EP0566573B1

EP0566573B1 - Silencer unit

Info

Publication number: EP0566573B1
Application number: EP91918199A
Authority: EP
Inventors: Hanns-Peter Berges; Lothar Brenner; Hartmut Kriehn; Sascha Bauer
Original assignee: Leybold AG; Filterwerk Mann and Hummel GmbH
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG; Mann and Hummel GmbH
Priority date: 1990-10-27
Filing date: 1991-10-19
Publication date: 1995-01-04
Anticipated expiration: 2011-10-19
Also published as: EP0566573A1; JPH07504474A; KR930703539A; ES2067953T3; DE59104173D1; WO1992008053A1; US5399817A

Abstract

The invention concerns a silencer unit (54) designed as a single module, plus a machine (1) which uses a silencer unit of this kind. Rapid replacement of the silencer unit (54) is possible since it is designed to be detached easily from its point of attachment. Fitted inside the silencer are baffle plates (66) which repeatedly change the direction of the gases exiting from the outlet of a pump (36), the inlet (64) and outlet (69) of the silencer being located on the front of the silencer.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Schalldämpfer mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 1.The invention relates to a silencer with the features of the preamble of claim 1.

Schalldämpfer befinden sich in der Regel im Endbereich von Abgasleitungen, die die den Auslaß einer Maschine (Motor, Pumpe oder dergleichen) verlassenden Gase ins Freie abführen.Silencers are usually located in the end area of exhaust pipes, which discharge the gases leaving the outlet of a machine (motor, pump or the like) to the outside.

Bei Rotations-Vakuumpumpen besteht beispielsweise das folgende Problem: Zu den Rotations-Vakuumpumpen gehören Einwellen- (Drehschieberpumpen, Sperrschieberpumpen oder dergleichen) und Zweiwellen- (Pumpen mit Rotorpaaren vom Schrauben-, Roots-, Klauen-Typ oder dergleichen) Pumpen, die darüberhinaus noch ein- oder mehrstufig ausgebildet sein können. Um das Saugvermögen derartiger Pumpen zu verbessern, besteht die Möglichkeit einer Drehzahlerhöhung. Damit steigt jedoch die Geräuschentwicklung stark an. Insbesondere erzeugen trocken (ölfreier Schöpfraum) laufende Zweiwellenvakuumpumpen sehr hohe Schalldruckpegel im Auspuffbereich.For example, the following problem exists with rotary vacuum pumps: The rotary vacuum pumps include single-shaft (rotary vane pumps, blocking vane pumps or the like) and twin-shaft (pumps with rotor pairs of screws, roots, claw type or the like) pumps, which are furthermore can be formed in one or more stages. In order to improve the pumping speed of such pumps, it is possible to increase the speed. However, this increases the noise significantly. In particular, dry (oil-free pumping chamber) running twin-shaft vacuum pumps generate very high sound pressure levels in the exhaust area.

Vakuumpumpen dieser Art werden häufig bei chemischen oder anderen Prozessen (Ätz-, Bedampfungsverfahren oder dergleichen) eingesetzt. Die in diesen Fällen von der Vakuumpumpe angesaugten Gase sind in der Regel umweltschädlich. An den Auslaß der Vakuumpumpe schließt sich deshalb eine fest installierte Abgasleitung an, die die geförderten Gase über Gaswäscher oder andere Reinigungsanlagen ins Freie abführt. Die insbesondere bei Ätz- und Bedampfungsverfahren abgesaugten Gase sind darüber hinaus häufig staubbeladen. Da bei derartigen Prozessen üblicherweise trockenlaufende Vakuumpumpen eingesetzt werden, besteht das Problem der Staubablagerungen insbesondere im Austrittsbereich der Pumpe und in den sich anschließenden Abgasleitungen.Vacuum pumps of this type are often used in chemical or other processes (etching, vapor deposition or the like). The gases drawn in by the vacuum pump in these cases are generally harmful to the environment. At the outlet of the vacuum pump there is therefore a permanently installed flue gas pipe which discharges the extracted gases to the outside via gas scrubbers or other cleaning systems. In addition, the gases extracted in particular in the case of etching and vapor deposition processes are often dust-laden. There with Such processes usually use dry-running vacuum pumps, there is the problem of dust deposits, particularly in the outlet area of the pump and in the adjoining exhaust pipes.

Der vorliegenden Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, einen Schalldämpfer so zu gestalten, daß er auch beim Vorhandensein fest installierter Abgasleitungen in der Nähe der Maschine untergebracht werden kann, deren Geräusche reduziert werden sollen, und daß er ohne aufwendige Montagearbeiten an den Abgasleitungen auswechselbar ist, damit er beispielsweise bei Staubbelastungen ohne wesentliche Betriebsunterbrechungen ausgetauscht werden kann.The present invention is therefore based on the object of designing a silencer in such a way that it can be accommodated in the vicinity of the machine even in the presence of permanently installed exhaust gas lines, the noise of which is to be reduced, and that it can be replaced without expensive assembly work on the exhaust gas lines, so that it can be replaced, for example, in the event of dust pollution without significant interruptions in operation.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Ein von einem Flansch- oder Kupplungsbauteil der vorgeschlagenen Art getragener Schalldämpfer hat den Vorteil, daß er ohne aufwendige Montagearbeiten an den Abgasleitungen schnell ausgewechselt werden kann. Darüber hinaus ergibt sich eine kompakte Bauweise, so daß der Schalldämpfer in der Regel noch innerhalb der äußeren Maschinenverkleidung untergebracht werden kann.According to the invention, this object is achieved by the characterizing features of claim 1. A muffler carried by a flange or coupling component of the proposed type has the advantage that it can be replaced quickly without complex assembly work on the exhaust pipes. In addition, there is a compact design, so that the silencer can usually still be housed within the outer machine casing.

Schalldämpfer mit innerhalb ihres Gehäuses befindlichen Schikanen, die aus konzentrisch angeordneten, alternierend ineinandergreifenden und einseitig geschlossenen Rohrzylindern bestehen, sind aus der US-A-36 12 216 bekannt. Auch die zentrale Anordnung des Einlasses und die dezentrale Anordnung des Auslasses auf einer Stirnseite ist in diesem Dokument beschrieben. Ein Flansch- oder Kupplungsbauteil, das ein einfaches und schnelles Auswechseln des Schalldämpfers ermöglicht, ist jedoch nicht offenbart.Mufflers with baffles located within their housing, which consist of concentrically arranged, alternately interlocking and closed on one side tubular cylinders are known from US-A-36 12 216. The central arrangement of the inlet and the decentralized arrangement of the outlet on one end face are also described in this document. However, a flange or coupling component that enables simple and quick replacement of the muffler is not disclosed.

Besonders vorteilhaft ist die Verwendung des erfindungsgemäßen Schalldämpfers an den erwähnten Vakuumpumpen, die bei chemischen oder anderen Prozessen (Ätz-, Bedampfungsverfahren o. dgl.) eingesetzt werden. Die sich im Austrittsbereich der Pumpe ansammelden Staubablagerungen können ohne Betriebsunterbrechungen - beispielsweise durch Auswechseln des Schalldämpfers - beseitigt werden. Zusätzlich tritt der Effekt ein, daß sich die störenden Stäube vorzugsweise im erfindungsgemäßen Schalldämpfer ansammeln, so daß die Reinigung der vor und hinter dem Schalldämpfer befindlichen Leitungsführungen weitestgehend entfällt.It is particularly advantageous to use the silencer according to the invention on the vacuum pumps mentioned, which are used in chemical or other processes (etching, vapor deposition processes or the like). Which is in the exit area Registering the pump Dust deposits can be removed without interrupting operation - for example by replacing the silencer. In addition, there is the effect that the disturbing dusts preferably collect in the silencer according to the invention, so that the cleaning of the pipe routing in front of and behind the silencer is largely eliminated.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung sollen anhand von in den Figuren 1 bis 3 dargestellten Ausführungsbeispielen erläutert werden. Es zeigen

Figur 1 eine schematische Skizze, die eine Vakuumpumpe mit Schalldämpfer darstellt,
Figur 2 eine Vakuumpumpe mit Rotorpaaren vom Klauentyp, bei der der Einsatz des erfindungsgemäßen Schalldämpfers besondere Vorteile hat, und
Figur 3 einen Teilschnitt durch einen Schalldämpfer der hier betroffenen Art.

Further advantages and details of the invention will be explained on the basis of the exemplary embodiments shown in FIGS. 1 to 3. Show it

FIG. 1 shows a schematic sketch, which represents a vacuum pump with a silencer,
FIG. 2 shows a vacuum pump with rotor pairs of the claw type, in which the use of the silencer according to the invention has particular advantages, and
3 shows a partial section through a silencer of the type concerned here.

Die in Figur 1 schematisch dargestellte Vakuumpumpe 1 weist den Rotor 4 auf, der sich im vom Gehäuse 10 gebildeten Schöpfraum 11 befindet. Einlaß und Auslaß der Vakuumpumpe sind mit 29 bzw. 36 bezeichnet. An den Auslaß 36 schließt sich eine Abgasleitung 51 an, die in ein Flanschbauteil 52 mündet. Auch die weiterführende Abgasleitung 53 ist an das Flanschbauteil 52 angeschlossen. Am Flanschbauteil 52 ist ein nach Art einer Patrone ausgebildeter Schalldämpfer 54, wie er beispielsweise in Figur 3 dargestellt ist, lösbar befestigt. Diese Anordnung ermöglicht einen leichten und schnellen Wechsel des Schalldämpfers, ohne daß aufwendige Demontage- und Montagearbeiten an den Abgasleitungen 51, 53 selbst erforderlich sind.The vacuum pump 1 shown schematically in FIG. 1 has the rotor 4, which is located in the scooping space 11 formed by the housing 10. The inlet and outlet of the vacuum pump are designated 29 and 36, respectively. An exhaust pipe 51 connects to the outlet 36 and opens into a flange component 52. The outgoing exhaust pipe 53 is also connected to the flange component 52. A muffler 54 designed in the manner of a cartridge, as is shown, for example, in FIG. 3, is detachably fastened to the flange component 52. This arrangement enables an easy and quick change of the muffler without the need for expensive disassembly and assembly work on the exhaust pipes 51, 53 themselves.

Bei der in Figur 2 dargestellten Pumpe handelt es sich um eine dreistufige Vakuumpumpe 1 mit zwei Wellen 2 und 3 sowie drei Rotorpaaren 4, 5 bzw. 6 7 bzw. 8, 9. Die axiale Länge der Rotoren nimmt von der Saugseite zur Druckseite ab. Die Drehkolben sind vom Klauentyp (Northey, vgl. beispielsweise die EP-A-290 662) und rotieren in den Schöpfräumen 11, 12, 13, welche von den Schilden 14 bis 17 und den Gehäuseringen 18 bis 20 gebildet werden.The pump shown in FIG. 2 is a three-stage vacuum pump 1 with two shafts 2 and 3 and three pairs of rotors 4, 5 and 6 7 and 8, 9. The axial length of the rotors decreases from the suction side to the pressure side. The rotary pistons are of the claw type (Northey, cf. for example EP-A-290 662) and rotate in the scoops 11, 12, 13 which are formed by the shields 14 to 17 and the housing rings 18 to 20.

Die Wellen 2, 3 sind vertikal angeordnet. Dieses gilt ebenfalls für den neben dem Pumpengehäuse angeordneten Antriebsmotor 22. Unterhalb des unteren Lagerschildes 17 sind die Wellen 2, 3 mit Zahnrädern 23, 24 gleichen Durchmessers ausgerüstet, welche der Synchronisation der Bewegung der Rotorpaare 4, 5 bzw. 6, 7 bzw. 8, 9 dienen. Auch der Antriebsmotor 22 weist an seiner Unterseite ein Zahnrad 25 auf. Die Antriebsverbindung wird hergestellt durch ein weiteres Zahnrad 26, das mit den Zahnrädern 24 und 25 in Eingriff steht.The shafts 2, 3 are arranged vertically. This also applies to the drive motor 22 arranged next to the pump housing. Below the lower bearing plate 17, the shafts 2, 3 are equipped with gear wheels 23, 24 of the same diameter, which synchronize the movement of the rotor pairs 4, 5 or 6, 7 or 8 , 9 serve. The drive motor 22 also has a gearwheel 25 on its underside. The drive connection is established by a further gear 26, which is in engagement with the gears 24 and 25.

In dem oberen Lagerschild 14 und dem unteren Lagerschild 17 stützen sich die Wellen 2, 3 über Wälzlager 27 ab. Der obere Lagerschild 14 ist mit einem horizontal angeordneten Anschlußflansch 28 ausgerüstet, welcher den Einlaß 29 der Pumpe bildet. Der Einlaßkanal 31 mündet stirnseitig (Öffnung 32) in den Schöpfraum 11 der ersten Stufe. Die stirnseitig angeordnete Auslaßöffnung der ersten Stufe ist mit 33 bezeichnet und führt in den Verbindungskanal 34. Der im Schild 15 befindliche Verbindungskanal 34 steht mit der Einlaßöffnung 35 der zweiten Stufe in Verbindung. Der Lagerschild 16 ist entsprechend gestaltet. Unterhalb der untersten (dritten) Pumpstufe befindet sich der Auslaß 36, der mit der stirnseitigen Auslaßöffnung 37 im unteren Lagerschild 17 in Verbindung steht. Bei trocken laufenden Pumpen dieser Art bestehen die eingangs geschilderten Probleme (Geräuschentwicklung, Staubablagerungen in den Abgasleitungen) häufig in besonderem Maße. Durch die Erfindung werden sie weitestgehend beseitigt.In the upper end plate 14 and the lower end plate 17, the shafts 2, 3 are supported by roller bearings 27. The upper end plate 14 is equipped with a horizontally arranged connecting flange 28, which forms the inlet 29 of the pump. The inlet channel 31 opens at the end (opening 32) into the scoop chamber 11 of the first stage. The end opening of the first stage is designated 33 and leads into the connecting duct 34. The connecting duct 34 located in the shield 15 is connected to the inlet opening 35 of the second stage. The end shield 16 is designed accordingly. Below the lowest (third) pump stage is the outlet 36, which is connected to the front outlet opening 37 in the lower end shield 17. In the case of dry-running pumps of this type, the problems described at the outset (noise, dust deposits in the exhaust pipes) often exist to a particular degree. They are largely eliminated by the invention.

Unterhalb des aus Pumpengehäuse und Motor bestehenden Systems ist ein Öl enthaltender Raum 40, gebildet von einer gemeinsamen Wellenwanne 41, vorgesehen. In diese Wellenwanne 41 hinein ragt eine mit der Welle 2 verbundene Ölpumpe 42. Von der Ölpumpe aus erstrecken sich im einzelnen nicht dargestellt Schmiermittelkanäle zu den Stellen der Pumpe (Lager, Eingriffe der Zahnräder 23 bis 26, Simmerringe oder dergleichen), welche einer Ölschmierung bedürfen.An oil-containing space 40, formed by a common shaft trough 41, is provided below the system consisting of the pump housing and motor. An oil pump 42 connected to the shaft 2 projects into this shaft trough 41. Lubricant channels (not shown in detail) extend from the oil pump to the points of the pump (bearings, engagements of the gearwheels 23 to 26, oil seals or the like) which require oil lubrication .

Das dargestellte Ausführungsbeispiel der dreistufigen Zweiwellenvakuumpumpe ist wassergekühlt. Dazu sind in den Seitenschilden 14 und 17 Kühlwasserkanäle 43 und 44 vorgesehen. Kühlwassereinlaß und -auslaß sind mit 45 und 46 bezeichnet. Der Kühlwassereinlaß 45 ist an der untersten Stelle des Kanalsystems 43, 44 angeordnet, so daß ein einfacher Kühlwasserablaß möglich und eine vollständige Entleerung sichergestellt sind.The illustrated embodiment of the three-stage two-shaft vacuum pump is water-cooled. For this purpose, cooling water channels 43 and 44 are provided in the side plates 14 and 17. Cooling water inlet and outlet are designated 45 and 46. The cooling water inlet 45 is arranged at the lowest point of the channel system 43, 44, so that a simple cooling water drain is possible and complete emptying is ensured.

Die Austrittsöffnung 36 der Pumpe 1 wird gebildet von einem Anschlußstutzen 55, der ein Kupplungsbauteil 56 trägt, an dem seinerseits der Schalldämpfer 54 lösbar befestigt ist. Der Schalldämpfer 54, das Kupplungsbauteil 56 sowie noch ein wahlweise zwischen Kupplungsbauteil 56 und Anschlußstutzen 55 einsetzbares Zwischenbauteil 57 sind in Figur 3 vergrößert dargestellt. Während des Betriebs der Pumpe 1 sind das Kupplungsbauteil 56 und der Anschlußstutzen 55 miteinander verbunden, entweder unmittelbar oder über das Zwischenbauteil 57. Das Zwischenbauteil 57 dient der Halterung von Sensoren 58, beispielsweise Drucksensoren, deren Funktion weiter unten noch beschrieben wird. Auch Gasart-Sensoren können an dieser Stelle angeordnet sein.The outlet opening 36 of the pump 1 is formed by a connecting piece 55 which carries a coupling component 56, on which in turn the silencer 54 is detachably fastened. The muffler 54, the coupling component 56 and also an intermediate component 57 which can optionally be inserted between the coupling component 56 and the connecting piece 55 are shown enlarged in FIG. During operation of the pump 1, the coupling component 56 and the connecting piece 55 are connected to one another, either directly or via the intermediate component 57. The intermediate component 57 is used to hold sensors 58, for example pressure sensors, the function of which will be described below. Gas type sensors can also be arranged at this point.

Das Kupplungsbauteil 56 weist eine zentrale Durchtrittsöffnung 61 auf, die teilweise - schalldämpferseitig - mit einem Innengewinde 62 ausgerüstet ist. In dieses Gewinde 62 einschraubbar ist ein mit einem entsprechenden Außengewinde ausgerüsteter Rohrstutzen 63, welcher gleichzeitig den Eintritt 64 des Schalldämpfers 54 bildet. An die Eintrittsöffnung 64 schließt sich ein zentraler Innenraum 65 an, der von konzentrischen Schikaneblechen 66 umgeben ist. Es handelt sich um konzentrisch angeordnete, alternierend ineinander greifende, einseitig geschlossene Rohrzylinder, die eine Mehrfachumlenkung der hindurchtretenden Gase bewirken (vgl. die eingezeichneten Pfeile). Der äußere Zylinder ist mit seitlichen Öffnungen 67 ausgerüstet, so daß die Gase in einen äußeren Ringraum 68 gelangen. Dieser äußere Ringraum 68 steht mit einer oder mehreren dezentralen Austrittsöffnungen 69 in Verbindung.The coupling component 56 has a central passage opening 61 which is partly equipped with an internal thread 62 on the muffler side. A pipe socket 63 equipped with a corresponding external thread can be screwed into this thread 62 and at the same time forms the inlet 64 of the silencer 54. A central interior 65, which is surrounded by concentric baffle plates 66, adjoins the inlet opening 64. They are concentrically arranged, alternately interlocking, one-sided closed tubular cylinders, which cause multiple deflection of the gases passing through (see the arrows). The outer cylinder is equipped with side openings 67 so that the gases enter an outer annular space 68. This outer annular space 68 is connected to one or more decentralized outlet openings 69.

Den Austrittsöffnungen 69 ist ein schalldämpferseitig offener im Kupplungsbauteil 56 befindlicher Kanal, vorzugsweise Ringkanal 71, zugeordnet. Dieser ist mit einer radialen Erweiterung 72 versehen, an die die weiterführende Abgasleitung 53 angeschlossen ist. Zur äußeren Abdichtung des Schalldämpfers 54 gegenüber dem Kupplungsbauteil 56 ist ein peripherer Dichtungsring 73 vorgesehen, der konzentrisch zum Rohrstutzen 63 angeordnet ist. Auch das Flanschbauteil 52 und der Schalldämpfer 54 nach Figur 1 sind zweckmäßig wie das Kupplungsbauteil 56 bzw. der Schalldämpfer 54 nach Figur 3 ausgebildet.A muffler-side open channel in the coupling component 56, preferably ring channel 71, is assigned to the outlet openings 69. This is provided with a radial extension 72, to which the exhaust gas line 53 is connected. For the external sealing of the muffler 54 with respect to the coupling component 56, a peripheral sealing ring 73 is provided, which is arranged concentrically with the pipe socket 63. The flange component 52 and the muffler 54 according to FIG. 1 are expediently designed like the coupling component 56 and the muffler 54 according to FIG. 3.

Bei den beschriebenen Ausführungsbeispielen gelangt das Abgas aus dem Pumpenauslaß (36) in den Innenraum (65) des Schalldämpfers (54). Die sich daran anschließende mehrfache Umlenkung bewirkt die erwünschte Schalldämpfung. Danach treten die Abgase aus den Austrittsöffnungen (69) aus und gelangen über den Ringkanal (71) im Kupplungsbauteil (56) in die Abgasleitung (53).In the exemplary embodiments described, the exhaust gas reaches the interior (65) of the muffler (54) from the pump outlet (36). The subsequent multiple redirection brings about the desired sound absorption. The exhaust gases then exit from the outlet openings (69) and reach the exhaust line (53) via the ring channel (71) in the coupling component (56).

Wie bereits erwähnt, dient ein wahlweise zwischen Kupplungsbauteil (56) und Auslaßstutzen (55) einbaubares Zwischenbauteil der Halterung von Sensoren (58). Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 3 steht ein Sensor (58) mit dem Schalldämpfer-Eintrittsbereich in Verbindung. Für den Fall von Staubablagerungen im Schalldämpfer (54) erhöht sich der Strömungswiderstand, was eine Druckerhöhung im Eintrittsbereich des Schalldämpfers zur Folge hat. Mit Hilfe des Drucksensors kann deshalb die Belastung des Schalldämpfers (54) mit Ablagerungen überwacht werden.As already mentioned, an intermediate component which can optionally be installed between the coupling component (56) and the outlet connector (55) serves to hold sensors (58). In the exemplary embodiment according to FIG. 3, a sensor (58) is connected to the muffler inlet area. In the event of dust deposits in the silencer (54), the flow resistance increases, which results in an increase in pressure in the inlet area of the silencer. With the help of the pressure sensor, the load on the muffler (54) with deposits can be monitored.

Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 3 ist außerdem noch ein weiterer Drucksensor (58) dargestellt, der über die Bohrung (74) mit dem Austrittsbereich des Schalldämpfers (54) in Verbindung steht. Bei einer derartigen Verwendung von zwei Drucksensoren (58) besteht die Möglichkeit, die Staubbelastung des Schalldämpfers (54) durch Beobachtung der Differenz der von den Sensoren aufgenommenen Drücke zu beobachten.In the exemplary embodiment according to FIG. 3, a further pressure sensor (58) is also shown, which is connected via the bore (74) to the outlet area of the silencer (54). If two pressure sensors (58) are used in this way, it is possible to observe the dust load on the muffler (54) by observing the difference in the pressures recorded by the sensors.

Claims

Silencer (54) having a substantially cylindrical housing, having a central inlet (64) disposed at one end, having one or more decentralized outlet openings (69) at the same end, and having chicanes disposed inside the housing and comprising concentrically arranged tubular cylinders (66) which engage alternately one into the other, are closed at one end and effect a multiple diversion of the gases as they pass from the central inlet (64) to the decentralized outlet (69), characterized in that a flange- or coupling component (52, 56) is provided which has a central through opening (61), into which opens an exhaust gas line (51) communicating with the outlet (36) of a machine or pump (1), and which has a decentralized channel, preferably an annular channel (71) surrounding the through opening (61), to which an ongoing exhaust gas line (53) is connected, that the silencer (54) is detachably fastened to the flange- or coupling component (52, 56) and that the flange- or coupling component (52, 56) carries the silencer in its operating position in such a way that, on the one hand, the outlet sleeve (55) of the machine or pump is connected via the central through opening (61) in the coupling component (56) to the central inlet opening (64) of the silencer (54) and, on the other hand, the decentralized outlet opening(s) (69) of the silencer (54) is (are) connected via the decentralized channel (71) to the ongoing exhaust gas line (53).
Silencer according to claim 1, characterized in that a pipe socket (63) with an external thread is associated with the central inlet opening (64) of the silencer (54) and that the central through opening (61) in the flange- or coupling component (52, 56) is equipped with an internal thread.
Silencer according to claim 1 or 2, characterized in that a peripheral sealing ring (73) disposed concentrically to the pipe socket (63) is provided for externally sealing off the silencer (54) from the flange- or coupling component (52, 56).
Silencer according to one of the preceding claims, characterized in that a pressure sensor (58) is associated with the inlet (64) of the silencer (54).
Silencer according to one of the preceding claims, characterized in that an intermediate component (57) for the connection of sensors (58) is disposed in front of the flange- or coupling component (52, 56).
Silencer according to claim 4 or 5, characterized in that a respective pressure sensor (58) is associated with the inlet (64) and the outlet (69) of the silencer (54).
Machine, motor or pump, characterized in that it is equipped with a silencer (54) and a flange- or coupling component (52, 56) according to one of the preceding claims.
Rotary vacuum pump, characterized in that it is equipped with a silencer (54) and a flange- or coupling component (52, 56) according to one of claims 1 to 6.
Rotary vacuum pump according to claim 8, with a housing (10) which has at least one suction chamber (11) for the rotor or rotors (4 or 4 to 9) and is equipped with an inlet (29) and an outlet (36), characterized in that a flange- or coupling component (52, 56) and a silencer (54) according to one of claims 1 to 6 are connected to the pump outlet (36).