par un bout d'arbre articulé sur le cadre et, par un bout d'arbre opposé, est installé dans un manchon excentrique, monté dans le cadre avec la possibilité de tourner autour de son axe. Selon un autre mode de réalisation, chaque rouleau est installé par ses bouts d'arbre dans des manchons excentriques disposés dans les cadres avec la possibilité de tourner autour de leur axe, l'un des bouts d'arbre de chaque rouleau étant articulé au manchon excentrique.The present invention relates to an ion optical system for a gas discharge ion source comprising a screen grid (1) and an accelerating grid (2) constituted by respective frames (3, 4) and a system of parallel wires (5 , 6) fixed to the frames by means of springs (21), the grid frames being assembled by insulators (7) to which they are fixed, this system being provided with a displacement device (9) for adjusting the wires in each grid, which comprises rollers (11) arranged transversely to the wires in each grid and providing guide elements (12) where the wires are placed, the rollers being installed on the frames of the grids with the possibility of rotating around from their axis and to change position in space together with the threads. Preferably, according to a first embodiment, each roller is mounted by a shaft end articulated on the frame and, by an opposite shaft end, is installed in an eccentric sleeve, mounted in the frame with the possibility of rotating around its axis. According to another embodiment, each roller is installed by its shaft ends in eccentric sleeves arranged in the frames with the possibility of rotating around their axis, one of the shaft ends of each roller being hinged to the sleeve eccentric.

Description

Système d'optique ionique pour source d'ions à décharge dans un gaz Ion optics system for a gas discharge ion source
DOMAINE DE LA TECHNIQUETECHNICAL AREA
La présente invention est relative au domaine des sources d'ions à décharge dans les gaz et, plus exactement, concerne un système d'optique ionique pour source d'ions à décharge dans un gaz et peut être utilisée dans des systèmes de formation de faisceaux ioniques intenses. ART ANTERIEURThe present invention relates to the field of ion discharge sources in gases and, more specifically, relates to an ion optical system for ion discharge source in a gas and can be used in beam forming systems. intense ionic. PRIOR ART
On connaît des systèmes d'optique ionique pour sources d'ions à décharge dans un gaz comportant deux électrodes (ou plus) formées par des brides et des grilles en forme de disques plats avec des trous (Kaufman H.R. et Robinson,Ionics systems are known for sources of ion to discharge in a gas comprising two or more electrodes formed by flanges and grids in the form of flat discs with holes (Kaufman H.R. and Robinson,
R.S, Minimum Hole Size in Ion Optics/J. Spacecraft and Rockets 1985, vol. 22, n* 3 pages 381-382).R.S, Minimum Hole Size in Ion Optics / J. Spacecraft and Rockets 1985, vol. 22, n * 3 pages 381-382).
Toutefois, ces systèmes d'optique ionique connus constitués par des grilles plates à orifices cylindriques coaxiaux se déforment pendant le fonc¬ tionnement sous l'effet des contraintes thermiques dues à échauffement de la structure, ce qui remet en cause la coaxialité des orifices et provoque une variation du jeu entre les grilles (modification des paramètres géométriques), qui peut amener une variation de la pervéance de chaque optique élémentaire puis, dans le cas de la diminution du jeu, un accroissement des forces électrostatiques pouvant amener un contact entre les grilles, donc un court circuit. En outre, en pratique le diamètre des optiques ioniques planes est limité à 100 mm.However, these known ion optical systems constituted by flat grids with coaxial cylindrical orifices deform during operation under the effect of thermal stresses due to heating of the structure, which calls into question the coaxiality of the orifices and causes a variation in the clearance between the grids (modification of the geometric parameters), which can bring about a variation in the perveance of each elementary optic, then, in the case of the reduction in clearance, an increase in the electrostatic forces which can bring about a contact between the grids, therefore a short circuit. In addition, in practice the diameter of planar ion optics is limited to 100 mm.
Un remède connu appliqué pour les sources ioniques spatiales consiste à utiliser des grilles bombées (sphériques) beaucoup moins sensibles aux déformations thermiques et à l'influence déstabilisatrice des forces électrostatiques.A known remedy applied for space ion sources consists in using curved grids (spherical) much less sensitive to thermal deformations and to the destabilizing influence of electrostatic forces.
Cette technologie présente toutefois l'inconvénient d'être très complexe et particulièrement coûteuse.However, this technology has the drawback of being very complex and particularly expensive.
Lorsqu'on utilise, dans un système d'optique ionique, des grilles traditionnelles avec des orifices ronds perforés dont les axes sont aux sommets d'un triangle équilatéral, la transparence δF de la grille (le rapport de la superficie cumulée des orifices de diamètre (d) à la superficie totale de la grille) se détermine par une formule connue : d2 δF = 0.91ÇÛJZ Une augmentation de la transparence permet d'utiliser plus efficace¬ ment la surface qui est la:source d'ions ; la densité du courant à travers le système d'optique ionique diminuant avec l'augmentation de diamètre (d) d'orifice, il est souhaitable de réaliser des grilles en forme de disques à petits orifices et à transparence élevée. Pour cela, il faut que l'épaisseur du pont 1 entre les orifices soit au minimum de 0,5 mm, ce qui n'est pas technologiquement facile. Avec une telle configuration à orifices ronds, la transparence maximale que l'on peut obtenir pour la grille écran est de l'ordre de 0,67. L'utilisation d'orifices hexagonaux permet cependant de porter cette valeur maximale à 0,7. On connaît également un système d'optique ionique pour source d'ions à décharge dans un gaz comportant une grille accélératrice et une grille écran formées de fils parallèles fixés sur des cadres par des ressorts à lame et constituant des fentes de sortie, ainsi que des groupes d'isolateurs sur lesquels les cadres sont installés (SU-A-472396). Grâce à de telles électrodes constituées par des cadres à fils, on peut utiliser dans ce système des orifices de petits diamètres, ce qui assure une trans¬ parence élevée du système d'optique ionique, supérieure à 0,7.When using, in an ion optical system, traditional grids with perforated round orifices whose axes are at the vertices of an equilateral triangle, the transparency δF of the grid (the ratio of the cumulative area of the orifices of diameter (d) to the total area of the grid) is determined by a known formula: d2 δ F = 0.91ÇÛJZ An increase in transparency allows more efficient use of the surface which is the: source of ions; the density of the current through the ion optical system decreasing with the increase in diameter (d) of orifice, it is desirable to produce grids in the form of discs with small orifices and with high transparency. For this, it is necessary that the thickness of the bridge 1 between the orifices is at least 0.5 mm, which is not technologically easy. With such a configuration with round orifices, the maximum transparency that can be obtained for the screen grid is of the order of 0.67. However, the use of hexagonal holes allows this maximum value to be increased to 0.7. There is also known an ion optical system for a source of gas discharge ions comprising an accelerating grid and a screen grid formed by parallel wires fixed to frames by leaf springs and constituting outlet slots, as well as insulator groups on which the frames are installed (SU-A-472396). Thanks to such electrodes constituted by wire frames, it is possible to use in this system orifices of small diameters, which ensures a high transparency of the ion optical system, greater than 0.7.
On constate pourtant, dans ce type de système d'optique ionique avec un jeu (fente) entre les fils de grilles de 0,3 à 0,5 mm, une médiocre stabilité de fonctionnement. Ceci est lié aux difficultés d'ajustage mutuel des fils des grilles écran ou accélératrice. L'imprécision d'ajustage provoque la capture d'ions par la grille accélératrice et son usure rapide, ce qui entraîne une perturbation du fonctionnement de la source d'ions. DESCRIPTION DE L'INVENTION L'objectif de l'invention est de réaliser un système d'optique ionique pour source d'ions à décharge dans un gaz dont la structure permette d'établir et de conserver constante la position spatiale des fils d'électrodes pendant le fonc¬ tionnement de la source d'ions, et d'améliorer la stabilité de fonctionnement du système avec conservation d'une transparence élevée. Pour la solution de ce problème, un système d'optique ionique pour source d'ions à décharge dans un gaz, comportant des grilles écran et accélératrice constituées par des cadres et un système de fils parallèles fixés sur les cadres au moyen de ressorts, les cadres des grilles étant assemblés par des groupes d'isolateurs auxquels ils sont fixés, est doté conformément à l'invention d'un dispositif de déplacement pour le réglage des fils dans chaque grille, comportant des rouleaux disposés transversalement par rapport aux fils dans chacune des grilles et offrant des éléments de guidage où sont disposées les fils, les rouleaux étant installés sur les cadres des grilles avec la possibilité de tourner autour de leur axe et de changer de position dans l'espace conjointement avec les fils.However, in this type of ion optic system with a clearance (slit) between the grid wires of 0.3 to 0.5 mm, there is poor operating stability. This is linked to the difficulties of mutual adjustment of the wires of the screen or accelerator grids. The imprecision of adjustment causes ions to be captured by the accelerating grid and its rapid wear, which causes a disturbance in the operation of the ion source. DESCRIPTION OF THE INVENTION The objective of the invention is to provide an ion optical system for a source of ions discharging into a gas, the structure of which allows the spatial position of the electrode wires to be established and kept constant. during the operation of the ion source, and to improve the operating stability of the system with preservation of a high transparency. For the solution of this problem, an ion optical system for a gas discharge ion source, comprising screen and accelerator grids constituted by frames and a system of parallel wires fixed to the frames by means of springs, the grid frames being assembled by groups of insulators to which they are fixed, is provided according to the invention with a displacement device for adjusting the wires in each grid, comprising rollers arranged transversely with respect to the wires in each of the grids and offering guide elements where the wires are arranged, the rollers being installed on the frames of the grids with the possibility of turning around their axis and of changing position in space together with the wires.
Chaque rouleau du dispositif de déplacement pour le réglage des fils peut être monté par un bout d'arbre dans le cadre de manière articulée et, par un bout d'arbre opposé, dans un manchon excentrique monté dans le cadre avec la possibilité de tourner autour de son axe.Each roller of the movement device for adjusting the threads can be mounted by a shaft end in the frame in an articulated manner and, by an opposite shaft end, in an eccentric sleeve mounted in the frame with the possibility of turning around of its axis.
Conformément à une variante de réalisation de ce dispositif de dépla¬ cement, chaque rouleau est installé par deux bouts d'arbre opposés dans des manchons excentriques disposés dans les cadres avec la possibilité de tourner autour de leur axe, l'un des bouts d'arbre de chaque rouleau étant articulé au manchon excentrique. Ainsi par rotation simultanée des deux excentriques, il est possible de faire varier la distance intergrilles, alors que la rotation différentielle des excentriques permet de rattraper un défaut de coplanarité entre les deux grilles. Le dispositif de déplacement pour le réglage des fils permet, dans ce système, de disposer les fils, s'il est nécessaire, dans chaque grille avec un pas précis et de les fixer avec un jeu donné entre les grilles, ce qui permet de modifier la géométrie des fentes et la trajectoire du mouvement des particules chargées. La possibilité de déplacements de réglage des fils et l'utilisation de ressorts permettent, lors du réchauffement des grilles pendant le fonctionnement du système, de maintenir les fils dans leur position dans l'espace, ce qui, pour un courant donné du faisceau, exclut la capture d'ions et le risque de claquage intergrille.According to an alternative embodiment of this displacement device, each roller is installed by two opposite ends of the shaft in eccentric sleeves arranged in the frames with the possibility of turning around their axis, one of the ends of shaft of each roller being articulated to the eccentric sleeve. Thus by simultaneous rotation of the two eccentrics, it is possible to vary the intergrid distance, while the differential rotation of the eccentrics makes it possible to make up for a lack of coplanarity between the two grids. The displacement device for adjusting the wires allows, in this system, to arrange the wires, if necessary, in each grid with a precise pitch and to fix them with a given clearance between the grids, which makes it possible to modify the geometry of the slits and the trajectory of the movement of the charged particles. The possibility of adjustment movements of the wires and the use of springs make it possible, when the grids are heating up during the operation of the system, to maintain the wires in their position in space, which, for a given beam current, excludes the ion capture and the risk of breakdown intergrille.
Ceci améliore la stabilité de fonctionnement du système en général, sa fiabilité et la durée de vie des grilles.This improves the operating stability of the system in general, its reliability and the life of the grids.
Les rouleaux recevant les fils dans leurs éléments de guidage permettent, lors du mouvement des rouleaux autour de leurs axes, d'effectuer un déplacement simultané des fils jusqu'à ce que leurs axes deviennent parallèles dans les deux grilles. Ceci permet de réaliser un ajustage fin du jeu entre grilles.The rollers receiving the wires in their guide elements allow, during the movement of the rollers around their axes, to effect a simultaneous displacement of the wires until their axes become parallel in the two grids. This allows a fine adjustment of the play between grids.
Conformément à l'invention, il est intéressant de réaliser les éléments de guidage des rouleaux sous forme d'un filetage dont le pas est égal ou inférieur au pas des fils dans un rapport entier, ce qui garantit un réglage plus sûr de la position des fils dans chaque grille. II est intéressant que le diamètre des fils de la grille accélératrice soit supérieur à celui des fils de la grille écran, cela permet de diminuer la probabilité de passage de particules neutres à travers le système d'optique ionique et d'augmenter la pervéance de l'optique ionique. Les particules, après interaction avec la grille accélératrice, retournent dans la décharge de gaz, ce qui augmente en général l'efficacité en gaz de la source d'ions. De même, il est aussi intéressant de disposer les fils de la grille écran avec un pas plus petit que celui des fils de la grille accélératrice, dans un rapport entier, cela permet d'augmenter la stabilité de fonctionnement du système d'optique ionique grâce à la stabilisation de la frontière de plasma.In accordance with the invention, it is advantageous to produce the guide elements of the rollers in the form of a thread whose pitch is equal to or less than the pitch of the wires in an entire ratio, which guarantees a more secure adjustment of the position of the wires in each grid. It is interesting that the diameter of the wires of the accelerating grid is greater than that of the wires of the screen grid, this makes it possible to reduce the probability passage of neutral particles through the ion optics system and increase the pervéance of the ion optics. The particles, after interaction with the accelerating grid, return to the gas discharge, which generally increases the gas efficiency of the ion source. Likewise, it is also interesting to arrange the wires of the screen grid with a smaller pitch than that of the wires of the accelerating grid, in a whole ratio, this makes it possible to increase the operating stability of the ion optical system thanks to stabilization of the plasma boundary.
Les rouleaux de la grille écran peuvent avoir un profil, dans des sections égales au pas des fils de la grille accélératrice, tel que la distance entre les cordes de la grille écran et le plan de disposition des fils de la grille accélératrice dans chaque section augmente des bords vers le centre de celle-ci.The rolls of the screen grid may have a profile, in sections equal to the pitch of the wires of the accelerating grid, such that the distance between the strings of the screen grid and the layout plane of the wires of the accelerating grid in each section increases edges towards the center of it.
Ceci permet de contrôler l'angle de divergence du faisceau d'ions et de le maintenir dans des limites nécessaires avec une précision élevée. Conformément à la présente invention, les fils des grilles peuvent être réalisées en deux parties coaxiales dont la partie extérieure est faite en forme de tube démontable installé avec ajustement à frottement doux sur la~partie intérieure.This makes it possible to control the angle of divergence of the ion beam and to keep it within necessary limits with high precision. In accordance with the present invention, the wires of the grids can be produced in two coaxial parts, the external part of which is made in the form of a removable tube installed with adjustment with gentle friction on the ~ internal part.
Si les fils de la grille accélératrice se composent de deux parties coaxiales, la partie intérieure de chaque fil a de préférence un diamètre égal à celui des fils de la grille écran. Cela permet d'augmenter la durée de vie des grilles à fils, grâce à un accroissement du volume du matériau qui peut être pulvérisé par des ions de rechargement avant la mise hors d'usage de la grille. La conception des fils comportant deux parties coaxiales permet de réaliser la fixation et la mise en tension uniquement sur la partie intérieure des fils, lesquelles offrent cependant l'épaisseur totale désirée. Ceci simplifie l'ensemble de fixation des fils, réduit sa masse et son encombrement et élargit la gamme de matériaux de grilles utilisables. Il est intéressant de remplacer chaque fil de la grille écran par trois fils ou plus disposés selon un motif géométrique déterminé.If the wires of the accelerating grid consist of two coaxial parts, the inner part of each wire preferably has a diameter equal to that of the wires of the screen grid. This makes it possible to increase the life of the wire grids, thanks to an increase in the volume of the material which can be sprayed by recharging ions before the grid is put out of use. The design of the wires comprising two coaxial parts makes it possible to carry out the fixing and the tensioning only on the internal part of the wires, which however offer the desired total thickness. This simplifies the wire fixing assembly, reduces its mass and size and widens the range of usable grid materials. It is interesting to replace each wire of the screen grid by three or more wires arranged in a determined geometric pattern.
Conformément à l'invention, en parallèle aux rouleaux sont avanta- geusement installés des ressorts de fixation de fils de grilles qui font au moins un rang de chaque côté du cadre de grille, et qui sont des ressorts à lame dont l'épaisseur correspond au pas des fils de grille. Cela rend plus simple la fixation des fils avec maintien en parallèle de leurs axes et permet de réaliser tous les fils de grilles avec un fil continu, ce qui simplifie la technologie d'intégration des grilles. Conformément à une variante de réalisation de l'invention, les ressorts sont disposés sur chaque cadre de la grille en plusieurs rangs, les ressorts des rangs adjacents étant décalés mutuellement d'une distance multiple du pas du filetage des rouleaux. Tout cela permet de disposer les fils avec un pas minimal donné sans limitation due à l'encombrement des ressorts.According to the invention, in parallel to the rollers are advantageously installed springs for fixing the grid wires which form at least one row on each side of the grid frame, and which are leaf springs whose thickness corresponds to the not grid wires. This makes it easier to fix the wires while keeping their axes in parallel and makes it possible to make all the grid wires with a continuous wire, which simplifies the technology for integrating the grids. According to an alternative embodiment of the invention, the springs are arranged on each frame of the grid in several rows, the springs of the rows adjacent being mutually offset by a multiple of the pitch of the threads of the rollers. All this makes it possible to arrange the wires with a minimum pitch given without limitation due to the size of the springs.
Le système d'optique ionique proposé ci-dessus assure un fonctionne- ment fiable de la source d'ions à décharge dans un gaz avec des paramètres stables dans le temps et améliore la durée de vie des grilles et de tout le système en général, ainsi que le rendement de la source. DESCRIPTION BREVE DES DESSINSThe ion optics system proposed above ensures reliable operation of the gas discharge ion source with parameters that are stable over time and improves the lifetime of the grids and of the whole system in general, as well as the source yield. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS
L'invention sera mieux comprise par une description détaillée d'un exemple de réalisation en référence aux dessins où :The invention will be better understood by a detailed description of an exemplary embodiment with reference to the drawings in which:
- la figure 1 représente en coupe transversale un système d'optique ionique à deux grilles selon l'invention ;- Figure 1 shows in cross section an ion optical system with two grids according to the invention;
- la figure 2 représente l'objet de la figure 1 suivant la flèche A ;- Figure 2 shows the object of Figure 1 along arrow A;
- la figure 3 montre une variante de réalisation des grilles où les ressorts sont disposés sur deux rangs ;- Figure 3 shows an alternative embodiment of the grids where the springs are arranged in two rows;
- La figure 4 représente un détail de réalisation du rouleau où les cannelures du rouleau sont remplacées par un filetage,FIG. 4 represents a detail of the embodiment of the roller where the grooves of the roller are replaced by a thread,
- la figure 5 représente un montage du rouleau par une simple chape,FIG. 5 represents an assembly of the roller by a simple yoke,
- la figure 6 représente, avec les dispositifs de blocage associés, un montage du rouleau dans un excentrique,FIG. 6 represents, with the associated blocking devices, an assembly of the roller in an eccentric,
- la figure 7 représente une variante de fixation des rouleaux dans un cadre de grille ;- Figure 7 shows a variant of fixing the rollers in a grid frame;
- la figure 8 représente un ensemble grille écran-grille accélératrice munie de tubes montés sur les fils, - la figure 9 représente une grille accélératrice où chaque fil élémentaire est remplacé par au moins 3 fils, et- Figure 8 shows a screen grid-accelerator grid assembly provided with tubes mounted on the wires, - Figure 9 represents an accelerator grid where each elementary wire is replaced by at least 3 wires, and
- la figure 10 est une coupe transversale X-X applicable à la figure 8 et/ou à la figure 9.FIG. 10 is a cross section X-X applicable to FIG. 8 and / or to FIG. 9.
VARIANTE PREFERENTIELLE DE REALISATION DE L'INVENTION Le système d'optique ionique pour source d'ions à décharge dans le gaz proposé comporte (figure 1) : une grille écran 1 et une grille accélératrice 2, constituées respectivement par des cadres 3 et 4 et des systèmes de fils parallèles 5 et 6 et des isolateurs 7 munis d'extrémités métalliques 8 sur lesquelles sont fixés les cadres 3 et 4 des grilles 1 et 2 respectivement. Un dispositif 9 pour le déplacement de réglage des fils dans chacune des grilles 1 et 2, celles-ci étant installées à la distance nécessaire l'une de l'autre, assure le jeu intergrille 10. Les ions sont extraits à travers la grille écran du plasma 129 produit par la chambre d'ionisation 128.PREFERENTIAL VARIATION FOR CARRYING OUT THE INVENTION The ion optics system for a source of ions to discharge in the proposed gas comprises (FIG. 1): a screen grid 1 and an accelerating grid 2, constituted respectively by frames 3 and 4 and systems of parallel wires 5 and 6 and insulators 7 provided with metal ends 8 on which the frames 3 and 4 of the grids 1 and 2 are fixed respectively. A device 9 for adjusting the movement of the wires in each of the grids 1 and 2, these being installed at the necessary distance from each other, ensures the intergrille play 10. The ions are extracted through the screen grid of the plasma 129 produced by the ionization chamber 128.
Le dispositif 9 pour le déplacement de réglage des fils 5 et 6 des électrodes 1 et 2 respectivement comporte des rouleaux 11, disposés par paire par exemple, dans chaque grille 1, 2 transversalement aux fils 5 et 6, comme il est montré sur la figure 2, des éléments de guidage 12, par exemple des gorges, (figure 1) étant prévus sur la surface externe des rouleaux 11. Les fils 5, 6 des grilles 1, 2 passent dans les éléments de guidage 12, réalisés sous forme de gorges circulaires 13 (figure 3) ou d'un filetage 14 (figure 4) dont le pas h est égal au pas h^ des fils ou inférieur à ce pas dans un rapport entier, ce qui permet, si nécessaire, de disposer les fils de chaque grille 1 ou 2 avec un pas spécifié.The device 9 for the adjustment movement of the wires 5 and 6 of the electrodes 1 and 2 respectively comprises rollers 11, arranged in pairs for example, in each grid 1, 2 transversely to the wires 5 and 6, as shown in the figure 2, guide elements 12, for example grooves, (FIG. 1) being provided on the external surface of the rollers 11. The wires 5, 6 of the grids 1, 2 pass through the guide elements 12, produced in the form of grooves circular 13 (Figure 3) or a thread 14 (Figure 4) whose pitch h is equal to the pitch h ^ of the wires or less than this pitch in an entire ratio, which allows, if necessary, to arrange the wires of each grid 1 or 2 with a specified pitch.
Les rouleaux 11 (figure 2) de chaque dispositif 9 sont installés dans le cadre 3, 4 de chaque grille 1, 2 de façon qu'ils puissent tourner autour de leur axe O-O et changer leur position dans l'espace conjointement avec les fils. Chaque rouleau est monté par un bout d'arbre articulé en 15 dans le cadre d'une grille respective 1 ou 2 (figure 5) et par un bout d'arbre opposé dans un manchon excentrique 16 (figure 6) disposé dans le cadre 3 ou 4 avec la possibilité de tourner autour de son axe Oj_-Oι- La rotation des rouleaux 11 autour de leur axe O-O et celle de manchons autour de leur axe O^-Oi peuvent être effectuées par tous moyens, par exemple à l'aide d'un tournevis comme montré en pointillé ; à cet effet, au centre du manchon 16 et à l'extrémité 17 du rouleau 11 sont prévues des rainures 18. L'immobilisation du manchon excentrique 16 et du rouleau 11 après leur rotation s'effectue par exemple à l'aide d'un coin 19 introduit entre le cadre 3, 4 et le manchon 16, et d'un coin 20 introduit entre le manchon 16 et l'extrémité 17 du rouleau 11, des glissières étant réalisées dans le corps du cadre et du manchon pour y disposer les coins 19 et 20.The rollers 11 (FIG. 2) of each device 9 are installed in the frame 3, 4 of each grid 1, 2 so that they can rotate around their axis OO and change their position in space together with the wires. Each roller is mounted by a shaft end hinged at 15 in the framework of a respective grid 1 or 2 (FIG. 5) and by an opposite shaft end in an eccentric sleeve 16 (FIG. 6) disposed in the framework 3 or 4 with the possibility of turning around its axis O j _-Oι- The rotation of the rollers 11 around their axis OO and that of sleeves around their axis O ^ -Oi can be carried out by any means, for example at using a screwdriver as shown in dotted lines; for this purpose, grooves 18 are provided in the center of the sleeve 16 and at the end 17 of the roller 11. The eccentric sleeve 16 and the roller 11 are immobilized after their rotation is carried out for example using a wedge 19 inserted between the frame 3, 4 and the sleeve 16, and a wedge 20 introduced between the sleeve 16 and the end 17 of the roller 11, slides being produced in the body of the frame and of the sleeve to arrange the corners 19 and 20.
Conformément à une variante du dispositif 9, chacun de ses rou¬ leaux 11 (figure 7) est installé par ses bouts d'arbre 17 dans des manchons excen¬ triques 16 disposés dans les cadres 3, 4 avec la possibilité de rotation autour de leur axe, l'un des bouts (dans ce cas-là l'extrémité 17) de chaque rouleau 11 étant couplé au manchon excentrique 16 par un moyen de pivotement 15. Ceci permet de réaliser un déplacement dans l'espace des rouleaux 11 (voire le déplacement des rouleaux sur la surface de pivotement) et notamment de régler séparément la distance moyenne 10 et le défaut de parallélisme entre grilles. La fixation en position des rouleaux 11 après leur rotation autour de l'axe et après celle du manchon excentrique 16 s'opère comme il a été décrit pour le mode de réalisation de la figure 6, par exemple avec des coins (qui ne sont pas montrés sur la figure 7).According to a variant of the device 9, each of its rollers 11 (FIG. 7) is installed by its shaft ends 17 in excen¬ tric sleeves 16 disposed in the frames 3, 4 with the possibility of rotation around their axis, one of the ends (in this case the end 17) of each roller 11 being coupled to the eccentric sleeve 16 by a pivoting means 15. This makes it possible to move the rollers 11 in space (see the movement of the rollers on the pivoting surface) and in particular to adjust separately the average distance 10 and the lack of parallelism between grids. The fixing in position of the rollers 11 after their rotation around the axis and after that of the eccentric sleeve 16 takes place as described for the embodiment of FIG. 6, for example with corners (which are not shown in FIG. 7).
En fonction du domaine d'utilisation des systèmes d'optique ionique proposés, les fils 5 de la grille écran 1 sont disposées suivant un pas h2 égal au pas I13 des fils 6 de la grille accélératrice 2 (figure 8) ou suivant un pas I14 plus petit que le pas I15 des fils 6 de la grille accélératrice 2 (figure 9) dans un rapport entier, ce dernier fait ayant pour résultat qu'une même fente de la grille accélératrice 2 est perméable aux faisceaux d'ions formés par plusieurs fentes de la grille écran 1 (3 dans l'exemple de la figure 9). Les fils 6 de la grille accélératrice 2 ont un diamètre D plus grand que le diamètre D^ des fils 5 de la grille écran 1, de façon que la transparence de celle-ci soit supérieure à la transparence de celle-là, ce qui se traduit par une meilleure efficacité du système en gaz, la transparence du système d'optique ionique en ions étant déterminée dans ce cas-là par la transparence de la grille écran 1 et la transparence en atomes , par la transparence de la grille accélératrice 2.Depending on the field of use of the ion optical systems proposed, the wires 5 of the screen grid 1 are arranged in a pitch h2 equal to the pitch I13 of the wires 6 of the accelerating grid 2 (FIG. 8) or in a pitch I14 smaller than the pitch I15 of the wires 6 of the accelerating grid 2 (FIG. 9) in a whole ratio, the latter fact having the result that the same slot in the accelerating grid 2 is permeable to the ion beams formed by several slots of the screen grid 1 (3 in the example of FIG. 9). The wires 6 of the accelerating grid 2 have a diameter D greater than the diameter D ^ of the wires 5 of the screen grid 1, so that the transparency of the latter is greater than the transparency of the former, which is translates into a better efficiency of the gas system, the transparency of the ion ion optical system being determined in this case by the transparency of the screen grid 1 and the transparency in atoms, by the transparency of the accelerating grid 2.
Dans le système d'optique ionique, lorsque le jeu intergrille 10 est petit, par exemple moins de 1 mm, et que les courants sont proches des limites, il est difficile de maintenir l'angle de divergence du faisceau d'ions dans des limites données ; les rouleaux 11 du dispositif 9 situés dans la grille écran 1 ont un diamètre variable (voir figure 9) sur une section égale au pas I15 de fils 6 de la grille accélératrice 2, la distance 1^ entre le fil 5 de la grille écran 1 et le plan N-N qui contient les fils 6 de la grille accélératrice 2 augmente jusqu'à I4 lorsqu'on passe du bord au milieu de la section.In the ion optical system, when the intergrille clearance 10 is small, for example less than 1 mm, and the currents are close to the limits, it is difficult to keep the angle of divergence of the ion beam within limits. data; the rollers 11 of the device 9 located in the screen grid 1 have a variable diameter (see FIG. 9) over a section equal to the pitch I15 of wires 6 of the accelerating grid 2, the distance 1 ^ between the wire 5 of the screen grid 1 and the plane NN which contains the wires 6 of the accelerating grid 2 increases to I4 when passing from the edge to the middle of the section.
Les fils 5 et 6 des grilles 1 et 2 sont fixées à des ressorts 21 (figures 1 et 2) alignés parallèlement aux rouleaux 11 du dispositif et placés sur un même rang 22 le long de chacun des côtés opposés des cadres 3, 4 des grilles 1, 2 ; comme il est montré sur la figure 3, les ressorts dans des rangs adjacents sont décalés l'un par rapport à l'autre d'une distance δ multiple du pas hg des éléments de guidage 12 des rouleaux 11. Chaque ressort 21 est réalisé sous la forme d'un ressort à lame 24, fixé par un bout sur le cadre 3, 4 avec des rainures latérales 25 pour le passage des fils, la largeur d'un ressort 24 étant multiple du pas des éléments de guidage 12. Une telle configuration permet de disposer les fils avec un pas donné, par exemple inférieur à 1 mm, et de réaliser les fils des grilles 1 et 2 en fil continu. Pour réduire la charge des ressorts 21, les grilles sont réalisées en deux parties coaxiales 26 et 27 (figures 8 à 10) dont la partie extérieure 26 forme un tube 28 (figure 10) et est installée avec ajustement à frottement doux sur la partie intérieure 27. Lorsque uniquement les fils 6 de la grille accélératrice 2 sont réalisées en deux parties coaxiales 26 et 27, la partie intérieure 27 de tels fils a un diamètre égal à celui des fils 5 de la grille 1. Ce mode de réalisation des fils des grilles (surtout de la grille accélératrice) crée la possibilité de remplacer rapidement la partie 26 usée et réduite à cause de l'érosion de son matériau pendant le fonctionnement de la source, ce qui permet d'augmener la durée de vie des grilles par l'augmentation de leur épaisseur.The wires 5 and 6 of the grids 1 and 2 are fixed to springs 21 (FIGS. 1 and 2) aligned parallel to the rollers 11 of the device and placed in the same row 22 along each of the opposite sides of the frames 3, 4 of the grids 1, 2; as shown in FIG. 3, the springs in adjacent rows are offset with respect to each other by a distance δ multiple of the pitch hg of the guide elements 12 of the rollers 11. Each spring 21 is produced under the form of a leaf spring 24, fixed at one end to the frame 3, 4 with lateral grooves 25 for the passage of the wires, the width of a spring 24 being multiple of the pitch of the guide elements 12. Such configuration makes it possible to arrange the wires with a given pitch, for example less than 1 mm, and to make the wires of grids 1 and 2 in continuous wire. To reduce the load on the springs 21, the grids are produced in two coaxial parts 26 and 27 (FIGS. 8 to 10), the external part 26 of which forms a tube 28 (FIG. 10) and is installed with a soft friction adjustment on the internal part 27. When only the wires 6 of the accelerating grid 2 are produced in two coaxial parts 26 and 27, the internal part 27 of such wires has an equal diameter to that of the wires 5 of the grid 1. This embodiment of the wires of the grids (especially of the accelerating grid) creates the possibility of quickly replacing the worn and reduced part 26 due to the erosion of its material during the operation of the source, which makes it possible to increase the lifetime of the grids by increasing their thickness.
La mise en service du système d'optique ionique proposé s'effectue d'une façon traditionnelle : un potentiel correspondant à l'énergie des ions dans le faisceau, par exemple de +2 kV, est appliqué à la grille écran 1 (figure 1) et un potentiel de -0,2 à -2 kV est appliqué à la grille accélératrice 2, ce qui est nécessaire pour créer une différence de potentiel d'extraction. La grille de sortie (non représentée) est normalement réalisée sous forme d'une grille annulaire ou en cadre et est mise à la masse. Dans la chambre de décharge de la source, il faut mettre la matière du plasma 129 dans les fentes de la grille écran 1 où les ions accélérés prennent leur départ dans le système d'optique ionique. En utilisant dans les grilles des fils 5 et 6 réalisés conformément aux figures 8, 9 et 10 et des rouleaux 11 conçus selon la figure 9, on atteint la transparence spécifiée pour les grilles accélératrice 2 et écran 1 et la divergence du jet d'ions ne dépasse pas les valeurs spécifiées. Ainsi, en remplaçant chaque fil de la grille écran par trois fils ou plus disposés selon un motif géométrique déterminé, il est possible de connaître d'une manière plus précise à la fois les équipotentielles dans la zone d'accélération et la limite du plasma dans la chambre d'ionisation. S'il est nécessaire de réaliser une forme spécifiée de la surface de chaque grille et de mettre en coïncidence les fils, on procède d'abord au réglage de mise en place de la position des fils avec le dispositif 9.The proposed ion optics system is put into service in a traditional way: a potential corresponding to the energy of the ions in the beam, for example +2 kV, is applied to the screen grid 1 (Figure 1 ) and a potential of -0.2 to -2 kV is applied to the accelerating grid 2, which is necessary to create a difference in extraction potential. The outlet grid (not shown) is normally produced in the form of an annular grid or in a frame and is grounded. In the discharge chamber of the source, it is necessary to put the plasma material 129 in the slots of the screen grid 1 where the accelerated ions take their departure in the ionic optics system. By using in the grids wires 5 and 6 produced in accordance with FIGS. 8, 9 and 10 and rollers 11 designed according to FIG. 9, the transparency specified for the accelerator 2 and screen 1 grids and the divergence of the ion jet are achieved. does not exceed the specified values. Thus, by replacing each wire of the screen grid by three or more wires arranged according to a determined geometric pattern, it is possible to know more precisely both the equipotentials in the acceleration zone and the limit of the plasma in the ionization chamber. If it is necessary to produce a specified shape of the surface of each grid and to make the wires coincide, the adjustment of the position of the wires is first carried out with the device 9.
La forme spécifiée de chaque grille peut être réalisée par rotation de manchons excentriques 16 (figure 2) pendant laquelle les fils se déplacent dans la direction perpendiculaire au plan du cadre. La fixation de manchons excentriques 16 dans une position nouvelle s'effectue avec les coins 19.The specified shape of each grid can be achieved by rotation of eccentric sleeves 16 (Figure 2) during which the wires move in the direction perpendicular to the plane of the frame. The eccentric sleeves 16 are fixed in a new position with the corners 19.
La coïncidence des fentes dans les grilles écran 1 et accélératrice 2 est obtenue par rotation des rouleaux 11, quand ces derniers sont munis d'une gorge filetée, autour de leurs axes pendant laquelle les fils se déplacent dans le plan de chaque grille. La fixation des rouleaux dans leur position nouvelle s'effectue à l'aide des coins 20. L'utilisation, par exemple, d'un cathétomètre Km 6 garantit la précision géométrique des paramètres du système d'optique ionique à ± 0,01 mm près.The coincidence of the slots in the screen 1 and accelerator 2 grids is obtained by rotation of the rollers 11, when the latter are provided with a threaded groove, around their axes during which the wires move in the plane of each grid. The rollers are fixed in their new position using the corners 20. The use, for example, of a Km 6 cathetometer guarantees the geometric precision of the parameters of the ion optical system to within ± 0.01 mm.
La possibilité de réaliser les réglages indiqués permet d'augmenter la stabilité du fonctionnement de la source d'ions, car on garantit une précision élevée d'ajustement des fils l'une par rapport à l'autre dans chaque grille et la valeur souhaitée du jeu intergrille 10. La position mutuelle des fils est maintenue pendant le fonctionnement du système, ce qui assure un fonctionnement stable et durable de la source d'ions.The possibility of carrying out the indicated adjustments makes it possible to increase the stability of the operation of the ion source, since it guarantees a high precision of adjustment of the wires relative to each other in each grid and the desired value of the intergrille play 10. The mutual position of the wires is maintained during the operation of the system, which ensures stable and lasting operation of the ion source.
De par ses excellentes performances, l'optique ionique à grilles à fils selon l'invention est applicable aux sources d'ions étendues utilisant l'ionisation d'un gaz par l'un des processus suivants :Due to its excellent performance, the ion optics with wire grids according to the invention are applicable to extended ion sources using the ionization of a gas by one of the following processes:
- ionisation par bombardement électronique (sources d'ions dites de Kaufman),- ionization by electronic bombardment (so-called Kaufman ion sources),
- ionisation par champ radiofréquence (sources d'ions type RIT (Radiofrequency Ionisation Thrusters), ou encore- ionization by radiofrequency field (ion sources RIT type (Radiofrequency Ionization Thrusters), or
- ionisation par résonance cyclotronique électronique (E.C.R.). Ce système d'optique est notamment applicable :- ionization by electronic cyclotron resonance (E.C.R.). This optical system is particularly applicable:
- à la propulsion spatiale en remplacement des grilles bombées traditionnelles, ou - aux applications industrielles : gravues de microcircuits, usinage ionique, dépôts sous vide par sputtering.- space propulsion to replace traditional domed grids, or - industrial applications: etched microcircuits, ion machining, vacuum deposition by sputtering.
Pour ces applications industrielles, l'optique ionique à fils présente deux avantages essentiels :For these industrial applications, ion optics with wires have two essential advantages:
- la divergence du faisceau d'ions dans un plan parallèle aux fils est très faible, ce qui est intéressant pour les applications de gravure.- The divergence of the ion beam in a plane parallel to the wires is very small, which is interesting for etching applications.
- La pervéance d'une optique à fils étant très élevée, cela permet d'extraire une densité d'ions supérieure à tension nette, d'accélération égale, ce qui est intéressant pour les applications industrielles à énergie moyenne (500e V). - The pervéance of a wire optic being very high, this makes it possible to extract a higher density of ions at net voltage, of equal acceleration, which is interesting for industrial applications at medium energy (500e V).

Claims

REVENDICATIONS
1. Système d'optique ionique pour source d'ions à décharge dans les gaz comportant une grille écran (1) et une grille accélératrice (2) constituées par des cadres (3 et 4) respectifs et un système de fils parallèles (5 et 6) fixés sur les cadres (3 et 4) au moyen de ressorts (21), les cadres (3 et 4) des grilles (1 et 2) étant assemblés par des isolateurs (7) auxquels ils sont fixés, caractérisé en ce qu'il est doté d'un dispositif (9) de déplacement pour le réglage des fils dans chaque grille (1 et 2), qui comprend des rouleaux (11) disposés transversalement par rapport aux fils (5 et 6) dans chaque grille (1 et 2) et offrant des éléments de guidage (12) où sont placées les fils (5 et 6), les rouleaux (11) étant installés sur les cadres (3 et 4) des grilles (1 et 2) avec la possibilité de tourner autour de leur axe et de changer de position dans l'espace conjointement avec les fils (5 et 6).1. Ion optics system for a source of gas discharge ions comprising a screen grid (1) and an accelerating grid (2) constituted by respective frames (3 and 4) and a system of parallel wires (5 and 6) fixed to the frames (3 and 4) by means of springs (21), the frames (3 and 4) of the grids (1 and 2) being assembled by insulators (7) to which they are fixed, characterized in that '' it is provided with a movement device (9) for adjusting the wires in each grid (1 and 2), which comprises rollers (11) arranged transversely with respect to the wires (5 and 6) in each grid (1 and 2) and offering guide elements (12) where the wires are placed (5 and 6), the rollers (11) being installed on the frames (3 and 4) of the grids (1 and 2) with the possibility of turning around their axis and change position in space together with the wires (5 and 6).
2. Système d'optique ionique selon la revendication 1, caractérisé en ce que chaque rouleau (11) est monté par un bout d'arbre articulé sur le cadre et par un bout d'arbre opposé installé dans un manchon excentrique (16), monté dans le cadre avec la possibilité de tourner autour de son axe.2. Ionic optical system according to claim 1, characterized in that each roller (11) is mounted by a shaft end articulated on the frame and by an opposite shaft end installed in an eccentric sleeve (16), mounted in the frame with the possibility of turning around its axis.
3. Système d'optique ionique selon la revendication 1, caractérisé en ce que chaque rouleau (11) est installé par ses bouts d'arbre dans des manchons excentriques (16) disposés dans les cadres avec la possibilité de tourner autour de leur axe, l'un des bouts d'arbre de chaque rouleau (11) étant articulé au manchon excentrique (16).3. Ionic optical system according to claim 1, characterized in that each roller (11) is installed by its shaft ends in eccentric sleeves (16) arranged in the frames with the possibility of turning around their axis, one of the shaft ends of each roller (11) being articulated to the eccentric sleeve (16).
4. Système d'optique ionique selon la revendication 1, caractérisé en ce que les éléments de guidage (12) des rouleaux sqpt réalisés en forme de filetage (14) dont le pas est égal au pas des fils, ou inférieur dans un rapport entier.4. Ionic optical system according to claim 1, characterized in that the guide elements (12) of the sqpt rollers produced in the form of a thread (14) whose pitch is equal to the pitch of the wires, or less in a whole ratio .
5. Système d'optique ionique selon la revendication 1, caractérisé en ce que les fils (6) de la grille accélératrice (2) sont réalisés avec un diamètre supérieur à celui des fils (5) de la grille écran (1).5. Ionic optical system according to claim 1, characterized in that the wires (6) of the accelerating grid (2) are made with a diameter greater than that of the wires (5) of the screen grid (1).
6. Système d'optique ionique selon la revendication 1, caractérisé en ce que les fils (5) de la grille écran (1) sont disposés avec un pas plus petit que celui des fils (6) de la grille accélératrice (2) dans un rapport entier.6. Ionic optical system according to claim 1, characterized in that the wires (5) of the screen grid (1) are arranged with a smaller pitch than that of the wires (6) of the accelerating grid (2) in an entire report.
7. Système d'optique ionique selon la revendication 1, caractérisé en ce que les rouleaux (11) installés dans la grille écran (1) sont profilés, dans des sections égales au pas des fils (6) de la grille accélératrice (2), de façon que la distance entre les fils (5) de la grille écran (1) et le plan d'installation des fils (6) de la grille accélératrice (2) augmente dans chaque section de ses bords vers son milieu.7. Ionic optical system according to claim 1, characterized in that the rollers (11) installed in the screen grid (1) are profiled, in sections equal to the pitch of the wires (6) of the accelerating grid (2) , so that the distance between the wires (5) of the screen grille (1) and the installation plan of the wires (6) of the accelerating grid (2) increases in each section from its edges towards its middle.
8. Système d'optique ionique selon la revendication 7, caractérisé en ce que chacun des fils (5) de la grille écran (1) est constitué par au moins 3 fils disposés selon un motif géométrique déterminé.8. Ionic optical system according to claim 7, characterized in that each of the wires (5) of the screen grid (1) is constituted by at least 3 wires arranged in a determined geometric pattern.
9. Système d'optique ionique selon la revendication 5, caractérisé en ce que les fils (6) de la grille accélératrice (2) sont réalisées en deux parties coaxiales (26, 27), la partie extérieure (26) étant réalisée sous forme d'un tube démontable (28), installé avec ajustement à frottement doux sur la partie intérieure (27). 9. Ionic optical system according to claim 5, characterized in that the wires (6) of the accelerating grid (2) are produced in two coaxial parts (26, 27), the external part (26) being produced in the form a removable tube (28), installed with soft friction adjustment on the inner part (27).
10. Système d'optique ionique selon la revendication 9, caractérisé en ce que la partie intérieure (27) de chaque fil (6) de la grille accélératrice (2) a un diamètre égal à celui des fils (5) de la grille écran (1).10. Ionic optical system according to claim 9, characterized in that the inner part (27) of each wire (6) of the accelerating grid (2) has a diameter equal to that of the wires (5) of the screen grid (1).
11. Système d'optique ionique selon la revendication 1, caractérisé en ce que parallèlement aux rouleaux (11) sont installés les ressorts (21) pour la fixation de fils de grilles (1 et 2), disposés en au moins un rang (22) de chaque côté du cadre de grille et réalisés sous forme de ressorts à lame (24).11. Ionic optical system according to claim 1, characterized in that parallel to the rollers (11) are installed the springs (21) for fixing grid wires (1 and 2), arranged in at least one row (22 ) on each side of the grid frame and produced in the form of leaf springs (24).
12. Système d'optique ionique selon la revendication 11, caractérisé en ce que les ressorts (21) sont disposés de chaque côté du cadre de grille en plusieurs rangs (23), les ressorts de rangs adjacents étant décalés l'un par rapport à l'autre d'une distance multiple du pas des éléments de guidage (12) des rouleaux (11). 12. Ionic optical system according to claim 11, characterized in that the springs (21) are arranged on each side of the grid frame in several rows (23), the springs of adjacent rows being offset one with respect to the other by a distance multiple of the pitch of the guide elements (12) of the rollers (11).
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